JP2677475B2 - リニアモータ - Google Patents
リニアモータInfo
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- JP2677475B2 JP2677475B2 JP542592A JP542592A JP2677475B2 JP 2677475 B2 JP2677475 B2 JP 2677475B2 JP 542592 A JP542592 A JP 542592A JP 542592 A JP542592 A JP 542592A JP 2677475 B2 JP2677475 B2 JP 2677475B2
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- Japan
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- coil
- permanent magnet
- mover
- linear motor
- magnetic
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、対向するヨークの内面
の少なくとも一方に永久磁石を固着して構成した界磁
と、この永久磁石の磁気空隙内に設けた電機子とを相対
移動可能に構成してなるリニアモータに関するものであ
る。
の少なくとも一方に永久磁石を固着して構成した界磁
と、この永久磁石の磁気空隙内に設けた電機子とを相対
移動可能に構成してなるリニアモータに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来１０cm乃至１００cmといった長いス
トロークの範囲内で物体の位置決めを行うための駆動装
置としては、例えば、特公昭58− 49100号および実開昭
63− 93783号公報に開示されているような可動コイル形
リニアモータが多用されている。このリニアモータは、
厚さ方向に着磁した複数の永久磁石を着磁方向が異なる
ように対向させて配置し、対向する永久磁石間に形成さ
れた磁気空隙内に、磁束と直角方向に運動する可動コイ
ル組立体を配設した構造を有する。
トロークの範囲内で物体の位置決めを行うための駆動装
置としては、例えば、特公昭58− 49100号および実開昭
63− 93783号公報に開示されているような可動コイル形
リニアモータが多用されている。このリニアモータは、
厚さ方向に着磁した複数の永久磁石を着磁方向が異なる
ように対向させて配置し、対向する永久磁石間に形成さ
れた磁気空隙内に、磁束と直角方向に運動する可動コイ
ル組立体を配設した構造を有する。
【０００３】このようなリニアモータでは、磁気回路部
にセンターヨークがなく、しかも磁気空隙内で磁束が複
数個の閉ループを構成し、磁路の一部に磁束が集中しな
いようになっているので、長いストロークの全域に亘っ
て一様な磁束密度を発生させることができる。
にセンターヨークがなく、しかも磁気空隙内で磁束が複
数個の閉ループを構成し、磁路の一部に磁束が集中しな
いようになっているので、長いストロークの全域に亘っ
て一様な磁束密度を発生させることができる。
【０００４】図３は従来のリニアモータの例を示す要部
説明図である。図３において１はヨークであり、鉄板の
ような強磁性材料により例えば平板状に形成する。２は
永久磁石であり、厚さ方向に着磁し、表面にＮＳ磁極が
交互に出現するようにヨーク１の長手方向に配設して固
着する。上記のように形成したヨーク１を永久磁石２の
異極が対向するように磁気空隙３を介して配設する。４
は支持板であり、前記空隙３を確保するためにヨーク１
の長手方向両端部に固着する。なお支持板４は前記ヨー
ク１と同様の強磁性材料によって形成することが好まし
い。
説明図である。図３において１はヨークであり、鉄板の
ような強磁性材料により例えば平板状に形成する。２は
永久磁石であり、厚さ方向に着磁し、表面にＮＳ磁極が
交互に出現するようにヨーク１の長手方向に配設して固
着する。上記のように形成したヨーク１を永久磁石２の
異極が対向するように磁気空隙３を介して配設する。４
は支持板であり、前記空隙３を確保するためにヨーク１
の長手方向両端部に固着する。なお支持板４は前記ヨー
ク１と同様の強磁性材料によって形成することが好まし
い。
【０００５】次に５はコイルであり、前記磁気空隙３に
おける磁束と巻線方向が直交するような偏平の多相コイ
ルによって形成する。すなわち複数個のコイルを永久磁
石２の配設方向に若干量宛ずらせて配設し、磁極の方向
を磁界検出素子等の手段を介して検出し、電流を流すべ
きコイルおよびその方向を切換え得るように形成する。
なお上記コイル５はホルダ（図示せず）に一体に支持さ
れて可動子を形成する。
おける磁束と巻線方向が直交するような偏平の多相コイ
ルによって形成する。すなわち複数個のコイルを永久磁
石２の配設方向に若干量宛ずらせて配設し、磁極の方向
を磁界検出素子等の手段を介して検出し、電流を流すべ
きコイルおよびその方向を切換え得るように形成する。
なお上記コイル５はホルダ（図示せず）に一体に支持さ
れて可動子を形成する。
【０００６】以上の構成により、コイル５に電流を流す
と、コイル５の巻線方向が永久磁石２による磁束と直交
しているので、コイル５はフレミングの左手の法則によ
り、ヨーク１の長手方向の駆動力を受けるから、コイル
５を一体に支持してなる可動子（図示せず）はヨーク１
の長手方向に移動する。次にコイル５に前記と逆方向の
電流を流すと、コイル５には前記と逆方向の駆動力が作
用するから、可動子は前記と逆方向に移動する。従って
コイル５への通電およびその電流の方向を選択すること
により、可動子を所定位置に移動させることができる。
と、コイル５の巻線方向が永久磁石２による磁束と直交
しているので、コイル５はフレミングの左手の法則によ
り、ヨーク１の長手方向の駆動力を受けるから、コイル
５を一体に支持してなる可動子（図示せず）はヨーク１
の長手方向に移動する。次にコイル５に前記と逆方向の
電流を流すと、コイル５には前記と逆方向の駆動力が作
用するから、可動子は前記と逆方向に移動する。従って
コイル５への通電およびその電流の方向を選択すること
により、可動子を所定位置に移動させることができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記のようなストロー
クの長いリニアモータは、物体の搬送用として使用され
る場合が多く、目的位置まで搬送して所定位置に停止さ
せる機能が重視されている。従って移動開始後、定速域
までの立上り時間および位置決め完了までのセトリング
タイムとしては１００msec程度のものが一般的であり、
使用上の問題はなかった。しかしながら、例えばフォト
プロッタ、フィルムプロッタ等に使用されるものにおい
ては、分解能として１０μm 以下を要求されているた
め、また工程間のタクトを短縮する必要から、上記立上
り時間および位置決め時間として、磁気ディスク装置並
の１０〜２０msecのものが要求されるようになってき
た。このような仕様のものに対しては、前記従来の構成
のリニアモータでは対応できないという問題点がある。
クの長いリニアモータは、物体の搬送用として使用され
る場合が多く、目的位置まで搬送して所定位置に停止さ
せる機能が重視されている。従って移動開始後、定速域
までの立上り時間および位置決め完了までのセトリング
タイムとしては１００msec程度のものが一般的であり、
使用上の問題はなかった。しかしながら、例えばフォト
プロッタ、フィルムプロッタ等に使用されるものにおい
ては、分解能として１０μm 以下を要求されているた
め、また工程間のタクトを短縮する必要から、上記立上
り時間および位置決め時間として、磁気ディスク装置並
の１０〜２０msecのものが要求されるようになってき
た。このような仕様のものに対しては、前記従来の構成
のリニアモータでは対応できないという問題点がある。
【０００８】本発明は上記従来技術に存在する問題点を
解決し、応答速度が大であり、定速域までの立上り時間
および定速域からの位置決め時間が小であるリニアモー
タを提供することを目的とする。
解決し、応答速度が大であり、定速域までの立上り時間
および定速域からの位置決め時間が小であるリニアモー
タを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明においては、対向するヨークの内面の少なく
とも一方に永久磁石を固着すると共に、長手方向に交互
に異極が現れるように配設して界磁を構成し、前記永久
磁石の表面に形成される磁気空隙内に偏平コイルからな
る電機子を設け、界磁と電機子の何れか一方を固定子と
し、他方を可動子とし、固定子と可動子とを永久磁石の
配設方向に相対移動可能に構成したリニアモータにおい
て、界磁を構成する永久磁石の表面に非磁性導電材料か
らなる被覆部材を設ける、という技術的手段を採用し
た。
に、本発明においては、対向するヨークの内面の少なく
とも一方に永久磁石を固着すると共に、長手方向に交互
に異極が現れるように配設して界磁を構成し、前記永久
磁石の表面に形成される磁気空隙内に偏平コイルからな
る電機子を設け、界磁と電機子の何れか一方を固定子と
し、他方を可動子とし、固定子と可動子とを永久磁石の
配設方向に相対移動可能に構成したリニアモータにおい
て、界磁を構成する永久磁石の表面に非磁性導電材料か
らなる被覆部材を設ける、という技術的手段を採用し
た。
【００１０】
【作用】上記の構成により、永久磁石の磁気空隙内に電
機子を構成する偏平コイルが介装された際におけるコイ
ルインダクタンスの減少を図ることができる。
機子を構成する偏平コイルが介装された際におけるコイ
ルインダクタンスの減少を図ることができる。
【００１１】
【実施例】図１は本発明の実施例を示す要部説明図であ
り、同一部分は前記図３と同一の参照符号で示す。図１
において６は被覆部材であり、例えば厚さ 0.3〜 1.0mm
の銅板によって形成し、永久磁石２の表面に被着させ
る。他の構成は前記図３におけるものと同様である。
り、同一部分は前記図３と同一の参照符号で示す。図１
において６は被覆部材であり、例えば厚さ 0.3〜 1.0mm
の銅板によって形成し、永久磁石２の表面に被着させ
る。他の構成は前記図３におけるものと同様である。
【００１２】上記の構成により、コイル５を含む可動子
重量４kg（積載重量も含む）程度のもので、移動距離
1.0〜 2.0ピッチの場合において、位置決め完了までの
時間を１０msecのオーダーとすることができる。すなわ
ち永久磁石２の表面に銅板のような非磁性導電材料から
なる被覆部材６を被着させたことにより、可動子を構成
するコイル５のインダクタンスを減少させ得ることに起
因する。
重量４kg（積載重量も含む）程度のもので、移動距離
1.0〜 2.0ピッチの場合において、位置決め完了までの
時間を１０msecのオーダーとすることができる。すなわ
ち永久磁石２の表面に銅板のような非磁性導電材料から
なる被覆部材６を被着させたことにより、可動子を構成
するコイル５のインダクタンスを減少させ得ることに起
因する。
【００１３】図２は本発明の他の実施例を示す要部説明
図である。すなわち前記図１に示すものが所謂ムービン
グコイル型であるのに対して、図２に示すものはムービ
ングマグネット型と称されている。図２において、７は
ベースであり、鉄板等の強磁性材料によって長板状に形
成する。８はコイルであり、偏平状に形成し、相互に重
畳しないように適宜間隔で複数個をベース７上に配設
し、電機子を形成する。なおコイル８には直流電流を給
電することにより、長手方向に交互に異極が現れるよう
に構成する。
図である。すなわち前記図１に示すものが所謂ムービン
グコイル型であるのに対して、図２に示すものはムービ
ングマグネット型と称されている。図２において、７は
ベースであり、鉄板等の強磁性材料によって長板状に形
成する。８はコイルであり、偏平状に形成し、相互に重
畳しないように適宜間隔で複数個をベース７上に配設
し、電機子を形成する。なおコイル８には直流電流を給
電することにより、長手方向に交互に異極が現れるよう
に構成する。
【００１４】次に永久磁石２を長手方向に交互に異極が
現れるように配設して界磁を形成すると共に、永久磁石
２の表面に前記図１におけると同様の被覆部材６を被着
する。このように形成した界磁は、ベース７上を例えば
ローラ（図示せず）を介して長手方向に移動可能として
可動子とする。
現れるように配設して界磁を形成すると共に、永久磁石
２の表面に前記図１におけると同様の被覆部材６を被着
する。このように形成した界磁は、ベース７上を例えば
ローラ（図示せず）を介して長手方向に移動可能として
可動子とする。
【００１５】上記の構成により、コイル８に電流を供給
すれば前記図１に示すものと同様に永久磁石２からなる
可動子を、ベース７の長手方向に移動させることができ
る。この場合において、永久磁石２の表面に銅板のよう
な非磁性導電材料からなる被覆部材６を設けてあるた
め、コイル８のインダクタンスを減少させ得るから、前
記図１に示すものと同様に位置決め完了までの時間を１
０msecのオーダーとすることができる。
すれば前記図１に示すものと同様に永久磁石２からなる
可動子を、ベース７の長手方向に移動させることができ
る。この場合において、永久磁石２の表面に銅板のよう
な非磁性導電材料からなる被覆部材６を設けてあるた
め、コイル８のインダクタンスを減少させ得るから、前
記図１に示すものと同様に位置決め完了までの時間を１
０msecのオーダーとすることができる。
【００１６】図４は本発明の更に他の実施例を示す要部
断面図である。図４において１１はベースであり、軟鋼
のような強磁性材料により平板状に形成する。１２はセ
ンターヨーク、１３はサイドヨークであり、各々前記ベ
ース１１と同様の材料によって平板状に形成すると共
に、ベース１１上に間隔を介して固着する。次に１４は
永久磁石であり、例えば希土類系磁石により後述するよ
うな形状寸法に形成し、センターヨーク１２およびサイ
ドヨーク１３の夫々の対向面に、相隣る磁極の極性が異
なるように複数個を、磁気空隙１５を介して異極が対向
するように配設する。２０は被覆部材であり、前記実施
例と同様の材料によって形成し、永久磁石１４の表面に
被着する。
断面図である。図４において１１はベースであり、軟鋼
のような強磁性材料により平板状に形成する。１２はセ
ンターヨーク、１３はサイドヨークであり、各々前記ベ
ース１１と同様の材料によって平板状に形成すると共
に、ベース１１上に間隔を介して固着する。次に１４は
永久磁石であり、例えば希土類系磁石により後述するよ
うな形状寸法に形成し、センターヨーク１２およびサイ
ドヨーク１３の夫々の対向面に、相隣る磁極の極性が異
なるように複数個を、磁気空隙１５を介して異極が対向
するように配設する。２０は被覆部材であり、前記実施
例と同様の材料によって形成し、永久磁石１４の表面に
被着する。
【００１７】図４において永久磁石１４の配設方向は紙
面と直交する方向である。次に１６は可動子であり、キ
ャリッジ１７の下方にコイルフレーム１８を固着し、コ
イルフレーム１８が前記磁気空隙１５内において紙面と
直交する方向に移動可能に設ける。このコイルフレーム
１８は、推力リップルの発生を防止するため、非磁性材
料によって形成する。
面と直交する方向である。次に１６は可動子であり、キ
ャリッジ１７の下方にコイルフレーム１８を固着し、コ
イルフレーム１８が前記磁気空隙１５内において紙面と
直交する方向に移動可能に設ける。このコイルフレーム
１８は、推力リップルの発生を防止するため、非磁性材
料によって形成する。
【００１８】すなわち、例えばアルミニウム合金製の枠
（絶縁性を付与するため表面はアルマイト処理をしてお
く）の表面に樹脂（例えばガラス入エポキシ樹脂）製の
基板を装着し、この基板上に後述するコイル１９を固着
して形成する。なおコイルフレーム１８を磁性材料によ
って形成したり、あるいは可動子１６の側にバックヨー
クが存在すると、永久磁石１４の吸着力によるアンバラ
ンスが発生し、推力リップルの発生原因の一つとなる。
１９はコイルであり、偏平状に形成すると共にコイルフ
レーム１８の両面に設ける。
（絶縁性を付与するため表面はアルマイト処理をしてお
く）の表面に樹脂（例えばガラス入エポキシ樹脂）製の
基板を装着し、この基板上に後述するコイル１９を固着
して形成する。なおコイルフレーム１８を磁性材料によ
って形成したり、あるいは可動子１６の側にバックヨー
クが存在すると、永久磁石１４の吸着力によるアンバラ
ンスが発生し、推力リップルの発生原因の一つとなる。
１９はコイルであり、偏平状に形成すると共にコイルフ
レーム１８の両面に設ける。
【００１９】図５は図４におけるコイルフレーム１８を
示す要部斜視図であり、同一部分は図４と同一の参照符
号で示す。コイル１９は例えば３相コイル（特開昭62−
193543号公報参照）とし、各相はすべて直列接続すると
共に、各相間はＹ形接続とする。
示す要部斜視図であり、同一部分は図４と同一の参照符
号で示す。コイル１９は例えば３相コイル（特開昭62−
193543号公報参照）とし、各相はすべて直列接続すると
共に、各相間はＹ形接続とする。
【００２０】本発明のリニアモータは、上記のように多
相コイルを使用して、この多相コイルに正弦波状の駆動
電流を供給するのであるが、相数が多くなる程力率が低
下するため、入力電流を増加する必要があるので、２相
または３相の通電方式を採用するのが望ましい。すなわ
ち本発明のリニアモータは、後述するような特定形状の
永久磁石を有する磁気回路と、２相または３相の正弦波
電流出力型の駆動回路とを組合わせた構成とすることが
望ましい。
相コイルを使用して、この多相コイルに正弦波状の駆動
電流を供給するのであるが、相数が多くなる程力率が低
下するため、入力電流を増加する必要があるので、２相
または３相の通電方式を採用するのが望ましい。すなわ
ち本発明のリニアモータは、後述するような特定形状の
永久磁石を有する磁気回路と、２相または３相の正弦波
電流出力型の駆動回路とを組合わせた構成とすることが
望ましい。
【００２１】図６ないし図８は夫々時間Ｔと偏差δとの
関係を示す図であり、前記図４に示すリニアモータにつ
いての時間と、可動子１６の停止位置の偏差（絶対値）
とを測定し、４４０ステップ分を重合させて表示したも
のである。そして図６は図４に示すセンターヨーク１２
およびサイドヨーク１３に固着した永久磁石１４の夫々
について空隙１５側の面に被覆部材２０を被着した場
合、図７はセンターヨーク１２に固着した永久磁石１４
のみに被覆部材２０を被着した場合、図８は被覆部材２
０を欠如する場合を示す。なお図６ないし図８において
ＴO は移動指令パルス幅、Ｔ1 は可動子１６（図４参
照）の応答時間、Ｔ2 は制動時間である。従って可動子
１６に移動指令を与えてから停止するまでの移動完了時
間ＴS はＴ1 ＋Ｔ2 である。
関係を示す図であり、前記図４に示すリニアモータにつ
いての時間と、可動子１６の停止位置の偏差（絶対値）
とを測定し、４４０ステップ分を重合させて表示したも
のである。そして図６は図４に示すセンターヨーク１２
およびサイドヨーク１３に固着した永久磁石１４の夫々
について空隙１５側の面に被覆部材２０を被着した場
合、図７はセンターヨーク１２に固着した永久磁石１４
のみに被覆部材２０を被着した場合、図８は被覆部材２
０を欠如する場合を示す。なお図６ないし図８において
ＴO は移動指令パルス幅、Ｔ1 は可動子１６（図４参
照）の応答時間、Ｔ2 は制動時間である。従って可動子
１６に移動指令を与えてから停止するまでの移動完了時
間ＴS はＴ1 ＋Ｔ2 である。
【００２２】本発明の対象である図４に示すようなリニ
アモータにおいて、可動子１６の走行抵抗（例えば摩擦
力）が極めて小である場合には、可動子１６の停止位置
の偏差δを０とすることが可能であるが、実際には可動
子１６の傾斜、可動子１６に加わる外力および走行抵抗
等の影響により、目標停止位置に対して±１パルスない
し±３パルスの許容幅を想定する必要がある。本実施例
においては、位置分解能として１μｍ読みのリニアエン
コーダを使用しているため、停止精度すなわち制定偏差
としてδ1 ＝±３μｍに設定してある。従って図６ない
し図８に示す停止位置の偏差は、ハッチングにて示す領
域の幅がある（実線は代表波形である）。
アモータにおいて、可動子１６の走行抵抗（例えば摩擦
力）が極めて小である場合には、可動子１６の停止位置
の偏差δを０とすることが可能であるが、実際には可動
子１６の傾斜、可動子１６に加わる外力および走行抵抗
等の影響により、目標停止位置に対して±１パルスない
し±３パルスの許容幅を想定する必要がある。本実施例
においては、位置分解能として１μｍ読みのリニアエン
コーダを使用しているため、停止精度すなわち制定偏差
としてδ1 ＝±３μｍに設定してある。従って図６ない
し図８に示す停止位置の偏差は、ハッチングにて示す領
域の幅がある（実線は代表波形である）。
【００２３】図６ないし図８から明らかなように、永久
磁石１４（図４参照）に被覆部材２０を欠如する場合
（図８）には、停止位置の偏差δ2 は代表値において±
７μｍである。この場合ＴO ＝１２ms、Ｔ1 ＝15.3ms、
ＴS ＝１９msであった。これに対して永久磁石１４に被
覆部材２０を被着することにより、応答時間Ｔ1 を短縮
することができ、図７においてはＴ1 ＝15.1ms、図６に
おいてはＴ1 ＝14.8msに改善することができ、制動時間
を含めた全体の移動完了時間ＴS は、図７においてＴS
＝18.8ms、図６においてＴS ＝18.3msに短縮することが
できる。この結果停止位置の偏差δ2 は従来のδ2＝±
７μｍから、図７に示すものにおいてδ2 ＝±６μｍ、
図６に示すものにおいてδ2 ＝±４μｍに改善すること
ができる。
磁石１４（図４参照）に被覆部材２０を欠如する場合
（図８）には、停止位置の偏差δ2 は代表値において±
７μｍである。この場合ＴO ＝１２ms、Ｔ1 ＝15.3ms、
ＴS ＝１９msであった。これに対して永久磁石１４に被
覆部材２０を被着することにより、応答時間Ｔ1 を短縮
することができ、図７においてはＴ1 ＝15.1ms、図６に
おいてはＴ1 ＝14.8msに改善することができ、制動時間
を含めた全体の移動完了時間ＴS は、図７においてＴS
＝18.8ms、図６においてＴS ＝18.3msに短縮することが
できる。この結果停止位置の偏差δ2 は従来のδ2＝±
７μｍから、図７に示すものにおいてδ2 ＝±６μｍ、
図６に示すものにおいてδ2 ＝±４μｍに改善すること
ができる。
【００２４】なお上記の結果は、次のような条件で得ら
れたものである。すなわち前記図４において、ベース１
１、センターヨーク１２およびサイドヨーク１３を夫々
ＳＳ４１によって形成し、永久磁石１４は日立金属製Ｈ
Ｓ３７ＢＨによって形成した。なお永久磁石１４は高さ
ｈ＝３１mm、厚さｔ＝９mm、長さ３０mmのものを可動子
１６の移動方向に各列３１個宛接続し、４列合計１２４
個を配設すると共に、これらの永久磁石１４の表面に
は、厚さ 0.5mmのＣｕ板からなる被覆部材２０を被着し
た。この場合、磁気空隙１５の寸法（被覆部材２０を被
着してなる永久磁石１４、１４間の表面間の間隔）は
7.7mm、コイル１９と永久磁石１４との間隙は 0.6ｍ、
磁気空隙１５の磁束密度は８９００Ｇとした。またコイ
ル１９は、線径0.65mmの２−ＥＩＷ（自己融着銅線）を
各相とも２００ターン（４０×５直列接続）の巻数と
し、直列抵抗を各相とも 2.7Ω以下とした。駆動電流は
ピーク８Ａであった。
れたものである。すなわち前記図４において、ベース１
１、センターヨーク１２およびサイドヨーク１３を夫々
ＳＳ４１によって形成し、永久磁石１４は日立金属製Ｈ
Ｓ３７ＢＨによって形成した。なお永久磁石１４は高さ
ｈ＝３１mm、厚さｔ＝９mm、長さ３０mmのものを可動子
１６の移動方向に各列３１個宛接続し、４列合計１２４
個を配設すると共に、これらの永久磁石１４の表面に
は、厚さ 0.5mmのＣｕ板からなる被覆部材２０を被着し
た。この場合、磁気空隙１５の寸法（被覆部材２０を被
着してなる永久磁石１４、１４間の表面間の間隔）は
7.7mm、コイル１９と永久磁石１４との間隙は 0.6ｍ、
磁気空隙１５の磁束密度は８９００Ｇとした。またコイ
ル１９は、線径0.65mmの２−ＥＩＷ（自己融着銅線）を
各相とも２００ターン（４０×５直列接続）の巻数と
し、直列抵抗を各相とも 2.7Ω以下とした。駆動電流は
ピーク８Ａであった。
【００２５】
【発明の効果】本発明は以上記述のような構成および作
用であるから、応答速度が大であり、定速域までの立上
り時間および定速域からの位置決め時間を短縮できると
共に、停止位置の偏差を大幅に縮小し得るという効果が
ある。
用であるから、応答速度が大であり、定速域までの立上
り時間および定速域からの位置決め時間を短縮できると
共に、停止位置の偏差を大幅に縮小し得るという効果が
ある。
【図１】本発明の実施例を示す要部説明図である。
【図２】本発明の他の実施例を示す要部説明図である。
【図３】従来のリニアモータの例を示す要部説明図であ
る。
る。
【図４】本発明の更に他の実施例を示す要部断面図であ
る。
る。
【図５】図４におけるコイルフレームを示す要部斜視図
である。
である。
【図６】時間Ｔと偏差δとの関係を示す図である。
【図７】時間Ｔと偏差δとの関係を示す図である。
【図８】時間Ｔと偏差δとの関係を示す図である。
２ 永久磁石 ５ コイル ６ 被覆部材 ８ コイル １４ 永久磁石 １９ コイル ２０ 被覆部材
Claims (1)
- 【請求項１】 対向するヨークの内面の少なくとも一方
に永久磁石を固着すると共に、長手方向に交互に異極が
現れるように配設して界磁を構成し、前記永久磁石の表
面に形成される磁気空隙内に偏平コイルからなる電機子
を設け、界磁と電機子の何れか一方を固定子とし、他方
を可動子とし、固定子と可動子とを永久磁石の配設方向
に相対移動可能に構成したリニアモータにおいて、界磁
を構成する永久磁石の表面に非磁性導電材料からなる被
覆部材を設けたことを特徴とするリニアモータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP542592A JP2677475B2 (ja) | 1991-02-07 | 1992-01-16 | リニアモータ |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3-11252 | 1991-02-07 | ||
| JP1125291 | 1991-02-07 | ||
| JP542592A JP2677475B2 (ja) | 1991-02-07 | 1992-01-16 | リニアモータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0549229A JPH0549229A (ja) | 1993-02-26 |
| JP2677475B2 true JP2677475B2 (ja) | 1997-11-17 |
Family
ID=26339369
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP542592A Expired - Lifetime JP2677475B2 (ja) | 1991-02-07 | 1992-01-16 | リニアモータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2677475B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19853250B4 (de) * | 1998-11-18 | 2012-02-02 | Siemens Ag | Sekundärteil für einen Linearmotor |
| FR2903823B1 (fr) * | 2006-07-12 | 2008-09-05 | Messier Dowty Sa | Element actif de machine electromagnetique, procede de fabrication d'un tel element actif, et machine electromagnetique comportant un tel element actif. |
| JP6223050B2 (ja) * | 2013-08-08 | 2017-11-01 | 日本電産サンキョー株式会社 | 撮影用光学装置 |
-
1992
- 1992-01-16 JP JP542592A patent/JP2677475B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0549229A (ja) | 1993-02-26 |
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