JP3744521B2 - 電気光学装置及び電子機器 - Google Patents
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Description
まず、本発明の実施形態における電気光学装置の全体構成について、図1及び図2を参照しながら説明する。なお、図1は、TFTアレイ基板をその上に形成された各構成要素とともに対向基板20の側からみた平面図であり、図2は図1のH−H´断面図である。
次に、本発明の実施形態における電気光学装置の画素部における構成について、図3から図5を参照して説明する。ここに図3は、電気光学装置の画像表示領域を構成するマトリクス状に形成された複数の画素における各種素子、配線等の等価回路である。また図4は、データ線、走査線、画素電極等が形成されたTFTアレイ基板の相隣接する複数の画素群の平面図であり、図5は図4のA−A´断面図である。なお、図5においては、各層・各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、該各層・各部材ごとに縮尺を異ならしめてある。
以下では、本発明の電気光学装置の周辺領域における構成について、図6を参照して説明する。ここに図6は、前述した画像表示領域の周囲を規定する周辺領域上に形成されたTFT200等の構成について図示する断面図である。
このように、本実施形態においては、図5に示した各種要素と、図6に示した各種要素とは、同一の機会に形成されていることにより、一方を製造することが、同時に他方を製造することを意味し、製造工程の簡略化、或いは製造コストの低廉化等を実現することができる。
次に、以上詳細に説明した電気光学装置をライトバルブとして用いた電子機器の一例たる投射型カラー表示装置の実施形態について、その全体構成、特に光学的な構成について説明する。ここに、図12は、投射型カラー表示装置の図式的断面図である。
Claims (9)
- 基板上に、
データ線と、
前記データ線に電気的に接続される第1のスイッチング素子と、
前記第1のスイッチング素子に対応して設けられる画素電極とを備えてなり、
前記基板は、前記画素電極及び前記第1のスイッチング素子の形成領域として規定される画像表示領域と、該画像表示領域の周囲を規定する周辺領域とを有し、
前記周辺領域には、前記データ線に対する画像信号の供給を制御するための第2のスイッチング素子と、
該第2のスイッチング素子と層間絶縁膜を介して形成された遮光膜と、
前記第2のスイッチング素子を構成する半導体層およびゲート電極膜と、
前記半導体層のチャネル領域を狭むように位置するソース領域及びドレイン領域とを備えてなり、
前記遮光膜は、平面視して、前記ソース領域及び前記ドレイン領域に対応する部分にそれぞれ分断されて形成されており、それぞれ前記ゲート電極膜の端部と重なり合っていることを特徴とする電気光学装置。 - 基板上に、
走査線と、
前記走査線に電気的に接続される第1のスイッチング素子と、
前記第1のスイッチング素子に対応して設けられる画素電極とを備えてなり、
前記基板は、前記画素電極及び前記第1のスイッチング素子の形成領域として規定される画像表示領域と、該画像表示領域の周囲を規定する周辺領域とを有し、
前記周辺領域には、前記走査線に対する前記走査信号の供給を制御するための第2のスイッチング素子と、
該第2のスイッチング素子と層間絶縁膜を介して形成された遮光膜と、
前記第2のスイッチング素子を構成する半導体層およびゲート電極膜と、
前記半導体層のチャネル領域を狭むように位置するソース領域及びドレイン領域とを備えてなり、
前記遮光膜は、平面視して、前記ソース領域及び前記ドレイン領域に対応する部分にそれぞれ分断されて形成されており、それぞれ前記ゲート電極膜の端部と重なり合っていることを特徴とする電気光学装置。 - 前記遮光膜及び前記ゲート電極膜を平面視した形状は長方形状を含み、
前記遮光膜は、平面視して前記長方形状における長辺の部分において前記ゲート電極膜と重なり合っていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の電気光学装置。 - 前記第2のスイッチング素子は、当該電気光学装置の製造段階において、前記第1のスイッチング素子と同時に形成されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の電気光学装置。
- 前記遮光膜は、前記第1のスイッチング素子の少なくとも一部と重なり合っていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の電気光学装置。
- 前記遮光膜は、遮光性材料からなることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の電気光学装置。
- 基板上に、
データ線と、
前記データ線に電気的に接続される第1のスイッチング素子と、
前記第1のスイッチング素子に対応して設けられる画素電極とを備えてなり、
前記基板は、前記画素電極及び前記第1のスイッチング素子の形成領域として規定される画像表示領域と、該画像表示領域の周囲を規定する周辺領域とを有し、
前記画像表示領域には、前記第1のスイッチング素子と層間絶縁膜を介して形成され、平面視して、前記第1のスイッチング素子のチャネル領域、ソース領域およびドレイン領域を覆うように形成された下側遮光膜を備え、
前記周辺領域には、前記データ線に対する画像信号の供給を制御するための第2のスイッチング素子と、
該第2のスイッチング素子と前記層間絶縁膜を介して形成された遮光膜と、
前記第2のスイッチング素子を構成する半導体層のチャネル領域を狭むように位置するソース領域及びドレイン領域とを備えてなり、
前記遮光膜は、平面視して、前記第2のスイッチング素子の前記ソース領域及び前記ドレイン領域に対応する部分にそれぞれ分断されて形成されており、それぞれ前記第2のスイッチング素子の前記チャネル領域の端部と重なり合っていることを特徴とする電気光学装置。 - 基板上に、
走査線と、
前記走査線に電気的に接続される第1のスイッチング素子と、
前記第1のスイッチング素子に対応して設けられる画素電極とを備えてなり、
前記基板は、前記画素電極及び前記第1のスイッチング素子の形成領域として規定される画像表示領域と、該画像表示領域の周囲を規定する周辺領域とを有し、
前記画像表示領域には、前記第1のスイッチング素子と層間絶縁膜を介して形成され、平面視して、前記第1のスイッチング素子のチャネル領域、ソース領域およびドレイン領域を覆うように形成された下側遮光膜とを備え、
前記周辺領域には、前記走査線に対する前記走査信号の供給を制御するための第2のスイッチング素子と、
該第2のスイッチング素子と前記層間絶縁膜を介して形成された遮光膜と、
前記第2のスイッチング素子を構成する半導体層のチャネル領域を狭むように位置するソース領域及びドレイン領域とを備えてなり、
前記遮光膜は、平面視して、前記第2のスイッチング素子の前記ソース領域及び前記ドレイン領域に対応する部分にそれぞれ分断されて形成されており、それぞれ前記第2のスイッチング素子の前記チャネル領域の端部と重なり合っていることを特徴とする電気光学装置。 - 請求項1乃至8のいずれか一項に記載の電気光学装置を具備してなることを特徴とする電子機器。
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