JP3725670B2 - 微細ボールの配列装置及び方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は微細ボール配列ヘッド及びそれを用いた微細ボール配列方法に係わり、特に、ボール吸着孔が複数個形成されている配列基板上に複数の微細ボールを一括保持して、プリント基板及び半導体チップ等の電子部品の電極上に一括配列させる装置及び方法に用いて好適なものである。
【0002】
【従来の技術】
従来より、半導体チップ等の電極に形成するバンプとして、蒸着バンプやスタッドバンプが知られている。上記蒸着バンプは、ウエハ段階の半導体素子上にバンプを形成するものであり、ウエハプロセスとして複雑な工程を何回も繰り返し行う必要がある。このため、真空プロセスであるためコスト高になるので、少量多品種製品には適用できない問題があった。
【0003】
それに対して、スタッドバンプは半導体チップの電極パッド等に1つずつワイヤボンディングの一次接合時のボールボンディングを行い、接合後に上記ワイヤのネック部を切断して形成するものである。
【0004】
したがって、上記スタッドバンプの場合には、切断部において上記ワイヤの残りが凸形状となる上に、上記ワイヤの高さが不均一に残ってしまう問題があった。また、ワイヤのボールボンディングを用いるために、ボール径はワイヤ径の2〜3倍の大きさとなるので、微小なバンプを形成するのは困難であった。
【0005】
これに対し、メッキでバンプ形成する方法がある。しかし、この方法もウエハ単位で実行されるため、少量多品種製品には適用が困難である。そこで、均一でかつ微細なバンプを形成することができるようにする技術として、微小金属ボールを用いたバンプ形成技術が、例えば、特開平7−153765号公報にて提案されている。
【0006】
上記公報にて提案されているバンプ形成方法は、少なくとも半導体チップの1つ分の金属ボール群を吸着保持するようにしている。そして、複数の金属ボール群を吸着保持するために、半導体チップ上のバンプ形成位置に対応した全ての位置に吸着孔が形成されているボール配列基板を用い、上記ボール配列基板に微小金属ボールを吸着保持した後、上記ボール配列基板を接合用ステージまで搬送して被接合部に接合するようにしている。
【0007】
したがって、この場合は均一に形成された微小金属ボールをバンプ形成位置に一括接合することができるので、高い信頼性が得られるボールバンプを容易に、かつ効率的に形成することができる。
【0008】
図6において、61は配列基板、62はボール吸着孔、63は金属ボール、64は配列基板61を取り付けている配列ヘッドである。また、65は配列基板61と配列ヘッド64との間に設けられた真空室、66は真空室65に通じる通気孔、矢印で示す67は、真空室65と減圧/加圧装置との間に設けられた通気配管である。
【0009】
このように構成された従来の微細ボールの配列装置は、複数の金属ボール63を一括して吸着保持するために、バンプ形成位置に対応した全ての位置にボール吸着孔62が形成されていて、前記配列基板61上に複数の金属ボール63を一括保持した後、前記配列基板61を接合用ステージ(図示せず)まで搬送して電子部品の被接合部に接合するようにしている。
【0010】
したがって、この場合は均一に形成された微小金属ボール63を前記電子部品のバンプ形成位置に一括接合することができるので、高い信頼性が得られるボールバンプを容易に、かつ効率的に形成することができる。
【0011】
ところで、最近は、半導体装置の微細化が益々進み、電極の配線ピッチは非常に小さくなってきている。そのため、前記電極上にボールバンプを形成する場合に用いられる金属ボールは、電極の配線ピッチの微細化に応じて非常に微細になってきている。狭ピッチかつ多ピンの接続の信頼性を向上するために、従来の辺配置のピンから面配置のピンに変えることは有効な方法である。しかしながら、面配置のピンを対象として前記配列基板61上に複数の金属ボール63を一括して吸着保持する際には、以下に示すような問題が生じていた。
【0012】
すなわち、配列基板61を用いてボールバンプを形成する場合には、図7に示すように、まず、金属ボール63が収容されている容器36上に配列ヘッド64が移動される。前記配列ヘッド64の内部に形成されている真空室65は、通気配管67を介して減圧/加圧装置(図示せず)に接続されており、前記減圧/加圧装置によってその内部が減圧/加圧される。
【0013】
また、前記容器36は、パーツフィーダー等の振動発生機37上に固定されており、前記振動発生機37が振動することにより金属ボール63は跳躍する。なお、前記振動発生機37により行われる振動の周波数は金属ボール63の大きさ等に応じて、例えば0〜1kHzまで可変に成されている。また、容器36は振動発生機37からの脱着が可能と成されている。
【0014】
次に、配列基板61の吸着面に金属ボール63を吸着させるために、配列ヘッド64を容器36の近傍まで下降させて振幅させ、跳躍している金属ボール63を配列基板61のボール吸着孔62に真空吸着させる。ここで、配列ヘッド64の下降距離及び振幅距離は、例えば0.1mm単位で制御可能とし、振幅回数の制御も可能としている。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】
前述のようにして、配列基板61のボール吸着孔に金属ボール63を真空吸着させるときに、図7に示したように、配列基板61の中央部に金属ボール63が団子上に吸着されてしまうことがある。これは、前記配列基板61を前記容器36に接近させて金属ボール63を吸着するときに、前記配列基板61の周辺部から流入してきた空気が、前記配列基板61と容器36との対向空間の中心に寄りやすいからである。
【0016】
配列基板61の中央部に複数の金属ボール63が団子状に真空吸着されてしまうと、ボール吸引工程を最初からやり直さなければならなくなるので、ボールバンプの製造効率が低下してしまうので好ましくなかった。
【0017】
また、金属ボール63を再吸着する場合においても、従来は全数の金属ボール63を吸着しなければならなかったので、吸着状態の不具合が再度発生する確率が高い問題があった。さらに、全数の金属ボール63を再吸着させるので、金属ボール63の離脱/吸着処理に多くの時間がかかってしまう問題があった。
【0018】
本発明は前述の問題点にかんがみ、配列基板の中央部に微細ボールが集中的に吸引されるのを防止して、配列基板の全面に微細ボールを万遍なく真空吸着できるようにすることを第1の目的とする。
また、配列基板上に微細ボールを再吸着させる際に不具合が生じる確率を低下させるとともに、再吸着処理に要する時間を短縮できるようにすることを第2の目的とする。
【0019】
【課題を解決するための手段】
本発明の微細ボールの配列装置は、微細ボールの吸着面にボール吸着孔が複数個形成されている配列基板と、前記配列基板を保持している微細ボール配列ヘッドの内部に形成されている真空室を減圧/加圧して、前記ボール吸着孔のそれぞれに微細ボールを吸着/離脱させるようにする減圧/加圧系統とを備え、前記配列基板上に複数の微細ボールを一括保持して、プリント基板又は半導体チップのいずれかを少なくとも含む電子部品の電極上に一括配列させるようにする微細ボールの配列装置において、前記配列ヘッドの内部に形成されている真空室を複数のエリアに区画するとともに、前記減圧/加圧系統を前記複数のエリア毎に設け、前記各エリアにおける減圧タイミング及び減圧の大きさを、前記配列基板の吸着面内のボール吸引力がバランスするように前記各エリア毎に制御可能とし、前記配列基板に余剰ボールを除去する手段を有することを特徴としている。
【0020】
また、本発明の微細ボールの配列装置の他の特徴とするところは、微細ボールの吸着面にボール吸着孔が複数個形成されている配列基板と、前記配列基板を保持している微細ボール配列ヘッドの内部に形成されている真空室を減圧/加圧して、前記ボール吸着孔のそれぞれに微細ボールを吸着/離脱させるようにする減圧/加圧系統とを備え、前記配列基板上に複数の微細ボールを一括保持して、プリント基板又は半導体チップのいずれかを少なくとも含む電子部品の電極上に一括配列させるようにする微細ボールの配列装置において、前記配列ヘッドの内部に形成されている真空室を複数のエリアに区画するとともに、前記複数のエリア毎に前記減圧/加圧系統を設け、前記微細ボールの吸着/離脱を前記配列基板の吸着面内のボール吸引力がバランスするように前記各エリア毎に制御可能とし、前記配列基板に余剰ボールを除去する手段を有することを特徴としている。
【0021】
また、本発明の微細ボールの配列装置のその他の特徴とするところは、微細ボールの吸着面にボール吸着孔が複数個形成されている配列基板と、前記配列基板を保持している微細ボール配列ヘッドの内部に形成されている真空室を減圧/加圧して、前記ボール吸着孔のそれぞれに微細ボールを吸着/離脱させるようにする減圧/加圧系統とを備え、前記配列基板上に複数の微細ボールを一括保持して、プリント基板又は半導体チップのいずれかを少なくとも含む電子部品の電極上に一括配列させるようにする微細ボールの配列装置において、前記配列ヘッドの内部に形成されている真空室を複数のエリアに区画するとともに、前記複数のエリア毎に前記減圧/加圧系統を設け、前記各エリアにおける減圧タイミング及び減圧の大きさ、並びに前記微細ボールの吸着/離脱を前記配列基板の吸着面内のボール吸引力がバランスするように前記各エリア毎に制御可能とし、前記配列基板に余剰ボールを除去する手段を有することを特徴としている。
【0022】
また、本発明の微細ボールの配列方法は、微細ボールの吸着面にボール吸着孔が複数個形成されている配列基板を保持している微細ボール配列ヘッドの内部に形成されている真空室を減圧/加圧して、前記ボール吸着孔のそれぞれに微細ボールを吸着/離脱させるようにして、前記配列基板上に複数の微細ボールを一括保持し、プリント基板又は半導体チップいずれかを少なくとも含む電子部品の電極上に一括配列させる微細ボールの配列方法において、前記配列ヘッドの内部に形成されている真空室真空室が複数のエリアに区画されているとともに、前記複数のエリア毎に減圧/加圧系統が設けられている配列ヘッドを用い、前記各エリアにおける減圧タイミング及び減圧の大きさを、前記配列基板の吸着面内のボール吸引力がバランスするように前記複数のエリア毎に制御しながら前記吸着面に一括吸着し、前記配列基板に形成されている各ボール吸着孔の全てに複数の微細ボールを一括配列することを特徴としている。
【0023】
また、本発明の微細ボールの配列方法の他の特徴とするところは、微細ボールの吸着面にボール吸着孔が複数個形成されている配列基板を保持している微細ボール配列ヘッドの内部に形成されている真空室を減圧/加圧して、前記ボール吸着孔のそれぞれに微細ボールを吸着/離脱させるようにして、前記配列基板上に複数の微細ボールを一括保持し、プリント基板又は半導体チップのいずれかを少なくとも含む電子部品の電極上に一括配列させる微細ボールの配列方法において、前記ボール配列ヘッドの内部に形成されている真空室が複数のエリアに区画されているとともに、前記複数のエリア毎に減圧/加圧系統が設けられている配列ヘッドを用い、前記微細ボールの吸着/離脱を前記配列基板の吸着面内のボール吸引力がバランスするように前記複数のエリア毎に制御しながら前記吸着面に一括吸着し、前記配列基板に形成されている各ボール吸着孔の全てに複数の微細ボールを一括配列することを特徴としている。
【0024】
また、本発明の微細ボールの配列方法のその他の特徴とするところは、微細ボールの吸着面にボール吸着孔が複数個形成されている配列基板を保持している微細ボール配列ヘッドの内部に形成されている真空室を減圧/加圧して、前記ボール吸着孔のそれぞれに微細ボールを吸着/離脱させるようにして、前記配列基板上に複数の微細ボールを一括保持し、プリント基板又は半導体チップのいずれかを少なくとも含む電子部品の電極上に一括配列させる微細ボールの配列方法において、前記ボール配列ヘッドの内部に形成されている真空室が複数のエリアに区画されているとともに、前記複数のエリア毎に減圧/加圧系統が設けられている配列ヘッドを用い、前記各エリアにおける減圧タイミング及び減圧の大きさ、並びに前記微細ボールの吸着/離脱を前記配列基板の吸着面内のボール吸引力がバランスするように前記複数のエリア毎に制御しながら前記吸着面に一括吸着し、前記配列基板に形成されている各ボール吸着孔の全てに複数の微細ボールを一括配列することを特徴としている。
【0025】
【作用】
本発明は前記技術手段よりなるので、配列基板の吸着面に形成されている複数のボール吸着孔の位置に応じて微細ボールの吸引タイミング及び吸引力を異ならせることが可能となり、減圧/加圧系統を制御することで、配列基板の周辺部に位置するボール吸着孔においては早いタイミングで微細ボールの吸着を開始するとともに大きな吸引力が得られるようにし、また、配列基板の中央部に形成されているボール吸着孔においては吸引タイミングを遅くし、かつ吸引力を小さくするようにすることで、配列基板の中央部に微細ボールが集中的に吸着されてしまう不都合を防止することができる。
【0026】
また、本発明の他の特徴によれば、配列基板上に形成されている複数のボール吸着孔に微細ボールをそれぞれ吸着保持して、これらの微細ボールを電子部品の電極上に一括配列させる際に、微細ボールの吸着に関して不具合が生じた場合には、前記不具合が生じたエリアに対応する減圧/加圧系統についてのみ再吸着処理を行えば済むので、配列基板上に微細ボールを再吸着させる際に不具合が再度生じる確率を大幅に低下できるとともに、再吸着処理に要する時間を短縮することができる。
【0027】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の微細ボールの配列装置及び方法の実施形態を図面を参照して説明する。
図1及び図2の例は、配列ヘッド10の真空室を複数のエリアに分割するとともに各エリア毎に減圧/加圧系統を設けた例を示し、図1はエリア分割の一例を説明するための配列基板1の表面図、図2は要部の概略構成を示す断面図である。
【0028】
図1に示したように、本実施形態のボール配列装置は、配列ヘッド10とボール配列基板1とで構成されている。上記ボール配列基板1は、ボールを吸引する系とは別の吸引系で真空吸引されることにより上記配列ヘッド10に保持されている。なお、上記ボール配列基板1は接着等により上記配列ヘッド10に一体に構成されていてもよい。
【0029】
本実施形態においては、配列基板1の吸着面を第1のエリア11〜第4のエリア14の4つに分割している(なお、実際には配列ヘッド10の内部に形成された真空室5内を分割しているが、便宜上配列基板1の吸着面を分割しているように示している)。そして、図2に示したように、配列基板1の裏面側に設けられる減圧/加圧系統2を、各エリア11〜14に対応させて複数系統設けている。
【0030】
図2の例では、ボール吸着孔3が3a〜3dとして示されているように4個設けられていて、これらのボール吸着孔3a〜3dのそれぞれに対応させて、減圧/加圧系統を2a〜2dの4系統設けた例を示している。すなわち、この場合は4つのエリアのそれぞれにボール吸着孔3を1個ずつ設けた例を示しているが、実際には各エリア11〜14には数百個、或いは数千個のボール吸着孔3がそれぞれ設けられる。
【0031】
図2において、配列基板1の内部に形成されている真空室5は、間仕切り板6によって第1の真空室5a〜第4の真空室5dの4つに分割されている。そして、前記第1の真空室5a〜第4の真空室5dのそれぞれに、減圧/加圧系統2a〜2dが設けられている。
【0032】
すなわち、配列基板1の裏面側に取り付けられた配列ヘッド10に、前記第1の真空室5a〜第4の真空室5dのそれぞれに連通する通気孔10a〜10dが形成されており、これらの通気孔10a〜10dと減圧装置及び加圧装置(共に図示せず)とを、通気配管(図示せず)を介してそれぞれ接続して減圧/加圧系統2a〜2dを構成している。
【0033】
そして、本実施形態においては上記減圧/加圧系統2a〜2dを制御することにより各エリア11〜14内の圧力、及び加圧タイミング(減圧タイミング)を独立的に制御できるようにしている。これにより、各エリア11〜14において最適な吸引タイミング(離脱タイミング)を得ることができるとともに、最適な吸引力を得ることができる。
【0034】
また、本実施形態の微細ボールの配列装置においては、各減圧/加圧系統2a〜2d毎に独立して微細ボール4を各ボール吸着孔3a〜3dに吸着したり、各ボール吸着孔3a〜3dに吸着している微細ボール4を配列基板1から離脱させたりすることができる。
【0035】
次に、図3を参照しながら、前述のように構成された本実施形態の微細ボールの配列装置を用いて微細ボール4を配列基板1上に吸着して、半導体チップ20に形成されている電極21上に接着接合する動作を説明する。
【0036】
図3に示すように、微細ボール4(例えば、それはAu等の貴金属、あるいは低融点の金属よりなる)が収容されている容器22上に配列基板1を移動させ、所定の至近距離まで降下させる。この容器22は、小さい振幅で振動させられていて、内部に収容されている微細ボール4は振動により跳躍している。
【0037】
したがって、前記配列基板1に連設されている減圧装置(図示せず)を動作させて全てのボール吸着孔3a〜3dを吸着状態にすると、容器22上で跳躍している微細ボール4を各ボール吸着孔3a〜3dに吸着することができる。
【0038】
本実施形態においては、減圧/加圧系統2a〜2dを介して各真空室5a〜5d内の空気が吸引される際に、配列基板1の周辺部に位置する真空室5a及び5dから減圧を開始するようにしている。このため、容器22内に収容されている微細ボール4は、配列基板1の周辺部に位置するボール吸着孔3a及び3dから吸着される。なお、減圧タイミングを調整することにより、配列基板1の中央部の真空室5b,5c及び周辺部の真空室5a,5dにおいて微細ボール4を同時に吸着させるようにすることもできる。
【0039】
また、本実施形態においては、配列基板1の中央部及び周辺部において、微細ボール4を吸引する力がバランスさせることができるので、従来のように配列基板1の中央部のみに微細ボール4が集中的に吸着されてしまう不都合が生じ難く、配列基板1の全面に渡って微細ボール4を良好に吸着することができる。
【0040】
前述のようにして、各ボール吸着孔3a〜3dのそれぞれに微細ボール4を吸着保持したら、次に、半導体チップ20上の所定位置に配列基板1を移動させて位置合わせを行う。そして、配列基板1を所定の位置に合わせたら、次に、半導体チップ20の至近距離まで降下させ、前記吸着保持している微細ボール4を電極21の特定箇所の上に熱圧着等にて接合する。
【0041】
ここで、半導体チップ20を載置するステージは加熱機構を持っていてもよい。また、あらかじめフラックスを前記電極21上に供給しておけば、半田等の低融点合金よりなる微細ボール4を仮接着し、その後で炉に搬送してリフローしてもよい。この場合は、ステージを加熱しなくてもよい。
【0042】
このようにして、複数の微細ボール4を半導体チップ20上に一括配列する際に、前述した団子状の吸着の他にも、一つのボール吸着孔3に微細ボール4を複数個吸着したり、または微細ボール4の吸着漏れが生じることがある。
【0043】
本実施形態の微細ボールの配列装置は、各減圧/加圧系統2a〜2d毎に独立して減圧/加圧を行うことが可能なので、吸着に不具合が生じた減圧/加圧系統のみについて再吸着するようにすることができる。
【0044】
例えば、第1のボール吸着孔3aに余分な微細ボール4が吸着されていた場合には、第1の減圧/加圧系統2aを加圧してそこに吸着している微細ボール4を離脱させる。このときに、微細ボール4を正常に吸着している第2〜第4の減圧/加圧系統2b〜2dについては加圧されないので、これらの減圧/加圧系統2b〜2dに吸着されている微細ボール4は離脱されない。
【0045】
したがって、本実施形態の微細ボールの配列装置の場合には、ボールの吸着に関して不具合が生じた減圧/加圧系統、この場合には第1の減圧/加圧系統2aについてのみ微細ボール4の再吸着を行えばよいので、再吸着時に不具合が再度生じる確率を大幅に減少させることができるとともに、再吸着処理に必要な時間を格段と短縮することができる。
【0046】
なお、前述の実施形態においては、説明を容易にするために、配列基板1上に4つのボール吸着孔3a〜3dを構成し、これらのボール吸着孔3a〜3d毎に減圧/加圧系統2a〜2dを設けた例を示したが、実際には、例えば50〜500個のような、非常に多くの微細ボール4を配列基板1上に一括保持するようにしている。
【0047】
前記真空室5内を複数のエリアに分割する仕方は任意に設定することができる。例えば、図4に示すように枡目状に分割してもよく、また、図5に示すように、縦方向に分割するようにしてよい。
【0048】
また、前述した形態において、減圧/加圧装置を各減圧/加圧系統毎に設けてよいが、減圧/加圧装置は1個だけ設けるようにして、減圧/加圧配管中に電磁弁を介設し、各電磁弁の開閉動作を制御することにより、各エリア毎に独立して減圧/加圧動作を行うようにしてもよい。また、本発明においては、配列基板に微小振動(例えば、超音波振動)よりなる余剰ボールを除去する手段を含める。
【0049】
【発明の効果】
本発明は前述したように、本発明によれば、微細ボールを吸引するタイミング及び吸引力を、配列基板の吸着面内のボール吸引力がバランスするように配列基板の吸着面に形成されている複数のボール吸着孔の位置に応じて異ならせることができるので、配列基板の周辺部に位置するボール吸着孔においては早いタイミングで微細ボールの吸着を開始するとともに大きな吸引力が得られるようにし、また、配列基板の中央部に形成されているボール吸着孔においては吸引タイミングを遅くし、かつ吸引力を小さくすることが可能となり、配列基板の中央部に微細ボールが集中的に吸着されてしまう不都合を防止することができ、ボール配列基板に形成されている各ボール吸着孔の全てに微細ボールを良好に吸着することができる。
また、配列基板の余剰ボールを除去する手段を設けたので、ボール配列基板上に余剰ボールが付着しないようにすることができる。
【0050】
また、本発明の他の特徴によれば、配列基板上に設けられている複数のボール吸着孔を複数のエリアに分割し、ボール吸着孔の減圧/加圧を各エリア毎に行うことができるようにしたので、ボール吸着に関して不具合が生じたエリアのみについて再吸着を行うようにすることができる。したがって、本発明の微細ボールの配列装置及び方法によれば、再吸着時にボール吸着の不具合が発生する確率を数分の1以下に減少させることができるとともに、再吸着に要する時間も数分の1以下に減少させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】吸着面をエリア分割する一例を説明するための配列ヘッドと基板の表面図である。
【図2】配列ヘッドと基板の要部の概略構成を示す断面図である。
【図3】実施形態の微細ボールの配列装置の動作を説明するための図である。
【図4】配列基板に複数個設けられているボール吸着孔を複数のエリアに分割する例を示す図である。
【図5】配列基板に複数個設けられているボール吸着孔を複数のエリアに分割する他の例を示す図である。
【図6】従来の配列ヘッドの構成例を示す断面図である。
【図7】従来の微細ボールの配列装置を用いて微細ボールを吸着する様子を示す図である。
【符号の説明】
1 配列基板
2a〜2d 減圧/加圧系統
3a〜3d ボール吸着孔
4 微細ボール
5a〜5d 真空室
6 間仕切り板
10 基板本体
10a〜10d 通気孔
11 第1のエリア
12 第2のエリア
13 第3のエリア
14 第4のエリア
Claims (6)
- 微細ボールの吸着面にボール吸着孔が複数個形成されている配列基板と、前記配列基板を保持している微細ボール配列ヘッドの内部に形成されている真空室を減圧/加圧して、前記ボール吸着孔のそれぞれに微細ボールを吸着/離脱させるようにする減圧/加圧系統とを備え、前記配列基板上に複数の微細ボールを一括保持して、プリント基板又は半導体チップのいずれかを少なくとも含む電子部品の電極上に一括配列させるようにする微細ボールの配列装置において、
前記配列ヘッドの内部に形成されている真空室を複数のエリアに区画するとともに、前記減圧/加圧系統を前記複数のエリア毎に設け、前記各エリアにおける減圧タイミング及び減圧の大きさを、前記配列基板の吸着面内のボール吸引力がバランスするように前記各エリア毎に制御可能とするとともに、
前記配列基板に余剰ボールを排除する手段を設けたことを特徴とする微細ボールの配列装置。 - 微細ボールの吸着面にボール吸着孔が複数個形成されている配列基板と、前記配列基板を保持している微細ボール配列ヘッドの内部に形成されている真空室を減圧/加圧して、前記ボール吸着孔のそれぞれに微細ボールを吸着/離脱させるようにする減圧/加圧系統とを備え、前記配列基板上に複数の微細ボールを一括保持して、プリント基板又は半導体チップのいずれかを少なくとも含む電子部品の電極上に一括配列させるようにする微細ボールの配列装置において、
前記配列ヘッドの内部に形成されている真空室を複数のエリアに区画するとともに、前記複数のエリア毎に前記減圧/加圧系統を設け、前記微細ボールの吸着/離脱を前記配列基板の吸着面内のボール吸引力がバランスするように前記各エリア毎に制御可能とするとともに、
前記配列基板に余剰ボールを除去する手段を設けたことを特徴とする微細ボールの配列装置。 - 微細ボールの吸着面にボール吸着孔が複数個形成されている配列基板と、前記配列基板を保持している微細ボール配列ヘッドの内部に形成されている真空室を減圧/加圧して、前記ボール吸着孔のそれぞれに微細ボールを吸着/離脱させるようにする減圧/加圧系統とを備え、前記配列基板上に複数の微細ボールを一括保持して、プリント基板又は半導体チップのいずれかを少なくとも含む電子部品の電極上に一括配列させるようにする微細ボールの配列装置において、
前記配列ヘッドの内部に形成されている真空室を複数のエリアに区画するとともに、前記複数のエリア毎に前記減圧/加圧系統を設け、前記各エリアにおける減圧タイミング及び減圧の大きさ、並びに前記微細ボールの吸着/離脱を前記配列基板の吸着面内のボール吸引力がバランスするように前記各エリア毎に制御可能とし、
前記配列基板に余剰ボールを除去する手段を設けたことを特徴とする微細ボールの配列装置。 - 微細ボールの吸着面にボール吸着孔が複数個形成されている配列基板を保持している微細ボール配列ヘッドの内部に形成されている真空室を減圧/加圧して、前記ボール吸着孔のそれぞれに微細ボールを吸着/離脱させるようにして、前記配列基板上に複数の微細ボールを一括保持し、プリント基板又は半導体チップのいずれかを少なくとも含む電子部品の電極上に一括配列させる微細ボールの配列方法において、
前記配列ヘッドの内部に形成されている真空室を複数のエリアに区画されているとともに、前記複数のエリア毎に減圧/加圧系統が設けられている配列ヘッドを用い、
前記各エリアにおける減圧タイミング及び減圧の大きさを、前記配列基板の吸着面内のボール吸引力がバランスするように前記複数のエリア毎に制御しながら前記吸着面に一括吸着し、前記配列基板に形成されている各ボール吸着孔の全てに複数の微細ボールを一括配列することを特徴とする微細ボールの配列方法。 - 微細ボールの吸着面にボール吸着孔が複数個形成されている配列基板を保持している微細ボール配列ヘッドの内部に形成されている真空室を減圧/加圧して、前記ボール吸着孔のそれぞれに微細ボールを吸着/離脱させるようにして、前記配列基板上に複数の微細ボールを一括保持し、プリント基板又は半導体チップのいずれかを少なくとも含む電子部品の電極上に一括配列させる微細ボールの配列方法において、
前記ボール配列ヘッドの内部に形成されている真空室が複数のエリアに区画されているとともに、前記複数のエリア毎に減圧/加圧系統が設けられている配列ヘッドを用い、
前記微細ボールの吸着/離脱を前記配列基板の吸着面内のボール吸引力がバランスするように前記複数のエリア毎に制御しながら前記吸着面に一括吸着し、前記配列基板に形成されている各ボール吸着孔の全てに複数の微細ボールを一括配列することを特徴とする微細ボールの配列方法。 - 微細ボールの吸着面にボール吸着孔が複数個形成されている配列基板を保持している微細ボール配列ヘッドの内部に形成されている真空室を減圧/加圧して、前記ボール吸着孔のそれぞれに微細ボールを吸着/離脱させるようにして、前記配列基板上に複数の微細ボールを一括保持し、プリント基板又は半導体チップのいずれかを少なくとも含む電子部品の電極上に一括配列させる微細ボールの配列方法において、
前記ボール配列ヘッドの内部に形成されている真空室が複数のエリアに区画されているとともに、前記複数のエリア毎に減圧/加圧系統が設けられている配列ヘッドを用い、
前記各エリアにおける減圧タイミング及び減圧の大きさ、並びに前記微細ボールの吸着/離脱を前記配列基板の吸着面内のボール吸引力がバランスするように前記複数のエリア毎に制御しながら前記吸着面に一括吸着し、前記配列基板に形成されている各ボール吸着孔の全てに複数の微細ボールを一括配列することを特徴とする微細ボールの配列方法。
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