JP3691693B2 - セラミック膜を作製する方法 - Google Patents
セラミック膜を作製する方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3691693B2 JP3691693B2 JP23667899A JP23667899A JP3691693B2 JP 3691693 B2 JP3691693 B2 JP 3691693B2 JP 23667899 A JP23667899 A JP 23667899A JP 23667899 A JP23667899 A JP 23667899A JP 3691693 B2 JP3691693 B2 JP 3691693B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- precursor
- coating
- substrate
- oxygen
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000012528 membrane Substances 0.000 title claims description 38
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims description 30
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 13
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 59
- 239000002243 precursor Substances 0.000 claims description 56
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 49
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 34
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 30
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 30
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 28
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 24
- 239000000725 suspension Substances 0.000 claims description 19
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 claims description 17
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 16
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 10
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 8
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 claims description 7
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 5
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 5
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 55
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 54
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 53
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 49
- 239000010408 film Substances 0.000 description 42
- 230000037427 ion transport Effects 0.000 description 24
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 22
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 20
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 description 14
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 13
- 239000012705 liquid precursor Substances 0.000 description 12
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N citric acid Chemical compound OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 9
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 9
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 9
- 230000008569 process Effects 0.000 description 9
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 9
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 7
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 7
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 7
- DHMQDGOQFOQNFH-UHFFFAOYSA-N Glycine Chemical compound NCC(O)=O DHMQDGOQFOQNFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- -1 oxygen ions Chemical class 0.000 description 6
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 6
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 5
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 5
- 229910001233 yttria-stabilized zirconia Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 4
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 4
- 239000000084 colloidal system Substances 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 4
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 4
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 4
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 4
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 4
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004471 Glycine Substances 0.000 description 3
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 3
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000006194 liquid suspension Substances 0.000 description 3
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 3
- 239000011533 mixed conductor Substances 0.000 description 3
- 239000002159 nanocrystal Substances 0.000 description 3
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 3
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 3
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 2
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 2
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 229910052747 lanthanoid Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002602 lanthanoids Chemical class 0.000 description 2
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 239000000700 radioactive tracer Substances 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000007784 solid electrolyte Substances 0.000 description 2
- 238000009987 spinning Methods 0.000 description 2
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 2
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 108091006671 Ion Transporter Proteins 0.000 description 1
- 102000037862 Ion Transporter Human genes 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000047703 Nonion Species 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002518 antifoaming agent Substances 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000000498 ball milling Methods 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001354 calcination Methods 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 1
- 238000005119 centrifugation Methods 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- QDOXWKRWXJOMAK-UHFFFAOYSA-N dichromium trioxide Chemical compound O=[Cr]O[Cr]=O QDOXWKRWXJOMAK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 238000009472 formulation Methods 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 1
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 1
- 125000002524 organometallic group Chemical group 0.000 description 1
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000007750 plasma spraying Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 238000013341 scale-up Methods 0.000 description 1
- 238000007569 slipcasting Methods 0.000 description 1
- 238000009718 spray deposition Methods 0.000 description 1
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 1
- CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N strontium atom Chemical compound [Sr] CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007751 thermal spraying Methods 0.000 description 1
- 231100000331 toxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000002588 toxic effect Effects 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D71/00—Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by the material; Manufacturing processes specially adapted therefor
- B01D71/02—Inorganic material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B13/00—Oxygen; Ozone; Oxides or hydroxides in general
- C01B13/02—Preparation of oxygen
- C01B13/0229—Purification or separation processes
- C01B13/0248—Physical processing only
- C01B13/0251—Physical processing only by making use of membranes
- C01B13/0255—Physical processing only by making use of membranes characterised by the type of membrane
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/22—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by diffusion
- B01D53/228—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by diffusion characterised by specific membranes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D67/00—Processes specially adapted for manufacturing semi-permeable membranes for separation processes or apparatus
- B01D67/0039—Inorganic membrane manufacture
- B01D67/0041—Inorganic membrane manufacture by agglomeration of particles in the dry state
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D67/00—Processes specially adapted for manufacturing semi-permeable membranes for separation processes or apparatus
- B01D67/0039—Inorganic membrane manufacture
- B01D67/0041—Inorganic membrane manufacture by agglomeration of particles in the dry state
- B01D67/00411—Inorganic membrane manufacture by agglomeration of particles in the dry state by sintering
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D67/00—Processes specially adapted for manufacturing semi-permeable membranes for separation processes or apparatus
- B01D67/0039—Inorganic membrane manufacture
- B01D67/0046—Inorganic membrane manufacture by slurry techniques, e.g. die or slip-casting
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D69/00—Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by their form, structure or properties; Manufacturing processes specially adapted therefor
- B01D69/12—Composite membranes; Ultra-thin membranes
- B01D69/1213—Laminated layers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D71/00—Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by the material; Manufacturing processes specially adapted therefor
- B01D71/02—Inorganic material
- B01D71/022—Metals
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D71/00—Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by the material; Manufacturing processes specially adapted therefor
- B01D71/02—Inorganic material
- B01D71/024—Oxides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/26—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on ferrites
- C04B35/2608—Compositions containing one or more ferrites of the group comprising manganese, zinc, nickel, copper or cobalt and one or more ferrites of the group comprising rare earth metals, alkali metals, alkaline earth metals or lead
- C04B35/2633—Compositions containing one or more ferrites of the group comprising manganese, zinc, nickel, copper or cobalt and one or more ferrites of the group comprising rare earth metals, alkali metals, alkaline earth metals or lead containing barium, strontium or calcium
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
- C04B35/62605—Treating the starting powders individually or as mixtures
- C04B35/62625—Wet mixtures
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
- C04B35/63—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B using additives specially adapted for forming the products, e.g.. binder binders
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
- C04B41/50—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2323/00—Details relating to membrane preparation
- B01D2323/08—Specific temperatures applied
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2323/00—Details relating to membrane preparation
- B01D2323/08—Specific temperatures applied
- B01D2323/081—Heating
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2323/00—Details relating to membrane preparation
- B01D2323/12—Specific ratios of components used
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2210/00—Purification or separation of specific gases
- C01B2210/0043—Impurity removed
- C01B2210/0046—Nitrogen
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/44—Metal salt constituents or additives chosen for the nature of the anions, e.g. hydrides or acetylacetonate
- C04B2235/443—Nitrates or nitrites
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/50—Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
- C04B2235/54—Particle size related information
- C04B2235/5418—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof
- C04B2235/5436—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof micrometer sized, i.e. from 1 to 100 micron
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/50—Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
- C04B2235/54—Particle size related information
- C04B2235/5418—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof
- C04B2235/5445—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof submicron sized, i.e. from 0,1 to 1 micron
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/74—Physical characteristics
- C04B2235/77—Density
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、セラミック膜の製造に関するものであり、特には多孔質基材上への薄いイオン輸送膜の付着技術に関する。（本発明は、米国政府の援助で、the National Institute of Standards Technologyにより認定された協力契約第７０NANB５H１０６５の下でなされた。米国政府は、本発明においてある種の権利を有している。）
【０００２】
【従来の技術】
イオン輸送膜としても呼ばれる、固体電解質は、酸素を含有する気体混合物から酸素を分離するのに使用される。混合伝導体は、酸素イオンと電子の両方を伝導する材料でありそしてそれらは膜の両側での、酸素分圧とも呼ばれる酸素活量の差により圧力推進方式で作動されうるから酸素分離のために好適であるように思われる。Ｌａ1-xＳｒxＣｏＯ3-y，ＬａxＳｒ1-xＦｅＯ3-y及びＬａxＳｒ1-xＦｅ1-yＣｏyＯ3-zのようなペロブスカイトが混合伝導体の例である。昇温下において、これら材料は、材料を通しての酸素イオンの輸送のための伝導場を提供する可動の酸素イオン空孔を含有する。これら材料は、酸素イオンを選択的に輸送し、従って酸素に対して無限の選択度を有する膜として機能しうる。
【０００３】
理想的な酸素流束が厚さに逆比例するから、薄い電解質膜が、非常に所望される。即ち、薄い膜ほど、一層高い酸素流束、面積の減少、一層低い作動温度、及び電解質を横切っての一層小さな酸素圧力差をもたらすことができる。
【０００４】
比較的厚い多孔質混合伝導性支持体上に高密度の混合伝導性酸化物を付着することにより形成された固態気体分離膜が、Journal Ceram.Soc.Japan,International Ed,Vol.97,No.5(1989)に開示されるように、寺岡等により研究された。この比較的厚い多孔質混合伝導性支持体は、薄い、比較的脆い、高密度の混合伝導性層に対する機械的安定性を提供する。Ｌａ0.6Ｓｒ0.4ＣｏＯ3薄膜が同じ材料の多孔質支持体上にラジオ周波数スパッタリング技術及び液体懸濁液スプレイ付着方法により付着された。スパッリング法により付着された薄膜はクラックを含みそして多孔質である。液体懸濁液スプレイと続いての１４００℃での焼結により作製された薄膜（約１５μｍ厚さ）は、高密度でそしてクラックを含まない。
【０００５】
寺岡及び共同研究者は、酸素流束が高密度ディスクに比較して複合薄膜に対して１０倍増大すると予想した。しかしながら、彼らは２倍未満の増加を得ただけであった。
【０００６】
Pal等は、「Electrochemical Vapor Deposition of Yttria Stabilized Zirconia Films」と題する論文において、ＥＶＤプロセスを開示し、ここではイットリア安定化ジルコニア（ＹＳＺ）が多孔質基材上に付着される。ＥＶＤは、多孔質基材上に薄い、気体不浸透性の金属酸化物薄膜を成長せしめるのに化学的ポテンシャル勾配を利用する従来からの化学的蒸着（ＣＶＤ）プロセスの改良例である。ＥＶＤプロセスは、多孔質基材の一方側において金属ハロゲン化物の混合物をそして反対側に水素及び水の混合物を接触することと関与する。試剤は基材の孔内に拡散しそして反応して多成分金属酸化物を形成して、これが孔壁に付着される。継続しての付着は、孔を狭め、最終的に孔は多成分金属酸化物で閉塞されるようになる。今日までＥＶＤの主たる適用例は、固態電解質ＹＳＺ、並びに固態酸化物燃料電池（ＳＯＦＣ）において使用されるようなインターコネクタ材料ランタン・クロム酸化物であった。
【０００７】
米国特許第５，２４０，４８０号において、Richards等は、無機膜として使用のための多成分金属酸化物の薄膜を調製するための有機金属化学蒸着（ＯＭＣＶＤ）方法を開示した。この無機質の膜は、それぞれの金属各々に相当する有機金属錯体及び酸化剤を多孔質基材上に薄い膜を付着するに十分の条件の下で反応せしめることにより形成される。ＥＶＤ及びＯＭＣＶＤプロセスの両方は、効果でそして複雑な設備を使用しそして毒性でありしかも高価な先駆物質を使用することが多い。更に、多成分金属酸化物（例えば混合伝導性ペロブスカイト）に対しては、酸化物膜の化学量論のコントロールがこれらプロセスに対しては困難である。
【０００８】
米国特許第５，２４０，４８０号において、Ｔｈｏｒｏｇｏｏｄ等は、昇温下で酸素含有気体混合物から酸素を分離することのできる多層複合固態膜を研究した。この膜は、約１０μｍ未満の平均孔半径を有する多成分金属酸化物多孔質層と連通した貫通孔を有しない多成分金属酸化物高密度層とを含み、この場合多孔質層と高密度層とは連接しそしてこれら層は作動温度において電子及び酸素イオンを導通する。
【０００９】
米国特許第５，５６９，６３３号において、Ｃａｒｏｌａｎ等は、高密度混合伝導性多成分金属酸化物層と、多孔質イオン伝導性及び多孔質混合イオン及び電子伝導性層の組合せとをからなる表面触媒化多層イオン輸送膜を研究した。触媒を複合膜の酸化性表面に付着したこれら先行技術のイオン輸送膜により顕著な酸素流束が実証された。膜の両面への被覆は、酸素流束を向上しなかった。
【００１０】
米国特許第５，４９４，７００号において、Anderson等は、固態燃料電池及び気体分離用途のため高密度／多孔質基材上に高密度のクラックを含まない薄膜（＜０．５μｍ／被覆）を作製するために、金属イオンと重合化可能な有機溶剤とを含有する、沈殿物を含まない水溶液の合成を開示する。最初、酸化物成分のカチオンを重合化可能な有機溶剤を含む水性混合物中に溶解して成る、沈殿物を含まない、出発溶液が調製される。先駆物質被膜が、基材上に付着され、回転被覆技術と続いての乾燥及び酸素の存在下でのそして６００℃を超えない温度での仮焼により重合体先駆物質の皮膜を金属酸化物皮膜に変換する。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
Anderson等により開示された重合体先駆物質方法は、コスト節減方式でありそして製造への大規模化が容易である。しかし、一回の被覆に対する厚さの上限が代表的にこの方法に対しては０．５μｍ未満である。０．５μｍを超える皮膜は、通常、皮膜と基材との間の大きな収縮不整合により有機物の揮散と焼結中クラックを発生する。更に、Anderson等による方法は、大半は、沈殿物を含まない水溶液を使用しての回転被覆技術により平面状の基材上に高密度の皮膜を生成するすることに制限される。気体分離用途に対しては試験結果は何ら報告されていない。
【００１２】
多孔質の構造化された基材上に付着された、高密度薄膜を有する、複合膜の製造中の追加的な関心は、そうした膜が作製作業中に発生する細かい「ピンホール」を含む欠陥を生じやすいことである。一般に、欠陥密度は、処理速度が高いほど増大する傾向がある。こうした欠陥は、それらが非選択的である、即ちそれらが供給流体の所望されざる成分を無差別に通すが故に、非常に望ましくない。そうした欠陥は、イオン輸送皮膜の選択率を下げ、性能の低化をもたらす。従って、欠陥の排除は、高い処理速度で経済的に製造することのできる高性能複合皮膜を開発するのに必須である。
【００１３】
更に、実際上、表面交換プロセスのカイネティクス（ｋｉｎｅｔｉｃｓ、以下、機構という）は、イオン輸送バルク抵抗に追加しての抵抗を附加しそしてイオン輸送膜を横切っての酸素輸送に悪影響を与える。薄膜が薄くなるにつれ、イオン輸送バルク抵抗による全体抵抗の比率が減少し、同時に表面交換によりそれは増大する。その結果、その結果、非常に薄い膜に（例えば５μｍ以下）対しては、表面交換機構が支配的な抵抗となる傾向がある。従って、なるたけ薄い薄膜の利点を最大限に活用するためには、表面交換プロセスにより賦課されるボトルネックとしての速度制限を排除することが必要である。
総括として、研究者たちは、工業プロセスにおいて使用可能である、優れた酸素流束を具備する複合イオン輸送膜に対するコスト節減薄膜技術への研究を続けている。
【００１４】
本発明の課題は、多孔質の支持体上に薄いセラミック膜を付着する改善された方法を提供することである。
本発明のまた別の課題は、経済的にそして０．５ミクロンを超える厚さを有する膜を生成するのにわずか１〜２段階で達成することのできるそうした方法を提供することである。
本発明のまた別の課題は、表面触媒層を使用することなく優れた酸素流束を得るために表面機構により賦課される制限を軽減するセラミック膜を生成することである。
本発明のまた別の課題は、膜を通しての非イオン透過を防止するためセラミック膜中の欠陥を排除することである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、セラミック粉末のコロイド懸濁液を用意し、金属カチオンを含有する重合体先駆物質を用意し、前記金属カチオンを含有する重合体先駆物質とコロイド懸濁液を混合し、前記混合物を膜支持体に被覆して複合構造体を形成し、そして前記複合構造体を前記セラミック粉末が焼結して高密度膜を形成するまで加熱することにより、前記支持体上にセラミック膜を作製する方法を提供する。
【００１６】
好ましい具体例において、コロイド懸濁液は、水やエチレングリコールのような水基溶剤を含む。セラミック粉末は、５０ミクロン未満の直径の平均粒寸を有し、そしてより好ましくはセラミック粉末の実質上すべてが１ミクロン未満の直径を有する。一層好ましくは、コロイド懸濁液はさらに、分散剤及び消泡剤の少なくとも１種を含む。
【００１７】
好ましくは、重合体先駆物質の提供は、複数の金属カチオン源化合物を重合性有機溶剤を含む水性混合物中に溶解することにより溶液を調製しそして該溶液を加熱して金属カチオンを含む重合体としての先駆物質を形成することを含む。より好ましくは、カチオンはコロイド懸濁液中のセラミック粉末におけるものと同じである。
【００１８】
支持体は好ましくは、多孔質でありそして少なくとも１０容積％の多孔度、そして一層好ましくは３０容積％を超える多孔度を有する。被覆混合物の加熱は、それを支持体上で好ましくは６０〜１００℃において５〜３０分乾燥しそして後そしてのちそれを６００〜１４００℃において２〜４時間アニールして基材上に高密度の膜を形成することを含む。一層好ましくは、アニールは支持体を少なくとも部分的に焼結することを含む。
【００１９】
また別の好ましい具体例において、本作製方法は更に、複数の金属カチオン源化合物を重合性有機溶剤を含む水性混合物中に溶解することにより第２溶液を調製し、該第２溶液を加熱して金属カチオンを含む重合体としての封着用先駆物質を形成し、そして封着用先駆物質を前記形成された高密度膜に被覆することにより皮膜を形成することにより、前記形成された高密度膜中の欠陥を排除することを更に含む。金属カチオンは形成されたセラミック膜の今や一部であるセラミック粉末におけるのと同一であることが好ましい。本方法は好ましくは更に、封着用先駆物質を被覆した後、複合構造体を回転（スピン）せしめそして後被覆と回転サイクルとを少なくとも２回繰り返すことを含む。皮膜を構成する結晶の好ましい寸法は１００ｎｍ未満、より好ましくは５０ｎｍ未満、そして最も好ましくは２０ｎｍ以下である。
【００２０】
【発明の実施の形態】
本発明は、セラミック粉末のコロイド懸濁液を用意しそして重合体先駆物質を用意することによりセラミック膜を作製することを含む。先駆物質とコロイド懸濁液は、互いに混合され、そして混合物は膜支持体に被覆されて複合構造体を形成する。複合構造体は加熱されて、支持体上に高密度膜を形成する。
本発明のまた別の様相は、複数の金属カチオン源化合物を重合性有機溶剤を含む水性混合物中に溶解することにより溶液を調製しそして該溶液を加熱して金属カチオンを含む重合体としての封着用先駆物質を形成しそして封着用先駆物質を形成された高密度膜に被覆することにより形成された高密度膜中の欠陥を排除することと関与する。
【００２１】
本発明の主たる目的の一つは、単一の被覆段階、若しくは高々数回の被覆段階を使用して、０．５μｍを超える厚さを有するクラックを含まないイオン輸送皮膜を得ることである。先行技術においては、０．５μｍを超える皮膜は、有機物の燃焼揮散及び焼結プロセス中被膜と基材との間の大きな収縮不整合によりクラックを発生するのが通常であった。本発明は、セラミック粉末のコロイド懸濁液を重合体先駆物質中に加えて、先駆物質の無機含有量を増大しそして焼結中の膜と基材との間の収縮不整合を減じる。重合体先駆物質はまた、イオン輸送懸濁液中でバインダ及び安定化剤としても機能しえ、系の安定性を増大する。好ましくは、重合体先駆物質の組成は、生成する膜の所望の、一様な組成を得るためにコロイド懸濁液におけるイオン輸送材料のそれと実質上同等である。この液体先駆物質を使用することにより、比較的厚い（２〜５μｍ）のセラミック膜が、単一段階で多孔質支持体上に作製することができる。
【００２２】
本発明のまた別の目的は、コスト節減方式で低温で微粒（＜０．５μｍ）イオン輸送膜を得そして表面機構により賦課される制限を軽減することである。本発明により作製されるオーバコート層或いは皮膜の、結晶寸法としても呼称される微粒特性は、気相中の酸素分子への接近可能な表面積を増大し得た。本発明に従う１００ｎｍ未満の、より好ましくは５０ｎｍ未満のナノ水準の結晶皮膜は、表面交換特性を増進する。こうして、優れた酸素流束が表面触媒層を使用することなく得られる。
【００２３】
本発明において、液体先駆物質は、沈殿物を含まない水溶液に制限されずそして基材は平面状形態に限定されない。また、一回の被覆のための厚さは、重合体先駆物質中にイオン輸送コロイド懸濁液を導入して系の無機含有量を増大しそして焼結中の収縮を減じることにより０．５μｍを超えるものとなすことができる。懸濁液を被覆するための被覆方法は、回転被覆、浸漬被覆及びスプレイ被覆を含みうる。基材の形状は、筒状或いは複雑な形状をとりうる。
【００２４】
本発明は、幾つかの態様で液体先駆物質の特別な性質を利用する。低温において、先駆物質は、優れた濡れ性質を有する粘調な液体を形成して基材の表面若しくは基材上のイオン輸送皮膜上に一様な被覆を形成する。液体先駆物質は、開孔中に選択的に灯心作用により侵入しそしてそれらを有効に閉塞し、しかも基材若しくはイオン輸送膜の孔のあいていない若しくは欠陥のない領域それぞれにごく薄い層のみを残し、従ってオーバコート厚さによる全体抵抗の増加は最小限とされるはずである。補修されたイオン輸送膜は、重合体先駆物質層を焼結するべく作製中若しくは最終用途においてその場で加熱されうる。
【００２５】
【実施例】
表Ｉは、本発明を例示するために様々の複合皮膜試料に対する特定の皮膜及び基材材料を有する以下の例をまとめたものでありそして本発明をいかようにも限定するものではない。
【００２６】
【表１】
【００２７】
（実施例１）（複合体Ｉ）
多孔質基材上にＬａ0.05Ｓｒ0.95ＣｏＯ3（ＬＳＣ）高密度皮膜の作製
重合体先駆物質の調製
０．２モルの酸化物を含有するＬａ0.05Ｓｒ0.95ＣｏＯ3の重合体先駆物質溶液を次のようにして調製した：０．４３３ｇのＬａ（ＮＯ3）3・６Ｈ2Ｏ、４．０２１ｇのＳｒ（ＮＯ3）2及び１０．１３５ｇの５０６．７３１ｇ sol/モルのＣｏ（ＮＯ3）2溶液を２５０ｍｌのビーカにおいて攪拌しながら４０ｍｌの脱イオン水中に一度に溶解せしめた。３．０ｇのグリシン及び２．０ｇのクエン酸と４０ｍｌのエチレングリコールを当該溶液に添加しそして撹拌により溶解せしめた。マゼンタ色の先駆物質をフィッシャブランド媒体Ｑ５フィルタペーパを通して濾過した。この先駆物質を２５０ｍｌビーカ中で８０℃において加熱して水及びその他の揮発性物質を駆除した。２４時間後、先駆物質を１００ｍｌビーカに移しそして先駆物質の粘度が室温において９２センチポアズとなるまで８０℃においてもう２日間濃縮せしめた。
【００２８】
高密度皮膜の付着及び形成
多孔質ＬＳＣ−Ａ基材上に先駆物質の湿潤皮膜を形成するのに回転（遠心）被覆技術を使用した。ＬＳＣ−Ａ基材を１．２μｍの粉末寸法を有するＬａ0.05Ｓｒ0.95ＣｏＯ3粉末（Praxair surface TechnologiesのPraxair Speciality Ceramics製）及び約１μｍの寸法を有するＡｇ粉末（Degussa Corp.）を混合し、続いて１．５インチ（３．８ｃｍ）ダイにおいて１０．４ｋｐｓｉ（７．３ｋｇ／ｍｍ2）の圧力下でプレスしそして９５０℃において部分焼結することにより調製し、約２５％の多孔度と０．５ｍｍの厚さを有する多孔質基材を得た。その後、粘性の先駆物質数滴を回転ディスク上に固定された基材の研磨表面上に置いた。皮膜の付着に３５００ｒｐｍの回転速度を１０秒間使用した。回転被覆後、基材上の先駆物質の付着したままの状態の皮膜をホットプレート上で８０℃において５分間乾燥し、そして後別のホットプレートに移しそして約３００℃において少なくとも５分間加熱した。回転被覆及び乾燥プロセス全体を基材表面上に高密度の薄膜が基材表面上に形成されるまで繰り返した。
【００２９】
複合皮膜試料に対して室温（約２５℃）での窒素の漏洩率への回転被覆サイクルの回数の影響を図１に示す。ラインＳは未被覆基材を通しての窒素流れを表し、そしてライン５，１２及び１８（ｘ軸線に沿っている）は、５，１２及び１８サイクル後の窒素流れをそれぞれ表す。漏洩率は、１５回転被覆サイクル前はどちらかというと急速にそしてその後はもっとゆっくりと減少した。最小漏洩率は１２回転被覆サイクル後に検出された。１８回転被覆サイクル後多孔質ＬＳＣ−Ａ基材上に高密度の気密ＬＳＣ皮膜（約２μｍ）を得た。これを以下複合体Ｉと呼ぶ。複合体Ｉをその後６００℃において２時間アニールして残留有機物を除去しそして一層高い温度での透過試験のための結晶性酸化物皮膜を形成した。
【００３０】
複合皮膜の高温透過試験
Ａｇペーストを使用してアルミナ試験セル内に密閉した複合体Ｉを使用して酸素透過率を測定した。透過試験は、Ｈｅ不活性ガスパージ及び供給側に様々の濃度のＯ2／Ｎ2混合物を用いて８００−９００℃の温度で行った。気体組成を分析しそして酸素流束を計算するのにＨＰ５８９０ガスクロマトグラフ及び酸素分析器を使用した。供給物中２０％Ｏ2を使用して、８００、８５０及び９００℃において５００ｓｃｃｍ（標準状態ｃｍ3）Ｈｅのヘリウムパージを使用して測定を行い、それぞれ、０．００、０．０３、及び３．４ｓｃｃｍ／ｃｍ2の流束を生じた。これは、８５０℃と９００℃との間での六方晶相から立方晶相へのＬＳＣの相変態を示す。９００℃において、酸素分圧が増加するにつれ酸素透過率は増加する。測定した酸素流束は、図２に示すように０．２、０．４、０．６及び０．８ａｔｍの供給物酸素分圧に対して、それぞれ、３．４、５．１、６．８及び８．２ｓｃｃｍ／ｃｍ2であった。１．０ｍｍ厚のＬＳＣ（曲線１２２）及び０．５ｍｍ厚のＬＳＣ（曲線１２０）ＬＳＣ−Ａディスクに比較して、複合試料（曲線１１８）は、同等の試験条件においてはるかに高い酸素流束を示している。特に、０．８ａｔｍの供給酸素分圧に対しては、１ｍｍ厚の高密度ディスクに比較して複合薄膜試料に対しては５倍を超える流束の向上が実証された。
【００３１】
（実施例２）（複合体ＩＩ）
多孔質基材上のＬＳＣ多孔質皮膜−支持体の多孔率の影響
多孔質ＬＳＣ−Ａ基材上に支持された複合体ＬＳＣ薄膜皮膜（約２μｍ）試料を例１に記載したようにして調製した。ＬＳＣ−Ａ基材（０．５ｍｍ厚）をＬａ0.05Ｓｒ0.95ＣｏＯ3粉末（Praxair surface TechnologiesのPraxair Speciality Ceramics製）及び約２０ｗｔ％のＡｇ粉末（Degussa Corp.）を混合し、続いて１．５インチ（３．８ｃｍ）ダイにおいて１０．４ｋｐｓｉ（７．３ｋｇ／ｍｍ2）の圧力下でプレスしそして９００℃において部分焼結することにより調製し、約３２％の多孔度を有する多孔質基材を得た。焼結温度の低下は、支持体の多孔度を増大した。
【００３２】
酸素透過試験を供給酸素分圧の関数としてＮ2−Ｏ2／Ｈｅ勾配の下で９００℃において行った。測定した酸素流束は、図２に示すように、０．２、０．４、０．６及び０．８ａｔｍの供給物酸素分圧に対して、それぞれ、３．８、５．８、７．４及び８．７ｓｃｃｍ／ｃｍ2であった。２５％多孔率の基材を使用する複合体皮膜試料（図３、曲線２１８）に比較して、酸素流束は、３２％多孔率の基材を使用する複合体皮膜試料（曲線２２８）に対して同様の試験条件下で約６〜１２％増加した。これは、複合体皮膜の酸素流束が、多孔質支持体の多孔度を増大することにより改善されうることを示す。
【００３３】
（実施例３）（複合体ＩＩＩ）
多孔質基材上のＬＳＣ多孔質皮膜−多孔質支持体の厚さの影響
多孔質ＬＳＣ−Ａ基材上に支持された複合体ＬＳＣ薄膜（約２μｍ）試料を例１に記載したようにして調製した。ＬＳＣ−Ａ基材（０．３ｍｍ厚）をＬａ0.05Ｓｒ0.95ＣｏＯ3粉末（Praxair surface TechnologiesのPraxair Speciality Ceramics製）及び約２０ｗｔ％のＡｇ粉末（Degussa Corp.）を混合し、続いて１．５インチ（３．８ｃｍ）ダイにおいて１０．４ｋｐｓｉ（７．３ｋｇ／ｍｍ2）の圧力下でプレスしそして９００℃において部分焼結することにより調製し、約３２％の多孔度を有する多孔質基材を得た。酸素透過試験を供給酸素分圧の関数としてＮ2−Ｏ2／Ｈｅ勾配の下で９００℃において行った。
【００３４】
測定した酸素流束は、図４に示すように、０．２、０．４、０．６及び０．８ａｔｍの供給物酸素分圧に対して、それぞれ、４．６、８．３、１２．４及び１６．６ｓｃｃｍ／ｃｍ2であった。パージ流れを増加するとき（０．５から２．８ ｌｐｍ）、データ点３４０により例示されるように、２２．１ｓｃｃｍ／ｃｍ2の酸素流束を得た。この結果は、複合体皮膜の酸素流束が表面触媒層を使用することなく２２．１ｓｃｃｍ／ｃｍ2まで表面交換機構により制限されずそして多孔質支持体の厚さを減じることにより改善されることを示す。曲線３２０及び３２２は、０．５ｍｍ及び１．０ｍｍの厚さを有するＬＳＣの高密度ディスクをそれぞれ表す。
【００３５】
（実施例４）
表面交換機構へのナノ結晶性Ｌａ0.2Ｓｒ0.8Ｃｏ0.8Ｆｅ0.2Ｏ3-x（ＬＳＣＦ）皮膜の影響
重合体先駆物質溶液の調製
０．２モルの酸化物を含有するＬａ0.2Ｓｒ0.8Ｃｏ0.8Ｆｅ0.2Ｏ3-xの重合体先駆物質溶液を次のようにして調製した：１．７３２ｇのＬａ（ＮＯ3）3・６Ｈ2Ｏ、３．３８６ｇのＳｒ（ＮＯ3）2、８．１０８ｇの５０６．７３１ｇ sol/モルのＣｏ（ＮＯ3）2溶液及び２．７４８ｇの６８６．９７９ｇ sol/モルのＦｅ（ＮＯ3）2溶液を２５０ｍｌのビーカにおいて攪拌しながら６０ｍｌの脱イオン水中に一度に溶解せしめた。３．０ｇのグリシン及び２．０ｇのクエン酸と４０ｍｌのエチレングリコールを当該溶液に添加しそして撹拌により溶解せしめた。茶色の先駆物質をフィッシャブランド媒体Ｑ５フィルタペーパを通して濾過した。この先駆物質を２５０ｍｌビーカ中で８０℃において加熱して水及び他の揮発性物質を駆除した。２４時間後、先駆物質を１００ｍｌビーカに移しそして先駆物質の粘度が室温において４２センチポアズとなるまで８０℃においてもう２日間濃縮せしめた。
【００３６】
ＬＳＣＦ基材上にナノ結晶ＬＳＣＦ皮膜の付着及び形成
Ｌａ0.2Ｓｒ0.8Ｃｏ0.8Ｆｅ0.2Ｏ3-x基材上に先駆物質の湿潤皮膜を形成するのに回転被覆技術を使用した。ＬＳＣＦ基材（１ｍｍ厚）をＬａ0.2Ｓｒ0.8Ｃｏ0.8Ｆｅ0.2Ｏ3-x粉末（Praxair surface TechnologiesのPraxair Speciality Ceramics製）及び約３ｗｔ％のＰＶＢバインダ（Butvar of Monsanto）を混合し、続いて１．５インチ（３．８ｃｍ）ダイにおいて１０．４ｋｐｓｉ（７．３ｋｇ／ｍｍ2）の圧力下でプレスしそして１２５０℃において４時間焼結することにより高密度基材を得た。その後、粘性の先駆物質数滴を回転ディスク上に固定された高密度ＬＳＣＦ基材の研磨表面上に置いた。皮膜の付着に３５００ｒｐｍの回転速度を５秒間使用した。回転被覆後、基材上の先駆物質の付着したままの状態の皮膜をホットプレート上で８０℃において５分間乾燥し、そして後別のセラミック上被ホットプレートに移しそして約３００℃において少なくとも５分間加熱した。回転被覆及び乾燥プロセス全体を基材表面上に約１μｍ厚の薄膜が基材表面上に形成されるまで１０サイクル繰り返し、その後この複合皮膜を６００℃において２時間アニールして、高密度ＬＳＣＦ基材上にＬＳＣＦナノ結晶皮膜（結晶寸法約２０ｎｍ、厚さ約１μｍ）を形成した。
【００３７】
表面交換機構へのナノ結晶ＬＳＣＦ被覆の影響
酸素輸送皮膜の表面交換機構へのナノ結晶被覆の影響を研究するために、表面改質を行った及び行わないＬＳＣＦディスクにつぃて18Ｏ同位体交換実験を行った。オランダ、the University of Twenteにおいて質量分析計気体相18Ｏ濃度の経時変化を測定するのに質量分析計を使用した。これらのデータから、表面酸素交換係数及び酸素トレーサ拡散係数を計算した。図５（ａ）は前段で述べたような、ＬＳＣＦナノ結晶皮膜（結晶寸法約２０ｎｍ、厚さ約１μｍ）で被覆したＬＳＣＦディスクの18Ｏ同位体交換の結果を示す。被覆サンプルの同位体交換率は、未被覆１ｍｍ厚高密度ＬＳＣＦ試料（図５（ｂ））のそれよりも明らかに高い。これら結果に対する表面酸素交換係数（ｋ）、トレーサ拡散係数（Ｄ*）及び臨界厚さ（Ｄ*／ｋ）を算出しそして表ＩＩに示す。被覆ＬＳＣＦ膜は、５００℃における表面酸素同位体交換率に関して４〜５倍の増加をもたらした。これは、ナノ結晶寸法の被覆が複合ＯＴＭ用途に対して表面交換機構を向上しうることを示す。
【００３８】
【表２】
【００３９】
（実施例５）
Ｌａ0.19Ｓｒ0.80Ｆｅ0.69Ｃｒ0.20Ｃｏ0.10Ｍｇ0.01Ｏ3（ＬＳＦＲＣＭ）複合皮膜の作製
重合体先駆物質溶液の調製
０．２モルの酸化物を含有するＬＳＦＣＲＭの重合体先駆物質溶液を次のようにして調製した：１．６４６ｇのＬａ（ＮＯ3）3・６Ｈ2Ｏ、３．３８６ｇのＳｒ（ＮＯ3）2、９．４８０ｇの６８６．９７９ｇ sol/モルのＦｅ（ＮＯ3）2溶液、１．６０１ｇのＣｒ（ＮＯ3）3・６Ｈ2Ｏ、１．０１３ｇの５０６．７３１ｇ sol/モルのＣｏ（ＮＯ3）2溶液及び０．０５１ｇのＭｇ（ＮＯ3）2・６Ｈ2Ｏを２５０ｍｌのビーカにおいて攪拌しながら６０ｍｌの脱イオン水中に一度に溶解せしめた。３．０ｇのグリシン及び２．０ｇのクエン酸と４０ｍｌのエチレングリコールを当該溶液に添加しそして撹拌により溶解せしめた。茶色の先駆物質をフィッシャブランド媒体Ｑ５フィルタペーパを通して濾過した。この先駆物質を２５０ｍｌビーカ中で８０℃において加熱して水及び他の揮発性物質を駆除した。４０時間後、先駆物質を１００ｍｌビーカに移しそして先駆物質の粘度が室温において８２センチポアズとなるまで８０℃においてもう１日間濃縮せしめた。
【００４０】
基材の調製
ＬＳＦＣＲＭ基材（１ｍｍ厚）をＬＳＦＣＲＭ粉末（Praxair surface TechnologiesのPraxair Speciality Ceramics製）及び約３ｗｔ％のＰＶＢバインダ（Butvar of Monsanto）を混合し、続いて１．５インチ（３．８ｃｍ）ダイにおいて１０．４ｋｐｓｉ（７．３ｋｇ／ｍｍ2）の圧力下でプレスしそして１０００℃において部分焼結することにより約３２％の多孔率を有する基材を得た。
【００４１】
高密度皮膜の付着及び形成
ＬＳＦＣＲＭ多孔質基材上に先駆物質の湿潤皮膜を形成するのに回転被覆技術を使用した。粘性の先駆物質数滴を回転ディスク上に固定された高密度ＬＳＦＣＲＭ基材の研磨表面上に置いた。皮膜の付着に３５００ｒｐｍの回転速度を５秒間使用した。回転被覆後、基材上の先駆物質の付着したままの状態の皮膜をホットプレート上で８０℃において５分間乾燥し、そして後イオン輸送用のセラミック上被ホットプレートに移しそして約３００℃において少なくとも５分間加熱した。回転被覆及び乾燥プロセス全体を基材表面上に高密度の薄膜が基材表面上に形成されるまで３０サイクル繰り返した。
【００４２】
（実施例６）
コロイド懸濁液を使用する重合体先駆物質Ｌａ0.05Ｓｒ0.95ＣｏＯ3の作製
本例においては、重合体先駆物質がコロイド懸濁系中に導入されて、系の無機含有量を増加しそして焼結中の被膜と基材との間の収縮不整合を減じる。コロイド系は、分散媒体（即ち連続相）中に細かく分断された状態で一様に分布せしめられる分散相（即ち不連続相）から成る。伝統的なコロイド系は、分散相の少なくとも１種の寸法が１〜１０００μｍの範囲、即ち１０Åと１μｍとの間にある分散と関与する。応用コロイド系においては、寸法上限は、少なくとも１０，０００から１００，０００μｍまで拡張される。本発明に従うコロイド系においては、分散された粉末寸法は、好ましくは５０μｍ未満、より好ましくは１μｍ未満、最も好ましくは０．１μｍ未満である。重合体先駆物質は、イオン輸送懸濁液中でバインダ及び安定化剤として使用されて系の安定性を増加する。通常、重合体先駆物質の組成は、所望の組成の皮膜を得るため液体懸濁液におけるイオン輸送体のそれと同等である。この液体先駆物質を使用することにより、クラックを含まないイオン輸送膜が、単一被覆段階に対して０．５μｍを超える厚さで実現されうる。表ＩＩＩは、複合イオン輸送皮膜作製のためのＬＳＣの液体先駆物質を調製するための配合物を例示する。
【００４３】
【表３】
【００４４】
液体先駆物質は、部分Ａをポリエチレン製ボトルに入れそして１８−２４時間ＹＳＺボールでボールミル処理することにより調製される。もしイオン輸送粉末が水に対して感応性であるなら、エチレングリコールが溶剤として代替しうる。部分Ｂのための成分は例１に記載したプロセスにより調製される。その後、部分Ｂが部分Ａに添加されそして混合物が追加４時間ボールミル処理される。これで、この液体先駆物質は、浸漬被覆或いはスプレイ被覆技術により皮膜作製に使用できる状態にある。これは、筒状若しくは複雑な形状の複合要素に対して２〜５μｍの範囲の厚さを有するイオン輸送膜を作製するのに使用できる。
【００４５】
ここで開示した発明は、次の構造式により表される混合伝導性酸化物の被膜を作製するのに殊に有用である：ＡｒＡ’ｓＡ”ｔＢｕＢ’ｖＢ”ｗＯｘ（ここで、ＩＵＰＡＣにより採用されている元素の周期律表に従って、Ａ、Ａ’、Ａ”は族１、２、３及びＦブロックランタニドから選択され、そしてＢ、Ｂ’、Ｂ”はＤブロック遷移金属から選択される。この場合、０＜ｒ≦１、０≦ｓ≦１、０≦ｔ≦１、０≦ｕ≦１、０≦ｕ≦１、０≦ｗ≦１であり、そしてｘは化合物の電荷を中性とする数である。好ましくは、上記構造式のＡ、Ａ’、Ａ”はマグネシウム、カルシウム、ストロンチウム及びバリウムからなる族２金属である。好ましい混合伝導性酸化物はＡ’ｓＡ”ｔＢｕＢ’ｖＢ”ｗＯｘ（ここで、Ａ’はランタニド、Ｙ若しくはその混合物を表し、Ａ”はアルカリ土類金属若しくはその混合物を表し、ＢはＦｅを表し、Ｂ’はＣｒ，Ｔｉ若しくはその混合物を表し、そしてＢ”はＭｎ，Ｃｏ，Ｖ，Ｎｉ，Ｃｕ若しくはその混合物を表す。ｓ，ｔ，ｕ，ｖ及びｗは、０から約１までの数を表す。本発明はまた、次の米国特許第５，７０２，９９９；５，７１２，２２０及び５，７３３，４３５号に開示される他の種の薄膜混合伝導体に対しても有用である。
【００４６】
本発明は、様々の基材上への被覆展延方法を包括し、例えば次のものを含む：
１）液体先駆物質の回転被覆；
２）液体先駆物質の浸漬被覆；
３）液体先駆物質のスプレイ被覆；
４）液体先駆物質のスリップ流し込み；
５）溶射、プラズマスプレイ；並びに
６）その組合せ
【００４７】
用語「包含」とは、「限定ではなく含む」を意味するものとして、即ち記載された特徴、数字、段階若しくは成分乃至要素に特定されるものではなく、一つ以上の他の特徴、数字、段階、成分乃至要素或いはその組合せの存在乃至追加を排除しないものとして使用される。当業者には、本発明の範囲内で別の具体例を具現することができよう。
【００４８】
【発明の効果】
単一の被覆段階、若しくは高々数回の被覆段階を使用して、０．５μｍを超える厚さを有するクラックを含まないイオン輸送皮膜を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】未被覆ＬＳＣ基材並びに本発明の一具体例に従い５、１２及び１８被覆サイクル後の基材を通しての窒素透過率を示すグラフである。
【図２】図１の１８回被覆複合体を通してのそして２種の高密度ディスクを通しての酸素流束を示すグラフである。
【図３】酸素流束への基材多孔率の影響を示すグラフである。
【図４】本発明の一具体例に従うまた別の複合体を通してのそして２種の別の高密度ディスクを通しての酸素流束を示すグラフである。
【図５】（ａ）及び（ｂ）は、被覆及び未被覆ＬＳＣＦディスクに対する18Ｏ同位体交換データをそれぞれ示すグラフである。
【発明の属する技術分野】
本発明は、セラミック膜の製造に関するものであり、特には多孔質基材上への薄いイオン輸送膜の付着技術に関する。（本発明は、米国政府の援助で、the National Institute of Standards Technologyにより認定された協力契約第７０NANB５H１０６５の下でなされた。米国政府は、本発明においてある種の権利を有している。）
【０００２】
【従来の技術】
イオン輸送膜としても呼ばれる、固体電解質は、酸素を含有する気体混合物から酸素を分離するのに使用される。混合伝導体は、酸素イオンと電子の両方を伝導する材料でありそしてそれらは膜の両側での、酸素分圧とも呼ばれる酸素活量の差により圧力推進方式で作動されうるから酸素分離のために好適であるように思われる。Ｌａ1-xＳｒxＣｏＯ3-y，ＬａxＳｒ1-xＦｅＯ3-y及びＬａxＳｒ1-xＦｅ1-yＣｏyＯ3-zのようなペロブスカイトが混合伝導体の例である。昇温下において、これら材料は、材料を通しての酸素イオンの輸送のための伝導場を提供する可動の酸素イオン空孔を含有する。これら材料は、酸素イオンを選択的に輸送し、従って酸素に対して無限の選択度を有する膜として機能しうる。
【０００３】
理想的な酸素流束が厚さに逆比例するから、薄い電解質膜が、非常に所望される。即ち、薄い膜ほど、一層高い酸素流束、面積の減少、一層低い作動温度、及び電解質を横切っての一層小さな酸素圧力差をもたらすことができる。
【０００４】
比較的厚い多孔質混合伝導性支持体上に高密度の混合伝導性酸化物を付着することにより形成された固態気体分離膜が、Journal Ceram.Soc.Japan,International Ed,Vol.97,No.5(1989)に開示されるように、寺岡等により研究された。この比較的厚い多孔質混合伝導性支持体は、薄い、比較的脆い、高密度の混合伝導性層に対する機械的安定性を提供する。Ｌａ0.6Ｓｒ0.4ＣｏＯ3薄膜が同じ材料の多孔質支持体上にラジオ周波数スパッタリング技術及び液体懸濁液スプレイ付着方法により付着された。スパッリング法により付着された薄膜はクラックを含みそして多孔質である。液体懸濁液スプレイと続いての１４００℃での焼結により作製された薄膜（約１５μｍ厚さ）は、高密度でそしてクラックを含まない。
【０００５】
寺岡及び共同研究者は、酸素流束が高密度ディスクに比較して複合薄膜に対して１０倍増大すると予想した。しかしながら、彼らは２倍未満の増加を得ただけであった。
【０００６】
Pal等は、「Electrochemical Vapor Deposition of Yttria Stabilized Zirconia Films」と題する論文において、ＥＶＤプロセスを開示し、ここではイットリア安定化ジルコニア（ＹＳＺ）が多孔質基材上に付着される。ＥＶＤは、多孔質基材上に薄い、気体不浸透性の金属酸化物薄膜を成長せしめるのに化学的ポテンシャル勾配を利用する従来からの化学的蒸着（ＣＶＤ）プロセスの改良例である。ＥＶＤプロセスは、多孔質基材の一方側において金属ハロゲン化物の混合物をそして反対側に水素及び水の混合物を接触することと関与する。試剤は基材の孔内に拡散しそして反応して多成分金属酸化物を形成して、これが孔壁に付着される。継続しての付着は、孔を狭め、最終的に孔は多成分金属酸化物で閉塞されるようになる。今日までＥＶＤの主たる適用例は、固態電解質ＹＳＺ、並びに固態酸化物燃料電池（ＳＯＦＣ）において使用されるようなインターコネクタ材料ランタン・クロム酸化物であった。
【０００７】
米国特許第５，２４０，４８０号において、Richards等は、無機膜として使用のための多成分金属酸化物の薄膜を調製するための有機金属化学蒸着（ＯＭＣＶＤ）方法を開示した。この無機質の膜は、それぞれの金属各々に相当する有機金属錯体及び酸化剤を多孔質基材上に薄い膜を付着するに十分の条件の下で反応せしめることにより形成される。ＥＶＤ及びＯＭＣＶＤプロセスの両方は、効果でそして複雑な設備を使用しそして毒性でありしかも高価な先駆物質を使用することが多い。更に、多成分金属酸化物（例えば混合伝導性ペロブスカイト）に対しては、酸化物膜の化学量論のコントロールがこれらプロセスに対しては困難である。
【０００８】
米国特許第５，２４０，４８０号において、Ｔｈｏｒｏｇｏｏｄ等は、昇温下で酸素含有気体混合物から酸素を分離することのできる多層複合固態膜を研究した。この膜は、約１０μｍ未満の平均孔半径を有する多成分金属酸化物多孔質層と連通した貫通孔を有しない多成分金属酸化物高密度層とを含み、この場合多孔質層と高密度層とは連接しそしてこれら層は作動温度において電子及び酸素イオンを導通する。
【０００９】
米国特許第５，５６９，６３３号において、Ｃａｒｏｌａｎ等は、高密度混合伝導性多成分金属酸化物層と、多孔質イオン伝導性及び多孔質混合イオン及び電子伝導性層の組合せとをからなる表面触媒化多層イオン輸送膜を研究した。触媒を複合膜の酸化性表面に付着したこれら先行技術のイオン輸送膜により顕著な酸素流束が実証された。膜の両面への被覆は、酸素流束を向上しなかった。
【００１０】
米国特許第５，４９４，７００号において、Anderson等は、固態燃料電池及び気体分離用途のため高密度／多孔質基材上に高密度のクラックを含まない薄膜（＜０．５μｍ／被覆）を作製するために、金属イオンと重合化可能な有機溶剤とを含有する、沈殿物を含まない水溶液の合成を開示する。最初、酸化物成分のカチオンを重合化可能な有機溶剤を含む水性混合物中に溶解して成る、沈殿物を含まない、出発溶液が調製される。先駆物質被膜が、基材上に付着され、回転被覆技術と続いての乾燥及び酸素の存在下でのそして６００℃を超えない温度での仮焼により重合体先駆物質の皮膜を金属酸化物皮膜に変換する。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
Anderson等により開示された重合体先駆物質方法は、コスト節減方式でありそして製造への大規模化が容易である。しかし、一回の被覆に対する厚さの上限が代表的にこの方法に対しては０．５μｍ未満である。０．５μｍを超える皮膜は、通常、皮膜と基材との間の大きな収縮不整合により有機物の揮散と焼結中クラックを発生する。更に、Anderson等による方法は、大半は、沈殿物を含まない水溶液を使用しての回転被覆技術により平面状の基材上に高密度の皮膜を生成するすることに制限される。気体分離用途に対しては試験結果は何ら報告されていない。
【００１２】
多孔質の構造化された基材上に付着された、高密度薄膜を有する、複合膜の製造中の追加的な関心は、そうした膜が作製作業中に発生する細かい「ピンホール」を含む欠陥を生じやすいことである。一般に、欠陥密度は、処理速度が高いほど増大する傾向がある。こうした欠陥は、それらが非選択的である、即ちそれらが供給流体の所望されざる成分を無差別に通すが故に、非常に望ましくない。そうした欠陥は、イオン輸送皮膜の選択率を下げ、性能の低化をもたらす。従って、欠陥の排除は、高い処理速度で経済的に製造することのできる高性能複合皮膜を開発するのに必須である。
【００１３】
更に、実際上、表面交換プロセスのカイネティクス（ｋｉｎｅｔｉｃｓ、以下、機構という）は、イオン輸送バルク抵抗に追加しての抵抗を附加しそしてイオン輸送膜を横切っての酸素輸送に悪影響を与える。薄膜が薄くなるにつれ、イオン輸送バルク抵抗による全体抵抗の比率が減少し、同時に表面交換によりそれは増大する。その結果、その結果、非常に薄い膜に（例えば５μｍ以下）対しては、表面交換機構が支配的な抵抗となる傾向がある。従って、なるたけ薄い薄膜の利点を最大限に活用するためには、表面交換プロセスにより賦課されるボトルネックとしての速度制限を排除することが必要である。
総括として、研究者たちは、工業プロセスにおいて使用可能である、優れた酸素流束を具備する複合イオン輸送膜に対するコスト節減薄膜技術への研究を続けている。
【００１４】
本発明の課題は、多孔質の支持体上に薄いセラミック膜を付着する改善された方法を提供することである。
本発明のまた別の課題は、経済的にそして０．５ミクロンを超える厚さを有する膜を生成するのにわずか１〜２段階で達成することのできるそうした方法を提供することである。
本発明のまた別の課題は、表面触媒層を使用することなく優れた酸素流束を得るために表面機構により賦課される制限を軽減するセラミック膜を生成することである。
本発明のまた別の課題は、膜を通しての非イオン透過を防止するためセラミック膜中の欠陥を排除することである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、セラミック粉末のコロイド懸濁液を用意し、金属カチオンを含有する重合体先駆物質を用意し、前記金属カチオンを含有する重合体先駆物質とコロイド懸濁液を混合し、前記混合物を膜支持体に被覆して複合構造体を形成し、そして前記複合構造体を前記セラミック粉末が焼結して高密度膜を形成するまで加熱することにより、前記支持体上にセラミック膜を作製する方法を提供する。
【００１６】
好ましい具体例において、コロイド懸濁液は、水やエチレングリコールのような水基溶剤を含む。セラミック粉末は、５０ミクロン未満の直径の平均粒寸を有し、そしてより好ましくはセラミック粉末の実質上すべてが１ミクロン未満の直径を有する。一層好ましくは、コロイド懸濁液はさらに、分散剤及び消泡剤の少なくとも１種を含む。
【００１７】
好ましくは、重合体先駆物質の提供は、複数の金属カチオン源化合物を重合性有機溶剤を含む水性混合物中に溶解することにより溶液を調製しそして該溶液を加熱して金属カチオンを含む重合体としての先駆物質を形成することを含む。より好ましくは、カチオンはコロイド懸濁液中のセラミック粉末におけるものと同じである。
【００１８】
支持体は好ましくは、多孔質でありそして少なくとも１０容積％の多孔度、そして一層好ましくは３０容積％を超える多孔度を有する。被覆混合物の加熱は、それを支持体上で好ましくは６０〜１００℃において５〜３０分乾燥しそして後そしてのちそれを６００〜１４００℃において２〜４時間アニールして基材上に高密度の膜を形成することを含む。一層好ましくは、アニールは支持体を少なくとも部分的に焼結することを含む。
【００１９】
また別の好ましい具体例において、本作製方法は更に、複数の金属カチオン源化合物を重合性有機溶剤を含む水性混合物中に溶解することにより第２溶液を調製し、該第２溶液を加熱して金属カチオンを含む重合体としての封着用先駆物質を形成し、そして封着用先駆物質を前記形成された高密度膜に被覆することにより皮膜を形成することにより、前記形成された高密度膜中の欠陥を排除することを更に含む。金属カチオンは形成されたセラミック膜の今や一部であるセラミック粉末におけるのと同一であることが好ましい。本方法は好ましくは更に、封着用先駆物質を被覆した後、複合構造体を回転（スピン）せしめそして後被覆と回転サイクルとを少なくとも２回繰り返すことを含む。皮膜を構成する結晶の好ましい寸法は１００ｎｍ未満、より好ましくは５０ｎｍ未満、そして最も好ましくは２０ｎｍ以下である。
【００２０】
【発明の実施の形態】
本発明は、セラミック粉末のコロイド懸濁液を用意しそして重合体先駆物質を用意することによりセラミック膜を作製することを含む。先駆物質とコロイド懸濁液は、互いに混合され、そして混合物は膜支持体に被覆されて複合構造体を形成する。複合構造体は加熱されて、支持体上に高密度膜を形成する。
本発明のまた別の様相は、複数の金属カチオン源化合物を重合性有機溶剤を含む水性混合物中に溶解することにより溶液を調製しそして該溶液を加熱して金属カチオンを含む重合体としての封着用先駆物質を形成しそして封着用先駆物質を形成された高密度膜に被覆することにより形成された高密度膜中の欠陥を排除することと関与する。
【００２１】
本発明の主たる目的の一つは、単一の被覆段階、若しくは高々数回の被覆段階を使用して、０．５μｍを超える厚さを有するクラックを含まないイオン輸送皮膜を得ることである。先行技術においては、０．５μｍを超える皮膜は、有機物の燃焼揮散及び焼結プロセス中被膜と基材との間の大きな収縮不整合によりクラックを発生するのが通常であった。本発明は、セラミック粉末のコロイド懸濁液を重合体先駆物質中に加えて、先駆物質の無機含有量を増大しそして焼結中の膜と基材との間の収縮不整合を減じる。重合体先駆物質はまた、イオン輸送懸濁液中でバインダ及び安定化剤としても機能しえ、系の安定性を増大する。好ましくは、重合体先駆物質の組成は、生成する膜の所望の、一様な組成を得るためにコロイド懸濁液におけるイオン輸送材料のそれと実質上同等である。この液体先駆物質を使用することにより、比較的厚い（２〜５μｍ）のセラミック膜が、単一段階で多孔質支持体上に作製することができる。
【００２２】
本発明のまた別の目的は、コスト節減方式で低温で微粒（＜０．５μｍ）イオン輸送膜を得そして表面機構により賦課される制限を軽減することである。本発明により作製されるオーバコート層或いは皮膜の、結晶寸法としても呼称される微粒特性は、気相中の酸素分子への接近可能な表面積を増大し得た。本発明に従う１００ｎｍ未満の、より好ましくは５０ｎｍ未満のナノ水準の結晶皮膜は、表面交換特性を増進する。こうして、優れた酸素流束が表面触媒層を使用することなく得られる。
【００２３】
本発明において、液体先駆物質は、沈殿物を含まない水溶液に制限されずそして基材は平面状形態に限定されない。また、一回の被覆のための厚さは、重合体先駆物質中にイオン輸送コロイド懸濁液を導入して系の無機含有量を増大しそして焼結中の収縮を減じることにより０．５μｍを超えるものとなすことができる。懸濁液を被覆するための被覆方法は、回転被覆、浸漬被覆及びスプレイ被覆を含みうる。基材の形状は、筒状或いは複雑な形状をとりうる。
【００２４】
本発明は、幾つかの態様で液体先駆物質の特別な性質を利用する。低温において、先駆物質は、優れた濡れ性質を有する粘調な液体を形成して基材の表面若しくは基材上のイオン輸送皮膜上に一様な被覆を形成する。液体先駆物質は、開孔中に選択的に灯心作用により侵入しそしてそれらを有効に閉塞し、しかも基材若しくはイオン輸送膜の孔のあいていない若しくは欠陥のない領域それぞれにごく薄い層のみを残し、従ってオーバコート厚さによる全体抵抗の増加は最小限とされるはずである。補修されたイオン輸送膜は、重合体先駆物質層を焼結するべく作製中若しくは最終用途においてその場で加熱されうる。
【００２５】
【実施例】
表Ｉは、本発明を例示するために様々の複合皮膜試料に対する特定の皮膜及び基材材料を有する以下の例をまとめたものでありそして本発明をいかようにも限定するものではない。
【００２６】
【表１】
（実施例１）（複合体Ｉ）
多孔質基材上にＬａ0.05Ｓｒ0.95ＣｏＯ3（ＬＳＣ）高密度皮膜の作製
重合体先駆物質の調製
０．２モルの酸化物を含有するＬａ0.05Ｓｒ0.95ＣｏＯ3の重合体先駆物質溶液を次のようにして調製した：０．４３３ｇのＬａ（ＮＯ3）3・６Ｈ2Ｏ、４．０２１ｇのＳｒ（ＮＯ3）2及び１０．１３５ｇの５０６．７３１ｇ sol/モルのＣｏ（ＮＯ3）2溶液を２５０ｍｌのビーカにおいて攪拌しながら４０ｍｌの脱イオン水中に一度に溶解せしめた。３．０ｇのグリシン及び２．０ｇのクエン酸と４０ｍｌのエチレングリコールを当該溶液に添加しそして撹拌により溶解せしめた。マゼンタ色の先駆物質をフィッシャブランド媒体Ｑ５フィルタペーパを通して濾過した。この先駆物質を２５０ｍｌビーカ中で８０℃において加熱して水及びその他の揮発性物質を駆除した。２４時間後、先駆物質を１００ｍｌビーカに移しそして先駆物質の粘度が室温において９２センチポアズとなるまで８０℃においてもう２日間濃縮せしめた。
【００２８】
高密度皮膜の付着及び形成
多孔質ＬＳＣ−Ａ基材上に先駆物質の湿潤皮膜を形成するのに回転（遠心）被覆技術を使用した。ＬＳＣ−Ａ基材を１．２μｍの粉末寸法を有するＬａ0.05Ｓｒ0.95ＣｏＯ3粉末（Praxair surface TechnologiesのPraxair Speciality Ceramics製）及び約１μｍの寸法を有するＡｇ粉末（Degussa Corp.）を混合し、続いて１．５インチ（３．８ｃｍ）ダイにおいて１０．４ｋｐｓｉ（７．３ｋｇ／ｍｍ2）の圧力下でプレスしそして９５０℃において部分焼結することにより調製し、約２５％の多孔度と０．５ｍｍの厚さを有する多孔質基材を得た。その後、粘性の先駆物質数滴を回転ディスク上に固定された基材の研磨表面上に置いた。皮膜の付着に３５００ｒｐｍの回転速度を１０秒間使用した。回転被覆後、基材上の先駆物質の付着したままの状態の皮膜をホットプレート上で８０℃において５分間乾燥し、そして後別のホットプレートに移しそして約３００℃において少なくとも５分間加熱した。回転被覆及び乾燥プロセス全体を基材表面上に高密度の薄膜が基材表面上に形成されるまで繰り返した。
【００２９】
複合皮膜試料に対して室温（約２５℃）での窒素の漏洩率への回転被覆サイクルの回数の影響を図１に示す。ラインＳは未被覆基材を通しての窒素流れを表し、そしてライン５，１２及び１８（ｘ軸線に沿っている）は、５，１２及び１８サイクル後の窒素流れをそれぞれ表す。漏洩率は、１５回転被覆サイクル前はどちらかというと急速にそしてその後はもっとゆっくりと減少した。最小漏洩率は１２回転被覆サイクル後に検出された。１８回転被覆サイクル後多孔質ＬＳＣ−Ａ基材上に高密度の気密ＬＳＣ皮膜（約２μｍ）を得た。これを以下複合体Ｉと呼ぶ。複合体Ｉをその後６００℃において２時間アニールして残留有機物を除去しそして一層高い温度での透過試験のための結晶性酸化物皮膜を形成した。
【００３０】
複合皮膜の高温透過試験
Ａｇペーストを使用してアルミナ試験セル内に密閉した複合体Ｉを使用して酸素透過率を測定した。透過試験は、Ｈｅ不活性ガスパージ及び供給側に様々の濃度のＯ2／Ｎ2混合物を用いて８００−９００℃の温度で行った。気体組成を分析しそして酸素流束を計算するのにＨＰ５８９０ガスクロマトグラフ及び酸素分析器を使用した。供給物中２０％Ｏ2を使用して、８００、８５０及び９００℃において５００ｓｃｃｍ（標準状態ｃｍ3）Ｈｅのヘリウムパージを使用して測定を行い、それぞれ、０．００、０．０３、及び３．４ｓｃｃｍ／ｃｍ2の流束を生じた。これは、８５０℃と９００℃との間での六方晶相から立方晶相へのＬＳＣの相変態を示す。９００℃において、酸素分圧が増加するにつれ酸素透過率は増加する。測定した酸素流束は、図２に示すように０．２、０．４、０．６及び０．８ａｔｍの供給物酸素分圧に対して、それぞれ、３．４、５．１、６．８及び８．２ｓｃｃｍ／ｃｍ2であった。１．０ｍｍ厚のＬＳＣ（曲線１２２）及び０．５ｍｍ厚のＬＳＣ（曲線１２０）ＬＳＣ−Ａディスクに比較して、複合試料（曲線１１８）は、同等の試験条件においてはるかに高い酸素流束を示している。特に、０．８ａｔｍの供給酸素分圧に対しては、１ｍｍ厚の高密度ディスクに比較して複合薄膜試料に対しては５倍を超える流束の向上が実証された。
【００３１】
（実施例２）（複合体ＩＩ）
多孔質基材上のＬＳＣ多孔質皮膜−支持体の多孔率の影響
多孔質ＬＳＣ−Ａ基材上に支持された複合体ＬＳＣ薄膜皮膜（約２μｍ）試料を例１に記載したようにして調製した。ＬＳＣ−Ａ基材（０．５ｍｍ厚）をＬａ0.05Ｓｒ0.95ＣｏＯ3粉末（Praxair surface TechnologiesのPraxair Speciality Ceramics製）及び約２０ｗｔ％のＡｇ粉末（Degussa Corp.）を混合し、続いて１．５インチ（３．８ｃｍ）ダイにおいて１０．４ｋｐｓｉ（７．３ｋｇ／ｍｍ2）の圧力下でプレスしそして９００℃において部分焼結することにより調製し、約３２％の多孔度を有する多孔質基材を得た。焼結温度の低下は、支持体の多孔度を増大した。
【００３２】
酸素透過試験を供給酸素分圧の関数としてＮ2−Ｏ2／Ｈｅ勾配の下で９００℃において行った。測定した酸素流束は、図２に示すように、０．２、０．４、０．６及び０．８ａｔｍの供給物酸素分圧に対して、それぞれ、３．８、５．８、７．４及び８．７ｓｃｃｍ／ｃｍ2であった。２５％多孔率の基材を使用する複合体皮膜試料（図３、曲線２１８）に比較して、酸素流束は、３２％多孔率の基材を使用する複合体皮膜試料（曲線２２８）に対して同様の試験条件下で約６〜１２％増加した。これは、複合体皮膜の酸素流束が、多孔質支持体の多孔度を増大することにより改善されうることを示す。
【００３３】
（実施例３）（複合体ＩＩＩ）
多孔質基材上のＬＳＣ多孔質皮膜−多孔質支持体の厚さの影響
多孔質ＬＳＣ−Ａ基材上に支持された複合体ＬＳＣ薄膜（約２μｍ）試料を例１に記載したようにして調製した。ＬＳＣ−Ａ基材（０．３ｍｍ厚）をＬａ0.05Ｓｒ0.95ＣｏＯ3粉末（Praxair surface TechnologiesのPraxair Speciality Ceramics製）及び約２０ｗｔ％のＡｇ粉末（Degussa Corp.）を混合し、続いて１．５インチ（３．８ｃｍ）ダイにおいて１０．４ｋｐｓｉ（７．３ｋｇ／ｍｍ2）の圧力下でプレスしそして９００℃において部分焼結することにより調製し、約３２％の多孔度を有する多孔質基材を得た。酸素透過試験を供給酸素分圧の関数としてＮ2−Ｏ2／Ｈｅ勾配の下で９００℃において行った。
【００３４】
測定した酸素流束は、図４に示すように、０．２、０．４、０．６及び０．８ａｔｍの供給物酸素分圧に対して、それぞれ、４．６、８．３、１２．４及び１６．６ｓｃｃｍ／ｃｍ2であった。パージ流れを増加するとき（０．５から２．８ ｌｐｍ）、データ点３４０により例示されるように、２２．１ｓｃｃｍ／ｃｍ2の酸素流束を得た。この結果は、複合体皮膜の酸素流束が表面触媒層を使用することなく２２．１ｓｃｃｍ／ｃｍ2まで表面交換機構により制限されずそして多孔質支持体の厚さを減じることにより改善されることを示す。曲線３２０及び３２２は、０．５ｍｍ及び１．０ｍｍの厚さを有するＬＳＣの高密度ディスクをそれぞれ表す。
【００３５】
（実施例４）
表面交換機構へのナノ結晶性Ｌａ0.2Ｓｒ0.8Ｃｏ0.8Ｆｅ0.2Ｏ3-x（ＬＳＣＦ）皮膜の影響
重合体先駆物質溶液の調製
０．２モルの酸化物を含有するＬａ0.2Ｓｒ0.8Ｃｏ0.8Ｆｅ0.2Ｏ3-xの重合体先駆物質溶液を次のようにして調製した：１．７３２ｇのＬａ（ＮＯ3）3・６Ｈ2Ｏ、３．３８６ｇのＳｒ（ＮＯ3）2、８．１０８ｇの５０６．７３１ｇ sol/モルのＣｏ（ＮＯ3）2溶液及び２．７４８ｇの６８６．９７９ｇ sol/モルのＦｅ（ＮＯ3）2溶液を２５０ｍｌのビーカにおいて攪拌しながら６０ｍｌの脱イオン水中に一度に溶解せしめた。３．０ｇのグリシン及び２．０ｇのクエン酸と４０ｍｌのエチレングリコールを当該溶液に添加しそして撹拌により溶解せしめた。茶色の先駆物質をフィッシャブランド媒体Ｑ５フィルタペーパを通して濾過した。この先駆物質を２５０ｍｌビーカ中で８０℃において加熱して水及び他の揮発性物質を駆除した。２４時間後、先駆物質を１００ｍｌビーカに移しそして先駆物質の粘度が室温において４２センチポアズとなるまで８０℃においてもう２日間濃縮せしめた。
【００３６】
ＬＳＣＦ基材上にナノ結晶ＬＳＣＦ皮膜の付着及び形成
Ｌａ0.2Ｓｒ0.8Ｃｏ0.8Ｆｅ0.2Ｏ3-x基材上に先駆物質の湿潤皮膜を形成するのに回転被覆技術を使用した。ＬＳＣＦ基材（１ｍｍ厚）をＬａ0.2Ｓｒ0.8Ｃｏ0.8Ｆｅ0.2Ｏ3-x粉末（Praxair surface TechnologiesのPraxair Speciality Ceramics製）及び約３ｗｔ％のＰＶＢバインダ（Butvar of Monsanto）を混合し、続いて１．５インチ（３．８ｃｍ）ダイにおいて１０．４ｋｐｓｉ（７．３ｋｇ／ｍｍ2）の圧力下でプレスしそして１２５０℃において４時間焼結することにより高密度基材を得た。その後、粘性の先駆物質数滴を回転ディスク上に固定された高密度ＬＳＣＦ基材の研磨表面上に置いた。皮膜の付着に３５００ｒｐｍの回転速度を５秒間使用した。回転被覆後、基材上の先駆物質の付着したままの状態の皮膜をホットプレート上で８０℃において５分間乾燥し、そして後別のセラミック上被ホットプレートに移しそして約３００℃において少なくとも５分間加熱した。回転被覆及び乾燥プロセス全体を基材表面上に約１μｍ厚の薄膜が基材表面上に形成されるまで１０サイクル繰り返し、その後この複合皮膜を６００℃において２時間アニールして、高密度ＬＳＣＦ基材上にＬＳＣＦナノ結晶皮膜（結晶寸法約２０ｎｍ、厚さ約１μｍ）を形成した。
【００３７】
表面交換機構へのナノ結晶ＬＳＣＦ被覆の影響
酸素輸送皮膜の表面交換機構へのナノ結晶被覆の影響を研究するために、表面改質を行った及び行わないＬＳＣＦディスクにつぃて18Ｏ同位体交換実験を行った。オランダ、the University of Twenteにおいて質量分析計気体相18Ｏ濃度の経時変化を測定するのに質量分析計を使用した。これらのデータから、表面酸素交換係数及び酸素トレーサ拡散係数を計算した。図５（ａ）は前段で述べたような、ＬＳＣＦナノ結晶皮膜（結晶寸法約２０ｎｍ、厚さ約１μｍ）で被覆したＬＳＣＦディスクの18Ｏ同位体交換の結果を示す。被覆サンプルの同位体交換率は、未被覆１ｍｍ厚高密度ＬＳＣＦ試料（図５（ｂ））のそれよりも明らかに高い。これら結果に対する表面酸素交換係数（ｋ）、トレーサ拡散係数（Ｄ*）及び臨界厚さ（Ｄ*／ｋ）を算出しそして表ＩＩに示す。被覆ＬＳＣＦ膜は、５００℃における表面酸素同位体交換率に関して４〜５倍の増加をもたらした。これは、ナノ結晶寸法の被覆が複合ＯＴＭ用途に対して表面交換機構を向上しうることを示す。
【００３８】
【表２】
（実施例５）
Ｌａ0.19Ｓｒ0.80Ｆｅ0.69Ｃｒ0.20Ｃｏ0.10Ｍｇ0.01Ｏ3（ＬＳＦＲＣＭ）複合皮膜の作製
重合体先駆物質溶液の調製
０．２モルの酸化物を含有するＬＳＦＣＲＭの重合体先駆物質溶液を次のようにして調製した：１．６４６ｇのＬａ（ＮＯ3）3・６Ｈ2Ｏ、３．３８６ｇのＳｒ（ＮＯ3）2、９．４８０ｇの６８６．９７９ｇ sol/モルのＦｅ（ＮＯ3）2溶液、１．６０１ｇのＣｒ（ＮＯ3）3・６Ｈ2Ｏ、１．０１３ｇの５０６．７３１ｇ sol/モルのＣｏ（ＮＯ3）2溶液及び０．０５１ｇのＭｇ（ＮＯ3）2・６Ｈ2Ｏを２５０ｍｌのビーカにおいて攪拌しながら６０ｍｌの脱イオン水中に一度に溶解せしめた。３．０ｇのグリシン及び２．０ｇのクエン酸と４０ｍｌのエチレングリコールを当該溶液に添加しそして撹拌により溶解せしめた。茶色の先駆物質をフィッシャブランド媒体Ｑ５フィルタペーパを通して濾過した。この先駆物質を２５０ｍｌビーカ中で８０℃において加熱して水及び他の揮発性物質を駆除した。４０時間後、先駆物質を１００ｍｌビーカに移しそして先駆物質の粘度が室温において８２センチポアズとなるまで８０℃においてもう１日間濃縮せしめた。
【００４０】
基材の調製
ＬＳＦＣＲＭ基材（１ｍｍ厚）をＬＳＦＣＲＭ粉末（Praxair surface TechnologiesのPraxair Speciality Ceramics製）及び約３ｗｔ％のＰＶＢバインダ（Butvar of Monsanto）を混合し、続いて１．５インチ（３．８ｃｍ）ダイにおいて１０．４ｋｐｓｉ（７．３ｋｇ／ｍｍ2）の圧力下でプレスしそして１０００℃において部分焼結することにより約３２％の多孔率を有する基材を得た。
【００４１】
高密度皮膜の付着及び形成
ＬＳＦＣＲＭ多孔質基材上に先駆物質の湿潤皮膜を形成するのに回転被覆技術を使用した。粘性の先駆物質数滴を回転ディスク上に固定された高密度ＬＳＦＣＲＭ基材の研磨表面上に置いた。皮膜の付着に３５００ｒｐｍの回転速度を５秒間使用した。回転被覆後、基材上の先駆物質の付着したままの状態の皮膜をホットプレート上で８０℃において５分間乾燥し、そして後イオン輸送用のセラミック上被ホットプレートに移しそして約３００℃において少なくとも５分間加熱した。回転被覆及び乾燥プロセス全体を基材表面上に高密度の薄膜が基材表面上に形成されるまで３０サイクル繰り返した。
【００４２】
（実施例６）
コロイド懸濁液を使用する重合体先駆物質Ｌａ0.05Ｓｒ0.95ＣｏＯ3の作製
本例においては、重合体先駆物質がコロイド懸濁系中に導入されて、系の無機含有量を増加しそして焼結中の被膜と基材との間の収縮不整合を減じる。コロイド系は、分散媒体（即ち連続相）中に細かく分断された状態で一様に分布せしめられる分散相（即ち不連続相）から成る。伝統的なコロイド系は、分散相の少なくとも１種の寸法が１〜１０００μｍの範囲、即ち１０Åと１μｍとの間にある分散と関与する。応用コロイド系においては、寸法上限は、少なくとも１０，０００から１００，０００μｍまで拡張される。本発明に従うコロイド系においては、分散された粉末寸法は、好ましくは５０μｍ未満、より好ましくは１μｍ未満、最も好ましくは０．１μｍ未満である。重合体先駆物質は、イオン輸送懸濁液中でバインダ及び安定化剤として使用されて系の安定性を増加する。通常、重合体先駆物質の組成は、所望の組成の皮膜を得るため液体懸濁液におけるイオン輸送体のそれと同等である。この液体先駆物質を使用することにより、クラックを含まないイオン輸送膜が、単一被覆段階に対して０．５μｍを超える厚さで実現されうる。表ＩＩＩは、複合イオン輸送皮膜作製のためのＬＳＣの液体先駆物質を調製するための配合物を例示する。
【００４３】
【表３】
液体先駆物質は、部分Ａをポリエチレン製ボトルに入れそして１８−２４時間ＹＳＺボールでボールミル処理することにより調製される。もしイオン輸送粉末が水に対して感応性であるなら、エチレングリコールが溶剤として代替しうる。部分Ｂのための成分は例１に記載したプロセスにより調製される。その後、部分Ｂが部分Ａに添加されそして混合物が追加４時間ボールミル処理される。これで、この液体先駆物質は、浸漬被覆或いはスプレイ被覆技術により皮膜作製に使用できる状態にある。これは、筒状若しくは複雑な形状の複合要素に対して２〜５μｍの範囲の厚さを有するイオン輸送膜を作製するのに使用できる。
【００４５】
ここで開示した発明は、次の構造式により表される混合伝導性酸化物の被膜を作製するのに殊に有用である：ＡｒＡ’ｓＡ”ｔＢｕＢ’ｖＢ”ｗＯｘ（ここで、ＩＵＰＡＣにより採用されている元素の周期律表に従って、Ａ、Ａ’、Ａ”は族１、２、３及びＦブロックランタニドから選択され、そしてＢ、Ｂ’、Ｂ”はＤブロック遷移金属から選択される。この場合、０＜ｒ≦１、０≦ｓ≦１、０≦ｔ≦１、０≦ｕ≦１、０≦ｕ≦１、０≦ｗ≦１であり、そしてｘは化合物の電荷を中性とする数である。好ましくは、上記構造式のＡ、Ａ’、Ａ”はマグネシウム、カルシウム、ストロンチウム及びバリウムからなる族２金属である。好ましい混合伝導性酸化物はＡ’ｓＡ”ｔＢｕＢ’ｖＢ”ｗＯｘ（ここで、Ａ’はランタニド、Ｙ若しくはその混合物を表し、Ａ”はアルカリ土類金属若しくはその混合物を表し、ＢはＦｅを表し、Ｂ’はＣｒ，Ｔｉ若しくはその混合物を表し、そしてＢ”はＭｎ，Ｃｏ，Ｖ，Ｎｉ，Ｃｕ若しくはその混合物を表す。ｓ，ｔ，ｕ，ｖ及びｗは、０から約１までの数を表す。本発明はまた、次の米国特許第５，７０２，９９９；５，７１２，２２０及び５，７３３，４３５号に開示される他の種の薄膜混合伝導体に対しても有用である。
【００４６】
本発明は、様々の基材上への被覆展延方法を包括し、例えば次のものを含む：
１）液体先駆物質の回転被覆；
２）液体先駆物質の浸漬被覆；
３）液体先駆物質のスプレイ被覆；
４）液体先駆物質のスリップ流し込み；
５）溶射、プラズマスプレイ；並びに
６）その組合せ
【００４７】
用語「包含」とは、「限定ではなく含む」を意味するものとして、即ち記載された特徴、数字、段階若しくは成分乃至要素に特定されるものではなく、一つ以上の他の特徴、数字、段階、成分乃至要素或いはその組合せの存在乃至追加を排除しないものとして使用される。当業者には、本発明の範囲内で別の具体例を具現することができよう。
【００４８】
【発明の効果】
単一の被覆段階、若しくは高々数回の被覆段階を使用して、０．５μｍを超える厚さを有するクラックを含まないイオン輸送皮膜を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】未被覆ＬＳＣ基材並びに本発明の一具体例に従い５、１２及び１８被覆サイクル後の基材を通しての窒素透過率を示すグラフである。
【図２】図１の１８回被覆複合体を通してのそして２種の高密度ディスクを通しての酸素流束を示すグラフである。
【図３】酸素流束への基材多孔率の影響を示すグラフである。
【図４】本発明の一具体例に従うまた別の複合体を通してのそして２種の別の高密度ディスクを通しての酸素流束を示すグラフである。
【図５】（ａ）及び（ｂ）は、被覆及び未被覆ＬＳＣＦディスクに対する18Ｏ同位体交換データをそれぞれ示すグラフである。
Claims (3)
- セラミック粉末のコロイド懸濁液を用意し、
金属カチオンを含有する重合体先駆物質を用意し、
前記金属カチオンを含有する重合体先駆物質とコロイド懸濁液を混合し、
前記混合物を膜支持体に被覆して複合構造体を形成し、そして
前記複合構造体を前記セラミック粉末が焼結して高密度膜を形成するまで加熱することにより、前記支持体上にセラミック膜を作製する方法。 - さらに、複数の金属カチオン源化合物を重合性有機溶剤を含む水性混合物中に溶解することにより第２溶液を調製し、該第２溶液を加熱して金属カチオンを含む重合体としての封着用先駆物質を形成し、そして封着用先駆物質を前記形成された高密度膜に被覆することにより皮膜を形成することにより、前記形成された高密度膜中の欠陥を排除することを更に含む請求項１の方法。
- 水基溶剤を含みそしてすべてが１ミクロン未満の直径を有するセラミック粉末のコロイド懸濁液を用意し、
複数の金属カチオン源化合物を重合性有機溶剤を含む水性混合物中に溶解することにより第１溶液を調製しそして該第１溶液を加熱して金属カチオンを含む重合体としての先駆物質を形成することにより重合体先駆物質を用意し、
重合体先駆物質とコロイド懸濁液とを混合し、
該混合物を膜支持体上に被覆して複合構造体を形成し、そして
該複合構造体を前記セラミック粉末が焼結して高密度膜を形成するまで加熱することにより、前記支持体上にセラミック膜を作製する方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US09/140,452 US6165553A (en) | 1998-08-26 | 1998-08-26 | Method of fabricating ceramic membranes |
| US09/140452 | 1998-08-26 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000128545A JP2000128545A (ja) | 2000-05-09 |
| JP3691693B2 true JP3691693B2 (ja) | 2005-09-07 |
Family
ID=22491283
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23667899A Expired - Fee Related JP3691693B2 (ja) | 1998-08-26 | 1999-08-24 | セラミック膜を作製する方法 |
Country Status (10)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6165553A (ja) |
| EP (1) | EP0982068A3 (ja) |
| JP (1) | JP3691693B2 (ja) |
| KR (1) | KR100452122B1 (ja) |
| CN (1) | CN1251318A (ja) |
| AU (1) | AU4469299A (ja) |
| CA (1) | CA2281078A1 (ja) |
| ID (1) | ID23625A (ja) |
| NO (1) | NO994077L (ja) |
| ZA (1) | ZA995419B (ja) |
Families Citing this family (37)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001302246A (ja) * | 2000-04-24 | 2001-10-31 | Murata Mfg Co Ltd | セラミックの製造方法およびセラミック |
| FR2809666B1 (fr) * | 2000-05-31 | 2003-03-14 | Rollin Sa | Procede de fabrication d'un blanchet d'impression multicouches et blanchet ainsi obtenu |
| US6899117B2 (en) * | 2001-11-30 | 2005-05-31 | Kipley Roydon Marks | Mounting assembly and method |
| WO2003075383A2 (en) * | 2002-02-28 | 2003-09-12 | Us Nanocorp, Inc. | Solid oxide fuel cell components and method of manufacture thereof |
| WO2003089117A1 (en) * | 2002-04-18 | 2003-10-30 | Trustees Of Boston University | Hydrogen separation using oxygen ion-electron mixed conducting membranes |
| US7279027B2 (en) * | 2003-03-21 | 2007-10-09 | Air Products And Chemicals, Inc. | Planar ceramic membrane assembly and oxidation reactor system |
| US20040247791A1 (en) * | 2003-06-03 | 2004-12-09 | United States Department Of Energy | Method for preparing nanocrystalline ceramic thin films |
| CA2484919A1 (en) * | 2003-10-15 | 2005-04-15 | Universite De Sherbrooke | Solid electrolyte fuel cell supported by an integrated reformer |
| US7476460B2 (en) * | 2003-10-29 | 2009-01-13 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Thin metal oxide film and method of making the same |
| US7595085B2 (en) * | 2004-03-09 | 2009-09-29 | Delphi Technologies, Inc. | Ceramic assembly with a stabilizer layer |
| US7588626B2 (en) * | 2004-11-23 | 2009-09-15 | Trustees Of Boston University | Composite mixed oxide ionic and electronic conductors for hydrogen separation |
| RU2403655C9 (ru) * | 2005-04-21 | 2011-04-20 | Члены Правления Университета Калифорнии | Инфильтрация исходного материала и способ покрытия |
| US20080075866A1 (en) * | 2005-06-09 | 2008-03-27 | Vladimir Petrovsky | Method for low temperature densification of ceramic materials |
| US20090071841A1 (en) | 2005-06-16 | 2009-03-19 | Boston University | Waste to hydrogen conversion process and related apparatus |
| US20100015014A1 (en) * | 2005-09-29 | 2010-01-21 | Srikanth Gopalan | Mixed Ionic and Electronic Conducting Membrane |
| US7842200B2 (en) * | 2006-05-30 | 2010-11-30 | University Of Maryland, College Park | Solid oxide fuel cell (SOFC) anode materials |
| JP5155597B2 (ja) * | 2007-05-21 | 2013-03-06 | 株式会社日本セラテック | セラミック薄膜の製造方法 |
| JP5214907B2 (ja) * | 2007-05-21 | 2013-06-19 | 株式会社日本セラテック | 固体電解質膜およびその製造方法 |
| CN101835954B (zh) * | 2007-08-27 | 2013-07-31 | 威立雅水处理技术北美公司 | 用于在重油回收中移除硅石的工艺 |
| US7905283B2 (en) * | 2007-08-27 | 2011-03-15 | Hpd, Llc | Process for removing silica in heavy oil recovery |
| EP2030960A3 (en) * | 2007-08-31 | 2012-04-18 | The Technical University of Denmark | Polymerised inorganic-organic precursor solutions and sintered membranes |
| EP2030673A1 (en) * | 2007-08-31 | 2009-03-04 | The Technical University of Denmark (DTU) | Cheap thin film oxygen membranes |
| EP2030674A1 (en) * | 2007-08-31 | 2009-03-04 | The Technical University of Denmark | Membrane with a stable nenosized microstructure and method for producing same |
| JP5533862B2 (ja) * | 2009-05-15 | 2014-06-25 | 富士通株式会社 | ガス発生装置およびガス発生方法 |
| WO2011008275A2 (en) * | 2009-07-14 | 2011-01-20 | Massachusetts Institute Of Technology | Systems and methods for enhancing the surface exchange of oxygen |
| KR101178457B1 (ko) * | 2010-05-14 | 2012-09-06 | 한국에너지기술연구원 | Ｌｓｔｆ-6437이 코팅된 ｂｓｃｆ-5582 산소분리막 및 그 제조방법 |
| CN102755839B (zh) * | 2012-08-10 | 2014-06-18 | 西北有色金属研究院 | 多孔金属管表面氧化锆过渡层的制备方法 |
| US20140263056A1 (en) | 2013-03-14 | 2014-09-18 | Veolia Water Solutions & Technologies North America, Inc. | Process for water treatment prior to reverse osmosis |
| AU2013205109B2 (en) | 2013-03-14 | 2017-04-06 | Veolia Water Technologies, Inc. | Process for recovering oil from an oil-bearing formation and treating produced water containing anti-scaling additives |
| AU2013205118B2 (en) | 2013-03-15 | 2016-03-24 | Veolia Water Technologies, Inc. | Oil Recovery Process Including Treating Permeate From a Ceramic Membrane to Enhance Oil Recovery |
| WO2014190112A2 (en) | 2013-05-23 | 2014-11-27 | Veolia Water Solutions & Technologies Support | Wastewater treatment processes employing high rate chemical softening systems |
| CN103272488B (zh) * | 2013-05-23 | 2015-10-28 | 南京工业大学 | 多层复合陶瓷氧渗透膜及其制备和应用 |
| FR3018800B1 (fr) | 2014-03-21 | 2016-04-29 | Total Sa | Procede d'extraction d'huiles lourdes et de generation de vapeur d'eau |
| JP6658038B2 (ja) * | 2016-02-08 | 2020-03-04 | 日本製鉄株式会社 | 低温作動可能なペロブスカイト型酸化物吸着材およびその製造法 |
| WO2017176820A1 (en) | 2016-04-05 | 2017-10-12 | Veolia Water Technologies, Inc. | Process for water treatment prior to reverse osmosis |
| US10183258B2 (en) * | 2016-06-30 | 2019-01-22 | L'air Liquide Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Metallopolyimide precursor fibers for aging-resistant carbon molecular sieve hollow fiber membranes with enhanced selectivity |
| KR101868686B1 (ko) * | 2016-06-30 | 2018-06-19 | 중앙대학교 산학협력단 | 이온전도성 막의 제조 방법 |
Family Cites Families (27)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3330697A (en) * | 1963-08-26 | 1967-07-11 | Sprague Electric Co | Method of preparing lead and alkaline earth titanates and niobates and coating method using the same to form a capacitor |
| JPS5320959B2 (ja) * | 1973-05-14 | 1978-06-29 | ||
| US4859525A (en) * | 1985-02-25 | 1989-08-22 | University Of Florida | Method for low temperature processing of lightweight SiC/SiO2 composites and products |
| US4921731A (en) * | 1986-02-25 | 1990-05-01 | University Of Florida | Deposition of ceramic coatings using sol-gel processing with application of a thermal gradient |
| DE3727396A1 (de) * | 1987-08-17 | 1989-03-02 | Philips Patentverwaltung | Verfahren zur herstellung von keramischen pulvern mit perowskitstruktur |
| US5114702A (en) * | 1988-08-30 | 1992-05-19 | Battelle Memorial Institute | Method of making metal oxide ceramic powders by using a combustible amino acid compound |
| US5147515A (en) * | 1989-09-04 | 1992-09-15 | Dipsol Chemicals Co., Ltd. | Method for forming ceramic films by anode-spark discharge |
| US5342431A (en) * | 1989-10-23 | 1994-08-30 | Wisconsin Alumni Research Foundation | Metal oxide membranes for gas separation |
| DK0766330T3 (da) * | 1989-12-27 | 2002-10-07 | Standard Oil Co | Bestanddele til anvendelse i elektroniskemiske celler og deres anvendelse ved oxygenseparation |
| US5061682A (en) * | 1990-01-17 | 1991-10-29 | The Washington Technology Center | Ceramic precursor mixture and technique for converting the same to ceramic |
| US5196388A (en) * | 1991-06-10 | 1993-03-23 | Akzo N.V. | Process for the preparation of double metal oxide powders containing a Group IIIA and a Group IVB element and a novel double metal hydroxyl carboxylate useful in preparing same |
| US5360635A (en) * | 1992-01-02 | 1994-11-01 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method for manufacturing inorganic membranes by organometallic chemical vapor deposition |
| US5242631A (en) * | 1992-01-13 | 1993-09-07 | Westinghouse Electric Corp. | Method for coating nuclear fuel pellets |
| US5352481A (en) * | 1992-05-29 | 1994-10-04 | Hughes Aircraft Company | Process for forming particles having a uniform size distribution |
| US5240480A (en) * | 1992-09-15 | 1993-08-31 | Air Products And Chemicals, Inc. | Composite mixed conductor membranes for producing oxygen |
| US5358695A (en) * | 1993-01-21 | 1994-10-25 | Physical Sciences, Inc. | Process for producing nanoscale ceramic powders |
| JPH0769720A (ja) * | 1993-06-17 | 1995-03-14 | Toho Gas Co Ltd | 複合材分散強化型固体電解質材料 |
| US5569633A (en) * | 1994-01-12 | 1996-10-29 | Air Products And Chemicals, Inc. | Ion transport membranes with catalyzed dense layer |
| US5494700A (en) * | 1994-04-05 | 1996-02-27 | The Curators Of The University Of Missouri | Method of coating a substrate with a metal oxide film from an aqueous solution comprising a metal cation and a polymerizable organic solvent |
| JP3331056B2 (ja) * | 1994-07-14 | 2002-10-07 | 東邦瓦斯株式会社 | 分散強化型固体電解質材料及びこれを用いた固体電解質焼結体 |
| AU706663B2 (en) * | 1994-09-23 | 1999-06-17 | Standard Oil Company, The | Oxygen permeable mixed conductor membranes |
| US5681373A (en) * | 1995-03-13 | 1997-10-28 | Air Products And Chemicals, Inc. | Planar solid-state membrane module |
| US5599383A (en) * | 1995-03-13 | 1997-02-04 | Air Products And Chemicals, Inc. | Tubular solid-state membrane module |
| US5585136A (en) * | 1995-03-22 | 1996-12-17 | Queen's University At Kingston | Method for producing thick ceramic films by a sol gel coating process |
| KR100275822B1 (ko) * | 1995-05-18 | 2000-12-15 | 조안 엠. 젤사 | 압력 구동식 고체전해질 막을 통한 가스분리방법(pressure driven solid electrolyte membrane gas separation method) |
| US5611931A (en) * | 1995-07-31 | 1997-03-18 | Media And Process Technology Inc. | High temperature fluid separations using ceramic membrane device |
| ID19327A (id) * | 1996-12-31 | 1998-07-02 | Praxiar Technology Inc | Membran elektrolit padat dengan unsur pokok pemertinggi secara mekanik dan pemertinggi secara katalitik yang bersifat dapat menyerap |
-
1998
- 1998-08-26 US US09/140,452 patent/US6165553A/en not_active Expired - Fee Related
-
1999
- 1999-07-15 ID IDP990672D patent/ID23625A/id unknown
- 1999-08-16 KR KR10-1999-0033623A patent/KR100452122B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1999-08-24 CA CA002281078A patent/CA2281078A1/en not_active Abandoned
- 1999-08-24 AU AU44692/99A patent/AU4469299A/en not_active Abandoned
- 1999-08-24 ZA ZA9905419A patent/ZA995419B/xx unknown
- 1999-08-24 JP JP23667899A patent/JP3691693B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1999-08-24 EP EP99116542A patent/EP0982068A3/en not_active Withdrawn
- 1999-08-24 NO NO994077A patent/NO994077L/no not_active Application Discontinuation
- 1999-08-24 CN CN99118127A patent/CN1251318A/zh active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100452122B1 (ko) | 2004-10-08 |
| EP0982068A3 (en) | 2000-11-02 |
| NO994077D0 (no) | 1999-08-24 |
| CN1251318A (zh) | 2000-04-26 |
| KR20000017325A (ko) | 2000-03-25 |
| CA2281078A1 (en) | 2000-02-26 |
| JP2000128545A (ja) | 2000-05-09 |
| ZA995419B (en) | 2000-02-24 |
| EP0982068A2 (en) | 2000-03-01 |
| NO994077L (no) | 2000-02-28 |
| US6165553A (en) | 2000-12-26 |
| AU4469299A (en) | 2000-03-09 |
| ID23625A (id) | 2000-05-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3691693B2 (ja) | セラミック膜を作製する方法 | |
| US5938822A (en) | Solid electrolyte membrane with porous catalytically-enhancing constituents | |
| JP3011391B2 (ja) | 触媒化された稠密層を有するイオン輸送膜 | |
| US6187157B1 (en) | Multi-phase solid electrolyte ionic transport membrane and method for fabricating same | |
| US5683797A (en) | Inorganic membranes | |
| US7670679B2 (en) | Core-shell ceramic particulate and method of making | |
| US6332964B1 (en) | Multi-phase solid ion and electron conducting membrane with low volume percentage electron conducting phase and methods for fabricating | |
| US20100015014A1 (en) | Mixed Ionic and Electronic Conducting Membrane | |
| US20140335266A1 (en) | Process For Preparing A Sol-Gel From At Least Three Metal Salts And Use Of The Process For Preparing A Ceramic Membrane | |
| US6613384B1 (en) | Method for manufacturing a membrane | |
| Li et al. | Single-step fabrication of asymmetric dual-phase composite membranes for oxygen separation | |
| Li et al. | Preparation and characterization of supported dense oxygen permeating membrane of mixed conductor La2NiO4+ δ | |
| Julian et al. | Elaboration of La0. 8Sr0. 2Fe0. 7Ga0. 3O3− δ/La0. 8M0. 2FeO3− δ (M= Ca, Sr and Ba) asymmetric membranes by tape-casting and co-firing | |
| Kim et al. | Synthesis and oxygen‐permeation properties of thin YSZ/Pd composite membranes | |
| CA2225871C (en) | Solid electrolyte membrane with mechanically-enhancing constituents and porous catalytically enhancing constituents | |
| Kim et al. | Synthesis and Characterization of Suspension‐Derived, Porous Ion‐Conducting Ceramic Membranes | |
| JP2502250B2 (ja) | 有機金属化学蒸気浸透による無機膜の製法 | |
| Van der Haar et al. | Homogeneous porous perovskite supports for thin dense oxygen separation membranes | |
| Takamura et al. | Oxygen permeation properties and surface modification of acceptor-doped CeO 2/MnFe 2 O 4 composites | |
| Li et al. | Supported dense oxygen permeating membrane of mixed conductor La2Ni0. 8Fe0. 2O4+ δ prepared by sol–gel method | |
| MXPA99007833A (es) | Metodo para fabricar membranas de ceramica | |
| KR100569882B1 (ko) | 혼합전도성 페로프스카이트 다성분계 금속 산화물로구성된 산소투과 분리막 및 그 표면층 개질방법 | |
| Ward | Supported dense ceramic membranes for oxygen separation | |
| Hong et al. | Fabrication of dense La0. 05Sr0. 95CoO3− y thin film on porous MgO and CeO2 substrates | |
| KR20000062853A (ko) | 낮은 부피 비의 전자 전도상을 갖는 다상 고체 이온 및 전자 전도막과 그 제조 방법 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040302 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20040602 |
|
| A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20040607 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040707 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050104 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050330 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050607 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050616 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |