JP6830791B2

JP6830791B2 - リニアモータ

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Publication number: JP6830791B2
Application number: JP2016211045A
Authority: JP
Inventors: 玉▲棋▼ 唐
Original assignee: Sanyo Denki Co Ltd
Current assignee: Sanyo Denki Co Ltd
Priority date: 2016-10-27
Filing date: 2016-10-27
Publication date: 2021-02-17
Anticipated expiration: 2036-10-27
Also published as: JP2018074722A

Description

本発明は、リニアモータに関する。

チップマウンター（ＳＭＴ）の高速及び高精度の動作を実現するために、複数の小型（小幅）リニアモータを並べて使用される機械がある。このような機械に使用されるリニアモータに関しては、例えば、移動の高精度な位置決めと、チップなどを押付ける力の高精度のコントロールを実現するために、コギングを抑えることが求められる。

いくつかの特許文献では、コア付リニアモータのコギング対策が開示されている。例えば、特許文献１では、コイルを巻かない補助ティースを推力発生部の電機子コアの両側に設け、両補助ティースの中心距離τ_ｐ＝（２ｎ−１）×τ_ｍ／２（ｎは正の整数）とすることで、コギングを抑えることが記載されている。

また、特許文献２では、電機子コアの両側にあるコイルを巻かない補助ティースに関して、補助ティースの各先端部の中心距離Ｄｔｋ＝（２×ｎ−１）×ｐｍ／（２×ｋ）とすることで、コギングを低減することが記載されている。

特許第４１０３０６６号特許第５０４１０１７号

しかし、上記の特許文献１及び２に記載されたコギングの対策は不十分である。そこで、本発明は、より効果的にコギングを低減することが可能なリニアモータを提供する。

例えば、上記課題を解決するために、特許請求の範囲に記載の構成を採用する。本願は上記課題を解決する手段を複数含んでいるが、その一例をあげるならば、複数の磁石から構成される磁石列を有する可動子と、第１電機子コア及び第２電機子コアと、前記第１電機子コア及び前記第２電機子コアから前記可動子に向かって突出する複数のティースとを有し、前記可動子を前記第１電機子コア及び前記第２電機子コアで挟むように構成された固定子とを備えるリニアモータであって、前記可動子の軸方向における前記第１電機子コアの外側の少なくとも片側に第１補助ティースが配置され、前記可動子の軸方向における前記第２電機子コアの外側の少なくとも片側に第２補助ティースが配置されており、前記第１補助ティース及び前記第２補助ティースが、前記可動子の軸上の点に関して点対称の位置に配置されている、リニアモータが提供される。

好適には、前記可動子のストロークをＸｓとし、前記可動子の軸方向における前記第１及び第２補助ティースの幅をＷｄとしたとき、
（１／２）×Ｘｓ ≦ Ｗｄ
である。

好適には、前記第１及び第２補助ティースの高さをｈｄとし、前記ティースの高さをｈｔとしたとき、
ｈｄ＜ｈｔ
である。

好適には、前記第１補助ティース及び前記第２補助ティースが、それぞれ、第１凹部を備えてもよい。

好適には、前記第１凹部は、前記ティース側の第１端部から反対側の第２端部に向かって前記第１凹部の深さが徐々に大きくなるように傾斜する第１傾斜面と、前記第１傾斜面から連続し、前記第２端部に向かって前記第１凹部の深さが徐々に小さくなるように傾斜する第２傾斜面とから構成されてもよい。

好適には、前記第１補助ティース及び前記第２補助ティースが、それぞれ、前記第１凹部に対して前記ティースとは反対側に第２凹部をさらに備えてもよい。

好適には、前記第２凹部は、四角形状の断面を有してもよい。

好適には、前記磁石列は貫通磁路を有し、前記磁石列の両端の外側には磁性片が配置されてもよい。

好適には、前記可動子の軸方向における前記磁性片の幅をＷｓとし、前記複数の磁石間の隙間の長さをＷａとし、前記磁性片の高さをｈｓとし、前記磁石の高さをｈｍとしたとき、
Ｗｓ ≧ Ｗａ
ｈｓ＝ｈｍ
である。

好適には、前記磁石は、スキュー構造を有してもよい。

好適には、前記磁石は、前記第１電機子コアに対向する第１部分と、前記第２電機子コアに対向する第２部分とを有し、前記第１部分と前記第２部分とが、前記可動子の軸方向にずれて配置されてもよい。

好適には、前記第１電機子コアの前記ティースと前記第２電機子コアの前記ティースとが、前記可動子の軸方向にずれて配置されてもよい。

好適には、前記可動子の軸方向における前記第１電機子コアの外側のうち、前記第１補助ティースが配置されていない側には、リニアエンコーダ又はホールセンサが配置されており、前記可動子の軸方向における前記第２電機子コアの外側のうち、前記第２補助ティースが配置されていない側には、リニアエンコーダ又はホールセンサが配置されてもよい。

好適には、前記可動子及び前記固定子を格納するケーシングをさらに備え、前記可動子と前記ケーシングとの間には、前記可動子の落下防止用のばねが配置されてもよい。

好適には、前記可動子のストロークをＸｓとし、前記可動子の軸方向における前記第１及び第２電機子コアの長さをＬｓｔとし、前記可動子の軸方向における前記磁石列の長さをＬｍとしたとき、
Ｌｍ≒Ｌｓｔ＋Ｘｓ
である。

本発明によれば、従来に比べて、より効果的にコギングを低減することができる。本発明に関連する更なる特徴は、本明細書の記述、添付図面から明らかになるものである。また、上記した以外の、課題、構成及び効果は、以下の実施例の説明により明らかにされる。

（ａ）は、実施例１におけるリニアモータを上から見た概略図であり、（ｂ）は、実施例１におけるリニアモータを横から見た概略図である。実施例１におけるリニアモータのモデル図である。実施例１のリニアモータと比較例とのコギング比較結果を示す。（ａ）は、実施例２におけるリニアモータを上から見た概略図であり、（ｂ）は、実施例２におけるリニアモータを横から見た概略図である。実施例２におけるリニアモータのモデル図である。（ａ）は、実施例２における可動子を上から見た概略図であり、（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。実施例２と実施例１とのコギング比較結果を示す。（ａ）は、実施例３におけるリニアモータを上から見た概略図であり、（ｂ）は、実施例３におけるリニアモータを横から見た概略図である。実施例３におけるリニアモータのモデル図である。実施例３と実施例２とのコギング比較結果を示す。（ａ）は、実施例４におけるリニアモータを上から見た概略図であり、（ｂ）は、実施例４におけるリニアモータを横から見た概略図である。（ａ）は、実施例４における可動子を上から見た概略図であり、（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。実施例４における永久磁石を示す図であり、（ａ）は横から見た概略図であり、（ｂ）は上から見た概略図であり、（ｃ）は下から見た概略図であり、（ｄ）は可動子の軸方向から見た概略図である。実施例４と実施例３とのコギング比較結果を示す。（ａ）は、実施例４の別の例におけるリニアモータを上から見た概略図であり、（ｂ）は、実施例４の別の例におけるリニアモータを横から見た概略図である。実施例５におけるリニアモータを横から見た概略図である。

以下、添付図面を参照して本発明の実施例について説明する。なお、添付図面は本発明の原理に則った具体的な実施例を示しているが、これらは本発明の理解のためのものであり、決して本発明を限定的に解釈するために用いられるものではない。

［実施例１］
図１（ａ）は、実施例１におけるリニアモータを上から見た概略図であり、図１（ｂ）は、実施例１におけるリニアモータを横から見た概略図である。また、図２は、実施例１におけるリニアモータ１００のモデル図である。

リニアモータ１００は、固定子としての電機子１１０と、可動子１２０と、ケーシングとしてのブラケット１３０とを備える。電機子１１０は、第１電機子コア１１１ａ及び第２電機子コア１１１ｂを備える。電機子１１０は、可動子１２０を第１及び第２電機子コア１１１ａ、１１１ｂによって上下で挟むように構成されている。

第１電機子コア１１１ａ及び第２電機子コア１１１ｂは同じ構成であるため、以下では第１電機子コア１１１ａについて説明し、第２電機子コア１１１ｂの説明は省略する。第１電機子コア１１１ａは、リニアモータの推力を発生させる推力発生部である。図２に示すように、第１電機子コア１１１ａには、可動子１２０に向けて突出する複数のティース１１２が設けられている。ティース１１２の基端側は、第１電機子コア１１１ａに連結されている。なお、第１電機子コア１１１ａ及びティース１１２は、例えば、電磁鋼板で構成されている。

ティース１１２は、コイル１１３を収容する空間としてのスロット１１４を区画形成する部材である。すなわち、第１電機子コア１１１ａは、長手方向（可動子１２０の軸方向）に並列配置された複数の凹状のスロット１１４を有している。コイル１１３は、各ティース１１２の周囲を覆うように巻回されている。

可動子１２０は、複数の永久磁石１２１と、永久磁石１２１が配置される磁石部１２２とを備える。永久磁石１２１の磁石列は、磁石部１２２上において磁石部１２２の長手方向（すなわち、可動子１２０の軸方向）に沿って配設されている。複数の永久磁石１２１は、所定の空間を隔てて隣り合う表面の極性が異なるように配置（Ｎ，Ｓ，Ｎ，Ｓ，・・・）されている。また、永久磁石１２１の磁石列は、貫通磁路を形成している。

本実施例の特徴について説明する。電機子１１０は、可動子１２０の軸方向（可動方向）における電機子コア１１１ａ、１１１ｂの外側の少なくとも片側に、コイルを巻かない補助ティースを備える。図１（ｂ）の例では、第１補助ティース１４１が、上側の第１電機子コア１１１ａの片側（第１電機子コア１１１ａの左側）に配置され、第２補助ティース１４２が、下側の第２電機子コア１１１ｂの片側（第２電機子コア１１１ｂの右側）に配置されている。

第２補助ティース１４２は、第１補助ティース１４１が配置された側と反対側に配置されている。好ましくは、第１補助ティース１４１及び第２補助ティース１４２は、可動子１２０の軸上の点Ａに関して点対称の位置に配置されている。

なお、補助ティース１４１、１４２が配置されていない側には、リニアエンコーダ１５１又はホールセンサなどが配置されてもよい。このように、補助ティース１４１、１４２が配置されていない箇所に、リニアエンコーダ１５１又はホールセンサなどの部材を配置することで、リニアモータ１００の小型化が可能となる。

なお、図１（ｂ）では、電機子コアの片側に補助ティースが配置されているが、図２に示すように電機子コアの両側に補助ティース１４１が配置されてもよい。

また、可動子１２０のストロークをＸｓとし、可動子１２０の軸方向における第１電機子コア１１１ａの長さ（この例では、外側両端にあるティース１１２間の距離）をＬｓｔとしたとき、可動子１２０の軸方向における永久磁石１２１の列の全長（この例では、永久磁石１２１が配置される磁石部１２２の長さ）Ｌｍは、ほぼＬｓｔ＋Ｘｓに等しい。
Ｌｍ≒Ｌｓｔ＋Ｘｓ・・・（１）

また、可動子１２０の軸方向における第１補助ティース１４１の幅をＷｄとしたとき、幅ＷｄはストロークＸｓの半分以上であり、かつ、ストロークＸｓより小さい。
（１／２）×Ｘｓ ≦ Ｗｄ＜Ｘｓ・・・（２）

また、第１補助ティース１４１の高さｈｄは、ティース１１２の高さｈｔよりも小さい。
ｈｄ＜ｈｔ・・・（３）

ここでは、上側の第１電機子コア１１１ａついて説明したが、図２の構成は、下側の第２電機子コア１１１ｂに適用されてもよい。

なお、図２において、Ｗａは永久磁石１２１間の隙間の長さを表し、Ｗｍは可動子１２０の軸方向における永久磁石１２１の幅を表し、ｈｍは永久磁石１２１の高さを表し、ｔｍは永久磁石１２１を配置するピッチを表す。

図３は、本実施例のリニアモータ１００と比較例とのコギング比較結果を示す。「Ｔ１」は本実施例のリニアモータ１００を表し、「Ｔ０」は比較例のリニアモータを表す。Ｔ０のリニアモータは、補助ティースが設けられていない従来の構成である。

本実施例の構成によれば、従来の構成に比べてコギングを低減することができる。特に、永久磁石列の運動方向の全長が、電機子コア長さとストロークとの和の長さとほぼ一致するコア付リニアモータに関しては、従来の特許文献の対策ではコギングを低減することができなかった。これに対して、本実施例の構成によれば、そのような構成のコア付リニアモータにおいても、コギングを低減することができる。また、貫通磁路を有する磁石列を設けることで、省磁石型で、かつ、大きな推力を有するリニアモータを提供することができる。また、可動子１２０の永久磁石列が上下の電機子コア１１１ａ、１１１ｂに挟まれる構造により、省磁石型で、かつ、軽量化の可動子１２０を提供しつつ、モータの高速及び高精度の動作と、大推力化が可能となる。

［実施例２］
図４（ａ）は、実施例２におけるリニアモータを上から見た概略図であり、図４（ｂ）は、実施例２におけるリニアモータを横から見た概略図である。実施例１と同じ構成要素については同じ符号を付して、詳細な説明を省略する。以下では、実施例１と異なる点について説明する。

図５は、実施例２におけるリニアモータ１００のモデル図である。図４（ｂ）及び図５に示すように、第１補助ティース１４１は、第１凹部１４３を有する。可動子１２０の軸方向における第１凹部１４３の幅Ｄ_１は、第１補助ティース１４１の幅Ｗｄの半分以上である。

第１凹部１４３は、ティース１１２側の第１端部１４１ａから傾斜する第１傾斜面１４３ａと、第１傾斜面１４３ａから連続し、第２端部１４１ｂに向かって傾斜する第２傾斜面１４３ｂとを有する。第１傾斜面１４３ａは、第１端部１４１ａから反対側の第２端部１４１ｂに向かって第１凹部１４３の深さが徐々に大きくなるように傾斜している。また、第２傾斜面１４３ｂは、第１傾斜面１４３ａから連続しており、第２端部１４１ｂに向かって第１凹部１４３の深さが徐々に小さくなるように傾斜している。第１傾斜面１４３ａの傾斜角度は、第２傾斜面１４３ｂの傾斜角度よりも小さい。また、可動子１２０の軸方向における第１傾斜面１４３ａの長さは、可動子１２０の軸方向における第２傾斜面１４３ｂの長さよりも大きい。

なお、図４（ｂ）に示すように、第２補助ティース１４２は、第１補助ティース１４１と同様に第１凹部１４３を備える。

図６（ａ）は、実施例２における可動子１２０を上から見た概略図であり、図６（ｂ）は、図６（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。可動子１２０は、複数の永久磁石１２１を格納するための磁石ホルダ１２３を備える。磁石ホルダ１２３は、非磁性部材である。磁石ホルダ１２３は、複数の永久磁石１２１を格納するための複数のスロット１２４を備える。本実施例において、永久磁石１２１の磁石列の両端の外側には、磁性片１２５、１２６が配置されている。磁性片１２５、１２６は、それぞれ、永久磁石１２１に隣接するように配置されている。

本実施例では、可動子１２０の軸方向における磁性片１２５、１２６の幅Ｗｓは、永久磁石１２１間の隙間の長さＷａ以上である。
Ｗｓ ≧ Ｗａ・・・（４）

また、磁性片１２５、１２６の高さｈｓは、永久磁石１２１の高さｈｍと同じである。
ｈｓ＝ｈｍ・・・（５）

図７は、本実施例と実施例１とのコギング比較結果を示す。「Ｔ１」は実施例１のリニアモータを表し、「Ｔ２」は実施例２のリニアモータを表す。本実施例の構成によれば、可動子１２０の磁石列の両端に磁性片１２５、１２６を配置し、かつ、第１及び第２補助ティース１４１、１４２に第１凹部１４３を設けることにより、実施例１に比べてさらにコギングを低減することができる。

［実施例３］
図８（ａ）は、実施例３におけるリニアモータを上から見た概略図であり、図８（ｂ）は、実施例３におけるリニアモータを横から見た概略図である。実施例１、２と同じ構成要素については同じ符号を付して、詳細な説明を省略する。以下では、実施例１、２と異なる点について説明する。

図９は、実施例３におけるリニアモータ１００のモデル図である。第１補助ティース１４１は、第２凹部１４４をさらに有する。第２凹部１４４は、第１凹部１４３に対してティース１１２とは反対側に配置されている。また、第２凹部１４４の断面は、ほぼ四角形状である。可動子１２０の軸方向における第２凹部１４４の幅Ｄ_２は、第１凹部１４３の幅Ｄ_１よりも小さい。

なお、図８（ｂ）に示すように、第２補助ティース１４２は、第１補助ティース１４１と同様に第２凹部１４４を備える。また、本実施例における可動子１２０の構成は、実施例２と同様である。

図１０は、本実施例と実施例２とのコギング比較結果を示す。「Ｔ２」は実施例２のリニアモータを表し、「Ｔ３」は実施例３のリニアモータを表す。本実施例の構成によれば、第１及び第２補助ティース１４１、１４２に第２凹部１４４を設けることにより、実施例２に比べてさらにコギングを低減することができる。

［実施例４］
図１１（ａ）は、実施例４におけるリニアモータを上から見た概略図であり、図１１（ｂ）は、実施例４におけるリニアモータを横から見た概略図である。実施例１〜３と同じ構成要素については同じ符号を付して、詳細な説明を省略する。実施例４における補助ティースの構成は、実施例３と同様である。以下では、実施例１〜３と異なる点について説明する。

図１２（ａ）は、実施例４における可動子１２０を上から見た概略図であり、図１２（ｂ）は、図１２（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。本実施例では、可動子１２０の永久磁石１２１がスキュー構造を有する。

図１３は、実施例４における永久磁石１２１を示す図であり、（ａ）は横から見た概略図であり、（ｂ）は上から見た概略図であり、（ｃ）は下から見た概略図であり、（ｄ）は可動子１２０の軸方向から見た概略図である。永久磁石１２１は、段差形状を有する。具体的には、永久磁石１２１は、上側の第１電機子コア１１１ａに対向する第１部分１２１ａと、下側の第２電機子コア１１１ｂに対向する第２部分１２１ｂとを有し、第１部分１２１ａと第２部分１２１ｂとが、可動子１２０の軸方向にずれて配置されている。なお、永久磁石１２１は、スキューが実現できる構造を有していればよく、永久磁石１２１の上側の面と下側の面とがずれるような構造を有していればよい。

また、図１２（ｂ）に示すように、複数の永久磁石１２１の磁石列の両端に配置される磁性片１２５、１２６は、永久磁石１２１と同様の段差形状を有する。

図１４は、本実施例と実施例３とのコギング比較結果を示す。「Ｔ３」は実施例３のリニアモータを表し、「Ｔ４」は実施例４のリニアモータを表す。本実施例の構成によれば、永久磁石１２１にスキュー構造を設けることにより、実施例３に比べてさらにコギングを低減することができる。

図１５（ａ）は、実施例４の別の例におけるリニアモータを上から見た概略図であり、図１５（ｂ）は、実施例４の別の例におけるリニアモータを横から見た概略図である。実施例１〜３では、上側の第１電機子コア１１１ａのティース１１２と下側の第２電機子コア１１１ｂのティース１１２とが互いに対向するように配置されていたが、この例では、電機子１１０がスキュー構造を有する。具体的には、図１５（ｂ）の点線枠で示すように、上側の第１電機子コア１１１ａのティース１１２と下側の第２電機子コア１１１ｂのティース１１２とが、可動子１２０の軸方向にずれて配置されている。なお、電機子１１０は、スキューが実現できる構造を有していればよく、上側の第１電機子コア１１１ａのティース部分と下側の第２電機子コア１１１ｂのティース部分とがずれるような構造を有していればよい。この例に関しても、図１４と同様の効果を得ることができる。

［実施例５］
図１６は、実施例５におけるリニアモータを横から見た概略図である。実施例１〜４と同じ構成要素については同じ符号を付して、詳細な説明を省略する。以下では、実施例１〜４と異なる点について説明する。実施例５における可動子１２０の構成は、実施例４と同様である。

本実施例では、上側の第１補助ティース１４１が配置されていない側にリニアエンコーダ１５１が配置されている。また、下側の第２補助ティース１４２が配置されていない側にホールセンサ１５２が配置されている。このように、補助ティース１４１、１４２が配置されていない箇所に、リニアエンコーダ１５１又はホールセンサ１５２などの部材を配置することで、リニアモータ１００の小型化が可能となる。

さらに、可動子１２０とブラケット１３０との間には可動子落下防止用のばね１６１が配置されている。ばね１６１内の空間に可動子１２０の軸部材が挿入されている。本実施例では、可動子１２０の軸部材の端部１２０ａがばね１６１に引っ掛かり、可動子１２０の落下を防止することができる。本実施例によれば、組立時の可動子１２０の落下も防止できるため、簡単な組み立てを実現することができる。また、ばね１６１を配置することにより、モータの使用の自由度を広げることができる。

本発明は上記した実施例に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。上記実施例は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えることもできる。また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることもできる。また、各実施例の構成の一部について、他の構成を追加・削除・置換することもできる。

１００ …リニアモータ
１１０ …電機子
１１１ａ、１１１ｂ …電機子コア
１１２ …ティース
１１３ …コイル
１１４ …スロット
１２０ …可動子
１２１ …永久磁石
１２２ …磁石部（バックヨーク或いはヨーク）
１２３ …磁石ホルダ
１２４ …スロット
１２５、１２６ …磁性片
１３０ …ブラケット
１４１、１４２ …補助ティース
１４３、１４４ …凹部
１５１ …リニアエンコーダ
１５２ …ホールセンサ
１６１ …ばね

Claims

複数の磁石から構成される磁石列を有する可動子と、
第１電機子コア及び第２電機子コアと、前記第１電機子コア及び前記第２電機子コアから前記可動子に向かって突出する複数のティースとを有し、前記可動子を前記第１電機子コア及び前記第２電機子コアで挟むように構成された固定子と
を備えるリニアモータにおいて、
前記可動子の軸方向における前記第１電機子コアの外側の第１端側のみにコイルを巻かない第１補助ティースが配置され、前記可動子の軸方向における前記第２電機子コアの外側の前記第１端とは反対側の片側のみにコイルを巻かない第２補助ティースが配置されており、
前記第１補助ティース及び前記第２補助ティースが、前記可動子の軸上の中心点に関して点対称の位置に配置されていることを特徴とするリニアモータ。
前記可動子のストロークをＸｓとし、前記可動子の軸方向における前記第１及び第２補助ティースの幅をＷｄとしたとき、
（１／２）×Ｘｓ ≦ Ｗｄ
であることを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ。
前記第１及び第２補助ティースの高さをｈｄとし、前記ティースの高さをｈｔとしたとき、
ｈｄ＜ｈｔ
であることを特徴とする請求項１又は２に記載のリニアモータ。
前記第１補助ティース及び前記第２補助ティースが、それぞれ、第１凹部を備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のリニアモータ。
前記第１凹部は、
前記ティース側の第１端部から反対側の第２端部に向かって前記第１凹部の深さが徐々に大きくなるように傾斜する第１傾斜面と、
前記第１傾斜面から連続し、前記第２端部に向かって前記第１凹部の深さが徐々に小さくなるように傾斜する第２傾斜面と
から構成されていることを特徴とする請求項４に記載のリニアモータ。
前記第１補助ティース及び前記第２補助ティースが、それぞれ、前記第１凹部に対して前記ティースとは反対側に第２凹部をさらに備えることを特徴とする請求項４又は５に記載のリニアモータ。
前記第２凹部は、四角形状の断面を有する請求項６に記載のリニアモータ。
前記磁石列は貫通磁路を有し、前記磁石列の両端の外側には磁性片が配置されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載のリニアモータ。
前記可動子の軸方向における前記磁性片の幅をＷｓとし、前記複数の磁石間の隙間の長さをＷａとし、前記磁性片の高さをｈｓとし、前記磁石の高さをｈｍとしたとき、
Ｗｓ ≧ Ｗａ
ｈｓ＝ｈｍ
であることを特徴とする請求項８に記載のリニアモータ。
前記磁石は、スキュー構造を有することを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載のリニアモータ。
前記磁石は、前記第１電機子コアに対向する第１部分と、前記第２電機子コアに対向する第２部分とを有し、
前記第１部分と前記第２部分とが、前記可動子の軸方向にずれて配置されていることを特徴とする請求項１０に記載のリニアモータ。
前記第１電機子コアの前記ティースと前記第２電機子コアの前記ティースとが、前記可動子の軸方向にずれて配置されていることを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載のリニアモータ。
前記可動子の軸方向における前記第１電機子コアの外側のうち、前記第１補助ティースが配置されていない側には、リニアエンコーダが配置されており、
前記可動子の軸方向における前記第２電機子コアの外側のうち、前記第２補助ティースが配置されていない側には、ホールセンサが配置されていることを特徴とする請求項１〜１２のいずれか一項に記載のリニアモータ。
前記可動子及び前記固定子を格納するケーシングをさらに備え、
前記可動子と前記ケーシングとの間には、前記可動子の落下防止用のばねが配置されていることを特徴とする請求項１〜１３のいずれか一項に記載のリニアモータ。
前記可動子のストロークをＸｓとし、前記可動子の軸方向における前記第１及び第２電機子コアの長さをＬｓｔとし、前記可動子の軸方向における前記磁石列の長さをＬｍとしたとき、
Ｌｍ≒Ｌｓｔ＋Ｘｓ
であることを特徴とする請求項１〜１４のいずれか一項に記載のリニアモータ。