JP3661426B2 - バレルめっき方法およびバレルめっき装置 - Google Patents
バレルめっき方法およびバレルめっき装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3661426B2 JP3661426B2 JP22117798A JP22117798A JP3661426B2 JP 3661426 B2 JP3661426 B2 JP 3661426B2 JP 22117798 A JP22117798 A JP 22117798A JP 22117798 A JP22117798 A JP 22117798A JP 3661426 B2 JP3661426 B2 JP 3661426B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- barrel
- tank
- water washing
- water
- washing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Chemically Coating (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、めっきすべき複数のワークをバレルに収容した状態で実施されるバレルめっき方法およびバレルめっき装置に関するもので、特に、たとえばエッチング処理のようなめっきの前処理についても、バレルに収容した状態で、ワークに対して連続的に実施される、バレルめっき方法およびバレルめっき装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図2には、この発明にとって興味ある連続自動めっきライン1が示されている。この連続自動めっきライン1は、たとえば、セラミック電子部品の表面に金属膜を無電解めっきにより形成する際に適用されるもので、セラミック素体のようなめっきすべき複数のワークは、回転するバレルに収容された状態で、この連続自動めっきライン1に沿って、矢印2方向へ移動される。なお、図2においては、ワークおよびバレルの図示が省略されている。
【0003】
上述のようなワークとしてのセラミック素体上に無電解めっきにより金属膜を形成するため、連続自動めっきライン1は、矢印2で示すワークの移動方向に従って、前処理工程としてのたとえばエッチング処理工程を実施するためのエッチング処理槽3と、エッチング処理後の水洗工程を実施するための水洗槽4〜8と、無電解めっき処理工程を実施するためのめっき処理槽9と、めっき処理後の水洗工程を実施するための水洗槽10〜14と、乾燥工程を実施するための乾燥槽15とが順次配置された構成を有している。
【0004】
上述した水洗槽4〜8および10〜14の数は、必要に応じて増減されるものであるが、エッチング処理後およびめっき処理後の各水洗工程は、通常、粗水洗およびこれに続く仕上げ水洗の2段階に分けられる。また、粗水洗および仕上げ水洗のそれぞれについても、複数段階で水洗が行なわれるようにすることが一般的であり、図2に示した連続自動めっきライン1においては、水洗槽4〜6および10〜12のそれぞれにおいて粗水洗が実施され、水洗槽7および8ならびに13および14のそれぞれにおいて仕上げ水洗が実施される。
【0005】
また、上述したように複数段階をもって実施される粗水洗および仕上げ水洗のそれぞれにおいて洗浄のために用いられる水は、より後段側からより前段側へと流れるようにされ、より後段においてより清浄な水による水洗が行なわれ得るようにされる。
【0006】
すなわち、たとえば、エッチング処理後の粗水洗を行なう水洗槽4〜6については、水16を、外部から、まず、最も後段の水洗槽6に供給し、この水洗槽6でオーバーフローさせることによって、中段の水洗槽5に供給し、さらに、この水洗槽5でオーバーフローさせることによって、最も前段の水洗槽4に供給するようにされている。
【0007】
同様に、エッチング処理後の仕上げ水洗を行なう水洗槽7および8についても、水17を、まず、後段の水洗槽8に供給し、ここでオーバーフローしたものを、前段の水洗槽7に供給するようにしている。
【0008】
また、めっき処理後の粗水洗を行なう水洗槽10〜12についても、水18を、まず、最も後段の水洗槽12に供給し、オーバーフローに従って、順次、中段の水洗槽11および最も前段の水洗槽10へと供給するようにされている。
【0009】
また、めっき処理後の仕上げ水洗を行なう水洗槽13および14についても、水19を、まず、後段の水洗槽14に供給し、オーバーフローに従って、前段の水洗槽13に供給するようにしている。
【0010】
また、エッチング処理槽3には、特定の薬剤、たとえば、HCl、HBF4 、HF等の酸を含むエッチング処理液20が収容され、めっき処理槽9には、所望の金属イオンを含む、たとえば無電解めっきのためのめっき液21が収容されている。また、乾燥槽15においては、たとえば熱風を用いた乾燥が行なわれるように構成されている。
【0011】
図3は、上述したエッチング処理、めっき処理、または水洗のように、液体22を用いた処理を行なう槽23を一般的に示したものである。すなわち、図3には、エッチング処理槽3、めっき処理槽9、または水洗槽4〜8および10〜14のいずれかが図示され、また、液体22は、水16〜19のいずれか、エッチング処理液20またはめっき液21であると理解すればよい。
【0012】
図3を参照して、めっきすべき複数のワーク(図示せず。)を収容するバレル24が図示されている。バレル24は、吊り下げ板25によって吊り下げられる。吊り下げ板25には、支持軸26が取付けられ、バレル24は、この支持軸26を中心に回転可能とされる。吊り下げ板25には、また、駆動軸27が取付けられる。この駆動軸27は、バレル24に対して回転駆動力を与えるもので、駆動軸27の回転は、図示しない伝達機構を介してバレル24に伝達される。また、バレル24の上方には、これを覆うように傘状部分28が配置される。
【0013】
バレル24は、吊り下げ板25および傘状部分28等を含むバレル周辺部分29を伴って、図2に示した連続自動めっきライン1に沿って矢印2方向へ移動され、それによって、エッチング処理槽3、水洗槽4〜8、めっき処理槽9、水洗槽10〜14、および乾燥槽15を順次通過する。このようなバレル24の移動の過程であって、エッチング処理槽3、水洗槽4〜8、めっき処理槽9、または水洗槽10〜14内にあるときには、図3に示すように、バレル24は、液体22に浸漬されながら、支持軸26を中心として回転している状態にある。
【0014】
このようにバレル24が移動する間、図2に示した自動めっきライン1において、バレル24内のワークに対して、より詳細には、次のような処理が施される。
【0015】
まず、エッチング処理槽3において、ワークの表面がエッチング処理される。より具体的には、ワークがセラミック素体であるとき、エッチング処理液20により、セラミック素体の表面にあるセラミックの一部を溶解させ、セラミック素体の表面を粗化させる。これによって、後で実施されるめっき処理によって形成される金属膜に対するアンカー効果を高め、金属膜の密着強度を向上させる。
【0016】
次いで、ワークは、水洗槽4〜8を順次通過して、粗水洗および仕上げ水洗され、これによって、エッチング処理液20が除去される。
【0017】
次いで、めっき処理槽9において、ワークに対して、たとえば無電解めっきが施される。
【0018】
次いで、水洗槽10〜14において、粗水洗および仕上げ水洗が行なわれ、これによって、めっき液21が除去される。
【0019】
次いで、乾燥槽15において、ワークが乾燥される。このとき、バレル24内に収容されるワークの乾燥を効果的に行なうため、熱風がバレル24に向かって付与される。
【0020】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したような連続自動めっきライン1には、次のような問題がある。
【0021】
エッチング処理槽3においては、前述したように、HCl、HBF4 、HF等の酸を含むエッチング処理液20を用いてエッチング処理を施しているが、これらの酸は揮発性であるため、エッチング処理工程において、この酸の蒸気が吊り下げ板25および傘状部分28等を含むバレル周辺部分29に付着する。
【0022】
他方、以後の水洗槽4〜8、めっき処理槽9および水洗槽10〜14において実施される各工程では、図3に示すように、回転するバレル24およびその内部のワークは、液体22に接触し得るが、吊り下げ板25の大部分を含むバレル周辺部分29は、液体22に接触する機会が全くない。
【0023】
そのため、前述したように、バレル周辺部分29に付着した酸は、乾燥槽15における乾燥工程にまで持ち込まれる。その結果、この乾燥工程において、バレル周辺部分29に付着した酸は、再び、気化して、バレル24内のワークに悪影響を及ぼすことがある。たとえば、ワークの表面に形成された金属膜を酸化させたりして、不所望な変色をもたらすことになる。このような酸の気化は、乾燥槽15において熱風が用いられるとき、より促進される。
【0024】
なお、上述した不都合を回避するため、めっき処理後の水洗工程を終えたとき、ワークをバレル24から取り出し、このように取り出されたワークに対して乾燥工程を実施することも考えられるが、この場合には、連続自動めっきライン1による連続処理が阻害されてしまう。
【0025】
そこで、この発明の目的は、上述したような問題を解決し得る、バレルめっき方法およびバレルめっき装置を提供しようとすることである。
【0026】
【課題を解決するための手段】
この発明は、まず、めっきすべき複数のワークをバレルに収容した状態で移動させながら、ワークに対して、特定の薬剤を用いる前処理工程と、前処理後の水洗工程と、湿式めっき処理工程と、めっき処理後の水洗工程と、乾燥工程とを順次実施する、バレルめっき方法に向けられるものであって、上述した技術的課題を解決するため、前処理工程の後であって乾燥工程の前に、バレルに伴われて移動する、かつ前処理後の水洗工程による水洗が及ぼされないバレル周辺部分を水洗するための周辺水洗工程を実施することを特徴としている。
【0027】
上述した周辺水洗工程では、好ましくは、シャワー水洗が適用され、このシャワー水洗によってバレル周辺部分が水洗される。
【0028】
また、周辺水洗工程は、前処理後の水洗工程と同時に実施されることが好ましい。
【0029】
また、前処理後の水洗工程が、複数段階の水洗工程を含む場合、周辺水洗工程は、比較的前段の水洗工程において、比較的後段の水洗工程の水を用いて実施されることが好ましい。
【0030】
また、この発明に係るバレルめっき方法は、前処理工程として、エッチング処理工程が実施される場合、このエッチング処理工程で用いる前述の特定の薬剤が、揮発性の酸を含み、乾燥工程では、熱風が用いられるとき、特に有利に採用される。
【0031】
この発明は、また、めっきすべき複数のワークを収容した状態で所定の経路に沿って移動するバレルを備えるとともに、この所定の経路に沿って、特定の薬剤を用いる前処理槽と、前処理後の水洗槽と、湿式めっき処理槽と、めっき処理後の水洗槽と、乾燥槽とが順次配置されている、バレルめっき装置にも向けられる。
【0032】
このようなバレルめっき装置において、この発明では、バレルに伴われて移動する、かつ前処理後の水洗槽による水洗が及ぼされないバレル周辺部分をシャワー水洗するためのシャワーノズルが、前処理後の水洗槽に関連して設けられていることを特徴としている。
【0033】
このようなバレルめっき装置において、前処理後の水洗槽が、複数段階の水洗を行なうための複数の水洗槽を含むとき、比較的前段の水洗槽に関連してシャワーノズルが配置され、比較的後段の水洗槽の水がシャワーノズルに供給されるようにすることが好ましい。
【0034】
上述したバレル周辺部分としては、たとえば、バレルを上方から覆う傘状部分、バレルを吊り下げる吊り下げ板、およびバレルに回転駆動力を伝達するための伝達機構等がある。
【0035】
また、この発明に係るバレルめっき装置は、前処理槽として、前述の特定の薬剤を用いてエッチング処理を行なうためのエッチング処理槽を含み、このエッチング処理槽で用いる特定の薬剤が、揮発性の酸を含み、乾燥槽では、熱風を用いた乾燥が行なわれるとき、特に有利に採用される。
【0036】
【発明の実施の形態】
図1は、この発明の一実施形態によるバレルめっき装置に備える水洗槽30を示す正面図である。図1において、図3に示したバレル24およびこれに関連する要素については同様の参照符号を付し、重複する説明は省略する。
【0037】
図1に示すように、水洗槽30に関連して、複数のシャワーノズル31が設けられる。これらシャワーノズル31から噴出される水すなわちシャワー32の形態および量は、バレル24を浸漬する水33から露出するバレル周辺部分29の全面に行き渡るように選ばれる。したがって、前処理工程としてのエッチング処理工程においてバレル周辺部分29に付着した酸等の薬剤は、シャワーノズル31からのシャワー32によって効果的に洗い落とされる。その結果、後の乾燥工程において、バレル周辺部分29に付着している酸等の薬剤が再び気化して、バレル24内のワークに悪影響を及ぼす問題に遭遇することはない。
【0038】
上述したようなシャワーノズル31による周辺水洗工程は、エッチング処理工程の後であって乾燥工程の前であれば、いずれの段階で実施してもよいが、好ましくは、エッチング処理後の水洗工程の途中で実施される。
【0039】
また、より好ましくは、周辺水洗工程は、エッチング処理後の水洗工程と同時に実施するようにされる。言い換えると、周辺水洗工程を実施するための図1に示した水洗槽30は、これを特別に設けるのではなく、図2に示した連続自動めっきライン1にあっては、エッチング処理後の水洗槽4〜8のいずれかに関連して、図1に示したシャワーノズル31が設けられ、バレル24内のワークの水洗と同時に、バレル周辺部分29の水洗が行なわれるようにされる。
【0040】
図1を参照して、上述のように、周辺水洗工程を、エッチング処理後の水洗工程と同時に実施しようとするとき、シャワーノズル31から噴出される水32は、水洗槽30内に収容される水33に比べて、その清浄度が同等かそれ以上であることが好ましい。シャワーノズル31からの水32によって、水洗槽30内の水33の清浄度が低下することを防ぎ、それによって、バレル24内のワークに対する水洗効果を阻害しないようにするためである。
【0041】
好ましい具体的な実施形態では、エッチング処理後の水洗槽4〜8のうち、仕上げ水洗を行なう前段側の水洗槽7に関連して、周辺水洗工程のためのシャワーノズル31が配置される。このとき、シャワーノズル31から噴出される水32は、同じ水洗槽7、より好ましくは、後段側の水洗槽8から供給される。これによって、シャワーノズル31から噴出される水32の清浄度を、水洗槽7内の水の清浄度と同等以上にすることができる。
【0042】
以上、この発明を図示した実施形態に関連して説明したが、この発明の範囲内において、その他、種々の実施形態が可能である。
【0043】
たとえば、シャワーノズル31から噴出されるシャワーすなわち水32は、水洗槽内の水とは別系統の配管を通して供給されてもよい。
【0044】
また、バレル周辺部分29を水洗するにあたり、たとえば浸漬のようなシャワー水洗以外の方法が採用されてもよい。
【0045】
また、バレル周辺部分29を水洗するための周辺水洗工程は、上述した実施形態では、エッチング処理で付着した揮発性の酸を除去することを目的として実施されたが、乾燥工程においてワークに対して悪影響を及ぼす他の薬剤の除去を目的として実施されてもよい。この意味で、除去されるべき薬剤は、エッチング処理以外の前処理においても用いられる場合もあり、しかも、めっき処理工程では、たとえば電気めっきのように、無電解めっき以外の湿式めっき処理が施される場合もあり、このような場合でも、この発明を有利に適用することができる。
【0046】
また、周辺水洗工程は、複数段階で実施されてもよい。
【0047】
【発明の効果】
以上のように、この発明に係るバレルめっき方法によれば、前処理工程の後であって乾燥工程の前に、バレル周辺部分を水洗するための周辺水洗工程が実施されるので、前処理工程においてバレル周辺部分に付着した酸などの薬剤を、乾燥工程の前に除去しておくことができる。したがって、乾燥工程において、バレル周辺部分から酸などの薬剤が揮発するなどしてワークに悪影響を及ぼすことを有利に防止することができる。
【0048】
また、上述したバレル周辺部分に付着した薬剤の影響を避けるため、乾燥工程を実施するにあたり、ワークをバレルから取り出す必要がないので、連続自動めっきラインによる処理の連続性を保つことができ、能率的なめっき方法を実施することができる。
【0049】
上述した周辺水洗工程において、バレル周辺部分を水洗するため、シャワー水洗が適用されると、比較的少量の水で効果的にバレル周辺部分を水洗することが可能になる。
【0050】
また、周辺水洗工程を、前処理後の水洗工程と同時に実施するようにすれば、工程数や処理時間の増加や装置の大型化を招くことなく、このような周辺水洗工程を付加することができる。また、周辺水洗工程に使用された水を、ワークの水洗のためにも用いることができるので、水の有効利用を図ることができる。
【0051】
また、前処理後の水洗工程が、複数段階の水洗工程を含むとき、周辺水洗工程を、比較的前段の水洗工程において、比較的後段の水洗工程の水を用いて実施するようにすれば、周辺水洗工程で用いる水を特別に外部から供給する必要がないばかりでなく、周辺水洗工程で用いる水の清浄度を、ワークの水洗のための水の清浄度より高くすることができ、周辺水洗工程で用いた水のために、ワークの水洗のための水の清浄度を低下させてしまうことを防止できる。
【0052】
また、前処理工程として、エッチング処理工程が実施される場合、このエッチング処理工程において、揮発性の酸が用いられ、乾燥工程において、熱風が用いられるとき、この発明による効果が特に顕著に発揮される。すなわち、エッチング処理工程において、酸が揮発性であるため、その蒸気が比較的大量にバレル周辺部分に付着し、この酸が、この発明に従って除去されないときには、乾燥工程における熱風のために、より迅速に気化し、ワークにより大きい影響を及ぼすことになるからである。この発明によれば、上述のような酸が、乾燥工程の前に除去されているので、乾燥工程において、酸の蒸気がワークに悪影響を及ぼすことがなく、そのため、ワークの表面に形成された金属膜が酸化されるなどして、変色不良を生じることを効果的に防止できる。
【0053】
他方、この発明に係るバレルめっき装置によれば、バレル周辺部分をシャワー水洗するためのシャワーノズルが、前処理後の水洗槽に関連して設けられているので、バレル周辺部分を水洗するための特別な設備を必要とせず、したがって、バレルめっき装置の大型化を招くことがない。また、バレル周辺部分の水洗がシャワー水洗によって行なわれるので、少量の水により効果的な水洗を行なうことが可能になる。
【0054】
上述した前処理後の水洗槽が、複数段階の水洗を行なうための複数の水洗槽を含むとき、比較的前段の水洗槽に関連してシャワーノズルを配置し、比較的後段の水洗槽の水をシャワーノズルに供給するようにすれば、前述したバレルめっき方法の場合と同様、シャワーノズルに外部から特別に水を供給する必要がないばかりでなく、シャワーノズルに供給される水の清浄度を比較的高く保つことができ、この水によってワークが不所望にも汚されることを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施形態によるバレルめっき装置に備える水洗槽30を示す正面図である。
【図2】この発明にとって興味ある連続自動めっきライン1を図解的に示す正面図である。
【図3】図2に示したエッチング処理槽3、めっき処理槽9、または水洗槽4〜8および10〜14のように、液体22を用いた処理を行なう槽23を一般的に示す正面図である。
【符号の説明】
1 連続自動めっきライン
3 エッチング処理槽(前処理槽)
4〜8 エッチング処理後の水洗槽
9 めっき処理槽
10〜14 めっき処理後の水洗槽
15 乾燥槽
16〜19,33 水
20 エッチング処理液
21 めっき液
24 バレル
25 吊り下げ板
26 支持軸
27 駆動軸
28 傘状部分
29 バレル周辺部分
30 水洗槽
31 シャワーノズル
32 水またはシャワー
Claims (11)
- めっきすべき複数のワークをバレルに収容した状態で移動させながら、前記ワークに対して、特定の薬剤を用いるめっき前処理工程と、前処理後の水洗工程と、湿式めっき処理工程と、めっき処理後の水洗工程と、乾燥工程とを順次実施するとともに、
前記前処理工程の後であって前記乾燥工程の前に、前記バレルに伴われて移動する、かつ前記前処理後の水洗工程による水洗が及ぼされないバレル周辺部分を水洗するための周辺水洗工程を実施することを特徴とする、バレルめっき方法。 - 前記周辺水洗工程は、前記バレル周辺部分をシャワー水洗する工程を備える、請求項1に記載のバレルめっき方法。
- 前記周辺水洗工程は、前記前処理後の水洗工程と同時に実施される、請求項2に記載のバレルめっき方法。
- 前記前処理後の水洗工程は、複数段階の水洗工程を含み、前記周辺水洗工程は、比較的前段の前記水洗工程において、比較的後段の前記水洗工程の水を用いて実施される、請求項3に記載のバレルめっき方法。
- 前記前処理工程は、エッチング処理工程を含む、請求項1ないし4のいずれかに記載のバレルめっき方法。
- 前記エッチング処理工程で用いる前記特定の薬剤は、揮発性の酸を含み、前記乾燥工程では、熱風が用いられる、請求項5に記載のバレルめっき方法。
- めっきすべき複数のワークを収容した状態で所定の経路に沿って移動するバレルを備えるとともに、前記所定の経路に沿って、特定の薬剤を用いる前処理槽と、前処理後の水洗槽と、湿式めっき処理槽と、めっき処理後の水洗槽と、乾燥槽とが順次配置されている、バレルめっき装置であって、
前記バレルに伴われて移動する、かつ前記前処理後の水洗槽による水洗が及ぼされないバレル周辺部分をシャワー水洗するためのシャワーノズルが、前記前処理後の水洗槽に関連して設けられていることを特徴とする、バレルめっき装置。 - 前記前処理後の水洗槽は、複数段階の水洗を行なうための複数の水洗槽を含み、比較的前段の前記水洗槽に関連して前記シャワーノズルが配置され、比較的後段の前記水洗槽の水が前記シャワーノズルに供給される、請求項7に記載のバレルめっき装置。
- 前記バレル周辺部分は、前記バレルを上方から覆う傘状部分、前記バレルを吊り下げる吊り下げ板、および前記バレルに回転駆動力を伝達するための伝達機構を含む、請求項7または8に記載のバレルめっき装置。
- 前記前処理槽は、前記特定の薬剤を用いてエッチング処理を行なうためのエッチング処理槽を含む、請求項7ないし9のいずれかに記載のバレルめっき装置。
- 前記エッチング処理槽で用いる前記特定の薬剤は、揮発性の酸を含み、前記乾燥槽では、熱風を用いた乾燥が行なわれる、請求項10に記載のバレルめっき装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22117798A JP3661426B2 (ja) | 1998-08-05 | 1998-08-05 | バレルめっき方法およびバレルめっき装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22117798A JP3661426B2 (ja) | 1998-08-05 | 1998-08-05 | バレルめっき方法およびバレルめっき装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000054152A JP2000054152A (ja) | 2000-02-22 |
JP3661426B2 true JP3661426B2 (ja) | 2005-06-15 |
Family
ID=16762693
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22117798A Expired - Fee Related JP3661426B2 (ja) | 1998-08-05 | 1998-08-05 | バレルめっき方法およびバレルめっき装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3661426B2 (ja) |
-
1998
- 1998-08-05 JP JP22117798A patent/JP3661426B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2000054152A (ja) | 2000-02-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6214193B1 (en) | Electroplating process including pre-wetting and rinsing | |
KR19990029870A (ko) | 기판도금장치 | |
JPH01500472A (ja) | 印刷回路板の製造方法 | |
KR101102328B1 (ko) | 기판도금장치 | |
JP3341727B2 (ja) | ウエット装置 | |
JP2004327962A (ja) | レジストの剥離装置及び剥離方法 | |
KR100962624B1 (ko) | 반도체 웨이퍼의 세척, 건조 및 친수화 처리를 위한 방법 | |
JP3661426B2 (ja) | バレルめっき方法およびバレルめっき装置 | |
WO2020028012A1 (en) | System and method for chemical and heated wetting of substrates prior to metal plating | |
JP2990144B2 (ja) | プリント配線板のめっき装置 | |
CN112748646A (zh) | 一种厚膜光刻胶显影工艺 | |
JP3850226B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP2004300576A5 (ja) | ||
JP2000160349A (ja) | 無電解めっき装置 | |
JPH03214689A (ja) | 印刷回路の製造のための減少された一群の工程及びこの工程を実施するための組成物 | |
JPH0246464A (ja) | 現像方法 | |
JP2000160349A5 (ja) | ||
JPS634617A (ja) | 洗浄方法 | |
JP2001217369A (ja) | 半導体の半田メッキ工程における特殊銅合金材の前処理方法 | |
JP2000345392A (ja) | 銅めっき方法およびその装置 | |
JP2001234394A (ja) | ウェハーめっき装置 | |
JP3936125B2 (ja) | 感光体ドラム下端部の塗工液剥離装置 | |
JPS5888749A (ja) | 現像装置 | |
JPH06299313A (ja) | 半導体リードフレーム半田メッキ装置 | |
JPH05166773A (ja) | 半導体基板の洗浄方法および装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050201 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050301 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050314 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090401 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090401 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100401 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110401 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |