JP3719016B2 - リニアモータ - Google Patents
リニアモータ Download PDFInfo
- Publication number
- JP3719016B2 JP3719016B2 JP31099698A JP31099698A JP3719016B2 JP 3719016 B2 JP3719016 B2 JP 3719016B2 JP 31099698 A JP31099698 A JP 31099698A JP 31099698 A JP31099698 A JP 31099698A JP 3719016 B2 JP3719016 B2 JP 3719016B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mover
- coil
- linear motor
- coils
- support member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Linear Motors (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、可動コイル型のリニアモータに関し、特に構造簡単で製作しやすく且つ移動方向に剛性を有する安価な電機子コイルを備えたリニアモータに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の可動コイル型のリニアモータにおける電機子コイルの構造としては、例えば図17に示すようなものが知られている。このものは、本来強度の弱いコアレスのコイル1をボビン2に嵌め込んで固定したものである。そのボビン2自体は、例えばアルミニウム合金や合成樹脂などの非磁性材料で作られており、U,V,Wの三相に対応する3個のコイル1をそれぞれに収納するべく、隔壁3で仕切られた3個の皿状の区画4を備えると共に、一端側には肉厚の取付け部5が形成されている。このボビン2の各区画4内に、それぞれコアレスのコイル1が固定保持される。このようにコイル1をボビン2に固定保持してなる可動子を、例えば可動テーブル体の下面に取り付ける。一方、多数の永久磁石を異極同士で隣接させて前記テーブル体の移動方向に並べた固定子を、上下一対にすき間を隔ててコイル巻線方向に対し直交させて配設する。そして、その両固定子間に前記可動子をエアギャップを介して対向配置する。この状態で可動子の三相のコイルに正弦波駆動電流を供給すれば、駆動力を発生して可動子ひいては可動テーブル体を固定子沿いに移動させることができる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このようなボビン2を用いてコイル1を固定保持すると、ボビンのコイル収納部分(皿部分4)の厚さTがコイル1の厚さtよりボビン板厚分厚くなる。したがって、▲1▼その厚さの差により可動子と固定子とが相対するエアギャップ(すきま)を大きくしなければならず、そのままでは発生駆動力が弱くなる。同一の駆動力を得るには、固定子に磁力やサイズがより大きい磁石を使用しなければならずコスト増になる。▲2▼また、各コイル毎に隔壁3で仕切っているので、可動子がコイル並列方向に長くなる結果、コイル数を多くするほど可動子の専有スペースが大きくなる。▲3▼かといって、専有スペースを縮小させるべく、各コイル間の隔壁3を排除すると、本来強度の弱いコアレスコイル同士接触して横一列に並ぶことになり、コイル数を多くするほど可動子の移動方向に対する剛性が弱くなるという問題点がある。
【0004】
本発明は、このような従来の問題点に着目してなされたものであり、リニアモータの可動子におけるコイル保持構造を改善することにより、可動子の厚さを薄くすることができ、コイル装着数を増やしても専有スペースが比較的小さく且つ剛性を維持できて、駆動力向上やコスト低減が可能なリニアモータを提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、請求項1に係る発明は、隣り合う磁極の磁性が異なるように並べて配置した複数の永久磁石からなる固定子と、該固定子の磁石と共働して移動推進力を付与される複数個の電機子コイルを有する可動子とを備えたリニアモータにおいて、前記可動子の電機子コイルを、該コイルの中心軸が前記永久磁石の磁極面に対して垂直となるように、前記可動子の移動方向に一列に密着させて並べると共に、そのコイル列の両端を電機子コイルと略同じ厚さの第1の支持部材で挟んで固定し、且つ当該第1の支持部材及び電機子コイルを、可動子の移動方向に対し直角方向の一端部において第2の支持部材で保持したことを特徴とする。
【0006】
また、請求項2に係る発明は、隣り合う磁極の磁性が異なるように並べて配置した複数の永久磁石からなる固定子と、該固定子の磁石と共働して移動推進力を付与される複数個の電機子コイルを有する可動子とを備えたリニアモータにおいて、前記可動子の3相又はその倍数個の電機子コイルを、該コイルの中心軸が前記永久磁石の磁極面に対して垂直となるように、前記可動子の移動方向に一列に密着させて並べて1組としたものを複数組、各組毎に電機子コイルの相順を順次ずらすことにより各組間にすき間を設けて配設し、該すき間を利用して各組毎にそのコイル列の両端を電機子コイルと略同じ厚さの第1の支持部材で挟んで固定し、且つ当該第1の支持部材及び電機子コイルを、可動子の移動方向に対し直角方向の一端部において第2の支持部材で保持したことを特徴とする。
【0007】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
図1〜図5は、本発明のリニアモータの第1の実施の形態を示すもので、図1は、本発明のリニアモータの電機子コイル保持構造の平面図、図2はその電機子コイルを組み込んだ可動子の正面図、図3はその可動子の平面図、図4は当該可動子と固定子を組み合わせた本発明のリニアモータの単品の平面図、図5はそのV 矢視で示した正面図である。先ず、構成を説明すると、この実施の形態にあっては、図1に示すように、U,V,Wの三相に対応する3個の偏平なコアレス電機子コイル(以下、単にコイルという)1を、巻線方向が可動子の移動方向に対し直交するように一列に並べ(すなわち、コイルを、可動子の移動方向に一列に並べ)、それぞれを隔壁で仕切ることなく直接に密着させ、第1の支持部材であるコ字形の保持体11の中に挿入し固定することにより一体に組み立てて、コイル組立体12を形成している。その保持体11の厚さTは、図2に示すように、コイル1の厚さtと略同じにしてある(但し、必ず同じである必要はない)。保持体11で三方を囲んで一体に組み立てたコイルの組立体12は、図2,図3に示すように、コ字形の保持体11の開口側の反対端を基部111とし、その基部111をA,B二枚の保持板からなる第2の支持部材13で挟んで固定してある。必要に応じて、その第2の支持部材13による固定部分を、接着剤やモールド剤などにより強固に固定する。なお、上記コイルの保持体11(第1の支持部材)及び第2の支持部材13の材質は、例えばアルミニウム合金や合成樹脂のような非磁性材とするのがよい。こうして、コイル部分の厚みがコイル自体の厚みとほぼ同じ程度に薄いリニアモータの可動子10Aが形成されている。
【0008】
上記の可動子10Aに固定子15を組み合わせて、図4,図5に示すようなリニアモータLMが形成される。その固定子15については、公知のサーボ制御用のリニアモータにおける永久磁石のものと同等でよい。すなわち、軟鋼板のような強磁性材で形成したヨーク151の平面に、厚さ方向に着磁した同一サイズの永久磁石152を多数個、隣接する磁極が異極同士となるように並べて固着し、これを前記可動子10Aを挟んで上下一対に対向させ、上下の永久磁石152,152は異極同士対向するように配すると共に、上下のヨーク151,151の一端部を他のヨーク153で固定し、可動子10Aのコイル面との間に一定のエアギャップを維持するようになっている。
【0009】
図6,図7は、上記の可動子10Aを有する本発明のリニアモータLMを組み込んだ位置決めテーブル装置16の一例である。すなわち、ベース161の上面には、中央にリニアモータLMの固定子15を固定すると共に、その固定子15を挟むようにして左右両サイドに平行に一対の直動案内(リニアガイド)17の案内レール17rが固定してある。その案内レール17rには各レール毎に二台ずつのスライダ17sが搭載されており、それら四台のスライダ17sで支持してテーブル18が取り付てある。そして、テーブル18の下面に、リニアモータLMの可動子10Aを、ボルト止めなどの手段で固定して装着している。可動子のコイルは、その巻線方向が固定子15の上下の永久磁石152の延長方向に対し直交するようにして、上下の永久磁石152の面との間に最小必要限のエアギャップを介して配置される。
【0010】
次に、上記位置決めテーブル装置16に装着したリニアモータLMの動作を説明する。
可動子10Aの三相コイル1に駆動電流を流すと、その電流と固定子15の永久磁石152の磁束との相互作用により、可動子10Aと固定子15との間に相対的な推力が働き、可動子10Aが所定方向に動き出す。これに伴って、テーブル18が直動案内17の案内レール17rに案内されつつ移動する。コイル1に前記と逆方向の電流を流すと可動子10Aには前記と逆方向の駆動力が作用して、可動子10Aが反対方向に動き出す。かくして、コイル1への電流の強さ及びその電流の方向を適宜に選択すれば、可動子10Aひいてはテーブル18を所定位置に自在に移動させることができる。
【0011】
その場合、リニアモータLMには、三相コイルへの通電を切り換える切り換え手段と共に、固定子15の永久磁石152と可動子10Aとの相対位置を検出する位置検出手段が必要である。図示の位置決めテーブル装置16の場合、当該位置検出手段としてリニアエンコーダ19を備えている。リニアエンコーダ19のリニアスケール191はリニアガイド17の案内レール17rと平行にベース161の上面に延設して固定している。一方、エンコーダヘッド192の方は可動子10Aの方に取り付けている。なお、エンコーダヘッド192を、可動子ではなくこれと同伴して移動するリニアガイドのスライダ17sのいずれかに取り付けてもよい。このリニアエンコーダ19により可動子10Aの現在位置情報を得て、図外のモータ駆動用ドライバを経て三相コイル1への通電をフィードバック制御することで、テーブル18を自在に移動させると共に、任意に位置決めして停止させることができる。
【0012】
上記第1の実施形態のリニアモータLMは、その構成要素である可動子10Aとして、図3示したようにその移動方向に一列に密着させて並べたコイル1の両端を、当該コイル1と略同じ厚さの保持体(第1の支持部材)11で挟んで固定保持し、その保持体11と複数個のコイル1とを一体的に、可動子10Aの移動方向に対し直角方向の一端部において第2の支持部材13で保持した構造を採用している。したがって、従来のように、各コイル1を、おのおのボビン2の隔壁3で仕切った皿状の区画4に収納したものに比べて、構造が簡単で且つ可動子を小型化することが容易にできるという効果が得られる。また、可動子10Aのコイル組立体12が、略コイル厚みと同程度に薄くなるので、固定子15を構成する永久磁石152との間のエアギャプを小さくでき、その結果、より小さな永久磁石152を使用しても同一磁束強度が得られることから、固定子15のコストを低減できるという効果も得られる。
【0013】
図8,図9に、本発明のリニアモータの第2の実施の形態を示す。
この実施の形態の場合は、リニアモータの可動子の構造が、上記第1の実施の形態のものと異なる。すなわち、この可動子10Bにあっては、直接に密着して並列した三個のコイル1を囲むコイルと同じ厚みの保持体11で三方から囲んで固定することによりコイル組立体12を形成した点は同じであるが、更にそのコイル組立体12を電気絶縁性のシート状固定部材21で被覆してコイル1を固定した点が異なっている。そのシート状固定部材21としては、適度に強度を有すると同時に折り曲げ易く、また接着性の良いことが必要であり、例えば芳香族ポリアミド(アラミドポリマ)で作られた繊維又は紙のようなものが好ましい。
【0014】
このようなシート状固定部材21で、コイル組立体12の上下及開口端側を、保持体11と共に三方から囲むように覆って接着固定すると共に、保持体基部111側の被覆端部を第2の支持部材13の上下の保持板A,Bで押さえて固定してある。なお、強度を増すために、シート状固定部材21にガラス繊維やカーボン繊維を混入させても良い。また、非磁性金属であるアルミニウム製の薄板をコイル1に対し絶縁させて用いることもできる。
【0015】
この第2の実施の形態の可動子10Bを用いたリニアモータは、可動子10Bの厚さが、シート状固定部材21の厚さだけ上下に厚くなるが、本来シート状固定部材21の厚みは薄いので、固定子15を構成する永久磁石152との間のエアギャプに及ぼす影響は小さくて済む。このように連続したシート状固定部材21でコイル組立体12を全体的に囲って被覆することにより、可動子の移動方向強度が増すと共に、移動方向に対し直交方向の強度も増すという効果が得られる。さらに、強度が増せば、リニアモータとしての剛性が高くなって制御性の良いアクチュエータとなる。
【0016】
図10〜図12に、本発明のリニアモータの第3の実施の形態を示す。
この実施の形態は、上記第2の実施の形態の可動子を更に強固な構造にしたものである。すなわち、この可動子10Cは、各コイル1の中心の中空部分にコイルの厚さと同程度もしくは若干薄目の間座14を挿入してある。間座14は、接着性の良い例えば芳香族ポリアミド(アラミドポリマ)で作られた繊維又は紙のような材料からなる非磁性材である。その間座入りコイル1を3個密着させて並べ、可動子移動方向の両端のコイル面にそれぞれ第1の支持部材である保持体11(この図の場合は、図1と違い2本の棒体である)を密着固定してコイル組立体12を形成する。そのコイル組立体12の上下及一端側を、三方から囲むようにシート状固定部材21で被覆して、コイル1,間座14,保持体11の全てを接着固定する。この被覆したコイル組立体12の他端側を、シート状固定部材21と共にコ字形断面を有する第2の支持部材13の溝に差し込んで装着し接着固定することで可動子10Cが形成されている。
【0017】
勿論、第2の実施の形態におけるコイル列の各コイル1に間座14を挿入した構成であっても良い。
この実施の形態の可動子10Cによれば、潰れ易いコイル中心の中空部分に間座14を挿入して補強したことにより、可動子の移動方向強度及び移動方向に対し直交方向の強度が一層増すという効果が得られる。
【0018】
また、構造が簡単で製作しやすく、部品削減によるコスト低減効果もある。
図13〜図16に、本発明のリニアモータの第4の実施の形態を示す。
この実施の形態は、リニアモータの可動子の構造が、上記各実施の形態のものと異なる。すなわち、この可動子10Dは、リニアモータにおける可動子に複数組のコイルを組み込んだもの、例えば図13に示すように、三相のコアレスコイルU,W,Vの三組U1 ,W1 ,V1 とU2 ,W2 ,V2 とU3 ,W3 ,V3 とを用いた場合に適用される。これら合計9個のコイルを、上記第1の実施の形態の場合のように、コイル同士直接に密着させて、巻線方向が移動方向に直交するように一列に並べると、たとえコイル全体を三方から第1の支持部材であるコ字形の保持体11(図1参照)で囲んで固定しても、可動体の移動方向の剛性が弱くしかもその直角方向も弱くなってしまう。そこで、本実施の形態では、三相のコアレスコイルU,W,Vの複数組(例えば三組)を、補強材を介して各組毎に三方から囲んで固定保持したものを、等間隔に配列させる構造にして、剛性の低下を防止している。
【0019】
具体的には、第1の支持部材である保持体31が、図15(a)に示すように、各組のコイルU,V,Wをそれぞれに仕切る支持部312,313を両端の支持部311と314との間に備えている点が、第1の実施の形態の保持体11とは異なっている。各支持部311〜314は、基部315と直交して等間隔に形成してあり、基部315の反対端側は開口しており、全体は櫛状である。もっとも、必ずしも一端に開口を設けるとは限らず、例えば図15(b)に示すように、先端を連結部316で閉じた構成として強度を増大させるようにすることもできる。
【0020】
その支持部311〜314で三等分した各スペース内に、図13に示すように、各組のコイルU,V,Wを別々に挿入し、密着させて固定している。そして、その保持体31の基部315と各コイルの一端側とを、第1の実施の形態のものと同様に第2の支持部材32の保持板Aと保持板Bとで上下から挟んで一体に固定している。この場合の、保持体31の厚さTは、勿論コイル1の厚さtと略同じになっている。保持体31の材質は、上記各実施の形態の場合と同じく、コイルに磁束を均一に通し易く且つコイルの発生熱を逃がし易い例えばアルミニウムなどのような材料が好ましい。但し、アルミニウムは電気伝導性も良いので、絶縁テープを巻くなどしてコイルとの接触面を絶縁する必要がある。
【0021】
ここで、U,W,V三相の各コイルの配列パターンについて、図16を参照して説明する。図16のパターン1は、一般的に用いられるもので、可動子の移動方向に若干ずつずらせて、部分的に重なるように配設するパターンである。すなわち、一列に配列された固定子の永久磁石152の隣接したN,S極1セットの磁石が電気角で360°、これに対する三相の各コイルの電気角はそれぞれ120°の位相差があるので、三相の各コイルをU,V,Wの正相の順に並べると共にV相の巻線を他のU,W相の両巻線と重なり合わせている。一方、パターン2は、上記パターン1におけるV相のみを隣の磁石の同位相の箇所まで移動させ、重ならないようにU,W,Vの相順にした等間隔の配列を三回繰り返したパターンである。すなわち、第1ブロックの各コイル▲1▼▲2▼▲3▼、第2ブロックの各コイル▲4▼▲5▼▲6▼及び第3ブロックの各コイル▲7▼▲8▼▲9▼の9個のコイルをU,W,Vの相順で等間隔に並べてある。
【0022】
これに対して、パターン3は、三組の三相コイルを、各組毎にコイルの相順を順次ずらすと共に、各組間には電気角で60°のすき間を設けて配列したパターンである。すなわち、第1ブロック(第1組)は、各コイル▲1▼▲2▼▲3▼の配列がパターン2と同じくU,W,Vの相順のままであるが、第2ブロック(第2組)は上記のコイル配列▲4▼▲5▼▲6▼の▲4▼コイル(U相)を入れ換えて▲5▼▲6▼▲4▼とし、相順がW,V,Uになっている。さらに第3ブロック(第3組)は、上記のコイル配列▲7▼▲8▼▲9▼の▲9▼コイル(V相)を入れ換えて▲9▼▲7▼▲8▼とし、相順がV,U,Wになっている。この相順の変更は、常に磁石を基準とし、電気角を守ようにコイルの配置を考慮して行う。このように、相順を操作することにより、各ブロック(組)間には電気角で60°のすき間αができる。
【0023】
第4の実施の形態にあっては、このパターン3のコイル巻線を用い、それによってできる各組間のすき間αを利用する。即ち、先に述べたように(図13参照)、支持部311〜314で三等分したスペースを有する保持体31を用いて、その各スペース内に各組のコイルU,V,Wを挿入する。すると、図13に示すように、第1ブロックのコイルU1 ,W1 ,V1 と第2ブロックのコイルW2 ,V2 ,U2 との間のすき間αに支持部312がくる。また第2ブロックのコイルW2 ,V2 ,U2 と第3ブロックのコイルV3 ,U3 ,W3 との間のすき間αに支持部313がくる。かくして、第3の実施の形態によれば、第1〜第3の各ブロック毎に、固定子磁石に対する適切な電気角を維持しながら各コイルを強固に固定することができ、複数組のコイルブロックを並列してなる可動子の場合でもその剛性を大幅に向上させると同時にモータ特性も向上させることができる。
【0024】
なお、上記実施の形態では、三相のコイルを三組とした場合を説明したが、三組以外の組み合わせにも適用できる。
【0025】
【発明の効果】
以上、説明したように、本発明に係るリニアモータにあっては、可動子の電機子コイルの保持構造を、一組毎にその巻線方向が可動子移動方向に対し直交するように一列に密着させて並べると共に、各組のコイル列を電機子コイルと略同じ厚さの支持部材で挟んで固定するものとしたため、強度の低いコアレスコイルであっても可動子移動方向に剛性を付与でき、且つ可動子の厚さを薄くすることができて専有スペースが比較的小さくて済み、しかも駆動力向上やコスト低減が可能になるという種々の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のリニアモータにおけるコイル組立体の平面図である。
【図2】それを用いた可動子の正面図である。
【図3】図2の平面図である。
【図4】本発明のリニアモータの一部を切り欠いて示した平面図である。
【図5】その正面図である。
【図6】本発明のリニアモータを搭載した位置決めテーブル装置の平面図である。
【図7】図7の正面図である。
【図8】本発明のリニアモータの他の可動子の平面図である。
【図9】図8の正面図である。
【図10】本発明のリニアモータの更に他の可動子の平面図で、シート状固定部材の一部を切り欠いて示したものである。
【図11】図10の正面図である。
【図12】図10のXII − XII断面図である。
【図13】本発明のリニアモータの更に他の可動子の平面図である。
【図14】図13の正面図である。
【図15】図13に示すもののコイル保持体二種の平面図である。
【図16】コイル巻線の配列パターンの説明図である。
【図17】従来のリニアモータにおける可動子を示す図で、(a)は平面図、(b)は正面図、(c)は側面図である。
【符号の説明】
1 電機子コイル
10 可動子
10A 可動子
10B 可動子
10C 可動子
11 第1の支持部材
13 第2の支持部材
15 固定子
152 永久磁石
31 第1の支持部材
32 第2の支持部材
LM リニアモータ
Claims (2)
- 隣り合う磁極の磁性が異なるように並べて配置した複数の永久磁石からなる固定子と、該固定子の磁石と共働して移動推進力を付与される複数個の電機子コイルを有する可動子とを備えたリニアモータにおいて、
前記可動子の電機子コイルを、該コイルの中心軸が前記永久磁石の磁極面に対して垂直となるように、前記可動子の移動方向に一列に密着させて並べると共に、そのコイル列の両端を電機子コイルと略同じ厚さの第1の支持部材で挟んで固定し、且つ当該第1の支持部材及び電機子コイルを、可動子の移動方向に対し直角方向の一端部において第2の支持部材で保持したことを特徴とするリニアモータ。 - 隣り合う磁極の磁性が異なるように並べて配置した複数の永久磁石からなる固定子と、該固定子の磁石と共働して移動推進力を付与される複数個の電機子コイルを有する可動子とを備えたリニアモータにおいて、
前記可動子の3相又はその倍数個の電機子コイルを、該コイルの中心軸が前記永久磁石の磁極面に対して垂直となるように、前記可動子の移動方向に一列に密着させて並べて1組としたものを複数組、各組毎に電機子コイルの相順を順次ずらすことにより各組間にすき間を設けて配設し、該すき間を利用して各組毎にそのコイル列の両端を電機子コイルと略同じ厚さの第1の支持部材で挟んで固定し、且つ当該第1の支持部材及び電機子コイルを、可動子の移動方向に対し直角方向の一端部において第2の支持部材で保持したことを特徴とするリニアモータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31099698A JP3719016B2 (ja) | 1998-05-29 | 1998-10-30 | リニアモータ |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10-149773 | 1998-05-29 | ||
JP14977398 | 1998-05-29 | ||
JP31099698A JP3719016B2 (ja) | 1998-05-29 | 1998-10-30 | リニアモータ |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005204253A Division JP4144611B2 (ja) | 1998-05-29 | 2005-07-13 | リニアモータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000050614A JP2000050614A (ja) | 2000-02-18 |
JP3719016B2 true JP3719016B2 (ja) | 2005-11-24 |
Family
ID=26479552
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP31099698A Expired - Fee Related JP3719016B2 (ja) | 1998-05-29 | 1998-10-30 | リニアモータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3719016B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
ITUD20010209A1 (it) * | 2001-12-14 | 2003-06-16 | Gisulfo Baccini | Motore lineare e procedimento di fabbricazione di tale motore lineare |
ITUD20010208A1 (it) * | 2001-12-14 | 2003-06-16 | Gisulfo Baccini | Motore lineare e procedimento di fabbricazione di tale motore lineare |
JP4474151B2 (ja) | 2003-11-28 | 2010-06-02 | キヤノン株式会社 | モータおよびそれを用いた露光装置ならびにデバイス製造方法 |
JP2005176464A (ja) * | 2003-12-09 | 2005-06-30 | Toshiba Mach Co Ltd | リニアモータ |
WO2005124979A1 (ja) * | 2004-06-21 | 2005-12-29 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | リニアモータ及びリニアモータの製造方法 |
JP2010166704A (ja) * | 2009-01-15 | 2010-07-29 | Yaskawa Electric Corp | コアレスリニアモータ電機子およびコアレスリニアモータ |
JP5347596B2 (ja) * | 2009-03-12 | 2013-11-20 | 株式会社安川電機 | キャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータ |
-
1998
- 1998-10-30 JP JP31099698A patent/JP3719016B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2000050614A (ja) | 2000-02-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6160327A (en) | Winding for linear motors without slots | |
JP3791082B2 (ja) | リニアモータ | |
EP0949748A1 (en) | High performance slotless linear motor with supported windings | |
WO2004019470A1 (ja) | コアレスリニアモータ | |
EP1198055A2 (en) | Linear motor, driving and control system thereof and manufacturing method thereof | |
JP3360606B2 (ja) | リニアモータ | |
KR20120075428A (ko) | 릴럭턴스 모터 | |
JP4144611B2 (ja) | リニアモータ | |
JP3719016B2 (ja) | リニアモータ | |
JP3796608B2 (ja) | 可動磁石形リニアモータ | |
JP3736381B2 (ja) | 振動型リニアアクチュエータ | |
JP3944799B2 (ja) | リニアモータ | |
JPH0515139A (ja) | ブラシレスリニアモータ | |
JP2001245464A (ja) | リニアモータ | |
JP3817967B2 (ja) | リニアモータ | |
JP4711160B2 (ja) | リニアモータ電機子およびリニアモータ | |
JPH02246762A (ja) | リニアモータ | |
JP2021180542A (ja) | リニアモータおよびリニアコンベア | |
JP2001008432A (ja) | リニアモータ | |
JP2001086726A (ja) | コアレスリニアモータ | |
JP4106571B2 (ja) | リニアモータ | |
JPH0851758A (ja) | リニアモータ | |
JPH11168871A (ja) | 空心コイルを備えるリニアモータ | |
JP2002096233A (ja) | リニアスライダ | |
JP3786150B2 (ja) | リニアモータ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050414 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050531 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050701 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050816 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050829 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080916 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090916 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100916 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |