JP3690983B2 - 出力光モニタ付光導波路型素子 - Google Patents
出力光モニタ付光導波路型素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3690983B2 JP3690983B2 JP2000380629A JP2000380629A JP3690983B2 JP 3690983 B2 JP3690983 B2 JP 3690983B2 JP 2000380629 A JP2000380629 A JP 2000380629A JP 2000380629 A JP2000380629 A JP 2000380629A JP 3690983 B2 JP3690983 B2 JP 3690983B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- output
- optical waveguide
- light
- monitor
- reinforcing capillary
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Optical Integrated Circuits (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、出力光モニタ付光導波路型素子に関するものである。更に詳しく述べるならば、本発明は、光通信分野において、例えば外部強度変調の用途に用いられ、強度変調の動作点を、光出力をモニタして、フィードバック制御することができる出力光モニタ付光導波路型素子に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
LiNbO3 (以下LNと記す)又はGaAsなどからなる基板の表面部に光導波路を形成した光導波路型光強度素子は、その高速性、波長依存性が低いこと及び駆動電圧が低いこと、などの長所を有し、このために、光通信分野の外部変調器として広く実用されている。特に前記低波長依存性を活用してDWDMシステムにおいて広く用いられている。
【0003】
しかしながら、光導波路型変調器には、温度ドリフト及びDCドリフトと称される動作点電圧のドリフト現象があり、このため、出力光をモニタし、その出力に応じて、動作点電圧にフィードバックして、上記ドリフト現象があってもその動作点を所定特性曲線上の同一点に保持するように、印加DC電圧を制御することが必要である。
【0004】
出力光をモニタするために、出力光ファイバを、変調器モジュール外において、光カプラに結合し、この光カプラにおいて、出力光を、主信号光とモニタ用分岐光とに分岐し、モニタ用分岐光を、光電変換素子において、電気信号に変換し、この電気信号によりDC電圧を制御するシステムが知られている。しかし、このシステムにおいては、モニタ用光の分岐のための光カプラ及び光電変換素子を、変調器モジュール外に配置することが必要であり、このため変調器システムのコストが増大し、その寸法、形状における制約が大きく、かつ信頼性が不十分であるという問題点がある。
【0005】
上記従来の変調器システムの問題点を克服するために、表面光導波路の結合部において発生する放射モード光をモニタ光として利用するシステムが提案されている。しかし、この放射モード光をモニタ光として利用するシステムにおいては、光導波路素子の入力端において、光ファイバから導波路中に入力せずに、基板中に洩れ出た光及び導波路内において、散乱して、導波路外に洩れ出た光などが、モニタ用放射モード光とともにモニタ用光電変換素子に入力してしまうため、モニタ用出力の消光比が劣化するという問題があった。特に出力光モニタの目的が、動作点の安定化の他にアッテネータモジュールにおける出力光の強度をモニタすること、又は、光信号波形をモニタすることにある場合には、モニタ光の消光比は、主出力(信号)光と同程度であることが必要である。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、寸法、形状に関する制約が少なく、信頼性が高く、コストが低いのみならず、さらに、モニタ光の消光比を主出力信号光と同程度することができる、出力光モニタ付光導波路型素子を提供しようとするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明の出力光モニタ付光導波路型素子は、誘電体基板及びその表面部分に形成された光導波路を有する光導波路素子と、出力光モニタ用光電変換素子とを有し、
前記光導波路が、複数の表面導波路部と、それに、方向性結合器、クロスカプラ構造、又はTAPカプラ構造を介して結合している主出力光導波路部、及びモニタ光出力導波路部とを有し、
前記光導波路の主出力光導波路部及びモニタ光出力導波路部の出力端は、光を伝播する補強キャピラリの接合面に接合していて、
前記主出力光導波路部の出力端は、前記補強キャピラリに形成された透孔及び/又は溝を通って挿入された光ファイバの入力端に接合されており、
前記モニタ光導波路部の出力端から出力され、前記補強キャピラリ中を伝播し、前記補強キャピラリの先端面を透過して、又は前記先端面において反射して出力されたモニタ光が、前記出力光モニタ用光電変換素子に入力され、
前記光電変換素子による、不要光の受光を防止するために、
前記補強用キャピラリの先端面の、前記出力光モニタ用光電変換素子に指向する前記モニタ光の伝播及び出力に関与しない部分の少なくとも一部が切除されており、
かつ前記光導波路の前記主出力光導波路部の出力端と、前記モニタ光導波路部の出力端とは、前記モニタ光導波路部の出力端から出力され、前記補強キャピラリ中を伝播するモニタ光が、前記主出力光導波路部の出力端から出力された主出力光により影響を受けない間隔をもって離間している、
ことを特徴とするものである。
本発明の出力光モニタ付光導波路型素子において、前記補強キャピラリの先端面は、前記モニタ光導波路部の光軸に斜交する反射面を形成していて、前記モニタ光導波路部の出力端から出力され、前記補強キャピラリ中を伝播したモニタ光を、前記出力光モニタ用光電変換素子に向って反射することが好ましい。
本発明の出力光モニタ付光導波路型素子において、前記補強キャピラリの先端面が、外側に向って凸形の曲面を形成していて、前記補強キャピラリを伝播したモニタ光が、前記曲面において反射され、前記出力光モニタ用光電変換素子において収束されることが好ましい。
本発明の出力光モニタ付光導波路型素子において、前記補強用キャピラリの先端面の、前記出力光モニタ用光電変換素子に指向するモニタ光の伝播及び出力に関与しない部分の少なくとも一部が切除されている、ことが好ましい。
本発明の出力光モニタ付光導波路型素子において、前記光導波路素子が、
前記表面導波路部の、但し、前記表面導波路部の入力端部分並びに前記主出力光導波路部及びモニタ光出力導波路部の出力端部分を除く表面上に形成されたSiO2層をさらに有していてもよい。
【0008】
【発明の実施の形態】
図1により、従来の出力光モニタ付光導波路型素子の構成を説明する。
図1において、導波路基板1上に複数の表面光導波路部2を有する光導波路が形成されており、その入力側端面は入力側光ファイバ4に接合されている。複数(図1においては2個)の表面導波路部2は結合部3において結合し、この結合部3に結合されている出力光導波路部3aの出力端は出力側光ファイバ5に接合されている。この出力光導波路部3aの出力端と、出力側光ファイバ5との結合部を補強するために、補強キャピラリ7が、基板1及び出力光導波路部3aに接合されており、この補強キャピラリ7は、出力側光ファイバ5を挿入するための透孔5aを有している。
【0009】
上記構成を有するマッハツェンダ型光導波路を有し、ON/OFF信号出力を得る光素子、例えば光変調器において、OFFモード状態、すなわち光信号が出力されていない状態において発生する放射モード光(モニタ光)6は、表面導波路の結合部近傍より光信号出力が導波される出力光導波路に対して、斜め外側方向の基板内に放射される。この放射モード光(モニタ光)6は通常基板内を伝播し、最終的には基板端面より外部に放射される。また、この放射モード光(モニタ光)6の光量は出力光導波路内を通る光信号出力の光量と相補性があるため、放射モード光(モニタ光)6を検知することにより光信号出力のモニタが可能である。
【0010】
光変調器の基板端面には、光導波路からの光信号出力を受け取り変調器の外部に導光するための光ファイバ5が取り付けられるが、この光ファイバの外径は125μmと非常に細いため、基板端面に単純に接着しただけでは接着強度が不足する。このため、ファイバ補強部材キャピラリ7を使用して光ファイバ5を被覆し、この補強キャピラリの1端面を、基板1の端面に接着することにより光ファイバと光導波路との接続部を補強保護し、その接着強度を向上させることができる。一般に、この補強用キャピラリには、通常シリコン材料あるいはセラミックス材料が使用されている。ここで、補強キャピラリを、その材質として信号光/放射モード光(モニタ光)が透過するものを用い、さらに、基板端面より放射される前記放射モード光(モニタ光)を受光し得る大きさに形成すれば、モニタ光6をこの補強キャピラリ内に導光することができる。
【0011】
前記補強キャピラリの反対側端面(光ファイバ補強部材の、光導波路素子の出力端面に接着されている接合端面に対し反対側の面)を、例えば前記出力光導波路部の光軸と斜交するように形成すると、この傾斜端面において、補強キャピラリ中を伝播してきたモニタ光6が反射され、補強キャピラリ7の外(出力光ファイバが取り出される方向とは異なる上、右、下、左のいずれかの方向)に導出される。この導出された光を、光導波路素子とは別個に配置された受光素子、例えばフォトダイオード(PD)9に受光してモニタ光の光量を測定し、その値から、光導波路から出力されている主出力光の光量をモニタすることができる。
【0012】
しかしながら、上記のシステムにおいては、前述のように、入力側光ファイバから基板内に洩れた光及び、導波路内において散乱して基板中に洩れ出た光などが、放射モード光とともに受光素子に入力するため、モニタ光出力の消光比が劣化するという問題点がある。
消光比とは光素子、例えば光変調器において、ON/OFF信号出力するときのモニタ最大出力と、モニタ最小出力の比と定義される。
【0013】
本発明の素子においては、例えば図2に示されているように基板1上に形成された複数の表面導波路部2の結合部3において、主出力光導波路3aから分岐しているモニタ光導波路部11を形成し、これらの出力端面を、モニタ光を受光し得る大きさの補強キャピラリ7に結合する。モニタ光導波路部11の出力端面から出力されたモニタ光は、補強キャピラリ7内を伝播するから、このモニタ光を受光素子に導けばよい。例えば図2−(a)に示されているように、補強キャピラリ7の先端反射面8において、モニタ光が反射されて、受光素子9において受光される。先端反射面8と、モニタ光導波路部11の光軸との斜交角度は反射されたモニタ光の出力光6aが、受光素子9において受光されるように設定すればよい。また、この先端反射面を図2−(b)に示されているように、外側に向って凸形の曲面に形成し、この反射曲面8aにおいて反射されたモニタ光6aを受光素子aにおいて収束してもよい。また、反射先端面に反射率の高い膜体、例えばAu,Ptなどからなる反射膜を貼着してもよい。
本発明の素子において、補強キャピラリ中を伝播するモニタ光がその先端面を透過して、(反射することなく)出力され、受光素子に入力されてもよい。
前記本発明の素子において、前記補強用キャピラリの先端面の、前記出力光モニタ用光電変換素子に指向する前記モニタ光の伝播及び出力に関与しない部分の少なくとも一部を、切除して、光電変換素子における不要光の受光を防止する。
【0014】
本発明の図2−(a)及び(b)に示された素子において、主出力光導波路部の出力端と、モニタ光導波路部の出力端との間隔は、モニタ光導波路部の出力端から出力され、補強キャピラリを伝播するモニタ光6と、主出力光導波路部3aの出力端から出力された主出力光とが、互に影響を受けない(蹴られない)ように設定することが好ましい。より好ましくは、それぞれの光束中心間隔は、出力側光ファイバの半径以上(シングルモード光ファイバの場合は62.5μm以上)である。
【0015】
図2−(a)又は(b)において、モニタ光導波路部11の出力端から出力されたモニタ光は、補強キャピラリ7中を伝播し、補強キャピラリ7の先端面8又は先端曲面8aにより反射され、反射されたモニタ光出力光6aは、受光素子9により受光される。このとき、補強キャピラリ7を伝播するモニタ光の光束は、補強キャピラリ7の一部分のみを伝播し、このモニタ光の伝播路は、主出力光導波路部3aの出力端から出力された主出力光の伝播路から離間していて、これらが、互いに影響を及ぼすことはない。
【0016】
本発明の素子において、複数の表面導波路部の結合部において、主出力光導波路部とモニタ光出力導波路部の結合には、例えば図3(A)〜(C)に示された方式を用いることができる。図3(A)においては、TAP(タップ)カプラー構造12によりモニタ光導波路部11が主出力光導波路部3aに結合されている。この場合、信号光の一部分がモニタ光として、モニタ光導波路11を通って補強キャピラリに出力される。図2(B)においては、方向性結合器13が結合部に配置され、また図3(C)においては、結合部が、クロスカップラ構造14に形成されている。図3(B)及び(C)の場合、結合部において発生した放射モード光が、モニタ光としてモニタ光導波路11を通って補強キャピラリ中に出力される。
【0017】
図4に示されている本発明の素子において、補強キャピラリ7は、モニタ光導波路部11から入力したモニタ光を伝播し、これを先端面8において受光素子9に出力し、かつ光ファイバを保持する領域、すなわち有効領域15aを有していればよく、その他の、モニタ光の伝播及び出力に寄与しない領域15bを、光ファイバの保持に支障がない限りカットして、光電変換素子による、不要光の受光を防止する。
【0018】
例えば図5に示されているように、補強キャピラリ7の光導波路素子に接合している接合部7aは、円筒形に形成され、この接合部7aに光ファイバ(図示されていない)を通す透孔16が形成されているが、接合部7aに連続する中間部7bにおいては、図5において、透孔16の中心より左半分がカット除去されていて、この中間部7bには前記透孔16に連続する溝17が形成されていて、この溝17中に光ファイバを収容保持する。補強キャピラリ7の、前記中間部に連続し、先端に反射面8を有する先端部7cにおいては、モニタ光の伝播路及び反射部が確保する有効部15aを残して、その他の部分はカット除去されている。
【0019】
前記図4及び5に示されているように、補強キャピラリの、モニタ光の伝播出力及び光ファイバの保持に寄与しない部分15bをカット除去して、不要光の受光を防止する。それにより、光ファイバと光導波路とが、十分に結合されていないことに起因する漏れ光、及び導波路散乱光の発生などによる不要光を、光電変換素子が受光することを防止することができ、かつモニタ光の消光比を向上させるなどの利点を得ることができる。
【0020】
図6(A)及び(B)に示されている素子においては、光導波路素子の基板1上に光導波路3aが形成され、その上にSiO2 層が形成されるが、光導波路3aの入力光導波路部、及び主出力光及びモニタ光導波路部が形成されている基体表面部分1a及び1b上には、SiO2 層が形成されていない。すなわち、SiO2 層は、光導波路の入力端及び出力端の近傍においては形成されていないということである。このようにすることによってSiO2層内の漏洩光が、補強キャピラリに入力することを防止でき、モニタ光の消光比を向上させるなどの利点が得られる。光導波路の複数個の表面導波路部2の上には、SiO2 層を介して電極が配置されており、この電極に付荷する電位差により、表面導波路部を伝播する光波強度に所望の変調を施すことができる。
【0021】
【発明の効果】
本発明の出力光モニタ付光導波路型素子は、光導波路の結合部から発生するモニタ光を、主出力光と互に影響を及ぼすことなく、効率よく、かつ、主出力光と同程度の消光比で、受光素子に受光することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の出力光モニタ付光導波路型素子の一例の構成を示す平面説明図。
【図2】図2−(a)及び図2−(b)はそれぞれ本発明の出力光モニタ付光導波路型素子の一例の構成を示す平面図。
【図3】図3−(A),(B)及び(C)の各々は、本発明の出力光モニタ付光導波路型素子の複数表面導波路部の結合部において、主出力光導波路部とモニタ光導波路部との結合方式の一例を示す平面説明図。
【図4】本発明の出力光モニタ付光導波路型素子用補強キャピラリの一例の先端部の側面説明図。
【図5】本発明の出力光モニタ付光導波路型素子用補強キャピラリの形状の一例を示す斜視説明図。
【図6】図6(A)は、本発明の出力光モニタ付光導波路型素子の他の一例の平面説明図、図6(B)は、図6(A)の素子の正面説明図。
【符号の説明】
1…基板
1a,1b…基板のSiO2 層により被覆されていない部分
2…表面導波路部
3…結合部
3a…主出力光導波路部
4…入力側光ファイバ
5…出力側光ファイバ
5a…光ファイバ用透孔
6…モニタ光
6a…モニタ光の出力光
7…補強キャピラリ
7a…接合部
7b…中間部
7c…先端部
8…先端面
8a…外側に向って凸形の先端曲面
9…受光素子
11…モニタ光導波路部
12…TAPカップラ構造
13…方向性結合器
14…クロスカップラ構造
15a…補強キャピラリの有効領域
15b…モニタ光の出力に寄与しない領域
16…光ファイバ用透孔
17…光ファイバ用溝
18…SiO2 層
19…電極
Claims (5)
- 誘電体基板及びその表面部分に形成された光導波路を有する光導波路素子と、出力光モニタ用光電変換素子とを有し、
前記光導波路が、複数の表面導波路部と、それに、方向性結合器、クロスカプラ構造、又はTAPカプラ構造を介して結合している主出力光導波路部、及びモニタ光出力導波路部とを有し、
前記光導波路の主出力光導波路部及びモニタ光出力導波路部の出力端は、光を伝播する補強キャピラリの接合面に接合していて、
前記主出力光導波路部の出力端は、前記補強キャピラリに形成された透孔及び/又は溝を通って挿入された光ファイバの入力端に接合されており、
前記モニタ光導波路部の出力端から出力され、前記補強キャピラリ中を伝播し、前記補強キャピラリの先端面を透過して、又は前記先端面において反射して出力されたモニタ光が前記出力光モニタ用光電変換素子に入力され、
前記光電変換素子による、不要光の受光を防止するために、前記補強用キャピラリの先端面の、前記出力光モニタ用光電変換素子に指向する前記モニタ光の伝播及び出力に関与しない部分の少なくとも一部が切除されており、
かつ、前記光導波路の前記主出力光導波路部の出力端と、前記モニタ光導波路部の出力端とは、前記モニタ光導波路部の出力端から出力され、前記補強キャピラリ中を伝播するモニタ光が、前記主出力光導波路部の出力端から出力された主出力光により影響を受けない間隔をもって離間している、
ことを特徴とする出力光モニタ付光導波路型素子。 - 前記補強キャピラリの先端面は、前記モニタ光導波路部の光軸に斜交する反射面を形成していて、前記モニタ光導波路部の出力端から出力され、前記補強キャピラリ中を伝播したモニタ光を、前記出力光モニタ用光電変換素子に向って反射する、請求項1に記載の出力光モニタ付光導波路型素子。
- 前記補強キャピラリの先端面が外側に向って凸形の曲面を形成していて、前記補強キャピラリを伝播したモニタ光が、前記曲面において反射され、前記出力光モニタ用光電変換素子において収束される、請求項1又は2に記載の出力光モニタ付光導波路型素子。
- 前記補強用キャピラリの先端面の、前記出力光モニタ用光電変換素子に指向する前記モニタ光の伝播及び出力に関与しない部分の少なくとも一部が切除されている、請求項1〜3のいずれか1項に記載の出力光モニタ付光導波路型素子。
- 前記光導波路素子が、
前記表面導波路部上に、但し、前記表面導波路部の入力端部分並びに前記主出力光導波路部及びモニタ光出力導波路部の出力端部分を除いて、形成されたSiO2層をさらに有する請求項1〜4のいずれか1項に記載の出力光モニタ付光導波路型素子。
Priority Applications (10)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000380629A JP3690983B2 (ja) | 2000-12-14 | 2000-12-14 | 出力光モニタ付光導波路型素子 |
EP01912411A EP1186936B1 (en) | 2000-03-15 | 2001-03-15 | Optical waveguide modulator with output light monitor |
PCT/JP2001/002073 WO2001069308A1 (fr) | 2000-03-15 | 2001-03-15 | Modulateur de guide d'onde optique comprenant un moniteur de lumiere de sortie |
CA002374168A CA2374168C (en) | 2000-03-15 | 2001-03-15 | Optical waveguide modulator with output light monitor |
EP07009839A EP1818712B1 (en) | 2000-03-15 | 2001-03-15 | Optical waveguide modulator with output light monitor |
US09/980,606 US7200289B2 (en) | 2000-03-15 | 2001-03-15 | Optical waveguide modulator with output light monitor |
DE60132056T DE60132056T2 (de) | 2000-03-15 | 2001-03-15 | Optischer wellenleitermodulator mit ausgangslichtmonitor |
CA002594852A CA2594852C (en) | 2000-03-15 | 2001-03-15 | Optical waveguide modulator with output light monitor |
US11/352,060 US7532778B2 (en) | 2000-03-15 | 2006-02-09 | Optical waveguide modulator equipped with an output light monitor |
US11/633,777 US7359581B2 (en) | 2000-03-15 | 2006-12-04 | Optical waveguide modulator with output light monitor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000380629A JP3690983B2 (ja) | 2000-12-14 | 2000-12-14 | 出力光モニタ付光導波路型素子 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005062837A Division JP2005202429A (ja) | 2005-03-07 | 2005-03-07 | 出力光モニタ付光導波路型素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002182050A JP2002182050A (ja) | 2002-06-26 |
JP3690983B2 true JP3690983B2 (ja) | 2005-08-31 |
Family
ID=18848774
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000380629A Expired - Fee Related JP3690983B2 (ja) | 2000-03-15 | 2000-12-14 | 出力光モニタ付光導波路型素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3690983B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3895250B2 (ja) * | 2002-09-30 | 2007-03-22 | 住友大阪セメント株式会社 | 光導波路素子 |
WO2004092792A1 (ja) | 2003-04-16 | 2004-10-28 | Fujitsu Limited | 光導波路デバイス |
JP4938209B2 (ja) * | 2003-05-20 | 2012-05-23 | 住友大阪セメント株式会社 | 導波路型光学素子、及び出力光の監視方法 |
JP4308712B2 (ja) | 2004-05-31 | 2009-08-05 | 富士通株式会社 | 光デバイス |
JP4823584B2 (ja) | 2005-06-22 | 2011-11-24 | 富士通オプティカルコンポーネンツ株式会社 | 光変調器 |
JP2008145799A (ja) * | 2006-12-12 | 2008-06-26 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 出力光モニタ付光導波路型光変調器 |
JP4756011B2 (ja) * | 2007-06-22 | 2011-08-24 | 富士通株式会社 | 光デバイス |
JP5270998B2 (ja) | 2008-07-30 | 2013-08-21 | Nttエレクトロニクス株式会社 | 平面光導波回路 |
-
2000
- 2000-12-14 JP JP2000380629A patent/JP3690983B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002182050A (ja) | 2002-06-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7359581B2 (en) | Optical waveguide modulator with output light monitor | |
US7340114B2 (en) | Optical waveguide device and optical modulator | |
JP4911529B2 (ja) | 光変調器 | |
EP1315021B1 (en) | Optical modulators and a method for modulating light | |
JP6056800B2 (ja) | 光変調器 | |
JP3587757B2 (ja) | 出力光モニタ付光導波路型光変調器 | |
JP3690983B2 (ja) | 出力光モニタ付光導波路型素子 | |
US11460650B2 (en) | Optical waveguide device, and optical modulation device and optical transmission device using it | |
JP3967356B2 (ja) | 光導波路デバイス | |
JP4468397B2 (ja) | 光導波路デバイス | |
JP2005202429A (ja) | 出力光モニタ付光導波路型素子 | |
JPH10260328A (ja) | 光変調素子 | |
JP2009134279A (ja) | 光変調器 | |
JP3932276B2 (ja) | 出力光モニタ付き多チャンネル型光変調器 | |
JP3696024B2 (ja) | 出力光モニタ付光導波路型変調器 | |
JP7347300B2 (ja) | 光変調器 | |
JP2001264575A (ja) | 出力光モニタ付光導波路型変調器 | |
JP4623894B2 (ja) | 出力光モニタ付光導波路型光変調器 | |
JP4589884B2 (ja) | 光制御素子及びその製造方法 | |
JP2004294708A (ja) | 出力光モニタ付光導波路型光変調器 | |
JP5114836B2 (ja) | 出力光モニタ付光導波路型光変調器 | |
JP4880784B2 (ja) | 出力光モニタ付光導波路型光変調器 | |
JPH09211259A (ja) | 光デバイス | |
JPH04333829A (ja) | 導波路型光デバイス | |
JP2726491B2 (ja) | 光マトリクススイッチ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040713 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040910 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041102 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041208 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050111 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050307 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20050425 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050517 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050614 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080624 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090624 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090624 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100624 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110624 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120624 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130624 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140624 Year of fee payment: 9 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |