JP3761584B2 - 液密封止を有する電子制御モジュール - Google Patents
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims description 9
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 45
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 claims description 22
- -1 polysiloxanes Polymers 0.000 claims description 22
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 claims description 21
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 20
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 20
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 claims description 17
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 15
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 14
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 13
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 claims description 9
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 claims description 9
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 claims description 9
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 5
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 13
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000004382 potting Methods 0.000 description 5
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 4
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 description 4
- 235000013870 dimethyl polysiloxane Nutrition 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 description 4
- 229920005604 random copolymer Polymers 0.000 description 4
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 3
- 239000013464 silicone adhesive Substances 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 2
- 239000005022 packaging material Substances 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000002521 alkyl halide group Chemical group 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 1
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 238000013007 heat curing Methods 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000003870 refractory metal Substances 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
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- H01L23/10—Containers; Seals characterised by the material or arrangement of seals between parts, e.g. between cap and base of the container or between leads and walls of the container
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- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/02—Containers; Seals
- H01L23/04—Containers; Seals characterised by the shape of the container or parts, e.g. caps, walls
- H01L23/053—Containers; Seals characterised by the shape of the container or parts, e.g. caps, walls the container being a hollow construction and having an insulating or insulated base as a mounting for the semiconductor body
- H01L23/057—Containers; Seals characterised by the shape of the container or parts, e.g. caps, walls the container being a hollow construction and having an insulating or insulated base as a mounting for the semiconductor body the leads being parallel to the base
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
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- H01L24/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L24/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/00014—Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/095—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00 with a principal constituent of the material being a combination of two or more materials provided in the groups H01L2924/013 - H01L2924/0715
- H01L2924/097—Glass-ceramics, e.g. devitrified glass
- H01L2924/09701—Low temperature co-fired ceramic [LTCC]
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- H—ELECTRICITY
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/14—Integrated circuits
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/161—Cap
- H01L2924/1615—Shape
- H01L2924/16152—Cap comprising a cavity for hosting the device, e.g. U-shaped cap
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- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/161—Cap
- H01L2924/1615—Shape
- H01L2924/16195—Flat cap [not enclosing an internal cavity]
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- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
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Description
本発明は、ハーメチック・シールを有する電子パッケージに関し、更に詳しくは電子デバイスを含み、自動車用途に使用する液密封止(Fluid-Tight Seals)を有する気密電子モジュールに関する。
発明の背景
パッケージ電子デバイスのハーメチック・シールは、電子デバイスが腐食性環境の中で動作する状況では重要である。電子パッケージでは、外界と、パッケージ内の電子部材との間に電気接続を設けなければならない。通常、電気接続は、パッケージのプラスチック・ボディの中にモールディング成型されるリードフレームによって設けられる。モールディング成型工程は、リードフレームの周囲に機械的封止を形成するが、リードフレームとプラスチックのパッケージ・ボディとの間にケミカル・ボンドを形成しない。リードフレームを単にプラスチックのパッケージ・ボディの中にモールディング成型するだけでは、ハーメチック・シールを形成しない。これは、空気および液体が、リードフレームに沿って移動し、パッケージの壁を通してパッケージの内側領域に入る可能性があるためである。電子技術が進歩するにつれ、より複雑な電子パッケージが、プラスチック・パッケージの中に収容されるようになっている。複雑なデバイスは、汚染への感度が高く、オキシダントおよび腐食性流体が接触すると、たちまち動かなくなる可能性がある。
真の気密形パッケージは、空気および流体が、パッケージの内側に進入するのを防ぐために、広範な封止技術を必要とする。気密形パッケージを作製する1つの技術は、プラスチックと、ガラスまたはセラミックのフィードスルーより寧ろ、メタル・パッケージングを採用する。電気接続は、フィードスルーがパッケージの金属壁に固定・封止された後、リードをフィードスルーの各端に半田付けすることにより、設けることができる。この方式は、気密形パッケージの作製には有効であるが、ガラス部材およびセラミック部材を有するメタル・パッケージは高価である。さらに、ガラスまたはセラミックのフィードスルーは、機械的に脆弱な電気シールであり、使用中にパッケージが振動または衝撃を受けるとダメージを受ける可能性がある。
エポキシ材料は、ハーメチック・シールを作製するのに、ガラスおよびセラミックに代わる1つの選択肢である。エポキシ封止技術をプラスチックとともに使用すると、パッケージング・コストが低減し、多岐に渡るパッケージング材料およびパッケージング設計に対して広範な有用性を持つという更なるメリットがある。ハーメチック・シールを形成するには、リードフレームがプラスチック・パッケージ・ボディから出るところで、エポキシ注封(potting)材料をリードフレームの周囲に塗布する。注封材料を接合部に塗布する実際的な方法はないので、注封材料は、リードフレームとパッケージ・ボディとの接合部に直接塗布するより寧ろ、パッケージ・ボディの外側表面に塗布される。注封材料は、ハーメチック・シールを維持するために、リードフレームとプラスチック・パッケージ・ボディの双方に十分接着する必要がある。
エポキシ注封材料は、ハーメチック・シールを形成するのに使用できるが、これらの材料は、プラスチックのパッケージ・ボディの外側表面と接触する腐食性ガスおよび流体から悪影響を受ける可能性がある。エポキシは硬化する可能性があるが、硬化されたエポキシは、プラスチックのパッケージ・ボディとは異なる熱膨張係数を有する可能性がある。多くの電子デバイスが動作しなければならない温度範囲において、エポキシとプラスチックの熱膨張が異なることは、ひび割れおよび密封性のロスを容易に生じるおそれがある。ひび割れの問題のほか、エポキシ封止は、パッケージが、オイル,溶剤などの炭化水素流体、または強酸化酸に暴露される場所には適さない。したがって、腐食性の化学環境で動作する電子モジュールに対しては、新しいパッケージ封止技術が必要である。
発明の開示
本発明は、流体がモジュールに入って、内部の電子部材にダメージを与えないように防止できる電子モジュールを対象とする。電子モジュールは、過酷な動作環境から生じる腐食性の流体に暴露される可能性がある。本発明のモジュール設計は、流体進入経路と整合される内部キャビティの中に、膨張可能なポリマー材料を配置することにより、流体が主たる進入経路を伝って入るのを防ぐ。電子モジュールが暴露される流体が、膨張可能なポリマー材料と接触するとき、ポリマー材料が膨張して液密封止を形成し、これにより進入経路を封鎖する。1つの側面では、本発明は、進入経路に沿って電子モジュールに入ってくる流体に反応する膨張可能な材料を提供する。この封止は、流体が電子モジュールに入ろうとするときまで働かない状態にあるが、流体がモジュールに入った時点で、ポリマーが流体を吸収し始め、膨張して液密封止を形成する。
【図面の簡単な説明】
第1A図は、本発明の1つの実施例により構成された電子モジュールの一部分についての断面図である。
第1B図は、本発明の別の実施例により構成された電子モジュールの一部分についての断面図である。
第2図は、本発明の具体例により構成された電子モジュールの上面図である。
第3図は、第2図に示す電子モジュールを、線3−3に沿って切った組立断面図である。
第4図は、第2図に示す電子モジュールを、線4−4に沿って切った組立断面図である。
単純かつ分かりやすくするために、図に示す素子は、必ずしも縮尺通りに描かれていない。例えば、いくつかの素子の寸法は、他と比較して大きく示される。また適宜、対応する素子を表示するのに、各図で同じ参照番号を繰り返し使用する。
好適な実施例の詳細な説明
第1A図に示す断面図は、本発明の1つの実施例により構成された電子モジュール10の一部分についてのものである。パッケージ基板12は、外壁部分14およびボンド・パッド・プラットホーム16を含む。電子モジュール10は、パッケージ基板12の上に載るカバー15を含む。パッケージ基板12およびカバー15が一緒になって、電子部材18を保護するハウジング17を形成する。カバー15は、パッケージ基板12と気密接合されて、カバーとパッケージ基板との間に液密封止を設ける。
電子部材18は、接着層20によりパッケージ基板12と接合され、ワイヤ・ボンド24によりパッケージ・リード22とワイヤ接合される。パッケージ・リード22は、露出された内側部分26を有し、この部分はボンド・パッド・プラットホーム16の上に載る。ワイヤ・ボンド24は、内側部分26と接合されて、パッケージ・リード22が電子部材18と電気的に結合されるようにする。パッケージ・リード22は、ボンド・パッド・プラットホーム16の内側部分を貫通して伸び、内部キャビティ28を横切る。パッケージ・リード22はまた、壁部分14の内側部分を貫通して伸び、露出された終端30は、壁部分14から外側に伸びて、外部システムとの電気接触を、電子モジュール10に対して設けることができるようにする。
内部キャビティ28は、エポキシ封止32によって封止され、これは内部キャビティ28に対しカバーの役割をする。膨張可能なポリマー材料34は、内部キャビティ28の中に常駐する。パッケージ・リード22が、炭化水素流体,水,溶剤などの流体に暴露されると、主たる進入経路は、パッケージ・リード22に沿った流体の拡散によって生じる。流体の拡散が妨げられない場合には、流体はついにはパッケージ・リード22に沿って内側部分26へと拡散し、ついでワイヤ・ボンド24を伝って、最終的に電子部材18に達する。本発明により、膨張可能なポリマー材料34は、パッケージ・リード22を伝って拡散する流体に反応して、膨張可能なポリマー材料34がエポキシ封止32に向かって膨張する。ポリマー材料34の膨張は、内部キャビティ28を横切るパッケージ・リード22の部分の周囲に圧力を生じる。ポリマー材料34により生じた圧力は、パッケージ・リード22をパッケージ基板12に固定・封止する。ポリマー材料34の膨張により形成される封止は、流体が、ボンド・パッド・プラットホーム16などの電子モジュール10の内側部分に拡散するのを防ぐ。
本発明の別の実施例による電子モジュール11の断面図を第1B図に示す。別の実施例では、内部キャビティ28およびボンド・パッド・プラットホーム16は、パッケージ基板の上部表面へと伸びる。エポキシ封止32は、壁面14およびボンド・パッド・プラットホーム16を、カバー15から分離して、内部キャビティ28を封止する。エア・ポケット35は、内部キャビティ28内において、膨張可能なポリマー34の上に在る。膨張可能なポリマー34が、流体と接触して膨らむとき、エア・ポケット35は、膨張可能なポリマー34の膨張とは逆向きの力を与える。エア・ポケット35によって与えられる抵抗は、内部キャビティ28内の圧力を高めて、パッケージ・リード22をパッケージ基板12に固定・封止する。
別の実施例は、空気など変形可能な媒体を使用して、内部キャビティ28の中に抵抗力を与えることを示す。当業者は、ガス充填ブラダ(bladder)など、他の材料および構造を使用しても、膨張可能なポリマー34の膨張力に対抗する力を働かせて、パッケージ・リード22の周囲の圧力を増加することができることを理解されたい。
本発明の好適な実施例では、ポリマー材料34は、炭化水素流体などの流体と接触すると、体積が膨張する性質を有するシリコン・ベースのポリマーである。シリコン・ベースのポリマーは、アルキル置換モノマー反復単位を含む置換ポリシロキサン、またはハロゲン化アルキル置換基を含むランダム共重合体であるのが最も好ましい。例えば、アルキル置換ポリマーは、[SiR2O]nの一般式を有するものを使用でき、ここでRはアルキル置換基であり、nは、アルキル置換ポリシロキサン内のモノマー反復単位の数を示す大きな正の整数である。
ポリマー材料34がポリシロキサンの場合には、最も好ましい材料は、ジメチル・ポリシロキサンである。好適なポリシロキサン材料であるジメチル・ポリシロキサンは、熱硬化すると、強力なセルフプライミング(self-priming)接着結合を生じるプライマレス(primerless)シリコン接着剤とすることも可能である。このようなシリコン接着剤は、Dow Corning Corp.(ミシガン州ミッドランド)から入手でき、商品名”SYLGARD577”で販売されている。硬化後、好適なシリコン接着剤は、25℃で比重1.32,引張強さ860psi,および重ねせん断強さ(lap share strength)770psiを有する。実験結果によれば、Deutsch Pentosin-Werke GmbH(ドイツ、ウェーデル)から入手でき、商品名”PENTOSIN”で販売される自動車のパワー・ステアリング液など、長鎖(C16からC20の炭化水素流体に暴露されると、ジメチル・ポリシロキサンは、暴露時間に依存して、約49%から約71%までの範囲で体積が膨張する。ジメチル・ポリシロキサンについて収集された実験データを表1に示す。
ポリマー材料34がランダム共重合体のポリシロキサンである場合には、好適な材料は、フルオロシロキサンであり、ここでR1はC3H4F3であり、R2およびR3はCH3であり、ポリマー単位比はn:mで約40:60である。ランダム共重合体のハロゲン化ポリシロキサンは、一般式[(SiR1R2O)n)SiR3O)m]を有するものを使用でき、ここでR1は、フッ素などのハロゲンを有するアルキル置換基、R2およびR3はアルキル置換基であり、nおよびmは、個々のポリシロキサン化合物に依存して、各種の比率で存在する正の整数である。
最も好適なハロゲン化ポリシロキサンは、ランダム共重合体のフッ化ポリシロキサンであり、化学式[Si(CH3)(CH2CH2CF3)O)]4[Si(CH3)2O)]6を有する。好適なフッ素置換ポリシロキサンは、化学量論比40%のフッ素置換されており、熱硬化後に良好な接着特性を示す。適切なフッ化ポリシロキサンは、Dow Corning Corp.(ミシガン州ミッドランド)から、商品名”X4-8012”で入手できる。フッ化ポリシロキサンは、熱硬化後、比重1.28を示し、引張強さ790psiを有する。実験結果によれば、フッ化ポリシロキサンは、自動車のパワー・ステアリング液などの炭化水素液に暴露されると、約14%から21%体積が膨張する。フッ化ポリシロキサンについての実験データを表1に示す。
第1A図または第1B図の組立工程を参照して、パッケージ・リード22が、パッケージ基板12の中にモールディング成型された後、上述の好適なポリシロキサン化合物が、内部キャビティ28の中に堆積される。エポキシ封止32が塗布され硬化されて、内部キャビティ28の上に耐圧性のカバーを形成する。炭化水素油と接触すると、ポリシロキサンが膨張して、内部キャビティ28の6つの側面すべてに圧力を加える。
表Iに示すように、自動車のパワー・ステアリング液と接触すると、好適なフッ化ポリシロキサンは、約14%体積を増加する。この膨張は、内部キャビティ28の中で、約45MPaの圧力を加える。フッ化ポリシロキサンが加える実質的な圧力によって、パワー・ステアリング液が、ボンド・パッド・プラットホーム16を通じて拡散して、パッケージ・リード22の内側部分26に形成されたワイヤ・ボンドを汚染するのを防ぐ。
当業者は、本発明の相互作用型のパッケージ封止機構が、多岐に渡る電子モジュールに応用できることを理解されたい。例えば、膨張可能なポリマー材料を中に入れているキャビティは、集積回路部材を保護するように設計された電子パッケージの中に形成できる。また本発明は、マルチチップ・モジュール,ハイブリッド・パワー・トランジスタ・アレー,エンジン・コントロール・ユニットなどの高度な電子デバイスを保護するように設計された他の種類のパッケージにも使用できる。また、本発明の反応性封止機構は、流体が拡散経路を伝ってパッケージの内側空間に入るのを防ぎたいパッケージ設計において、使用することができる。したがって、以下の具体例は、本発明の反応性封止機構を電子モジュールの中に組み込むために考えられる多くの構成の1つに過ぎない。
第2図から第4図は、本発明の具体例により構成された電子モジュール40の各種の図を示す。第2図に示すのは、炭化水素流体に浮上する形で構成される電子モジュール40の上面図である。複数の電子部材42はプリント回路板44の上に載っており、これらは相互接続リード48によって、互いにまた複数のパワー・トランジスタ46に相互接続される。外部電気制御回路(図示せず)からの制御信号は、電子部材40のパッケージ基板52の中にモールディング成型される第1リードフレーム50によって、電子部材42と電気的に結合される。パワー・コントロール信号は、第2リードフレーム54によって、パワー・トランジスタ46から外部駆動モータ(図示せず)へと出力される。第1リードフレームおよび第2リードフレーム50,54は、それぞれ複数のメタル・リード56,58を含んでおり、電子制御モジュール40との間で電気信号を搬送する。周辺溝60は、パッケージ基板52の周囲に伸びており、カバー62を受けるように構成される。
第2図の線3-3に沿って切った電子モジュール40の組立断面図を第3図に示す。パッケージ基板52は、周辺溝60が中に形成される外壁面64を含む。タング66はカバー62から垂れ下がっており、周辺溝60の中にはめ込む。タング66は、周辺溝60に接合されて、カバー62とパッケージ基板52との間に、液密封止を形成する。ヒート・スプレッダ63は、パッケージ基板52の中にモールディング成型され、プリント回路板44のサポートを提供する。ヒート・スプレッダ63は、電子モジュール40の動作中に、パワー・トランジスタ46によって生成される大量の熱を拡散する働きをする。ヒート・スプレッダはまた、電子モジュール40を、自動車のパワー・ステアリング液溜めの表面に実装する接着手段65を含む。
カバー62とパッケージ基板52とが合体して封止され、電子部材42およびパワー・トランジスタ46が、内部キャビティ68の中に封止される。パワー・トランジスタ46は、ワイヤ・ボンド72により、メタル・リード58の内側部分70にワイヤ結合される。メタル・リード58は、第2内部キャビティ74および壁面64を貫通して伸び、膨張可能なポリマー材料76は、第2キャビティ74内に常駐し、エポキシ層78によって中に閉じ込められる。
第2図の線4-4に沿って切り取られた電子モジュール40の組立断面図を、第4図に示す。ワイヤ・ボンド80は、相互接続リード48を通じて、電子部材42を、メタル・リード56の内側部分82と電気的に結合する。メタル・リード56は、ボンド・パッド・プラットホーム84およびパッケージ基板52の壁面64と結合される。メタル・リード56は、第3内部キャビティ86を横切る。
エポキシ封止88は、第2キャビティ74の封止機構に類似する構成により、第3キャビティ86の中に堆積されたポリマー材料90の上に在る。図の実施例では、リードフレーム50の個々のメタル・リードは、第2リードフレーム58の個々のメタル・リードよりも大幅に小さくて数が多い。リードの寸法が等しくないにもかかわらず、本発明の反応性封止機構を採用すれば、各種の寸法のリードの周囲に加圧封止を形成し、パッケージ・ボディと、各種の物理特性を有するメタル・リードとの間に液密障壁を形成することができることに注意されたい。第2キャビティおよび第3キャビティ74,86の中で採用されるポリマー材料は、炭化水素流体と接触すると変形するので、ポリマー材料は、ほぼいかなる断面形状のリードの周囲にも密封を形成することができる。また、ポリマー材料の変形可能な性質により、図に示したのとは実質的に異なる形状を有するキャビティの中でも、材料を使用することができる。例えば、キャビティ全体を基板材料の中に閉じ込めて、基板内のアクセス・ポートを導入口とすることもできる。当業者は、本発明の反応性封止機構を採用するために、多くの変形が考えられること、またこれらの各種の形状が、本発明の適用範囲内にあることを理解されたい。
この実施例において、電子モジュール40は、接着手段65によって、自動車のパワー・ステアリング機構内のメタル・サポートに接着されるよう設計される。接着のポイントは、動作において、電子モジュール40が、パワー・ステアリング装置内のパワー・ステアリング液内に全体的に浸かる形となる。電子モジュール40の動作により発生する大量の熱は、ヒート・スプレッダ63によって、また熱伝達により、パッケージ・ハウジングから、周囲のパワー・ステアリング液へと拡散される。電子モジュール40は、パワー・ステアリング液の中に浸かった状態で、有効寿命全体を過ごすので、パワー・ステアリング液による汚染から、電子部材42およびパワー・トランジスタ46を保護するには、パッケージのハウジングの外面全体を覆う完全な液密封止が必要である。本発明により、膨張可能なポリマー材料76,90は、メタル・リード56または58を伝って拡散するパワー・ステアリング液の存在に反応する形で存在する。
このため、本発明により、上記の利点を完全に満たす液密封止を有する電子制御モジュールが提供されることは明らかである。本発明を具体的な実施例を参照して説明し図示したが、本発明は、これらの図示した実施例に限定されることを意図しない。当業者は、本発明の意図から逸脱せずに、バリエーションおよび変形が可能であることを認めよう。例えば、ポリイミド,シリコン・プラスチック,耐熱金属含浸プラスチックなどその他の種類のパッケージング材料も使用できる。また、テープ・ボンディングおよび表面実装技術も使用できる。そのため、添付請求の範囲に属するすべてのバリエーションと変形、およびこれらと同等の物を本発明に含めることを意図する。
Claims (10)
- 電子モジュールであって:
流体に暴露する目的で形成される外面を有するハウジング;
前記ハウジング内に実装された電子部材;
前記ハウジング内にあって、前記電子部材と前記外面の中間に位置する内部キャビティ;
前記電子部材と結合され、前記内部キャビティおよび前記外面を貫通して伸びる電気的接続部材;
前記流体に反応する前記内部キャビティ内のポリマー材料であって、前記流体と接触すると前記ポリマー材料が膨張して、前記内部キャビティ内の前記電気的接続部材を封止して、前記流体が前記電子部材と接触するのを防ぐポリマー材料;および
前記ポリマー材料を中に保持するように形成された前記内部キャビティ内の封止層;
によって構成されることを特徴とする電子モジュール。 - 前記ポリマー材料は、ハロゲン化ポリシロキサンおよびアルキル置換ポリシロキサンによって構成される群から選択されたシリコン・ベースのポリマーによって構成されることを特徴とする請求項1記載の電子モジュール。
- 前記封止層が、前記内部キャビティ内において前記ポリマー材料の上に配置されるエポキシによって構成されることを特徴とする請求項1記載の電子モジュール。
- 前記電気的接続部材は、前記ハウジングに取り付けられたメタル・リードフレームによって構成されることを特徴とする請求項1記載の電子モジュール。
- 電子モジュールであって:
ハウジング;
前記ハウジング内のキャビテイ;
前記キャビティを横切り、前記ハウジングを超えて伸びる終端を有する電気リードであって、前記終端が流体に暴露される電気リード;および
前記キャビティ内にあって、エポキシ封止によって封じ込められる膨張可能なポリマー材料;および
前記膨張可能なポリマーの上に在る耐圧層であって、前記耐圧層と前記膨張可能なポリマーとが協働して、前記電気リードの周囲に封止を形成し、前記流体が前記膨張可能なポリマーと接触すると、前記リードを前記ハウジングに固定・封止する耐圧層;
によって構成されることを特徴とする電子モジュール。 - 前記ハウジングは:
中に周辺溝を有するパッケージ基板;および
垂れ下がるタングを有するカバーであって、前記タングが、前記溝に挿入されて液密封止を形成するカバー;
によって構成されることを特徴とする請求項5記載の電子モジュール。 - 前記耐圧層は、変形可能な媒体によって構成されることを特徴とする請求項5記載の電子モジュール。
- 前記耐圧層は、前記キャビティ内に配置されたエポキシ層によって構成されることを特徴とする請求項5記載の電子モジュール。
- 前記膨張可能なポリマー材料は、ハロゲン化ポリシロキサンおよびアルキル置換ポリシロキサンによって構成される群から選択されたシリコン・ベースのポリマーによって構成されることを特徴とする請求項5記載の電子モジュール。
- 前記流体は、炭化水素流体によって構成されることを特徴とする請求項5記載の電子モジュール。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US08/717,048 US5689089A (en) | 1996-09-20 | 1996-09-20 | Electronic control module having fluid-tight seals of a polymer material which expands when wet |
US08/717,048 | 1996-09-20 | ||
PCT/US1997/012086 WO1998012743A1 (en) | 1996-09-20 | 1997-07-14 | Electronic control module having fluid-tight seals |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000500928A JP2000500928A (ja) | 2000-01-25 |
JP3761584B2 true JP3761584B2 (ja) | 2006-03-29 |
Family
ID=24880501
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP51263498A Expired - Fee Related JP3761584B2 (ja) | 1996-09-20 | 1997-07-14 | 液密封止を有する電子制御モジュール |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5689089A (ja) |
EP (1) | EP0862790B1 (ja) |
JP (1) | JP3761584B2 (ja) |
DE (1) | DE69736320T2 (ja) |
ES (1) | ES2268734T3 (ja) |
WO (1) | WO1998012743A1 (ja) |
Families Citing this family (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100244708B1 (ko) * | 1996-12-10 | 2000-02-15 | 김영환 | 반도체 패키지 |
DE19758444C2 (de) | 1997-04-04 | 1999-12-09 | Gruendl & Hoffmann | Fluidgekühlte, Rechnereinheit - gesteuerte Baugruppe zum Schalten elektrischer Leistungen |
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-
1996
- 1996-09-20 US US08/717,048 patent/US5689089A/en not_active Expired - Lifetime
-
1997
- 1997-07-14 ES ES97934117T patent/ES2268734T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1997-07-14 WO PCT/US1997/012086 patent/WO1998012743A1/en active IP Right Grant
- 1997-07-14 JP JP51263498A patent/JP3761584B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1997-07-14 EP EP97934117A patent/EP0862790B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-07-14 DE DE69736320T patent/DE69736320T2/de not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0862790A4 (en) | 1999-08-04 |
ES2268734T3 (es) | 2007-03-16 |
DE69736320D1 (de) | 2006-08-24 |
EP0862790B1 (en) | 2006-07-12 |
WO1998012743A1 (en) | 1998-03-26 |
US5689089A (en) | 1997-11-18 |
DE69736320T2 (de) | 2007-07-05 |
EP0862790A1 (en) | 1998-09-09 |
JP2000500928A (ja) | 2000-01-25 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040402 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050614 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050531 |
|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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|
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20051220 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060111 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100120 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110120 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120120 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130120 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |