JP3745985B2 - 複素結合型の分布帰還型半導体レーザ素子 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、分布帰還型半導体レーザに関し、更に詳細には、単一モード性に優れ、高電流注入下でも、多モード発振やモードホッピング等の単一モード発振に対する乱れ現象が生じない、しかも製品歩留りの高い構成を有する複素結合型の分布帰還型半導体レーザ素子に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
分布帰還型半導体レーザ素子(以下、DFBレーザと言う)は、複素屈折率の実部または/及び虚部が周期的に変化する構造(以下、回折格子と言う)を共振器内部に有し、回折格子の作用によって特定の波長の光にだけ帰還がかかるように半導体レーザ素子である。
DFBレーザは、回折格子の作用により波長選択性に優れ、しかも、高速動作性が良好なので、光通信、光情報処理等の分野で用いられる光デバイスの光源として多用されている。
DFBレーザは、屈折率結合型DFBレーザ、利得結合型DFBレーザ及び複素結合型DFBレーザの3種類に大別される。
【0003】
屈折率結合型DFBレーザは、共振器内部で複素屈折率の実部のみが周期的に変動しているタイプ、つまり周期的に屈折率を変化させる回折格子を共振器内に備えている半導体レーザ素子である。
そして、屈折率結合型DFBレーザでは、ブラッグ波長を挟んだ2つのモードのしきい値利得の差が小さいために、この2つのモードで発振しがちになり、単一モード発振を持続させることが難しいという弱点を有する。
【0004】
利得結合型DFBレーザは、共振器内部で複素屈折率の虚部のみが周期的に変動しているタイプ、つまり周期的に利得を変化させる、又は周期的に損失を変化させる回折格子を共振器内に備えている半導体レーザ素子である。
利得結合型DFBレーザは、原理的には、ブラック波長での発振が持続するので、利得結合型構造を採用することにより単一モード性に優れた製品の製品歩留まりを改善できるという利点を有するものの、複素屈折率の虚部の周期的変化の振幅を十分大きくすることが困難であるために、十分に大きな結合係数を得難いという問題を有する。
複素結合型DFBレーザは、共振器内部で複素屈折率の実部及び虚部の双方が周期的に変動しているタイプの半導体レーザ素子である。
【0005】
回折格子の形成に当たっては、通常、共振器領域の特定の化合物半導体層に周期的な溝を形成し、形成した溝をその特定の化合物半導体層とは異なる材料で埋め込むことにより、化合物半導体層と埋め込み層と交互に周期的に備える回折格子を形成している。以下、特定の化合物半導体層で形成された溝壁を回折格子の格子層と言い、化合物半導体層と異なる材料で溝を埋め込んだ材料層を埋め込み層と言う。
回折格子の格子層と埋め込み層との間で、屈折率、正確には複素屈折率の実部が相互に異なるようにすることにより、屈折率結合型DFBレーザが構成される。また、利得が相互に異なるようにすることにより、つまり複素屈折率の虚部が異なるようにすることにより、利得結合型DFBレーザが構成される。
【0006】
複素結合型のDFBレーザは、複素屈折率の実部及び虚部の双方が周期的に変動しているタイプであって、屈折率の実部と虚部の周期性の態様からイン−フェイズ(in−phase)型とアンチ−フェイズ(anti−phase)型とに分類される。
イン−フェイズ型とは回折格子の複素屈折率の実部が大きい部分で複素屈折率の虚部も大きくした(つまり、利得を大きくした)構造を言い、一方、アンチ−フェイズ型とは回折格子の複素屈折率の実部が大きい部分で複素屈折率の虚部が小さくなっている構造である。
【0007】
これらの2つの型は、それぞれ、特徴的発振スペクトルを示し、イン−フェイズ型では、ブラッグ波長の極く近傍の長波側のモードで発振が起こり易く、アンチ−フェイズ型ではブラッグ波長の極く近傍の短波側のモードで発振が起こり易い。
イン−フェイズ型は、回折格子の格子層の複素屈折率の実部が埋め込み層の複素屈折率の実部より小さく、かつ、格子層の利得が埋め込み層の利得より小さい、つまり格子層の複素屈折率の虚部が埋め込み層の虚部より小さい。
一方、アンチ−フェイズ型は、回折格子の格子層の複素屈折率の実部が埋め込み層の複素屈折率の実部より大きく、また格子層の利得が埋め込み層の利得より小さい、つまり格子層の複素屈折率の虚部が埋め込み層の虚部より小さい。
【0008】
例えば回折格子として発振波長を吸収するInGaAs層を格子層とし、InP層を埋め込み層とする吸収性回折格子を備えた、1.55μm帯InGaAsP/InP系の複素結合型DFBレーザが提案されている。
本複素結合型DFBレーザの回折格子50は、図6に示すように、屈折率の比較的大きな吸収層(InGaAs)52と、吸収層52の下に設けられ、屈折率が吸収層より小さい下部層(InP)54とを有する格子層56と、屈折率が下部層56と同じ材料で格子層56と格子層56との間を埋め込む埋め込み層(InP)58とを備えていて、アンチ−フェイズ型構造となっている。図6中、60はクラッド層である。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上述した吸収性回折格子を備えた従来の複素結合型DFBレーザには、以下の問題があった。
つまり、回折格子の格子層を形成し、発振波長を吸収して周期的な損失を与えるInGaAs層の屈折率が、格子層の周囲の埋め込み層を構成するInPより大きいため、アンチ−フェイズ型となり、ブラッグ波長の短波側で発振しやすいため、高電流注入下で安定した単一モード動作が得られ難く、多モード発振化や、モードホッピングといった単一モード発振に対する乱れ現象が起こり易いことである。
【0010】
そこで、前述の複素結合型DFBレーザの回折格子のInP層からなる埋め込み層に代えて、InGaAs吸収格子層の周囲をInPより屈折率の高いInGaAsPで埋め込み、複素屈折率の実部の周期構造をなくすことによって、純粋な利得結合型DFBレーザを実現でき、ブラッグ波長での発振が可能になるとする提案が成されている。
つまり、複素屈折率の実部による分布帰還の強さを表す結合係数Kiがゼロ(0)になる一方、複素屈折率の虚部による分布帰還の強さκg は有限の値を示すように構成されている。
【0011】
しかし、上述した吸収性回折格子の格子層の周囲を屈折率の高いInGaAsPで埋め込んで形成した、純粋な利得結合型のDFBレーザでは、複素屈折率の虚部の周期構造のみによって分布帰還を行おうとするため、分布帰還の度合いが弱く、多モード発振、しきい値電流の上昇、及び発光効率の低下といった問題が生じていた。
【0012】
光通信、光情報処理の分野では、益々、大容量のデータを高速で授受する通信方式が要求されているので、光デバイスの光源として要求される半導体レーザ装置でも、単一モード性に優れた信頼性の高いDFBレーザが求められている。
そこで、本発明の目的は、単一モード性に優れ、高電流注入下でも、多モード発振やモードホッピング等の単一モード性に対する乱れ現象が起こり難く、しかも製作に際し、製品歩留りが高くなる構造を備えたDFBレーザを提供することである。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、吸収性回折格子を備えた複素結合型のDFBレーザは、上述のようにブラッグ波長より短波長で発振するという問題があるものの、利得結合型のDFBレーザに比べて、製作が容易で製品歩留りも良好であるという利点を重視し、吸収性回折格子を備えた従来の複素結合型のDFBレーザを改良する研究を行った。
そして、吸収性回折格子を備えた、イン−フェイズ型の複素結合型DFBレーザを構成することにより、ブラッグ波長の長波側のモードで発振が起こり易くして、特に高電流注入下において単一モード性を安定させることを着想し、本発明を発明するに到った。
【0014】
上記目的を達成するためには、上述の知見に基づいて、本発明に係る複素結合型の分布帰還型半導体レーザ素子は、回折格子を共振器内部に備えた複素結合型の分布帰還型レーザ素子において、
回折格子が、共振器の発振波長の光を吸収する吸収層を有する格子層と、格子層の等価屈折率より高い等価屈折率を有し、かつ共振器の発振波長より所定長だけ短波長のバンドギャップ波長を有する材料で格子層の周囲を埋め込んだ埋め込み層とを交互に備えて、屈折率及び利得が周期的に変化するように構成された吸収性回折格子であることを特徴としている。
【0015】
バンドギャップ波長とは、波長に換算したバンドギャップエネルギー、つまりバンドギャップ波長λg(μm)=1.24/Eg(eV)を言う。ここで、Egはバンドギャップエネルギーである。
また、所定長だけバンドギャップ波長を共振器のバンドギャップ波長より短波長側に設定する際、埋め込み層が発振波長を吸収しないようになるために、埋め込み層のバンドギャップ波長を発振波長より100nm程度短波側に設定することが必要である。
これにより、複素結合型のDFBレーザがイン−フェイズ型の構造として構成され、かつ、複素屈折率の実部による分布帰還の強さを表す結合係数Kiが、従来のようにゼロ(0)でなく有限の値になることにより、吸収性回折格子でありながらブラッグ波長の長波側のモードで発振が起こり易くなる。
また、単一モード性が安定して、高注入電流下でも多モード発振やモードホッピングといった現象が起こり難く、高出力で安定した動作が可能なDFBレーザを実現することができる。
【0016】
本発明は、共振器を構成する化合物半導体層の組成、及び回折格子を構成する吸収層、格子層、埋め込み層の組成には制約はない。また、格子層及び埋め込み層が2層以上の積層構造でも良い。
埋め込み層の等価屈折率を格子層の等価屈折率より高くするやり方には制約はなく、例えば、回折格子の格子層が、層厚t1 の吸収層と、吸収層の下に設けられ、屈折率が吸収層より小さい層厚t2 の下部層とを有する層厚d(=t1 +t2 )の積層膜であり、埋め込み層が、屈折率が吸収層の屈折率より小さく、下部層の屈折率より大きな材料からなる層であって、層の膜厚と屈折率との間で、
で表される式が成立するように、格子層を形成する際のエッチングの深さ、及び埋め込み層の屈折率を設定する。
【0017】
更には、回折格子の格子層が、層厚t1 の吸収層と、吸収層の下に設けられ、屈折率が吸収層より小さい層厚t2 の下部層と、吸収層の上に下部層と同じ材料で設けられた層厚(d−t1 −t2 )の上部層とを有する層厚dの3層構造でも良い。その際には、埋め込み層が、一層以上の化合物半導体層で形成され、かつ等価屈折率が吸収層の屈折率より小さく、下部層の屈折率より大きな材料からなる層であって、層の膜厚と屈折率との間で、d×(埋め込み層の等価屈折率)>t1 ×(吸収層の屈折率)+t 2 ×(下部層の屈折率)+(d−t1 −t2 )×(上部層の屈折率)
で表される式が成立する。好適には、共振器の一方の端面に反射防止膜を、他方の端面に高反射率膜を設ける。これにより、DFBレーザの高出力化を容易にすることができる。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下に、実施形態例を挙げ、添付図面を参照して、本発明の実施の形態を具体的かつ詳細に説明する。
実施形態例
本実施形態例は、本発明に係る複素結合型の分布帰還型半導体レーザ素子(以下、簡単にDFBレーザと言う)の実施形態の一例であって、図1は本実施形態例のDFBレーザの構成を示す部分断面斜視図、図2は本実施形態例のDFBレーザの図1の線I−Iでの断面図、及び図3は回折格子の断面図である。
本実施形態例のDFBレーザ10は、吸収性回折格子を備えた、発振波長が1550nmの複素結合型のDFBレーザであって、図1及び図2に示すように、n型InP基板12上に、n型InPバッファ層14、バンドギャップが波長に換算して約1530nmのMQW−SCH活性層16、p型InPスペーサ層18、回折格子20、回折格子20を埋め込んだInGaAsPからなる埋め込み層22、及びp型InPクラッド層24Aからなる積層構造を備えている。
【0019】
積層構造のうちp型InPクラッド層24A、InGaAsP層22、回折格子20、MQW−SCH活性層16、及びn型InPバッファ層14の上部は、活性層幅が約1.5μm程度になるようなストライプ状メサ構造にエッチング加工されている。
また、メサ構造の側部は、電流ブロッキング構造を構成するp型InP層26及びn型InP層28で埋め込まれている。
【0020】
回折格子20は、図2及び図3に示すように、吸収層として設けられた膜厚(t)が20nmのp型InGaAs層20aと、吸収層20aの下の下部層として設けられた層厚(d−t)が40nmのp型InP層20bとからなる高さ(d)が60nmの格子層20cと、格子層20cを埋め込んだInGaAsP層22とから構成されている。下部層を構成するp型InP層20bは、スペーサ層18の上部をエッチングして形成されている。
格子層20cのピッチp、つまり回折格子20の周期Λは240nmで、格子層20cの幅aは60nmである。従って、(a/Λ)×100で表されるデューティ(Duty)比は25%である。
【0021】
本実施形態例では、埋め込み層(InGaAsP)22の組成を調整して、埋め込み層(InGaAsP層)22のバンドギャップ波長(波長換算のバンドギャップ)が発振波長(1550nm)より100nm程度短波側になるように設定し、発振波長の吸収損失が埋め込み層22で生じないようにしている。
具体的には、埋め込み層22のInGaAsPの屈折率nInGaAsPが、nInGaAsP=3.46になるように調整されている。
【0022】
以上の構成によって、本実施形態例の回折格子20では、屈折率及び利得が周期的に変化する吸収性回折格子として構成されている。
また、回折格子20では、図2及び図3のA−A'断面及びB−B'断面で、両断面での光の閉じ込め分布が等しいとするならば、格子層20cの周囲のB−B'断面の等価屈折率、即ち埋め込み層22の等価屈折率が、A−A'断面の等価屈折率、即ち格子層20cの等価屈折率より大きいという次の式の条件が成立しているので、イン−フェイズ型構造が実現している。
t・nInGaAs+(d−t)・nInP <d・nInGaAsP ・・・・・・(1)
ここで、nInGaAsP は埋め込み層のInGaAsPの屈折率であって、nInGaAsP =3.46、nInGaAsは吸収層のInGaAsの屈折率であって、nInGaAs=3.54、nInP はInPの屈折率であって、nInP =3.17、tは吸収層(InGaAs)の層厚であって、t=20nm、dは格子層の層厚であって、d=60nmである。
尚、吸収層20a上に、更に下部層20bと同じ材料の上部層を設け、3層構造の格子層を形成しても良い。
【0023】
回折格子20で、格子層20cの周囲のB−B'断面の等価屈折率、即ち埋め込み層22の等価屈折率が、A−A'断面の等価屈折率、即ち格子層20cの等価屈折率より大きいという関係は、図7に示すように、図示される。
図7で、右下がりの曲線(1)は、格子層20cの高さ又は上面からの深さ(d、図3参照)と等価格子層20cの断面A−A′の等価屈折率との関係を示し、横線(2)、(3)及び(4)は、それぞれ、埋め込み層22の等価屈折率nInGaAsPが3.46、3.43、及び3.41であることを示す。つまり、図7は、埋め込み層22の等価屈折率nInGaAsPが小さくなるほど、格子層20cの深さ(d)を深くすることが必要であることを示している。
本実施形態例では、nInGaAsPが3.46であって、格子層20cの深さ(d)が図7の曲線(1)と横線(2)の交点である約25nm以上である限り、上の(1)式が成立する。
【0024】
メサ構造のp型InPクラッド層24A上及びn型InP層28上には、p型InPクラッド層の約2μm厚の再成長層24及び金属電極とのコンタクトをとるために高ドープしたp型InGaAsキャップ層30が設けられている。
また、p型キャップ層30上には、p側電極32としてTi/Pt/Au多層金属膜、n型InP基板12の裏面には、n側電極34としてAuGeNi膜が形成されている。
以上の構造を備えたウエハを劈開によりバー化し、バーの一方の端面にAR膜(反射防止膜)が、他方の端面にHR膜(高反射率膜)がコーティングにより設けてあって、これによりレーザ出力が前端面より効率よく取り出されるため、高出力化を図ることができる。
その後、チップ化され、更に、キャンパッケージのステムにボンディングされて、複素結合型のDFBレーザ製品となっている。
【0025】
次に、図4及び図5を参照して、本実施形態例のDFBレーザ10の作製方法を説明する。図4(a)から(c)及び図5(d)から(f)は、それぞれ、本実施形態例のDFBレーザを作製する際の工程毎の断面図である。
まず、MOCVD結晶成長装置を用いて成長温度600℃で、図4(a)に示すように、n型InP基板12上に、順次、n型InPバッファ層14、MQW−SCH活性層16、膜厚200nmのp型InPスペーサ層18、膜厚20nmのInGaAs吸収層20aをエピタキシャル成長させ、積層体を形成する。活性層16のバンドギャップ波長は、約1530nmである。
【0026】
続いて、電子ビーム描画装置等を使って形成した所定パターンのエッチングマスク(図示せず)を使ってドライエッチング法により、InGaAs吸収層20aを貫通して、更に40nmの深さまでInPスペーサ層18をエッチングし、図4(b)に示すように、高さ60nmの格子層20aと、深さ60nmの溝42を形成する。また、回折格子のduty比は25%程度とする。
【0027】
次に、図4(c)に示すように、MOCVD装置にてInGaAsP層22の埋め込み再成長を行い、溝42を埋め込む。
この際、埋め込むInGaAsP層22のバンドギャップを波長に換算して発振波長より100nm程度短波側にすることにより、発振波長の吸収損失が埋め込み層22で生じないようにする。本実施形態例では、埋め込むInGaAsPの屈折率は、1.55μmの発振波長に対してnInGaAsP=3.46とする。
更に、上部クラッド層としてp型InPクラッド層24Aを成膜する。
【0028】
次いで、プラズマCVD装置を用いて基板全面にSiNx膜を成膜し、続いてフォトリソグラフィ処理とRIEによって、図5(d)に示すように、SiNx膜を幅4μmのストライプ状に加工して、SiNxマスク44形成する。尚、図5(d)は、図4(c)の線II−IIで紙面に直交する断面を示している。
【0029】
SiNxマスク44をエッチングマスクとしてp型InPクラッド層24A、埋め込み層22、回折格子20、活性層16、及び下部クラッド層(n型InPバッファ層)14をエッチングして、図5(e)に示すように、活性層幅が約1.5μm程度となるように調整したストライプ状メサ構造を形成する。
続いて、SiNxエッチングマスク44を選択成長マスクとして使い、ストライプ状メサ構造を埋め込むようにして、p型InP層26及びn型InP層28を成長させ、キャリアブロック層を形成する。
【0030】
次いで、図5(f)に示すように、SiNxマスク44を除去した後、n型InP層28及びp型InPクラッド層24A上に層厚約2μmのp型InPクラッド層24を再成長させ、更に、電極との良好なコンタクトをとるためにp型ドーパントを高ドープしたInGaAsキャップ層30を成長させる。
【0031】
n型InP基板12の裏面を研磨して基板厚が120μm程度になるように基板の厚さを調整し、p側電極32としてキャップ層30上にTi/Pt/Au金属多層膜を形成し、n型InP基板12の裏面にはn側電極34としてAuGeNi金属膜を形成する。
以上の工程を経たウエハを劈開によりバー化し、コーティング法によりバーの一方の端面にAR膜、他方の端面にHR膜を成膜する。その後、チップ化し、キャンパッケージのステムにボンディングすることにより、製品のDFBレーザを作製することができる。
【0032】
本実施形態例のDFBレーザ10の評価試験
本実施形態例のDFBレーザ10と同じ構成のDFBレーザをDFBレーザ素子として上述の方法に従って100個を作製した。
そして、100個のDFBレーザ素子を動作させたところ、9割以上のDFBレーザ素子が良好な単一モード発振を行い、また、それらのDFBレーザ素子では45〜50dBという大きな値の副モード抑圧比が得られた。また、しきい値電流は、9mA程度と低かった。
DFBレーザ素子のうち80個以上の素子では、図8(a)に示すように、ブラッグ波長(ストップバンド(SB))の長波長側での発振が見られ、そのうちの殆どのDFBレーザ素子では、しきい値電流の50倍までの高電流注入下でも、多モード発振やモードホッピング等といった不安定な動作は起こらなかった。
【0033】
本実施形態例のDFBレーザ10との性能比較のために、回折格子20の格子層20cの周囲をInGaAsPに代えてInPで埋め込んだことを除いて、実施形態例のDFBレーザ10と同じ構成を備えた100個のDFBレーザを従来例DFBレーザとして作製した。
上述のDFBレーザ素子と同様にして従来例DFBレーザを評価した。従来例DFBレーザも、良好な単一モード発振で動作し、副モード抑圧比としては45〜50dBという大きな値が得られたものの、従来例DFBレーザの100個のうち、その大部分が、図8(b)に示すように、ブラッグ波長(ストップバンド(SB))の短波長側で発振した。また、しきい値電流の10倍の高注入電流値下で、短波長側で発振した従来例DFBレーザのうちの40個は、多モード発振あるいはモードホッピングといった現象が生じることが確認された。
尚、しきい値電流は9mA程度と低かった。
【0034】
以上の評価試験から、本実施形態例のDFBレーザ10は、従来例DFBレーザよりも単一モード性に優れ、本実施形態例のDFBレーザ10の構成を適用することにより、良好な単一モード性を有する製品を高い歩留まりで作製できることが判る。これは、発振波長をブラッブ波長より長波側に設定したことによる効果である。
また、DFBレーザ10は、しきい値電流が9mA程度と低く、しかもしきい値電流の50倍の高注入電流値下でも、多モード発振あるいはモードホッピングといった現象が生じない。
【0035】
【発明の効果】
本発明によれば、共振器の発振波長を吸収する吸収層を有する格子層と、格子層の等価屈折率より高い等価屈折率を有し、かつ共振器の発振波長より所定長だけ短波長のバンドギャップ波長を有する材料で格子層の周囲を埋め込んだ埋め込み層とを備える吸収性回折格子を形成して、屈折率及び利得が周期的に変化するように構成することにより、ブラッグ波長の長波長側で発振し、かつ良好な単一モード性を示し、高電流注入下でも、多モード発振やモードホッピングといった現象が生じ難い、複素結合型の分布帰還型半導体レーザ素子を実現している。
そして、本発明に係る分布帰還型半導体レーザ素子の構成を適用することにより、良好な単一モード性を有する分布帰還型半導体レーザ素子製品を高い歩留まりで作製することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施形態例のDFBレーザの構成を示す部分断面斜視図である。
【図2】実施形態例のDFBレーザの図1の線I−Iでの断面図である。
【図3】回折格子の断面図である。
【図4】図4(a)から(c)は、それぞれ、実施形態例のDFBレーザを作製する際の工程毎の断面図である。
【図5】図5(d)から(f)は、それぞれ、図4(c)に続いて、実施形態例のDFBレーザを作製する際の工程毎の断面図である。
【図6】従来のDFBレーザの回折格子の断面図である。
【図7】格子層の深さと、格子層及び埋め込み層の等価屈折率との関係を示すグラフである。
【図8】図8(a)及び(b)は、実施形態例のDFBレーザ及び従来のDFBレーザの発振波長とストップバンド(SB)との関係を示す図である。
【符号の説明】
10 実施形態例のDFBレーザ
12 n型InP基板
14 n型InPバッファ層
16 MQW−SCH活性層
18 p型InPスペーサ層
20 回折格子
20a InGaAs層
20b InP層
20c 格子層
22 InGaAsPからなる埋め込み層
24A p型InPクラッド層
24 再成長p型InPクラッド層
26 p型InP層
28 n型InP層
30 p型InGaAsキャップ層
32 p側電極
34 n側電極
Claims (4)
- 回折格子を共振器内部に備えた複素結合型の分布帰還型レーザ素子において、
回折格子が、共振器の発振波長の光を吸収する吸収層を有する格子層と、格子層の等価屈折率より高い等価屈折率を有し、かつ活性層のバンドギャップ波長より所定長だけ短波長のバンドギャップ波長を有する材料で格子層の周囲を埋め込んだ埋め込み層とを交互に備えて、屈折率及び利得が周期的に変化するように構成された吸収性回折格子であることを特徴とする複素結合型の分布帰還型半導体レーザ素子。 - 回折格子の格子層が、層厚t1 の吸収層と、吸収層の下に設けられ、屈折率が吸収層より小さい層厚t2 の下部層とを有する層厚d(=t1+t2 )の積層膜であり、
埋め込み層が、一層以上の化合物半導体層で形成され、かつ等価屈折率が吸収層の屈折率より小さく、下部層の屈折率より大きな材料からなる層であって、層の膜厚と屈折率との間で、
d×(埋め込み層の等価屈折率)>t1 ×(吸収層の屈折率)+(d−t1 )×(下部層の屈折率)
で表される式が成立することを特徴とする請求項1に記載の複素結合型の分布帰還型半導体レーザ素子。 - 回折格子の格子層が、層厚t1 の吸収層と、吸収層の下に設けられ、屈折率が吸収層より小さい層厚t2 の下部層と、吸収層の上に下部層と同じ材料で設けられた層厚(d−t1 −t2 )の上部層とを有する層厚dの積層膜であり、
埋め込み層が、一層以上の化合物半導体層で形成され、かつ等価屈折率が吸収層の屈折率より小さく、下部層の屈折率より大きな材料からなる層であって、層の膜厚と屈折率との間で、
d×(埋め込み層の等価屈折率)>t1 ×(吸収層の屈折率)+t 2 ×(下部層の屈折率)+(d−t1 −t2 )×(上部層の屈折率)
で表される式が成立することを特徴とする請求項1に記載の複素結合型の分布帰還型半導体レーザ素子。 - 共振器の一方の端面に反射防止膜が、他方の端面に高反射率膜が設けられていることを特徴とする請求項1から3のうちのいずれか1項に記載の複素結合型の分布帰還型半導体レーザ素子。
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