JP3711060B2 - 発光素子アレイ・チップおよび光量補正方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、発光素子アレイ・チップ、特に、光量補正を行うことのできる発光素子アレイ・チップに関する。本発明は、さらに、発光素子アレイ・チップの光量補正方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
多数個の発光素子を同一基板上に集積した発光素子アレイは、その駆動用ICと組み合わせて光プリンタヘッド等の書込み用光源として利用されている。本発明者らは発光素子アレイの構成要素としてpnpn構造を持つ発光サイリスタに注目し、発光点の自己走査が実現できることを既に特許出願(特開平1−238962号公報、特開平2−14584号公報、特開平2−92650号公報、特開平2−92651号公報)し、光プリンタ用光源として実装上簡便となること、発光素子ピッチを細かくできること、コンパクトな自己走査型発光素子アレイを作製できること等を示した。
【0003】
さらに本発明者らは、転送素子アレイをシフト部として、発光部である発光素子アレイと分離した構造の自己走査型発光素子アレイを提案している(特開平2−263668号)。
【0004】
図1に、この自己走査型発光素子アレイの等価回路図を示す。この自己走査型発光素子アレイは、転送素子T1 〜T4 、書込み用発光素子L1 〜L4 からなる。シフト部の構成は、ダイオード接続を用いている。VGKは電源(通常5V)であり、負荷抵抗RL を経て各転送素子のゲート電極G1 〜G3 に接続されている。また、転送素子のゲート電極G1 〜G3 は、書込み用発光素子のゲート電極にも接続される。転送素子T1 のゲート電極にはスタートパルスφS が加えられ、転送素子のアノード電極には、交互に転送用クロックパルスφ1,φ2が加えられ、書込み用発光素子のアノード電極には、発光電流供給ライン5を経て、書込み信号φI が加えられている。なお図中、1,2,3,4は、それぞれ電流制限抵抗を示している。
【0005】
動作を簡単に説明する。まず転送用クロックパルスφ1の電圧がハイレベルで転送素子T2 がオン状態であるとする。このとき、ゲート電極G2 の電位はVGKの5Vからほぼ0Vにまで低下する。この電位降下の影響はダイオードD2 によってゲート電極G3 に伝えられ、その電位を約1Vに(ダイオードD2 の順方向立上り電圧(拡散電位に等しい))に設定する。しかし、ダイオードD1 は逆バイアス状態であるためゲート電極G1 への電位の接続は行われず、ゲート電極G1 の電位は5Vのままとなる。発光サイリスタのオン電位は、ゲート電極電位+pn接合の拡散電位(約1V)で近似されるから、次の転送用クロックパルスφ2のHレベル電圧は約2V(転送素子T3 をオンさせるために必要な電圧)以上でありかつ約4V(転送素子T5 をオンさせるために必要な電圧)以下に設定しておけば転送素子T3 のみがオンし、これ以外の転送素子はオフのままにすることができる。従って2本の転送用クロックパルスでオン状態が転送されることになる。
【0006】
スタートパルスφS は、このような転送動作を開始させるためのパルスであり、スタートパルスφS をLレベル(約0V)にすると同時に転送用クロックパルスφ2をHレベル(約2〜約4V)とし、転送素子T1 をオンさせる。その後すぐ、スタートパルスφS はHレベルに戻される。
【0007】
いま、転送素子T2 がオン状態にあるとすると、ゲート電極G2 の電位は、VGK(ここでは5ボルトと想定する)より低下し、ほぼ0Vとなる。したがって、書込み信号φI の電圧が、pn接合の拡散電位(約1V)以上であれば、発光素子L2 を発光状態とすることができる。
【0008】
これに対し、ゲート電極G1 は約5Vであり、ゲート電極G3 は約1Vとなる。したがって、発光素子L1 の書込み電圧は約6V、発光素子L3 の書込み電圧は約2Vとなる。これから、発光素子L2 のみに書き込める書込み信号φI の電圧は、1〜2Vの範囲となる。発光素子L2 がオン、すなわち発光状態に入ると、発光強度は書込み信号φI に流す電流量で決められ、任意の強度にて画像書込みが可能となる。また、発光状態を次の発光素子に転送するためには、書込み信号φI ラインの電圧を一度0Vまでおとし、発光している発光素子をいったんオフにしておく必要がある。
【0009】
このような自己走査型発光素子アレイは、例えば600dpi/128発光点のチップ(長さ約5.4mm)を、複数個並べることによって作製される。このようなチップは、ウェファ上に作製され、ダイシングすることにより得られる。
【0010】
自己走査型発光素子アレイでは、チップ内の光量分布が小さいが、ウェファ内分布やウェファ間の差により、チップ間の光量差は広い分布を持つ。このため、光量の平均値を合わせてやることで、ばらつきの少ない発光点列を得ることができる。
【0011】
従来は、次に示す手法によりチップ間の光量平均値をそろえていた。
【0012】
(1)ウェファ状態で各チップの光量平均値を求める。
【0013】
(2)各チップの光量平均値から、所望の光量を得るために必要な外付け抵抗の値を計算し、抵抗値の範囲毎に、5〜20個ほどのランクに振り分けたマップを作成する。
【0014】
(3)ウェファを切断し、マップに従って、ランク毎のトレイに仕分けする。
【0015】
(4)同じランクのトレイからチップを拾い、基板上に配列する。このチップを駆動するための基板として、ランクに対応した外付け抵抗を実装した駆動基板を接続する。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の手法では、
(1)ランク数が多くなると、取り分けが複雑となる。また、トレイ管理が複雑となる、
(2)ランクに対応した複数種類の駆動基板を用意しなければならない、
(3)ランク毎にトレイなどに取り分ける必要があるため、切断後テープから直接ダイボンダにかけることができない、
などの問題があった。
【0017】
本発明の目的は、ウェファ内、ウェファ間のチップ光量のばらつきを、光量評価時または評価後、チップ単位で、内蔵抵抗の値を調整して、ある一定の範囲内に収めることのできる発光素子アレイ・チップを提供することにある。
【0018】
本発明の他の目的は、発光素子アレイ・チップの光量補正方法を提供することにある。
【0019】
【課題を解決するための手段】
本発明の第1の態様は、pnpn構造の複数の発光素子よりなるアレイを有し、発光点を順次自己走査する機能を有する発光素子アレイ・チップにおいて、前記複数の発光素子アレイに発光電流を供給するラインに、1個以上の抵抗を挿入し、前記発光電流の値を前記抵抗の値により調整することを特徴とする。
【0020】
本発明の第2の態様は、pnpn構造の複数の発光素子よりなるアレイを有し、発光点を順次自己走査する機能を有する発光素子アレイ・チップにおける光量補正方法であって、前記複数の発光素子アレイに発光電流を供給するラインに、1個以上の抵抗を挿入し、前記発光電流の値を前記抵抗の値により調整して光量を補正することを特徴とする。
【0021】
本発明によれば、前記1個以上の抵抗は、前記発光電流供給ラインの一部分を構成する短絡線により短絡されており、前記1個以上の抵抗を前記発光電流供給ラインに挿入する場合には、挿入したい抵抗に対する前記短絡線を切断することにより行うのが好適である。
【0022】
また、本発明によれば、前記1個以上の抵抗は、前記発光電流供給ラインの一部分を構成する接続線により接続されて、前記発光電流供給ラインに挿入されており、前記発光電流供給ラインの挿入から除きたい場合には、除きたい抵抗に対する前記接続線を切断することにより行うのが好適である。
【0023】
【発明の実施の形態】
本発明によれば、発光電流供給ラインに抵抗を挿入し、この抵抗を{短絡する/短絡しない}または、{接続する/接続しない}によって、ラインに挿入される抵抗値を調整する。この調整は、ウェファ検査機で光量を測定し、その測定値に従って行われる。調整は、抵抗への配線または抵抗自身を、接続または切断によって行う。切断は、レーザによる焼き切り、大電流による溶断、レーザなどの直接描画によるフォトリソ工程によって行う。
【0024】
接続は、導電性インクによる描画、レーザなどの直接描画によるフォトリソ工程、CVDによる選択的金属膜成長によって行う。
【0025】
調整のための抵抗は、複数でもよく、他の抵抗に対し直列に入れても、または並列に入れてもよい。
【0026】
このとき、調整用の抵抗は、直列に挿入する場合、複数個ある抵抗のうち、最大の抵抗値をRとすると、R/2n (n=1,2,3,…)となるように選ぶのが好適である。
【0027】
また、調整用の抵抗は、並列に挿入する場合、複数個ある抵抗のうち最小の抵抗値をrとすると、r×2n (n=1,2,3,…)となるように選ぶのが好適である。
【0028】
抵抗は、発光素子アレイを形成する半導体層(カソード層、アノード層、ゲート層)、金属薄膜(Au,Pt,W,Cr,Ni,NiCrなど)、サーメット(Cr−SiO、Au−SiOなど)、アモルファス半導体層(a−Si,a−Geなど)、ポリシリコン膜などを使うことができる。
【0029】
【実施例1】
抵抗として、発光素子アレイを形成する半導体層を用いる例について説明する。
【0030】
図2に、自己走査型発光素子アレイ・チップの構造を示す。(A)は平面図、(B)は、(A)のX−X′線断面図である。自己走査型発光素子アレイは、基本的にはpnpn半導体構造で構成される。
【0031】
基板130上に、第1の半導体層100,第2の半導体層101,第3の半導体層102,第4の半導体層103が順次積層されて、pnpn構造を形成している。これらpnpn構造は、溝で分離されてカソード層,アノード層,ゲート層よりなる個々の発光素子20が作られる。
【0032】
pnpn構造上には絶縁膜110が設けられ、各発光素子の最上層電極(アノード電極またはカソード電極)には、絶縁膜110に開けられたスルーホールを介してアルミ配線40が接続される。このアルミ配線の一端は、発光電流供給用のボンディングパッド30となっている。
【0033】
チップ内蔵抵抗10は、pnpn構造の半導体層を用いて作成される。第4の半導体層103上に2個の電極11a,11bを設けて、これら電極を、絶縁膜110に開けたスルーホールを経てアルミ配線40にそれぞれ接続する。
【0034】
この状態では、電極11a,11b間に半導体層103で作られた抵抗10は、アルミ配線40で短絡されている。アルミ配線40のうち短絡に寄与する部分である抵抗短絡線を13で示している。
【0035】
ウェファ状態で各チップの平均光量を測定し、光量が大きいものは、レーザ光を使い抵抗短絡線13を焼き切る。図3には、焼き切った短絡線の部分を50で示す。抵抗短絡線を焼き切ると、抵抗10が、アルミ配線40に挿入されることになる。前述したように、発光素子の光量は、供給される電流の大きさにより決まるので、抵抗10が挿入される結果、供給電流は小さくなる。たとえば、光量が10%変化するように抵抗10の値を選ぶことで、ウェファ内、ウェファ間の光量のばらつきの値を10%狭めることが可能となる。
【0036】
また、レーザによる焼き切りのほか、直接描画によるフォトリソ工程で配線をエッチングなどにより切断してもよい。
【0037】
【実施例2】
実施例1は、1個の抵抗10のみ形成したが、複数個の抵抗を形成してもよい。図4は、3個の抵抗10a,10b,10cを直列に配置した場合の例を示す。各抵抗の構成は、実施例1と同じである。図中、13a,13b,13cは、これら各抵抗の短絡線(アルミ配線の一部)を示している。
【0038】
これら抵抗の抵抗値の比を、10a:10b:10c=1:2:4とし、たとえば、電流値が1%変化する抵抗値を抵抗10aに選べば、13a〜13cの切断/非切断により、8%の光量のばらつきを1%に抑えることができる。また、抵抗10aを電流値を決める抵抗として、大きめにとり、抵抗10b,10cをたとえば、抵抗10aの1/10,1/20にとれば、抵抗10aの値を、0%,5%,10%,15%の4段階で調整できる。複数の抵抗は、同じ半導体層を使った抵抗のため、比率は正確に制御できる。
【0039】
【実施例3】
実施例2の変形例であり、電流により抵抗短絡線を焼き切ることのできるようにした例を、図5に示す。図中、14a,14b,14cは、アルミ配線の一部に形成された、配線焼き切り用のプローブ針接触用パッドである。
【0040】
抵抗短絡線13a,13b,13cの部分は、段差などを設けて、膜厚が薄くなる部分121を設け、電力を集中させるようにする。プローブ検査時に、配線焼き切り用ボンディングパッド14a〜14cと、発光電流用ボンディングパッド30とにプローブ針200を接触させ、大電流を流し、所望の抵抗短絡線を焼き切る。
【0041】
【実施例4】
実施例3では、複数個の抵抗を直列に配置した。本実施例では、複数個の抵抗を並列に配置した場合の例を示す。図6では、3個の抵抗10d,10e,10fを形成している。
【0042】
アルミ配線は、40a,40bに分けられており、抵抗10d,10e,10fの一方の電極11aはアルミ配線40aに接続部15d,15e,15fを経て接続され、抵抗10d,10e,10fの他方の電極11bはアルミ配線40bに接続される。したがって、抵抗10d,10e,10fは、アルミ配線40a,40b間に並列に挿入されている。
【0043】
この構成では、抵抗の値が図4の場合よりも大きいものが使える。配線15d,15e,15fを、選択的にレーザで焼き切る。図5で説明したと同様に、電流で焼き切ってもよい。焼き切られた配線に接続されている抵抗は、並列配置から除かれることになる。
【0044】
【実施例5】
図7は、抵抗10dの一方の電極11aを、ボンディングパッド30に接続し、抵抗10eの一方の電極11aを、ボンディングパッド30eに接続し、抵抗10fの一方の電極11aを、ボンディングパッド30fに接続し、抵抗10d,10e,10fの他方の電極11bをアルミ配線40に接続した例を示す。
【0045】
このような構成によれば、組立時に、ボンディングパッド30,30e,30fのいずれを、電流供給用ボンディングパッドとして選ぶかによって、抵抗10d,10e,10fのいずれか1個を選択することができる。これにより供給される発光電流の値を調整することができる。
【0046】
なお、この構造によれば、抵抗が同一プロセスで形成されるため、高精度な抵抗比が得られる。
【0047】
【実施例6】
図8は、抵抗を発光素子と共通の半導体層以外で形成した例である。ボンディングパッド30とアルミ配線40との間に、Cr−SiOで4個の抵抗60a,60b,60c,60dを形成した。これらの抵抗は、幅を同じとし、長さを1:2:4:8とすることで、16段階の調整が可能となった。抵抗調整は、不要な抵抗をレーザで焼き切ることにより行う。抵抗材料は、このほか、サーメット類(Cr−SiO,Au−SiOなど)、金属薄膜(Au,Pt,W,Cr,Ni,NiCrなど)、アモルファス半導体(a−Si,a−Geなど)、ポリシリコンなどでもよい。また、電流によって焼き切ってもよい。
【0048】
以上の各実施例では、配線を切断することによって調整を行っているが、逆に、配線を接続することで調整してもよい。このような接続は、導電性インクによる描画、レーザなどの直接描画によるフォトリソ工程、CVDによる選択的金属膜成長によって行う。
【0049】
【発明の効果】
本発明の発光素子アレイによれば、調整すべき抵抗の数は、1チップあたり1個程度であるため、チップ毎の調整も現実的な労力で実現可能である。また、チップ切断前のウェファの状態で処理することで、一括処理が可能となり、実質的にランク分けなしで特性のそろったチップを得られる。
【0050】
さらに、予め内蔵抵抗による調整を行ったチップを光書込みヘッドに搭載することにより、光量補正の幅を小さくできるため、補正のための回路が簡単となり、高速化、コストダウンを図れる。
【図面の簡単な説明】
【図1】自己走査型発光素子アレイの等価回路図を示す図である。
【図2】実施例1の自己走査型発光素子アレイ・チップの構造を示す図である。
【図3】図1のチップにおいて、抵抗短絡部を焼き切った状態を示す図である。
【図4】実施例2の自己走査型発光素子アレイ・チップの構造を示す図である。
【図5】実施例3の自己走査型発光素子アレイ・チップの構造を示す図である。
【図6】実施例4の自己走査型発光素子アレイ・チップの構造を示す図である。
【図7】実施例5の自己走査型発光素子アレイ・チップの構造を示す図である。
【図8】実施例6の自己走査型発光素子アレイ・チップの構造を示す図である。
【符号の説明】
10 チップ内蔵抵抗
11a,11b 電極
13a,13b,13c 抵抗短絡線
20 発光素子
30,30e,30f ボンディングパッド
40 アルミ配線
60a,60b,60c,60d 抵抗
100 第1の半導体層
101 第2の半導体層
102 第3の半導体層
103 第4の半導体層
110 絶縁膜
130 基板
Claims (13)
- pnpn構造の複数の発光素子よりなるアレイを有し、発光点を順次自己走査する機能を有する発光素子アレイ・チップであって、前記複数の発光素子よりなるアレイに発光電流を供給するラインに、1個以上の抵抗を挿入し、前記発光電流の値を前記抵抗の値により調整する発光素子アレイ・チップにおいて、
前記1個以上の抵抗は、前記発光電流供給ラインの一部分を構成する短絡線により短絡されており、前記1個以上の抵抗を前記発光電流供給ラインに挿入する場合には、挿入したい抵抗に対する前記短絡線を切断することにより行うことを特徴とする発光素子アレイ・チップ。 - pnpn構造の複数の発光素子よりなるアレイを有し、発光点を順次自己走査する機能を有する発光素子アレイ・チップであって、前記複数の発光素子よりなるアレイに発光電流を供給するラインに、1個以上の抵抗を挿入し、前記発光電流の値を前記抵抗の値により調整する発光素子アレイ・チップにおいて、
前記1個以上の抵抗は、前記発光電流供給ラインの一部分を構成する接続線により接続されて、前記発光電流供給ラインに挿入されており、前記発光電流供給ラインの挿入から除きたい場合には、除きたい抵抗に対する前記接続線を切断することにより行うことを特徴とする発光素子アレイ・チップ。 - pnpn構造の複数の発光素子よりなるアレイを有し、発光点を順次自己走査する機能を有する発光素子アレイ・チップであって、前記複数の発光素子よりなるアレイに発光電流を供給するラインに、1個以上の抵抗を挿入し、前記発光電流の値を前記抵抗の値により調整する発光素子アレイ・チップにおいて、
2個以上の抵抗が並列に接続されて、前記発光電流供給ラインに挿入されている場合に、前記抵抗を焼き切ることによって除くことを特徴とする発光素子アレイ・チップ。 - 前記切断は、レーザ光を照射して焼き切ることを特徴とする請求項1または2に記載の発光素子アレイ・チップ。
- 前記切断は、電流を流して焼き切ることを特徴とする請求項1または2に記載の発光素子アレイ・チップ。
- 前記切断は、エッチングにより行うことを特徴とする請求項1または2に記載の発光素子アレイ・チップ。
- 請求項1〜6のいずれかに記載の発光素子アレイ・チップを備えた光書込みヘッド。
- pnpn構造の複数の発光素子よりなるアレイを有し、発光点を順次自己走査する機能を有する発光素子アレイ・チップにおける光量補正方法であって、前記複数の発光素子よりなるアレイに発光電流を供給するラインに、1個以上の抵抗を挿入し、前記発光電流の値を前記抵抗の値により調整して光量を補正する発光素子アレイ・チップの光量補正方法において、
前記1個以上の抵抗は、前記発光電流供給ラインの一部分を構成する短絡線により短絡されており、前記1個以上の抵抗を前記発光電流供給ラインに挿入する場合には、挿入したい抵抗に対する前記短絡線を切断することにより行うことを特徴とする発光素子アレイ・チップの光量補正方法。 - pnpn構造の複数の発光素子よりなるアレイを有し、発光点を順次自己走査する機能を有する発光素子アレイ・チップにおける光量補正方法であって、前記複数の発光素子よりなるアレイに発光電流を供給するラインに、1個以上の抵抗を挿入し、前記発光電流の値を前記抵抗の値により調整して光量を補正する発光素子アレイ・チップの光量補正方法において、
前記1個以上の抵抗は、前記発光電流供給ラインの一部分を構成する接続線により接続されて、前記発光電流供給ラインに挿入されており、前記発光電流供給ラインの挿入から除きたい場合には、除きたい抵抗に対する前記接続線を切断することにより行うことを特徴とする発光素子アレイ・チップの光量補正方法。 - pnpn構造の複数の発光素子よりなるアレイを有し、発光点を順次自己走査する機能を有する発光素子アレイ・チップにおける光量補正方法であって、前記複数の発光素子よりなるアレイに発光電流を供給するラインに、1個以上の抵抗を挿入し、前記発光電流の値を前記抵抗の値により調整して光量を補正する発光素子アレイ・チップの光量補正方法において、
2個以上の抵抗が並列に接続されて、前記発光電流供給ラインに挿入されている場合に、前記抵抗を切断することによって除くことを特徴とする発光素子アレイ・チップの光量補正方法。 - 前記切断は、レーザ光を照射して焼き切ることを特徴とする請求項8,9または10に記載の発光素子アレイ・チップの光量補正方法。
- 前記切断は、電流を流して焼き切ることを特徴とする請求項8,9または10に記載の発光素子アレイ・チップの光量補正方法。
- 前記切断は、エッチングにより行うことを特徴とする請求項8,9または10に記載の発光素子アレイ・チップの光量補正方法。
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