JP3944799B2 - リニアモータ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明はコギング力、発熱を嫌い、高速・高加減速または高精度位置決めを要求される例えば半導体製造装置やFA機器、あるいは工作機テーブルの送りに用いられるリニアモータに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の一般的な可動マグネット形リニア同期モータは、可動子は界磁用永久磁石を移動方向に並べ、固定子は電機子巻線を施して構成される。例えば、毎極毎相のスロット数1/2の3相リニアモータの側面から見た断面図を図19に示す。
まず、可動子31について説明する。可動子31は界磁用の永久磁石32と界磁ヨーク33から成る。界磁ヨーク33は可動子31の移動方向に沿って伸びた平板状を成し、その下に永久磁石32が所定の極ピッチで極性が交互に異極となるように配置されている。
次に、固定子34について説明する。固定子34は、スロット内の巻線占積率を上げる例として、分割コアとした例を示す。まず、1個の分割コア35には、電機子巻線36が集中巻きされている。それを移動方向に連結し、その分割コア35の底面をネジ穴等を設けている固定子フレーム37に固着して、構成している。
以上示した分割コア35の連結方法は、回転形サーボモータ等に多く応用されているものであり、これをリニアモータに置き換えたものである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところが従来の技術によると次のような問題点がある。
固定子34の分割コア35の歯先端と可動子31の界磁永久磁石32とは近接している。そのために、界磁永久磁石32と分割コア35の歯先端に大きな吸引力が作用する。この大きさは最大推力の3〜5倍程度である。そのために、リニアガイド(図示せず)に発生する摩擦力が非常に大きなものとなり、リニアガイドとリニアモータの発熱が大きくなった。また、吸引力による可動子31のたわみを回避するために、可動子31を強固にする必要が生じる。よって、可動子重量が大きくなり、高加減速運動が不向きであった。
さらに、分割コア連結部のクリアランスにバラツキがあるために、磁束のアンバランスが生じコギング力が発生した。また、ギャップが不均一であったり、可動子31の場所によってギャップが変動することによってもコギング力の原因となった。よって、非常に微少な位置決め性能が要求される用途への適用が困難であった。
そこで本発明が解決しようとする課題は、界磁永久磁石と分割コアの歯先端に作用する吸引力を打ち消し、リニアモータの発熱を小さくでき、さらに、コギング力を小さくできるリニアモータの構造を提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明の第1の手段は、固定子または可動子の何れか一方に電機子巻線を施した電機子を配備し、他方に可動子に複数の界磁とした永久磁石を非磁性材フレームに配備したリニアモータにおいて、前記電機子は、電機子巻線を集中巻きした分割コアを階段状に並べ傾斜させた状態で連結した電機子ユニットを2n(nは自然数)個備え、前記電機子ユニットの2個が前記磁石ユニットの1個を左右一定の空隙となるように挟み込んで構成したモータ組みをn組構成する。また、前記磁石ユニットの左右にある前記2個の電機子ユニットの分割コアの倒れ方向を逆方向する。以上の第1の手段によって、永久磁石と分割コアの歯先端に生じる吸引力が左右で相殺される。そのため従来例に示した吸引力による問題を解決することができる。また、固定子の分割コアをスキュー角分傾斜した状態で連結することにより、スロット内の巻線占積率を向上しかつコギング力を小さくすることができる。つまり、吸引力、コギング力、発熱のすべてが小さいリニアモータが可能となる。
【0005】
また、本発明の第2の手段は、界磁に永久磁石、もしくはモータの2次側である2次導体や誘導子を左右対向するように配設し、電機子は分割コアに巻線を巻回し、前記界磁またはモータの2次側に配置したリニアモータにおいて、前記電機子は、分割コアに、各相巻線を集中巻きした後、前記界磁もしくは2次側に対し前記分割コアを階段状に並べて傾斜させた状態で連結して構成する。また、分割コアの形状を十字型やT形にしたりI形にしたりして構成する。さらに、前記可動子を移動方向に対し前後方向または上下方向に2個配置すると共に、前後方向または上下方向の前記分割コアを逆方向に傾斜させたりする。以上の第2の手段により、可動子に生じる吸引力が左右で相殺される。また、界磁の永久磁石に対し可動子の分割コアが斜めに配置されるために、コギング力が低減される。また、このときの電機子巻線の巻数は、分割コアを斜めに倒す角度には一切左右されないため、巻線占積率が高く発熱の小さいものとなっている。
【0006】
【発明の実施の形態】
以下、本発面の実施の形態を図に基づいて説明する。図1は本発明の第1実施例における正面から見た正断面図、図2は図1のA−A’における断面図を表している。このリニアモータは毎極毎相のスロット数が1/2である。これらの図において、1は可動子、2は界磁ヨーク、3は磁石ユニット、4は永久磁石、5はリニアガイド、6は固定子、7は固定子フレーム、8は固定部材、9は固定ボルト、10は電機子ユニット、11は分割コア、12は電機子巻線である。
まず、可動子1について説明する。可動子1は、両サイドに可動子を支持するためのリニアガイド5、テーブル面に対し垂直に配置された界磁用の2個の永久磁石ユニット3から構成される。1個の磁石ユニット3には永久磁石4が9個配備されるが、両側の永久磁石の幅は、内側のものの幅に対し約半分となっており、磁束がバランスするようになっている。
次に、固定子6について説明する。固定子6は、2個の磁石ユニット3を挟み込んでいる4個の電機子ユニット10、その電機子ユニット10を貼り付けている山形の固定部材8、リニアガイド5と山形の固定部材8を受けている固定子フレーム7より構成される。1個の電機子ユニット10は、18個の分割コア11とそれに予め集中巻きした電機子巻線12より構成される。さらに、この巻線表面は熱伝導の良い樹脂でスタイキャストされている。
【0007】
ここで、分割コア11の連結方法を図3,4に基づいて説明する。図3は電機子ユニット10の上面から見た図であり、電機子ティース先端の並びを示している。このように電機子ティースは斜めに倒れて並んでいる。また、これを斜視図として表したものを図4(a),(b)に示す。図4(a)は電機子巻線12を施した後の連結を示すものであり、図4(b)は分割コア11単体同士を連結したものを示している。電機子ティースを斜めに並べるようにするため、分割コア11の連結部では丁度階段状になっている。また、この倒れ角は、コギング力が発生する周期を消すために、スロットピッチの半分となっている。
以上のように構成すると、まず、永久磁石4の両側を電機子の分割コア11で挟み込んでいるために吸引力が相殺される。次に、分割コアであるため、スロット内の巻線占積率は著しく向上し、発熱を小さくできる。さらに、分割コア11を永久磁石4の並び方向に対し傾斜した状態で連結しているため、コギング力を小さくすることができる。
【0008】
次に第2実施例について説明する。図5は本発明の第2実施例における磁石ユニット3を挟んだ2個の電機子ユニット10の上面から見た図であり、電機子ティース先端の並びを示している。ここで、実線は右側の電機子ユニット10Rのティース先端、破線は左側の電機子ユニット10Lのティース先端を表している。つまり、磁石ユニット3を挟んで左右の分割コア11の倒れ方向が逆になっている。
このような構成により、分割コア11を倒すことによって生じる推力の縦方向成分は、左右の電機子ユニット10L、10Rの分割コア11を逆方向に倒すことによって互いに打ち消し合う。つまり、可動子1のピッチングを引き起こさないようになる。
【0009】
次に第3実施例について説明する。図6は本発明の第3実施例における電機子ユニット10の上面から見た図であり、電機子ティース先端の並びを示している。第1実施例よりもさらに分割コア10の倒れ角を大きくした場合、電機子ユニット11両端では分割コアが無い三角形の所が大きくなる。つまり、可動子の有効ストローク範囲が短くなってしまう。そこで、第3実施例では、この三角形の所に電機子巻線が巻かれた分割コアと同じ断面形状であるが積厚の小さい補助分割コア11’を連結している。このようにすることによって、電機子ユニット10の長さから可動子長を差し引いた分を可動子1の有効ストロークにすることができる。
【0010】
次に第4実施例について説明する。図7は電機子ユニット10とそれを固定するための固定部材8を斜視図で表したものである。分割コア11の連結部は階段状となっているため、これに合わせて固定部材8に凸凹を設けている。そして、分割コア11の底面と階段状になった側面が固定部材8との接着面となる。よって、電機子ユニット10は精度良く位置決めされると共に接着面が増えることによって接着はがれ等の問題が無くなる。
以上の実施例では可動マグネット形で示したが、可動コイル形で構成してももちろん良い。また、第1乃至4実施例では毎極毎相のスロット数を1/2で説明を行っているが、他のコンビネーションとしてももちろん良い。
【0011】
図8は本発明の第5実施例を上から見た断面図、図9は側面から見た電機子ティース表面と永久磁石の位置関係を示した図である。また、図10は図9におけるA−A’断面図である。図11(a)は電機子部分の斜視図、図11(b)は分割コアの連結を示す斜視図、図12は可動子の組立を示す斜視図である。このリニアモータは8ポール9スロットを基本構成としている。
これらの図において、21は可動子、21Uは可動子上部材、21Dは可動子下部材、22は十字形分割コア、23は電機子巻線、24は可動子上部材21Uと可動子上部材21Dを結合するボルト、25Lは左側固定子、25Rは右側固定子、26は固定子のバックヨーク、27は永久磁石である。
本実施例において、固定子は、右側固定子25Rと左側固定子25Lの2つから構成される。それらは、同じ構造をしており、丁度内側が対向するように配置されている。各固定子25L、25Rは、界磁とした永久磁石27とそれを貼り付けているバックヨーク26で構成される。
可動子21は、これら2つの固定子25L、25R間にあり、その上面は図示しない負荷に固定され、長手方向に移動自在に支持されている。可動子構造は、十字形の分割コア22に予め電機子巻線23を集中巻きし、それを9個それぞれ所定の角度に傾斜した状態で連結している。そして、可動子上部材21Uと可動子下部材21Dとで挟み込み、分割コア22中央に開けた貫通穴22aにボルト24を通して固定している。
【0012】
次に第6実施例について説明する。図13(a)は本実施例を上から見た断面図、図13(b)は側面から見た電機子ティース表面を示した図である。また、図14は図13(b)におけるA−A’断面図である。このリニアモータの基本構成は8ポール9スロットである。
本実施例では、可動子分割コア28の形状をT形とし、それら連結部分の継鉄に電機子巻線23を集中巻きしている。そして、第5実施例と同じくT形の分割コア28を傾斜した状態で連結している。
【0013】
次に第7実施例について説明する。図15(a)は本実施例を上から見た断面図、図15(b)は側面から見た電機子ティース表面を示した図である。また、図16は図15(b)におけるA−A’断面図である。このリニアモータの基本構成も8ポール9スロットである。
本実施例では、可動子21の分割コア29の形状をI形とし、それら電機子ティースに電機子巻線23を集中巻きしている。そして、第1、2実施例と同じくI形の分割コア29を傾斜した状態で連結している。
【0014】
次に第8実施例について説明する。図17(a)は本実施例を上から見た断面図、図17(b)は側面から見た電機子ティース表面を示した図である。
本実施例では、可動子21は、その前方と後方にそれぞれ8スロット9ポールを基本とした電機子を合体させているが、それぞれの分割コアの傾斜方向を逆方向にしている。この構成によって、分割コアを斜めにしても残っている上下方向の力をさらに相殺することができる。
【0015】
次に第9実施例について説明する。図18(b)は本実施例の側面から見た電機子ティース表面を表す図、 図18(a)は図18(b)におけるA−A’断面図である。
本実施例は、それぞれ8スロット9ポールを基本とした電機子25を移動方向に対し上方と下方とに2個配置すると共に、左方と右方の分割コア30を逆方向に傾斜させたものである。この構成によって、第8実施例と同様に、可動子21L,21Rの左右方向の力を相殺することができる。
【0016】
【発明の効果】
上述したように、本発明によれば、界磁用永久磁石を2個の電機子ユニットで挟み込んだり、可動子を界磁用永久磁石で挟み込んだりすることにより、従来の問題であった吸引力が相殺される。また、電機子巻線は分割コアによってスロット内の巻線占積率が非常に大きくできるため、リニアモータの発熱を小さくできる。さらには、分割コアが永久磁石の並びに対し傾斜しているため、コギング力も小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1実施例を示す正断面図である。
【図2】 図1のA−A’断面図である。
【図3】 本発明の第1実施例を示す電機子ユニット上面図である。
【図4】 本発明の第1実施例を示す斜視図であり、(a)は電機子巻線を施した後の連結を示すものであり、(b)は分割コア単体同士を連結したものを示している。
【図5】 本発明の第2実施例を示す電機子ユニット上面図である。
【図6】 本発明の第3実施例を示す電機子ユニット上面図である。
【図7】 本発明の第4実施例を示す斜視図である。
【図8】 本発明の第5実施例を上から見た断面図である。
【図9】 本発明の第5実施例を側面から見た電機子ティース表面と永久磁石の位置関係を示した図である。
【図10】 図9におけるA−A’断面図である。
【図11】 (a)は本発明の第5実施例の電機子部分の斜視図、(b)は分割コアの連結を示す斜視図である。
【図12】 本発明の第5実施例の可動子の組立を示す斜視図である。
【図13】 (a)は本発明の第6実施例における上から見た断面図、(b)は側面から見た電機子ティース表面を示した図である。
【図14】 図13(b)におけるA−A’断面図である。
【図15】 (a)は本発明の第7実施例における上から見た断面図、(b)は側面から見た電機子ティース表面を示した図である。
【図16】 図15(b)におけるA−A’断面図である。
【図17】 (a)は本発明の第8実施例における上から見た断面図、(b)は側面から見た電機子ティース表面を示した図である。
【図18】 (b)は本発明の第9実施例における側面から見た電機子ティース表面を表す図、 図18(a)は図18(b)におけるA−A’断面図である。
【図19】 従来技術による構造図である。
【符号の説明】
1 可動子、2 界磁ヨーク、3 磁石ユニット、4 永久磁石、5 リニアガイド、6 固定子、7 固定子フレーム、8 固定部材、9 固定ボルト、10電機子ユニット、11 分割コア、12 電機子巻線、21 可動子、21U可動子上部材、21D 可動子下部材、22 十字形分割コア、23 電機子巻線、24 ボルト、25L 左側固定子、25R 右側固定子、26 バックヨーク、27 永久磁石、28,29,30 分割コア、31 可動子、32 永久磁石、33 界磁ヨーク、34 固定子、35 分割コア、36 電機子、37 固定子フレーム
Claims (4)
- 固定子または可動子の何れか一方に電機子巻線を施した電機子を配備し、他方に可動子に複数の界磁とした永久磁石を非磁性材フレームに配備したリニアモータにおいて、
前記電機子は、電機子巻線を集中巻きした分割コアを階段状に並べ傾斜させた状態で連結した電機子ユニットを2n(nは自然数)個備え、
前記電機子ユニットの2個が前記磁石ユニットの1個を左右一定の空隙となるように挟み込んで構成したモータ組みをn組構成したことを特徴とするリニアモータ。 - 前記磁石ユニットの左右にある前記2個の電機子ユニットの分割コアの倒れ方向が、逆方向であることを特徴とする請求項1記載のリニアモータ。
- 界磁に永久磁石、もしくはモータの2次側である2次導体や誘導子を左右対向するように配設し、電機子は分割コアに巻線を巻回し、前記界磁またはモータの2次側に配置したリニアモータにおいて、
前記電機子は、分割コアに、各相巻線を集中巻きした後、前記界磁もしくは2次側に対し前記分割コアを階段状に並べて傾斜させた状態で連結して構成したことを特徴とするリニアモータ。 - 前記電機子を移動方向に対し前後方向または上下方向に2個配置すると共に、前後方向または上下方向の前記分割コアを逆方向に傾斜させたことを特徴とする請求項3に記載のリニアモータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34348697A JP3944799B2 (ja) | 1997-12-12 | 1997-12-12 | リニアモータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34348697A JP3944799B2 (ja) | 1997-12-12 | 1997-12-12 | リニアモータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11178310A JPH11178310A (ja) | 1999-07-02 |
JP3944799B2 true JP3944799B2 (ja) | 2007-07-18 |
Family
ID=18361902
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP34348697A Expired - Fee Related JP3944799B2 (ja) | 1997-12-12 | 1997-12-12 | リニアモータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3944799B2 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4527826B2 (ja) * | 2000-01-28 | 2010-08-18 | Thk株式会社 | 高推力リニアモータ及びその製造方法 |
KR100795208B1 (ko) | 2006-03-16 | 2008-01-16 | 자화전자 주식회사 | 영구자석 계자와 돌극이 있는 전기자를 갖는 선형 모터 및그 제조방법 |
JP4860794B2 (ja) * | 2006-05-29 | 2012-01-25 | 三菱電機株式会社 | リニアモータ |
GB0902394D0 (en) | 2009-02-13 | 2009-04-01 | Isis Innovation | Electric machine- cooling |
GB0902390D0 (en) * | 2009-02-13 | 2009-04-01 | Isis Innovation | Electric machine - flux |
GB0906284D0 (en) | 2009-04-14 | 2009-05-20 | Isis Innovation | Electric machine-evaporative cooling |
JP5369926B2 (ja) | 2009-06-19 | 2013-12-18 | 株式会社安川電機 | リニアモータの電機子およびリニアモータ |
KR101092212B1 (ko) * | 2009-06-30 | 2011-12-13 | 한국전기연구원 | 이중돌극형 영구자석 전기기기 |
JP6830791B2 (ja) * | 2016-10-27 | 2021-02-17 | 山洋電気株式会社 | リニアモータ |
CN112234797A (zh) * | 2020-09-04 | 2021-01-15 | 瑞声新能源发展(常州)有限公司科教城分公司 | 一种直线电机 |
-
1997
- 1997-12-12 JP JP34348697A patent/JP3944799B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11178310A (ja) | 1999-07-02 |
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JPS6111542B2 (ja) | ||
JPH02246762A (ja) | リニアモータ | |
JP2677475B2 (ja) | リニアモータ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041112 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041112 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060519 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060526 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060713 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070316 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070329 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100420 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110420 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120420 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120420 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130420 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |