JP3724553B2 - 紫外線を放出するガスレーザ装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、紫外線を放出するガスレーザ装置に関し、特に、レーザガスとしてフッ素ガスを用いるエキシマレーザ装置、フッ素レーザ装置等の紫外線を放出するガスレーザ装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体集積回路の微細化、高集積化につれ、投影露光装置においては解像力の向上が要請されている。このため、露光用光源から放出される露光光の短波長化が進められており、次世代の半導体露光用光源としてArFエキシマレーザ装置及びフッ素レーザ装置等の紫外線を放出するガスレーザ装置が有力である。
【0003】
ArFエキシマレーザ装置においては、フッ素(F2 )ガス、アルゴン(Ar)ガス及びバッファーガスとしてのネオン(Ne)等の希ガスからなる混合ガス、また、フッ素レーザ装置においては、フッ素(F2 )ガス及びバッファーガスとしてのヘリウム(He)等の希ガスからなる混合ガスであるレーザガスが数百kPaでレーザチェンバ内に封入され、そのレーザチェンバ内部に所定間隔離間して対向配置された一対の主放電電極が設けられている。レーザチェンバの内部でこの主放電用電極で放電を発生されることにより、レーザ媒質であるレーザガスが励起される。
【0004】
発振されるレーザ光のパルス幅及び発振の安定度は、レーザガス中に含まれるフッ素(以下、F2 と表記)濃度に敏感であり、F2 濃度の細かい制御が必要である。
【0005】
ところが、F2 濃度は放電により消費されると共に、放電しない場合でも化学反応により金属と結合し消費されてしまう。このため、連続パルス発振と休止を繰り返すバースト運転では休止時間の長さによって時間当たりのF2 の消費量が大きく変化する。また、この他、長時間の動作において時間に対するF2 消費量、動作に対するF2 消費量が変化する。そのため、精度の良いF2 濃度モニターと注入方法が必要である。
【0006】
従来、特開平11−274610号においては、F2 濃度と放電励起回路の充電電圧との間に関数関係があるので、リアルタイム又は実質的にリアルタイムでこの充電電圧をモニターしてF2 濃度の変化を検知し、一定電圧変化毎にF2 をレーザチェンバ内に注入している。
【0007】
また、パルス発振レーザ光のスペクトル幅とF2 濃度との間に関数関係があるので、このスペクトル幅を測定し、その測定結果に基づいてF2 をレーザチェンバ内に注入するものが特許2,668,489号において提案されており、また、パルス発振レーザ光のエネルギーのバラツキとF2 濃度との間に関数関係があるので、このバラツキを測定し、その測定結果に基づいてF2 をレーザチェンバ内に注入するものが特開平10−173273号においてが提案されている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のF2 濃度モニター方法は、何れもArFエキシマレーザ装置等のガスレーザ装置を実際に動作させてF2 濃度の変化を検知するものであり、レーザ発振動作とは独立にF2 濃度変化を検知するものではない。
【0009】
本発明は従来技術のこのような状況に鑑みてなされたものであり、その目的は、レーザガスとしてフッ素ガスを用いるエキシマレーザ装置、フッ素レーザ装置等の紫外線を放出するガスレーザ装置において、レーザ発振動作とは独立に動作時間及び休止時間を考慮する必要なしに、F2 濃度変化を検知しその変化が所定値に達したときにF2 を補充するガスレーザ装置を提供することである。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成する本発明の紫外線を放出するガスレーザ装置は、フッ素を含むレーザガスが充填されているレーザチェンバを備え、このレーザチェンバ内で放電を行うことにより前記レーザガスを励起して紫外域のレーザ光を発振させるガスレーザ装置において、
前記レーザチェンバ内にフッ素濃度変化をモニターする定電流駆動のコロナ放電プローブを備えており、前記コロナ放電プローブの放電電圧変化に基づいてフッ素ガスの注入を行うことを特徴とするものである。
【0011】
この場合、コロナ放電プローブを電気集塵器が兼ねるように構成することもできる。
【0012】
また、コロナ放電プローブの初期放電電圧若しくはフッ素ガス注入直後の電圧をVHとし、ΔVを予め定めた値とし、その放電電圧がVL=VH−ΔVになったときにフッ素ガスの注入を行うようにすることが望ましい。
【0013】
なお、本発明は、レーザガスがフッ素ガス、アルゴンガス及びバッファーガスからなる混合ガスであるArFエキシマレーザ装置にも、レーザガスがフッ素ガス及びバッファーガスからなる混合ガスであるフッ素レーザ装置にも適用することができる。
【0014】
本発明においては、レーザチェンバ内にフッ素濃度変化をモニターする定電流駆動のコロナ放電プローブを備えており、そのコロナ放電プローブの放電電圧変化に基づいてフッ素ガスの注入を行うので、レーザ発振動作とは独立に動作時間及び休止時間を考慮する必要なしに、F2 濃度変化を検知しその変化が所定値に達したときにF2 を補充することができ、パルス幅及び発振エネルギーの安定度の高い紫外線を放出するガスレーザ装置を得ることができる。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の紫外線を放出するガスレーザ装置の原理と実施例について説明する。
【0016】
図2に本発明を適用するガスレーザ装置の例としてエキシマレーザ装置の概略の構成を示すレーザ発振方向に垂直な断面図であり、レーザチェンバ1内にはF2 を含むレーザガス(ArFエキシマレーザの場合は、ArガスとF2 ガスとNeガスの混合ガス)が注入されており、レーザガスのガス流2を形成するためのファン3、レーザガスを励起する電極4a、4b、熱交換器5等が設けられており、この中、電極4a、4bは、レーザチェンバ1内の上部にあって互いに対向する位置に設けられ、レーザ発振に必要な放電を行う。ファン3は、レーザチェンバ1内の下部にあって、レーザガスをレーザチェンバ1内で循環させる。電極4a、4bの放電によって加熱されたレーザガスは、ファン3によってガス流2が生起されてレーザチェンバ1内を循環し、レーザチェンバ1内の側部に設けられた熱交換器5で冷却される。
【0017】
レーザチェンバ1内の側部には、電気集塵器6が配置され、ガス流2がこの中を流れてレーザガス中のダストが除去される。
【0018】
図1は以下に詳細に示す図2に対応する本発明のArFエキシマレーザ装置の1実施例のシステム構成図である。この実施例のArFエキシマレーザ装置は、従来と同様に、図1のような構成のレーザチェンバ1と、図1の電極4a、4b間に放電を生起させてレーザガスを励起するための高電圧を発生させる高電圧パルス発生装置7、レーザ光を1pm以下に狭帯域化するための狭帯域化モジュール8、高電圧パルス発生装置7、狭帯域化モジュール8等を制御するコントローラ9、出力モニター10、波長モニター11を備えている。このような構成において、レーザチェンバ1より放出されたレーザ光の一部はビームスプリッタにより分岐され、出力モニター10、波長モニター11に導かれ、レーザ出力を出力モニター10により検出し、この検出に従ってコントローラ9を介して高電圧パルス発生装置7への充電電圧を制御することで、レーザ出力を一定に安定化している。また、レーザ出力波長は波長モニター11で検出され、その検出信号はコントローラ9に送られそこで所望の波長と比較され、その誤差信号に基づいて狭帯域化モジュール8を駆動制御することで、レーザ出力波長を一定に安定化している。
【0019】
ところで、本発明のガスレーザ装置に用いられる電気集塵器6の1例を図3に示す。図3(a)は電極部長手方向断面図、図3(b)は図3(a)の線A−A’に沿った電極部断面図であり、中心部の放電電極21と、それを取り囲む円筒状の集塵電極22と、放電電極21と集塵電極22の間に電圧を印加してコロナ放電を生起させる定電流電源23とから構成されている。
【0020】
この電気集塵器6の基本的な作用としては、集塵電極22内を通過したレーザガスのガス流2中のダストが、負コロナ放電により負イオン化し、集塵電極22に蓄積され除去されるものである。
【0021】
ここで、本発明において重要なのは、このような定電流駆動の電気集塵器6において、放電電極21と集塵電極22の間に生じる放電電圧V(定電流電源23の出力端子に発生する電圧)は、レーザガスのF2 濃度に依存することである(図5参照)。したがって、本発明においては、この電気集塵器6をF2 濃度変化モニターとして利用するものである。そして、この電気集塵器6からの放電電圧Vをコントローラ9に送り、その電圧に基づいてコントローラ9は間欠的にガス導入排気装置12中のNe希釈F2 を注入するバルブV1、V2を開閉してNeと共にF2 をレーザチェンバ1内に所定量注入するようにするものである。
【0022】
以下、具体例に基づいて説明する。前記したようにレーザ光のパルス幅及び発振の安定度(バラツキ)は、レーザガス中に含まれるF2 濃度に敏感であり、F2 濃度の細かい制御が必要である。図4はArFエキシマレーザ装置のF2 濃度とパルス幅の関係を示した図である。KrFエキシマレーザ装置に比べて短波長であるArFエキシマレーザ装置の場合、露光装置の光学系の長寿命化を図るために、レーザパルス幅はできる限り長い方(ピーク強度が低い方)が有利である。図4より、50ns以上のレーザパルス幅を維持するためには、F2 濃度が0.25kPaから0.35kPaの間にある必要がある。
【0023】
これに対し、図3のような構成の電気集塵器6の放電電圧V(定電流電源23の電流1mAで一定)とF2 濃度の関係は、図5のようになる。レーザガス全圧が400kPaの場合、F2 濃度が0.25〜0.35kPaである範囲は、1.84kVから1.89kVの間の約50Vである。この範囲に電気集塵器6の電圧が保持されていれば、F2 濃度は常に前述の範囲(0.25〜0.35kPa)になり、レーザパルス幅が50ns以上に維持されていることになる。
【0024】
実際には、F2 注入の場合のF2 は100%のものではなく、Neで希釈した1%程度の濃度であるため、Ne希釈F2 を注入するとNeの増加によって放電電圧Vが増加する。このため、このNe増加による放電電圧Vの増加分を補正する必要がある。
【0025】
Neの場合は、10kPaの増加に対して、放電電圧Vの増加は約30Vである。ここでは、F2 濃度を0.28から0.32kPaの間に保つ場合について考察する。まず、初期状態において、F2 濃度が0.32kPa(全圧400kPa)であるとすると、放電電圧Vは、1.875kVになる。放電等によるF2 消費により、F2 濃度が0.28kPaになると、放電電圧Vは約20V低下し、1.855kVになる。ここで、1%F2 (Ne希釈)を4kPa注入すると(F2 注入は、ガス圧力をモニターすることにより行う。)、F2 濃度は0.32kPaになり、放電電圧Vは、Neの注入分を含め、32V増加し、1.887kVに増加する。
【0026】
このように、放電電圧Vは、徐々に増加する傾向にある。これを補正するために、目標F2 濃度の最大値(上記の場合、0.32kPa)における放電電圧VをVH、目標F2 濃度の最小値(上記の場合、0.28kPa)における放電電圧VをVL、このVHとVLの差をΔVと置き、電圧がVL(VH−ΔV)になったときに、F2 注入を行うようし、かつ、上記のVLの値を次式のように規程する。
【0027】
VL(i+1)=VH(i)−ΔV ・・・(1)
ここで、ΔV:定数(上記の場合、20V)、i:F2 注入回数、VH(i):
i回目のF2 注入直後の放電電圧の測定値、VL(i+1):次回のF2 注入を行うための放電電圧の設定値とする。ここで、ΔVの値は変わらない。
【0028】
消費されるのはF2 のみであるという関係から、上記(1)式が成り立つ。このように設定することにより、VLは常に更新されることになり、Neの増加による電圧の増加を補正することが可能となる。
【0029】
図6は、このように定電流駆動の電気集塵器6の放電電圧Vの一定電圧変化毎にNe希釈F2 をレーザチェンバ内に注入して、発振されるレーザ光のパルス幅及び発振の安定度を図る場合のF2 注入回数と放電電圧Vの関係を示す図である。なお、この図中、前回のF2 注入から今回のF2 注入までの間の放電電圧Vの変化の勾配は模式的なものであり、その間の運転状況、休止状況等により大きき変わるものである。
【0030】
また、図7に、このようなF2 注入のための動作制御のフローチャートを示す。図7において、ステップST1において、レーザガスを交換後、パラメータΔVを設定してスタートし、ステップST2において、タイマーを0に設定し、電気集塵器6の放電電圧VH(0)を測定すると共に、上記(1)式に基づいてVL(1)を設定する。次いで、ステップST3において、タイマーが一定時間(測定間隔)Δt経過毎に放電電圧Vを測定する。その測定後、ステップST4において、測定された放電電圧VがVL(1)以下になったか否かを判定する。この判定結果、放電電圧VがVL(1)より大きい限り、ステップST3とステップST4のループを継続する。放電電圧VがVL(1)以上になると、ステップST5において、1回目のF2 注入を行う。以後、ステップST2からステップST5を繰り返し、2回目以降のF2 注入を間欠的に行う。
【0031】
この制御方式により、レーザ装置のレーザ発振動作に関係なく、リアルタイムにF2 濃度変化をモニターし、F2 注入動作を繰り返すことができる。
【0032】
なお、パラメータΔVの値は、電気集塵器6の形状、状態、Ar濃度、レーザガス全圧等に依存するので、動作開始前にF2 濃度変化に対する放電電圧Vの変化を測定し、ΔVの値を更正するようにすることが望ましい。
【0033】
以上は、レーザガス中のF2 濃度変化モニターとして、レーザガス中のダスト除去用の電気集塵器6を利用するものであったが、電気集塵器6を利用せずに、レーザチェンバ1内にF2 濃度変化モニターとしての定電流駆動のコロナ放電器(コロナ放電プローブ)を別に配置をしても、同様の機能のものを得ることができる。図8(a)、(b)にこのようなF2 濃度変化モニターと使用できる定電流駆動コロナ放電器6’を例示する。図8(a)の場合は、同じ形状の放電電極24、24を対向させて配置し、放電電極24、24間に定電流電源23から電圧を印加してコロナ放電を生起させるものである。図8(b)の場合は、電界集中を起こして放電を起こしやすくするために、尖状の放電電極25を対向電極26に対して離間して配置し、放電電極25と対向電極26の間に定電流電源23から電圧を印加して放電電極25から対向電極26に負コロナ放電を起こさせるものである。
【0034】
このような定電流駆動コロナ放電器6’を電気集塵器6とは別に配置すると、電気集塵器6の場合は、長時間の動作によるダストの蓄積により放電電圧が変化するが、別のコロナ放電器6’を用いる場合は、ダストの少ない場所、例えば電気集塵器6の出口側に配置することにより、ダストの蓄積による特性の変化を抑えることが可能となるメリットがある。
【0035】
以上、本発明の紫外線を放出するガスレーザ装置をArFエキシマレーザ装置を例にあげて説明してきたが、上記の基本原理は、フッ素(F2 )ガス及びバッファーガスとしてヘリウム(He)等の希ガスからなる混合ガスをレーザガスとして、同様に放電励起するフッ素レーザ装置にも適用できることは明らかである。また、フッ素以外のハロゲンガスを使用するレーザ装置にも本発明を適用することができる。
【0036】
以上、本発明の紫外線を放出するガスレーザ装置をその原理と実施例に基づいて説明してきたが、本発明はこれら実施例に限定されず種々の変形が可能である。
【0037】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明の紫外線を放出するガスレーザ装置によると、レーザチェンバ内にフッ素濃度変化をモニターする定電流駆動のコロナ放電プローブを備えており、そのコロナ放電プローブの放電電圧変化に基づいてフッ素ガスの注入を行うので、レーザ発振動作とは独立に動作時間及び休止時間を考慮する必要なしに、F2 濃度変化を検知しその変化が所定値に達したときにF2 を補充することができ、パルス幅及び発振エネルギーの安定度の高い紫外線を放出するガスレーザ装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるArFエキシマレーザ装置の1実施例のシステム構成図である。
【図2】本発明を適用するArFエキシマレーザ装置の概略の構成を示す断面図である。
【図3】本発明のガスレーザ装置に用いられる電気集塵器の1例の断面図である。
【図4】ArFエキシマレーザ装置のフッ素濃度とパルス幅の関係を示す図である。
【図5】図3の電気集塵器の放電電圧とフッ素濃度の関係を示す図である。
【図6】本発明に基づくフッ素注入回数と放電電圧の関係を示す図である。
【図7】フッ素注入のための1例の動作制御のフローチャートである。
【図8】定電流駆動のコロナ放電器の構成を例示する図である。
【符号の説明】
1…レーザチェンバ
2…レーザガスのガス流
3…ファン
4a、4b…レーザガスを励起する電極
5…熱交換器
6…電気集塵器
6’…定電流駆動コロナ放電器
7…高電圧パルス発生装置
8…狭帯域化モジュール
9…コントローラ
10…出力モニター
11…波長モニター
12…ガス導入排気装置
21…放電電極
22…集塵電極
23…定電流電源
24…放電電極
25…放電電極
26…対向電極
Claims (5)
- フッ素を含むレーザガスが充填されているレーザチェンバを備え、このレーザチェンバ内で放電を行うことにより前記レーザガスを励起して紫外域のレーザ光を発振させるガスレーザ装置において、
前記レーザチェンバ内にフッ素濃度変化をモニターする定電流駆動のコロナ放電プローブを備えており、前記コロナ放電プローブの放電電圧変化に基づいてフッ素ガスの注入を行うことを特徴とする紫外線を放出するガスレーザ装置。 - 前記コロナ放電プローブを電気集塵器が兼ねていることを特徴とする請求項1記載の紫外線を放出するガスレーザ装置。
- 前記コロナ放電プローブの初期放電電圧若しくはフッ素ガス注入直後の電圧をVHとし、ΔVを予め定めた値とし、前記放電電圧がVL=VH−ΔVになったときにフッ素ガスの注入を行うことを特徴とする請求項1又は2記載の紫外線を放出するガスレーザ装置。
- 前記レーザガスがフッ素ガス、アルゴンガス及びバッファーガスからなる混合ガスであることを特徴とする請求項1から3の何れか1項記載の紫外線を放出するガスレーザ装置。
- 前記レーザガスがフッ素ガス及びバッファーガスからなる混合ガスであることを特徴とする請求項1から3の何れか1項記載の紫外線を放出するガスレーザ装置。
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