JP3717887B2 - 半導体集積回路装置の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、ペリクル板とペリクルフレームを接着するペリクル製造方法及びペリクル製造装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体集積回路あるいは液晶表示装置の製造において、パターニングの際にパターン原版であるフォトマスクに異物・パーティクルが付着しないように、ペリクルをフォトマスクのパターン面に取り付けて露光作業を行うのが一般的である。ここで、ペリクルとは、高さ4〜6.3mmのペリクルフレームに、写真製版で用いられる露光光を透過するペリクル膜を接着したものである。
一方、半導体パターンの微細化に伴い、写真製版のリソグラフィで用いられる露光光が短波長化されてきている。パターン寸法180〜250nmの半導体装置の製造では、KrFエキシマレーザ光源(波長:248nm)を用いたリソグラフィが使われてきた。そして、近年のパターン寸法100〜130nmの半導体製造では、ArFエキシマレーザ光源(波長:193nm)を用いたリソグラフィが使われつつある。さらに、パターン寸法50〜70nmの半導体を製造するリソグラフィ技術として、F2レーザ(波長:157nm)が開発されている。
【0003】
これらの光源に対して透過性や耐光性に優れたペリクル膜が必要となる。現在、KrFやArFリソグラフィ用のペリクル膜として、数μm厚のフッ素系有機ポリマー膜が使われている。ところが、この従来のフッ素系有機ポリマー膜は、F2レーザーに対しては、透過性は95%以上であるが、耐光性が悪く、実用的ではない。そこで、これに代わるペリクルとして、厚さ数100μmの合成石英ガラス基板をペリクル膜に用いた無機ペリクルの開発が進められている。この無機ペリクルは、透過性や耐光性の点では有機ペリクルに比べて優れているが、厚さが数100μmとなるため、露光光の光路に影響し、平面度がリソグラフィの転写精度に影響を与える。しかし、合成石英ガラス基板の自重たわみや露光中の振動によって平面度が保たれず、転写制度が劣化するという問題がある。
【0004】
このような無機ペリクルの問題を解決する方法として、ペリクルフレームに接着した状態で、ペリクル膜にガラス基板を用いたもの(以下、ペリクル板と呼ぶ)に引っ張り応力を与え、平面度を維持する方法がある。この引っ張り応力を与える方法として、ペリクル板に比べて熱膨張率の小さいフレームを用いて、高温で貼り付けて、常温でガラス板に引っ張り応力を与える方法がある(例えば、特許文献1参照)。また、ペリクル板に比べて熱膨張率の大きいペリクルフレームを用いて、低温で接着して、常温でガラスのペリクル板に引っ張り応力を与える方法がある(例えば、特許文献2参照)。
【0005】
【特許文献1】
特開2002−40628号公報
【特許文献2】
特開2002−40629号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
従来のペリクルでは、ペリクル板に引っ張り応力を与えるために、ペリクル板とペリクルフレームに熱膨張率係数の異なる材料を選択しなければならず、材料選択の自由度が小さくなっていた。また、高温もしくは低温でクリーン度の高い環境を作って、ペリクル板とペリクルフレームを接着しなければならず、製造設備が大掛かりとなり、コストが大幅に高くなっていた。さらに、ペリクル全体の高温化もしくは低温化の処理には時間がかかるため、生産性が悪いという問題もあった。
【0007】
この発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、その目的は、ペリクル板に引っ張り応力を与えたペリクルを製造するにあたって、ペリクル板とペリクルフレームの材料選択の自由度があり、製造設備の規模増大・高コスト化が少なく、生産性がよいペリクル製造方法及びペリクル製造装置を得るものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る半導体集積回路装置の製造方法は、ペリクル板とペリクルフレームを接着剤により接着する際に、ペリクル板のペリクルフレームとの接着部分より内側の部分を選択的に加熱する工程と、接着剤が硬化した後、ペリクル板を常温に戻す工程と、ペリクルフレームと、ペリクルフレームに接着されたペリクル板とを含むペリクルが装着されたフォトマスクに露光光を照射して、非処理体上に半導体パターンを転写する工程とを含む。この発明のその他の特徴は以下に明らかにする。
【0011】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.
図1はこの発明の実施の形態1におけるペリクル製造装置を示す断面図である。ここで製造されるペリクルは、F2レーザー光源(波長:157nm)を用いたリソグラフィ用フォトマスクに装着され、フォトマスクに異物・パーティクルが付着するのを防ぐためのものである。
【0012】
図1において、ペリクル板1は、F2レーザー光に対し透過性の高い合成石英などからなるガラス基板で形成され、厚みが800μm、外形が150mm×120mmである。このペリクル板1は、その外周部が接触するように筒状の台2に載せられている。一方、ペリクルフレーム3は、アルミニュウムなどの材料で形成され、高さが4mm、外形がペリクル板1と同じ150mm×120mmである。そして、ペリクル板1のペリクルフレーム3との接着部分より内側の部分に対向してホットプレート4が設けられている。このホットプレート4は、ペリクル板1と数10μm隔てられており、50〜200℃の範囲で全面にわたって均一に加熱されている。
【0013】
ペリクルフレーム3の下部に接着剤5を塗布してペリクル板1に押し当てることにより、ペリクル板1とペリクルフレーム3は接着される。この接着の際に、ホットプレート4を用いて、ペリクル板1のペリクルフレーム3との接着部分より内側の部分を選択的に加熱する。これにより、ペリクルフレーム3を常温のまま加熱せずに、ペリクル板1を加熱することができる。そして、接着剤5が硬化した後に、ペリクル板1を常温に戻すと、ほとんど熱膨張していなかったペリクルフレーム3はそのままで、熱膨張していたペリクル板1だけが収縮するため、ペリクル板1に引っ張り応力が発生する。
【0014】
以上のように実施の形態1では、ホットプレート4を用いてペリクル板に引っ張り応力を与えている。よって、ペリクル板とペリクルフレームの材料選択に特別な制限は無く、材料選択の自由度がある。また、ホットプレート4を設けることによる製造設備の規模増大・高コスト化は少ない。そして、ホットプレート4によりペリクル板1は短時間で加熱されるため、生産性がよい。
【0015】
実施の形態2.
図2はこの発明の実施の形態2におけるペリクル製造装置を示す断面図である。図1と同じ構成要素は同じ番号を付し、説明は省略する。図2において、ペリクル板1のペリクルフレーム3との接着部分より内側の部分に対向してホットプレート10が設けられている。このホットプレート10の上側表面は、ペリクル板1とペリクルフレーム3との接着の際のペリクル板1のたるみに合わせて、下方に窪むように湾曲している。そして、ホットプレート10はペリクル板1と数10μm隔てられており、50〜200℃の範囲で全面にわたって均一に加熱されている。また、ホットプレート10には、ガス供給部の一部として、無数の微小の穴からなるガス噴出孔11が設けられている。このガス噴出孔11から、ペリクル板1とホットプレート10の間に、空気より熱伝導性の高いガスであるHeガス12が供給される。さらに、ペリクルフレーム3に接触してペリクルフレーム冷却機構13が設けられている。
【0016】
ここで、ホットプレート10はペリクル板1のたるみに合わせて湾曲しているため、ホットプレート10とペリクル板1の間隔が均一になっている。また、ペリクル板1とホットプレート10の間の空気をHeガス12で置換させている。さらに、ペリクルフレーム冷却機構13によりペリクルフレーム3は冷却され、接着中のペリクルフレーム3の熱膨張を更に減少させている。
【0017】
このようなペリクル製造装置を用いて、ペリクル板1とペリクルフレーム3の接着の際に、ペリクル板1のペリクルフレーム3との接着部分より内側の部分を選択的に加熱する。そして、接着剤5が硬化した後に、ペリクル板1を常温に戻すと、ペリクル板1に引っ張り応力が発生する。
【0018】
以上のように実施の形態2では、実施の形態1と同様の効果を有し、さらに、ホットプレート10とペリクル板1の間隔を均一にすることで、ペリクル板1とホットプレート10が接触又は離れすぎるのを防ぐことができる。また、ペリクル板1とホットプレート10の間の空気をHeガス12で置換することで、ホットプレート10からペリクル板1への熱の伝達効率を高めることができる。さらに、ペリクルフレーム冷却機構13により、ペリクルフレーム3の熱膨張を更に減少させ、効率よくペリクル板1に引っ張り応力を発生させることができる。
【0019】
実施の形態3.
図3はこの発明の実施の形態3におけるペリクル製造装置を示す断面図である。図1と同じ構成要素は同じ番号を付し、説明は省略する。図3において、ペリクル板1のペリクルフレーム3との接着部分より内側の部分に対向してホットプレート15が設けられている。このホットプレート15の中央部に接触してヒーター16が設けられ、ホットプレート15の外周部にホットプレート冷却機構17が設けられている。このホットプレート冷却機構17は、ホットプレート15の外周部の内部に設けられた穴に冷却水を流すことによって、ホットプレート15の周囲を水冷するというものである。冷却水の流量を制御することで、ホットプレート冷却機構17の冷却度を制御することができる。また、長方形のペリクルフレーム3に用いる長方形のホットプレート15の場合は、縦の辺と横の辺に沿ったホットプレート冷却機構17をそれぞれ別制御にすることもできる。
【0020】
このようなペリクル製造装置を用いて、ペリクル板1とペリクルフレーム3の接着の際に、ペリクル板1のペリクルフレーム3との接着部分より内側の部分を選択的に加熱する。そして、接着剤5が硬化した後に、ペリクル板1を常温に戻すと、ペリクル板1に引っ張り応力が発生する。また、この接着時に、ホットプレート15のヒーター16とホットプレート冷却機構17を制御することによって、加熱するペリクル板1のペリクルフレーム3との接着部分より内側の部分温度分布を制御することができる。
【0021】
以上のように実施の形態3では、実施の形態1と同様の効果を有する。そして、接着時のペリクル板1の温度分布を制御することにより、ペリクル板1の引っ張り応力の大きさや面内分布を制御することができる。よって、長方形のペリクルフレーム3にペリクル板1を接着させる場合でも、ペリクル板1の引っ張り応力の面内分布の偏りを緩和して、ペリクル板1の平面度や機械的強度を向上させることができる。また、ホットプレート15を中央に向かって温度が高くなるようにしているので、ペリクル板1の最もたるみの大きい中央部の温度を高くし、引っ張り応力をより効率的に発生させることができる。
【0022】
実施の形態4.
図4はこの発明の実施の形態4におけるペリクル製造装置を示す断面図である。図1と同じ構成要素は同じ番号を付し、説明は省略する。図4において、ペリクル板1に赤外線20を照射する赤外線ランプ21と、ペリクル板1のペリクルフレーム3との接着部分へ照射される赤外線20を遮蔽する遮蔽板22を設けている。なお、ここではペリクル板1を載せる台2の図示を省略している。
【0023】
ペリクル板1とペリクルフレーム3の接着の際に、赤外線ランプ21を用いて、ペリクル板1のペリクルフレーム3との接着部分より内側の部分を選択的に加熱する。そして、接着剤5が硬化した後に、ペリクル板1を常温に戻すと、ペリクル板1に引っ張り応力が発生する。ここで、遮蔽板22として、ペリクル板1のペリクルフレーム3との接着部分より内側の部分を部分的に遮蔽するものを用いれば、ペリクル板1の温度分布を制御することができる。例えば、遮蔽板22として、図5(a)または図5(b)に示すようなものを用いれば、ペリクル板1の中心部に向かうほどより多くの赤外線20が照射されるようにすることができる。
【0024】
以上のように実施の形態4では、実施の形態1と同様の効果を有する。さらに、ペリクル板1のペリクルフレーム3との接着部分より内側の部分も部分的に遮蔽するような遮蔽板22を用いれば、実施の形態3と同様の効果も有する。
【0025】
上記の実施の形態1〜4の構成を適宜組み合わせることも可能である。また、上記実施の形態では、ペリクルフレーム3としてAlの場合について述べたが、その他の金属、ガラス、セラミックなどの材料でも良い。そして、熱伝導用のガスとしてHeについて説明したが、空気よりも熱伝導率の高いガスであれば効果は得られる。
【0026】
【発明の効果】
この発明は以上説明したように、ペリクル板に引っ張り応力を与えたペリクルを製造するにあたって、ペリクル板とペリクルフレームの材料選択の自由度があり、製造設備の規模増大・高コスト化が少なく、生産性がよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】 実施の形態1におけるペリクル製造装置を示す断面図である。
【図2】 実施の形態2におけるペリクル製造装置を示す断面図である。
【図3】 実施の形態3におけるペリクル製造装置を示す断面図である。
【図4】 実施の形態4におけるペリクル製造装置を示す断面図である。
【図5】 実施の形態4におけるペリクル製造装置で用いられる遮蔽板を示す上面図である。
【符号の説明】
1 ペリクル板
3 ペリクルフレーム
4 ホットプレート
10 ホットプレート
11 ガス噴出口
12 Heガス
13 ペリクルフレーム冷却機構
15 ホットプレート
16 ヒーター
17 ホットプレート冷却機構
20 赤外線
21 赤外線ランプ
22 遮蔽板
Claims (8)
- ペリクル板とペリクルフレームを接着剤により接着する際に、前記ペリクル板の前記ペリクルフレームとの接着部分より内側の部分を選択的に加熱する工程と、
前記接着剤が硬化した後、前記ペリクル板を常温に戻す工程と、
前記ペリクルフレームと、前記ペリクルフレームに接着されたペリクル板とを含むペリクルが装着されたフォトマスクに露光光を照射して、被処理体上に半導体パターンを転写する工程とを含むことを特徴とする半導体集積回路装置の製造方法。 - 前記露光光として、F 2 レーザ光を用いることを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路装置の製造方法。
- 前記ペリクルとして、無機ペリクルを用いることを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路装置の製造方法。
- 前記ペリクル板として、合成石英からなるものを用いることを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路装置の製造方法。
- 前記ペリクルフレームとして、アルミニウムからなるものを用いることを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路装置の製造方法。
- 前記選択的加熱をホットプレートを用いて行うことを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路装置の製造方法。
- 前記ホットプレートとして、前記ペリクル板のたるみにあわせて湾曲しているものを用いることを特徴とする請求項6に記載の半導体集積回路装置の製造方法。
- 前記選択的加熱を赤外線ランプと遮蔽板を用いて行うことを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路装置の製造方法。
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