JP2001245464A - リニアモータ - Google Patents

リニアモータ

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JP2001245464A
JP2001245464A JP2000054193A JP2000054193A JP2001245464A JP 2001245464 A JP2001245464 A JP 2001245464A JP 2000054193 A JP2000054193 A JP 2000054193A JP 2000054193 A JP2000054193 A JP 2000054193A JP 2001245464 A JP2001245464 A JP 2001245464A
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coil
mover
linear motor
stator
substrate
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Katsuyoshi Kawasaki
勝義 川崎
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Abstract

(57)【要約】 【課題】コイル基板の反りを極小化することにより、磁
石とコイルとのエアギャップを極小に設定することが可
能で、モータ推力の増大,剛性の向上,高位置決め精度
の向上が確保できるリニアモータを提供する。 【解決手段】隣り合う磁極の極性が異なるように並列に
配設した複数個の永久磁石2からなる固定子4と、固定
子4の磁石2と協働して移動推進力が付与される複数個
の電機子コイル5を有する可動子6とを備えたリニアモ
ータLMであって、可動子6Aは、その移動方向に対し
直交するように巻かれた各電機子コイル5を可動子移動
方向に沿い一列に並べて絶縁性で且つ非磁性の板状コイ
ル基板7上に接着すると共に、そのコイル基板7の反対
面側に電機子コイル5の接着に対応させて補強基板13
を接着した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、可動コイル型のリ
ニアモータに関し、特に構造簡単で製作しやすく、しか
も剛性が高く安価な可動子を備えたリニアモータに関す
る。
【0002】
【従来の技術】従来の可動コイル型のリニアモータの構
造としては、例えば図11〜図15に示すようなものが
知られている。このリニアモータLMは、複数個の永久
磁石2からなる磁石列を断面コ字形の枠3の対向する内
面にそれぞれ取り付けてなる固定子4と、この固定子4
の磁石2と協働して移動推進力が付与される複数個の電
機子コイル5を有する可動子6とを備えている。固定子
4の磁石2は、多数の永久磁石をN,S,N,S,…と
異極同士隣接させて可動子6の移動方向に並べて上下一
対に間隔を隔てて対向させている。
【0003】一方、可動子6は、図13〜図15に示す
ように、固定子4の磁石列に直交するように巻かれた
U,V,Wの三相に対応する3個1組の電機子コイル5
を、可動子移動方向に沿い一列に並べて絶縁性で且つ非
磁性の板状コイル基板7上に接着している。そして、そ
のコイル基板7の一端側をボルト止めした上板8,下板
9で挟持して補強した構造になっている。
【0004】その可動子6を、固定子4の上下一対とさ
れた磁石列の間に、エアギャップを介して対向配置す
る。この状態で、可動子6の三相の電機子コイル5に、
例えばホール素子等を使用した不図示の位置検出器によ
り得られた可動子6の位置に応じた正弦波駆動電流を供
給すれば、駆動力を発生して可動子6を固定子4沿いに
移動させることができる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構造の従来の可動子6は、電機子コイル5が本来強
度の弱いコアレスコイルであってコイル中央部が空間に
なっており、したがってコイル巻線の下面側だけに接着
剤10を塗布してコイル基板7に接着する他なく、その
接着剤が硬化収縮すると、コイル基板7の端部が図1
6,図17に示すように電機子コイル5の側に反りかえ
ってしまうという問題点があった。このようにコイル基
板7に反りが生じた可動子6を、図12のように固定子
4に介装してリニアモータを組み立てた場合、電機子コ
イル5が固定子磁石2に接触してしまい、リニアモータ
が損傷する事態に至るおそれがある。固定子4の磁石列
2との間に設定されるエアギャップを大きくすることで
このうな事態を防止したとしても、その場合は微小なエ
アギャップを保持することができず、リニアモータの推
力の低下を招く。
【0006】そこで、本発明は、このような従来のリニ
アモータの未解決の課題に着目してなされたものであ
り、コイル基板の反りを極小化することにより、磁石と
コイルとのエアギャップを極小に設定することが可能
で、モータ推力の増大,剛性の向上,高位置決め精度の
向上が確保できるリニアモータを提供することを目的と
する。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明は、隣り合う磁極の極性が異なるように並
列に配設した複数個の永久磁石からなる固定子と、該固
定子の磁石と協働して移動推進力が付与される複数個の
電機子コイルを有する可動子とを備えたリニアモータに
おいて、前記可動子は、その移動方向に対し直交するよ
うに巻かれた各電機子コイルを可動子移動方向に沿い一
列に並べて絶縁性で且つ非磁性の板状コイル基板上に接
着すると共に、当該コイル基板の反対面側に前記電機子
コイルの接着に対応させて補強基板を接着してなること
を特徴とする。
【0008】ここで、本発明のリニアモータにおける前
記各電機子コイルは、その中央空間部に、絶縁性で且つ
非磁性の材料を充填したものとすることができる。
【0009】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図1〜図6は、本発明のリニアモ
ータの第1の実施の形態を示すもので、図1は、本発明
のリニアモータの可動子の平面図、図2はその正面図、
図3はその可動子の分解図、図4は当該可動子と固定子
を組み合わせた本発明のリニアモータの一部を切り欠い
て示す平面図、図5はそのV 矢視で示した正面図、図6
は配線パターンを説明する図である。なお、従来と同一
または相当部分には同一の符号を付してある。
【0010】先ず構成を説明すると、この実施の形態に
あっては、図1に示すように、U,V,Wの三相に対応
する3個1組の偏平なコアレス電機子コイル5(絶縁被
膜処理が施されたマグネットワイヤを巻線したコアレス
コイルで、以下、単にコイルという)を2組、巻線方向
が可動子の移動方向に対し直交するように一列に並べ
(すなわち、コイルを、可動子の移動方向に一列に並
べ)、それぞれを直接に密着させてコイル基板7の上面
に接着固定することにより一体化している。コイル基板
7の幅Wbはコイル幅Wcより大きくされており、コイ
ル幅Wcからはみ出した一端側に、締めつけ部7aが設
けられている。
【0011】そのコイル基板7の下面には、プリント配
線パターン12が形成されているが、その詳細について
は後述する。そのコイル基板7のプリント配線パターン
121有する面に、前記締めつけ部7aを除く略全面に
わたる大きさの補強基板13が接着されている。コイル
基板7の上下両面にコイル5と補強基板13とを接着す
ることで、接着剤の硬化収縮に伴い両面に互いに反対方
向の反らす力を作用させてバランスを取り、反りを打ち
消す。したがって、コイル5の接着と補強基板13の接
着には、同じ接着剤を同量を同面積に使用することが重
要である。
【0012】そして、締めつけ部7aの上面と下面に、
補強用支持部材である金属製の上板8,下板9をあてが
い、締めつけボルト14を通して締めつけ一体化するこ
とにより、リニアモータの可動子6Aが形成されてい
る。この可動子6Aに固定子4を組み合わせて、図4,
図5に示すようなリニアモータLMが形成される。その
固定子4は、軟鋼板のような強磁性材で形成したヨーク
41の平面に、厚さ方向に着磁した同一サイズの永久磁
石5を多数個、隣接する磁極が異極同士となるように並
べて固着し、これを可動子6Aを挟んで上下一対に対向
させ、上下の永久磁石5,5は異極同士対向するように
配すると共に、上下のヨーク41,41の一端部を他の
ヨーク42で固定し、可動子6Aのコイル面との間に必
要最小限のエアギャップを維持するようになっている。
【0013】ここで、コイル基板7に設けられているプ
リントパターン12について、図6を参照しつつ説明す
る。3相モータの場合、コイル5は最低でU,V,Wの
3個が必要とされるが、この実施の形態では、その倍の
6個のコイル5を使用している。図6(a)の結線図に
は、中性点Oを介してスター状にされているスター結線
を示したが、勿論これに限定するものではなくデルタ結
線でもよい。図示の各相U,V,Wは、それぞれ2つの
コイル(U1,U2):(V1,V2):(W1,W2)が直
列に接続されている。しかし、ドライバの能力や電流制
限などの条件により並列にしてもよく、その場合は並列
対応のパターンとすればよい。図6(a)の直列のスタ
ー結線の場合のコイル同士の接続は、例えばコイル基板
7上に形成した図6(b)に示されるようなプリントパ
ターン12により行われる。プリントパターン12の形
成面は、コイル5側の面にした場合、絶縁や耐圧という
信頼性の点で問題を生じやすいため、コイルとは反対側
の面にしている。本発明の場合コイル反対側面には補強
基板13を接着するから、最終的にプリントパターンは
露出することがなく、一層の安全が保たれるという利点
がある。
【0014】図7,図8は、上記の可動子6Aを有する
本実施形態のリニアモータLMを組み込んだ位置決めテ
ーブル装置20の一例である。すなわち、ベース21の
上面の中央に、リニアモータLMの固定子4を固定する
と共に、その固定子4を挟むようにして左右両サイドに
平行に一対の直動案内(リニアガイド)LGの案内レー
ル22が固定してある。その案内レール22には各レー
ル毎に2台ずつのスライダ23が搭載されており、それ
ら4台のスライダ23で支持してテーブル24が取り付
てある。もっとも、直動案内としては転動体が循環する
方式のリニアガイドに限らず、その他リニアボールベア
リングや転動体非循環式のクロスローラガイドでも良
く、特に高精度を要求されるものでは静圧軸受案内を用
いることができる。
【0015】そして、テーブル24の下面に、リニアモ
ータLMの可動子6Aを、ボルト止めなどの手段で固定
して装着している。可動子6Aのテーブル24への固定
方法としては、図8(a)のようにテーブル24の下面
側に取付け梁24aを突設して、その梁側面に可動子6
Aの支持部材である上板8の側面を当てて固定するか、
もしくは図8(b)のように、取付け梁24aを設けず
にテーブル24の下面に直接に上板8の上面を当てて固
定してもよい。
【0016】次に、上記位置決めテーブル装置20に装
着したリニアモータLMの動作を説明する。可動子6A
の三相コイル5に、不図示の、例えばホール素子等を使
用した位置検出器により得られた可動子6Aの位置に応
じた駆動電流を流すと、その電流と固定子4の永久磁石
2の磁束との相互作用により、可動子6Aと固定子4と
の間に相対的な推力が働き、可動子6Aが所定方向に動
き出す。これに伴って、テーブル24が直動案内LGの
案内レール22に案内されつつ移動する。コイル5に前
記と逆方向の電流を流すと、可動子6Aには前記と逆方
向の駆動力が作用して、可動子6Aが反対方向に動き出
す。かくして、コイル5への電流の強さ及びその電流の
方向を適宜に選択すれば、可動子6Aひいてはテーブル
24を所定方向へ自在に移動させて、所定位置に正確に
停止させることができる。
【0017】その場合、リニアモータLMには、三相コ
イルへの通電を切り換える切り換え手段と共に、固定子
4の永久磁石2と可動子6Aとの相対位置を検出する位
置検出手段が必要である。図示の位置決めテーブル装置
20の場合、当該位置検出手段として例えば図外のリニ
アエンコーダ及びホール素子を備えている。リニアエン
コーダのリニアスケールは案内レール22と平行にベー
ス21の上面に延設して固定され、エンコーダヘッドの
方は可動子5Aの方に取り付けられる。なお、エンコー
ダヘッドを、可動子ではなくこれと同伴して移動するリ
ニアガイドのスライダ23のいずれかに取り付けてもよ
い。このリニアエンコーダにより可動子5Aの現在位置
情報を得て、図外のモータ駆動用ドライバを経て三相コ
イル5への通電をフィードバック制御することで、テー
ブル24を自在に移動させると共に、任意に位置決めし
て停止させることができる。また、上述したとおり、位
置検出手段としては、ホール素子もリニアエンコーダと
ともに用いられている。
【0018】上記第1の実施形態のリニアモータLM
は、その構成要素である可動子6Aとして、図1〜図3
に示したように、その移動方向に一列に密着させて並べ
たコイル5をコイル基板7の一面側に接着すると共に、
コイル基板7の反対面側には補強基板13を接着して一
体化した構造を採用している。したがって、補強基板1
3を使用しない従来のもののように、コイル5とこれに
接着したコイル基板7とが反り返ることを防止できて、
固定子4の磁石2との間のエアギャップを最小限に微小
化できるという効果が得られる。
【0019】また、補強基板13は、コイル基板7にお
けるコイル反対側の、プリントパターン12が形成され
ている面に接着されるから、プリントパターン12は補
強基板13に保護されて露出することがなくなり、従来
より格段に安全が保たれるという効果もある。また、こ
のエアギャップを最小化したリニアモータLMをテーブ
ル装置に搭載することにより、推進力が従来より向上
し、且つまた高剛性のため共振周波数が高く、高い位置
決め精度が得られるという効果がある。
【0020】図9,図10に、本発明のリニアモータの
第2の実施の形態を示す。この実施の形態の場合は、リ
ニアモータの可動子におけるコイル5の構造が、上記第
1の実施の形態のものと異なる。すなわち、このコイル
5にあっては、絶縁被膜処理が施されたマグネットワイ
ヤを巻線したコアレスコイルの中央空間部分に、絶縁性
を有する例えば射出成形用樹脂等を充填してなるコイル
ホルダ30を設けてある。コイル5が丁度納まる形状寸
法のキャビティを有する金型にコイル5をいれて、コイ
ルの中央空間部分に射出成形により樹脂を充填すると、
樹脂がコイル巻線の内周の凹凸に入り込むため、当該樹
脂とコイルとの間に高い密着性が得られる。なお、コイ
ルホルダ30には、樹脂の他にシリコンあるいは硬質ゴ
ム等も使用可能である。樹脂としては、上述のとおり射
出成形可能なものが好ましいが、絶縁性を有すれば特に
種類は限定しない。
【0021】コイルホルダ30の厚さは、コイル巻線の
厚さより若干厚めにするのがよい。そして、その下面す
なわちコイル基板7に接合する面に、例えば2本のボス
31が突設されている。このコイルホルダ30を備えた
コイル5をコイル基板7に取り付けるため、コイル基板
7に予めボス31の挿通穴32を開けておく。そして、
コイル5の巻線の下面部分及びこれと一体に平面化され
たコイルホルダ30の下面に接着剤を塗布して、コイル
基板7のボス挿通穴32にボス31を嵌合すると共にコ
イル5をコイル基板7に接着する。なお、その場合、コ
イル基板7の反対面に補強基板13を接着するに当た
り、反りを効果的に相殺するべく同一,同量の接着剤を
同面積に使用することは、第1の実施の形態と同様であ
る。
【0022】この第2の実施形態によれば、凹凸のある
コイル巻線のみとの接着の場合と異なり、ボス31の結
合力と平面同士による広い接着面積との作用で、コイル
5とコイル基板7とが、上記第1の実施形態の場合より
強固に一体化される。特に、推力発生方向に対して垂直
にコイル5を保持するボス31と挿通穴32との嵌合に
よる保持効果が大きい。また、ボス31によりコイル5
のコイル基板7に対する位置が決定できるからコイル5
自身の位置決めが容易になる。
【0023】また、このように、強固にコイル5とコイ
ル基板7とが一体化されると、コイル5の剥離が防止で
きる。更にまた、運動するコイル5自体の剛性も向上す
るから、コイルホルダ30を有しないものよりさらに共
振周波数が上がり、速度及び位置決め精度に高い制御性
が確保できるという効果がある。その他の構成及び作用
・効果は第1の実施の形態と同様である。勿論、図7,
図8に示したリニアモータ組み込み位置決めテーブル装
置へも同様に適用可能である。
【0024】なお、上記実施の形態では、3相のコイル
を2組とした場合を説明したが、2組以外の組み合わせ
にも適用できる。
【0025】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明に係るリ
ニアモータにあっては、可動子の電機子コイルの保持構
造を、コイル基板上にコイルを接着すると共に、当該コ
イル基板の反対面側に電機子コイルの接着に対応させて
補強基板を接着したものとしたため、コイル基板の反り
を抑制できてモータに組み込んでも磁石との干渉が防止
され、これにより磁石とコイルとの間のエアギャップを
極小にすることができ、その結果、可動子移動方向の剛
性が増大して共振周波数が高められると共にモータ推力
の向上と位置決め精度の向上が得られるという効果を奏
する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のリニアモータの第1の実施形態におけ
る可動子の平面図である。
【図2】その正面図である。
【図3】その可動子の分解図である。
【図4】本発明のリニアモータの一部を切り欠いて示し
た平面図である。
【図5】その正面図で、(a)は全体、(b)は取付け
部分を示す。
【図6】本発明のリニアモータにおけるコイル巻線の配
列パターンの説明図で、(a)は結線図、(b)はプリ
ントパターンの図である。
【図7】本発明のリニアモータを搭載した位置決めテー
ブル装置の平面図である。
【図8】その正面図である。
【図9】本発明のリニアモータの電機子コイルの第2の
実施形態の図で、(a)は平面図、(b)は正面図であ
る。
【図10】図9に示す電機子コイルとコイル基板との取
り付けを説明する正面図である。
【図11】従来のリニアモータの平面図である。
【図12】ぞの正面図である。
【図13】従来のリニアモータの可動子の平面図であ
る。
【図14】その正面図である。
【図15】その側面図である。
【図16】従来のリニアモータにおける可動子の反りを
示す正面図である。
【図17】従来のリニアモータにおける可動子の反りを
示す側面図である。
【符号の説明】
2 永久磁石 4 固定子 5 電機子コイル 6 可動子 7 コイル基板 13 補強基板 20 位置決めテーブル装置 30 コイルホルダ(コイル充填物) 31 ボス

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 隣り合う磁極の極性が異なるように並列
    に配設した複数個の永久磁石からなる固定子と、該固定
    子の磁石と協働して移動推進力が付与される複数個の電
    機子コイルを有する可動子とを備えたリニアモータにお
    いて、 前記可動子は、その移動方向に対し直交するように巻か
    れた各電機子コイルを可動子移動方向に沿い一列に並べ
    て絶縁性で且つ非磁性の板状コイル基板上に接着すると
    共に、当該コイル基板の反対面側に前記電機子コイルの
    接着に対応させて補強基板を接着してなることを特徴と
    するリニアモータ。
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