JP3657761B2 - 自己校正機能付き酸素分析装置 - Google Patents
自己校正機能付き酸素分析装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3657761B2 JP3657761B2 JP00754098A JP754098A JP3657761B2 JP 3657761 B2 JP3657761 B2 JP 3657761B2 JP 00754098 A JP00754098 A JP 00754098A JP 754098 A JP754098 A JP 754098A JP 3657761 B2 JP3657761 B2 JP 3657761B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oxygen
- calibration
- chamber
- electrode
- partial pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、特別の校正用の外部装置を必要とせず酸素センサの校正を行うことができる自己校正機能付き酸素分析装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来から、特別の校正用の外部装置を必要とせず酸素センサの校正を行うことができる自己校正機能付き酸素分析装置の一例として、酸素ポンプを用いて校正ガスを作り、酸素センサの酸素濃淡電池部を校正する方法が、特開昭63−63964号公報および特開平1−206255号公報において知られている。
【0003】
従来知られた方法のうち、特開昭63−63964号公報で開示された技術では、大気に連動した基準参照室から酸素ポンプを作動させて、ガス導入部に被測定ガス側と酸素センサ側に不特定の酸素濃度のガスを供給することによって、酸素センサの校正を実施している。また、特開平1−206255号公報で開示された技術では、酸素センサの周囲を大気エアで満たして一定の条件を作った上で、あるいは、酸素ポンプ部により導入した雰囲気を基準ガスとして使用することで、いずれも酸素センサの校正を実施している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
上述した特開昭63−63964号公報で開示された技術および特開平1−206255号公報のうち酸素ポンプで校正雰囲気を作成する技術では、いずれも校正時酸素ポンプから供給される校正用の既知の濃度の酸素を大気に開放された測定室内に供給して酸素濃淡電池部の校正を行う前提のため、被測定ガス中では、校正用の既知の濃度の酸素が被測定ガスの影響を受け、高精度の校正を行うことができない問題があった。また、特開平1−206255号公報のうち酸素センサの周囲に校正のための大気エアを注入する場合は、N2 雰囲気炉等において酸素センサの周囲に校正のための大気エアを注入することが操炉上好ましくない、あるいは、このような大気エアを注入出来ない小型ボイラには不向きであった。
【0005】
本発明の目的は上述した課題を解消して、高精度の校正を行うことができる自己校正機能付き酸素分析装置を提供しようとするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明の自己校正機能付き酸素分析装置の第1発明は、板状の酸素イオン伝導性固体電解質体で積層された酸素センサにおいて;基準参照室と、拡散律速ガス導入部を介して被測定ガスに連通した測定室と、校正用酸素供給室とを有し;基準参照室に設けられた基準電極と、測定室に設けられた測定電極と、基準電極と測定電極との間に設けられた固体電解質体とで酸素濃淡電池部を構成し;測定室に設けられた校正電極と、校正用酸素供給室に設けられた校正電極と、両校正電極間に設けられた固体電解質体とで校正用酸素ポンプ部を構成し;酸素濃度測定時には、酸素濃淡電池部で被測定ガスの酸素濃度を測定すると共に、校正時には、校正用酸素ポンプ部により測定室に既知の校正用酸素を注入する構造の酸素センサを有する酸素分析装置であって;
拡散律速ガス導入部の中間にガス吸収室を設け、ガス吸収室に設けられた汲み上げ電極と、校正用酸素供給室に設けられた汲み上げ電極と、両汲み上げ電極間に設けられた固体電解質体とで酸素ポンプ汲み上げ部を構成し;
自己校正機能作動時、校正用酸素ポンプ部により、既知の校正用酸素分圧を測定室へ作成すると共に、酸素ポンプ汲み上げ部により、ガス吸収室の酸素分圧を小さくし、この状態で酸素濃淡電池部を校正するよう構成したことを特徴とするものである。
【0007】
また、本発明の自己校正機能付き酸素分析装置の第2発明は、板状の酸素イオン伝導性固体電解質体で積層された酸素センサにおいて;第1の基準参照室と、拡散律速ガス導入部を介して被測定ガスに連通した測定室と、第2の基準参照室と、校正用酸素供給室とを有し;第1の基準参照室に設けられた電極と、測定室に設けられた電極と、両電極の間に設けられた固体電解質体とで第1の酸素濃淡電池部を構成し;第2の基準参照室に設けられた電極と、測定室に設けられた電極と、両電極の間に設けられた固体電解質体とで第2の酸素濃淡電池部を構成し;第1の基準参照室に設けられた電極と、第2の基準参照室に設けられた電極と、両電極の間に設けられた固体電解質体とで第3の酸素濃淡電池部を構成し;測定室に設けられた電極と、校正用酸素供給室に設けられた電極と、両電極の間に設けられた固体電解質体とで第1の酸素ポンプ部を構成し;第2の基準参照室に設けられた電極と、校正用酸素供給室に設けられた電極と、両電極の間に設けられた固体電解質体とで第2の酸素ポンプ部を構成し;酸素濃度測定時には、第2の酸素ポンプ部で第2の基準参照室中の酸素分圧を一定にした状態で、第2の酸素濃淡電池部で被測定ガスの酸素濃度を測定すると共に、校正時には、同じく第2の酸素ポンプ部で第2の基準参照室中の酸素分圧を一定にした状態で、第1の酸素ポンプ部により測定室に既知の校正用酸素を注入する構造の酸素センサを有する酸素分析装置であって;
拡散律速ガス導入部の中間にガス吸収室を設け、ガス吸収室に設けられた汲み上げ電極と、校正用酸素供給室に設けられた汲み上げ電極と、両汲み上げ電極間に設けられた固体電解質体とで酸素ポンプ汲み上げ部を構成し;
自己校正機能作動時、第1の酸素ポンプ部により、既知の校正用酸素分圧を測定室へ作成すると共に、酸素ポンプ汲み上げ部により、ガス吸収室の酸素分圧を小さくし、この状態で第2の酸素濃淡電池部を校正するよう構成したことを特徴とするものである。
【0008】
本発明の第1発明では、拡散律速ガス導入部の中間にガス吸収室を設け、校正時、酸素ポンプ汲み上げ部によりガス吸収室の酸素を汲み出してガス吸収室の酸素分圧を小さく、好ましくは測定室の酸素分圧の1/1000以下とすることで、測定室内の酸素分圧は拡散律速ガス導入部を介して導入される被測定ガスの影響を受けず、高精度の校正を行うことができる。また、本発明の第2発明では、上述した第1発明の高精度の校正の実現に加えて、基準参照ガスとして大気ではなく一定の酸素分圧に制御した第2の基準参照室の雰囲気を利用することで、酸素濃度測定時に被測定ガスが微量でも酸素濃度測定用の第2の酸素濃淡電池部のS/N比を大きくとることができる。さらに、好適例として、第1の酸素濃淡電池部の信号、第2の酸素濃淡電池部の信号、第3の酸素濃淡電池部の信号を利用して校正時期を自動的に判別すると、校正開始を無駄なく設定することができる。
【0009】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の自己校正機能付き酸素分析装置の第1発明の一例の構成を示す図である。図1に示す例において、酸素センサ1は、板状の固体電解質体2を積層して構成される。固体電解質体2としては、安定化ジルコニア、部分安定化ジルコニア等のジルコニア材料を使用することができる。積層した固体電解質体2の内部には、基準参照室3と、測定室4と、校正用酸素供給室5とを設けている。基準参照室3は入口部3aを介して大気に連通する。測定室4は、多孔質材料等からなる拡散律速ガス導入部6を介して被測定ガスに連通する。校正用酸素供給室5は、基準参照室3の入口部3aとは別個に設けられた入口部5aを介して大気に連通する。本発明の最大の特徴は、上述した構成の酸素センサ1において、拡散律速ガス導入部6の中間にガス吸収室7を設けている点である。
【0010】
電極構成については以下の通りである。基準参照室3には、基準電極11が設けられている。測定室4には、測定電極12と校正電極13とが設けられている。校正用酸素供給室5には、校正電極14が設けられている。ガス吸収室7の内面全体には、汲み上げ電極15が設けられている。各電極としては、白金または白金合金からなる多孔質電極を使用することが好ましい。
【0011】
上述した構成の酸素センサ1において、各酸素濃淡電池部および酸素ポンプ部の構成は以下の通りである。図1に示す例において、基準電極11と、測定電極12と、基準電極11と測定電極12との間の固体電解質体2とが、酸素濃淡電池部を構成する。校正電極13と、校正電極14と、両校正電極13,14間の固体電解質体2とが、校正用酸素ポンプ部を構成する。汲み上げ電極15と、汲み上げ電極を兼ねる校正用電極14と、汲み上げ電極15と校正用電極14との間の固体電解質体2とが、酸素ポンプ汲み上げ部を構成する。
【0012】
酸素濃淡電池部を構成する測定電極12と基準電極11とは、酸素濃度計測及び校正手段21に接続される。酸素濃度計測及び校正手段21は、酸素濃淡電池部の出力から、酸素濃度測定時には被測定ガスの酸素濃度を求めると共に、校正時には酸素濃度計測手段の校正を行っている。校正用酸素ポンプ部を校正する校正電極13と校正電極14とは、校正ガス作成手段22に接続される。校正用ガス作成手段22は、校正時に校正用酸素ポンプ部の作用により測定室4が既知の酸素分圧になるようなポンプ電流を校正電極13と校正電極14との間に流している。酸素ポンプ汲み上げ部を構成する汲み上げ電極15と汲み上げ電極を兼ねる校正電極14とは、測定ガス吸収手段23に接続される。測定ガス吸収手段23は、校正時に酸素ポンプ汲み上げ部の作用によりガス吸収室7の酸素を外部へ汲み出し、ガス吸収室7内の酸素分圧を小さくしている。
【0013】
また、汲み上げ電極15と校正電極14とは、差動増幅器24の入力に接続される。差動増幅器24の出力は、比較器25において設定起電力26と比較される。そして、比較器25の出力を測定ガス吸収手段23に入力し、比較器25の出力に応じて測定ガス吸収手段23を制御し、ガス吸収室7内の酸素分圧の制御を行っている。
【0014】
上述した構成の本発明の第1発明に係る酸素分析装置における酸素濃度測定及び校正は、以下のようにして実施される。まず、酸素濃度測定時には、拡散律速ガス導入部6を介して測定室4に導入される被測定ガスの酸素濃度を、酸素濃淡電池部の作用により酸素計測及び校正手段21から求める。この際、校正用酸素ポンプ部と酸素ポンプ汲み上げ部とは動作させない。
【0015】
一方、校正時には、酸素ポンプ汲み上げ部を測定ガス吸収手段23により動作させてガス吸収室7内の酸素を汲み出し、ガス吸収室7内の酸素分圧を小さくなるように、好ましくは測定室4内の酸素分圧の1/1000以下となるように制御する。この制御は、差動増幅器24、比較器25、設定起電力26により行う。このように拡散律速ガス導入部6の中間に設けたガス吸収室7内の酸素分圧を小さくすることで、ガス吸収室7が拡散律速ガス導入部6を介しての被測定ガスの導入の障害になる。そのため、測定室4内の雰囲気に被測定ガスの影響が及ばない。なお、ガス吸収室7は、被測定ガス側に近づきすぎるとガス吸収室7内の酸素分圧を所定の小さい値にするために酸素汲み上げ部の能力を高くする必要が生じると共に、測定室4に近づきすぎると測定室4内の酸素をも汲み出すこととなり、却って測定室4内の酸素分圧を変動させる原因にもなりかねないため、拡散律速ガス導入部6のほぼ中間の位置に設ける必要がある。
【0016】
この状態で、校正用酸素ポンプ部を校正ガス作成手段22により動作させて測定室4内を既知の酸素分圧にし、この既知の酸素分圧の雰囲気に基づき、酸素濃淡電池部を介して酸素計測及び校正手段21で酸素計測手段の校正を行う。上述した校正では、測定室4内に被測定ガスの影響が無いため、測定室4内において高精度に既知の酸素分圧を作成でき、その結果高精度の校正を行うことができる。なお、本例において、校正開始時点の判断は、従来から行われているように、手動による校正開始信号またはカレンダータイマーによる校正開始信号に基づいて行う。上述した校正は、外部からの校正ガスの導入が必要無い点で、自己校正機能の一例となる。
【0017】
図2は本発明の自己校正機能付き酸素分析装置の第2発明の一例の構成を示す図である。図2に示す例において、図1に示す例と同一の部材には同一の符号を付し、その説明を省略する。図2に示す本発明の第2発明に係る実施例において、図1に示す本発明の第1発明に係る実施例と異なる点は、新たに第2の基準参照室を設け、第2の基準参照室内の雰囲気を基準ガスとして被測定ガスの酸素濃度を測定するよう構成した点と、第1の基準参照室と測定室との間、第2の基準参照室と測定室との間、第1の基準参照室と第2の基準参照室との間のそれぞれに、第1,第2,第3の酸素濃淡電池部を設け、これら第1,第2,第3の酸素濃淡電池部の信号に基づき校正時期の判別を自動的に行うよう構成した点である。以下、これらの相違点について説明する。
【0018】
まず、本実施例における電極、酸素ポンプ部、酸素濃淡電池部の構成について説明する。本実施例において、図1に示す基準参照室3は第1の基準参照室を、また図1に示す基準電極11、測定電極12、校正電極13,14のそれぞれは電極を示す。図2に示す実施例においては、固体電解質2内に他の室とは隔離して第2の基準参照室31を設けると共に、第2の基準参照室31に電極32と電極33とを設けている。また、校正用酸素供給室5に電極14とは別に電極34を設けている。校正用酸素供給室5、拡散律速ガス導入部6、ガス吸収室7、校正ガス作成手段22、測定ガス吸収手段23、差動増幅器24、比較器25、設定起電力26の構成は、図1と同じである。
【0019】
そして、第1の基準参照室3に設けられた電極11と、測定室4に設けられた電極12と、両電極の間に設けられた固体電解質体2とで第1の酸素濃淡電池部を構成する。第2の基準参照室31に設けられた電極32と、測定室4に設けられた電極12と、両電極の間に設けられた固体電解質体2とで第2の酸素濃淡電池部を構成する。第1の基準参照室3に設けられた電極11と、第2の基準参照室31に設けられた電極32と、両電極の間に設けられた固体電解質体2とで第3の酸素濃淡電池部を構成する。さらに、測定室4に設けられた電極13と、校正用酸素供給室5に設けられた電極14と、両電極の間に設けられた固体電解質体2とで第1の酸素ポンプ部を構成する。第2の基準参照室31に設けられた電極33と、校正用酸素供給室5に設けられた電極34と、両電極の間に設けられた固体電解質体2とで第2の酸素ポンプ部を構成する。
【0020】
第1の酸素濃淡電池部を構成する電極11と電極12とは、校正時期判別手段41の入力端子41cと41bにそれぞれ接続される。第2の酸素濃淡電池部を構成する電極12と電極32とは、酸素計測手段42に接続されると共に、校正時期判別手段41の入力端子41bと41aにそれぞれ接続される。第3の酸素濃淡電池部を構成する電極11と電極32とは、差動増幅器44の入力端子に接続されると共に、校正時期判別手段41の入力端子41cと41aにそれぞれ接続される。第1の酸素ポンプ部を構成する電極13と電極14とは、校正ガス作成手段22に接続される。第2の酸素ポンプ部を構成する電極33と電極34とは、第2基準酸素分圧制御手段43に接続される。
【0021】
上述した構成において、校正時期判別手段41は、入力端子41bと41cとの間に供給される第1の酸素濃淡電池部からの信号と、入力端子41aと41bとの間に供給される第2の酸素濃淡電池部からの信号と、入力端子41aと41cとの間に供給される第3の酸素濃淡電池部からの信号とに基づき、校正時期を判別して校正開始信号を発生する。具体的には、次式で表される誤差量eの値が所定の値以上と成ったときに校正開始信号を発生する。
e=HV3−HV1−HV2
但し、
HV1:第1の酸素濃淡電池部に対応したバイアス・ゲイン調整手段の出力電圧、
HV2:第2の酸素濃淡電池部に対応したバイアス・ゲイン調整手段の出力電圧、
HV3:第3の酸素濃淡電池部に対応したバイアス・ゲイン調整手段の出力電圧、
である。なお、この校正時期の判別については、本出願人が先に特願平8−1194769号において開示している内容と同じ内容である。
【0022】
酸素計測手段42は、第2の酸素濃淡電池部の出力から、被測定ガスの酸素濃度を求めている。第2基準酸素分圧制御手段43は、第2の基準参照室31内の酸素分圧を所定の一定の値になるよう制御する。この制御は、第3の酸素濃淡電池部を構成する電極11と電極32とが接続する差動増幅器44の出力を、比較器45において設定起電力46と比較し、その比較器45の出力に基づいて行われる。校正用ガス作成手段22及び測定ガス吸収手段23の動作は、図1に示した例と同じであるが、相違点は校正時大気エアを使用しているのを、校正用酸素ポンプで大気エアと同じ濃度を測定室に供給することである。
【0023】
上述した構成の本発明の第2発明に係る酸素分析装置における酸素濃度測定及び校正は、以下の様にして実施する。まず、酸素濃度測定時には、拡散律速ガス導入部6を介して測定室4に導入される被測定ガスの酸素濃度を、第2の基準参照室31内の雰囲気を基準ガスとして、第2の酸素濃淡電池部の作用により酸素計測手段42から求める。この際、第2の基準参照室31内の雰囲気は、その酸素分圧が所定の一定値になるよう第2の酸素ポンプ部を第2基準酸素分圧制御手段43で制御されている。この制御では、測定室4の酸素分圧と第2の基準参照室31の酸素分圧との比が、1000/1〜1/1000以内になるように、第2の基準参照室31の酸素分圧を制御することが好ましい。なお、この際、校正用酸素ポンプ部と酸素ポンプ汲み上げ部とを動作させない点は、上述した第1発明の例と同様である。一方、校正時の操作は、校正開始信号を自動的に求める以外は、上述した第1発明の例と同様である。
【0024】
図2に示した例でも、図1に示した例と同様、高精度の校正を行うことができる。例えば、測定ガス濃度が5〜8ppmO2 で酸素濃淡電池稼動温度が850℃の時、基準参照エアと微量の被測定ガスで酸素濃淡電池を構成した場合、酸素濃淡電池の起電力は257.05〜245.68mVでその差が11.37mVとなる。そのため、257.05mVに対する起電力変化量は、11.37/257.05*100%=4.42%となる。第2の基準参照室(0.2ppmO2 に制御したとき)被測定ガス側で酸素濃淡電池を構成した時の酸素濃淡電池の起電力は77.86〜89.23mVでその差が−11.37mVとなる。そのため、起電力変化量は、−11.37/77.86*100%=−14.6%となる。両者の起電力変化量絶対値の比は、14.6/4.42=3.3で3.3倍となり、S/N比が改善される。従って、第2の基準参照室と被測定ガス側で酸素濃淡電池を得るよう構成することで、酸素濃淡電池の起電力は高いS/N比を維持することが出来る。また、校正時期を所定の方法により自動的に判別することで、無駄の無い校正を実施することができる。
【0025】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明の第1発明によれば、拡散律速ガス導入部の中間にガス吸収室を設け、校正時、酸素ポンプ汲み上げ部によりガス吸収室の酸素を汲み出してガス吸収室の酸素分圧を小さく、好ましくは測定室の酸素分圧の1/1000以下としているため、測定室内の酸素分圧は拡散律速ガス導入部を介して導入される被測定ガスの影響を受けず、高精度の校正を行うことができる。また、本発明の第2発明では、上述した第1発明の高精度の校正の実現に加えて、基準参照ガスとして大気ではなく一定の酸素分圧に制御した第2の基準参照室の雰囲気を利用しているため、酸素濃度測定時に被測定ガスが微量でも酸素濃度測定用の第2の酸素濃淡電池部のS/N比を大きくとることができる。さらに、好適例として、第1の酸素濃淡電池部の信号、第2の酸素濃淡電池部の信号、第3の酸素濃淡電池部の信号を利用して校正時期を自動的に判別しているため、校正開始を無駄なく設定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の自己校正機能付き酸素分析装置の第1発明の一例の構成を示す図である。
【図2】本発明の自己校正機能付き酸素分析装置の第2発明の一例の構成を示す図である。
【符号の説明】
1 酸素センサ、2 固体電解質体、3 基準参照室(第1の基準参照室)、4 測定室、5 校正酸素供給室、6 拡散律速ガス導入部、7 ガス吸収室、11 基準電極(電極)、12 測定電極(電極)、13,14 校正電極(電極)、15 汲み上げ電極、21 酸素計測及び校正手段、22 校正ガス作成手段、23 測定ガス吸収手段、24,44 差動増幅器、25,45 比較器、26,46 設定起電力、31 第2の基準参照室、32,33,34 電極、41 校正時期判別手段、42 酸素計測手段、43 第2基準酸素分圧制御手段
Claims (8)
- 板状の酸素イオン伝導性固体電解質体で積層された酸素センサにおいて;基準参照室と、拡散律速ガス導入部を介して被測定ガスに連通した測定室と、校正用酸素供給室とを有し;基準参照室に設けられた基準電極と、測定室に設けられた測定電極と、基準電極と測定電極との間に設けられた固体電解質体とで酸素濃淡電池部を構成し;測定室に設けられた校正電極と、校正用酸素供給室に設けられた校正電極と、両校正電極間に設けられた固体電解質体とで校正用酸素ポンプ部を構成し;酸素濃度測定時には、酸素濃淡電池部で被測定ガスの酸素濃度を測定すると共に、校正時には、校正用酸素ポンプ部により測定室に既知の校正用酸素を注入する構造の酸素センサを有する酸素分析装置であって;
拡散律速ガス導入部の中間にガス吸収室を設け、ガス吸収室に設けられた汲み上げ電極と、校正用酸素供給室に設けられた汲み上げ電極と、両汲み上げ電極間に設けられた固体電解質体とで酸素ポンプ汲み上げ部を構成し;
自己校正機能作動時、校正用酸素ポンプ部により、既知の校正用酸素分圧を測定室へ作成すると共に、酸素ポンプ汲み上げ部により、ガス吸収室の酸素分圧を小さくし、この状態で酸素濃淡電池部を校正するよう構成したことを特徴とする自己校正機能付き酸素分析装置。 - 前記ガス吸収室の酸素分圧が前記測定室の酸素分圧の1/1000以下となるように、前記酸素ポンプ汲み上げ部に供給する酸素ポンプ電流を制御した請求項1記載の自己校正機能付き酸素分析装置。
- 前記ガス吸収室の汲み上げ電極と前記測定室の校正電極との酸素分圧比に対応した酸素濃淡電池の起電力、または、前記ガス吸収室の汲み上げ電極と前記測定室の測定電極との酸素分圧比に対応した酸素濃淡電池の起電力が、所定の設定起電力になるように、酸素ポンプ汲み上げ部に供給する酸素ポンプ電流を制御することで、前記ガス吸収室の酸素分圧が前記測定室の酸素分圧の1/1000以下となるようにした請求項1または2記載の自己校正機能付き酸素分析装置。
- 前記基準参照室を大気と連結するか、または、前記基準参照室に酸素ポンプを形成し、この酸素ポンプにより基準参照用酸素分圧を作成した請求項1〜3のいずれか1項に記載の自己校正機能付き酸素分析装置。
- 前記校正用酸素供給室と前記基準参照室とを酸素センサの内部で気密仕切手段で分離し、校正用酸素供給室と基準参照室とのそれぞれが酸素センサの外部で大気と連通した請求項1〜4のいずれか1項に記載の自己校正機能付き酸素分析装置。
- 板状の酸素イオン伝導性固体電解質体で積層された酸素センサにおいて;第1の基準参照室と、拡散律速ガス導入部を介して被測定ガスに連通した測定室と、第2の基準参照室と、校正用酸素供給室とを有し;第1の基準参照室に設けられた電極と、測定室に設けられた電極と、両電極の間に設けられた固体電解質体とで第1の酸素濃淡電池部を構成し;第2の基準参照室に設けられた電極と、測定室に設けられた電極と、両電極の間に設けられた固体電解質体とで第2の酸素濃淡電池部を構成し;第1の基準参照室に設けられた電極と、第2の基準参照室に設けられた電極と、両電極の間に設けられた固体電解質体とで第3の酸素濃淡電池部を構成し;測定室に設けられた電極と、校正用酸素供給室に設けられた電極と、両電極の間に設けられた固体電解質体とで第1の酸素ポンプ部を構成し;第2の基準参照室に設けられた電極と、校正用酸素供給室に設けられた電極と、両電極の間に設けられた固体電解質体とで第2の酸素ポンプ部を構成し;酸素濃度測定時には、第2の酸素ポンプ部で第2の基準参照室中の酸素分圧を一定にした状態で、第2の酸素濃淡電池部で被測定ガスの酸素濃度を測定すると共に、校正時には、同じく第2の酸素ポンプ部で第2の基準参照室中の酸素分圧を一定にした状態で、第1の酸素ポンプ部により測定室に既知の校正用酸素を注入する構造の酸素センサを有する酸素分析装置であって;
拡散律速ガス導入部の中間にガス吸収室を設け、ガス吸収室に設けられた汲み上げ電極と、校正用酸素供給室に設けられた汲み上げ電極と、両汲み上げ電極間に設けられた固体電解質体とで酸素ポンプ汲み上げ部を構成し;
自己校正機能作動時、第1の酸素ポンプ部により、既知の校正用酸素分圧を測定室へ作成すると共に、酸素ポンプ汲み上げ部により、ガス吸収室の酸素分圧を小さくし、この状態で第2の酸素濃淡電池部を校正するよう構成したことを特徴とする自己校正機能付き酸素分析装置。 - 前記第1の酸素濃淡電池部の信号、第2の酸素濃淡電池部の信号、第3の酸素濃淡電池部の信号に基づき校正時期判別手段により決定した校正開始信号で、前記校正を開始するよう構成した請求項6記載の自己校正機能付き酸素分析装置。
- 前記測定室の酸素分圧と第2の基準参照室の酸素分圧との比が、1000/1〜1/1000以内になるように、第2の基準参照室の酸素分圧を制御するよう構成した請求項6または7記載の自己校正機能付き酸素分析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP00754098A JP3657761B2 (ja) | 1998-01-19 | 1998-01-19 | 自己校正機能付き酸素分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP00754098A JP3657761B2 (ja) | 1998-01-19 | 1998-01-19 | 自己校正機能付き酸素分析装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11201931A JPH11201931A (ja) | 1999-07-30 |
JP3657761B2 true JP3657761B2 (ja) | 2005-06-08 |
Family
ID=11668634
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP00754098A Expired - Fee Related JP3657761B2 (ja) | 1998-01-19 | 1998-01-19 | 自己校正機能付き酸素分析装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3657761B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10300957A1 (de) * | 2003-01-13 | 2004-07-22 | Ibidi Gmbh | Probenkammer für eine Flüssigkeit |
WO2023248799A1 (ja) * | 2022-06-22 | 2023-12-28 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサ |
-
1998
- 1998-01-19 JP JP00754098A patent/JP3657761B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11201931A (ja) | 1999-07-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5918177B2 (ja) | ガスセンサ | |
EP0807818B1 (en) | Method for measuring nitrogen oxide | |
JP6469464B2 (ja) | ガスセンサ | |
EP1890139B1 (en) | NOx sensor system with control circuit unit | |
JP3272215B2 (ja) | NOxセンサ及びNOx測定方法 | |
JPH0676990B2 (ja) | 高温ガス中の二酸化炭素および水分測定装置 | |
EP0791828A1 (en) | Method for measuring nitrogen oxides | |
JPH09318594A (ja) | ガスセンサおよび被測定ガス中の特定成分量の測定方法 | |
JPH1172478A (ja) | 酸化物ガス濃度検出装置及びそれに用いられる記憶媒体 | |
CN106716120B (zh) | 用于检测气体混合物中至少一个具有结合的氧的测量气体成分的含量的方法和装置 | |
JP2902162B2 (ja) | 空燃比センサの出力補正方法 | |
JP3657761B2 (ja) | 自己校正機能付き酸素分析装置 | |
US5635627A (en) | Carbon monoxide sensor having mercury doped electrodes | |
US6156175A (en) | Method for producing electrochemical element and electrochemical element | |
CN110646489B (zh) | 气体传感器 | |
US8166800B2 (en) | Gas concentration detection apparatus and gas concentration detection system | |
JP3563399B2 (ja) | ガス分析計 | |
JP7379243B2 (ja) | ガスセンサの検査装置、ガスセンサの検査方法及び基準センサ | |
JP3487990B2 (ja) | 自己校正型酸素分析方法及び装置 | |
US6623617B2 (en) | Method and apparatus for measuring concentration of a component in a gas | |
JP3630504B2 (ja) | 酸素濃淡電池型酸素分析計の大気エア一点校正方法および酸素濃淡電池型酸素分析計 | |
JP2000314718A (ja) | 可燃ガス成分濃度の測定装置及び測定方法 | |
JP3561149B2 (ja) | NOxガス濃度測定方法 | |
JP3882656B2 (ja) | ガス濃度測定方法及びガス濃度センサ | |
JP3476061B2 (ja) | 水蒸気分圧計測方法及び水蒸気分圧計測センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050125 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050215 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050310 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090318 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090318 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100318 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100318 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110318 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120318 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130318 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140318 Year of fee payment: 9 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |