JP2005538551A - 応力除去手段を具備するマイクロチップ - Google Patents
応力除去手段を具備するマイクロチップ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005538551A JP2005538551A JP2004534620A JP2004534620A JP2005538551A JP 2005538551 A JP2005538551 A JP 2005538551A JP 2004534620 A JP2004534620 A JP 2004534620A JP 2004534620 A JP2004534620 A JP 2004534620A JP 2005538551 A JP2005538551 A JP 2005538551A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- microchip
- package
- thermal expansion
- expansion coefficient
- isolator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B7/00—Microstructural systems; Auxiliary parts of microstructural devices or systems
- B81B7/0032—Packages or encapsulation
- B81B7/0045—Packages or encapsulation for reducing stress inside of the package structure
- B81B7/0048—Packages or encapsulation for reducing stress inside of the package structure between the MEMS die and the substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/16—Fillings or auxiliary members in containers or encapsulations, e.g. centering rings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/562—Protection against mechanical damage
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
- H01L24/32—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L24/83—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
- H01L2224/05—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
- H01L2224/0554—External layer
- H01L2224/05599—Material
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/2612—Auxiliary members for layer connectors, e.g. spacers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/28—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
- H01L2224/29—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/29001—Core members of the layer connector
- H01L2224/29099—Material
- H01L2224/2919—Material with a principal constituent of the material being a polymer, e.g. polyester, phenolic based polymer, epoxy
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
- H01L2224/32—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/3201—Structure
- H01L2224/32012—Structure relative to the bonding area, e.g. bond pad
- H01L2224/32014—Structure relative to the bonding area, e.g. bond pad the layer connector being smaller than the bonding area, e.g. bond pad
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
- H01L2224/32—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/321—Disposition
- H01L2224/32151—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/32221—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/32225—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/45001—Core members of the connector
- H01L2224/45099—Material
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48225—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
- H01L2224/48227—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73251—Location after the connecting process on different surfaces
- H01L2224/73265—Layer and wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/83—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
- H01L2224/8319—Arrangement of the layer connectors prior to mounting
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/83—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
- H01L2224/838—Bonding techniques
- H01L2224/8385—Bonding techniques using a polymer adhesive, e.g. an adhesive based on silicone, epoxy, polyimide, polyester
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/91—Methods for connecting semiconductor or solid state bodies including different methods provided for in two or more of groups H01L2224/80 - H01L2224/90
- H01L2224/92—Specific sequence of method steps
- H01L2224/922—Connecting different surfaces of the semiconductor or solid-state body with connectors of different types
- H01L2224/9222—Sequential connecting processes
- H01L2224/92242—Sequential connecting processes the first connecting process involving a layer connector
- H01L2224/92247—Sequential connecting processes the first connecting process involving a layer connector the second connecting process involving a wire connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L24/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/00014—Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01006—Carbon [C]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01013—Aluminum [Al]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01027—Cobalt [Co]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01033—Arsenic [As]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01039—Yttrium [Y]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01047—Silver [Ag]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/013—Alloys
- H01L2924/014—Solder alloys
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/06—Polymers
- H01L2924/0665—Epoxy resin
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/06—Polymers
- H01L2924/078—Adhesive characteristics other than chemical
- H01L2924/07802—Adhesive characteristics other than chemical not being an ohmic electrical conductor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/102—Material of the semiconductor or solid state bodies
- H01L2924/1025—Semiconducting materials
- H01L2924/10251—Elemental semiconductors, i.e. Group IV
- H01L2924/10253—Silicon [Si]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/14—Integrated circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/1515—Shape
- H01L2924/15153—Shape the die mounting substrate comprising a recess for hosting the device
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/15165—Monolayer substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/161—Cap
- H01L2924/1615—Shape
- H01L2924/16152—Cap comprising a cavity for hosting the device, e.g. U-shaped cap
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/30—Technical effects
- H01L2924/35—Mechanical effects
- H01L2924/351—Thermal stress
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
パッケージ化されたマイクロチップ(10)は、マイクロチップ熱膨張係数を持つ応力に敏感なマイクロチップ(16)と、パッケージ熱膨張係数を持つパッケージ(12)と、アイソレータ熱膨張係数を持つアイソレータ(24)とを具備する。アイソレータ(24)は、応力に敏感なマイクロチップ(16)とパッケージ(12)との間に結合されている。具体的には、マイクロチップ熱膨張係数は、パッケージ熱膨張係数よりアイソレータ熱膨張係数に近い値となっている。
Description
本発明は一般にマイクロチップに関し、特に、本発明はマイクロチップのパッケージ化技術に関する。
マイクロエレクトロメカニカルシステム(「MEMS」)は、より多くの応用分野で用いられている。 例えば、MEMSは近年、飛行機のピッチ角を検出するジャイロスコープ、及び、自動車のエアバッグを適時に膨張させる加速時計として用いられている。簡単に言うと、MESのような装置は、一般に、基板上に自在に保持された構造物と、この自在に保持された構造物の動作データを検出し検出した動作データを1以上の外部装置(例えば、外部コンピュータ)に送信する電子機器とからなっている。この外部装置は検出したデータを処理し計測された特性値(例えば、ピッチ角や加速度)を算出する。
関連する電子素子、基板、及び可動構造は一般に、パッケージ内に固定された1以上のダイ(ここでは単に「ダイ」と称す)上に形成される。例えば、パッケージは一般にダイを気密シールするものであり、セラミックまたはプラスチックで製造される。パッケージには、電子素子が動作データを外部の装置に伝送できるような相互間の接続が含まれる。パッケージにダイを固定させるために、ダイの底面は一般に、パッケージの内面(例えば、接着パッド)に(例えば、接着剤または半田により)接着されている。従って、ダイの底面はほぼ全域にわたってパッケージの内面に接着されている。問題は、しかしながら、二つの面の温度が変化したときに発生する可能性がある。特に、二つの面は一般に異なった熱膨張係数を持つので、パッケージからダイの基板に機械的応力を与えることがある。この応力(この技術分野では「線形応力」と称し、この場合熱により引き起こされる)は、基板を曲げたり収縮させたりして予期できない望ましくない湾曲を起こすことがある。このような曲げや収縮は、ダイ構造の動作と電子素子の機能に影響を与え、計測された特性値(例えば、加速度)を示す出力データとして誤った出力データを出力する原因となる。同様にして、パッケージに加えられる機械的に引き起こされた線形応力またはねじれ応力はダイに伝えられ、同じような望ましくない影響を与える。
本発明の一つの特徴によれば、パッケージ化されたマイクロチップは、マイクロチップ熱膨張係数を持つ応力に敏感なマイクロチップと、パッケージ熱膨張係数を持つパッケージと、アイソレータ熱膨張係数を持つアイソレータとを具備する。アイソレータは、応力に敏感なマイクロチップとパッケージとの間に結合されている。具体的な実施形態によれば、マイクロチップ熱膨張係数は、パッケージ熱膨張係数よりアイソレータ熱膨張係数に近い値となっている。
ある実施形態によれば、マイクロチップ熱膨張係数とアイソレータ熱膨張係数との差は、マイクロチップ熱膨張係数とパッケージ熱膨張係数との差よりも小さい。さらに、応力に敏感なマイクロチップはMEMS装置であってもよく、この応力に敏感なマイクロチップには、基板熱膨張係数を持つ基板上に自在に保持された可動構造が含まれる。かかる場合、マイクロチップ熱膨張係数は、基板熱膨張係数の関数であってもよい。
具体的には、応力に敏感なマイクロチップにはマイクロチップ面があり、アイソレータにはまたアイソレータ面がある。アイソレータ面はマイクロチップ面と対向し結合している。アイソレータ面はマイクロチップ面の一部分にのみ結合している。他の実施の形態においては、パッケージはパッケージ面を持ち、パッケージ面の一部分はアイソレータに結合されている。パッケージ面の面積はアイソレータ面の面積よりも大きい。パッケージは、他の材料もあるがとりわけセラミック材でできている。パッケージ化されたマイクロチップにはまた、アイソレータをパッケージに固定する応力吸収材が含まれていてもよい。
本発明の他の特徴によれば、センサーは、基板熱膨張係数を持つ基板に自在に保持された可動構造物を具備するダイと、アイソレータ熱膨張係数を持つアイソレータと、前記ダイを保持する内部空洞を形成するパッケージを有する。パッケージはまたパッケージ熱膨張係数を持つ。アイソレータは基板とパッケージとの間に結合されている。基板熱膨張係数は、具体的には、マイクロチップ熱膨張係数よりアイソレータ熱膨張係数に近い値を持つ。
ある実施形態によれば、センサーはパッケージに固定された蓋を持つ。この蓋は内部空洞を閉じる。センサーにはまた、アイソレータをパッケージに固定する応力吸収材が含まれていてもよい。さらに、パッケージの内部空洞には空洞面を持ってもよく、基板は基板面を持ってもよい。このようにアイソレータは基板面の一部分と空洞面の一部分との間に隙間を形成させる。ダイは、例えば、ジャイロスコープ、加速度計、又は他のMEMS装置の内のいずれか1つであってもよい。
本発明の具体例では、パッケージ化されたマイクロチップ(例えば、マイクロエレクトロメカニカルシステム、ここでは「MEMS」とも称す)には、マイクロチップをパッケージの内部に固定するアイソレータが含まれる。アイソレータの材料と寸法とはパッケージからもたらされるマイクロチップの応力(例えば、線形応力及びねじれ応力)を最小にするように選定される。この実施の形態及び他の実施の形態を以下に説明する。
図1は、本発明の種々の実施形態に用いることができるパッケージ化されたマイクロチップ10の概略部分断面を示す。具体的実施形態において、パッケージ化されたマイクロチップ10は、ジャイロスコープとして用いられたMEMS装置である。従って、この目的のために、種々の実施形態がMEMSジャイロスコープとしてここで説明される。従って、図1及び2に示したMEMS装置はジャイロスコープ10である。しかしながら、MEMSジャイロスコープとしての種々の実施形態の説明は典型例を示すのみであり本発明のすべての実施形態を制限することを意図するものでないことに注意すべきである。従って、実施の形態によっては、集積回路のような他の形式のマイクロチップ装置に適用することができる。加えて、本発明の実施の形態を、MEMSベースの光学スイッチング装置及びMEMSベースの加速度計のような他の形式のMEMS装置にも適用することができる。さらに、本発明の実施の形態を、胴体をプラスチックにしたパッケージ等の気密シールされていないパッケージに組み込まれたマイクロチップ装置に適用することも可能である。
図1に示したジャイロスコープ10には、通常のパッケージ12と、パッケージを気密シールする蓋14と、シールされた内部32に固定された通常のジャイロスコープダイ16とが含まれる。ジャイロスコープダイ16には、与えられた座標に対する相対角位置を計測する周知の機械的構造と電子素子(以下に図2に関連して説明する)とが含まれる。パッケージ12から突き出た複数のピン22がジャイロスコープダイ16と電気的に接続されているので、ジャイロスコープ電子素子と外部装置(例えばコンピュータ)との間の電気的通信が可能となっている。
ジャイロスコープダイ16は、パッケージ12の内部面に直接接続するのではなく、アイソレータ24に接着され、アイソレータ24がパッケージ12の内部32に接着されている。具体的には、図2に、図1に示したパッケージ化されたマイクロチップ10を直線2−2に沿って切断した概略断面が示されている。この図は、パッケージ12とその蓋14と、ダイ16と、アイソレータ24とを明確に示している。
先に説明したとおり、ダイ16には、回転角を機械的に検出する一般的なシリコンMEMS構造18が含まれ、それに電子素子20が付随する。このような構造18と電子素子20(両方とも図2に概略的に示されている)は、例えば絶縁性ウエハー上のシリコンに形成され、1対のシリコン層の間に酸化膜がある。一例として、MEMS構造18には、例えば、シリコン基板26上に複数の湾曲材により可動自在に保持された1以上の振動可能な質量体26が含まれる。この構造18には、振動可能な質量体体を動かしその動きを検出するコムドライブ(comb drive)と検出装置が含まれる。従って電子素子20には、例えば、コムドライブと検出機構とに接続された駆動及び検出電子装置と信号送信回路とが含まれる。電線23は付属電子素子20とピン22とを電気的に接続する。典型的なMEMSジャイロスコープは、両方ともマサチューセッツ州ノースウッドのアナログ・デバイス・インクにより出願された出願番号60/354,610及び60/354,610である同時係属の米国仮特許出願にもっと詳細に説明されている。これらの仮特許出願に開示された事項はそのすべてを参考として本出願に組み込むものとする。
他の実施の形態においては、MEMS構造18と付随の電子素子20とは異なったダイの上に置かれる。例えば、MEMS構造18を有するダイ16を、第1のアイソレータ24を介してパッケージ12に装着するとともに、付随の電子素子20を有するダイ16を第2のアイソレータ24を介してパッケージ12に装着してもよい。あるいは、両方のダイ16を同じアイソレータ24に装着してもよい。場合によっては、一方のダイ16(すなわち応力に敏感なダイ16)をアイソレータ24上に装着し、他方のダイ16(すなわち応力に敏感でないダイ16)をパッケージ12に直接装着してもよい。しかし図示の実施例の原理はこれらの実施形態にも適用されることに注意すべきである。
マイクロチップ、及び/又は、集積回路であるダイ16は、線形応力及びねじれ応力の両方に敏感である。この文脈で、「敏感」とは一般に、ダイ16上の構造、及び/又は、ダイ16上の電子素子20が応力を受けたとき害を受ける可能性があることを言う。例えば、上述のように、ダイ16に加わる応力により質量を支えるたわみが曲がったりちぢんだりする。それにより、質量が所定の割合及び角度で振動しない可能性があり、求積問題(quadrature problem)を引き起こす可能性がある。さらなる例として、コムドライブの位置がずれることもあり、あるいは、電子素子が破損することもある。例示したこれらの望ましくない問題により、MEMSダイ16から得られたデータに誤りを多く発生させる可能性がある。従って、これらの理由により、ダイ16又は他のマイクロチップは「応力に敏感」であると見なすことができる。
これらの応力に関する問題を解決するために、アイソレータ24は、パッケージ12よりもダイ16に近い熱膨張係数を持つ材料により形成される。言い換えれば、アイソレータ24の熱膨張係数はパッケージ12の熱膨張係数よりもダイ基板26の熱膨張係数に近い値にすべきである。具体的実施の形態において、パッケージ12は、一般に熱膨張係数が1℃当たり約7ppmである酸化アルミニウムのようなセラミック材により形成されている。さらには、具体的実施の形態において、基板26は、一般に熱膨張係数が1℃当たり約4ppmのシリコンである。従って、具体的実施の形態において、アイソレータ24の熱膨張係数は7よりも4に近くなっている。アイソレータ24は具体的には、基板26に適合するシリコンにより形成されている。このようにアイソレータ24の熱膨張係数は約4である。従って、アイソレータ24と基板26の両方は、温度変化に応じて実質的に同じ割合で伸縮する。他の実施の形態においては、アイソレータ24はシリコン以外の材料により形成される。しかしながらこのような材料は、具体的にはパッケージ12より基板26の熱膨張係数に近い熱膨張係数を持つ。
このような好ましい結果をもたらすにもかかわらず、それでもやはりアイソレータ24は、酸化アルミニウムのパッケージ12に接触しているので、前述の線形応力を受ける。しかし、アイソレータ24はダイの性能に最小限の影響しか与えないレベルにまでこのような応力を減衰させる。
ダイ16の材料とアイソレータ24の材料とを適合させることに加えて、具体的実施の形態において、アイソレータ24はまた、ねじれ応力の影響を最小限にするような寸法とする。この目的のために、アイソレータ24とダイ16との接着面は接触面が最小限になるような大きさにする。より具体的には、アイソレータ24は上面28でダイ16の底面30と接着している。アイソレータの上面28は、ダイ16の底面30より小さい面積を持ち、このようにして、ダイ底面30とパッケージ12との間に隙間が形成される。従って、ダイ底面30の比較的広い部分はパッケージからもたらされる直接的なねじれ応力を受けることがない。熱膨張係数に基づいて材料を適合させる過程と同様に、アイソレータ24とダイ16の相対的な大きさを選定する過程を「適合」させると称する。
パッケージに組み込まれたダイ16の種々の要素の典型的な寸法は以下の通りである。図2において、X方向は長さを示し、Y方向は高さ(厚さ)を示し、Z方向(図示していないがX方向とY方向とに垂直な方向)は幅を示す。
パッケージ12:高さ:0.12インチ。
ダイ16:長さ:0.17インチ、幅:0.140インチ、高さ:0.027インチ。
アイソレータ24:長さ:0.084インチ、幅:0.084インチ、高さ:0.026インチ。
このような相対的寸法を持つパッケージ化されたマイクロチップはここに記載した目的を十分満足する。もちろん、これらの寸法はほんの参考として記載したものである。他の実施の形態は、このような具体的寸法に制限されるものではない。従って、上記制限内で、異なった寸法のアイソレータ24、パッケージ12、及びダイ16を持つパッケージ化されたマイクロチップ10には、相応の応力の減衰がもたらされる。ある実施の形態においては、アイソレータ24/ダイ16の相対的な大きさが上述に適合しているが、材料は適合していない。他の実施の形態においては、アイソレータ24/ダイ16の相対的な大きさは適合していないが、材料は上述に適合している。
具体的実施の形態において、アイソレータ24はシリコンウエハーであり、ダイ底面30とパッケージの内面の両方に接着剤で接着されている。この接着剤も応力吸収特性を持つことが好ましく、それにより前記応力がさらに減衰する。例示した実施の形態において、接着剤は、カリフォルニア州、サンディエゴのデクスター・エレクトロニクス・マテリアルズから出荷されているデクスター・プロダクトの品番QMI3555のような銀含有ガラス接着剤(silver filled glass adhesive material)である。デクスター・エレクトロニクス・マテリアルズは、ドイツのロックタイト社の1部門である。
アイソレータ24をダイ16とパッケージ12に接着するために他のタイプの材料を用いても良い。そのような材料として、他の銀含有ガラス材、エポキシ、シネートエステル、及びシリコーンが含まれる。種々の実施の形態ではこれらの接着剤が応力吸収特性を持つことが好ましくはあるが、必ずしも必要ではない。加えて、他の一般的な手段をアイソレータ24をダイ16とパッケージ12に接着するために用いてもよい。つまり、接着剤34についての議論は例示であり、本発明の種々の実施形態を限定するものではない。
代わりの実施の形態において、アイソレータ24は、ダイ16と一体化されており、従って同じ材料となっている。他の実施の形態において、アイソレータ24はパッケージ12と一体化されている(すなわち、アイソレータ24はパッケージ12に組み込まれている)。このような実施の形態においては、アイソレータ24とパッケージ12は、熱膨張係数がダイ16の熱膨張係数と比較的近い材料から作られる。例えば、パッケージ12は窒化アルミニウム(AIN)で作ってもよい。
図3は、図1及び2に示したパッケージ化されたマイクロチップ10の組立工程を例示したものである。工程はステップ300から始まり、ここで接着剤34によりアイソレータ24をパッケージ12の内面に接着する。本技術分野における通常の知識を有する者にとっては既知であるが、この内面は一般に「ダイ接着パッド」と呼ばれている。工程はステップ320に進み、ここで基板26の底面30がアイソレータ24の上面28に接着される。ダイ16は次いで、パッケージ12と電気的に接続される(ステップ304)。続いて、ステップ306にて、蓋14がパッケージ12の上部に固定され、内部がシールされる。必要に応じて、蓋14をパッケージ12に固定する前に、パッケージ内部32にガスを注入してもよい。
代替的な実施の形態において、ステップ300と302は逆にする。言い換えれば、このような実施の形態において、アイソレータ24を最初に基板26に接着し、次にアイソレータ24を(基板26が付着した状態で)パッケージ12の内部32に接着する。
本発明の種々の実施形態を例示したが、本技術分野における通常の知識を有する者にとって、本発明の技術範囲を逸脱することなくより有利な種々の変更と改造を加えることができることは明らかである。
前述の発明及び発明の利点は、添付図及び詳細な説明によりさらによく理解されよう。
本発明の具体例により作られたパッケージ化されたマイクロチップの概略部分断面を示す。
図1に示したパッケージ化されたマイクロチップを直線2−2に沿って切断した概略断面を示す。
図1及び2に示したパッケージ化されたマイクロチップの製造工程を示す。
Claims (20)
- パッケージ化されたマイクロチップであって、
マイクロチップ熱膨張係数を持つ応力に敏感なマイクロチップと、
パッケージ熱膨張係数を持つパッケージと、
アイソレータ熱膨張係数を持つアイソレータであって、応力に敏感なマイクロチップとパッケージとの間に結合されているアイソレータと、
を具備し、
前記マイクロチップ熱膨張係数は、パッケージ熱膨張係数よりアイソレータ熱膨張係数に近い値である、
パッケージ化されたマイクロチップ。 - 前記マイクロチップ熱膨張係数と前記アイソレータ熱膨張係数との差は、前記マイクロチップ熱膨張係数と前記パッケージ熱膨張係数との差よりも小さい、請求項1に記載のパッケージ化されたマイクロチップ。
- 前記応力に敏感なマイクロチップはMEMS装置である、請求項1に記載のパッケージ化されたマイクロチップ。
- 前記応力に敏感なマイクロチップには基板上に自在に保持された可動構造が含まれる、請求項3に記載のパッケージ化されたマイクロチップ。
- 前記基板は、基板熱膨張係数を持ち、前記マイクロチップ熱膨張係数は、前記基板熱膨張係数の関数である、請求項4に記載のパッケージ化されたマイクロチップ。
- 前記応力に敏感なマイクロチップにはマイクロチップ面があり、前記アイソレータには前記マイクロチップ面と対向し結合するアイソレータ面があり、該アイソレータ面は、マイクロチップ面の一部分にのみ結合している、請求項6に記載のパッケージ化されたマイクロチップ。
- 前記パッケージはパッケージ面を持ち、前記パッケージ面の一部は前記アイソレータに結合されていて、前記パッケージ面の面積は前記アイソレータ面の面積よりも大きい、請求項6に記載のパッケージ化されたマイクロチップ。
- 前記パッケージはセラミック材でできている、請求項1に記載のパッケージ化されたマイクロチップ。
- 前記アイソレータを前記パッケージに固定する応力吸収材を具備する、請求項1に記載のパッケージ化されたマイクロチップ。
- 基板熱膨張係数を持つ基板に自在に保持された可動構造物を具備するダイと、
アイソレータ熱膨張係数を持つアイソレータと、
前記ダイを収納する内部空洞を形成するパッケージパッケージであって、パッケージ熱膨張係数を持つパッケージと、
を具備するセンサーであって、
前記アイソレータは前記基板と前記パッケージとの間に結合され、
前記基板熱膨張係数は、マイクロチップ熱膨張係数よりアイソレータ熱膨張係数に近い値を持つ、センサー。 - パッケージに固定された蓋であって、前記内部空洞を閉じる蓋を具備する、請求項10に記載のセンサー。
- 前記ダイはジャイロスコープ又は加速度計である、請求項10に記載のセンサー。
- さらに、前記アイソレータを前記パッケージに固定する応力吸収材が含まれる、請求項10に記載のセンサー。
- 前記パッケージの内部空洞は空洞面を持ち、前記基板は基板面を持ち、前記アイソレータは前記基板面の一部分と前記空洞面の一部分との間に隙間を形成させる、請求項10に記載のセンサー。
- 前記パッケージはセラミック材からなる、請求項10に記載のセンサー。
- パッケージ化されたマイクロチップであって、
マイクロチップ熱膨張係数を持つ応力に敏感なマイクロチップと、
前記応力に敏感なマイクロチップをパッケージ化する手段であって、パッケージ熱膨張係数を持つパッケージ化手段と、
前記応力に敏感なマイクロチップを前記パッケージ化手段に固定する手段であって、固定手段熱膨張係数を持つ固定手段と、
前記マイクロチップ熱膨張係数は、前記パッケージ熱膨張係数よりも前記固定手段熱膨張係数に近い値を持つ、
パッケージ化されたマイクロチップ。 - 前記パッケージ化手段にはセラミック材が含まれる、請求項16に記載のパッケージ化されたマイクロチップ。
- 前記固定手段を前記パッケージ化手段に固定する応力吸収材をさらに含む、請求項16に記載のパッケージ化されたマイクロチップ。
- 前記固定化手段は前記応力吸収材の一部分とパッケージ化手段の一部分との間に隙間を形成させる、請求項16に記載のパッケージ化されたマイクロチップ。
- 前記応力に敏感なマイクロチップには基板上に自在に置かれた可動構造が含まれる、請求項16に記載のパッケージ化されたマイクロチップ。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/234,215 US6768196B2 (en) | 2002-09-04 | 2002-09-04 | Packaged microchip with isolation |
PCT/US2003/027815 WO2004022477A1 (en) | 2002-09-04 | 2003-09-04 | Microchip with thermal stress relief means |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005538551A true JP2005538551A (ja) | 2005-12-15 |
Family
ID=31977372
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004534620A Pending JP2005538551A (ja) | 2002-09-04 | 2003-09-04 | 応力除去手段を具備するマイクロチップ |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6768196B2 (ja) |
EP (1) | EP1534624A1 (ja) |
JP (1) | JP2005538551A (ja) |
CN (1) | CN100408470C (ja) |
AU (1) | AU2003270331A1 (ja) |
WO (1) | WO2004022477A1 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007218902A (ja) * | 2006-01-06 | 2007-08-30 | Honeywell Internatl Inc | 分離応力アイソレータ |
JP2008008634A (ja) * | 2006-06-27 | 2008-01-17 | Fujitsu Media Device Kk | 角速度センサ |
WO2008023465A1 (en) * | 2006-08-25 | 2008-02-28 | Kyocera Corporation | Microelectronic machine mechanism device, and its manufacturing method |
JP2015002314A (ja) * | 2013-06-18 | 2015-01-05 | セイコーエプソン株式会社 | 電子デバイス、電子機器、および移動体 |
JP2017028271A (ja) * | 2015-07-23 | 2017-02-02 | アナログ・デバイシズ・インコーポレーテッド | 積層ダイのための応力隔離特徴 |
EP3192771A1 (en) | 2016-01-13 | 2017-07-19 | Seiko Epson Corporation | Electronic device, electronic apparatus, and moving object |
Families Citing this family (46)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW588532B (en) * | 2002-03-29 | 2004-05-21 | Realtek Semiconductor Corp | Management device and method of NAT/NAPT session |
US6946742B2 (en) * | 2002-12-19 | 2005-09-20 | Analog Devices, Inc. | Packaged microchip with isolator having selected modulus of elasticity |
US7166911B2 (en) | 2002-09-04 | 2007-01-23 | Analog Devices, Inc. | Packaged microchip with premolded-type package |
US20040041254A1 (en) * | 2002-09-04 | 2004-03-04 | Lewis Long | Packaged microchip |
US20050056870A1 (en) * | 2002-12-19 | 2005-03-17 | Karpman Maurice S. | Stress sensitive microchip with premolded-type package |
KR100622372B1 (ko) * | 2004-06-01 | 2006-09-19 | 삼성전자주식회사 | 복수개의 구성유닛을 포함하는 자이로센서 및 그 제조방법 |
CN100406373C (zh) * | 2004-07-07 | 2008-07-30 | 日月光半导体制造股份有限公司 | 微镜元件封装构造 |
US7262493B2 (en) * | 2005-01-06 | 2007-08-28 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | System and method for mounting electrical devices |
JP4740678B2 (ja) * | 2005-07-27 | 2011-08-03 | Okiセミコンダクタ株式会社 | 半導体装置 |
WO2007020700A1 (ja) * | 2005-08-18 | 2007-02-22 | C & N Inc | 加速度センサ装置およびセンサ装置 |
WO2008003051A2 (en) * | 2006-06-29 | 2008-01-03 | Analog Devices, Inc. | Stress mitigation in packaged microchips |
US20080222884A1 (en) * | 2007-03-14 | 2008-09-18 | Honeywell International Inc. | Packaging for chip-on-board pressure sensor |
US7694610B2 (en) * | 2007-06-27 | 2010-04-13 | Siemens Medical Solutions Usa, Inc. | Photo-multiplier tube removal tool |
US7798010B2 (en) * | 2007-10-11 | 2010-09-21 | Honeywell International Inc. | Sensor geometry for improved package stress isolation |
US7830003B2 (en) * | 2007-12-27 | 2010-11-09 | Honeywell International, Inc. | Mechanical isolation for MEMS devices |
US8257119B2 (en) * | 2008-12-19 | 2012-09-04 | Honeywell International | Systems and methods for affixing a silicon device to a support structure |
US8614491B2 (en) * | 2009-04-07 | 2013-12-24 | Honeywell International Inc. | Package interface plate for package isolation structures |
US20110042137A1 (en) * | 2009-08-18 | 2011-02-24 | Honeywell International Inc. | Suspended lead frame electronic package |
US9215519B2 (en) | 2010-07-30 | 2015-12-15 | Invensense, Inc. | Reduced footprint microphone system with spacer member having through-hole |
US8803262B2 (en) | 2012-01-17 | 2014-08-12 | Rosemount Aerospace Inc. | Die attach stress isolation |
US8866274B2 (en) | 2012-03-27 | 2014-10-21 | Infineon Technologies Ag | Semiconductor packages and methods of formation thereof |
US9212908B2 (en) | 2012-04-26 | 2015-12-15 | Analog Devices, Inc. | MEMS gyroscopes with reduced errors |
EP2879986B1 (en) * | 2012-07-31 | 2017-04-12 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Device including interposer between semiconductor and substrate |
US8841738B2 (en) | 2012-10-01 | 2014-09-23 | Invensense, Inc. | MEMS microphone system for harsh environments |
US9676614B2 (en) | 2013-02-01 | 2017-06-13 | Analog Devices, Inc. | MEMS device with stress relief structures |
DE102013101731A1 (de) | 2013-02-21 | 2014-09-04 | Epcos Ag | Drucksensorsystem |
DE102013101732A1 (de) * | 2013-02-21 | 2014-08-21 | Epcos Ag | Sensorsystem |
EP2947692B1 (en) | 2013-12-20 | 2020-09-23 | Analog Devices, Inc. | Integrated device die and package with stress reduction features |
US9731959B2 (en) * | 2014-09-25 | 2017-08-15 | Analog Devices, Inc. | Integrated device packages having a MEMS die sealed in a cavity by a processor die and method of manufacturing the same |
US10167189B2 (en) | 2014-09-30 | 2019-01-01 | Analog Devices, Inc. | Stress isolation platform for MEMS devices |
CN105712283B (zh) * | 2014-12-02 | 2018-07-31 | 北京自动化控制设备研究所 | 一种lcc封装应力释放结构 |
DE102014119396A1 (de) * | 2014-12-22 | 2016-06-23 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Druckmesseinrichtung |
US10131538B2 (en) | 2015-09-14 | 2018-11-20 | Analog Devices, Inc. | Mechanically isolated MEMS device |
ITUB20154017A1 (it) * | 2015-09-30 | 2017-03-30 | St Microelectronics Srl | Dispositivo incapsulato di materiale semiconduttore a ridotta sensibilita' nei confronti di stress termo-meccanici |
DE102015117736A1 (de) * | 2015-10-19 | 2017-04-20 | Endress+Hauser Gmbh+Co. Kg | Druckmesseinrichtung |
US10278281B1 (en) * | 2015-10-30 | 2019-04-30 | Garmin International, Inc. | MEMS stress isolation and stabilization system |
CN105668507A (zh) * | 2016-01-22 | 2016-06-15 | 中国科学院地质与地球物理研究所 | Mems芯片的封装结构及封装方法 |
US11127716B2 (en) | 2018-04-12 | 2021-09-21 | Analog Devices International Unlimited Company | Mounting structures for integrated device packages |
CN108622847A (zh) * | 2018-05-03 | 2018-10-09 | 河北美泰电子科技有限公司 | Mems传感器的封装方法及封装结构 |
US11417611B2 (en) | 2020-02-25 | 2022-08-16 | Analog Devices International Unlimited Company | Devices and methods for reducing stress on circuit components |
US11981560B2 (en) | 2020-06-09 | 2024-05-14 | Analog Devices, Inc. | Stress-isolated MEMS device comprising substrate having cavity and method of manufacture |
US11664340B2 (en) | 2020-07-13 | 2023-05-30 | Analog Devices, Inc. | Negative fillet for mounting an integrated device die to a carrier |
RU2748290C1 (ru) * | 2020-09-15 | 2021-05-21 | Акционерное общество "Инерциальные технологии "Технокомплекса" (АО "ИТТ") | Чувствительный элемент микромеханического акселерометра |
CN114804006A (zh) * | 2021-01-29 | 2022-07-29 | 华为技术有限公司 | 封装结构、基板、封装方法 |
CN114112120A (zh) * | 2021-11-12 | 2022-03-01 | 南京英锐创电子科技有限公司 | 传感器封装结构及方法 |
CN115285934A (zh) * | 2022-08-10 | 2022-11-04 | 河北美泰电子科技有限公司 | 一种解决mems惯性芯片焊接应力的装配方法及装配外壳 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4710744A (en) | 1985-04-08 | 1987-12-01 | Honeywell Inc. | Pressure transducer package |
US4800758A (en) | 1986-06-23 | 1989-01-31 | Rosemount Inc. | Pressure transducer with stress isolation for hard mounting |
US4872047A (en) | 1986-11-07 | 1989-10-03 | Olin Corporation | Semiconductor die attach system |
US4948757A (en) | 1987-04-13 | 1990-08-14 | General Motors Corporation | Method for fabricating three-dimensional microstructures and a high-sensitivity integrated vibration sensor using such microstructures |
US4740410A (en) | 1987-05-28 | 1988-04-26 | The Regents Of The University Of California | Micromechanical elements and methods for their fabrication |
US4918032A (en) | 1988-04-13 | 1990-04-17 | General Motors Corporation | Method for fabricating three-dimensional microstructures and a high-sensitivity integrated vibration sensor using such microstructures |
US5105258A (en) * | 1990-11-21 | 1992-04-14 | Motorola, Inc. | Metal system for semiconductor die attach |
US5241133A (en) * | 1990-12-21 | 1993-08-31 | Motorola, Inc. | Leadless pad array chip carrier |
JPH04258176A (ja) | 1991-02-12 | 1992-09-14 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体圧力センサ |
DE4107658A1 (de) | 1991-03-09 | 1992-09-17 | Bosch Gmbh Robert | Montageverfahren fuer mikromechanische sensoren |
US5315155A (en) | 1992-07-13 | 1994-05-24 | Olin Corporation | Electronic package with stress relief channel |
IL106790A (en) | 1992-09-01 | 1996-08-04 | Rosemount Inc | A capacitive pressure sensation consisting of the bracket and the process of creating it |
US5336928A (en) * | 1992-09-18 | 1994-08-09 | General Electric Company | Hermetically sealed packaged electronic system |
US5468999A (en) * | 1994-05-26 | 1995-11-21 | Motorola, Inc. | Liquid encapsulated ball grid array semiconductor device with fine pitch wire bonding |
US5994161A (en) * | 1997-09-03 | 1999-11-30 | Motorola, Inc. | Temperature coefficient of offset adjusted semiconductor device and method thereof |
US5945605A (en) | 1997-11-19 | 1999-08-31 | Sensym, Inc. | Sensor assembly with sensor boss mounted on substrate |
JP2002005951A (ja) * | 2000-06-26 | 2002-01-09 | Denso Corp | 半導体力学量センサ及びその製造方法 |
-
2002
- 2002-09-04 US US10/234,215 patent/US6768196B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2003
- 2003-09-04 CN CNB038210754A patent/CN100408470C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2003-09-04 JP JP2004534620A patent/JP2005538551A/ja active Pending
- 2003-09-04 EP EP03752017A patent/EP1534624A1/en not_active Withdrawn
- 2003-09-04 WO PCT/US2003/027815 patent/WO2004022477A1/en active Application Filing
- 2003-09-04 AU AU2003270331A patent/AU2003270331A1/en not_active Abandoned
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007218902A (ja) * | 2006-01-06 | 2007-08-30 | Honeywell Internatl Inc | 分離応力アイソレータ |
JP2008008634A (ja) * | 2006-06-27 | 2008-01-17 | Fujitsu Media Device Kk | 角速度センサ |
US7557667B2 (en) | 2006-06-27 | 2009-07-07 | Tamagawa Seiki Co., Ltd. | Angular rate sensor |
WO2008023465A1 (en) * | 2006-08-25 | 2008-02-28 | Kyocera Corporation | Microelectronic machine mechanism device, and its manufacturing method |
US8159059B2 (en) | 2006-08-25 | 2012-04-17 | Kyocera Corporation | Microelectromechanical device and method for manufacturing the same |
JP2015002314A (ja) * | 2013-06-18 | 2015-01-05 | セイコーエプソン株式会社 | 電子デバイス、電子機器、および移動体 |
JP2017028271A (ja) * | 2015-07-23 | 2017-02-02 | アナログ・デバイシズ・インコーポレーテッド | 積層ダイのための応力隔離特徴 |
EP3192771A1 (en) | 2016-01-13 | 2017-07-19 | Seiko Epson Corporation | Electronic device, electronic apparatus, and moving object |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2004022477A1 (en) | 2004-03-18 |
US6768196B2 (en) | 2004-07-27 |
CN1678513A (zh) | 2005-10-05 |
US20040041248A1 (en) | 2004-03-04 |
CN100408470C (zh) | 2008-08-06 |
AU2003270331A1 (en) | 2004-03-29 |
EP1534624A1 (en) | 2005-06-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2005538551A (ja) | 応力除去手段を具備するマイクロチップ | |
US20040041254A1 (en) | Packaged microchip | |
US6946742B2 (en) | Packaged microchip with isolator having selected modulus of elasticity | |
EP1794081B1 (en) | Packaged microchip with premolded-type package | |
US20170073218A1 (en) | Mechanically Isolated MEMS Device | |
JP5463173B2 (ja) | 角速度検出装置 | |
WO2010134181A1 (ja) | チップの実装構造、及びそれを備えたモジュール | |
JP4337099B2 (ja) | 加速度センサ | |
US20150192602A1 (en) | Inertial force sensor | |
US7836764B2 (en) | Electrical device with covering | |
KR20050010038A (ko) | 미세 기계 구성요소 및 대응 제조 방법 | |
US20070228499A1 (en) | MEMS device package with thermally compliant insert | |
JP2005127750A (ja) | 半導体センサおよびその製造方法 | |
JP2010085143A (ja) | 加速度センサー | |
JP5712755B2 (ja) | 加速度検出器、加速度検出デバイス及び電子機器 | |
JP5838694B2 (ja) | 物理量検出器、物理量検出デバイス及び電子機器 | |
JP4706634B2 (ja) | 半導体センサおよびその製造方法 | |
Wang | Considerations for mems packaging | |
JP5299353B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2011107017A (ja) | ダイアフラム付電子デバイス | |
WO2007020700A1 (ja) | 加速度センサ装置およびセンサ装置 | |
JP6462128B2 (ja) | 半導体装置 | |
Wilde | 30 Years of Sensors' Assembly and Packaging 1988 to 2018. | |
JP2006153516A (ja) | 加速度センサ | |
Yun et al. | Stress isolation structures in MEMS gyroscope packages |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060904 |
|
A072 | Dismissal of procedure [no reply to invitation to correct request for examination] |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A073 Effective date: 20070109 |