JPH1155907A - 可動永久磁石を有する電磁気的な駆動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 公知装置の不都合な点を回避する一方で、現
行装置の性能と同様な性能を有する起動装置を提供す
る。 【解決手段】 本発明の電磁気的な駆動装置は、可動部
材１が１つ以上の磁化部分２を含む場合、可動部材の全
ての磁化部分が同一方向に磁化され、磁化部分の材料
が、少なくとも１００℃に等しい温度まで、そして、少
なくともその絶対値が前記材料の残留磁気の０．５倍に
ほぼ等しい磁束密度の負値まで、実際に線形な減磁特性
を有し、磁化部分の各々の平均作動点が、コイル１２，
１３に電流が流れていない場合、磁性材料の残留磁気の
値の０．５倍よりも小さな磁束密度の値になるよう磁気
回路部分５および磁化部分が調節される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明が属する技術分野】本発明は、電磁気的な駆動装
置に関し、ステータ構造と、移動方向に直交に磁化され
る１つ以上の部分を含む可動部材とを備えた電磁気的な
駆動装置に関し、前記磁化部分が、空気の可逆透磁率に
近い可逆透磁率を有する材料から形成されると共に、全
体的な作動範囲において、実際に線形な減磁特性とこの
特性に実際に合致する直線状リコイル（透磁率）線とを
有し、前記ステータ構造が、高透磁率の材料から形成さ
れた少なくとも１つの第１磁気回路部分を備え、前記回
路部分がそれぞれ２つの極部分を有し、前記ステータ構
造が、第１磁気回路部分に接続された少なくとも１つの
電気的な励磁コイルを更に備え、前記可動部材またはス
テータ構造が、高透磁率の材料から形成され、前記極部
分の各々を伴ってエア・ギャップを形成するように配列
された少なくとも１つの第２磁気回路部分を備え、これ
ら全てのエア・ギャップが、前記極部分の面に直交に測
定された場合に実質的に同一の一定長を有し、前記第１
および第２磁気回路部分が一体となって１つ以上の閉磁
気回路を形成しており、前記駆動装置が、前記磁化部分
が前記エア・ギャップを通って移動できるように構成さ
れており、これら磁化部分が、各々、前記磁化方向で測
定した場合に実質的に一定長を有し、前記一定長が、各
エア・ギャップの長さよりも、前記可動部材の前記エア
・ギャップを通って移動できるように必要とされる機械
的クリアランス分だけ短く、前記可動部材の各磁化部分
が１つの極部分の幅と同一磁気回路の前記２つの極部分
間の幅との合計を越えることがない幅を有し、これら全
ての幅が、前記移動の方向で測定されていることから成
る。

【０００２】

【従来の技術】このタイプの駆動装置は、回転式（ロー
タリ）または線形（リニア）装置であり、特に、可動部
材の比較的長い経路に沿って、励磁コイルのアンペア回
数の所与の値に対して一定するトルクまたは力を提供す
ることを可能としており、このトルクまたは力はアンペ
ア回数と比例している。よって、このような装置は直接
制御式のアクチュエータとして好便に使用可能であり、
減速ギアを伴う直流モータによって形成されるものより
も信頼性がある。これらは、例えば一定電流が供給され
た際に、各位相毎に台形トルク特性を提供する多位相ロ
ータリ・モータとしても使用可能である。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】このような公知装置の
不都合な点は、必要とされる性能、特に発生させる力ま
たはトルクに係る性能を達成するために一般的に要求さ
れる高エネルギー磁性材料のコストにある。

【０００４】公知装置の他の不便な点は、充分な力また
はトルクに到達するため、可動部材には磁極を交互にし
た複数の基本永久磁石が設けられており、それ故、装置
の組立てに先行して磁化することが要求されると共に、
使用される磁石のエネルギーおよび脆さの観点から重要
な操作が要求される。従って、特に大規模な連続した製
造において、磁石粒子が装置内部に残存し、磁気回路の
エア・ギャップ内に留り、装置の欠損を生ずる危険性を
完全に排除することはできない。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明の第１の目的は、
上述の不都合な点を回避する一方で、現行装置の性能と
同様な性能を有する起動装置を提供することにある。

【０００６】これを満たすべく、本発明の電磁気的な駆
動装置は、可動部材が１つ以上の磁化部分を含む場合、
可動部材の全ての磁化部分が同一方向に磁化され、磁化
部分の材料が、少なくとも１００℃に等しい温度まで、
そして、少なくともその絶対値が前記材料の残留磁気の
０．５倍にほぼ等しい磁束密度の負値まで、実際に線形
な減磁特性を有し、前記磁化部分の各々の平均作動点
が、前記コイルに電流が流れていない場合、前記磁性材
料の残留磁気の値の０．５倍よりも小さな磁束密度の値
になるよう前記磁気回路および磁化部分が調節されるこ
とを特徴とする。

【０００７】磁化部分が全て同一方向に磁化されている
可動部材の使用は、交互極の磁化部材が前記エア・ギャ
ップ内に配列され、全ての寸法が同一である通常の場合
と比べ、磁化部分の体積が半分まで低減されていること
を意味し、これは、このように単一方向に向かう磁化部
分の数がエア・ギャップの数の半分にしかならないから
である。磁石体積の低減そしてそれによる使用される材
料のコストの低減も、可動部材の質量の低減に対応して
おり、これは特に高加速が要求される際に重要な長所と
なる。可動部材のこのような構造は、装置組立て後の磁
化実行をも可能とする。

【０００８】しかしながら、磁石体積の低減は、装置の
その他のパラメータが同一のままであれば、所与のアン
ペア回数で送り出される力またはトルクの低減にもつな
がる。

【０００９】力またはトルクの損失を平衡させるため
に、本発明は、印加されるアンペア回数を実質的に増加
させることを可能にするため、かつ磁束密度の大きな変
動を提供することを可能にするため、少なくとも大部分
に、公知の方法で適切な磁石材料を使用している。

【００１０】ここで考慮されるタイプの駆動装置におい
て、減磁特性Ｂ（Ｈ）上での可動磁石の作動点の変動
は、一方では、磁気回路が形成されている材料の飽和を
回避すべく、またはその透磁率の実質的な低減を回避す
べく許容される最大磁束密度によって制限され、他方で
は、磁石の減磁化の危険性を回避するために磁界の最少
の負の値によって制限されている。

【００１１】常温における磁石の固有の保磁力を増大さ
せるための高エネルギーの磁性材料の発展は、特に、例
えば２１５℃を越えるような非常に高い温度で第２象限
に屈曲部が現れるＢ（Ｈ）特性を有するＮｄＦｅＢタイ
プの磁石に至っている。より低い温度で作動する場合、
減磁特性の線形部分は、第３象限内に伸長し、特に少な
くとも１００℃に等しい温度で、その絶対値が、その材
料の残留磁気の０．５倍を越える磁束密度の負値にまで
伸びる。

【００１２】この場合、磁石の平均作動点が残留磁気の
半分未満の磁束密度の値になる本発明の構成を用いるこ
とによって、これまで考慮されなかった磁束密度の非常
に大きな変動範囲内で作動させることができる。本発明
の装置による力またはトルクは、非常に大きな磁石体積
を必要とする従来装置のものに少なくとも匹敵する。

【００１３】特定の実施の形態によれば、本発明の駆動
装置は、前記ステータ構造内に配置された軸上に取付け
られたロータリ可動部材を備えることができ、前記可動
部材は、制限されたストロークを有すると共に、平坦な
環状ディスクの一部の形状と実質的に同じであり、かつ
前記可動部材の回転軸に直交する平面内に配列される磁
化部分を備え、前記ステータ構造は、両末端が極部分を
形成しているＵ形状である少なくとも１つの磁気回路部
分を備える。このような実施の形態において、本発明の
装置は、前記極部分が２つの相互に対向し、相互に平行
であると共に軸線平面に平行である２つの縁部を有し、
前記磁化部分が、回転方向において、２つの末端部を有
し、前記末端部の縁部が、前記可動部材の末端位置にお
いて、前記極部分の前記縁部とそれぞれ実質的に合致す
ることを好便に特徴としている。

【００１４】他の実施の形態によれば、本発明の駆動装
置は、前記ステータ構造内に配置された軸上に取付けら
れたロータリ可動部材を備えることができ、前記可動部
材は、平坦な環状ディスクの一部の形状と実質的に同じ
であり、かつ前記可動部材の回転軸に直交する平面内に
配列された少なくとも１つの磁化部分を備え、前記ステ
ータ構造は、前記磁化部分の平面における一方の側に配
列された少なくとも２つのＵ形状の磁気回路部分を備え
る。このような実施の形態において、本発明の装置は、
前記２つのＵ形状の磁気回路部分の２つの隣接するレッ
グが同一の電気的な励磁コイルに接続されており、前記
隣接するレッグの末端が１つの共通極部分で結合される
ことを好便に特徴としている。前記Ｕ形状の磁気回路部
分は、好ましくは、Ｕ形状シート・スタック（積層体）
から形成されている。

【００１５】本発明はまた、本駆動装置を用いる方法も
目的としており、その方法によれば、バイアス用永久電
流を前記コイルに流し、前記磁化部分の前記平均作動点
を少なくとも近似的にゼロに等しい磁束密度の値に調整
するようにしている。この場合、前記バイアス用アンペ
ア回数に対応する力またはトルクは、例えばスプリング
によって補償される。

【００１６】上記方法によって、平均磁束密度を近似的
にゼロに等しくする調整は、高周波数で動作するリニア
またはロータリ・アクチュエータの場合に特に有用であ
る。一般的に、本発明による平均磁束密度の低減は、寄
生的な機械的ストレスおよび磁気的損失を特に低減する
ことができる。例えば軸線方向の力が磁束密度の平方に
従って変動する、軸線方向に伸長するエア・ギャップを
伴うロータリ駆動装置の場合、ベアリングの摩擦および
摩耗が実質的に低減される。磁化部品が可動ヨーク上に
取付けられ、それ故、ステータの極部分によって強力に
引き付けられることにより、軸線方向停止部が重大なス
トレスを受けるような構成では、平均磁束密度の低減は
特に好都合である。

【００１７】本発明は更に、本駆動装置を製造する方法
も目的としており、その方法によれば、前記可動部材を
前記ステータ構造に非磁化状態で組み立て、次いでその
組み立てられた装置をインダクタに配置することにより
前記可動部材の対応する部分を磁化する。このような磁
化部分の飽和をより容易に達成するために、磁化する際
に、温度を１００℃と１５０℃との間の値に上昇させる
ことが好都合である。

【００１８】本発明の更なる特徴、利点、ならびに目的
は、添付図面に示された起動装置の異なる実施の形態に
より説明される以下の記載から明らかになるであろう。

【００１９】

【発明の実施の形態】図１および図２は、単一磁化部分
を備え、制限されたストロークを有するロータリ・アク
チュエータの形態の、本発明による駆動装置を示す。本
実施の形態において、可動部材１は、外径と比べて小さ
な厚みの平坦な環状ディスクの一部の形状を有する磁化
部分２を担持し、この磁化部分２は、駆動装置の回転軸
３に平行して磁化されている。

【００２０】可動部材１は、高透磁率の材料、例えば焼
結軟鉄から形成されたヨーク４を備え、このヨークの平
坦面上に前記磁化部分２が貼り付けられている。この組
み立てられた可動部材１は、圧嵌めによって回転軸３に
取付けられている。

【００２１】この起動装置のステータは、基部６および
２つのコア部７，８を有する静止磁気回路部分５を備
え、これらコア部の自由端は、それぞれ極部分７１，８
１を構成している。これら極部分は、ヨーク４との間に
前記極部分の面と直交する方向に測定した場合、同一の
一定長となる２つのエア・ギャップを形成している。そ
れと同一方向に測定した場合の磁化部分２の長さは、こ
れらエア・ギャップの長さよりも僅かに小さく、エア・
ギャップ長と磁化部分の長さとの間の差が、ステータに
対する可動部材移動に必要とされる機械的なクリアラン
スまたは間隙に対応している。

【００２２】ステータは、回転軸３に対する２つのベア
リング９，１０を更に備え、これらベアリングが、図１
に示されるように、磁気回路部分５に直接固定して取付
けられるか、または取付け部１１を介して固定して取付
けられる。

【００２３】２つの電気コイル１２，１３は、コア部
７，８にそれぞれ配置され、巻線の方向およびこれらコ
イルに流れる励磁電流の方向が極部分７１，８１に反対
極性が現れるように選択されている。磁化部分との間で
このように生ずる磁極の相互作用は、電流の方向に応じ
てアクチュエータに一方または他方の回転方向でトルク
を提供する。可動部材のストロークは、不図示の従来手
段によって制限されることによって、本装置では９０゜
の最大角度にわたって展開する。

【００２４】本発明の装置の重要な特性であるコイル１
２，１３の形状と磁化部分２の形状とは図２に示されて
いる。この図面では磁化部分の中間段階位置、すなわち
前記磁化部分の両末端位置間の半ストロークを表わして
いる。特に判別されるように、各極部分７１，８１の対
向する縁部７２，８２は相互に平行すると共に、磁化部
分２の通路領域内における軸線方向の対称平面１４と平
行している。磁化部分それ自体は、放射方向に対して傾
斜する縁部２１，２２を有し、可動部材が末端位置にあ
る際にこれら縁部が対応する縁部７２，８２に合致する
か、または近接する。そして、磁化部分の他方末端の縁
部は、対応する各極部分８１，７１の縁部８３，７３に
合致するか、または近接する。このように画成された構
成は、磁化部分の表面そして結果的にはその体積をそう
した構造での最小値まで低減することを可能にする一方
で、他の全てのパラメータは同一のまま維持される。

【００２５】この装置の磁気回路に近接しているヨーク
４であって前記ヨークの移動方向における幅は、各側部
がステータの極部分の幅の分だけ増大された磁化部分の
幅と少なくとも等しく、すなわち前記ヨーク幅は、この
場合、磁化部分の平均半径の２π倍よりも僅かに小さな
弓状部に対応しており、その結果、ここでのヨーク４は
図２での破線で部分的に示された円形状を有する。

【００２６】例えば、先に定義された１ｍｍの長さを有
する磁化部分と、前記磁化部分と前記ステータ極部分と
の間の０．４ｍｍのクリアランスとを用いると共に、例
えば約１４０℃の温度で０．８５Ｔの残留磁気を有する
本発明に適切な磁石材とを用いた磁化部分の平均作動点
は、０．３Ｔの磁束密度値にある。各コイルに１３００
アンペア回数を用いると、可動部材の一方の末端位置か
ら他方の末端位置までの作動点の変動は、磁化部分が両
末端位置で対応する極部分にそれぞれ全体的に対向して
いる場合、±１．１７Ｔである。この場合、磁束密度の
極値はそれぞれ、磁石材のＢ（Ｈ）特性の屈曲部（ニ
ー）に対応する値よりも僅かに高く、安価な焼結鉄材に
とって受入れられる最大磁束密度よりも僅かに小さい。

【００２７】留意すべきことは、直列した２つのエア・
ギャップを含む閉回路に印加される電位は２６００アン
ペア回数であり、これは可動部材が一方末端にある際の
本回路に含まれる唯一の磁化部分の電位、すなわち約６
５０アンペア回数に等しい電位の４倍である。このよう
な不釣り合いなディメンショニングは、可動永久磁石を
伴ったアクチュエータの分野において非常に珍しい。比
較ため、磁化が反対方向である２つの隣接する磁化部分
を用いる公知の装置において、平均作動点は０．６Ｔの
磁束密度に対応しており、許容できるであろう最大アン
ペア回数は単位エア・ギャップ当たり９７０アンペア回
数である。上述した電位の比は、この場合、本発明の装
置で、４の代りの約１．５に等しくなる。先に述べた通
常の装置のトルクは５０％以上となるが、磁石材の質量
は本発明の装置のそれよりも約３倍である。よって、本
発明による解決策は、装置の組み立てられた状態で可動
部分を磁化することを可能にすると共に、先に述べた他
の長所を提供すると言う事実に加えて、より少ない費用
で済むものである。

【００２８】図３ないし図５は、本発明による駆動装置
の他の実施の形態を示す。これもまたロータリ・アクチ
ュエータであり、例えば制限されたストロークも有し、
その可動部材は、回転軸に平行する同一方向に磁化され
る３つの磁化部分２３，２４，２５を備える。これら磁
化部分は、ここでは、環状のセクターの形状を有し、先
の実施の形態のように、これらは、例えば貼り付けによ
って磁気回路に接近するヨーク４０上に固定されてお
り、これら磁気回路の第１部分がステータ５０内に形成
されている。

【００２９】図３ないし図５による実施の形態におい
て、ステータ構造の各種磁気回路部分の構成とそれらの
励磁コイルとの接続とが独自の特徴を表わしている。特
に図４および図５からわかるように、コイル１５等の各
コイルは、１６および１７等の２つのＵ形状の磁気回路
部分に接続されている。コイル１５は、シート状金属の
スタックから成るＵ形状形態で好適に形成されるこれら
回路の隣接するレッグを実際に取囲んでいる。本実施の
形態の場合、６つのコイルが、図４の上面図に従って配
列された６つの磁気回路部にそうした方式で接続されて
いる。１つの同一コイルで取囲まれたレッグ端部は、極
部分１８等の各極部分によって相互に結合される。

【００３０】本発明の装置は、磁気回路の大きな断面積
を必要とせず、図３ないし図５による構造は、特にコス
ト面および製造容易性の面から非常に好便な解決策を表
わしている。同一コイルによって取囲まれている磁気回
路レッグ間の間隔１９等の間隔は樹脂で充填され、装置
全体は、回転軸３０に対するベアリング２８，２９等で
支持されたケーシング等の磁性材または非磁性材から成
るケーシング２６，２７内に配置される。

【００３１】以上、本発明を実施の形態に基づき具体的
に説明してきた。本発明は、前記実施の形態に限定され
るものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で、種々の
追加、変更、または削除が可能である。

【００３２】実施の形態における全ての形態において、
本発明の駆動装置は、一旦ステータ構造および可動部材
が組み立てられると、可動部材の対応する部分の磁化が
可能になる。磁化するため、装置はインダクタ内に配置
され、磁化プロセスは、好適には、１００℃と１５０℃
との間の温度で実行される。

【００３３】本発明の装置は、ストローク長にわたって
実際に一定のトルクを提供する制限されたストロークを
有するリニアまたはロータリ・アクチュエータとして使
用可能であり、あるいは多位相ロータリ・モータとして
使用可能である。それらは、その経済的な構造および信
頼性によって注目されている。それらは、先に議論した
ように、従来の装置に匹敵するトルク値を得ることを可
能とする一方で、１００℃を実質的に越える温度におい
てさえ正確な作動を確保する。実際に、高価な材料から
形成される磁化部分の寸法は、最大アンペア回数と磁気
回路に用いられる透過材料の品質とに適合させることが
でき、装置全体を特定用途に対して最適な方法で寸法付
けが為されるように、コイルが同一バルク内で最も好便
な方法で構成される。

【００３４】

【発明の効果】本発明の代表的なものによって得られる
効果を簡単に説明すれば、以下の通りである。

【００３５】磁化部分が全て同一方向に磁化されている
可動部材を使用するので、交互極の磁化部材が前記エア
・ギャップ内に配列され、全ての寸法が同一である公知
装置と比べ、磁化部分の体積を半分まで低減することが
できる。

【００３６】磁石体積の低減の結果、使用される材料の
コストを低減することができ、可動部材の質量も低減す
ることができる。

【００３７】また、装置の組立て後に磁化することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】単一磁化部分を備え、制限されたストロークを
有するロータリ・アクチュエータの図２のＩ−Ｉ線に沿
った断面図である。

【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った平面図である。

【図３】３つの磁化部分を備え、制限されたストローク
を有するロータリ・アクチュエータの図４のＩＩＩ−Ｉ
ＩＩ線に沿った断面図である。

【図４】図３のＩＶ−ＩＶ線に沿った平面図である。

【図５】図４のＶ−Ｖ線に沿った部分的断面図である。

【符号の説明】

１ 可動部材 ２，２３，２４，２５ 磁化部分 ３，３０ 回転軸 ４，４０ ヨーク ５，１６，１７ 磁気回路部分 ７，８ コア部 １２，１３，１５ コイル １８，７１，８１ 極部分 ５０ ステータ

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ステータ構造と、移動方向に直交に磁化
   される１つ以上の磁化部分を含む可動部材とを備えた電
   磁気的な駆動装置であって、前記磁化部分が、空気の可
   逆透磁率に近い可逆透磁率を有する材料から形成される
   と共に、全体的な作動範囲において、実際に線形な減磁
   特性とこの特性に実際に合致する直線状リコイル線とを
   有し、前記ステータ構造が、高透磁率の材料から形成さ
   れた少なくとも１つの第１磁気回路部分を備え、前記第
   １磁気回路部分がそれぞれ２つの極部分を有し、前記ス
   テータ構造が、前記第１磁気回路部分に接続された少な
   くとも１つの電気的な励磁コイルを更に備え、前記可動
   部材またはステータ構造が、高透磁率の材料から形成さ
   れ、前記極部分の各々を伴ってエア・ギャップを形成す
   るように配列された少なくとも１つの第２磁気回路部分
   を備え、これら全てのエア・ギャップが前記極部分の面
   に直交に測定された場合に実質的に同一の一定長を有
   し、前記第１および第２磁気回路部分が一体となって１
   つ以上の閉磁気回路を形成しており、前記駆動装置が、
   前記磁化部分が前記エア・ギャップを通って移動できる
   ように構成されており、これら磁化部分が、各々、前記
   磁化方向で測定した場合に実質的に一定長を有し、前記
   一定長が、各エア・ギャップの長さよりも、前記可動部
   材の前記エア・ギャップを通じての移動できるように必
   要とされる機械的クリアランス分だけ短く、前記可動部
   材の各磁化部分が１つの極部分の幅と同一磁気回路の前
   記２つの極部分間の幅との合計を越えることがない幅を
   有し、これら全ての幅が、前記移動の方向で測定されて
   いることから成る電磁気的な駆動装置において、 前記可動部材が１つ以上の磁化部分を含む場合、前記可
   動部材の全ての磁化部分が、同一方向に磁化され、 前記磁化部分の材料が、少なくとも１００℃に等しい温
   度まで、そして、少なくともその絶対値が前記材料の残
   留磁気の値の０．５倍にほぼ等しい磁束密度の負値ま
   で、実際に線形な減磁特性を有し、そして、 前記磁化部分の各々の平均作動点が、前記励磁コイルに
   電流が流れていない場合、前記材料の残留磁気の値の
   ０．５倍よりも小さな磁束密度の値になるよう前記磁気
   回路および磁化部分が調節されることを特徴とする電磁
   気的な駆動装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の電磁気的な駆動装置で
   あって、前記ステータ構造内に配置された軸上に取付け
   られたロータリ可動部材を備え、前記可動部材は、制限
   されたストロークを有すると共に、平坦な環状ディスク
   の一部の形状と実質的に同じであり、かつ前記可動部材
   の回転軸に直交する平面内に配列される磁化部分を備
   え、前記ステータ構造は、両末端が極部分を形成してい
   るＵ形状である少なくとも１つの磁気回路部分を備える
   電磁気的な駆動装置において、 前記極部分が、相互に対向し、相互に平行であると共に
   軸線平面に平行である２つの縁部を有し、前記磁化部分
   が、回転方向において、２つの末端部を有し、前記末端
   部の縁部が、前記可動部材の末端位置において、前記極
   部分の縁部とそれぞれ実質的に合致することを特徴とす
   る電磁気的な駆動装置。
3. 【請求項３】 請求項１に記載の電磁気的な駆動装置で
   あって、前記ステータ構造内に配置された軸上に取付け
   られたロータリ可動部材を備え、前記可動部材は、平坦
   な環状ディスクの一部の形状と実質的に同じであり、か
   つ前記可動部材の回転軸に直交する平面内に配列される
   少なくとも１つの磁化部分を備え、前記ステータ構造
   は、前記磁化部分の平面における一方の側に配列される
   少なくとも２つのＵ形状の磁気回路部分を備える電磁気
   的な駆動装置において、 前記２つのＵ形状の磁気回路部分の２つの隣接するレッ
   グが同一の電気的な励磁コイルに接続されており、前記
   隣接するレッグの末端が１つの共通極部分で結合される
   ことを特徴とする電磁気的な駆動装置。
4. 【請求項４】 請求項３に記載の電磁気的な駆動装置で
   あって、前記Ｕ形状の磁気回路部分がＵ形状シート・ス
   タックから形成されていることを特徴とする電磁気的な
   駆動装置。
5. 【請求項５】 請求項１に記載の前記駆動装置を用いる
   方法であって、バイアス用永久電流を前記励磁コイルに
   流し、前記磁化部分の平均作動点を少なくとも近似的に
   ゼロに等しい磁束密度の値に調整することを特徴とする
   駆動装置を用いる方法。
6. 【請求項６】 請求項１に記載の前記駆動装置を製造す
   る方法であって、前記可動部材を前記ステータ構造に非
   磁化状態で組み立て、次いで前記組み立てられた装置を
   インダクタに配置することにより前記可動部材の対応す
   る部分を磁化することを特徴とする駆動装置を製造する
   方法。
7. 【請求項７】 請求項６に記載の駆動装置を製造する方
   法であって、磁化する際に、温度を１００℃と１５０℃
   との間の値にすることを特徴とする駆動装置を製造する
   方法。