JP6414094B2 - ガルバノスキャナ - Google Patents

Description

この発明は、光学部材を回転させるガルバノスキャナに関する。

従来のガルバノスキャナは、コイルを備えたステータと、永久磁石を備えたロータと、ロータの回転軸に取り付けられたミラーである光学部材と、を有する。そして、ステータがハウジングなどに固定され、ロータの永久磁石からの磁束とコイルを流れる電流との相互作用により発生した駆動トルクによりロータが回転され、光学部材が回転動作される。モータが連続回転動作するのに対し、ガルバノスキャナは基準角度より±数１０度の範囲で回転動作する。そして、ロータを加速させる場合のコイルに流れる駆動電流は、ロータを減速させる場合のコイルに流れる駆動電流に対して逆方向に流れる。ガルバノスキャナを適用したレーザ加工機において連続穴加工を行う場合、ガルバノスキャナのロータは、加速、減速、静止の順の動作を繰り返す。ロータが高速に動作すると、駆動電流の周波数が高くなる。このため、ロータの永久磁石に渦電流が流れて渦損が発生し、永久磁石の温度が高くなる。永久磁石の温度が過度に高くなると、熱減磁が発生する。これによって、永久磁石の特性が劣化し、ガルバノスキャナの動作に支障が生じる。

このような状況を鑑み、従来のガルバノスキャナでは、渦電流の経路を遮断するように永久磁石に溝が形成され、渦損による永久磁石の温度上昇を抑える構造が提案されていた（例えば、特許文献１参照）。

特開２００８−４３１３３号公報

特許文献１に開示されるガルバノスキャナでは、永久磁石に形成された溝が渦電流の経路を妨げる位置に形成されるため、渦損による永久磁石の温度上昇が抑えられる。しかし、永久磁石に溝が形成されると、永久磁石の軸方向長さが溝幅の分だけ実質短くなる。このため、ガルバノスキャナのトルクが低下するという不具合がある。また、永久磁石に溝が形成されても、渦電流は、完全に遮断されず溝を迂回して流れる。このため、駆動電流の周波数が高い場合には、永久磁石の温度が限界以上に上昇する課題があった。

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、永久磁石に発生する渦損を低減し、永久磁石の温度上昇を抑えることができるガルバノスキャナを得ることを目的とする。

この第１の発明に係るガルバノスキャナは、回転軸、およびこの回転軸の周方向に配置された永久磁石を有するロータと、ロータの外径側に空隙を介して配置された複数のコイル、および複数のコイルの外径側に配置されたステータコアを有するステータと、ロータに連結され予め定められた角度範囲内で回転する光学部材とを備え、ステータコアは、ステータの回転軸に垂直な断面において、異なる複数のコイルの隣り合う断面同士の外径側の周方向範囲に位置する第１の部分と、残りの周方向範囲に位置する第２の部分とで構成され、ステータコアの第１の部分における周方向のパーミアンスは、ステータコアの第２の部分における周方向のパーミアンスよりも小さく、ステータコアの第１の部分には、周方向にギャップが形成されているものである。
この第２の発明に係るガルバノスキャナは、回転軸、およびこの回転軸の周方向に配置された永久磁石を有するロータと、ロータの外径側に空隙を介して配置された複数のコイル、および複数のコイルの外径側に配置されたステータコアを有するステータと、ロータに連結され予め定められた角度範囲内で回転する光学部材とを備え、ステータコアは、ステータの回転軸に垂直な断面において、異なる複数のコイルの隣り合う断面同士の外径側の周方向範囲に位置する第１の部分と、残りの周方向範囲に位置する第２の部分とで構成され、ステータコアの第１の部分における周方向のパーミアンスは、ステータコアの第２の部分における周方向のパーミアンスよりも小さく、ステータコアの第２の部分は、内径側に突出する突起を有するものである。

上記のように構成されたガルバノスキャナは、ステータコアの第１の部分における周方向のパーミアンスが、ステータコアの第２の部分における周方向のパーミアンスよりも小さいため、電流によってコイルに発生させる磁束（以下、電流磁束という）の磁路における磁気抵抗が高くなり、電流磁束が減少する。このため、永久磁石に発生する渦損が低減され、永久磁石の温度上昇を抑えることができる。

この発明の実施の形態１に係るガルバノスキャナを示す縦断面図である。 この発明の実施の形態１に係るガルバノスキャナのコイル配置を示す図１における上面図である。 この発明の実施の形態１に係るガルバノスキャナのコイルの上面図を示す図である。 この発明の実施の形態１に係るガルバノスキャナのコイルの図３におけるＣ−Ｃ断面図である。 この発明の実施の形態１に係るガルバノスキャナの要部を示す図１における回転軸に垂直なＡ−Ａ断面図である。 従来例のガルバノスキャナの要部を示す断面図である。 この発明の実施の形態２に係るガルバノスキャナの要部を示す図１における回転軸に垂直なＡ−Ａ断面図である。 この発明の実施の形態３に係るガルバノスキャナの要部を示す図１における回転軸に垂直なＡ−Ａ断面図である。 この発明の実施の形態４に係るガルバノスキャナの要部を示す図１における回転軸に垂直なＡ−Ａ断面図である。 この発明の実施の形態５に係るガルバノスキャナの要部を示す図１における回転軸に垂直なＡ−Ａ断面図である。 この発明の実施の形態５に係るガルバノスキャナのステータコアが打ち抜かれる場合の説明図である。 この発明の実施の形態６に係るガルバノスキャナの要部を示す図１における回転軸に垂直なＡ−Ａ断面図である。 この発明の実施の形態７に係るガルバノスキャナの要部を示す図１における回転軸に垂直なＡ−Ａ断面図である。 この発明の実施の形態８に係るガルバノスキャナの要部を示す図１における回転軸に垂直なＡ−Ａ断面図である。 この発明の実施の形態９に係るガルバノスキャナを示す縦断面図である。 この発明の実施の形態９に係るガルバノスキャナの回転角度とトルクとの関係を示すグラフである。 この発明の実施の形態９に係るガルバノスキャナの磁石吸引力低減機構を示す図１５における回転軸に垂直なＤ−Ｄ断面図である。 この発明の実施の形態１０に係るガルバノスキャナを示す縦断面図である。 この発明の実施の形態１０に係るガルバノスキャナの磁石吸引力低減機構を示す図１８における回転軸に垂直なＥ−Ｅ断面図である。 この発明の実施の形態１０に係るガルバノスキャナの磁石吸引力低減機構の変形例を示す図１８における回転軸に垂直なＥ−Ｅ断面図である。 この発明の実施の形態１１に係るガルバノスキャナの磁石吸引力低減機構を示す図１８における回転軸に垂直なＥ−Ｅ断面図である。 この発明の実施の形態１１に係るガルバノスキャナの磁石吸引力低減機構の変形例を示す図１８における回転軸に垂直なＥ−Ｅ断面図である。 この発明の実施の形態１２に係るガルバノスキャナを示す縦断面図である。

以下、本発明のガルバノスキャナの好適な実施の形態につき図面を用いて説明する。
実施の形態１．
図１は、この発明を実施するための実施の形態１に係るガルバノスキャナを示す縦断面図である。なお、縦断面図とは、ガルバノスキャナの回転軸を含む平面における断面図である。

図１において、ガルバノスキャナ１は、ハウジング２にベアリング３を介して回転可能に支持された回転軸４に固着されたロータ５と、ハウジング２に固着されてロータ５の外径側に空隙２０を介して配置されたステータ７と、回転軸４の軸方向（以下、軸方向という）の一端に固着されロータ５に連結された光学部材であるガルバノミラー１０と、軸方向の他端に固着されたエンコーダ板１１と、を備えている。

ロータ５は、回転軸４と、接着剤などによって回転軸４の外周面に同軸に固着された円筒形の永久磁石６とを有している。

ステータ７は、ロータ５の外径側に空隙２０を介して配置された複数のコイル９と、複数のコイル９の外径側に配置され円筒体に形成されたステータコア８とを有する。ステータコア８は、例えば、絶縁されたパーマロイ粉末を加圧成形した後に熱処理する圧粉鉄心を用いて作製される。なお、ステータコア８は、電磁鋼板などの磁性材料の板材から打ち抜いて作製されても良い。

なお、ステータコア８が円筒体に形成されているものとしているが、ステータコア８は、内周面が円筒面で構成されていればよく、外周面は円筒面でなくてもよい。

ガルバノミラー１０は、矩形平板状に形成されている。ガルバノミラー１０の表面は、レーザ光線の反射面となる。ロータ５が機械角−４°から＋４°程度の予め定める角度範囲内で回転する。このため、ロータ５に連結された光学部材であるガルバノミラー１０は、機械角−４°から＋４°程度の予め定める角度範囲内で回転する。

エンコーダ板１１は、表面にスリットを有する。エンコーダ板１１は、センサヘッド２３と協働して、ガルバノミラー１０の回転角度を制御回路にフィードバックするロータリエンコーダを構成している。なお、ロータリエンコーダは、フィードバック制御に用いられるガルバノミラー１０の角度変位を検出する回転角度検出装置であればよい。このため、回転角度検出装置は、ロータリエンコーダに限らず、レゾルバでもよい。

図２は、本実施の形態に係るガルバノスキャナのコイル配置を示す図１における上面図である。なお、図２は、矢印Ｂに沿って見たときのガルバノスキャナ１の要部を示す図となっている。図２では、ステータコア８およびコイル９の位置関係を示すために、ステータコア８およびコイル９を破線で表している。また、ロータ５、ベアリング３、ガルバノミラー１０およびエンコーダ板１１は省略されている。
図２に示すように、４個の方形状のコイル９（図２では奥側の１個を省略）が、方形状の平行な一対の長辺を軸方向と平行に、ステータコア８の内周面に周方向に並んで配列され、接着剤またはモールドによってステータコア８に固着されている。隣り合うコイル９は、方形状の長辺が接して配設されている。そして、隣り合うコイル９は、互いに逆向きに巻回して作製されている。このため、隣り合うコイル９の隣接する方形状の長辺に流れる電流の方向は、同じ方向となる。

図３は、本実施の形態に係るガルバノスキャナのコイルの上面図を示す図である。図４は、本実施の形態に係るガルバノスキャナのコイルの図３におけるＣ−Ｃ断面図である。
コイル９は、図３および図４に示すように、銅などの線材を扁平な方形状の枠（図示せず）に必要な回数だけ巻回したものを、図４に示すように、ステータコア８の内周面に沿って円弧状に曲げて成形することによって作製される。

なお、コイル９が方形状の長辺同士を接して周方向に配列されているが、コイル９は、隣り合う方形状の長辺同士が予め定められた隙間だけ離間して周方向に配列されてもよい。

図５は、本実施の形態に係るガルバノスキャナの要部を示す図１における回転軸に垂直なＡ−Ａ断面図である。図５において、永久磁石６の外周面には、永久磁石６の磁極の外周面側の極性であるＮ（以下、Ｎ極という）およびＳ（以下、Ｓ極という）が示されている。永久磁石６には、回転軸４の回転方向（以下、周方向という）に異なる磁極が交互に形成されている。永久磁石６に形成された磁極の数である極数は４極である。また、永久磁石６は、４極に着磁された極異方性磁石であって、例えば、ネオジウムを焼結して成形された磁石である。永久磁石６が極異方性磁石であるため、永久磁石６が発生する磁束２４（以下、磁石磁束という）は、永久磁石６の内径側に漏れない。よって、回転軸４は、磁性材料である必要はなく、例えば、ＳＵＳ３０４などの非磁性材料であってもよい。

図５において、異なる複数のコイル９の隣り合う断面同士の外径側の周方向範囲に位置するステータコア８を、ステータコア８の第１の部分１８としている。また、残りの周方向範囲に位置するステータコア８を、ステータコア８の第２の部分１９としている。図２において、ステータコア８は、４個の第１の部分１８と、４個の第２の部分１９とで構成されている。４個のステータコア８の第１の部分１８には、それぞれ周方向に１個のギャップ１２が形成されている。ステータコア８の第２の部分１９には、周方向にギャップ１２が形成されていない。このため、ステータコア８の第１の部分１８における周方向のパーミアンスは、ステータコア８の第２の部分１９における周方向のパーミアンスよりも小さくなっている。すなわち、ステータ７の回転軸４に垂直な断面において、ステータコア８の第１の部分１８における周方向のパーミアンスは、ステータコア８の第２の部分１９における周方向のパーミアンスよりも小さい。

このように構成されたガルバノスキャナ１において、永久磁石６の極数が４極であり、コイル９の個数が４個である。永久磁石６の極数とコイル９の個数とが同じである場合、図５に示すように、永久磁石６の磁極の中心が隣り合うコイル９の間にある位置は、ロータ５の回転方向における基準角度となる。そして、永久磁石６の磁石磁束２４は、図５の実線の矢印で示されるように、永久磁石６のＮ極からコイル９を突き抜けてステータコア８に達し、ステータコア８内を周方向の両側に流れ、コイル９を突き抜けて永久磁石６のＮ極と両隣のＳ極に入り、永久磁石６内を通って再びＮ極に戻る２つの磁路を形成する。

つぎに、ガルバノスキャナ１を用いたレーザ加工における動作について説明する。
ガルバノスキャナ１のガルバノミラー１０は、レーザ加工機（図示せず）のレーザ光線の経路内に配置される。そして、エンコーダ板１１を用いたロータリエンコーダの出力に基づいて、制御回路（図示せず）によってガルバノミラー１０の回転角度が制御される。ガルバノミラー１０の回転角度によってレーザ光線の反射方向が変化するため、被加工物へのレーザ光線の入射位置が制御される。

まず、動作前において、ロータ５の回転角度の調整が行われる。具体的には、動作前に、ロータ５が基準角度まで回転する。この状態でコイル９に電流を流すと、図５の点線の矢印で示すコイル９に発生させる電流磁束２５と、永久磁石６の磁石磁束２４との相互作用によって、ロータ５は、フレミングの左手の法則に従う方向（図５においては、反時計回りの方向）に回転する。ロータ５の回転方向は、コイル９に流す電流方向によって変化する。
ロータリエンコーダからの回転角度情報に基づいて電流方向が制御され、ロータ５は加速されて回転する。ロータ５は、目標の停止角度に近づくと、電流方向が逆方向に制御されて減速され、目標の停止角度に停止する。
ロータ５は、上述のように、加速、減速、停止、加速、・・・の順に回転動作を繰り返す。このため、ガルバノスキャナ１は、被加工物においてレーザ光線の照射位置を変えながら、被加工物に穴を１つずつ順番に開口して加工する。

ここで、連続穴あけ速度を４０００［ｐｏｉｎｔ/ｓｅｃ］とすると、電流周波数は４ｋＨｚとなる。コイル９に電流を流すことによって、コイル９の電流磁束２５は、永久磁石６の内部に達する。永久磁石６の内部に達した磁界は、４ｋＨｚで変化する。このため、渦電流が永久磁石６に流れ、ジュール損によって永久磁石６が発熱する。すなわち、永久磁石６に渦損が発生する。
このとき、ステータコア８は、ステータ冷却装置（図示せず）によって冷却されている。このため、ステータコア８は、ロータ５の温度よりも低い。よって、ロータ５のおける永久磁石６の熱は、ステータコア８へ放熱される。また、永久磁石６の熱は、回転軸４を伝わり軸方向に放熱される。

図６は、従来例のガルバノスキャナの要部を示す断面図である。図６は、従来例のガルバノスキャナ１０１の図５に対応する断面図である。図６におけるハウジング１０２、回転軸１０４、ロータ１０５、永久磁石１０６、ステータコア１０８、コイル１０９、空隙１２０、磁石磁束１２４および電流磁束１２５は、図５におけるハウジング２、回転軸４、ロータ５、永久磁石６、ステータコア８、コイル９、空隙２０、磁石磁束２４および電流磁束２５に対応する。図６の従来例のガルバノスキャナ１０１において、ステータコア１０８には、周方向にギャップ１２が形成されていない点で、図５の本実施の形態のガルバノスキャナ１と異なる。従来例のガルバノスキャナ１０１では、ステータコア１０８に周方向にギャップ１２が形成されていないため、永久磁石１０６の磁石磁束１２４、およびコイル１０９の電流磁束１２５が、ロータ１０５の任意の回転角度において妨げられることなく流れる。そして、トルクの発生ともに、永久磁石１０６に渦損が発生する。よって、永久磁石１０６の温度が上昇するという課題が従来例のガルバノスキャナ１０１にはあった。

以下では、本実施の形態に係るガルバノスキャナの作用効果について述べる。
図５に示すように、ステータ７の回転軸４に垂直な断面において、ステータコア８の第１の部分１８における周方向のパーミアンスは、ステータコア８の第２の部分１９における周方向のパーミアンスよりも小さい。この構成によって、コイル９の電流磁束２５の磁路における磁気抵抗が高くなる。図５の点線の矢印で示されるように、４分割されたステータコア８の内２つずつに跨って通るコイル９の電流磁束２５が減少する。よって、コイル９の電流磁束２５によって永久磁石６に発生する渦損を低減できる。

なお、ギャップ１２は、図５に示すように、異なる複数のコイル９の隣り合う断面同士の間の位置に限らず、異なる複数のコイル９の隣り合う断面同士の外径側の周方向範囲に位置するステータコア８の第１の部分１８にあればよい。

また、ロータ５が図５に示すような回転角度にある場合、永久磁石６の磁石磁束２４はギャップ１２を通過しない。このため、コイル９の電流磁束２５のみが軽減される。
ここで、図５のガルバノスキャナ１が一般の回転電機に用いられた場合、ロータ５の回転角度の制限がない。このため、ロータ５の回転角度が増加するにつれて、ギャップ１２を通過する永久磁石６の磁石磁束２４が増加し、永久磁石６の磁石磁束２４が次第に減少していく。ロータ５が図５から４５°回転すると、永久磁石６の磁石磁束２４の全てがギャップ１２を通過する。このため、永久磁石６の磁石磁束２４が最も減少する。この永久磁石６の磁束の減少に伴って、トルクが減少するという不都合が生じてしまう。

一方、ガルバノスキャナ１は、一般の回転電機とは異なり、ロータ５の回転角度が機械角で−４°から＋４°程度の範囲で使用される。このロータ５の回転角度の範囲では、永久磁石６の磁石磁束２４がギャップ１２を通過しない。このため、永久磁石６の磁石磁束２４が減少することはない。

なお、ロータ５の回転角度は、上述の機械角で−４°から＋４°に限らず、永久磁石６の磁石磁束２４がギャップ１２を通過しない予め定められた角度範囲であればよい。予め定められた角度範囲は、例えば、ガルバノスキャナ１における極数とコイル９の個数との関係で定められる。

また、極数とコイル９の個数とは、本実施の形態に示した数に限らず、極数とコイル９の個数とが異なっていてもよい。この場合でも、ロータ５の回転角度は、永久磁石６の磁石磁束２４がギャップ１２を通過しない予め定められた角度範囲であればよい。

なお、ステータコア８の第１の部分１８に形成された周方向のギャップ１２に代えて、ギャップ１２の位置におけるステータコア８の第１の部分１８の磁気抵抗を、残りのステータコア８の第１の部分１８の磁気抵抗よりも大きくしてもよい。すなわち、ステータコアの第１の部分１８には、周方向にステータコアの第２の部分１９よりも磁気抵抗が大きい部分が形成されている。例えば、周方向のギャップ１２と同じ位置のステータコア８の第１の部分１８に応力を加えることにより、ステータコア８の第１の部分１８の磁気抵抗を、残りのステータコア８の第１の部分１８の磁気抵抗よりも大きくできる。この構成によっても、ステータコア８の第１の部分１８における周方向のパーミアンスは、ステータコア８の第２の部分１９における周方向のパーミアンスよりも小さくなる。よって、上述と同様に、コイル９の電流磁束２５によって永久磁石６に発生する渦損を低減できる。

なお、図５において、ステータコア８の第２の部分１９には、内周面から内径側に突出する突起がないため、ステータコア８と永久磁石６との磁気的空隙２０が周方向に均一となる。このため、ロータ５の回転に伴う永久磁石６の磁石磁束２４の変化が抑制される。よって、永久磁石６の磁石磁束２４によって永久磁石６に発生する渦損を低減できる。

実施の形態２．
図７は、この発明を実施するための実施の形態２に係るガルバノスキャナの要部を示す図１における回転軸に垂直なＡ−Ａ断面図である。本実施の形態に係るガルバノスキャナ１の構成は、以下に述べる点で、実施の形態１と異なる。４個に分割されたステータコア８の第２の部分１９は、各コイル９の断面の間において、内周面から内径側に突出し周方向に離間している２個の突起１３をそれぞれ有する。２個の突起１３は、コイル９の断面において、異なるコイル９の断面側の周方向側面と反対側の周方向側面にそれぞれ接して、コイル９の位置決めに用いられる。

本実施の形態２に係るガルバノスキャナ１においても、実施の形態１と同様に、ステータコア８の第１の部分１８には、周方向にギャップ１２が形成されている。この構成によって、永久磁石６の磁石磁束２４を妨げることなく、コイル９の電流磁束２５を低減できる。よって、実施の形態１と同様に、コイル９の電流磁束２５によって永久磁石６に発生する渦損を低減できる。

また、２個の突起１３は、ステータコア８の第２の部分１９の内周面から内径側に突出している。このため、突起１３がない場合よりも、永久磁石６の磁石磁束２４の磁路のパーミアンスを向上できる。よって、永久磁石６の磁石磁束２４が増加し、ガルバノスキャナ１のトルクが増加する。
一方、突起１３によってコイル９の電流磁束２５も増加する。しかし、ステータコア８の第１の部分には、周方向にギャップ１２が形成されているため、コイル９の電流磁束２５の増加が抑えられる。これにより、トルクの向上と同時に、コイル９の電流磁束２５によって永久磁石６に発生する渦損を低減することができる。このため、永久磁石６の過度の温度上昇が抑えられ、永久磁石６の熱減磁による磁石特性の劣化を抑制できる。
なお、突起１３の個数は、２個に限らず、２個以上の複数個でもよい。そして、複数個の突起１３は、周方向に離間している。

実施の形態３．
図８は、この発明を実施するための実施の形態３に係るガルバノスキャナの要部を示す図１における回転軸に垂直なＡ−Ａ断面図である。本実施の形態に係るガルバノスキャナ１の構成は、以下に述べる点で、実施の形態２と異なる。ステータコア８の第２の部分１９は、各コイル９の断面の間において、ステータコア８の第２の部分１９の内周面から内径側に突出する１個の突起１３をそれぞれ有する。すなわち、実施の形態２における隣り合う２個の突起１３同士の間が同じ材質で埋められ、１個の突起１３が形成されている。
この構成によっても、実施の形態１と同様に、ステータコア８の第１の部分１８には、周方向にギャップ１２が形成されているため、実施の形態１と同様の効果を奏する。

また、本実施の形態に係るガルバノスキャナ１において、突起１３の回転軸４に垂直な断面積は、実施の形態２の突起１３の回転軸４に垂直な断面積よりも大きい。このため、突起１３において磁気飽和が起こりにくい。よって、実施の形態１よりもガルバノスキャナ１のトルクが増加する。

なお、突起１３によってコイル９の電流磁束２５も増加する。このため、ギャップ１２を実施の形態１よりも大きくすることによって、コイル９の電流磁束２５の増加を抑えながら、永久磁石６の磁石磁束２４を増加させる設計が可能となり、設計の自由度が向上する。

また、本実施の形態では、突起１３は、各コイル９の断面の周方向側面に接しているが、この形状に限らない。突起１３の周方向および径方向の長さなどの形状または個数と、空隙長とを調整することによって、永久磁石６の磁石磁束２４の増加と、コイル９の電流磁束２５の低減とを両立する設計が可能となる。例えば、突起１３の径方向長さを小さくする方法、または突起１３における回転軸４に垂直な断面の形状を四角形ではなく三角形にする方法がある。

実施の形態４．
図９は、この発明を実施するための実施の形態４に係るガルバノスキャナの要部を示す図１における回転軸に垂直なＡ−Ａ断面図である。本実施の形態に係るガルバノスキャナ１の構成は、以下に述べる点で、実施の形態２と異なる。ギャップである平行溝１４の内径側には、離間したステータコア８の第１の部分１８同士を連結する接続部である薄肉部１５がある。
この構成によっても、実施の形態１と同様に、ステータコア８の第１の部分１８には、周方向にギャップである平行溝１４が形成されているため、実施の形態１と同様の効果を奏する。

また、薄肉部１５によって離間したステータコア８の第１の部分１８同士が連結されている。このため、ステータコア８が一体化され、ステータコア８の部品点数が削減される。また、ステータコア８が一体化されているため、ステータコア８がハウジング２に固定されたときに生じるステータコア８の寸法公差を低減できる。

また、ステータコア８が圧粉鉄心で作製される場合、平行溝１４のような幅の狭い溝形状の作製は、金型による成形では困難である。そこで、まず平行溝１４がない円筒体のステータコア８が作製される。そして、平行溝１４をステータコア８に後加工して形成するのが一般的である。この場合、ステータコア８の外周側から溝加工できるため後加工が容易となる。
なお、ステータコア８が電磁鋼板などの磁性材料の板材から打ち抜いて作製される場合には、ステータコア８を打ち抜く際に平行溝１４を形成してもよい。

また、薄肉部１５には、コイル９の電流磁束２５が流れる。このため、実施の形態１よりもコイル９の電流磁束２５が増加する。このコイル９の電流磁束２５の増加を抑える必要がある場合には、薄肉部１５の径方向長さを、コイル９の電流磁束２５によって薄肉部１５が磁気飽和する寸法以下にしてもよい。なお、薄肉部１５の径方向位置は、平行溝１４の内径側に限らず、平行溝１４の径方向に沿う任意の位置であってもよい。

実施の形態５．
図１０は、この発明を実施するための実施の形態５に係るガルバノスキャナの要部を示す図１における回転軸に垂直なＡ−Ａ断面図である。本実施の形態に係るガルバノスキャナ１の構成は、以下に述べる点で、実施の形態４と異なる。ギャップである平行溝１４の外径側には、離間したステータコア８の第１の部分１８同士を連結する接続部である薄肉部１５がある。
この構成によっても、実施の形態１と同様に、ステータコア８の第１の部分１８には、周方向にギャップである平行溝１４が形成されているため、実施の形態１と同様の効果を奏する。

また、実施の形態４と同様に、薄肉部１５によって離間したステータコア８の第１の部分１８同士が連結されている。このため、ステータコア８が一体化され、ステータコア８の部品点数が削減される。また、ステータコア８が一体化されているため、ステータコア８がハウジング２に固定されたときに生じるステータコア８の寸法公差を低減できる。

また、実施の形態４と同様に、薄肉部１５には、コイル９の電流磁束２５が流れる。このため、コイル９の電流磁束２５の増加を抑える必要がある場合には、薄肉部１５の径方向長さを、コイル９の電流磁束２５によって薄肉部１５が磁気飽和する寸法以下にしてもよい。

また、薄肉部１５がコイル９の外径側から離れた位置に設けられている。このため、コイル９の電流磁束２５の磁路の長さが、薄肉部１５がコイル９の外径側に近い位置にある場合よりも長い。よって、薄肉部１５がコイル９の外径側に近い位置にある場合よりも、コイル９の電流磁束２５の磁路におけるパーミアンスが減少し、コイル９の電流磁束２５が減少する。したがって、実施の形態４よりも、コイル９の電流磁束２５によって永久磁石６に発生する渦損を低減できる。

また、平行溝１４の外径側に薄肉部１５があるため、ステータコア８の外周面とハウジング２との接触面積が増加する。よって、ステータコア８とハウジング２とを強固に固定でき、ガルバノスキャナ１の剛性が向上する。

また、ステータコア８の外周面が円筒面であるため、ステータコア８が圧粉鉄心で作製される場合には、後加工による平行溝１４の寸法精度が向上する。

図１１は、この発明を実施するための実施の形態５に係るガルバノスキャナのステータコアが打ち抜かれる場合の説明図である。ステータコア８が電磁鋼板などの磁性材料の板材から打ち抜いて作製される場合には、ステータコア８を構成する板材は、隣り合う薄肉部１５同士の間のステータコア８の部分２２における中心軸が平行になる配置で、電磁鋼板２１から打ち抜かれる。その後、打ち抜かれた複数の板材は、軸方向に積層され、直線状のステータコア８が形成される。そして、直線状のステータコア８の薄肉部１５が塑性変形され、円環状のステータコア８が形成される。したがって、平行溝１４の外径側に、離間したステータコア８の第１の部分１８同士を連結する薄肉部１５があるステータコア８の形状によって、隣り合う薄肉部１５同士の間のステータコア８の部分２２における中心軸が平行になる配置で、電磁鋼板２１からステータコア８を構成する板材を打ち抜くことができる。このため、電磁鋼板２１の材料歩留まりが向上する。

実施の形態６．
図１２は、この発明を実施するための実施の形態６に係るガルバノスキャナの要部を示す図１における回転軸に垂直なＡ−Ａ断面図である。本実施の形態に係るガルバノスキャナ１の構成は、以下に述べる点で、実施の形態２と異なる。ステータコアの第１の部分１８におけるギャップ１２は、外径側に向かうに従ってギャップ長が拡がる開口型形状に形成されている。
この構成によっても、実施の形態１と同様に、ステータコア８の第１の部分１８には、周方向にギャップ１２が形成されているため、実施の形態１と同様の効果を奏する。

ガルバノスキャナ１のトルクを低減せずに、コイル９の電流磁束２５によって永久磁石６に発生する渦損を低減するには、永久磁石６の磁石磁束２４を減少させずに、コイル９の電流磁束２５を減少させる必要がある。

図１２において、コイル９の電流磁束２５は、ギャップ１２において周方向に流れる。一方、ギャップ１２を中心として、永久磁石６の磁石磁束２４の右側部分が時計回りに流れ、永久磁石６の磁石磁束２４の左側部分が反時計回りに流れる。このため、永久磁石６の磁石磁束２４は、ギャップ１２の開口型形状に沿って減少することなく流れる。よって、永久磁石６の磁石磁束２４を減少させずに、コイル９の電流磁束２５を減少させることができる。したがって、実施の形態１から５に示すギャップよりも、ステータコア８の第１の部分１８における周方向のパーミアンスを小さくできる。このため、永久磁石６の過度の温度上昇が抑えられ、永久磁石６の熱減磁による磁石特性の劣化を抑制できる。

実施の形態７．
図１３は、この発明を実施するための実施の形態７に係るガルバノスキャナの要部を示す図１における回転軸に垂直なＡ−Ａ断面図である。本実施の形態に係るガルバノスキャナ１の構成は、以下に述べる点で、実施の形態６と異なる。ギャップである開口型溝１６の内径側には、離間したステータコア８の第１の部分１８同士を連結する接続部である薄肉部１５がある。
この構成によっても、実施の形態６と同様に、ステータコア８の第１の部分１８には、周方向にギャップである開口型溝１６が形成されているため、実施の形態６と同様の効果を奏する。

また、薄肉部１５によって離間したステータコア８の第１の部分１８同士が連結されている。このため、ステータコア８が一体化され、ステータコア８の部品点数が削減される。また、ステータコア８が一体化されているため、ステータコア８がハウジング２に固定されたときに生じるステータコア８の寸法公差を低減できる。

また、薄肉部１５には、コイル９の電流磁束２５が流れる。このため、実施の形態６よりもコイル９の電流磁束２５が増加する。このコイル９の電流磁束２５の増加を抑える必要がある場合には、薄肉部１５の径方向長さを、コイル９の電流磁束２５によって薄肉部１５が磁気飽和する寸法以下にしてもよい。

また、実施の形態４では、ステータコア８が圧粉鉄心で作製される場合には、平行溝１４をステータコア８に後加工して形成していた。一方、本実施の形態の開口型溝１６は、外径側に向かうに従ってギャップ長が拡がる形状である。このため、ステータコア８が圧粉鉄心で作製される場合でも、圧粉鉄心の成形時に開口型溝１６を作製でき、開口型溝１６の後加工が不要となる。

実施の形態８．
図１４は、この発明を実施するための実施の形態８に係るガルバノスキャナの要部を示す図１における回転軸に垂直なＡ−Ａ断面図である。本実施の形態に係るガルバノスキャナ１の構成は、以下に述べる点で、実施の形態６と異なる。ギャップである閉口型溝１７の外径側には、離間したステータコア８の第１の部分１８同士を連結する接続部である薄肉部１５がある。
この構成によっても、実施の形態６と同様に、ステータコア８の第１の部分１８には、周方向にギャップである閉口型溝１７が形成されているため、実施の形態６と同様の効果を奏する。

また、実施の形態７と同様に、薄肉部１５によって離間したステータコア８の第１の部分１８同士が連結されている。このため、ステータコア８が一体化され、ステータコア８の部品点数が削減される。また、ステータコア８が一体化されているため、ステータコア８がハウジング２に固定されたときに生じるステータコア８の寸法公差を低減できる。

また、実施の形態７と同様に、薄肉部１５には、コイル９の電流磁束２５が流れる。このため、コイル９の電流磁束２５の増加を抑える必要がある場合には、薄肉部１５の径方向長さを、コイル９の電流磁束２５によって薄肉部１５が磁気飽和する寸法以下にしてもよい。

また、実施の形態５と同様に、薄肉部１５がコイル９の外径側から離れた位置に設けられている。このため、コイル９の電流磁束２５の磁路の長さが、薄肉部１５がコイル９の外径側に近い位置にある場合よりも長い。よって、薄肉部１５がコイル９の外径側に近い位置にある場合よりも、コイル９の電流磁束２５の磁路におけるパーミアンスが減少し、コイル９の電流磁束２５が減少する。したがって、実施の形態７よりも、コイル９の電流磁束２５によって永久磁石６に発生する渦損を低減できる。

また、実施の形態５と同様に、薄肉部１５が閉口型溝１７の外径側にあるため、ステータコア８の外周面とハウジング２との接触面積が増加する。よって、ステータコア８とハウジング２とを強固に固定でき、ガルバノスキャナ１の剛性が向上する。

また、実施の形態５と同様に、ステータコア８の外周面が円筒面であるため、ステータコア８が圧粉鉄心で作製される場合には、後加工による閉口型溝１７の寸法精度が向上する。

実施の形態９．
図１５は、この発明を実施するための実施の形態９に係るガルバノスキャナを示す縦断面図である。本実施の形態に係るガルバノスキャナ１の構成は、実施の形態２から６のいずれかに係るガルバノスキャナ１の構成に加えて、ハウジング２の軸方向一端部側、すなわちステータ７の軸方向一端部側に磁石吸引力低減機構２０１が設けられた構造となっている。

図１６は、本実施の形態に係るガルバノスキャナの回転角度とトルクとの関係を示すグラフである。図１６において、横軸は、ロータ５が図７の位置にある場合におけるロータ５の回転角度を０°とし図７の反時計回りの方向を正としたときのロータ５の電気角の回転角度を表す。縦軸は、図７の反時計回りの方向を正としたときのガルバノスキャナ１のトルクを表す。なお、トルクの値は、無通電時の振幅で規格化されている。図１６において、破線の波形は無通電時のトルクを表し、実線の波形は通電時のトルクを表す。図１６の通電時のトルクは、反時計回りの方向のトルクが発生するように通電した場合のトルクを表している。

実施の形態２から６のいずれかにおけるステータコア８の内径側には突起１３があるため、図７のように永久磁石６の磁極の中心が図７の周方向両側の２つの突起１３に対して同じ距離にある場合（すなわち、ロータ５の磁極の中心が同じコイル９に隣り合う突起１３同士の間の周方向の中央部である中立角度に位置する場合）には、永久磁石６と突起１３との間の磁気吸引力である磁石吸引力が周方向に釣り合うため、図１６の回転角度０°のおける無通電時のトルクのように、ロータ５には磁石吸引力が発生しない。一方、ロータ５の磁極の中心が中立角度から周方向両側のいずれか一方に回転した場合には、ロータ５の磁極の中心から近い方の突起１３の磁石吸引力の方がロータ５の磁極の中心から遠い方の突起１３との磁石吸引力よりも大きくなるため、ロータ５の磁極の中心から近い方の突起１３に回転する方向のトルクが増加する。

このため、図１６において、トルクが反時計方向と時計方向とでそれぞれ異なる値を示すことから、コイル９の電流とトルクとの比例定数であるトルク定数は、回転方向に依存して変化することがわかる。また、突起１３に近づくほど磁石吸引力が大きくなるため、図１６において、トルクが回転角度ごとに変動することから、トルク定数は、回転角度にも依存して変化することがわかる。回転方向および回転角度の２つに対する依存性のため、ロータ５の回転角度を制御するのに複雑な制御が必要となる。

ここで、本実施の形態のガルバノスキャナでは、磁石吸引力低減機構２０１を備えることにより、永久磁石６と突起１３との間に生じる磁石吸引力の周方向成分を低減させる。
図１７は、本実施の形態に係るガルバノスキャナの磁石吸引力低減機構を示す図１５における回転軸に垂直なＤ−Ｄ断面図である。図１７において、磁石吸引力低減機構２０１は、バネ２０２と、ハウジング２０７とを有している。バネ２０２は、ロータ５とハウジング２０７を介してステータ７とに接続されている。また、バネ２０２は、ロータ５の磁極の中心が同じコイル９に隣り合う突起１３同士の間の周方向の中央部である中立角度からいずれか一方に回転した場合には、回転角度に応じてロータ５が中立角度に戻る方向の復元力が発生するように設置されている。なお、バネ２０２は、図７のように永久磁石６の磁極の中心が中立角度にあるときに、ロータ５にバネ２０２による復元力が発生しないように設置されているのが望ましい。

このように、復元力の方向が磁石吸引力の方向と反対になるため、バネ２０２のバネ定数を調節することで磁石吸引力をキャンセルまたは低減することが可能となる。

なお、図１７において、バネ２０２は、機械式の板バネであるが、渦巻きバネ、ねじりコイルバネ、またはロータ５が中立角度に戻る方向の復元力を生じる流体による他の方式のバネでもかまわない。

この構成によって、ロータ５に発生する磁石吸引力を低減またはキャンセルすることにより、回転方向および回転角度に対するトルク定数の依存性を小さくできるため、ロータ５の回転角度制御が容易となり回転角度制御の精度が向上する。

実施の形態１０．
図１８は、この発明を実施するための実施の形態１０に係るガルバノスキャナを示す縦断面図である。本実施の形態に係るガルバノスキャナ１の構成は、以下に述べる点で、実施の形態９と異なる。図１８において、磁石吸引力低減機構２０１は、ステータ７の軸方向一端部側に配置されており、ハウジング２の内部に配置されている。また、ロータ５の永久磁石６は、ステータ７の軸方向一端部側の端面を超えて磁石吸引力低減機構２０１まで軸方向に伸びている。

図１９は、本実施の形態に係るガルバノスキャナの磁石吸引力低減機構を示す図１８における回転軸に垂直なＥ−Ｅ断面図である。本実施の形態に係るガルバノスキャナ１の構成は、以下に述べる点で、実施の形態９と異なる。図１９において、磁石吸引力低減機構２０１は、補助ステータコア２０４と、ハウジング２０７とを有している。補助ステータコア２０４は、突起部２０５と、コアバック２０６とを有している。さらに、補助ステータコア２０４は、ステータコア８がロータ５の軸心を中心に電気角で９０°回転した形状で配置されている。このため、補助ステータコア２０４には、周方向にギャップ２０８が形成されている。また、補助ステータコア２０４は、ロータ５の永久磁石６の外径側に空隙２００を介して配置されている。なお、ハウジング２０７は、ハウジング２と一体となっていてもよい。

これにより、ステータコア８の突起１３に発生する磁石吸引力と、磁石吸引力低減機構２０１における補助ステータコア２０４の突起部２０５に発生する磁石吸引力とが相殺されるため、ステータコア８の突起１３に発生する磁石吸引力を低減できる。

相殺が不十分な場合は、補助ステータコア２０４の突起部２０５の幅を調節することによって、ステータコア８の突起１３に発生する磁石吸引力を適切に低減できる。
また、補助ステータコア２０４とステータコア８とが同じ形状であるため、共通化によって部品点数を削減できる。

この構成によって、ロータ５に発生する磁石吸引力を低減またはキャンセルすることにより、回転方向および回転角度に対するトルク定数の依存性を小さくできるため、ロータ５の回転角度制御が容易となり回転角度制御の精度が向上する。

図２０は、本実施の形態に係るガルバノスキャナの磁石吸引力低減機構の変形例を示す図１８における回転軸に垂直なＥ−Ｅ断面図である。図２０の構成は、補助ステータコア２０４にギャップ２０８が形成されていない点で図１９と異なる。図２０において、磁石吸引力低減機構２０１の補助ステータコア２０４は、ステータコア８の突起１３がロータ５の軸心を中心に電気角で９０°回転した形状の突起部２０５を有している。また、補助ステータコア２０４には、ギャップ２０８が形成されていない。このため、図１９のように、ギャップ２０８で磁気抵抗が大きくなることがない。

この構成によっても、図１９と同様の効果を得ることができる。さらに、図１９の補助ステータコア２０４よりも、ロータ５に発生する磁気吸引力を低減することができる。

なお、図１９および図２０における補助ステータコア２０４は、ステータコア８の突起１３がロータ５の軸心を中心に電気角で９０°回転した形状で配置されるのが望ましいが、ステータコア８の突起１３がロータ５の軸心を中心に電気角で９０±２２．５°回転した形状で配置されていてもよい。図１６の無通電時のトルク波形を上記角度範囲ずらして重ね合わせてもトルクが低減されるため、上記角度範囲であってもロータ５に発生する磁石吸引力を低減することができる。

実施の形態１１．
図２１は、この発明を実施するための実施の形態１１に係るガルバノスキャナの磁石吸引力低減機構を示す図１８における回転軸に垂直なＥ−Ｅ断面図である。本実施の形態に係るガルバノスキャナ１の構成は、以下に述べる点で、実施の形態９と異なる。図２１において、磁石吸引力低減機構２０１は、補助ステータコア２０４と、ハウジング２０７と、補助ステータコア２０４の突起部２０５の代わりとなる永久磁石２０３とを有する。補助ステータコア２０４は、コアバック２０６のみを有している。補助ステータコア２０４のコアバック２０６には、隣り合う永久磁石２０３の間の周方向範囲にギャップ２０８が形成されている。磁石吸引力低減機構２０１の永久磁石２０３は、ロータ５の永久磁石６の外径側に空隙２００を介して配置されている。また、永久磁石２０３の極性は、ロータ５の磁極の中心が図２１のように中立角度に位置するときの対向するロータ５の磁極の極性と同じとなっている。また、図２１において、永久磁石２０３の着磁方向は周方向となっている。

ロータ５の磁極の中心が中立角度から周方向両側のいずれか一方に回転した場合には、永久磁石２０３が、ロータ５の永久磁石６と反発するため、回転角度に応じてロータ５が中立角度に戻る方向の力が発生する。この力の方向が磁石吸引力の方向と反対になるため、磁石吸引力をキャンセルまたは低減することが可能となる。

また、コアバック２０６には、隣り合う永久磁石２０３の間の周方向範囲にギャップ２０８が形成されているため、永久磁石２０３の磁力を低下させることがない。よって、磁石吸引力をキャンセルまたは低減する力の低下を抑制しながら、コアバック２０６を分割することができる。コアバック２０６の分割によって、永久磁石２０３のコアバック２０６への固定作業や着磁作業が容易となる。

この構成によって、ロータ５に発生する磁石吸引力を低減またはキャンセルすることにより、回転方向および回転角度に対するトルク定数の依存性を小さくできるため、ロータ５の回転角度制御が容易となり回転角度制御の精度が向上する。

図２２は、本実施の形態に係るガルバノスキャナの磁石吸引力低減機構の変形例を示す図１８における回転軸に垂直なＥ−Ｅ断面図である。図２２の構成は、永久磁石２０３の着磁方向が径方向となっている点で図２１と異なる。図２２においても、図２１と同様に、永久磁石２０３の極性は、ロータ５の磁極の中心が図２２のように中立角度に位置するときの対向するロータ５の磁極の極性と同じになっている。このため、ロータ５の磁極の中心が中立角度から周方向両側のいずれか一方に回転した場合には、永久磁石２０３が、ロータ５の永久磁石６と反発するため、回転角度に応じてロータ５が中立角度に戻る方向の力が発生する。この力の方向が磁石吸引力の方向と反対になるため、磁石吸引力をキャンセルまたは低減することが可能となる。
この構成によっても、図２１と同様の効果を得ることができる。また、永久磁石２０３の体積を図２１よりも低減できる。

なお、図２１および図２２におけるコアバック２０６には、隣り合う永久磁石２０３の間の周方向範囲にギャップ２０８が形成されてなくてもよい。

実施の形態１２．
図２３は、この発明を実施するための実施の形態１２に係るガルバノスキャナを示す縦断面図である。本実施の形態に係るガルバノスキャナ１の構成は、以下に述べる点で、実施の形態９と異なる。図２３において、磁石吸引力低減機構２０１は、ハウジング２の軸方向両端部側、すなわちステータ７の軸方向両端部側に配置されている。それぞれの磁石吸引力低減機構２０１の構成は、実施の形態９から１１のいずれかと同じである。

ここで、実施の形態９から１１では、ステータコア８の突起１３に発生する磁石吸引力と、磁石吸引力低減機構２０１で発生する力とは、互いに周方向反対の方向であるため、トルクは相殺されるが、磁石吸引力低減機構２０１に発生する力の軸方向位置が、磁石吸引力の軸方向位置から離れており、磁石吸引力と力とによってロータ５にねじれが発生する。

本実施の形態では、磁石吸引力低減機構２０１がステータコア８の軸方向両側に配置されているため、軸方向両端に同じ方向のトルクがかかり、反対方向のトルクがそれぞれかかる軸方向の距離が実施の形態９から１１に対して半減する。このため、ねじれ共振周波数は、実施の形態９から１１よりも高くなり、電流の周波数よりも高く設計することが容易となる。また、磁石吸引力によるトルクも、実施の形態９から１１よりも低減することができる。

この構成によって、実施の形態９から１１の効果に加えて、ねじれ共振の影響を低減できることから、ロータ５の回転角度制御が容易となり回転角度制御の精度が向上する。

１ ガルバノスキャナ、 ２、１０２、２０７ ハウジング、 ３ ベアリング、 ４、１０４ 回転軸、 ５、１０５ ロータ、 ６、１０６、２０３ 永久磁石、 ７ ステータ、 ８、１０８ ステータコア、 ９、１０９ コイル、 １０ 光学部材、 １１ エンコーダ板、 １２、２０８ ギャップ、 １３ 突起、 １４ 平行溝、 １５ 薄肉部、 １６ 開口型溝、 １７ 閉口型溝、 １８ ステータコアの第１の部分、 １９ ステータコアの第２の部分、 ２０、１２０、２００ 空隙、 ２１ 電磁鋼板、 ２２ 隣り合う薄肉部同士の間のステータコアの部分、 ２３ センサヘッド、 ２４、１２４ 磁石磁束、 ２５、１２５ 電流磁束、 １０１ 従来例のガルバノスキャナ、 ２０１ 磁石吸引力低減機構、 ２０２ バネ、 ２０４ 補助ステータコア、 ２０５ 突起部、 ２０６ コアバック。

Claims (10)

1. 回転軸、およびこの回転軸の周方向に異なる磁極が交互に形成された第１の永久磁石を有するロータと、
   前記ロータの外径側に空隙を介して配置された複数のコイル、および前記複数のコイルの外径側に配置されたステータコアを有するステータと、
   前記ロータに連結され予め定められた角度範囲内で回転する光学部材とを備え、
   前記ステータコアは、前記ステータの前記回転軸に垂直な断面において、異なる前記複数のコイルの隣り合う断面同士の外径側の周方向範囲に位置する第１の部分と、残りの周方向範囲に位置する第２の部分とで構成され、
   前記ステータコアの前記第１の部分における周方向のパーミアンスは、前記ステータコアの前記第２の部分における周方向のパーミアンスよりも小さく、
   前記ステータコアの第１の部分には、周方向にギャップが形成されているガルバノスキャナ。
2. 前記ステータコアの第１の部分における前記ギャップは、外径側に向かうに従ってギャップ長が拡がる請求項１に記載のガルバノスキャナ。
3. 前記ギャップには、離間した前記ステータコアの第１の部分同士を連結する接続部がある請求項１または請求項２に記載のガルバノスキャナ。
4. 回転軸、およびこの回転軸の周方向に異なる磁極が交互に形成された第１の永久磁石を有するロータと、
   前記ロータの外径側に空隙を介して配置された複数のコイル、および前記複数のコイルの外径側に配置されたステータコアを有するステータと、
   前記ロータに連結され予め定められた角度範囲内で回転する光学部材とを備え、
   前記ステータコアは、前記ステータの前記回転軸に垂直な断面において、異なる前記複数のコイルの隣り合う断面同士の外径側の周方向範囲に位置する第１の部分と、残りの周方向範囲に位置する第２の部分とで構成され、
   前記ステータコアの前記第１の部分における周方向のパーミアンスは、前記ステータコアの前記第２の部分における周方向のパーミアンスよりも小さく、
   前記ステータコアの第２の部分は、内径側に突出する突起を有するガルバノスキャナ。
5. 前記突起は、周方向に離間する複数個の突起からなる請求項４に記載のガルバノスキャナ。
6. 前記ステータの軸方向端部側に配置され前記突起と前記第１の永久磁石との間に生じる磁石吸引力の周方向成分を低減する磁石吸引力低減機構とをさらに備えた請求項４または請求項５に記載のガルバノスキャナ。
7. 前記磁石吸引力低減機構は、前記ロータと前記ステータとに接続されたバネを有し、
   前記バネは、同じ前記コイルに隣り合う前記突起同士の間における周方向の中央部に前記ロータが戻る方向の復元力を発生する請求項６に記載のガルバノスキャナ。
8. 前記磁石吸引力低減機構は、前記ステータコアの前記突起が前記ロータの軸心を中心に電気角で９０°回転した形状の突起部を具備する補助ステータコアを有し、
   前記補助ステータコアは、前記第１の永久磁石の外径側に空隙を介して配置された請求項６に記載のガルバノスキャナ。
9. 前記磁石吸引力低減機構は、前記第１の永久磁石の外径側に空隙を介して配置された第２の永久磁石を有し、
   前記第２の永久磁石は、同じ前記コイルに隣り合う前記突起同士の間における周方向の中央部に前記ロータの前記磁極の中心が位置するときの対向する前記磁極の極性と同じ極性を有する請求項６に記載のガルバノスキャナ。
10. 前記磁石吸引力低減機構は、前記ステータの軸方向両端部側に配置された請求項６から請求項９のいずれか１項に記載のガルバノスキャナ。

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