JP3218811B2 - リニアモータ - Google Patents
リニアモータInfo
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- JP3218811B2 JP3218811B2 JP16638493A JP16638493A JP3218811B2 JP 3218811 B2 JP3218811 B2 JP 3218811B2 JP 16638493 A JP16638493 A JP 16638493A JP 16638493 A JP16638493 A JP 16638493A JP 3218811 B2 JP3218811 B2 JP 3218811B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coil
- frame
- linear motor
- magnetic
- coil frame
- Prior art date
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、永久磁石と電機子コイ
ル（多相コイル）とを相対的に移動できるようにした永
久磁石式のリニアモータに関する。
ル（多相コイル）とを相対的に移動できるようにした永
久磁石式のリニアモータに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、相隣る磁極が相互に異なるよ
うに、かつ異なる磁極の極性が対向するように、磁気空
隙を介してヨークに配置された複数個の永久磁石と、磁
気空隙内に設けられた多相コイルとを有し、多相コイル
に駆動電流を流すことにより、永久磁石と多相コイルと
を相対的に移動させるようにしたリニアモータが知られ
ている。そして、多相コイルは、通常、コイルを支持す
るための強度部材であるコイルフレームに固着されてい
る。このコイルフレームの材質としては、従来から、エ
ポキシ等の樹脂あるいはアルミニウム合金等の金属など
が使われていた。これに関連する技術として、例えば、
特開昭６１−２８８７７０号、特開平３−２２２６７０
号などがある。
うに、かつ異なる磁極の極性が対向するように、磁気空
隙を介してヨークに配置された複数個の永久磁石と、磁
気空隙内に設けられた多相コイルとを有し、多相コイル
に駆動電流を流すことにより、永久磁石と多相コイルと
を相対的に移動させるようにしたリニアモータが知られ
ている。そして、多相コイルは、通常、コイルを支持す
るための強度部材であるコイルフレームに固着されてい
る。このコイルフレームの材質としては、従来から、エ
ポキシ等の樹脂あるいはアルミニウム合金等の金属など
が使われていた。これに関連する技術として、例えば、
特開昭６１−２８８７７０号、特開平３−２２２６７０
号などがある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のリニアモー
タでは、コイルフレームの材質として、エポキシ等の樹
脂あるいはアルミニウム合金等の金属が使われていた。
コイルフレームの材質としてエポキシ等の樹脂を使う場
合、支持部材としてのコイルフレームの剛性が低下して
しまう。一方、コイルフレームの材質として、アルミニ
ウム合金等の金属（平板）を使う場合には剛性は高くな
るが、導体であるコイルフレームが磁束を横切ることに
より渦電流が生じてしまい推力発生に悪影響を与えてし
まう。また、上記特開平３−２２２６７０号に開示され
ているコイルフレームは、複合組立形状のため工程が複
雑となりコストが高くなってしまう。
タでは、コイルフレームの材質として、エポキシ等の樹
脂あるいはアルミニウム合金等の金属が使われていた。
コイルフレームの材質としてエポキシ等の樹脂を使う場
合、支持部材としてのコイルフレームの剛性が低下して
しまう。一方、コイルフレームの材質として、アルミニ
ウム合金等の金属（平板）を使う場合には剛性は高くな
るが、導体であるコイルフレームが磁束を横切ることに
より渦電流が生じてしまい推力発生に悪影響を与えてし
まう。また、上記特開平３−２２２６７０号に開示され
ているコイルフレームは、複合組立形状のため工程が複
雑となりコストが高くなってしまう。
【０００４】そこで、本発明は、前記従来技術の問題点
に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、金
属製のコイルフレームを使っても、推力発生に悪影響を
与えるような渦電流が生じないリニアモータを提供する
ことにある。
に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、金
属製のコイルフレームを使っても、推力発生に悪影響を
与えるような渦電流が生じないリニアモータを提供する
ことにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では、相隣る磁極が相互に異なるように、か
つ異なる磁極の極性が対向するように、磁気空隙を介し
てヨークに配置された複数個の永久磁石と、この磁気空
隙内に設けられた多相コイルとを有し、多相コイルに駆
動電流を流すことにより、永久磁石と多相コイルとを相
対的に移動させるようにしたリニアモータにおいて、上
記多相コイルは、中抜き形状の非磁性の金属フレームに
固着されている。さらに、前記金属フレームの中抜き部
分は推力発生部に形成され、前記多相コイルはこの中抜
き部分を覆うように固着されている。さらに、前記金属
フレームの表面にはエポキシ電着塗装が施されている。
また、相隣る磁極が相互に異なるように、かつ異なる磁
極の極性が対向するように、磁気空隙を介してヨークに
配置された複数個の永久磁石と、この磁気空隙内に設け
られた多相コイルとを有し、多相コイルに駆動電流を流
すことにより、永久磁石と多相コイルとを相対的に移動
させるようにしたリニアモータにおいて、上記多相コイ
ルは、樹脂製の板材の端部に金属枠を設けて形成された
フレームに、樹脂製の板材を覆うように固着されてい
る。
に、本発明では、相隣る磁極が相互に異なるように、か
つ異なる磁極の極性が対向するように、磁気空隙を介し
てヨークに配置された複数個の永久磁石と、この磁気空
隙内に設けられた多相コイルとを有し、多相コイルに駆
動電流を流すことにより、永久磁石と多相コイルとを相
対的に移動させるようにしたリニアモータにおいて、上
記多相コイルは、中抜き形状の非磁性の金属フレームに
固着されている。さらに、前記金属フレームの中抜き部
分は推力発生部に形成され、前記多相コイルはこの中抜
き部分を覆うように固着されている。さらに、前記金属
フレームの表面にはエポキシ電着塗装が施されている。
また、相隣る磁極が相互に異なるように、かつ異なる磁
極の極性が対向するように、磁気空隙を介してヨークに
配置された複数個の永久磁石と、この磁気空隙内に設け
られた多相コイルとを有し、多相コイルに駆動電流を流
すことにより、永久磁石と多相コイルとを相対的に移動
させるようにしたリニアモータにおいて、上記多相コイ
ルは、樹脂製の板材の端部に金属枠を設けて形成された
フレームに、樹脂製の板材を覆うように固着されてい
る。
【０００６】
【作用】上記本発明では、多相コイルは、中抜き形状の
非磁性金属フレームに固着されている。支持部材である
コイルフレームの材質として金属を使ったのは、コイル
フレーム自体の剛性を向上させるためである。金属フレ
ームを非磁性にしたのは、推力リップルの発生を防止す
るためである。具体的には、金属フレームの中抜き部分
を推力発生部に形成したので、この推力発生部において
は、コイルフレームの金属部分が磁束を横切ることはな
い。よって、推力に悪影響を与えるような渦電流はほと
んど生じない。さらに、金属フレームの表面にはエポキ
シ電着塗装が施されているので、所定の絶縁耐圧が確保
される。また、多相コイルを、樹脂製の板材の端部に金
属枠を設けて形成されたフレームに固着した。コイルフ
レームの大部分は、軽量の樹脂製の板材で形成されてい
るので、可動子であるコイルフレーム自体の質量が軽減
される。さらに、この樹脂製の板材に金属枠を設けたの
で、コイルフレーム自体の剛性が向上する。そして、こ
の金属枠は、樹脂製の板材の端部に設けられており、こ
の部分には多相コイルは配置されないので、コイルフレ
ームが磁束を横切った時に金属枠に渦電流が生じたとし
ても、それが推力に直接影響を与えることはない。
非磁性金属フレームに固着されている。支持部材である
コイルフレームの材質として金属を使ったのは、コイル
フレーム自体の剛性を向上させるためである。金属フレ
ームを非磁性にしたのは、推力リップルの発生を防止す
るためである。具体的には、金属フレームの中抜き部分
を推力発生部に形成したので、この推力発生部において
は、コイルフレームの金属部分が磁束を横切ることはな
い。よって、推力に悪影響を与えるような渦電流はほと
んど生じない。さらに、金属フレームの表面にはエポキ
シ電着塗装が施されているので、所定の絶縁耐圧が確保
される。また、多相コイルを、樹脂製の板材の端部に金
属枠を設けて形成されたフレームに固着した。コイルフ
レームの大部分は、軽量の樹脂製の板材で形成されてい
るので、可動子であるコイルフレーム自体の質量が軽減
される。さらに、この樹脂製の板材に金属枠を設けたの
で、コイルフレーム自体の剛性が向上する。そして、こ
の金属枠は、樹脂製の板材の端部に設けられており、こ
の部分には多相コイルは配置されないので、コイルフレ
ームが磁束を横切った時に金属枠に渦電流が生じたとし
ても、それが推力に直接影響を与えることはない。
【０００７】
【実施例】本発明の実施例を図により説明する。図６
は、リニアモータの要部断面図である。ベース１上に
は、センターヨーク２とサイドヨーク３が固着されてい
る。このセンターヨーク２とサイドヨーク３の内側に
は、図７に示すように複数個の永久磁石４が、相隣る磁
極の極性が相互に異なるように配置されている。さら
に、対向する永久磁石同士４ａ，４ｂもその磁極は相互
に異なっている。永久磁石４の配設方向は、紙面と直行
する方向である。対向する永久磁石４ａ，４ｂは、一定
の磁気空隙５を介して配置されている。そして、この磁
気空隙５にコイルフレーム６が配置されている。このコ
イルフレーム６は磁気空隙５内において紙面と直交する
方向に移動可能に設けられている。
は、リニアモータの要部断面図である。ベース１上に
は、センターヨーク２とサイドヨーク３が固着されてい
る。このセンターヨーク２とサイドヨーク３の内側に
は、図７に示すように複数個の永久磁石４が、相隣る磁
極の極性が相互に異なるように配置されている。さら
に、対向する永久磁石同士４ａ，４ｂもその磁極は相互
に異なっている。永久磁石４の配設方向は、紙面と直行
する方向である。対向する永久磁石４ａ，４ｂは、一定
の磁気空隙５を介して配置されている。そして、この磁
気空隙５にコイルフレーム６が配置されている。このコ
イルフレーム６は磁気空隙５内において紙面と直交する
方向に移動可能に設けられている。
【０００８】このコイルフレーム６には多相コイル８が
固着されており、各コイルに流れる電流を切り替えるこ
とにより、コイルフレーム６が一定推力を得て一定方向
に移動できるようになっている。この多相コイル８の電
流の切り替えは、磁気検出素子などの検出信号に基づい
て行われる。このようにして、多相コイル８が固着され
たコイルフレーム６が移動することにより、コイルフレ
ーム６を有する可動体７が移動するようになっている。
固着されており、各コイルに流れる電流を切り替えるこ
とにより、コイルフレーム６が一定推力を得て一定方向
に移動できるようになっている。この多相コイル８の電
流の切り替えは、磁気検出素子などの検出信号に基づい
て行われる。このようにして、多相コイル８が固着され
たコイルフレーム６が移動することにより、コイルフレ
ーム６を有する可動体７が移動するようになっている。
【０００９】次に、コイルフレーム６の構成を説明す
る。図１は多相コイル８が固着される前の状態を示す図
で、図１（ａ）は磁気検出素子が取り付けられない方の
面を示し、図１（ｂ）は磁気検出素子が取り付けられる
方の面をそれぞれ示す。図２（ａ）は図１（ａ）のＡ−
Ａ断面図で、図２（ｂ）は図１（ａ）のＢ−Ｂ断面図で
ある。コイルフレーム６は、多相コイル８を支持するた
めの強度部材として使われ、非磁性の金属材料で形成さ
れている。金属材料を使ったのは、コイルフレーム６自
体の剛性を向上させ、もって共振周波数を高めるためで
ある。コイルフレーム６の材質として樹脂を使うと、ど
うしても剛性が低下してしまうのである。このコイルフ
レームによれば、共振周波数を樹脂製フレームの５〜１
０倍程度も高くすすることが可能となる。
る。図１は多相コイル８が固着される前の状態を示す図
で、図１（ａ）は磁気検出素子が取り付けられない方の
面を示し、図１（ｂ）は磁気検出素子が取り付けられる
方の面をそれぞれ示す。図２（ａ）は図１（ａ）のＡ−
Ａ断面図で、図２（ｂ）は図１（ａ）のＢ−Ｂ断面図で
ある。コイルフレーム６は、多相コイル８を支持するた
めの強度部材として使われ、非磁性の金属材料で形成さ
れている。金属材料を使ったのは、コイルフレーム６自
体の剛性を向上させ、もって共振周波数を高めるためで
ある。コイルフレーム６の材質として樹脂を使うと、ど
うしても剛性が低下してしまうのである。このコイルフ
レームによれば、共振周波数を樹脂製フレームの５〜１
０倍程度も高くすすることが可能となる。
【００１０】また、非磁性の金属材料を使用したのは、
推力リップルの発生を防止するためである。というの
は、コイルフレーム６を磁性材料によって形成してしま
うと、永久磁石４の吸着力によるアンバランスが発生
し、推力リップルの発生原因となってしまうからであ
る。非磁性の金属材料としては、アルミニウム合金、オ
ーステナイト系ステンレス鋼（ＳＵＳ３０３）などを使
用するのが好ましい。ステンレス鋼の方がアルミニウム
合金よりも電気抵抗は大きいので渦電流の発生は少な
い。
推力リップルの発生を防止するためである。というの
は、コイルフレーム６を磁性材料によって形成してしま
うと、永久磁石４の吸着力によるアンバランスが発生
し、推力リップルの発生原因となってしまうからであ
る。非磁性の金属材料としては、アルミニウム合金、オ
ーステナイト系ステンレス鋼（ＳＵＳ３０３）などを使
用するのが好ましい。ステンレス鋼の方がアルミニウム
合金よりも電気抵抗は大きいので渦電流の発生は少な
い。
【００１１】コイルフレーム６の成形は、例えばＳＣＳ
１３、１４、１８等のオーステナイト系ステンレス鋼や
ＡＣ３Ａ、４Ｃ、４Ｄ等のアルミニウム合金を用いて精
密鋳造（例えば、特開平５−３１５５１号、特開平５−
２３７９１号参照）で形状を作った後に加工することに
より行われる。というのは、コイルフレーム６の成形に
は、高い精度（例えば、０．１ｍｍ程度）が要求される
場合が多いので、削り出しなどの機械加工ではコストが
高くなってしまうからである。精密鋳造で形状を作成す
れば、高精度の成形を比較的低コストで行うことができ
る。
１３、１４、１８等のオーステナイト系ステンレス鋼や
ＡＣ３Ａ、４Ｃ、４Ｄ等のアルミニウム合金を用いて精
密鋳造（例えば、特開平５−３１５５１号、特開平５−
２３７９１号参照）で形状を作った後に加工することに
より行われる。というのは、コイルフレーム６の成形に
は、高い精度（例えば、０．１ｍｍ程度）が要求される
場合が多いので、削り出しなどの機械加工ではコストが
高くなってしまうからである。精密鋳造で形状を作成す
れば、高精度の成形を比較的低コストで行うことができ
る。
【００１２】そして、このコイルフレーム６は、中抜き
形状をしている。つまり、コイルフレーム６の大分部に
穴部６０が形成されている。この穴部６０は推力発生部
に形成されているので、この部分においてはコイルフレ
ーム６の金属部分が磁束を横切ることはなく渦電流は生
じない。
形状をしている。つまり、コイルフレーム６の大分部に
穴部６０が形成されている。この穴部６０は推力発生部
に形成されているので、この部分においてはコイルフレ
ーム６の金属部分が磁束を横切ることはなく渦電流は生
じない。
【００１３】次に、多相コイル８が固着された後のコイ
ルフレーム６の状態を図３に示す。図３（ａ）は磁気検
出素子が取り付けらていない方の面（図１（ａ）に対
応）を示し、図３（ｂ）は磁気検出素子が取り付けられ
た方の面（図１（ｂ）に対応）を示す。図４は多相コイ
ル８とコイルフレーム６の配置関係の概略を示す図であ
る。
ルフレーム６の状態を図３に示す。図３（ａ）は磁気検
出素子が取り付けらていない方の面（図１（ａ）に対
応）を示し、図３（ｂ）は磁気検出素子が取り付けられ
た方の面（図１（ｂ）に対応）を示す。図４は多相コイ
ル８とコイルフレーム６の配置関係の概略を示す図であ
る。
【００１４】コイルフレーム６の表面には、厚さ２０μ
ｍ程度以上のエポキシ樹脂層が電着塗装により形成され
ており所定の絶縁耐圧が確保されている。通常は、必要
な絶縁耐圧は、使用電圧の約１０倍程度である。例え
ば、コイル電圧が±２４Ｖ程度の場合には、５００Ｖ程
度の絶縁耐圧が必要となる。ここで、電着塗装を使った
のは、コイルフレーム６の表面にエポキシ樹脂を均一に
塗布するためである。そして、コイルフレーム６に形成
された穴部６０（図１参照）を覆うように、平コイル８
１が配置され、さらに、この平コイル８１の上にフォー
ミングコイル８２が配置されている。このようにして、
多相コイル８がコイルフレーム６に固着される。
ｍ程度以上のエポキシ樹脂層が電着塗装により形成され
ており所定の絶縁耐圧が確保されている。通常は、必要
な絶縁耐圧は、使用電圧の約１０倍程度である。例え
ば、コイル電圧が±２４Ｖ程度の場合には、５００Ｖ程
度の絶縁耐圧が必要となる。ここで、電着塗装を使った
のは、コイルフレーム６の表面にエポキシ樹脂を均一に
塗布するためである。そして、コイルフレーム６に形成
された穴部６０（図１参照）を覆うように、平コイル８
１が配置され、さらに、この平コイル８１の上にフォー
ミングコイル８２が配置されている。このようにして、
多相コイル８がコイルフレーム６に固着される。
【００１５】図３（ｂ）に示されているように、コイル
フレーム６の一面の端部には、多相コイル８の電流の切
り替えを行うため磁気検出素子を有するホールセンサー
基盤５０が固着されている。ここで、６１はセンサー中
継ケーブルであり、７０は給電中継ケーブルである。そ
して、このコイルフレーム６を磁気空隙５内に配置した
場合、コイルフレーム６の穴部６０（図１参照）は、推
力発生部Ａに形成されているので、この推力発生部Ａに
おいては、コイルフレーム６の金属部分が磁束を横切る
ことはなく渦電流は発生しない。
フレーム６の一面の端部には、多相コイル８の電流の切
り替えを行うため磁気検出素子を有するホールセンサー
基盤５０が固着されている。ここで、６１はセンサー中
継ケーブルであり、７０は給電中継ケーブルである。そ
して、このコイルフレーム６を磁気空隙５内に配置した
場合、コイルフレーム６の穴部６０（図１参照）は、推
力発生部Ａに形成されているので、この推力発生部Ａに
おいては、コイルフレーム６の金属部分が磁束を横切る
ことはなく渦電流は発生しない。
【００１６】次に、コイルフレームの他の実施例を図５
により説明する。本実施例では、コイルフレーム６は、
樹脂製の板材６２の両端部及び下部に非磁性の金属枠６
３を設けて形成されている。従って、コイルフレーム６
の大部分は樹脂製の板材６２で形成され、これによりコ
イルフレーム６自体の質量が軽減される。また、樹脂製
の板材６２の端部には金属枠６３が設けられているの
で、コイルフレーム６自体の剛性が向上する。ここで、
図５では、金属枠６３は、樹脂製の板材６２の両端部及
び下部に設けられているが、所定の剛性を確保できるの
ならば、下部の金属枠６３は省略してもよい。この金属
枠６３の厚さは、０．５〜１ｍｍ程度が好ましい。この
コイルフレームによれば、共振周波数を、樹脂のみで作
成したフレームの２〜４倍程度も高くすることが可能と
なる。
により説明する。本実施例では、コイルフレーム６は、
樹脂製の板材６２の両端部及び下部に非磁性の金属枠６
３を設けて形成されている。従って、コイルフレーム６
の大部分は樹脂製の板材６２で形成され、これによりコ
イルフレーム６自体の質量が軽減される。また、樹脂製
の板材６２の端部には金属枠６３が設けられているの
で、コイルフレーム６自体の剛性が向上する。ここで、
図５では、金属枠６３は、樹脂製の板材６２の両端部及
び下部に設けられているが、所定の剛性を確保できるの
ならば、下部の金属枠６３は省略してもよい。この金属
枠６３の厚さは、０．５〜１ｍｍ程度が好ましい。この
コイルフレームによれば、共振周波数を、樹脂のみで作
成したフレームの２〜４倍程度も高くすることが可能と
なる。
【００１７】多相コイル８は、この金属枠６３が取り付
けられた樹脂製の板材６２で形成されたコイルフレーム
６に固着される。この場合、この金属枠６３は、樹脂製
の板材６２の端部に設けられており、この部分には多相
コイル８は配置されないので、コイルフレーム６が磁束
を横切った時に金属枠６３に渦電流が生じたとしても、
それが推力に直接影響を与えることはない。
けられた樹脂製の板材６２で形成されたコイルフレーム
６に固着される。この場合、この金属枠６３は、樹脂製
の板材６２の端部に設けられており、この部分には多相
コイル８は配置されないので、コイルフレーム６が磁束
を横切った時に金属枠６３に渦電流が生じたとしても、
それが推力に直接影響を与えることはない。
【００１８】
【発明の効果】本発明によれば、少なくとも一部を金属
で形成した、剛性の高いコイルフレームを使っても、推
力発生に悪影響を与えるような渦電流が生じないリニア
モータを提供することができる。
で形成した、剛性の高いコイルフレームを使っても、推
力発生に悪影響を与えるような渦電流が生じないリニア
モータを提供することができる。
【図１】コイルフレームの構成を示す図である。
【図２】（ａ）は図１（ａ）のＡ−Ａ断面図であり、
（ｂ）は図１（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
（ｂ）は図１（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
【図３】多相コイルが固着されたコイルフレームを示す
図である。
図である。
【図４】多相コイルとコイルフレームの配置関係の概略
を示す図である。
を示す図である。
【図５】コイルフレームの他の構成を示す図である。
【図６】リニアモータの要部断面図である。
【図７】永久磁石の配置関係を示す図である。
４ 永久磁石 ５ 磁気空隙 ８ 多相コイル ６０ 穴部
Claims (4)
- 【請求項１】 相隣る磁極が相互に異なるように、かつ
異なる磁極の極性が対向するように、磁気空隙を介して
ヨークに配置された複数個の永久磁石と、この磁気空隙
内に設けられた多相コイルとを有し、多相コイルに駆動
電流を流すことにより、永久磁石と多相コイルとを相対
的に移動させるようにしたリニアモータにおいて、上記
多相コイルは、中抜き形状の非磁性の金属フレームに固
着されていることを特徴とするリニアモータ。 - 【請求項２】 前記金属フレームの中抜き部分は推力発
生部に形成され、前記多相コイルはこの中抜き部分を覆
うように固着されていることを特徴とする請求項１のリ
ニアモータ。 - 【請求項３】 前記金属フレームの表面にはエポキシ電
着塗装が施されていることを特徴とする請求項１のリニ
アモータ。 - 【請求項４】 相隣る磁極が相互に異なるように、かつ
異なる磁極の極性が対向するように、磁気空隙を介して
ヨークに配置された複数個の永久磁石と、この磁気空隙
内に設けられた多相コイルとを有し、多相コイルに駆動
電流を流すことにより、永久磁石と多相コイルとを相対
的に移動させるようにしたリニアモータにおいて、上記
多相コイルは、樹脂製の板材の端部に金属枠を設けて形
成されたフレームに、樹脂製の板材を覆うように固着さ
れていることを特徴とするリニアモータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16638493A JP3218811B2 (ja) | 1993-06-11 | 1993-06-11 | リニアモータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16638493A JP3218811B2 (ja) | 1993-06-11 | 1993-06-11 | リニアモータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06351221A JPH06351221A (ja) | 1994-12-22 |
| JP3218811B2 true JP3218811B2 (ja) | 2001-10-15 |
Family
ID=15830423
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16638493A Expired - Lifetime JP3218811B2 (ja) | 1993-06-11 | 1993-06-11 | リニアモータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3218811B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4724297B2 (ja) * | 2000-12-26 | 2011-07-13 | キヤノン株式会社 | 露光装置、デバイス製造方法 |
| JP4711182B2 (ja) * | 2005-11-15 | 2011-06-29 | 株式会社安川電機 | リニアモータ電機子およびリニアモータ |
-
1993
- 1993-06-11 JP JP16638493A patent/JP3218811B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06351221A (ja) | 1994-12-22 |
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