JP3652712B2 - ヒータ温度制御システム - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は、例えば半導体製造装置に備えられ、各種の加熱処理工程において半導体部品の接合に使用されるヒータの温度を制御するシステムに関する。
【0002】
【従来の技術】
ヒータに供給する電源電圧は、スライドトランスで調整し、この調整においては、ヒータに熱電対などの測温体を取り付け、この測温体の出力に応じて、温度調節器により制御され、ヒータ電源をソリッド・ステート・リレー(以下、SSRという)によってON/OFF制御したり、また、PID制御等の方法により、温度を一定に保つといった温度制御がなされていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来技術においては、まず、ヒータに測温体が取り付けられる構成であるため、この測温体の取付けによるヒータの強度の低下が生じ、また、この測温体の取付け方や取付け位置による温度測定誤差が生じるという問題があった。また、温度安定性がそれほど高くなく、加熱対象物の接触時にも変動があり、フレキシブル性のない温度制御であり、かつ、常に一定温度に保つような単純制御しかできない点でも問題があった。さらに、このシステム全体の構成においても、ヒータの経時変化による特性値の変化や、ヒータ毎に微妙に異なる特性値の変化により生じる制御誤差に対応できず、また、温度の異常があった場合においてもヒータの状態を長期に渡る履歴情報がないため、ヒータの経時特性の分析ができず、そのトラブルの原因がわからず、また、その温度異常の警告を発する手段もないため、その対応も遅れがちといった問題があった。またさらに、通信機能等の外部とのインターフェースが無いため、リモート監視やリモート制御等を行うことができず、生産ライン上のシステムとしての不都合も生じていた。
【0004】
本発明はこれらの問題点を解決するためになされたものであり、温度安定性が高く、フレキシブル性に富んだ温度制御を行うことができ、ヒータの状況をリアルタイムに監視でき、温度異常等が起こった場合にも、作業者にその異常警告を速く知らせることができ、その素早い対応が実現でき、さらに、ヒータの履歴管理等が容易になり、生産ライン上のシステムとして使い易く、また、効率のよいヒータ温度制御システムを提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明のヒータ温度制御システムは、その基本概念図である図1を参照しながら説明すると、ヒータ1aと、そのヒータ1aを駆動制御するヒータ駆動制御手段1cと、そのヒータ1aの温度を検出するための非接触型電流センサ1bを備え、そのセンサ1bにより検出された値からヒータ1aの温度を判定し、その温度に基づいて加熱デューティ値を変化させることによりヒータ1aの設定温度を制御するヒータ制御ユニット部1と、ヒータ1aを駆動させるために温度設定値を初期設定データとして入力するデータ入力部3と、その設定データおよびヒータ特性に関わる情報を格納する記憶部4と、ヒータ状況を示す情報を表示する表示部5と、外部システムとの間でデータの授受を制御する通信制御部6と、上記各部1,3,4,5,6を制御するヒータシステム制御部2とを備えたシステムである。また、このヒータシステム制御部2は、センサ1bからの検出結果およびヒータ1aの初期設定データに基づいて、ヒータ1aを駆動するか否かの動作信号およびその動作を行う時間を設定するデータを、ヒータ駆動制御手段1cに供給するとともに、ヒータ状況の履歴情報とそのヒータの駆動制御に関わる情報を記憶部4に格納し、かつ、ヒータ温度があらかじめ設定された温度範囲に有るか否かを判別し、温度範囲にない場合はヒータ温度は異常と判別し、表示部5に対しその異常を知らせるための表示を行うよう駆動制御し、記憶部4に格納された情報に基づき、ヒータ1aの状況をリアルタイムに監視することによって特徴付けられる。
【0006】
【作用】
ヒータ状況がリアルタイムに監視でき、また、その履歴情報も蓄積されているのでヒータの経時特性分析やデータ管理ができる。また、非接触型電流センサ1bにより、加熱対象物に接触することがなく、温度測定誤差がなく、また、このセンサ1bの検出結果および設定データにより、ヒータ1aの温度制御は自動的になされる。また、ヒータ温度に異常があった場合には、その警告がただちに表示されるので、速くその異常の認識ができる。
【0007】
また、通信制御部6により、外部システムとの情報の交換ができる。
【0008】
【実施例】
以下、本発明実施例について、図面に基づいて説明する。
図2は、本発明実施例の構成を示すシステム構成図である。また、図3はヒータ制御ユニットの各部の構成を示す構成図である。
【0009】
セラミックヒータ等の発熱体を備えたヒータ(201) とSSR(202) とからなるヒータ部101、非接触型の電流センサ(211) とその出力を増幅する増幅器(212) が備えられたセンサ部102、交流電源(231) を備えた供給電源部104、ヒータ(201) にかける電源をON/OFFするSSRコントローラ(221) と異常判定用比較器(222) と温度判定用比較器(223) と、温度確認の通電サイクルを決めるカウンタ(224) とが備えられたヒータ制御部103、制御のON/OFFのタイミングを発生させるクロック発生器(241) を備えたクロック発生部105、および、デジタル値をアナログ値に変換するデジタル・アナログ変換器(251) とアナログ値をデジタル値に変換するアナログ・デジタル変換器(252) とからなる変換部106から構成されたヒータ制御ユニット100が備えられている。さらに、このヒータ制御ユニット100とバス(デジタル信号伝送路)160を通して接続されており、このヒータ制御システム全体を制御するプロセッサ部110、表示画面131を制御する画面制御部130、キーボードや操作パネル等のデータ入力ユニット121から入力されたデータをプロセッサ部110へ伝える操作部120、ディスク141を制御するディスク部140、および、外部の上位システム150とディスプレイ通信制御する通信制御部111とによって構成されている。ディスク141は、フロッピーディスクやハードディスク等が用いられ、ヒータに関する過去のデータやヒータの履歴情報等、後述する全てのデータが格納されている。
【0010】
次に、以上の構成からなる本発明実施例のシステム動作を説明する。
まず、その基本動作を、図4および図5に示す温度判定のタイミングチャートに基づいて説明する。
【0011】
ヒータ(201) をON制御して、ヒータ(201) に流れる電流値を電流センサ(211) で測定し、測定値と基準値を比較してコンパレータパルスをつくり、クロック発生部105で出力された供給電源と同じ周期をもつ同時クロックにゼロクロスで同期させて、位相比較パルスを生成する。さらに、コンパレータパルスとこの位相比較パルスを重ねて共通する位相部分だけの低温パルスを生成する。図4に示すように、この低温パルスが生成された場合はヒータ温度が設定温度より低いことを示し、また、図5に示すように、低温パルスが生成されない場合は設定温度より高いか、あるいは、ヒータがOFFの制御状態であることを示す。この判定の結果、ヒータ温度が低い場合は、ヒータのON制御と温度測定を継続し、また、ヒータ温度が高い場合は、ヒータのOFF制御を行う。このOFF制御に入った場合は、同期クロックを設定カウント値の回数までカウント後にヒータを再びON制御し、温度測定する。このようなコンパレータ制御を行う他に、カウント値を少なくして温度を測定するだけでなく、加熱を行うといった、いわゆる加熱デューティ制御を行うことができる。
【0012】
実際には、、開始前に初期化動作501をする。その際、ヒータ温度と時間の測定により温度上昇速度、温度上昇加速度、温度下降速度、温度下降加速度、温度安定度を算出し、前回測定時の値をディスク制御140によりディスク141から出力し、算出した値と比較して違いがあればそれに応じてコンパレータ基準値と加熱デューティ値を調整し、補正をかける。同時に今回測定および算出したヒータ温度、時間、温度上昇速度、温度上昇加速度、温度下降速度、温度下降加速度、温度安定度に対し年月日時刻のデータを付加し(以下、これらをヒータ初期データ602という)、ディスク制御部140によりディスク141に格納する。
【0013】
次に、データ入力ユニット121により一定温度制御または温度カーブ制御のいずれかを選択し、一定温度制御ならばコンパレータ基準値による設定温度、カウント値による加熱デューティ値、ON時刻、OFF時刻を設定する。(以下、これらをヒータ制御データ603という)コンパレータ基準値は、プロセッサ部110からバス160を通して変換部106で、デジタル値からアナログ値に変換されて設定される。カウント値は、プロセッサ部110からバス160を通して変換部106では変換されず、そのままデジタル値で設定される。同時に、これらの設定温度、カウント値による加熱デューティ値、ON時刻、OFF時刻に対し年月日時刻のデータを付加し(以下、これらをヒータ初期データ602という)、ディスク制御部140によりディスク141に格納する。
【0014】
そこで、ヒータ制御システムが開始されると、設定された値に従って温度制御する。そのとき、測定されている温度を示す電流センサ出力値は変換部106でアナログ値からデジタル値に変換されて、バス160を通りプロセッサ部110へ送られる。プロセッサ部110は受け取ったセンサ部102の値を温度に換算して現在の温度とし設定温度と並べて表示し、それと共にヒータ名、温度上昇速度、温度上昇加速度、温度下降速度、温度下降加速度、温度安定度、設定温度カーブ、測定温度カーブ、温度差、ヒータ稼働(ON制御)時間、ヒータ停止(OFF制御)時間、ヒータ負荷時間、ヒータ稼働率のデータも算出し表示する。これらのデータに対し年月日時刻のデータを付加し(以下、これらをヒータ特性データ604という)、ディスク制御部140によりディスク141に格納する。
【0015】
また、既に設定した設定温度と現在の温度を比較して、その間に温度差があれば差が小さくなるように、コンパレータ基準電圧値や加熱デューティ値を調節する。
【0016】
また、あらかじめ、ヒータ特性データが良好な状態である範囲を設定し、その範囲をヒータ特性データから外れたときは、トラブル状態とする。このとき、トラブルが発生したことを画面制御部130により画面表示し、緊急にOFF制御を行う。そして、トラブル発生直前のヒータ特性データ604を画面制御部130により画面表示し、直後もヒータ制御部103のカウント値を設定できる最大値から最小値までの間で変化させてカウンタが正常に動作するか否かを確認し、コンパレータの設定値も設定できる最大値から最小値までの間で変化させてカウンタが正常に動作するか否かを確認する。そして、通信制御部111により上位システム150へヒータトラブルデータ605としてトラブル報告503をする。同時にディスク制御部140により、トラブルデータ605に年月日時刻のデータを付加し、ディスク141に格納する。
【0017】
そして、格納されたヒータ初期データ602、ヒータ制御データ603、ヒータ特性データ604、およびヒータトラブルデータ605からなる履歴データを検索して、画面制御部130により、画面表示し、必要なデータだけを加工して接触時間、温度変化値、変化速度、変化加速度のデータにより加熱対象物と接触時の特性分析や初期化動作時にディスク141内に格納し、蓄積したヒータ初期データ602によりヒータ自体の経時特性分析を行う。
【0018】
次に、上位システムとの通信手順を図6を参照しながら、以下に説明する。
初期化動作501を行ったときに、このヒータ制御システムがもつ固有番号すなわち、自システムID601とヒータ初期データ602を、上位システムに送信する。また、蓄積されたヒータ制御データ603、ヒータ特性データ604およびヒータトラブルデータ605は、定期毎に自システムID601とともに送信し、定期データ報告502を行う。なお、この定期毎の設定は、月単位、週単位、日単位、時・分・秒単位に任意に設定がなされる。また、ヒータトラブルが発生した場合はその都度、そのヒータトラブルデータ605を自システムID601とともに送信する。なお、以上の初期化動作501、定期データ報告502、トラブル報告503に対し、上位システムではそれぞれその確認処理を行う。そして、上位システムからスタート制御の指示606やストップ制御の指示607を受けたときは、それに従い強制制御すなわち、制御スタート504および制御ストップ505を行う。
【0019】
以上の本発明実施例では、ヒータの温度制御は自動的に行われるが、この制御はコンパレータ制御と加熱デューティ制御を適宜組み合わせたフレキシブルな制御を実現できる。また、非接触型の電流センサが用いられ、温度安定性が高く、精度の高いデータを得ることができる。また、ヒータの経時データが蓄積されているので、データ解析やメンテナンスを容易に行うことができ、また、ヒータの状況はリアルタイムに監視できる。
【0020】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のヒータ温度制御システムによれば、ヒータシステム制御部は、センサからの検出結果およびヒータの初期設定データに基づいて、ヒータを駆動するか否かの動作信号およびその動作を行う時間を設定するデータを、ヒータ駆動制御手段に供給するとともに、ヒータ状況の履歴情報とそのヒータの駆動制御に関わる情報とを記憶部に格納し、かつ、ヒータ温度があらかじめ設定された温度範囲に有るか否かを判別し、温度範囲にない場合はヒータ温度は異常と判別して、表示部に対しその異常を知らせるための表示を行うよう駆動制御し、記憶部に格納された情報に基づき、ヒータの状況をリアルタイムに監視する構成としたので、ヒータの経時特性分析やデータ管理が容易になり、システム解析作業を効率的に行うことができ、装置管理が容易になる。また、ヒータの温度制御は自動的になされ、かつ、その温度安定性の高い制御となり、さらに、メンテナンス作業も減り、稼働率が向上する。
【0021】
また、ヒータ状況がリアルタイムに監視でき、ヒータ温度に異常があった場合には、速くその異常を認識することができ、その対応を迅速に行うことができる。この結果、生産ライン上のシステムとして、汎用性が高まり、また、製品の品質向上が実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の基本概念図
【図2】本発明実施例の構成を示すシステム構成図
【図3】本発明実施例のヒータ制御ユニットの構成を示す図
【図4】本発明実施例における温度判定を説明するためのタイミングチャート
【図5】本発明実施例における温度判定を説明するためのタイミングチャート
【図6】本発明実施例における通信手順を説明する図
【符号の説明】
1・・・・ヒータ制御ユニット部
1a・・・・ヒータ
1b・・・・センサ
1c・・・・ヒータ駆動制御手段
2・・・・ヒータシステム制御部
3・・・・データ入力部
4・・・・記憶部
5・・・・表示部
6・・・・通信制御部
Claims (1)
- ヒータと、そのヒータを駆動制御するヒータ駆動制御手段と、そのヒータの温度を検出するための非接触型電流センサを備え、そのセンサにより検出された値から上記ヒータの温度を判定し、その温度に基づいて加熱デューティ値を変化させることにより当該ヒータの設定温度を制御するヒータ制御ユニット部と、上記ヒータを駆動させるために温度設定値を初期設定データとして入力する入力部と、その設定データおよびヒータ特性に関わる情報を格納する記憶部と、ヒータ状況を示す情報を表示する表示部と、外部システムとの間でデータの授受を制御する通信制御部と、上記各部を制御するヒータシステム制御部とを備えるとともに、このヒータシステム制御部は、上記センサからの検出結果および上記ヒータの初期設定データに基づいて、上記ヒータを駆動するか否かの動作信号およびそのヒータ駆動時間を設定するデータを、上記ヒータ駆動制御手段に供給するとともに、ヒータ状況の履歴情報とそのヒータの駆動制御に関わる情報とを上記記憶部に格納し、かつ、ヒータ温度があらかじめ設定された温度範囲に有るか否かを判別し、温度範囲にない場合はヒータ温度は異常と判別して、上記表示部に対しその異常を知らせるための表示を行うよう駆動制御し、上記記憶部に格納された情報に基づき、当該ヒータの状況をリアルタイムに監視することを特徴とするヒータ温度制御システム。
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