JP3741240B2

JP3741240B2 - 実装機における部品吸着ノズルユニット

Info

Publication number: JP3741240B2
Application number: JP35542596A
Authority: JP
Inventors: 武明小塚
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1996-12-24
Filing date: 1996-12-24
Publication date: 2006-02-01
Anticipated expiration: 2016-12-24
Also published as: JPH10190295A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばプリント配線板にＩＣ（集積回路）等の電子部品を実装してプリント回路板を形成する実装機において、上記電子部品を吸着して所定の位置まで搬送し、これを実装するための部品吸着ノズルを精度良く保持するための部品吸着ノズルユニットに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、電子部品をプリント配線板に実装する作業の自動化が積極的に進められている。
【０００３】
図８はプリント回路板を製造する実装機の一例を示す概略構成配置図である。図８において、この実装機１は、メイン駆動部Ａ２、メイン駆動部Ｂ３、ヘッドフレーム部４、メインフレーム部５、手動ハンドル部６、ロータリーユニット７、前切カッターユニット８、下切カッターユニット９、Ｚ軸ユニット１０、エアユニット１１、ローディングユニット１２、基板搬送ユニット１３、基板位置決めユニット１４、アンローディングユニット１５とで構成されている。
【０００４】
図９は図８に示した実装機におけるロータリーユニット７の構成を概略的に示すもので、このロータリーユニット７は、下側に複数のノズルユニット１６が設けられていると共に、このノズルユニット１６を個々に制御するためのメカバルブ部１７が設けられている。
【０００５】
図１０はロータリーユニット７におけるステーション機能レイアウト図である。すなわち、各ノズルユニット１６は、このステーション機能レイアウト図に示すように、ロータリーユニット７にインデックスされて順次回転されながら、ステーションＳ１〜Ｓ１２まで間欠的に移動され、各ステーションＳ１〜Ｓ１２で所定の動作を行うようになっている。
【０００６】
さらに詳述すると、ステーションＳ１では、ワークであるところのパーツ（ここでは電子部品）の突き上げ、パーツフィード、吸着ノズル下降、吸着メカバルブ切換等が行われパーツを吸着する。ステーションＳ２ではパーツを保持しているノズルが角度θだけ回転され、パーツの向きを変える。ここでは、ノズルが図示せぬθ補正ギアにて装着姿に近い角度、例えば０゜，９０゜，１８０゜，２７０゜の、４種の何れかの角度に回転する。
【０００７】
ステーションＳ３では部品（パーツ）高さが検出され、その部品厚みの良否を判定する。ステーションＳ４ではビジョンＰ光学ユニットにより実際にノズルで吸着されている部品の角度及びＸ，Ｙ座標が画像処理にて測定され外形の良否を判定する。次いで、ステーションＳ６にて正常部品の装着角度と測定角度の差（△θ）を図示せぬθ補正ギアにて角度補正する。
【０００８】
ステーションＳ７では装着ノズルの下降と装着メカバルブの切換及びＸ，ＹテーブルのＸ，Ｙ補正が行われ、基板に部品が装着される。ステーションＳ９では不良部品の廃棄及びノズルチェックが行われ、ステーションＳ１０では装着工程における部品大きさによりノズルのセレクトが行われる。ステーションＳ１１ではノズルが原点（θ＝０）に戻され、ステーションＳ１２ではそのノズルが原点に戻されたか否かのチェックが行われる。また、ステーションＳ１２からステーションＳ１に戻って再び同じ動作が繰り返される。
【０００９】
図１１は、実装機における従来のノズルユニット１６の構造を詳細に示す側面図であり、一部を破断して示している。このノズルユニット１６では、ノズル５１が５本レイアウトされており、これが吸着される電子部品の大小で、その電子部品に適したノズル５１が選択される。
そのノズル５１の構成を説明すると、このノズル５１は、大きくはアウターホルダー部５２と、インナーホルダー部５３と、ノズルスライド部５４と、ノズル部５５等で構成されている。
【００１０】
さらに詳述すると、アウターホルダー部５２は支軸側に回転可能に取り付けられており、その一部にはインナーホルダー部５３を上下方向にスライド自在に保持しているガイド孔５６が形成されている。また、ガイド孔５６の上端部分には上下に延びる状態にして一対のガイド用長孔５７が、互いに１８０度変位した位置にそれぞれ形成されている。
【００１１】
インナーホルダー部５３は、一端（上端）側がアウターホルダー部５２のガイド孔５６内にスライド自在に配設されていて、その中心には他端（下端）側からノズルスライド部５４をスライド自在に受け入れて保持するためのガイド孔６０が形成されている。このガイド孔６０は、大径のガイド孔６０ａと小径のガイド孔６０ｂが連続して形成されており、他端側に大径のガイド孔６０ａを設けた構造になっている。なお、大径のガイド孔６０ａには、ガイド用長孔６１が形成されている。さらに、インナーホルダー部５３の一端側には、このインナーホルダー部５３を左右に横切ってスライドピン５８が取り付けられており、またインナーホルダー部５３の左右に突出されたスライドピン５８の両端部分５８ａ，５８ｂはガイド用長孔５７にスライド自在に係合されている。加えて、アウターホルダー部５２とインナーホルダー部５３との間にはコイルスプリング５９を配設しており、このコイルスプリング５９によりインナーホルダー部５３を常に上方に付勢している。
【００１２】
ノズルスライド部５４は、一端（上端）側を小径のガイド孔６０ｂにスライド自在に挿入させて取り付けられており、他端（下端）側に部品を吸着保持するためのノズル部５５が一体に形成されている。また、ノズルスライド部５４の中間部分には、大径のガイド孔６０ａ内に、スライド自在に配設されたガイド用大径部６２が一体に形成されている。そのガイド用大径部６２の周面にはインナーホルダー部５３側のガイド用長孔６１にスライド自在に係合されたスライドピン６３が取り付けられている。さらに、ノズルスライド部５４とインナーホルダー部５３との間にはコイルスプリング６４を配設しており、このコイルスプリング６４によりノズルスライド部５４を常に下方に付勢している。
【００１３】
このように構成されたノズルユニット１６では、電子部品（不図示）上に配置されて、インナーホルダー部５３が図示せぬ手段により押下されると、コイルスプリング５９の付勢に抗してインナーホルダー部５３がアウターホルダー部５２に対して下降する。そして、ノズルスライド部５４のノズル部５５が電子部品に押し付けられる。また、さらに押し付けられると、コイルスプリング６４が撓んで、ノズルスライド部５４とインナーホルダー部５３との間のスライドを伴って、その押し付け力を吸収する。また、この状態でノズルスライド５４内が図示せぬ手段により負圧化されると、電子部品を吸着保持する。
続いて、インナーホルダー部５３に対する押下力が解かれると、コイルスプリング５９の反発力でインナーホルダー部５３が上昇すると共に、コイルスプリング６４の反発力によるノズルスライド部５４の復帰を伴い、ノズル部５５が電子部品を吸着保持したまま上昇する。続いて、この状態で、所定の位置まで運ばれ、次に実装位置で実装作業が行われる。
【００１４】
この実装作業を図１４乃至図１６を用いて説明すると、この実装作業では図１６に示すように、例えばプリント基板に設けられているランド７１の上にＩＣ７０のリード７２を乗せ、画像処理測定しながらランド７１で囲まれた部分のＸ座標ラインＡ−ＡとＹ座標ラインＢ−Ｂ（図１５参照）、及びこのＸ座標ラインＡ−ＡとＹ座標ラインＢ−Ｂの交点（中心）０1に、ＩＣ７０のＸ座標ラインａ−ａとＹ座標ラインｂ−ｂ（図１４参照）、及びこのＸ座標ラインａ−ａとＹ座標ラインｂ−ｂの交点（中心）０2をそれぞれ重ね合わせた状態で実装される。したがって、理想的な状態は図１６に示すように、中心０1と中心０2とが一致し、かつＸ座標ラインＡ−Ａ，ａ−ａとＹ座標ラインＢ−Ｂ，ｂ−ｂとが重ねられた状態である。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したノズルユニット１６の構造では、ガイド用長孔６１とスライドピン６３との係合によりノズルスライド部５４がインナーホルダー部５３に対して上下方向にスライドされると共に、ガイド用長孔５７とスライドピン５８との係合によりノズルスライド部５４がアウターホルダー部５２に対しインナーホルダー部５３を介して上下方向にスライドされる構造になっている。
【００１６】
そこで、例えば、スライドピン５８に着目すると、このスライドピン５８は、インナーホルダー部５３の一端側を貫通して形成されている孔６５に、この貫通孔６５を貫通した状態で取り付けらている。これを図１２（ａ），（ｂ）を用いて説明すると、一般にスライドピン５８と貫通孔６５との間には、組立性を良くするのにすきま公差が持たされており、このすきま公差δによって角度θのロストモーションがあった。
【００１７】
また、スライドピン６３に着目すると、このスライドピン６３は、ノズルスライド部５４とインナーホルダー部５３の回り止めを兼ねており、ここでも図１３に示す如く一般にスライドピン６３とガイド用長孔６１との間にすきま公差δが持たされており、このすきま公差によって角度θのロストモーションがあった。
【００１８】
したがって、ノズル部５５がＩＣ７０を吸収した後に画像処理測定の結果に対して図示せぬ補正機構を用いて正確に補正しても、ロストモーションがあるために正確な補正ができず、ファインピッチＩＣ等ではリード７２がランド７１から外れるような装着不良が起きていた。図１７は、このロストモーションによって、ランド７１とＩＣ７０とがずれる状態を示したものである。すなわち、図１７では、ノズルスライド部５４とインナーホルダー部５３及びアウターホルダー部５２との間に角度θのずれがあると、リード先端のずれは距離Ｌだけ発生することを示している。
【００１９】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は部品を吸着して所定の位置に搬送し、かつ正確に位置決めすることができる構造にした部品吸着ノズルユニットを提供することにある。さらに、他の目的は、以下に説明する内容の中で順次明らかにして行く。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記目的を達成するため次の技術手段を講じたことを特徴とする。
すなわち、本発明は、部品を吸着保持するノズル部を先端に持つノズルスライド部と、前記ノズルスライド部をスライド自在に保持するインナーホルダー部と、前記インナーホルダー部をスライド自在に保持する固定側アウターホルダー部とを備え、前記インナーホルダー部が、前記アウターホルダー部に対して、前記インナーホルダー部と前記アウターホルダー部とに設けられたガイド用長孔とスライドピンとの係合を介し回り止めされた状態で上下スライド自在に保持されているとともに、前記インナーホルダー部と前記アウターホルダー部との間に設けられた付勢手段により上方へ付勢されている実装機における部品吸着ノズルユニットにおいて、前記スライドピンが前記インナーホルダー部に設けられた貫通孔に挿通されており、前記貫通孔内に設けられて、溝幅が前記スライドピンの外径寸法より小さく、前記スライドピンの外周を２つの溝縁に線接触させて位置決めすることにより、スライドピンと貫通孔の内径とのすきま公差によるロストモーションを取り除くための位置決め用の溝を有している構成である。
また、本発明の他の構成は、部品を吸着保持するノズル部を先端に持つノズルスライド部と、前記ノズルスライド部をスライド自在に保持するインナーホルダー部とを備え、前記ノズルスライド部が、前記インナホルダー部に対して、前記ノズルスライド部と前記インナーホルダー部とに設けられたガイド用長孔とスライドピンとの係合を介し回り止めされた状態で上下スライド自在に保持されてなる実装機における部品吸着ノズルユニットにおいて、前記ノズルスライド部側に前記スライドピンを受け入れる溝を設け、かつ該溝内の上側内面を下広がりの傾斜面に形成して、前記溝内に前記スライドピンを保持すると共に前記スライドピンの両側を前記インナーホルダー部に設けられた前記ガイド用長孔に係合して、前記スライドノズル部が前記ガイド用長孔に沿って最下端位置までスライドされると、前記スライドピンが前記ガイド用長孔の下孔内面から受ける反力で前記傾斜面に沿って前記スライドノズル部を径方向へ押して、スライドピンとガイド用長孔とのすきま公差によるロストモーションを取り除くようにしたものである。
【００２１】
以上の本発明によれば、何れの構成であっても、スライドピンが溝内に受け入れられて、貫通孔とスライドピンとの間、または、ガイド用長孔とスライドピンとの間に存在するすきま公差を実効的に取り除いて位置決めするので、すきま公差によるローストモーションを無くして、部品を精度良く所定の位置に装着することが可能になる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に述べる形態は、本発明の好適な具体例であるから技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。
【００２３】
図７は本発明の好ましい実施の一形態としての部品吸着ノズルユニットを示すもので、図１１に示した従来の部品吸着ノズルユニットに代えて図９に示す部品吸着ノズルユニットとして使用できるものである。そして、このノズルユニット１６でも、従来の構造と同様にノズル１は５本レイアウトされており、これが吸着される電子部品の大小で、その電子部品に適したノズル１が選択される。
そのノズル１の構成をさらに説明すると、ノズル１は、大きくはアウターホルダー部２と、インナーホルダー部３と、ノズルスライド部４と、ノズル部５等で構成されている。
【００２４】
さらに詳述すると、アウターホルダー部２は支軸側に回転可能に取り付けられている。このアウターホルダー部２には、インナーホルダー部３を上下方向にスライド自在に保持しているガイド孔６が形成されている。また、ガイド孔６の上端部分には上下方向に延びる状態にして一対のガイド用長孔７が、互いに１８０度変位した位置にそれぞれ形成されている。
【００２５】
インナーホルダー部３は、一端（上端）側がアウターホルダー部２のガイド孔６内にスライド自在に配設されていて、中心には他端（下端）側からノズルスライド部４をスライド自在に受け入れて保持するためのガイド孔１０が形成されている。このガイド孔１０は、大径のガイド孔１０ａと小径のガイド孔１０ｂが連続して形成されおり、他端（下端）側に大径のガイド孔１０ａを設けた構造になっている。なお、大径のガイド孔１０ａには、左右に分かれて一対のガイド用長孔１１が形成されている。
【００２６】
さらに、図１乃至図３においても詳細に示しているように、インナーホルダー部３の一端側には、このインナーホルダー部３を左右に横切ってスライドピン８が取り付けられており、またインナーホルダー部３の左右に突出されたスライドピン８の両端部分８ａ，８ｂはガイド用長孔７にスライド自在に係合されている。なお、スライドピン８が横切って挿入されているインナーホルダー部３側の貫通孔３０には、スライドピン８の上側において、このスライドピン８に沿った状態にしてスリット状に形成されている位置決め用の溝３１が設けられている。この溝３１の幅寸法はスライドピン８の外径寸法よりも小さく、溝３１内に受け入れられたスライドピン８を、２つの溝縁３１ａ，３１ｂ（図１，図２参照）に各々線接触させて位置決めできる構造になっている。加えて、アウターホルダー部２とインナーホルダー部３との間にはコイルスプリング９を配設しており、このコイルスプリング９によりインナーホルダー部３を図７に示されるごとくインナーホルダー部３の上側外周でスライドピン８の下側に配置されている部材ａを介して常に上方に付勢している。
そして、コイルスプリング９の付勢力によって、スライドピン８が溝３１内に入り込む状態にコイルスプリング９および部材ａを介して押し付けられて、この溝縁３１ａ，３１ｂとの線接触によりすきま公差δが例え存在していたとしても、これが影響されないように、すなわち実効的に取り除かれ、これにより動きが拘束されて同じ場所（又は位置）に保持され、この拘束による保持でロストモーションが除去される（図１参照）。ここで、図１はインナーホルダー部３とスライドピン８との組立状態を示す図で、図２はスライドピン８の周辺構造を一部を破断して示す側面図、図３は図２のＤ−Ｄ線に沿う概略断面図である。
【００２７】
一方、ノズルスライド部４は、図４乃至図６にも詳細に示しているように、一端（上端）側を小径のガイド孔１０ｂにスライド自在に挿入させて取り付けられており、他端（下端）側に部品を真空吸着して保持するためのノズル部５を有している。また、ノズルスライド部４の略中間部分には、大径のガイド孔１０ａ内に、上下スライド自在に配設されたガイド用大径部１２が一体に形成されている。このガイド用大径部１２の周面にはインナーホルダー部３側のガイド用長孔１１にスライド自在に係合されているスライドピン１３が取り付けられている。このスライドピン１３は、ガイド用大径部１２の周面に形成されている断面略Ｖ字状の溝３３に保持され、左右方向に延ばされた状態で配置されている（図５参照）。そして、スライドピン１３の両側は、インナーホルダー部３のガイド用長孔１１にスライド自在に係合されていると共に、その両端部が各対応する長孔１１を貫通して外側に突出されてナット等の抜け止め部材１３ａを装着することにより抜けないようになっている。
【００２８】
ここで、ガイド用長孔１１は、スライドピン１３を介してノズルスライド部４のスライド量を規制するものである。その上端には、スライドピン１３の外径よりも大きい幅の逃げ溝３４と、スライドピン１３が逃げ溝３４側に移動されて来たときに、スライドピン１３を逃げ溝３４内に向かってガイドするための傾斜面３５とが設けられている（図６参照）。また、Ｖ字状の溝３３は、スライドピン１３を溝内に受け入れる大きさに形成されている。これに加え、図６の拡大部に示す如くスライドピン１３が長孔１１の下孔内面１１ａ，１１ｂに接した最下端位置にスライドされた状態で、その下孔内面１１ａ，１１ｂから受ける反力でＶ字状の上側を形成している傾斜面３３ａに沿ってスライドノズル部４を径方向へ押し易く（つまり、くさび作用にて押し易く）するものである。このため、溝３３の形状は、少なくともスライドピン１３の上側を斜め上向きに横切る傾斜面３３ａを有していればよい。そして、ノズルスライド部４が後述するコイルスプリング１４の付勢力により下方へ押され、スライドピン１３と長孔１１との係合状態で長孔１１の最下端位置まで変位されると、スライドピン１３が下孔内面１１ａ，１１ｂに当接される。すると、スライドピン１３が下孔内面１１ａ，１１ｂから受ける反力を、傾斜面３３ａに沿って受けて（つまり傾斜面３３ａのくさび作用により）ノズルスライド部４を図６の拡大部中、左側（つまり径方向）へ押し付ける。この結果、図５に示す如くノズルスライド部４とインナーホルダー部３との間にすきま公差δが存在していたとしても、ノズルスライド部４はそのすきま公差δに影響されないように、すなわち実効的に取り除かれて常に同じ位置に保持され、この保持でロストモーションが除去される。
【００２９】
なお、ノズルスライド部４とインナーホルダー部３との間には付勢手段であるコイルスプリング１４が配設されており、このコイルスプリング１４によりノズルスライド部４は通常、下方に付勢され最下端位置にスライドされている。そして、ノズルスライド部４を取り外したり、交換する場合は、ノズルスライド部４をコイルスプリング１４の付勢力に抗して上方へ移動し、スライドピン１３が傾斜面３５に当たった状態から、両長孔１１から突出しているスライドピン１３の各端部ないしは抜け止め部材１３ａを掴んで、スライドピン１３を傾斜面３５から逃げ溝３４の内部に移動する。すると、ノズルスライド部４のスライド位置規制が解除されて、ノズルスライド部４がコイルスプリング１４の付勢力によりインナーホルダー部３から押し出される。ここで、図４はスライドピン１３の周辺構造を示す側面図、図５は図４のＥ−Ｅ線に沿う断面図、図６は図５のＦ−Ｆ線に沿う断面図である。
【００３０】
このように構成されたノズルユニット１６では、電子部品（ＩＣ７０）上に配置されて、インナーホルダー部３が図示せぬ手段により押下されると、コイルスプリング９の付勢力に抗してインナーホルダー部３がアウターホルダー部２に対して下降する。そして、ノズルスライド部４のノズル部５が電子部品（不図示）に押し付けられる。また、さらに押し付けられると、コイルスプリング１４が撓んで、ノズルスライド部４とインナーホルダー部３との間のスライドを伴って、その押し付け力を吸収する。また、この状態でノズルスライド部４内が図示せぬ手段により負圧化され、電子部品を吸着保持する。続いて、インナーホルダー部３に対する押下力が解かれると、コイルスプリング９の反発力でインナーホルダー部３が上昇すると共に、コイルスプリング１４の反発力によるノズルスライド部４の復帰を伴い、ノズル部５が電子部品を吸着保持したまま上昇する。続いて、この状態で、所定の位置まで運ばれ、次に実装位置で実装作業が行われる。
【００３１】
なお、上記実施の形態では、電子部品としてＩＣ７０を実装する場合について説明したが、これに限ることなく、一般の電子部品を吸着して実装する場合にも同様にして適用することができるものである。また、ノズル部５が電子部品を吸着する手段として、真空吸着する場合について説明したが、必ずしも真空吸着して保持するものでなくても差し支えないものである。
【００３２】
【発明の効果】
以上説明したとおり、本発明によれば、インナーホルダー部やノズルスライド部がスライドするため部材間に存在するすきま公差を確実に取り除いて位置決めするので、すきま公差によるローストモーションを無くして、部品を精度良く所定の位置に装着することが可能になる等の効果が期待できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の要部構成を説明する図である。
【図２】本発明の要部構成を説明する図である。
【図３】図２のＤ−Ｄ線に沿う断面図である。
【図４】本発明の要部構成を説明する側面図である。
【図５】図４のＥ−Ｅ線に沿う断面図である。
【図６】図５のＦ−Ｆ線に沿う断面図である。
【図７】本発明のノズルユニットの構成を示す要部構成を示す側面図である。
【図８】プリント回路板を製造する従来の実装機例を示す概略構成配置図である。
【図９】従来の実装機におけるロータリーユニットの構成を概略的に示す斜視図である。
【図１０】従来実装機のロータリーユニットのステーション機能レイアウト図である。
【図１１】従来実装機におけるノズルユニットの構造を示す側面図である。
【図１２】従来のノズルユニットの要部構成を説明する図である。
【図１３】従来のノズルユニットの要部構成を説明する図である。
【図１４】電子部品の一例として示すＩＣの上面図である。
【図１５】プリント配線板におけるランド構成の一例を示す図である。
【図１６】プリント回路板にＩＣを実装した状態で示す上面図である。
【図１７】従来のノズルユニットの問題点を説明する図である。
【符号の説明】
１ノズル
２アウターホルダー部
３インナーホルダー部
４ノズルスライド部
５ノズル部
７，１１ガイド用長孔
８，１３スライドピン
９，１４コイルスプリング（付勢手段）
１６ノズルユニット
３０貫通孔
３１，３３溝
３３ａ傾斜面
７０ＩＣ（電子部品）
δ すきま公差

Claims

部品を吸着保持するノズル部を先端に持つノズルスライド部と、前記ノズルスライド部をスライド自在に保持するインナーホルダー部と、前記インナーホルダー部をスライド自在に保持する固定側アウターホルダー部とを備え、前記インナーホルダー部が、前記アウターホルダー部に対して、前記インナーホルダー部と前記アウターホルダー部とに設けられたガイド用長孔とスライドピンとの係合を介し回り止めされた状態で上下スライド自在に保持されているとともに、前記インナーホルダー部と前記アウターホルダー部との間に設けられた付勢手段により上方へ付勢されている実装機における部品吸着ノズルユニットにおいて、
前記スライドピンが前記インナーホルダー部に設けられた貫通孔に挿通されており、前記貫通孔内に設けられて、溝幅が前記スライドピンの外径寸法より小さく、前記スライドピンの外周を２つの溝縁に線接触させて位置決めすることにより、スライドピンと貫通孔の内径とのすきま公差によるロストモーションを取り除くための位置決め用の溝を有している、ことを特徴とする実装機における部品吸着ノズルユニット。
部品を吸着保持するノズル部を先端に持つノズルスライド部と、前記ノズルスライド部をスライド自在に保持するインナーホルダー部とを備え、前記ノズルスライド部が、前記インナホルダー部に対して、前記ノズルスライド部と前記インナーホルダー部とに設けられたガイド用長孔とスライドピンとの係合を介し回り止めされた状態で上下スライド自在に保持されてなる実装機における部品吸着ノズルユニットにおいて、
前記ノズルスライド部側に前記スライドピンを受け入れる溝を設け、かつ該溝内の上側内面を下広がりの傾斜面に形成して、前記溝内に前記スライドピンを保持すると共に前記スライドピンの両側を前記インナーホルダー部に設けられた前記ガイド用長孔に係合して、前記スライドノズル部が前記ガイド用長孔に沿って最下端位置までスライドされると、前記スライドピンが前記ガイド用長孔の下孔内面から受ける反力で前記傾斜面に沿って前記スライドノズル部を径方向へ押して、スライドピンとガイド用長孔とのすきま公差によるロストモーションを取り除く、ことを特徴とする実装機における部品吸着ノズルユニット。
前記ノズルスライド部が、前記ノズルスライド部と前記インナーホルダー部との間に配置された付勢手段により下方へスライドされている請求項２に記載の実装機における部品吸着ノズルユニット。
前記溝は、断面略Ｖ字形に設けられて、前記傾斜面をＶ字形の片側内面により形成している請求項２に記載の実装機における部品吸着ノズルユニット。
前記部品が電子部品であり、前記ノズル部が前記電子部品を真空吸着によって保持する請求項１又は２に記載の実装機における部品吸着ノズルユニット。