JP3702632B2 - 圧電デバイス - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は圧電デバイスに係り、特に、ケース体の外面上に外部端子を有する表面実装型の水晶振動子又は水晶発振器に好適な内部構造に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、圧電振動片をパッケージに内蔵した種々の圧電デバイスが市販されているが、このような圧電デバイスは種々の電子機器に盛んに用いられている。特に通信分野や電算機分野においては圧電デバイスは必須の構成部品であり、水晶振動子、水晶発振器などはあらゆる電子機器に内蔵されている。
【0003】
近年、ハードディスクドライブ装置、モバイルコンピュータ、ICカードなどの小型の情報機器、或いは、携帯電話、自動車電話、ページングシステムなどの移動体通信機器においては、装置の小型化、薄型化の伸展が目覚ましく、それらに用いられる圧電振動子、圧電発振器、SAW(弾性表面波)デバイスなどの各種圧電デバイスにも、配線回路基板上に両面実装が可能な表面実装タイプのデバイスが要求されるようになってきている。
【0004】
図8には、上記の圧電デバイスの一例として、水晶振動子又は水晶発振器を構成する水晶デバイスの概略構造を示す。このデバイスは、図3に示すようにセラミックス製の絶縁ベース11と、同素材からなる絶縁枠12,13とからなる3層構造のケース本体と、絶縁枠13の上部に接合される蓋板14とを備えたケース体10を備えている。図8(a)には、このケース本体部の平面図を、図8((b)にはケース本体部の内部に収容される水晶振動片15の平面図を示す。このケース本体部は、絶縁ベース11、絶縁枠12,13をそれぞれセラミックス粉末に添加剤を加えて練り上げた軟質の未硬化シート(グリーンシート)の状態でそれぞれ加工し、それらの表面上にW(タングステン)を含む導電性ペーストを印刷成形してメタライズ層6を所定のパターンで形成した後、相互に積層して焼成することにより構成される。図3に示す形状のケース本体部が成形された後、ケース本体部の外面部及び内面部に露出した上記メタライズ層6の上にNiとAuのメッキ層7を順次積層して、接続配線、内部端子部及び外部端子などを所定のパターンで形成する。
【0005】
絶縁枠12の内部空間は、絶縁枠13の内部空間よりも一回り小さく形成されており、絶縁枠12の上面には所定パターンのメタライズ層6が形成され、この絶縁枠12を絶縁ベース11や絶縁枠13と積層させた後に、露出したメタライズ層の表面上に電解めっきによりメッキ層7を形成することによって、図示斜線で示す配線パターン18,19を形成する。これらの配線パターン18,19のうち、図示左側には一対の内部端子部18a,19aが肉厚に形成され、これらの内部端子部18a,19aから接続配線18b,19bが伸びて、絶縁枠12の図示右上と左下の二ヶ所の円筒内面状の角部表面上に形成された露出部18c,19cを経て、絶縁ベース11の底面上に形成された対角位置の二つの外部端子18d,18fに導電接続されている。
【0006】
図8(b)に示す水晶振動片15は平面視矩形の板形状に形成され、その表面側(図示手前側)には表面電極16がCr及びAgの蒸着などにより形成され、その裏面上には裏面電極17(図示点線で示す)が同様に形成されている。表面電極16は水晶振動片15の表面上から図示左端部にて裏面側に回り込み、裏面上に形成された接続部16aに接続され、裏面電極17はそのまま図示左端部に伸びて裏面上に形成された接続部17aに接続されている。図8(b)に示す水晶振動片15は、そのままの姿勢で図8(a)の一点鎖線で示す位置に配置され、上記接続部16a,17aが内部端子部18a,19aに接合され、図示左端部において片持ち梁状に固定される。
【0007】
なお、図3及び図8においてスルーホール12bは絶縁ベース11の底面上に形成された外部端子18e及び18gと絶縁枠13の上面部に形成されたメタライズ層6及びメッキ層7からなる導電層とを導通させるための導通孔であり、内部に導電性ペーストなどからなる導通体5が充填される。導通体5によって外部端子18e,18gに導電接続された絶縁枠13上の導電層は蓋板14に接続される。蓋板14はFe−Ni−Co合金(コバール)などにより形成されている。したがって、蓋板14は絶縁ベース11の底面上の外部端子18e,18gに導通される。
【0008】
この水晶振動子においては、水晶振動片15の表面電極16は内部端子部18aに接続され、内部端子部18aは接続配線18bを介し、露出部18cを経て絶縁ベース11の底面上の外部端子18fに導電接続されている。また、水晶振動片15の裏面電極17は内部端子部19aに接続され、接続配線19b及び露出部19cを経て絶縁ベース11の底面上の外部端子18dに導電接続されている。
【0009】
上記の水晶振動子は絶縁ベース上に2つの絶縁枠12,13を積層し、さらに蓋板14を接合してなるものであるが、絶縁枠12の代わりに絶縁ベース上に内部端子部や接続配線などをパターン印刷し、この絶縁ベース上に箱型の蓋体を被せるようにして構成されるものもある。さらに、上記のケース体の内部に集積回路チップを収容し、水晶発振器として構成されるものもある。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記の水晶振動子のような圧電デバイスにおいては、性能を確保しながらさらに小型化を進めようとすると、圧電体の寸法を余り変えずにケース体をさらに小型化する必要がある。しかし、図8に示すように、水晶振動片15の寸法を変えずにケース体を小さくしようとすると、接続配線18bがケース体を構成する絶縁ベース11や絶縁枠12の接合部に重なり、接続配線18bによる凹凸形状によってケース体の封止不良が発生する危険性があるとともに、上記の接合部内に接続配線18bを形成しようとすると、メタライズ層6のみで導電接続することとなるため、接続抵抗が増大してしまうという問題点が考えられる。
【0011】
また、ケース体を小型化しても長い接続配線18bが接合部に重ならないように形成するには図5(a)に示すように接続配線18bを水晶振動片15の下方に近づけることが考えられるが、この場合には、表面電極16に接続された接続配線18bが裏面電極17に対向配置され、図5(b)に示すように接続配線18bと裏面電極17との間に静電容量Csが発生する。この静電容量Csは、水晶振動片15が外乱などによって機械的に振動すると、接続配線18bと裏面電極17との距離が変化することによって容量値が変動するため、これが水晶振動片15の振動周波数に影響するという問題点が考えられる。
【0012】
さらに、外部端子18fに近い水晶振動片15の端部に内部端子部を設けることによって接続配線18bを形成せずに外部端子18fに導電接続させることも考えられるが、この場合には水晶振動片15を片持ちではなく両持ち状態で支持することとなるため、水晶振動片15を拘束してその振動に影響を与えやすくなり、図6に示すように片持ち状態の水晶振動片Aに較べて両持ち状態の水晶振動片Bは温度に対する周波数変化Δfが大きいことから、水晶振動子若しくは水晶発振器の温度特性が悪化する。
【0013】
そして、内部端子部18aを最も近接した外部端子18gに接続するという方法も考えられるが、この場合には、短い間隔で形成された外部端子18dと18gとが逆極性の端子となるために短絡する危険性が高く、実装時に問題が生ずる可能性が高くなる。
【0014】
そこで本発明は上記問題点を解決するものであり、その課題は、ケース体を小型化しても封止不良や配線抵抗の増大或いは内部の圧電体の動作特性に影響を与えない新規の圧電デバイスを提供することにある。
【0015】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために本発明が講じた手段は、一表面に表面電極が形成され、前記表面の裏面に、接続部を備えた裏面電極が形成された圧電体と、前記接続部を介して導電接続した接続配線が内面上に形成されたケース体と、を有する圧電デバイスであって、前記接続部を除いた前記裏面電極と少なくとも一部分が対向している電極は、前記接続配線のみである、圧電デバイスである。
【0016】
この手段によれば、圧電体の一側と、他側の外部端子とを導電接続する接続配線を、圧電体に形成された表面電極及び裏面電極のうち当該接続配線とほぼ同電位に保たれる電極に対向する場所を通過するように構成したので、ケース体を小型化して接続配線と圧電体との間隔を狭めても、接続配線と電極との間の静電容量を低減し、その圧電体の作用への影響を低減することができるので、圧電体の動作特性の劣化を防止することができ、また、ケース体を小型化してもケース体の封止不良や配線抵抗の増大を回避することもできる。
【0017】
なお、圧電体としては種々の圧電体を用いることができるが、圧電デバイスとしては、圧電体の特性を利用した種々のデバイスがあり、特に、圧電振動子や圧電発振器などに上記手段を適用することにより、接続配線と電極との間の静電容量が両者の距離によって変化することに起因する発振周波数の変動を抑制することができる。また、一側と他側とは相互に反対の側を言う。例えば、一側が右側であれば他側は左側である。さらに、圧電体の表面電極及び裏面電極は、直接に外部端子に導電接続されない場合もあり、たとえば、圧電発振器においては、圧電体は発振回路に接続され、発振回路の一部が上記外部端子に接続されることとなる。この場合、圧電体に形成された電極から発振回路までの接続配線と、発振回路から外部端子までの接続配線のうちの少なくとも一方が、圧電体の当該電極と対向する場所を通過している場合も本発明に含まれる。
【0018】
ここで、前記ケース体は、外面上に一対の外部端子が形成されているとともに、内面上に、前記表面電極及び前記裏面電極に導電接続するための一対の内部端子部、並びに、該内部端子部を直接若しくは間接的に一対の前記外部端子に導電接続させるための一対の前記接続配線が形成された絶縁部材と、該絶縁部材の内面上に片持ち支持された前記圧電体を収容し封止する封鎖部材とを備えていることが好ましい。
【0019】
この手段によれば、絶縁部材の表面上に内部端子部及び接続配線が形成されていることにより、構造が簡単になり小型化も容易であるとともに、製造コストも低減できる。
【0020】
この場合にはさらに、前記絶縁部材は絶縁ベース若しくは該絶縁ベース上に接合された絶縁枠であり、前記封鎖部材は、前記絶縁部材上に順次接合された絶縁枠及び該絶縁枠を封鎖する蓋板、又は、前記絶縁部材上に接合された絶縁蓋体である場合がある。
【0021】
上記手段においては、前記圧電体は水晶振動片であり、水晶振動子若しくは水晶発振器を構成する圧電デバイスであることが望ましく、この場合には、封止不良、配線抵抗の増大を回避しながら小型化が可能であり、しかも水晶振動片に起因する振動周波数の変動を低減することができる。
【0022】
【発明の実施の形態】
次に、添付図面を参照して本発明に係る実施形態について説明する。図1は本実施形態の圧電デバイスである水晶振動子の長手方向の断面を示す縦断面図、図2は本実施形態のケース本体部の平面図、図3は本実施形態のケース体の構造を示す概略斜視図である。なお、図1及び図3は上記従来例とほぼ共通の構造部分を図面化しており、その説明は省略する。
【0023】
この実施形態では、図2(b)に示すように、水晶振動片25の表面上に形成された表面電極26が図2(a)に示す内部端子部19aに接続される接続部26aを備え、水晶振動片25の裏面上に形成された裏面電極27が図2(a)に示す内部端子部18aに接続される接続部27aを備えている点で従来例と異なる。したがって、表面電極26は内部端子部19a、接続配線19b、露出部19cを経て外部端子18dに導電接続され、裏面電極27は内部端子部18a、接続配線18b、露出部18cを経て外部端子18fに導電接続されている。
【0024】
この実施形態では、全体を小型化するために、図8(a)に示すケース本体部よりも図示上下幅の小さいケース本体部を採用しているため、接続配線18bが水晶振動片25に極めて近い場所を通過し、図5(a)に示すように、裏面電極27と接続配線18bとが斜めではあるが対向している。しかしながら、本実施形態では、裏面電極27は内部端子部18aを介して接続配線18bに導電接続されているので、裏面電極27と接続配線18bとは殆ど同電位となっているから、図5(b)に点線で示す静電容量Csを持たず、外部から受ける振動や加速度によって水晶振動片25とケース本体部(絶縁枠12)との距離が変動しても、周波数変化は殆ど生じない。
【0025】
なお、図5(b)は水晶振動片25、表面電極26、裏面電極27、接続配線18b,19b、外部端子18d,18fを含む水晶振動子を、抵抗R1,R2、反転回路I及び静電容量Cg,Cdを含む等価回路に接続して発振器を構成する発振回路を示すものである。この場合、上記実施形態のケース体の内部に当該発振回路を構成するようにケース体内部に集積回路を内蔵してもよい。この場合には、水晶振動片25の裏面電極27に対向する接続配線としては、水晶振動子から集積回路までの接続配線であっても、或いは、集積回路に接続された後、集積回路の端子S,Pのうち端子Pから引き出された接続配線、その他の裏面電極とほぼ導電位が保たれる他の配線であってもよく、要は、裏面電極27とほぼ同電位に保たれる接続配線であれば、静電容量が低減されるため、上記の効果が得られる。
【0026】
図7(a)は、水晶振動子を電子機器内に取り付けた状態で図8に示す従来構造にて本実施形態と同様のケース寸法に設計した場合(以下、単に従来構造という。)における周波数変化率の頻度を経時的に200サンプル測定したデータ、図7(b)は、図2に示す本実施形態の構造における周波数変化率の頻度を経時的に200サンプル測定したデータを示す。
【0027】
これらのデータに示すように、従来構造においては、特に外部から振動や加速度を加えなくても身体に感じない程度の外乱により水晶振動片15が振動し、図8(a)に示すように周波数変化率が−15〜+35ppmの範囲において周波数の変化が観測され、特に周波数変化率が−10〜+10ppmの範囲内で発生頻度が高くなっている。これに対して、本実施形態においては、周波数変化率が−2〜+2ppmの範囲内に全て収まっており、きわめて良好な周波数の安定性が得られている。
【0028】
なお、上記実施形態では、絶縁ベース11の上に2つの絶縁枠12,13を積層しているが、絶縁ベース上に単一の絶縁枠のみを接合し、その上部開口を直ちに蓋板で封止した構造のケース体であってもよい。また、上記実施形態では、水晶振動片のみを備えた水晶振動子としているが、図1に一点鎖線で示すように、水晶振動片に接続された集積回路チップ20を内蔵させ、水晶発振器を構成してもよい。ただし、この場合には、4つの外部端子18d,18e,18f,18gは、制御端子、供給電位端子、接地電位端子(供給電位端子)及び出力端子となる。
【0029】
図4には、セラミックスなどからなる絶縁ベース31上に、セラミックスなどからなる皿状の絶縁蓋体32(図示二点鎖線で絶縁ベース31に対する接合面を示す。)を被せるようにして接合し、絶縁ベース31と絶縁蓋体32によって水晶振動片35を収容した別の水晶振動子の実施形態を示す。この実施形態においては、絶縁ベース31の底面上の長手方向の両端部にメッキ層などにより一対の外部端子31a,31bが形成されている。そして、絶縁ベース31の内面上には、外部端子31aに対して接続配線34b及び露出部34cを介して導電接続された内部端子部34aと、外部端子31bに対して接続配線33b及び露出部33cを介して導電接続された内部端子部33aとが形成されている。
【0030】
内部に収容される水晶振動片35の表面上には表面電極36が形成され、表面電極36は水晶振動片35の一端部の裏面上に接続部36aを備え、水晶振動片35の裏面上には裏面電極37が形成され、裏面電極37は水晶振動片35の一端部の裏面上に接続部37aを備えている。そして、接続部36aは上記内部端子部34aに接合され、接続部37aは上記内部端子33aに接合される。
【0031】
この実施形態においても、水晶振動片35の裏面電極37と接続配線33bとが対向するが、両者は相互に導電接続されていてほぼ同電位であるため、両者間に静電容量は発生せず、水晶振動片35の変位や変形による周波数変動が低減される。
【0032】
以上説明した各実施形態では、水晶振動片を用いた水晶振動子或いは水晶発振器として構成した例を示したが、同様の構成により、他の素材を用いた圧電デバイスに適用させることができる。このような圧電デバイスの例としては、水晶以外の圧電体を用いた圧電振動子、圧電発振器の他に、圧電センサ、圧電アクチュエータ、SAWデバイスなどが考えられる。
【0033】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、圧電体の一側と、他側の外部端子とを導電接続する接続配線を、圧電体に形成された表面電極及び裏面電極のうち当該接続配線とほぼ同電位に保たれる電極に対向する場所を通過するように構成したので、ケース体を小型化して接続配線と圧電体との間隔を狭めても、接続配線と電極との間の静電容量を低減してその圧電体の作用への影響を低減することができるので、圧電体の動作特性の劣化を防止することができ、また、ケース体を小型化してもケース体の封止不良や配線抵抗の増大を回避することもできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る圧電デバイスの実施形態としての水晶振動子の長手方向の断面を示す縦断面図である。
【図2】同実施形態のケース本体部の平面図(a)及び水晶振動片の平面図(b)である。
【図3】同実施形態のケース体の構造を示す概略斜視図である。
【図4】本発明に係る圧電デバイスの別の実施形態としての水晶振動子における絶縁ベースの平面図(a)及び水晶振動片の平面図(b)である。
【図5】同実施形態における長手方向と直交する方向の断面を示す縦断面図(a)及び同実施形態の水晶振動子を用いた発振回路の回路図(b)である。
【図6】水晶振動子において水晶振動片を片持ちに支持したときの温度に対する周波数変化(a)及び水晶振動片を両持ちに支持したときの温度に対する周波数変化((b)を示すグラフである。
【図7】従来構造の水晶振動子における周波数変化率の頻度を示すグラフ(a)及び実施形態の水晶振動子における周波数変化率の頻度を示すグラフ(b)である。
【図8】従来構造の水晶振動子のケース本体部の平面図(a)及び水晶振動片の平面図(b)である。
【符号の説明】
10 ケース体
11,31 絶縁ベース
12,13 絶縁枠
14 蓋板
15,25,35 水晶振動片
16,26,36 表面電極
17,27,37 裏面電極
18a,19a,33a,34a 内部端子部
18d,18e,18f,18g 外部端子
18b,19b,33b,34b 接続配線
20 集積回路チップ
32 絶縁蓋体
Claims (4)
- 一表面に表面電極が形成され、前記表面の裏面に、接続部を備えた裏面電極が形成された圧電体と、
前記接続部を介して導電接続した接続配線が内面上に形成されたケース体と、
を有する圧電デバイスであって、
前記接続部を除いた前記裏面電極と少なくとも一部分が対向している電極は、前記接続配線のみである、圧電デバイス。 - 請求項1において、前記ケース体は、外面上に一対の外部端子が形成されているとともに、内面上に、前記表面電極及び前記裏面電極に導電接続するための一対の内部端子部、並びに、該内部端子部を直接若しくは間接的に一対の前記外部端子に導電接続させるための一対の前記接続配線が形成された絶縁部材と、該絶縁部材の内面上に片持ち支持された前記圧電体を収容し封止する封鎖部材とを備えている圧電デバイス。
- 請求項2において、前記絶縁部材は絶縁ベース若しくは該絶縁ベース上に接合された絶縁枠であり、前記封鎖部材は、前記絶縁部材上に順次接合された絶縁枠及び蓋板、又は、前記絶縁部材上に接合された絶縁蓋体である圧電デバイス。
- 請求項1から請求項3までのいずれか1項において、前記圧電体は水晶振動片であり、水晶振動子若しくは水晶発振器を構成する圧電デバイス
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