JP3761327B2 - 半導体読出専用メモリ装置 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明が属する技術分野】
本発明は半導体読出専用メモリ(read only memory;ROM)に関するものであり、より具体的にはメモリセル(memory cells)になる金属酸化物半導体電界効果トランジスター(metal oxide semiconductor field effect transistor;MOSFET)が配列に連結され、アドレス遷移検出(address transition detection;ATD)を採用し、そして、階層的なビットライン構造(hierarchical line architecture)を持つノア型マスクロム(NOR type mask ROM)装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図1には、ATD技術を使用する典型的なROM装置が図示されている。図1を参照すると、このROM装置はメモリセルアレイ(memory cell array)10と、入力バッファー回路(input buffer circuits)12,14,16及び18,カラムパス回路(column pass circuit)20,感知増幅器回路(sense amplifercircuit)22,データラッチ回路(data latch circuit)24,ロープリデコーダー回路(row pre−decoder circuit)26,カラムプリデコーダー(column pre−decoder circuit)28,ATD回路30及びデータ出力バッファー回路(data output buffer circuit)32を含んである。ATD回路30はショートパルス発生回路(shortーpulse generation circuits)34,36及び38、サメーター(summator)40,読出制御回路(リードアウトコントロールサーキット:read control circuit)42から構成される。
【0003】
入力バッファー12,14,16及び18には外部からチップイネーブル信号(chip enable signal)、ローアドレス信号(row address signals)、カラムアドレス信号(column address signals)及び出力イネーブル信号(output enable signal)が各々印加される。入力バッファー12,14,16及び18は入力された外部信号を内部信号CEPi、RAPi、CAPi及びOEiとして各々出力する。ローアドレスバッファー14及びカラムアドレスバッファー16からのローアドレス信号RAPi及びカラムアドレス信号CAPiは、ロープリデコーダー回路26及びカラムプリデコーダー28に各々印加される。プリデコーダー回路26及び28はローアドレス信号RAPi及びカラムアドレス信号CAPiによりセルアレイ10の特定メモリセルを選択する。
【0004】
図1に図示されたように、入力バッファー12,14及び16からのチップイネーブル信号CEPi、ローアドレス信号RAPi、カラムアドレス信号CAPiはATD回路30内のショートパルス発生回路34,36及び38に各々印加される。ショートパルス発生回路34は、チップイネーブル信号の遷移が生じるとショートパルスを発生する。これと同じように、残りのショートパルス発生器36及び38各々も、少なくとも一つの入力アドレスの遷移が生じるとショートパルスを発生する。ショートパルス発生回路34,36及び38の出力パルスはサメーター40に印加される。サメーター40はショートパルス発生回路34,36及び38からのパルスを一つずつ縛って所定の幅を持つ一つのパルス信号SMOを発生する。読出制御回路42は、サメーター40からのパルス信号SMOに応答してプリチャージ制御信号(precharge control signal)(PRE)及び感知増幅制御信号(sense amp con
tral signal)(SACS)bar(以後図中では、SASCの上部に線を付した符号で示す。)を発生する。ビットラインのプリチャージ動作はプリチャージ制御信号PREが所定の電圧レベルに維持される間に遂行される。
【0005】
感知増幅器回路22は,プリデコーダー回路26及び28により選択されたセルに貯蔵されたデータを感知し、増幅してデータラッチ回路24に提供する。ラッチ回路24のデータは出力インエーブル信号OEiに応答して動作するデータ出力バッファー回路32を通じて外部に出力される。
【0006】
図2は広く使用されているNOR型マスクROM(“水平的な(lateral)マスクROM”とも言う)の一つのセルアレイブロックの等価回路図である。図2に図示されたようにこのROMの各セルアレイブロックでは、ビットラインが階層的に提供される。具体的に、ビットラインは基板上に規定(define)された対応するカラムを従って各々伸張するメーンビットライン(main−bit lines)MBL1,MBL2,…,等とサブビットライン(sub−bit lines)SBL1,SBL2,…,等で構成される。各メーンビットラインは,アウミニウムAl等からなる金属ビットライン(metal bit lines)であり、各サブビットラインは拡散層(diffusion layer)からなる拡散ビットライン(diffusion bit line)である。一つのメーンビットラインには二つのサブビットラインが対応する。各セルアレイブロックで、サブビットラインは二つのグループ(group)で区別される。グループ中の一つは奇数番(odd−numbered)サブビットラインSBL1,SBL3,…,等であり、他の一つは偶数番(even−numbered)サブビットラインSBL2,SBL4,…,等である。
【0007】
又、図2に図示されたROMの各セルアレイブロックでは、MOSFETからなるメモリセルMmn(m=1,2,…、i:n=1,2,…、j)がワードラインWL1〜WLiを交差する複数のサブビットラインSBL1,SBL2、…、等と関連して並列に連結される。具体的に、各メモリセルMmnはカラム方向に伸張する対となった各サブビットラインSBL1及びSBL2,SBL3,及びSBL4,…等とロー方向に伸張するワードラインWL1〜WLiが交差することにより規定される各セル領域に配置される。各ロー上のメモリセルのゲートは、対応するワードラインに連結される。よく知られているように、マスクROMで、MOSFETからなるセル各々はデータ“0”のオフ−セル状態(off−cell state)、すなわち、高いスレショルド電圧(要するに、5V)を持つ状態とデータ“1”のオン−セル状態(on−cell state)すなわち、低いスレショルド電圧(要するに、0.5V)を持つ状態中のいずれかでプログラムされる。
【0008】
そして、ストリング選択トランジスターST0,ST1,…等はサブビットライン中で、偶数番のサブビットラインSBL2,SBL4,…、等各々の上側の端にソース端子が接続され、偶数番目のサブビットラインSBL2,SBL4,…、等の間に提供される偶数番のメーンビットラインMBL2,MBL4,…、等にドレーン端子が共通に接続され、それらのゲートがストリング選択ラインSS0及びSS1に交代に接続される。奇数番のサブビットラインSBL1,SBL3,…、等各々の下側の端にドレーン端子が接続されるグラウンド選択トランジスターGT0,GT1,…,等は奇数番のメーンビットラインMBL1,MBL3,…,等にソース端子が共通に接続され、それらのゲートがグラウンド選択ラインGS0及びGS1に交代に接続される。ここで、トランジスターはnMOSFETからなっている。
【0009】
図3はダミーセルの構成例を示す等価回路図である。図3を参照すると、nMOSFETであるT1及びT4は図2のストリング選択トランジスター(string selection transistor)に対応され、nMOSFETであるT2,T5,及びT6は図2のメモリセルに対応され、ラインL1及びL2の抵抗成分は図2のサブビットライン(sub−bit line)の抵抗成分に対応され、そして、nMOSFETであるT3及びT7は図2のグラウンド選択トランジスター(ground selection transistor)に対応される。ダイセルはデータ‘1’が貯蔵されたメモリセルとデータ‘0’が貯蔵されたメモリセルを通じて流れる電流量の折半に該当する電流が流れるように形成され、データ読出動作する時の感知増幅器回路22の基準電位(reference potential)を提供する。ダミーセルは図面に図示された方法と別に設計されることができるのはこの分野の通常的知識を持った人々によく知られている事実である。
【0010】
図4は従来のデータ読出パスによる半導体読出専用メモリ装置の構成を示す流れ図である。
【0011】
図4を参照すると、アドレス信号(図示せず)によりアドレシングされたメーンセルアレイ10内のメモリセルに貯蔵されたデータは、ビットラインスイッチ回路46及びデータライン選択回路48から構成されたカラムパス回路20を介して感知増幅器回路22の感知ライン(sense line)、SLに伝達される。感知増幅器回路22の基準ラインRLは、ダミーセルに接続されている。ビットラインスイッチ回路46の詳細回路が図5に図示されている。
【0012】
図5を参照すると、ビットラインスイッチ回路46は選択信号YA0〜YAqに応答してメーンビットラインとデータラインを電気的に接続させる。ビットラインスイッチ回路46はメーンビットラインMBLk(k=0,1,…,z)中、所定の数を一つのスイッチブロックで分割して選択信号YA0〜YAqにより独立的に制御されるようになっている。例えば、選択信号YA0がハイレベルに印加される時、選択信号YA0に該当するスイッチブロック46aだけが活性化され、残りのスイッチブロックは非活性化される。ここで、所定の数はデータ出力構造により可変される。例えば、メモリ装置が8ビットデータ出力構造である場合、8つのメーンビットラインが一つのブロックで構成され、それが16ビットデータ出力構造である場合、16個のメーンビットラインが一つのブロックで構成される。図5には8ビットデータ出力構造を一例として図示している。従って、データラインDL1,DL2,…,DL8の数も各ブロック内の8つのメーンビットラインの数と同一に配列される。各スイッチブロック46a,…,46bは、nMOSFETであるSWTq0〜SWTq7が提供され、nMOSFETであるSWTq0,SWTq1,…,SWTq7(qは0あるいはそれより大きな定数)は該当するメーンビットラインとデータラインDL1,DL2,…,DL8の間に各々電流通路が形成され、それらのゲートが該当する選択ラインYA0〜YAqに共通に接続される。
図6は従来技術による図4のデータライン選択回路を示す回路図である。
【0013】
図6に図示されたように、データライン選択回路48は任意の選択信号により選択される図5のスイッチブロックを通じてメーンビットラインに対応するデータラインDL1〜DL8中、選択されるメモリセルに該当するデータラインを感知増幅器回路22に接続させ、それに隣接したデータラインを設置させ、余りの非選択されたデータラインを所定のバイアスラインL3に連結させるためのことである。より具体的に説明すると、データライン選択回路48は選択信号DLS0,DLS1,DLS2,及びDLS3に応答して選択されたメーンビットラインに接続されるデータラインDL1,DL2,…,DL8のうち、偶数番のデータラインDL2,DL4,DL6,及びDL8から一つを選択して感知増幅器回路22の感知ラインSLに接続させるための第1選択器48aと、奇数番のデータラインDL1,DL3,DL5,及びDL7から一つを選択して接地させるための第2選択器48bを含む。ここで、選択信号は図1のカラムプリデコーダー28の出力である。
【0014】
第1選択器48aは偶数番目のデータラインDL2,DL4,DL6,及びDL8各々に対応するインバーターIV1,IV2,IV3、及びIV4と各双のnMOSFETであるT8及びT9,T10及びT11,T12及びT13,そしてT14及びT15から構成される。対となった各nMOSFETであるT8及びT9,T10及びT11,T12及びT13、そして、T14及びT15は該当するデータラインDL2,DL4,DL6、及びDL8とバイアスラインL3の間に、また該当するデータラインDL2,DL4,DL6及びDL8と感知増幅器回路22の感知ラインSLの間に各々電流通路が形成される。そして、感知増幅器回路22の方に接続されたnMOSFETであるT8,T10,T12,及びT14のゲートは、各々該当する選択信号DLS0,DLS1,DLS2,及びDLS3が印加され、バイアスラインL3側に接続されたnMOSFETであるT9,T11,T13及びT15のゲートには、各々対応するインバーターIV1,IV2,IV3,そしてIV4を通じて該当する選択信号DLS0,DLS1,DLS2,及びDLS3が印加される。
【0015】
第2選択器48bは、奇数番目のデータラインDL1,DL3,DL5,及びDL7各々に対応するインバーターIV5,IV6,IV7,IV8と対となった各nMOSFETであるT16及びT17,T18及びT19,T20及びT21,そして、T22及びT23から構成される。対となった各nMOSFETであるT16及びT17,T18及びT19,T20及びT21,そして、T22及びT23は、該当するデータラインDL1,DL3,DL5,及びDL7とバイアスラインL3の間に、そして、該当するデータラインDL1,DL3,DL5,及びDL7と接地の間に各々電流通路が形成される。そして、感知増幅器回路22の方に接続されたnMOSFETであるT16,T18,T20及びT22のゲートは、各々該当する選択信号GDLS0,GDLS1,GDLS2,及びGDLS3が印加され、バイアスラインL3方に接続されたnMOSFETであるT17,T19,T21,及びT23のゲートは各々対応するインバーターIV5,IV6,IV7及びIV8を通じて該当する選択信号GDLS0,GDLS1,GDLS2及びGDLS3が印加される。
【0016】
前記した回路構成を持つデータライン選択回路48の第1選択器48aに印加される選択信号DLS0〜DLS3中、信号DLS0がハイレベルになり、残りの選択信号DLS1,DLS2,及びDLS3がローレベルになる場合には、nMOSFETであるT8,T11,T13,T15がターンオンされ、nMOSFETであるT9,T10,T12,T14がターンオフされるので、データラインDL2は、感知増幅器回路22の感知ラインSLに接続され、データラインDL4,DL6,そしてDL8はバイアスラインL3に接続される。そして、第2選択器48bに印加される選択信号GDLS0〜GDLS3のうち、信号GDLS0がローレベルになり、残りの選択信号GDLS1、GDLS2、及びGDLS3がハイレベルになる時、nMOSFETであるT17,T18,T20、及びT22がターンオンされ、nMOSFETであるT16,T19,T21,及びT23がターンオフされるので、データラインDL1は接地され、余りのデータラインDL3,DL5,DL7はバイアスラインL3に接続される。
【0017】
図7には感知増幅器回路を示す回路図が図示されている。図7を参照すると、感知増幅器回路22は、図6のデータライン選択回路48により選択されるデータラインが、すなわち、感知ラインSLと、よく知られているダミーセル(dummy cell)(図3参照)からのデータセンシングに必要な基準電圧(reference voltage)を受け入れるためのダミーデータライン(dummy data line)あるいは基準ラインDDL,ビットラインプリチャージ時間の間に対応するメーンビットラインをプリチャージするための第1プリチャージ回路52,プリチャージ時間の間に対応するダミービットラインをプリチャージするための第2プリチャージ回路54,電流ミラー型差動増幅器(currentmirror type differential amplifier)56,そして、第1及び第2バイアス回路58及び60を含んでいる。
【0018】
プリチャージ回路52は4つのnMOSFETであるT30,T32,T33,及びT34と2つのpMOSFETであるT29及びT31から構成される。nMOSFETのT30の電流通路は、電源と差動増幅器56の入力ノードN1の間に連結され、それのゲートはATD回路(図1の30参照)からのプリチャージ制御信号PREに連結される。pMOSFETのT29の電流通路は、電源とノードN1の間に連結され、それのゲートもノードN1に連結される。nMOSFETのT33のドレーンソースチャンネルすなわち、電流通路は差動増幅器56の一つの入力ノードN1と感知ラインSLの間に連結される。nMOSFETのT34の電流通路はnMOSFETのT33のゲートとグラウンドの間に連結され、それのゲートは感知ラインSLに連結される。nMOSFETのT32の電流通路はnMOSFETのT33のゲートとグラウンドの間に連結され、それのゲートはATD回路(図1の30参照)からのセンスアンプ制御信号SACSの相補信号(complementary signal)(SASC)barに連結される。pMOSFETのT31の電流通路は電源(power supply)とnMOSFETのT33のゲートの間に連結され、それのゲートは信号(SASC)barに連結される。このプリチャージ回路52で、FETのT29及びT30はビットラインプリチャージ時間の間にメーンビットラインに一定なプリチャージ電流を供給(deliver)する電流源(current source)として作用し、FETのT31〜T33は感知ラインSLすなわち、対応するメーン及びサブビットラインの電圧レベルがnMOSFETのT34のスレショルドレベルと同一になるようにする。
【0019】
プリチャージ回路54も4つのnMOSFETであるT35,T38,T39及びT40と2つのpMOSFETであるT36及びT37から構成される。図示されたように、この回路54のFET中で、差動増幅器56の他の入力ノードN2と対応するダミーデータラインD、すなわち、基準ラインRLの間に連結される電流通路を持つnMOSFETのT40と基準ラインRLに連結されるゲートを持つnMOSFETのT39を除いた余りのFETは回路56の対応するFETと同一な構成を持つ。このプリチャージ回路54で、FETであるT35及びT36もビットラインプリチャージ時間の間に対応するメーンビットラインに一定なプリチャージ電流を供給する電流源として作用し、FETであるT37〜T40は基準ラインRLの電圧レベルがnMOSFETのT39のスレショルドレベルと同一になるようにする。
【0020】
差動増幅器56は電源に接続される一対のpMOSFETであるT24及びT25、FETであるT24及びT25に各々連結されるnMOSFETであるT26及びT27、そして、FETであるT26及びT27の接続点(contact)と接地の間に連結されるnMOSFETのT28で構成される。FETであるT26及びT27各々は同一な特性を持つ。FETであるT26及びT27のゲートはデータ感知区間の間にFETであるT40及びT33を通じて基準ラインDDL及びデータラインDLに各々連結され、FETのT28のゲートはセンスアンプ制御信号SACSに連結される。
【0021】
第1バイアス回路58は2つのnMOSFETであるT41及びT43とpMOSFETのT42から構成される。FETのT41は電源とノードN3にそれの電流通路が形成され、それのゲートにプリチャージ制御信号PREが印加される。ゲートとドレーンが相互接続されたpMOSFETのT42はそれのソースに電源が印加されるにより、それのゲートがノードN3に接続される。第1プリチャージ回路52のnMOSFETのT34のドレーンにゲートが接続されたFETのT43は、ノードN3と図6のデータライン選択回路48のバイアスラインL3の間に電流通路が形成される。
【0022】
第2バイアス回路60も2つのnMOSFETであるT44及びT46とpMOSFETのT45から構成される。FETのT44は電源が印加されるドレーンとノードN4に接続されるソースとプリチャージ制御信号PREが印加されるゲートを持つ。ゲートとドレーンが相互接続され、その上、ゲートがノードN4に接続されたpMOSFETのT45は、そのソースに電源が印加される。第2プリチャージ回路56のnMOSFETのT39のドレーンにゲートが接続されたFETのT46は、ノードN4と図6のデータライン選択回路48のバイアスラインL3の間に電流通路を形成する。
【0023】
上述した回路構成を持つ半導体読出専用メモリ装置は、アドレス信号によりアドレシングされるメモリセルのデータに貯蔵されたデータを感知するために、一つの感知増幅器回路に正しく一つのダミーデータライン、すなわち、基準ラインRLが提供されなければならない。一般的に、半導体読出専用メモリ装置において、データ出力構造により×8モード、×16モード、×32モード、そして、ページ読出モード等、各機能に従って、感知増幅器回路の数が決定される。従って、感知増幅器回路の数が増加することにより、このために必要なダミーデータラインの数が増加するようになる。結局、従来の問題点はダミーデータラインのためにセルアレイ面積が増加することである。
【0024】
【発明が解決しようとする課題】
従って、本発明の目的は高集積可能な半導体読出専用メモリ装置を提供することである。
【0025】
【課題を解決するための手段】
上述したような目的を達成するための本発明の一つの特徴によると、ロー方向に伸張する第1及び第2ビットラインが階層的な構造で形成され、情報ビットを貯蔵するためのメモリセルが第1ビットライン中、隣接した二つのラインの間に接続され、そして、第2ビットラインが第1ビットライン上に配列されるメーンセルアレイと、メモリセルに貯蔵される情報ビットの読出動作する時、基準電位を提供するためのダミーセルのダミーセルアレイと、データラインとアドレス信号をデコーディングして第1、第2、第3、そして、第4選択信号を出力するデコーディング手段と、アドレス信号によりアドレシングされるメモリセルの情報ビットを感知するための感知増幅手段及び、選択信号に応答してデータライン中一つを第2ビットラインを通じてダミーセルアレイを感知増幅手段に接続させるためのスイッチ手段を含む。
【0026】
この実施例において、スイッチ手段は、第2ビットライン中、第1選択信号により選択される第2ビットラインとデータラインを各々電気的に連結させるための第1選択手段と、第2選択信号に応答して、選択された第2ビットライン各々に接続されたデータラインの奇数番目データライン中、一つのデータラインを接地させるための第2選択手段と、第3選択信号に応答して、データラインの偶数番目ライン中、接地されたデータラインに関連された一つの隣接した偶数番目データラインを選択するための第3選択手段と、第3選択信号に応答して非選択された偶数番目データライン中、一つを選択するための第4選択手段と、第4選択信号に応答して第4選択手段により選択されたデータラインに接続される第2ビットラインとダミーセルアレイの該当するダミーセルを電気的に連結させるための第5選択手段を含む。
【0027】
この実施例において、第1選択手段は第2ビットラインの一段に各々接続される第1スイッチを含み、第1スイッチ中、第1選択信号により選択された第2ビットラインに該当する第1スイッチが同時に活性化される。
【0028】
この実施例において、第5選択手段は第2ビットラインの他段に各々接続される第2スイッチを含み、第2スイッチ中、第4選択手段により選択された偶数番目第2ビットラインに関連されたそれだけが活性化され、余りの偶数番目第2ビットラインに関連されたそれらが非活性化される。
【0029】
この実施例において、選択された第2ビットラインに該当する第1スイッチ対第2スイッチの比は2対1である。
【0030】
この実施例において、スイッチはnMOSFETを含む。
【0031】
本発明の他の特徴によると、ロー方向に伸張する第1及び第2ビットラインが階層的な構造で形成され、情報ビットを貯蔵するためのメモリセルが第1ビットライン中、隣接した二つのラインの間に接続され、第2ビットラインが第1ビットライン上に配列されるメーンセルアレイと、メモリセルに貯蔵される情報ビットの読出動作する時、基準電位を提供するためのダミーセルのダミーセルアレイと、データラインと、アドレス信号の遷移を検出して読出動作する時、要求される制御信号を発生するアドレス遷移検出回路を含む半導体読出専用メモリ装置において、アドレス信号をデコーディングしてアレイのローを選択するための第1、第2及び第3選択信号を発生する第1デコーディング手段と、第2ビットライン中、第1選択信号により選択される第2ビットラインとデータラインを各々電気的に連結させるための第1選択手段と、第2及び第3選択信号に応答して、選択された第2ビットライン各々に接続されたデータラインの奇数番目データライン中、一つのデータラインを接地させ、データラインの偶数番目データライン中、接地されたデータラインに関連された一つの隣接した偶数番目データラインを選択すると共に非選択された偶数番目データライン中、一つを選択するための第2選択手段と、アドレス信号をデコーディングして第4選択信号を発生する第2デコーディング手段と、第4選択信号に応答して第2選択手段により選択されたデータラインに接続される第2ビットラインにダミーセルアレイの該当するダミーセルを電気的に連結させるための第3選択手段及び、制御信号に応答して第2選択手段により選択された二つのデータラインの間の電位差を検出し、検出された電位差に該当する情報ビットを出力する感知増幅手段を含むことを特徴とする。
【0032】
この実施例において、第1選択手段は第2ビットラインの一段に各々接続される第1スイッチを含むが、第1スイッチ中、第1選択信号により選択された第2ビットラインに該当する第1スイッチが同時に活性化されることを特徴とする。
【0033】
この実施例において、第3選択手段は第2ビットラインの他段に各々接続される第2スイッチを含むが、第2スイッチ中、第4選択手段により選択された偶数番目第2ビットラインに関連されたそれだけが活性化され、余りの偶数番目第2ビットラインに関連されたそれらが非活性化されることを特徴とする。
【0034】
本発明の他の特徴によると、ロー方向に伸張する第1及び第2ビットラインが階層的な構造で形成され、情報ビットを貯蔵するためのメモリセルが第1ビットライン中、隣接した二つのラインの間に接続され、第2ビットラインが第1ビットライン上に配列されるメーンセルアレイと、メモリセルに貯蔵される情報ビットの読出動作する時、基準電位を提供するためのダミーセルのダミーセルアレイと、データラインと、アドレス信号の遷移を検出して読出動作する時、要求される制御信号を発生するアドレス遷移検出手段と、アドレス信号をデコーディングしてアレイのローを選択するための第1、第2及び第3選択信号を発生する第1デコーディング手段と、第2ビットライン中、第1選択信号により選択される第2ビットラインとデータラインを各々電気的に連結させるための第1選択手段と、第2選択信号に応答して、選択された第2ビットライン各々に接続されたデータラインの奇数番目データライン中、一つのデータラインを接地させるための第2選択手段と、第3選択信号に応答して、データラインの偶数番目データライン中、接地されたデータラインに関連された一つの隣接した偶数番目データラインを選択するための第3選択手段と、第3選択信号に応答して、非選択された偶数番目データライン中、一つを選択するための第4選択手段と、アドレス信号をデコーディングして第4選択信号を発生する第2デコーディング手段と、第4選択信号に応答して第4選択手段により選択されたデータラインに接続される第2ビットラインにダミーセルアレイの該当するダミーセルを電気的に連結させるための第5選択手段及び、制御信号に応答して第3選択手段と第4選択手段により選択された二つのデータラインの間の電位差を検出し、検出された電位差に該当する情報ビットを出力する感知増幅手段を含む。
【0035】
この実施例において、第1選択手段は第2ビットラインの一段に各々接続される第1スイッチを含む。
【0036】
この実施例において、第1スイッチ中、第1選択信号により選択された第2ビットラインに該当する第1スイッチが同時に活性化される。
【0037】
この実施例において、第5選択手段は第2ビットラインの他段に各々接続される第2スイッチを含む。
【0038】
この実施例において、第2スイッチ中、第4選択手段により選択された偶数番目第2ビットラインに関連されたそれだけが活性化され、余りの偶数番目第2ビットラインに関連されたそれらが非活性化される。
【0039】
このような装置により、感知増幅器回路に提供されなければならないダミーデータラインを別度にアレイ領域に配列されなく、メーンセルアレイのメーンビットラインを利用してダミーセルを感知増幅器回路の基準ラインに接続させることができる。
【0040】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例による参照図面の図8ないし図12を用いて詳細に説明する。
【0041】
図8ないし図10を参照すると、本発明の新規な半導体読出専用メモリ装置は、感知増幅器回路22の基準ライン(reference line、RL)として提供されるダミービットラインDBL、すなわち、ダミーデータラインDDLをセルアレイ領域に別途有さず、メーンセルアレイ10のメーンビットラインを通じてダミーセルを感知増幅器回路22の基準ラインに接続させるためのスイッチ回路111が提供されている。すなわち、スイッチ回路111はビットラインスイッチ回路46のスイッチブロックの46a、…、46b中、選択されるスイッチブロックのメーンビットライン中、データセンシングする際に要求される二つのメーンビットラインを除いた余りのメーンビットライン中、一つをダミーデータラインに使用できるようにするのである。これで、たとえデータ出力構造により感知増幅器回路の数が増加しても、メーンビットラインを通じてダミーセルを感知増幅器回路の基準ラインに連結させることができるので、別途のダミーデータラインが要らない。従って、高集積可能な半導体読出専用メモリ装置を具現することができる。
【0042】
図8には、本発明の好ましい実施例による半導体読出専用メモリ装置の構成を示すブロック図が図示されている。
【0043】
本発明による半導体読出専用メモリ装置のアドレスバッファーである12,14,16及び18、メーンセルアレイ10、感知増幅器回路22、データラッチ24、第1デコーダー回路(すなわち、ロープリデコーダー)28、データ出力バッファー32、ダミーセルアレイ44、第1ビットラインスイッチ回路46は、図1のそれらと同一なので、ここではそれらに対する説明を省略する。図8に図示されたように、第2スイッチ回路111は、第2デコーダー130からの選択信号YDxに応答してメーンビットラインMBLzの偶数番目のMBL2k(kは1あるいはそれより大きな定数)の中から、一つを選択し、該当するダミーセルを選択されたメーンビットラインと第1スイッチ回路20を通じて感知増幅器回路22に接続させる。これに関連された詳細回路図が図9に図示されている。
【0044】
図9を参照すると、第1ビットラインスイッチ回路46は、図5のそれらと同一な構成を持つので、それに対した説明は図5を参照する。ここで、図5の構成要素と同一な機能を持つ図9の構成要素に対して同一な参照番号を併記する。第2ビットラインスイッチ回路111は、メーンセルアレイ10のメーンビットラインMBL0〜MBLzのうち、偶数番目のそれらMBL2k(kは1又はそれより大きな定数)に各々ソースが接続され、ドレーンがダミーセルアレイ44に接続されるnMOSFETのDSWT0〜DSWTxを含む。FETのDSWT0〜DSWTxのゲートは、該当する選択信号であるYD0〜YDxが各々印加される。すなわち、第1ビットラインスイッチ回路46の任意のスイッチブロック(例えば、メーンビットラインMBL1〜MBL8に関連されたスイッチブロック46a)が選択される場合、メーンビットラインMBL1が接地され、それに隣接したメーンビットラインMBL2が感知増幅器回路22の感知ラインSLに接続されると仮定する。このような条件下で、選択されるスイッチブロック46aの非選択されたメーンビットラインMBL3〜MBL8中、偶数番目それらのMBL4,MBL6,及びMBL8に該当する第2ビットラインスイッチ回路111のnMOSFETであるDSWT1,DSWT2,及びDSWT3中の一つ(例えば、DSWT2)が第2デコーダー回路130からの選択信号(例えば、YD2)によりターンオンされる。これで、ターンオンされたnMOSFET(DSWT2)を通じてダミーセルに接続されるメーンビットラインが感知増幅器回路22の基準ラインRLに提供される。
【0045】
図10には本発明の好ましい実施例によるデータライン選択回路を示す回路図が図示されている。
【0046】
図10を参照すると、本発明によるデータライン選択回路120は、任意の選択信号(例えば、YA0)により選択される図9のスイッチブロック(例えば、46a)のメーンビットラインMBL1〜MBL8に対応するデータラインDL1〜DL8の偶数番目データラインDL2,DL4,DL6及びDL8中、選択されるメモリセルに該当するデータライン(例えば、DL2)を感知増幅器回路22の感知ラインSLに接続させ、それに隣接したデータライン(例えば、DL1)を接地させると共に、偶数番目のデータラインDL2,DL4,DL6及びDL8中、選択されたラインDL2を除いた余りの偶数番目のそれらDL4,DL6及びDL8から一つを感知増幅器回路22の基準ラインRLに提供するためのことである。
【0047】
より具体的に説明すると、データライン選択回路120は、選択信号であるDLS0,DLS1,DLS2及びDLS3に応答して選択されたメーンビットラインに接続されるデータラインのDL1〜DL8中、偶数番目のデータラインDL2,DL4,DL6及びDL8中、一つを選択して感知増幅器回路22の感知ラインSLに接続させるための第1選択器121と、選択信号のGDLS0,GDLS1,GDLS2及びGDLS3に応答して奇数番目のデータラインであるDL1,DL3,DL5及びDL7から一つを選択して接地させるための第2選択器122と、選択信号であるDLS0,DLS1,DLS2及びDLS3に応答して偶数番目のデータラインのDL2,DL4,DL6及びDL8中、第1選択器121により選択されたことを除いた余りのライン中、一つを選択して感知増幅器回路22の基準ラインRLに接続させるための第3選択器123とを含む。
【0048】
インバーターIV9、IV10,IV11,IV12と対となる各nMOSFETのT48及びT49、T50及びT51,T52及びT53,そして、T54及びT55から構成された第1選択器121と、インバーターIV13,IV14,IV15及びIV16と対となる各nMOSFETであるT56及びT57,T58及びT59、T60及びT61,そして、T62及びT63から構成された第2選択器122は、図6のそれらと同一な方法で接続される。従って、説明が重複しないように、ここではそれらに対しての説明は省略する。
【0049】
再び、図10を参照すると、第3選択器123は第1選択器121と同一な構成と同一な選択信号DLS0,DLS1,DLS2,及びDLS3が印加されるが、それらに各々対応する偶数番目のデータラインがDL6,DL2,DL8及びDL4の順番に配列されることが第1選択器121とは異なっている。すなわち、第1選択器121により選択される偶数番目のデータラインを除いた残りのデータライン中、一つが選択されるように配列される。本発明の好ましい実施例の場合、選択信号DLS0,DLS1,DLS2及びDLS3に各々対応するデータラインDL6,DL2,DL8及びDL4の順番に配列されるが、第3選択器123のデータラインを配列する方法として異なった方法を用いることができることはこの分野の通常的な知識を持つ人々に自明であろう。
【0050】
前記した回路構成を持つデータライン選択回路120の第1選択器121に印加される選択信号中、信号DLS0がハイレベルになり、残りの選択信号DLS1,DLS2,及びDLS3がローレベルになる際には、nMOSFETであるT48,T51,T53,T55がターンオンされ、nMOSFETであるT49,T50,T52,T54がターンオフされるので、データラインDL2が感知増幅器回路22の感知ラインSLに接続され、データラインDL4,DL6、そして、DL8はバイアスラインL3に接続される。そして、第2選択器122に印加される選択信号中、信号GDLS0がローレベルになり、余りの選択信号GDLS1,GDLS2及びGDLS3がハイレベルになる時、nMOSFETであるT57,T58,T60及びT62がターンオンされ、nMOSFETであるT56,T59,T61,T63がターンオフされるので、データラインDL1は接地され、余りのデータラインDL3,DL5,DL7はバイアスラインL3に接続される。これと同時に、第1選択器121に印加された選択信号中、信号DLS0がハイレベルであるので、第3選択器123のnMOSFETのT70がターンオンされ、データラインDL6はFETのT70を通じて感知増幅器回路22の基準ラインRLに接続される。
【0051】
図11には本発明の好ましい実施例による第2ビットラインスイッチ回路111のnMOSFET中、一つを選択するためのデコーダーを示す回路図が図示されている。図11に図示されたように、デコーター130はアドレス中、任意のアドレスをデコーディングするためのナンドゲートG1〜G4と並列接続されたナンドゲートであるG1〜G4の出力を反転させるためのインバーターIV20〜IV23を含む。ここで、デコーダー130の回路構成が別に構成されることができることはこの分野の知識を持つ人々に自明である。
【0052】
図12は本発明の読出動作による制御信号のタイミングを示す図面である。本発明の動作が関連された図面に依拠して以下説明される。図3のメモリセルアレイ10のメモリセルM13に貯蔵されたデータの読出動作が一例として説明される。
【0053】
図12を参照すると、外部から印加されるアドレス信号が遷移されると、アドレス遷移検出回路30からプリチャージ制御回路PRE及びセンスアンプ制御信号SACS及び(SASC)barが発生される。図12に図示されたように、信号PRE及びSACSはハイレベルになり、信号(SASC)barはローレベルになる。信号であるPRE、SACS及び(SASC)barにより感知増幅器回路22の第1及び第2プリチャージ回路52及び54を通じてプリチャージ動作が遂行される。
【0054】
続いて、ロープリデコーダー回路26からの選択信号SS1及びBS1に各々制御されるメーンセルアレイ10のnMOSFETST1,ST3,…、等とGT1,GT3,…、等がターンオンされ、選択されたワードラインWL0に接続されたメモリセルM1mが活性化される。そして、アドレス信号が印加されるカラムプリデコーダー回路28から選択信号YA0〜YAq中、信号YA0がハイレベルにトグルされるにより、第1ビットラインスイッチ回路46のスイッチブロック46a、…、46b中、ブロック46aのnMOSFETであるSWT00〜SWT17がターンオンされる。その結果、メーンビットラインMBL1〜MBL8は該当するデータラインDL1〜DL8に接続される。
【0055】
共に、図12に図示されるように、第1選択器121に印加される選択信号DLS0,DLS1,DLS2及びDLS3中、信号DLS0がハイレベルに遷移されるにより、第1選択器121のnMOSFETのT48がターンオンされ、データラインDL2が感知増幅器回路22の一つの入力端子、すなわち、感知ラインSLに接続される。又、第2選択器122に印加される選択信号GDLS0,GDLS1,GDLS2及びGDLS3中、信号GDLS0がローレベルに遷移されるにより、インバーターIV13を通じてnMOSFETのT57がターンオンされ、その結果データラインDL1が接地される。
【0056】
これと同時に、選択信号DLSS0がハイレベルに遷移されるので、第3選択器123のnMOSFETのT70がターンオンされ、データラインDL6が感知増幅器回路22の他の入力端子、すなわち、基準ラインRLに接続される。ここで、アドレス信号が印加される第2デコーダー回路130から選択信号YD0〜YDq中、信号YD2がハイレベルにトグルされるにより第2ビットラインスイッチ回路111のnMOSFETのDSWT2がターンオンされる。その結果、第3選択器123により選択されたデータラインDL6に関連されたメーンビットラインMBL6が対応するダミーセルに接続される。
【0057】
これで、選択されたメモリセルM13を通じて流れる電流の量がビットラインMBL6が接続されたダミーセルを通じて流れる電流の量より大きな場合には、感知増幅器回路22は選択されたメモリセルM13をデータ‘1’が貯蔵されているオン−セル(ON cell)に判別する。反面、選択されたメモリセルM13を通じて流れる電流の量がビットラインMBL6に接続されたダミーセルを通じて流れる電流の量より少ない場合、感知増幅器回路22は選択されたメモリセルM13をデータ‘0’が貯蔵されているオフセル(OFF cell)に判別する。
【0058】
上述した本発明の読出動作で、感知増幅器回路22の基準ラインとして提供されるダミーデータライン、すなわち、ダミーセルが接続されたダミービットラインを別途にアレイ領域に配列しないで、メーンセルアレイのメーンビットラインの非選択されたメーンビットラインのうちの一つをそれで使用するように半導体読出専用メモリ装置を具現することができる。結局、データ出力構造により感知増幅器回路の数が増加しても、メーンビットラインをダミービットラインに使用する本発明の半導体読出専用メモリ装置のアレイ面積は増加しない。従って、高い集積図を持つ半導体読出専用メモリ装置を提供するようになった。
【0059】
【発明の効果】
前記したように、感知増幅器回路の基準ラインとしてダミービットラインをアレイ領域に具現しないで、メーンアレイのメーンビットラインを使用できるように設計するにより、高い集積度を持つ半導体読出専用メモリ(semiconductor readonly memory、ROM)装置を具現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】アドレス遷移検出を使用する典型的な半導体読出専用メモリ装置の構成を示すブロック図である。
【図2】階層的なビットライン構造を持つ読出専用メモリのコア部分を示す回路図である。
【図3】ダミーセルの構成を示す回路図である。
【図4】従来のデータ読出読出パスによる半導体読出専用メモリ装置の構成を示す流れ図である。
【図5】図4のビットラインスイッチ回路を示す回路図である。
【図6】図4のデータライン選択回路を示す回路図である。
【図7】図4の感知増幅回路を示す回路図である。
【図8】本発明の好ましい実施例による半導体読出専用メモリ装置の構成を示すブロック図である。
【図9】図8のメーンセルアレイとダミーセルアレイに関連された第1及び第2スイッチ回路を示す回路図である。
【図10】図8のデータライン選択回路を示す回路図である。
【図11】図8の第2デコーダーを示す回路図である。
【図12】本発明による読出動作する時のタイミング図である。
【符号の説明】
10…メーンセルアレイ
44…ダミーセルアレイ
46…第1ビットラインスイッチ回路
111…第2ビットラインスイッチ回路

Claims (13)

  1. ロー方向に伸張する第1及び第2ビットラインが階層的な構造で形成され、情報ビットを貯蔵するためのメモリセルが第1ビットラインの隣接した二つのラインの間に接続され、第2ビットラインが第1ビットライン上に配列されるメーンセルアレイと、
    前記メモリセルに貯蔵される情報ビットの読出動作する際に、基準電位を提供するためのダミーセルのダミーセルアレイと、
    データラインと
    アドレス信号をデコーディングして第1,第2,第3,第4選択信号を出力するデコーディング手段と、
    前記アドレス信号によりアドレシングされるメモリセルの情報ビットを感知するための感知増幅手段と、
    前記選択信号に応答して前記データライン中一つを第2ビットラインを通じて前記ダミーセルアレイを感知増幅手段に接続させるためのスイッチ手段とを備え、
    前記スイッチ手段は、第2ビットライン中、前記第1選択信号により選択される第2ビットラインと前記データラインを各々電気的に連結させるための第1選択手段と、
    前記第2選択信号に応答して、選択された第2ビットライン各々に接続されたデータラインの奇数番目データラインのうち、一つのデータラインを接地させるための第2選択手段と、
    前記第3選択信号に応答して、前記データラインの偶数番目データラインのうち、前記接地されたデータラインに関連する一つの隣接した偶数番目データラインを選択するための第3選択手段と、
    前記第3選択信号に応答して、前記非選択された偶数番目データーラインのうち、一つを選択するための第4選択手段と、
    前記第4選択信号に応答して第4選択手段により選択されたデータラインに接続される第2ビットラインと前記ダミーセルアレイの該当するダミーセルを電気的に連結させるための第5選択手段とを含む半導体読出専用メモリ装置。
  2. 前記第1選択手段は、前記第2ビットラインの一段に各々接続される第1スイッチを含み、前記第1スイッチのうち、前記第1選択信号により選択された前記第2ビットラインに該当する第1スイッチが同時に活性化される請求項1に記載の半導体読出専用メモリ装置。
  3. 前記第5選択手段は、前記第2ビットラインの他の段に各々接続される第2スイッチを含み、前記第2スイッチのうち、前記第4選択手段により選択された偶数番目第2ビットラインに関連された前記第2のスイッチだけが活性化され、残りの偶数番目第2ビットラインに関連した前記第2のスイッチが非活性化される請求項2に記載の半導体読出専用メモリ装置。
  4. 前記選択された第2ビットラインに該当する前記第1スイッチ対前記第2スイッチの比は、2対1である請求項3に記載の半導体読出専用メモリ装置。
  5. 前記スイッチは、nMOSFETを含む請求項4に記載の半導体読出専用メモリ装置。
  6. ロー方向に伸張する第1及び第2ビットラインが階層的な構造で形成され、情報ビットを貯蔵するためのメモリセルが第1ビットラインのうち、隣接した二つのラインの間に接続され、前記第2ビットラインが前記第1ビットライン上に配列されるメーンセルアレイと、前記メモリセルに貯蔵される情報ビットの読出動作する際に、基準電位を提供するためのダミーセルのダミーセルアレイと、データラインと、アドレス信号の遷移を検出して読出動作する際に、要求される制御信号を発生するアドレス遷移検出回路を含む半導体読出専用メモリ装置において、
    前記アドレス信号をデコーディングして前記アレイのローを選択するための第1,第2,第3選択信号を発生する第1デコーディング手段と、
    前記第2ビットラインのうちの、第1選択信号により選択される第2ビットラインと前 記データラインを各々電気的に連結させるための第1選択手段と、
    前記第2及び第3選択信号に応答して、前記選択された第2ビットライン各々に接続されたデータラインの奇数番目データラインのうちの、一つのデータラインを接地させ、前記データラインの偶数番目データラインのうちの、前記接地されたデータラインに関連された一つの隣接した偶数番目データラインを選択すると共に前記非選択された偶数番目データラインから一つを選択するための第2選択手段と、
    前記アドレス信号をデコーディングして第4選択信号を発生する第2デコーディング手段と、
    前記第4選択信号に応答して第2選択手段により選択されたデータラインに接続される第2ビットラインに前記ダミーセルアレイの該当するダミーセルを電気的に連結させるための第3選択手段と、
    前記制御信号に応答して第2選択手段により選択された二つのデータラインの間の電位差を検出し、前記検出された電位差に該当する情報ビットを出力する感知増幅手段とを含むことを特徴とする半導体読出専用メモリ装置。
  7. 前記第1選択手段は、前記第2ビットラインの一段に各々接続される第1スイッチを含み、前記第1スイッチのうちの、前記第1選択信号により選択された前記第2ビットラインに該当する第1スイッチが同時に活性化されることを特徴とする請求項6に記載の半導体読出専用メモリ装置。
  8. 前記第3選択手段は、前記第2ビットラインの他の段に各々接続される第2スイッチを含み、前記第2スイッチ中、前記第4選択手段により選択された偶数番目第2ビットラインに関連された前記第2スイッチだけが活性化され、残りの偶数番目第2ビットラインに関連された前記第2のスイッチが非活性化されることを特徴とする請求項6に記載の半導体読出専用メモリ装置。
  9. ロー方向に伸張する第1及び第2ビットラインが階層的な構造で形成され、情報ビットを貯蔵するためのメモリセルが前記第1ビットラインのうち、隣接した二つのラインの間に接続され、前記第2ビットラインが前記第1ビットライン上に配列されるメーンセルアレイと、
    前記メモリセルに貯蔵される情報ビットの読出動作する際に基準電位を提供するためのダミーセルのダミーセルアレイと、
    データラインと、
    アドレス信号の遷移を検出して読出動作する際に要求される制御信号を発生するアドレス遷移検出手段と、
    前記アドレス信号をデコーディングしてアレイのローを選択するための第1,第2,第3選択信号を発生する第1デコーディング手段と、
    前記第2ビットライン中、前記第1選択信号により選択される第2ビットラインと前記データラインを各々電気的に連結させるための第1選択手段と、前記第2選択信号に応答して、前記選択された第2ビットライン各々に接続されたデータラインの奇数番目データライン中、一つのデータラインを接地させるための第2選択手段と、
    前記第3選択信号に応答して、前記データラインの偶数番目データラインのうちの、前記接地されたデータラインに関連された一つの隣接した偶数番目データラインを選択するための第3選択手段と、
    前記第3選択信号に応答して、前記非選択された偶数番目データライン中、一つを選択するための第4選択手段と、
    前記アドレス信号をデコーディングして第4選択信号を発生する第2デコーディング手段と、
    前記第4選択信号に応答して第4選択手段により選択されたデータラインに接続される第2ビットラインに前記ダミーセルアレイの該当するダミーセルを電気的に連結させるための第5選択手段及び、
    前記制御信号に応答して前記第3選択手段と第4選択手段により選択された二つのデータラインの間の電位差を検出し、前記検出された電位差に該当する情報ビットを出力する 感知増幅手段を含む半導体読出専用メモリ装置。
  10. 第1選択手段は、第2ビットラインの一段に各々接続される第1スイッチを含む請求項9に記載の半導体読出専用メモリ装置。
  11. 前記第1スイッチのうち、前記第1選択信号により選択された前記第2ビットラインに該当する第1スイッチが同時に活性化される請求項10に記載の半導体読出専用メモリ装置。
  12. 前記第5選択手段は、前記第2ビットラインの他の段に各々接続される第2スイッチを含む請求項11に記載の半導体読出専用メモリ装置。
  13. 前記第2スイッチのうち、第4選択手段により選択された偶数番目第2ビットラインに関連された前記第2のスイッチだけが活性化され、残りの偶数番目第2ビットラインに関連された前記第2のスイッチが非活性化される請求項12に記載の半導体読出専用メモリ装置。
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