JP3652612B2 - 半導体記憶装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、大容量でも高速動作を実現する半導体記憶装置の構成に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の代表的な半導体記憶装置のメモリセルアレイの一部を図11に示す。同図の半導体記憶装置は、多数個のメモリセルがロー方向とカラム方向に配置されたメモリセルアレイ1a〜1dと、各メモリセルアレイ1a〜1dのロー方向のメモリセルを選択する比較的高抵抗な材質で形成されたローカルワード線10と、メモリセルのデータを後段のセンスアンプに伝達するビット線対(40a、40b)、(41a、41b)、(42a、42b)、(43a、43b)と、任意のメモリセルアレイ毎にローカルワード線10と接続されている比較的低抵抗な材質で形成されたグローバルワード線20とにより、構成されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来の構成では、メモリセルアレイ1a〜1dが大容量化すると、ロー方向に配置されるメモリセル数が大きくなり、ワード線の負荷容量が大きくなる。そのため、ワード線の立ち上がりが遅くなり、その結果、アクセスタイムの遅延時間が増大するという問題があった。
【0004】
本発明は前記従来の問題点を解決するためのものであり、その目的は、大容量の半導体記憶装置であっても、より一層の高速動作を実現することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、本発明では、1本のグローバルワード線に接続されるメモリセルの数を実質的に減らすように構成する。
【0006】
すなわち、請求項1記載の発明の半導体記憶装置は、複数のメモリセルを行及び列方向にマトリクス状に配置したメモリセルアレイと、前記メモリセルアレイのロー方向のメモリセルを選択する1本のローカルワード線と、前記メモリセルアレイのカラム方向のメモリセルのデータを伝達するビット線対と、前記ローカルワード線の配線層よりも上層の配線層に形成された複数本のグローバルワード線とを備え、前記複数本のグローバルワード線は少なくとも2種類の異なる配線層に形成され、前記1本のローカルワード線は、前記複数本のグローバルワード線のうち少なくとも1本のグローバルワード線と接続され、更に、前記ビット線対の各ビット線の電位を所定電位にプリチャージするプリチャージトランジスタと、前記プリチャージトランジスタを制御する複数本のプリチャージ制御線とを備え、前記複数本のプリチャージ制御線は、少なくとも2種類の異なる配線層に形成されることを特徴とする。
【0007】
また、請求項2記載の発明は、前記請求項1記載の半導体記憶装置において、前記複数本のグローバルワード線は、前記メモリセルアレイのロー方向に配置されたメモリセル上に形成されることを特徴とする。
【0008】
更に、請求項3記載の発明は、前記請求項2記載の半導体記憶装置において、前記複数本のグローバルワード線のうち、上層に配置されるグローバルワード線は、所定の接続箇所にて前記ローカルワード線と接続され、前記複数本のグローバルワード線のうち、下層に配置されるグローバルワード線は、前記上層のグローバルワード線と前記ローカルワード線との接続箇所を迂回するように、前記下層に配置されるグローバルワード線の位置を基準に前記メモリセルアレイの内方に向かう方向又は前記メモリセルアレイの外方に向かう方向に配線されることを特徴とする。
【0009】
加えて、請求項4記載の発明は、前記請求項3記載の半導体記憶装置において、前記下層に配置されるグローバルワード線は、前記接続個所のメモリセルのロー方向隣りに位置するメモリセルにおいて前記接続個所を迂回するよう配線されることを特徴とする。
【0010】
また、請求項5記載の発明は、前記請求項1ないし4の何れか1項に記載の半導体記憶装置において、前記ローカルワード線は、同一行に少なくとも2本配置され、前記複数本のグローバルワード線のうち上層に配置された1本のグローバルワード線は、前記2本のローカルワード線のうち一方に接続され、前記複数本のグローバルワード線のうち下層に配置された1本のグローバルワード線は、他方のローカルワード線に接続されることを特徴とする。
【0011】
更に、請求項6記載の発明は、前記請求項1ないし5の何れか1項に記載の半導体記憶装置において、前記メモリセルアレイは、カラム方向に少なくとも2つのメモリセルアレイブロックで構成され、前記ローカルワード線は前記各メモリセルアレイブロックに対応して少なくとも2本に分割され、前記複数本のグローバルワード線は前記ローカルワード線の少なくとも1本と接続されることを特徴とする。
【0012】
加えて、請求項7記載の発明は、前記請求項6記載の半導体記憶装置において、前記複数本のグローバルワード線のうち上層に配置されたグローバルワード線は、前記少なくとも2つのメモリセルアレイブロックのうちワード線ドライバーから遠い位置にあるメモリセルアレイブロックのローカルワード線と接続されることを特徴とする。
【0013】
また、請求項8記載の発明は、前記請求項1ないし7の何れか1項に記載の半導体記憶装置において、欠陥メモリセルを救済するための救済用メモリセルを有し、救済メモリセルは前記複数本のグローバルワード線の少なくとも1本と接続されることを特徴とする。
【0014】
以上により、請求項1記載の発明では、ロー方向に複数本のグローバルワード線が配置されるので、グローバルワード線1本当たりの接続メモリセル数が減って、ワード線の活性化が高速化される。しかも、これ等複数本のグローバルワード線は少なくとも2種類の異なる配線層に形成されるので、グローバルワード線間のカップリング容量も低減されて、ワード線の時定数が小さくなり、ワード線の高速化が一層効果的になる。更に、プリチャージ制御線も複数本設けられ、且つこれ等のプリチャージ制御線が少なくとも2種類の異なる配線層に形成されるので、これ等プリチャージ制御線間のカップリング容量をも低減しつつ、これ等プリチャージ制御線の活性化が早期に行われて、プリチャージトランジスタを短時間で駆動でき、プリチャージ動作の高速化を図ることができる。
【0015】
また、請求項2記載の発明では、複数本のグローバルワード線がメモリセルアレイのメモリセル上に形成されるので、メモリセルアレイのサイズを大きくする必要がなく、半導体記憶装置がコンパクト化される。
【0016】
更に、請求項3及び4記載の発明では、ワード線の配線層よりも上の配線層に複数本のグローバルワード線が配置されるが、これ等の複数本のグローバルワード線を例えば上層及び下層の2種類の配線層に配置する場合に、上層のグローバルワード線がワード線と接続される接続箇所では、下層のグローバルワード線の配線は前記接続箇所のスルーホール等に干渉することになるが、この下層のグローバルワード線が、この下層のローバルワード線の位置を基準にメモリセルアレイの内方に向かう方向又は外方に向かう方向に迂回して配線されるので、メモリセルアレイのサイズを大きくすることなく、これらグローバルワード線をメモリセル中に配置できる。
【0017】
加えて、請求項5記載の発明では、異なる配線層に配置された2本の隣り合うグローバルワード線が各々異なるローカルワード線と接続されるので、これ等の隣り合うグローバルワード線間のカップリング容量が小さくなって、ワード線の動作遅延が減少する。
【0018】
また、請求項6記載の発明では、1本のグローバルワード線は例えば1つのメモリセルアレイブロックのローカルワード線に接続され、他の1本のグローバルワード線は例えば全てのメモリセルアレイブロックのローカルワード線に接続される。従って、活性化させるグローバルワード線を選択すれば、特定のブロックのワード線のみをアクセスすることができ、低消費電力化が図られる。
【0019】
更に、請求項7記載の発明では、ワード線ドライバーから離れたメモリセルアレイブロックのローカルワード線は、上層に配置されたグローバルワード線、即ち下層のグローバルワード線と干渉せずに直線的に延びるグローバルワード線と接続されるので、クリティカルとなるワード線ドライバーから離れたメモリセルアレイでの動作遅延を低減できる。
【0020】
加えて、請求項8記載の発明では、救済用メモリセルも複数本のグローバルワード線の少なくとも1本と接続されるので、救済用メモリセルのアクセスを高速化することができる。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【0022】
(第1の実施の形態)
図1は本発明の第1の実施の形態における半導体記憶装置のメモリセルレイアウトを示す。
【0023】
同図において、1a、1b、1c、1dはメモリセルアレイ、10は1行のメモリセルに対して1本のローカルワード線、20及び21は前記1本のローカルワード線10に対応して設けられた複数本(同図では2本)のグローバルワード線であり、一方のグローバルワード線20は前記ローカルワード線10の配線層よりも上層の第1の配線層に形成され、他方のグローバルワード線21は前記第1の配線層よりも上層の第2の配線層に形成される。また、40a、40b、41a、41b、42a、42b、43a、43bはビット線、50は下層の配線層で形成されたグローバルワード線20とローカルワード線10とを接続する裏打ちセル、51は上層の配線層で形成されたグローバルワード線21とローカルワード線10とを接続する裏打ちセルである。
【0024】
図1に示したように、本実施の形態においては、2本のグローバルワード線20、21をメモリセルアレイ1a〜1dのロー方向に延ばして異なる配線層に形成する。従って、グローバルワード線1本当たりに接続されるメモリセル数が少なくなり、また、グローバルワード線20、21相互間のカップリング容量も少なくなるので、ワード線の時定数を小さくすることができる。従って、高速化を図ることができる。更に、2本のグローバルワード線20、21を異なる配線層に形成することにより、メモリセル1a〜1dのサイズを大きくすることなく、限られたスペースに2本のグローバルワード20、21線を配置することができる。
【0025】
図2は本実施の形態における半導体記憶装置の回路図の一例を示すものであって、図1のレイアウトにおいてメモリセルアレイ1a〜1dを具体化したものである。同図に示したメモリセルアレイ1a〜1dは各々複数個のメモリセル60a〜60d…を持つ。
【0026】
本実施の形態においては、メモリセルアレイ1a〜1dのロー方向に延び且つ異なる配線層に形成された2本のグローバルワード線20、21が選択され、次いでこれ等のグローバルワード線20、21に接続されたローカルワード線10が選択されることにより、メモリセル60a〜60dのワード線がアクセスされる。この時、ビット線対(40a、40b)、(41a、41b)、(42a、42b)、(43a、43b)を通して、メモリセル60a〜60dに対してデータを読み出し又は書き込みすることになる。
【0027】
従って、ローカルワード線10を駆動するグローバルワード線20、21が2本になることにより、グローバルワード線1本当たりに接続される負荷(メモリセル数)が小さくなり、その結果、ワード線の時定数が小さくなって、メモリセル60a〜60dの動作の高速化を図ることができる。
【0028】
本実施の形態の動作波形を図3に示す。同図において、クロック信号CLKが立ち上がると、アドレス信号ADn及びデータ信号DInが取り込まれる。前記クロック信号CLKに同期して、前記アドレス信号ADnにより選択された特定のグローバルワード線20及び21が選択される。更に、グローバルワード線20、21に接続されているローカルワード線10が選択される。このローカルワード線10によって選択されたメモリセルのビット線対によってメモリセルのデータが出力される。
【0029】
従って、本実施の形態では、グローバルワード線20、21の時定数を小さくすることにより、ワード線の遅延時間を短縮することができ、メモリセルのアクセスタイムを高速化することが可能である。
【0030】
(第2の実施の形態)
次に、本発明の第2の実施の形態を図4に基づいて説明する。
【0031】
図4は本実施の形態の半導体記憶装置のレイアウト構成を示す。同図において、2本のグローバルワード線22、23はメモリセルアレイ1a〜1dのメモリセルの上方に形成され、ロー方向に延びるように配置されている。従って、これ等グローバルワード線22、23をメモリセルアレイ1a〜1dの外方に配置する場合に比して、半導体記憶装置をコンパクトにできる。
【0032】
また、上層に配置されたグローバルワード線23は、ロー方向に直線状に配線されると共に、裏打ちセル51のスルーホール65を通じて前記ローカルワード線10と接続される。一方、下層に配置されたグローバルワード線22は、図中左側部分で前記上層のグローバルワード線23の直下方に配置されてロー方向に延びた後、前記裏打ちセル(接続箇所)51の手前でこの裏打ちセル51を迂回して更にロー方向に延びる。即ち、この下層のグローバルワード線22は、前記裏打ちセル51の図中左方に隣るメモリセルアレイ1bの手前で、この下層のローバルワード線22の位置を基準にメモリセルアレイ1bの内方に向かう方向に折れ曲がった後、ローカルワード線10と上層のグローバルワード線23の間を更にこれ等と並行にロー方向に延びる。
【0033】
従って、上層のグローバルワード線23の直下方に下層のグローバルワード線22を配置する場合であっても、下層のグローバルワード線22が上層のグローバルワード線23とローカルワード線10との接続箇所51と干渉することなく、且つメモリセルアレイ1a〜1dのサイズを大きくすることなく、これら2本のグローバルワード線22、23をメモリセルアレイ1a〜1d中に配置することができる。
【0034】
尚、本実施の形態では、上層及び下層のグローバルワード線22、23はメモリセルアレイ1a〜1dの上方に配置したが、メモリセルアレイ1a〜1dの外方に配置してもよい。更に、ローカルワード線10と上層のグローバルワード線23とが近接して配置される場合には、下層のグローバルワード線22は、本実施の形態とは逆に裏打ちセル51の手前で、この下層のローバルワード線22の位置を基準にメモリセルアレイ1bの外方に向かう方向に折れ曲がった後、上層のグローバルワード線23のローカルワード線10側とは反対側をロー方向に延びるように配置する構成でも良いのは勿論である。
【0035】
(第3の実施の形態)
続いて、本発明の第3の実施の形態を図5及び図6に基づいて説明する。
【0036】
図5及び図6は本実施の形態の半導体記憶装置のレイアウト構成を示す。同図では、ローカルワード線は同一行に2本配置される。一方のローカルワード線12はメモリセルアレイ1a、1bのメモリセル60a、60b…を選択し、他方のローカルワード線13はメモリセルアレイ1c、1dのメモリセル60c、60d…を選択する。前記ローカルワード線12、13と並行に延びて隣り合う2本のグローバルワード線20、21のうち下層のグローバルワード線20は、前記一方のローカルワード線12に裏打ちセル50で接続され、上層のグローバルワード線21は他方のローカルワード線13に裏打ちセル51で接続される。
【0037】
従って、本実施の形態では、各グローバルワード線20、21は何れか一方のローカルワード線12、13と接続されるので、これ等の隣り合う2本のグローバルワード線20、21間のカップリング容量が小さくなり、その結果、グローバルワード線20、21の動作遅延が減少することになる。
【0038】
(第4の実施の形態)
更に、本発明の第4の実施の形態を図7に基づいて説明する。
【0039】
図7は本実施の形態の半導体記憶装置のレイアウト構成を示す。同図において、Xは4つのメモリセルアレイ1a〜1dを持つメモリセルアレイブロック、Yは前記メモリセルアレイブロックXのカラム方向上方に配置された他のメモリセルアレイブロックであって4つのメモリセルアレイ1e〜1hを持つ。一方のメモリセルアレイブロックXには独自のローカルワード線10がロー方向に配置され、他方のメモリセルアレイブロックYにも独自のローカルワード線11がロー方向に配置されている。前記2本のローカルワード線10、11はワード線ドライバー(図示せず)により駆動される。このワード線ドライバーは図示しないがメモリセルアレイブロックYの図中上方の所定位置に配置される。
【0040】
また、図7において、一方のメモリセルアレイブロックXには、ロー方向に延びる2本のグローバルワード線24、25が異なる配線層に配置され、一方のグローバルワード線24は下層に、他方のグローバルワード線25は上層に配置される。同様に、他方のメモリセルアレイブロックYにも、ロー方向に延びる2本のグローバルワード線26、27が異なる配線層に形成され、一方のグローバルワード線26は下層に、他方のグローバルワード線27は上層に形成される。一方のメモリセルアレイブロックXにおいて、下層のグローバルワード線24は裏打ちセル50により同ブロックX内のローカルワード線10と接続される。この下層のグローバルワード線24は、他方のメモリセルアレイブロックY方向に延びて同ブロックYの下層のグローバルワード線26と接続される。このメモリセルアレイブロックYの下層のグローバルワード線26は、裏打ちセル53により同ブロックYのローカルワード線11と接続される。
【0041】
また、メモリセルアレイブロックXの上層のグローバルワード線25は、裏打ちセル54により同ブロックX内のローカルワード線10と接続される。一方、他方のメモリセルアレイブロックYの上層のグローバルワード線27は、同図では両ブロックX、Yのローカルワード線10、11の何れにも接続されない。
【0042】
従って、本実施の形態では、一方のメモリセルアレイブロックXではローカルワード線10が上層及び下層の両グローバルワード線24、25と接続され、他方のメモリセルアレイブロックYではローカルワード線11が下層のグローバルワード線26と接続され、両ブロックX、Yの下層のグローバルワード線24、26同士が相互に接続される。よって、下層のグローバルワード線24又は26を選択すれば、両メモリセルアレイブロックX、Yのメモリセルにアクセスでき、ブロックXの上層のグローバルワード線25を選択すれば、一方のメモリセルアレイブロックXのみのメモリセルにアクセスでき、選択するグローバルワード線により一方のメモリセルアレイブロックX又は双方のメモリセルアレイブロックX、Yを必要に応じて選択でき、低消費電力化が可能である。
【0043】
しかも、ワード線ドライバーから離れた側のメモリセルアレイブロック、即ちメモリセルアレイブロックXでは、ワード線ドライバーに近い位置のメモリセルアレイブロックYに比して、ワード線の駆動の遅延が大きいものの、このメモリセルアレイブロックXのローカルワード線10が、同ブロックXの上層のグローバルワード線25と接続され、この上層のグローバルワード線25がロー方向に直線的に延びて遅延が比較的小さいので、同ブロックXのメモリセルのアクセスの遅延をできるだけ小さく抑制することが可能である。
【0044】
(第5の実施の形態)
更に、本発明の第5の実施の形態を図8及び図9に基づいて説明する。
【0045】
図8及び図9は本実施の形態の半導体記憶装置のレイアウト構成を示す。同各図において、1rは救済用メモリセル60r…を備えた救済用メモリセルアレイであって、通常のメモリセルアレイ1a〜1dの何れかのメモリセル60a、60b、60c、60d…に欠陥がある又は生じた場合にこの欠陥メモリセルに代えて救済用メモリセル60r…に対してデータの読み出し又は書き込みを行うためのものである。
【0046】
通常のメモリセルアレイ1a〜1d上方にはローカルワード線14がロー方向に延び、このローカルワード線14には2つの裏打ちセル50を介してロー方向に延びる下層のグローバルワード線20が接続される。一方、前記救済用メモリセルアレイ1rの上方にはローカルワード線15がロー方向に延び、このローカルワード線15には裏打ちセル51を介して前記下層のグローバルワード線20と並行に延びる上層のグローバルワード線21が接続されている。
【0047】
従って、本実施の形態では、救済用メモリセルアレイ1rの救済用メモリセル60r…は、ローカルワード線15を介して前記2本のグローバルワード線20、21のうち上層のグローバルワード線21と接続される形態である。従って、前記第1の実施の形態で述べたように、グローバルワード線1本当たりの接続メモリセル数が低減されているので、ローカルワード線15の活性化が高速化されて、救済用メモリセル60r…のアクセスを高速化することができる。
【0048】
(第6の実施の形態)
続いて、本発明の第6の実施の形態を図10に基づいて説明する。
【0049】
図10は本実施の形態の半導体記憶装置のレイアウト構成を示す。同図は、図1に示したメモリセルアレイ1a〜1dの図中上方又は下方に配置されるプリチャージトランジスタ周りの構成を示している。同図において、100a〜100dは各メモリセルアレイ1a〜1dのビット線対の各ビット線40a、40b、41a、41b、42a、42b、43a、43bを電源電圧の1/2値などの所定電圧にプリチャージするプリチャージトランジスタである。これ等プリチャージトランジスタ100a〜100dの上方には、ロー方向に延びる2本のプリチャージ制御線82、83が並行に延びている。これ等のプリチャージ制御線82、83は、前記プリチャージトランジスタ100a〜100dをON/OFF制御するためのものであって、相互に異なる配線層に形成され、例えば一方のプリチャージ制御線82は上層の配線層に、他方のプリチャージ制御線83は下層の配線層に形成される。
【0050】
従って、本実施の形態では、2本のプリチャージ制御線82、83が配置されるので、プリチャージ制御線1本当たりのプリチャージトランジスタ数が減って、プリチャージトランジスタ100a〜100dの駆動速度が速くなる。更に、両プリチャージ制御線82、83が異なる配線層に形成されているので、これ等プリチャージ制御線82、83間のカップリング容量が低減されて、これ等プリチャージ制御線82、83の活性化が早期に行われる。従って、プリチャージトランジスタ100a〜100dをより一層短時間で駆動でき、プリチャージ動作の高速化を図ることができる。
【0051】
尚、前記の第1〜第5の各実施の形態では、グローバルワード線は2本配置したが、本発明は2本に限定されず、3本以上のグローバルワード線を配置しても良いのは勿論である。同様に、第6の実施の形態で説明したプリチャージ制御線82、83も3本以上配置しても良い。
【0052】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項1記載の発明の半導体記憶装置によれば、ロー方向に複数本のグローバルワード線を少なくとも2種類の異なる配線層に配置したので、グローバルワード線1本当たりの接続メモリセル数が減少すると共に、これらグローバルワード線間のカップリング容量を低減しつつ、ワード線の時定数を小さくできて、ワード線の活性化を高速化できる。更に、プリチャージ制御線も複数本設け、これ等のプリチャージ制御線を少なくとも2種類の異なる配線層に形成したので、これ等プリチャージ制御線間のカップリング容量を低減しつつ、これ等プリチャージ制御線の活性化を早期に行うことができ、プリチャージ動作の高速化を図ることができる。
【0053】
また、請求項2記載の発明によれば、数本のグローバルワード線をメモリセルアレイのメモリセル上に形成したので、メモリセルアレイのサイズを大きくする必要がなく、半導体記憶装置をコンパクト化できる。
【0054】
更に、請求項3及び4記載の発明によれば、下層のグローバルワード線を、この下層のローバルワード線の位置を基準にメモリセルアレイの内方又は外方に向かう方向に迂回して配線したので、メモリセルアレイのサイズを大きくすることなく、複数本のグローバルワード線をメモリセル中に配置できる効果を奏する。
【0055】
加えて、請求項5記載の発明によれば、異なる配線層に配置された2本の隣り合うグローバルワード線が各々異なるローカルワード線と接続されるので、これ等の隣り合うグローバルワード線間のカップリング容量が小さくなって、ワード線の動作遅延が減少する。
【0056】
また、請求項6記載の発明によれば、活性化させるグローバルワード線を選択することにより、特定のブロックのワード線のみをアクセスすることができ、低消費電力化を図ることができる。
【0057】
更に、請求項7記載の発明によれば、ワード線ドライバーから離れたメモリセルアレイブロックのローカルワード線に上層のグローバルワード線を接続されるので、クリティカルとなるワード線ドライバーから離れたメモリセルアレイでの動作遅延を低減できる。
【0058】
加えて、請求項8記載の発明によれば、救済用メモリセルも複数本のグローバルワード線の少なくとも1本と接続したので、救済用メモリセルのアクセスを高速化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1の実施の形態における半導体記憶装置のレイアウトを示す図である。
【図2】 同半導体記憶装置のメモリセル部分を詳細に描いた回路図である。
【図3】 同半導体記憶装置の動作波形を示す図である。
【図4】 本発明の第2の実施の形態における半導体記憶装置のレイアウトを示す図である。
【図5】 本発明の第3の実施の形態における半導体記憶装置のレイアウトを示す図である。
【図6】 同半導体記憶装置のメモリセル部分を詳細に描いた回路図である。
【図7】 本発明の第4の実施の形態における半導体記憶装置のレイアウトを示す図である。
【図8】 本発明の第5の実施の形態における半導体記憶装置のレイアウトを示す図である。
【図9】 同半導体記憶装置のメモリセル部分を詳細に描いた回路図である。
【図10】 本発明の第6の実施の形態における半導体記憶装置のプリチャージ回路部分を示す回路図である。
【図11】 従来の半導体記憶装置のメモリセルレイアウト図である。
【符号の説明】
1a〜1h メモリセルアレイ
1r 冗長用メモリセルアレイ
10〜15 ローカルワード線
20〜27 グローバルワード線
40a、40b
〜43a、43b ビット線
50、51 裏打ちセル
(ローカルワード線とグローバルワード線の接続個所)
60a〜60d メモリセル
61a〜61d プリチャージ回路
65 スルーホール
82、83 プリチャージ制御線
100a〜100d プリチャージ回路
X、Y メモリセルアレイブロック
Claims (8)
- 複数のメモリセルを行及び列方向にマトリクス状に配置したメモリセルアレイと、
前記メモリセルアレイのロー方向のメモリセルを選択する1本のローカルワード線と、
前記メモリセルアレイのカラム方向のメモリセルのデータを伝達するビット線対と、
前記ローカルワード線の配線層よりも上層の配線層に形成された複数本のグローバルワード線とを備え、
前記複数本のグローバルワード線は少なくとも2種類の異なる配線層に形成され、
前記1本のローカルワード線は、前記複数本のグローバルワード線のうち少なくとも1本のグローバルワード線と接続され、
更に、前記ビット線対の各ビット線の電位を所定電位にプリチャージするプリチャージトランジスタと、
前記プリチャージトランジスタを制御する複数本のプリチャージ制御線とを備え、
前記複数本のプリチャージ制御線は、少なくとも2種類の異なる配線層に形成される
ことを特徴とする半導体記憶装置。 - 前記複数本のグローバルワード線は、前記メモリセルアレイのロー方向に配置されたメモリセル上に形成される
ことを特徴とする請求項1記載の半導体記憶装置。 - 前記複数本のグローバルワード線のうち、上層に配置されるグローバルワード線は、所定の接続箇所にて前記ローカルワード線と接続され、
前記複数本のグローバルワード線のうち、下層に配置されるグローバルワード線は、前記上層のグローバルワード線と前記ローカルワード線との接続箇所を迂回するように、前記下層に配置されるグローバルワード線の位置を基準に前記メモリセルアレイの内方に向かう方向又は前記メモリセルアレイの外方に向かう方向に配線される
ことを特徴とする請求項2記載の半導体記憶装置。 - 前記下層に配置されるグローバルワード線は、前記接続個所のメモリセルのロー方向隣りに位置するメモリセルにおいて前記接続個所を迂回するよう配線される
ことを特徴とする請求項3記載の半導体記憶装置。 - 前記ローカルワード線は、同一行に少なくとも2本配置され、
前記複数本のグローバルワード線のうち上層に配置された1本のグローバルワード線は、前記2本のローカルワード線のうち一方に接続され、
前記複数本のグローバルワード線のうち下層に配置された1本のグローバルワード線は、他方のローカルワード線に接続される
ことを特徴とする請求項1ないし4の何れか1項に記載の半導体記憶装置。 - 前記メモリセルアレイは、カラム方向に少なくとも2つのメモリセルアレイブロックで構成され、
前記ローカルワード線は前記各メモリセルアレイブロックに対応して少なくとも2本に分割され、
前記複数本のグローバルワード線は前記ローカルワード線の少なくとも1本と接続される
ことを特徴とする請求項1ないし5の何れか1項に記載の半導体記憶装置。 - 前記複数本のグローバルワード線のうち上層に配置されたグローバルワード線は、前記少なくとも2つのメモリセルアレイブロックのうちワード線ドライバーから遠い位置にあるメモリセルアレイブロックのローカルワード線と接続される
ことを特徴とする請求項6記載の半導体記憶装置。 - 欠陥メモリセルを救済するための救済用メモリセルを有し、
救済メモリセルは前記複数本のグローバルワード線の少なくとも1本と接続される
ことを特徴とする請求項1ないし7の何れか1項に記載の半導体記憶装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001043794A JP3652612B2 (ja) | 2001-02-20 | 2001-02-20 | 半導体記憶装置 |
US10/076,426 US6628536B2 (en) | 2001-02-20 | 2002-02-19 | Semiconductor memory device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001043794A JP3652612B2 (ja) | 2001-02-20 | 2001-02-20 | 半導体記憶装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002246483A JP2002246483A (ja) | 2002-08-30 |
JP3652612B2 true JP3652612B2 (ja) | 2005-05-25 |
Family
ID=18905902
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001043794A Expired - Fee Related JP3652612B2 (ja) | 2001-02-20 | 2001-02-20 | 半導体記憶装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6628536B2 (ja) |
JP (1) | JP3652612B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100702007B1 (ko) | 2005-01-14 | 2007-03-30 | 삼성전자주식회사 | 반도체 메모리 장치 및 이의 신호라인 배치 방법 |
JP2008091722A (ja) * | 2006-10-03 | 2008-04-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体集積回路 |
JP2012022752A (ja) * | 2010-07-15 | 2012-02-02 | Elpida Memory Inc | 半導体装置及びその試験方法 |
US8976573B2 (en) * | 2012-04-13 | 2015-03-10 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Apparatus for SRAM cells |
US10411019B2 (en) * | 2015-10-20 | 2019-09-10 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | SRAM cell word line structure with reduced RC effects |
US10388355B1 (en) | 2017-12-08 | 2019-08-20 | Rambus Inc. | Dual-domain memory |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3179937B2 (ja) | 1993-05-01 | 2001-06-25 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
JP3603229B2 (ja) * | 1994-02-09 | 2004-12-22 | 富士通株式会社 | 半導体記憶装置 |
JP3333352B2 (ja) | 1995-04-12 | 2002-10-15 | 株式会社東芝 | 半導体記憶装置 |
TW353181B (en) | 1996-06-28 | 1999-02-21 | Texas Instruments Inc | Circuit with matched delay word line strap |
JP3913927B2 (ja) | 1999-04-19 | 2007-05-09 | 富士通株式会社 | 半導体集積回路装置 |
EP1047077A1 (en) * | 1999-04-21 | 2000-10-25 | STMicroelectronics S.r.l. | Nonvolatile memory device with double hierarchical decoding |
JP3898377B2 (ja) * | 1999-05-11 | 2007-03-28 | 富士通株式会社 | 半導体集積回路 |
-
2001
- 2001-02-20 JP JP2001043794A patent/JP3652612B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-02-19 US US10/076,426 patent/US6628536B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002246483A (ja) | 2002-08-30 |
US6628536B2 (en) | 2003-09-30 |
US20020113254A1 (en) | 2002-08-22 |
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A02 | Decision of refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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