JP2004146819A - 伝熱方法およびデバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】液体金属18は、好ましくは、チップ14からヒート・シンクまたは熱放散部16へ熱を伝えるガリウムまたはその合金である。このシステムは、液体による充填と、液体によって占められた空間の排気とを可能にする1以上の開孔部38を有する。本システムは、また、Oリング、もしくは止め輪によって適所に保持された膜のような可撓性シール、あるいは充填開孔部をシールするプラグを用いる。シールは可撓性であり、液体の膨張および収縮、加えて液相から固相への相変化に対応する。
【選択図】図6
Description
米国特許第5,198,189号公報“Liquid Metal Matrix Thermal Paste”1993年。
米国特許第6,019,509号公報“Low Melting Gallium, Indium and Tin Eutectic Alloys and Thermometers Employing Same”2000年。
米国特許第6,343,647号公報“Thermal Joint and Method of Use”2002年。
a)2つの面間の空間を限定する工程と、
b)2つの面間の空間に液体金属を導入する工程と、
c)空間内の全ての空気を排除する工程と、
d)可撓性シールを設けて液体金属を封じ込め、2つの基板の離間関係に影響を与えることなく金属の膨張と収縮とを可能にする工程とを含む。
当該シールは、2つの面のうちの一方の環状開口内に保持されたOリング・シールのような可撓性エラストマ材料または可撓性重合体材料を含む。代わりに、当該シールは、可撓性膜と、2つの面のうちの一方の環状開口内に当該可撓性膜を保持するための止め輪とを含んでもよい。当該シールは、典型的に、空気の排除のための少なくとも1つの開孔部を含む。空気を排除した後にこの開孔部をシールする。
(1)相互に離間して配置され、相互間で温度差を有するほぼ平行な2つの面間の伝熱を促進する熱結合デバイスであって、前記2つの面は限られた空間を形成し、前記温度差を含むほぼ全温度範囲にわたって液体であり、前記2つの面間の限られた空間を占める金属と、前記2つの面間に前記液体金属を封じ込めるシールであって、前記2つの面間の間隔の変化および前記金属の体積変化に対応する手段と前記空間から空気を除去する手段とを有するシールと、を備えるデバイス。
(2)前記シールは、可撓性エラストマ・プラグまたは可撓性重合体プラグを含む上記(1)記載のデバイス。
(3)前記シールは、前記2つの面のうちの一方の環状開口内に保持されたOリング・シールを含む上記(2)記載のデバイス。
(4)前記シールは、可撓性膜と、前記2つの面のうちの一方の環状開口内に前記可撓性膜を保持するために用いられる止め輪とを含む上記(2)記載のデバイス。
(5)前記平行な2つの面のうちの一方は半導体チップの表面を含み、前記平行な2つの面のうちの他方はヒート・シンクまたは熱放散部の表面を含む上記(2)記載のデバイス。
(6)前記エラストマ材料または重合体材料は、少なくとも1つの開孔部を含む上記(2)記載のデバイス。
(7)使用時に熱を発生させる半導体チップと結合した集積回路と、前記チップの露出面から前記発生した熱を除去する手段とを備える電子構造であって、前記熱を除去する手段は、前記チップの露出面に隣接するが前記チップの露出面から短い距離を置いて配置されたヒート・シンクまたは熱放散部を含む熱吸収器と、温度差を含むほぼ全温度範囲にわたって液体である金属と、前記2つの面間に前記液体金属を封じ込めるシールであって、前記2つの面間の間隔の変化および前記金属の体積変化に対応する手段を有するシールと、を有する構造。
(8)前記チップの露出面と前記熱吸収器との間の前記短い距離は、約0.9mmである上記(7)記載の構造。
(9)前記シールは、可撓性エラストマ材料または可撓性重合体材料を含む上記(7)記載の構造。
(10)前記シールは、前記2つの面のうちの一方の環状開口内に保持されたOリング・シールを含む上記(8)記載の構造。
(11)前記シールは、可撓性膜と、前記2つの面のうちの一方の環状開口内に前記可撓性膜を保持するために用いられる止め輪とを含む上記(8)記載の構造。
(12)前記平行な面のうちの一方は半導体チップの表面を含み、前記平行な面のうちの他方はヒート・シンクまたは熱放散部の表面を含む上記(8)記載の構造。
(13)前記エラストマ材料または重合体材料は、少なくとも1つの開孔部を含む上記(9)記載の構造。
(14)ほぼ平行で,対向しており,離間した面を有する2つの基板間で伝熱する方法であって、e)前記2つの面間の空間を限定する工程と、f)前記2つの面間の空間に液体金属を導入し前記空間内の全ての空気を排除する工程と、g)可撓性シールを設けて前記液体金属を封じ込め、前記2つの基板の離間関係に影響を与えることなく前記金属の膨張と収縮とを可能にする工程と、を含む方法。
(15)前記シールは、可撓性エラストマ材料または可撓性重合体材料を含む上記(14)記載の方法。
(16)前記シールは、前記2つの面のうちの一方の環状開口内に保持されたOリング・シールを含む上記(15)記載の方法。
(17)前記シールは、可撓性膜と、前記2つの面のうちの一方の環状開口内に前記可撓性膜を保持する止め輪とを含む上記(15)記載の方法。
(18)前記平行な面のうちの一方は半導体チップの表面を含み、前記平行な面のうちの他方はヒート・シンクまたは熱放散部の表面を含む上記(15)記載の方法。
(19)前記エラストマ材料または重合体材料は、前記空気の排除のための少なくとも1つの開孔部を含む上記(15)記載の方法。
(20)前記空気を排除した後に前記少なくとも1つの開孔部をシールする上記(19)記載の方法。
12 チップ14の外縁部
14 半導体チップ
16 熱放散部
18 液体金属
20 アンダーフィル材料
22 電子基板
28 エラストマ・プラグ32の一部分
30 開口
32 Oリング・プラグ
34 円形リング
36 開口30の周縁部
38 開孔部
40 可撓性膜
42 フラット・リング
44 縁部
46 肩部
50 ヒート・シンク
52 冷却フィン
60 シール
62 厚い周縁部
64 薄い曲線膜
Claims (20)
- 相互に離間して配置され、相互間で温度差を有するほぼ平行な2つの面間の伝熱を促進する熱結合デバイスであって、前記2つの面は限られた空間を形成し、
前記温度差を含むほぼ全温度範囲にわたって液体であり、前記2つの面間の限られた空間を占める金属と、
前記2つの面間に前記液体金属を封じ込めるシールであって、前記2つの面間の間隔の変化および前記金属の体積変化に対応する手段と前記空間から空気を除去する手段とを有するシールと、
を備えるデバイス。 - 前記シールは、可撓性エラストマ・プラグまたは可撓性重合体プラグを含む請求項1記載のデバイス。
- 前記シールは、前記2つの面のうちの一方の環状開口内に保持されたOリング・シールを含む請求項2記載のデバイス。
- 前記シールは、可撓性膜と、前記2つの面のうちの一方の環状開口内に前記可撓性膜を保持するために用いられる止め輪とを含む請求項2記載のデバイス。
- 前記平行な2つの面のうちの一方は半導体チップの表面を含み、前記平行な2つの面のうちの他方はヒート・シンクまたは熱放散部の表面を含む請求項2記載のデバイス。
- 前記エラストマ材料または重合体材料は、少なくとも1つの開孔部を含む請求項2記載のデバイス。
- 使用時に熱を発生させる半導体チップと結合した集積回路と、前記チップの露出面から前記発生した熱を除去する手段とを備える電子構造であって、前記熱を除去する手段は、
前記チップの露出面に隣接するが前記チップの露出面から短い距離を置いて配置されたヒート・シンクまたは熱放散部を含む熱吸収器と、
温度差を含むほぼ全温度範囲にわたって液体である金属と、
前記2つの面間に前記液体金属を封じ込めるシールであって、前記2つの面間の間隔の変化および前記金属の体積変化に対応する手段を有するシールと、
を有する構造。 - 前記チップの露出面と前記熱吸収器との間の前記短い距離は、約0.9mmである請求項7記載の構造。
- 前記シールは、可撓性エラストマ材料または可撓性重合体材料を含む請求項7記載の構造。
- 前記シールは、前記2つの面のうちの一方の環状開口内に保持されたOリング・シールを含む請求項8記載の構造。
- 前記シールは、可撓性膜と、前記2つの面のうちの一方の環状開口内に前記可撓性膜を保持するために用いられる止め輪とを含む請求項8記載の構造。
- 前記平行な面のうちの一方は半導体チップの表面を含み、前記平行な面のうちの他方はヒート・シンクまたは熱放散部の表面を含む請求項8記載の構造。
- 前記エラストマ材料または重合体材料は、少なくとも1つの開孔部を含む請求項9記載の構造。
- ほぼ平行で,対向しており,離間した面を有する2つの基板間で伝熱する方法であって、
e)前記2つの面間の空間を限定する工程と、
f)前記2つの面間の空間に液体金属を導入し前記空間内の全ての空気を排除する工程と、
g)可撓性シールを設けて前記液体金属を封じ込め、前記2つの基板の離間関係に影響を与えることなく前記金属の膨張と収縮とを可能にする工程と、
を含む方法。 - 前記シールは、可撓性エラストマ材料または可撓性重合体材料を含む請求項14記載の方法。
- 前記シールは、前記2つの面のうちの一方の環状開口内に保持されたOリング・シールを含む請求項15記載の方法。
- 前記シールは、可撓性膜と、前記2つの面のうちの一方の環状開口内に前記可撓性膜を保持する止め輪とを含む請求項15記載の方法。
- 前記平行な面のうちの一方は半導体チップの表面を含み、前記平行な面のうちの他方はヒート・シンクまたは熱放散部の表面を含む請求項15記載の方法。
- 前記エラストマ材料または重合体材料は、前記空気の排除のための少なくとも1つの開孔部を含む請求項15記載の方法。
- 前記空気を排除した後に前記少なくとも1つの開孔部をシールする請求項19記載の方法。
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