JP3733792B2 - 炭化珪素半導体素子の製造方法 - Google Patents
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【発明の属する技術分野】
本発明は炭化珪素(以下SiCと記す)を材料とする半導体素子の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、珪素(以下Siと記す)に代わる半導体材料の一つとしてSiCが注目されている。SiCは、バンドギャップが4H−SiCで3.25eVと、Siのそれ(1.12eV)に比べて3倍近く大きいため、動作上限温度を高くできる。また、絶縁破壊電界強度が4H−SiCで3.0MV/cm と、Siのそれ(0.25MV/cm)に比べて約1桁大きいため、絶縁破壊電界強度の3乗の逆数で効いてくるオン抵抗が低減され、定常状態でのパワーロスを低減できる。更に、熱伝導度も4H−SiCで4.9W/cmK とSiのそれ(1.5W/cmK )に比べて3倍以上高いので、熱冷却効果が高く冷却装置を小型化できるという利点も生まれる。
【0003】
このようなことからSiCは、パワーデバイスや高周波デバイス、高温動作デバイスなどへの応用が期待されている。現在、MOSFET、pnダイオード、ショットキーダイオード等が試作され、絶縁耐圧とオン抵抗に関してはSiの特性を越えるデバイスが続出している。
【0004】
これらの素子作成には、選択した領域の導電型やキャリア濃度を制御する技術が必要である。その方法には、熱拡散法とイオン注入法がある。SiC 中においては不純物の拡散係数が非常に小さいため、Si半導体素子で広く用いられている熱拡散法はSiCには適用が難しい。そのため、SiCでは通常イオン注入法が用いられている。
【0005】
注入されるイオン種としては、n型に対しては窒素(以下Nと記す)リン(以下Pと記す)が用いられ、p型に対してはアルミニウム(以下Alと記す)またはほう素(以下Bと記す)が多く用いられる。
【0006】
イオン注入とそれに引き続くプロセスは、以下のように行われる。
先ず、選択的なイオン注入のためには、マスクとしてレジストや酸化膜などの皮膜形成とパターニングをおこなった後、イオン注入をおこなう。この場合、イオン注入による結晶ダメージを最小限に抑えるため時として数100℃〜1000℃の雰囲気中においてイオン注入が行われる。
【0007】
注入後はマスクとしたレジストや酸化膜などを全て除去し、SiC表面が露出した状態にする。これは、その後の高温アニール時にSiC上に熱酸化膜などが堆積されているとSiCとの反応が起こり、エッチングが起こることを防ぐためである。特に、イオン注入された領域には結晶ダメージがあり、各原子間の結合力が弱いため他の領域よりエッチングされやすいので注意が必要である。
【0008】
その後、注入された不純物を電気的に活性化するための高温アニールをおこなう。不純物を完全に活性化するためには、N、Alでは1500℃、Bでは1700℃の高温が必要である。高温アニール時には、イオン注入したSiCのサンプルは多結晶SiC容器中に入れられる。これは、高温における表面近傍の原子の昇華を防止するためである。
【0009】
高温アニール後には、その後のプロセス前に表面清浄化をおこなう。
表面清浄化のための前処理法としては例えば、過酸化水素溶液を用いる、下記のようないわゆるRCA洗浄法が知られている。
【0010】
まず、有機物、貴金属の除去のために硫酸過水(H2 SO4 :H2 O2 = 4: 1、120〜150℃)により10分処理した後、自然酸化膜の除去のために希HF(0.5%、RT)処理を行う。その後、自然酸化膜中に存在するパーティクルを除去するために水酸化アンモニウム(NH4 OH:H2 O2 :H2 O=0.05:1:5、80〜90℃)処理を行う。その後、自然酸化膜中に存在していた金属を除去するために塩酸過水(HCl:H2 O2 :H2 O=1:1: 6、80〜90℃)処理を行う。最後に、これらのプロセス中で新たに生じた自然酸化膜を除去するために再度希HF処理を行う。これらの処理の間には純水により5分程度のリンスをおこなう。
この後、例えば絶縁ゲート構造のMOS素子の場合には、熱酸化膜を形成する。また、ショットキーダイオードの場合は、ショットキー電極を形成する。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
上記の高温アニールの前には、熱処理用の容器内を十分真空引き、ガス置換等をおこなうが、水分や残留空気など若干の残留成分が存在する。この微量の残留水分、酸素などがSiC表面と高温アニール中に反応すると、表面酸化膜ができてしまう。
【0012】
水分などのヒータ上の表面吸着物が、加熱時に脱離してSiC表面へ堆積して自然酸化膜となったり、ヒータ材料自体が蒸発して、SiC表面上へ堆積することもある。
また、高温アニールにより、SiC中の蒸気圧の高いSiが優先的に蒸発して、表面がC(炭素)リッチとなることもある。
【0013】
更にエピタキシャルウェハの場合には、通常、表面が(0001)面から<11−20>または<1−100>方向に数度傾くように研磨されたオフ基板を用いている。そしてエピタキシャル層はオフ方向に横方向成長するため、最終的な表面の断面形状は、各原子層が数nmの幅を持つステップ形状となっている。
【0014】
1500℃以上の高温アニールにより、この表面の各ステップが統合されて表面凹凸が激しくなるステップバンチングという現象が発生することがある。
このように、アニール後のSiC表面には好ましくない堆積物が存在したり、組成が変化したり、表面形状が変化したりしている。
【0015】
このような問題をさけるために清浄化処理をおこなうが、もし、清浄化が不十分なままプロセスを続行しデバイスを作製すると、例えばショットキーバリアダイオードにおいては障壁高さが減少して、逆方向バイアス時のリーク電流が増加したり、耐圧が低下するなどの問題が発生する。また、MOSFETにおいては、酸化膜と半導体との界面にキャリアが蓄積したり、移動キャリアが表面凹凸により散乱されたりして移動度が低下するという問題を生じる。
従って、高温アニール後には、一旦、酸化膜を形成し、その酸化膜除去をおこなうことが勧められている。
【0016】
図2(a)ないし(c)はその工程を説明する工程順の断面図である。
基板1上にエピタキシャル層2を成長し、そのエピタキシャル層2の表面層にイオン注入層3を形成したウェハに、過酸化水素溶液を用いた上述のRCA洗浄をおこなう[図2(a)]。RCA洗浄により容器壁からのヒータ材料金属の堆積物、アニール中に形成された自然酸化膜をある程度除去することができる。
【0017】
その後、水素(以下H2 と記す)と酸素(以下O2 と記す)との混合ガスによるパイロジェニック酸化を1100℃、5時間おこなって膜厚30nm程度の熱酸化膜4を形成する[同図(b)]。
【0018】
BHF溶液により10分間エッチングを行い、熱酸化膜4を除去して清浄な表面を出現させる[同図(c)]。
酸化膜を成膜し、BHF溶液で酸化膜を除去することにより、Cリッチ層が形成されていれば熱酸化時にCOあるいはCO2 として除去される。このため、このプロセスの後では化学量論組成に近いSiC表面とすることができる。
【0019】
しかし、酸化膜形成と除去には長時間を要する難点がある。
このような問題に鑑み本発明の目的は、アニール後のSiC表面の異常堆積物、組成変化、表面形状の変化等の影響を除去し、良好な特性のデバイスを作製する方法を提供することにある。
【0020】
【課題を解決するための手段】
上記の問題点を解決するため本発明は、炭化珪素基板にイオン注入された不純物を活性化するためのアニール後、表面清浄化のための前処理法としてRCA洗浄をおこなってからプラズマによる表面エッチングをおこなうものとする。
表面エッチングは、H2 とO2 との混合ガスを用いたプラズマ、フッ素原子を含むガスを用いたプラズマ、溶融アルカリ等の高温溶融塩による表面エッチングのいずれでもよい。
【0021】
H2 とO2 との混合ガスを用いれば、表面がエッチング除去されるだけでなく、Cリッチ層やC原子を含んだ表面汚染物がCOあるいはCO2 として表面から除外される効果がさらに高められる。
【0022】
フッ素原子を含むガスは、H2 とO2 との混合ガスのプラズマに比べて活性度が高いため、エッチング速度が大きく、短時間でエッチングでき、しかも深く大きな欠陥に対して効果が大きい。
溶融アルカリ等の高温溶融塩による表面エッチングもエッチング速度が大きく、短時間でエッチングできる。
これらによるエッチングはステップバンチングや基板成長時に生じた表面凹凸の除去に効果がある。
【0023】
【発明の実施の形態】
以下実施例に基づき、本発明の実施の形態を説明する。
[実施例1]
図1(a)、(b)は本発明の方法を説明する工程順の断面図である。
【0024】
ウェハとしては、(0001)Si面から8°オフした面のn型4H−SiCの基板1上にエピタキシャル層2を成長したエピタキシャルウェハを用いた。基板1のキャリア濃度は1×1018/cm3であり、エピタキシャル層2のキャリア濃度は1×1016/cm 3 、厚さ10μm である。エピタキシャル層2の表面層には、0.5μmの深さまで、平均不純物濃度1×1018/cm3のアルミニウム(以下Alと記す)のイオン注入層3が形成されている。
【0025】
Alイオン注入とそれに引き続く1500℃、30分間の高温アニール後にRCA洗浄を以下の手順でおこなった。
まず、有機物、貴金属の除去のために硫酸過水(H2 SO4 :H2 O2 = 4: 1、120〜150℃)により10分処理した後、自然酸化膜の除去のために希HF(0.5%、RT)処理をおこなう。その後、自然酸化膜中に存在するパーティクルを除去するために水酸化アンモニウム(NHOH:H2 O2 :H2 O=0.05:1:5、80〜90℃)処理をおこなう。その後、自然酸化膜中に存在していた金属を除去するために塩酸過水(HCl:H2 O2 :H2 O=1:1: 6、80〜90℃)処理をおこなう。最後に、これらのプロセス中で新たに生じた自然酸化膜を除去するために再度希HF処理をおこなう。これらの処理の間には純水により5分程度のリンスをおこなう。[図1(a)]。
【0026】
RCA洗浄が終わった後にH2 とO2 との混合ガスのプラズマによるプラズマエッチングをおこなう[同図(b)]。プラズマエッチングの条件は、H2 / O2 比=1、50Pa、RF200Wである。基板温度は200〜300℃である。エッチング時間は15分で、120nmエッチングされた。従って、エッチング速度は8nm/minとなる。
【0027】
上記のプラズマエッチングをおこなった表面のオージェ電子分光分析(AES)をおこなったところ、C/Si比は1.1で、表面組成が化学量論的な組成に近づいていた。すなわち、従来のようなC/Si比が1.5のCリッチ層は検出されなかった。
【0028】
また、表面のAFM(原子間力顕微鏡)観察をおこなったところ、研磨傷の深さや幅が軽減されており、表面粗さRaは1nm以下であった。この値は従来の約1/5に相当する。
【0029】
さらに、このウェハを用いてニッケル(Ni)をバリア金属とするショットキーバリアダイオードを作製したところ、障壁高さが従来の1.3eVから1.6eVへ増加し、逆方向バイアス時のリーク電流も−200Vにおいて10-3A/cm2から10-6A/cm2へ減少した。
【0030】
また、このウェハを用いてMOSFETを作製し、CV測定をおこなったところ、界面準位は処理をしない場合の1013/cm2から1012/cm2へと減少した。キャリア移動度も、本発明の処理をすることによって、20から60cm2/Vsへと増加した。
すなわち、本発明の方法では、僅か15分のエッチングにもかかわらず、表面の清浄化が十分におこなわれたことがわかる。
【0031】
プラズマエッチング用のガスとしては、上記のH2 、O2 の混合ガス以外に、臭化ふっ化炭素(CBrF3 )、四ふっ化炭素(CF4 )、六ふっ化硫黄(SF6 )、三ふっ化窒素(NF3 )などのふっ素原子(F)を含むガスが用いられる。エッチング速度は例えばNF3 を用いた場合においては50〜200nm/min であり、H2 とO2 の混合ガスプラズマの場合より更に1桁エッチング速度を速くできる。
【0032】
[実施例2]
実施例1のRCA洗浄が終了後に、例えばアルカリ等の高温溶融塩によるエッチングをおこなっても良い。
【0033】
水酸化カリウム(KOH)をNiるつぼ中に入れ、外部のセラミックヒータにより460℃に加熱して溶融させ、その中にエピタキシャルウェハを浸してエッチングした。周囲の雰囲気は乾燥空気とした。
【0034】
エッチング時間を10秒としたところ、約0.1μmエッチングされた。従って、エッチング速度は0.8μm/minである。
溶融KOHによるエッチングをおこなったウェハにおける表面の特性は実施例1とほぼ同等であった。
KOHの入手は容易であり、それほど高温も要しないので、本実施例の方法は極めて容易に実行でき、しかも十分な清浄化効果が得られる。
【0035】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、炭化珪素基板にイオン注入された不純物を活性化するためのアニール後、表面清浄化のための前処理法としてRCA洗浄をおこなってから、水素と酸素との混合ガスのプラズマ、フッ素原子を含むガスのプラズマ等で表面エッチングをおこなうことにより、SiC表面の異常堆積物、組成変化、表面形状の変化等の影響を除去し、良好な特性のSiC半導体デバイスを作製することができる。溶融アルカリ等の高温溶融塩中において表面エッチングをおこなっても同様の効果が得られることを示した。
従って本発明は、炭化珪素半導体素子の普及、発展に大きな貢献をなすものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】 (a)、(b)は本発明の前処理方法を説明する工程順の断面図
【図2】 (a)ないし(c)は従来の前処理方法を説明する工程順の断面図
【符号の説明】
1 … サブストレート
2 … エピタキシャル層
3 … イオン注入層
4 … 熱酸化膜
Claims (5)
- 炭化珪素基板にイオン注入された不純物を活性化するためのアニール後、表面清浄化のための前処理法としてRCA洗浄をおこなってからプラズマによる表面エッチングをおこなうことを特徴とする炭化珪素半導体素子の製造方法。
- 前記プラズマによる表面エッチングが水素と酸素との混合ガスを用いたプラズマによる表面エッチングであることを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素半導体素子の製造方法。
- 前記プラズマによる表面エッチングがフッ素原子を含むガスを用いたプラズマによる表面エッチングであることを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素半導体素子の製造方法。
- 炭化珪素基板にイオン注入された不純物を活性化するためのアニール後、表面清浄化のための前処理法としてRCA洗浄をおこなってから高温溶融塩中において表面エッチングをおこなうことを特徴とする炭化珪素半導体素子の製造方法。
- 前記高温溶融塩中においての表面エッチングが溶融アルカリによる表面エッチングであることを特徴とする請求項4に記載の炭化珪素半導体素子の製造方法。
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