JP3652572B2 - 研磨布 - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は、高平坦度を必要とする研磨加工技術に関し、詳しくは半導体ウエハ等の被研磨部材の研磨加工において、研磨対象物の平坦性を高め、かつ通気性を高めて研磨屑による目詰まりを防止し、研磨対象物に傷が発生することを低減すると共に長寿命化を図ることができる研磨布に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般にウエハの研磨は、研磨布を下定盤側に保持し、研磨対象物であるウエハを上定盤側に保持して、研磨スラリーを供給しながら、ウエハと研磨布を加圧した状態で相対的に摺動させることによって行われる。
【0003】
ところで、最近ではウエハ表面の高平坦度がさらに必要とされ、ウエハ表面の平坦性を向上させるため、比較的硬さの高い研磨布が使用されてきたが、研磨加工時の研磨布自体の劣化による早期寿命、および研磨対象物への傷等が発生している。
【0004】
すなわち、シリコンウエハなどの研磨による平坦性は、硬さが高く、低圧縮率の研磨布を使用した時に向上が見られる。この理由は、使用する研磨布が硬さが高くなることによるモビリティーの減少に起因しており、研磨対象物の表面に存在する突起などに対してより高い平坦性を保持したまま研磨加工できることにある。
【0005】
従来から、このような硬さの高い研磨布は高濃度な樹脂を用いることによって試されてきたが、樹脂の付着量が増加することに伴って、通気性の悪化、表面粗悪によるウエハ表面のスクラッチ(傷)などを引き起こし、現状ではあまり実用化されていない。
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
本発明は上記欠点を解消するためになされたものであり、その目的とするところは、研磨加工時に使用する研磨布自体の長寿命化を図り、研磨対象物へのスクラッチ等を減少させ、平坦性を向上させる研磨布を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明の研磨布は、研磨布基体に樹脂を付着させて形成される研磨布であって、硬さがアスカーCで80〜90、圧縮率が2.0〜4.0%、30リットル/分の流量の空気を一枚の研磨布に通気させた時の背圧が20〜60mmH2Oであり、そのことにより上記目的が達成される。
【0008】
ここで、本明細書では通気性とは、30リットル/分の流量の空気を一枚の研磨布に通 気させた時の背圧をいう。
【0009】
一つの実施態様では、前記不織布が、目付200g/m2〜400g/m2のポリエステル不織布であり、前記樹脂の主成分がポリウレタンである。
【0010】
本発明の作用は次の通りである。
【0011】
本発明の研磨布では、従来の研磨布で使用していたポリウレタン樹脂(ショアーD硬さ72)に比べ、硬さの高い樹脂、例えば、ポリウレタン樹脂(ショアーD硬さ82)を用いる。また、従来の研磨布で使用していたポリエステル不織布(密度:180g/m2)に比べ、高密度なポリエステル不織布(320g/m2)を用いてもよい。
【0012】
このような硬さの高い樹脂および高密度の不織布を用いることによって、硬さの高い樹脂密度をできるだけ低減し、従来よりも硬さが高く(アスカーC 硬さ80〜90)、低圧縮率(2.0〜4.0%)、かつ高通気性(30リットル/分の流量の空気を一枚の研磨布に通気させた時の背圧20〜60mmH2O)の研磨布が得られる。
【0013】
このような特性を有する研磨布を用いて、シリコンウエハ表面を研磨加工する場合、研磨布の硬さが高いためにウエハ表面に馴染んでしまうことがなく、ウエハ表面の平坦性を高めることができ、また、研磨布自体が研磨の際に形が大きく崩れることもない。
【0014】
また、本発明の研磨布は従来に比べて通気性が良いので、スラリーが良好に流通して研磨屑による目詰まりを生じることを減少できる。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下本発明を詳細に説明する。
【0016】
図1に示すように、本発明の研磨布に使用される研磨布基体1としては、高密度のものを使用するものであり、特に高密度の不織布が好ましく使用され、その不織布の目付は200g/m2〜400g/m2が好ましく、さらに好ましくは250〜360g/m2であり、特に280〜350g/m2が好ましい。使用する不織布の材質としては、ポリエステル、ポリアミド、ポリビニルアルコール等がある。
【0017】
研磨布基体1の密度が低すぎるものは(例えば、不織布である場合その目付が200g/m2未満である場合)、従来の研磨布のように、被研磨物の平坦性が良くないという欠点がある。
【0018】
研磨基体1としては、不織布以外に、ポリウレタン樹脂、エポキシ樹脂あるいはビニル樹脂等より選ばれる重合体の発泡体等を使用することもできる。
【0019】
研磨布基体1に付着される樹脂2(熱可塑性エラストマーを含む)としては、ポリウレタン樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂等があり、特に樹脂の主成分がポリウレタン樹脂であるものが好ましく使用できる。
【0020】
例えば、以下のようにして、研磨布基体1に樹脂2を付着させることができる。
【0021】
(1)一次含浸
研磨布基体を一次含浸用樹脂組成物の中に含浸し、この基体を、所定温度の水中に浸漬した後、所定温度の湯中に一定時間浸漬する。この浸漬中に、樹脂組成物に含まれる溶剤は水の浸透によって置換することにより脱溶剤され、樹脂組成物を低発泡し、弾性ある発泡体層が基体上に形成される。次に、水中からこのものを取り出し、所定温度および所定時間熱風乾燥し、表裏面をバフして多数の空孔を有する多孔質体が得られる。
【0022】
上記樹脂組成物としては、例えば、ウレタン重合体と、ジメチルホルムアミドとを含有し、もしくは、ウレタン重合体と、塩化ビニル重合体、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、塩化ビニル−酢酸ビニル−ビニルアルコール三元共重合体等のビニル重合体と、ジメチルホルムアミドとを含有する。これらの樹脂組成物を用いて湿式凝固法により多孔質体を形成することができる。
【0023】
上記ウレタン重合体としては、ポリエーテル系ウレタン樹脂、ポリエステル系ウレタン樹脂、ポリエステルエーテル系ウレタン樹脂、ポリカーボネート系ウレタン樹脂のいずれも使用することができる。各ウレタン樹脂の製造に使用されるポリオール成分としては、例えば、ポリオキシエチレングリコール、ポリオキシプロピレングリコール、ポリオキシテトラメチレングリコール、ポリエチレンアジペート、ポリプロピレンアジペートレ、ポリオキシテトラメチレンアジペート等が挙げられる。また、イソシアネート成分としては、例えば、4、4'−ジフェニルメタンジイソシアネート、2,4−トリレンジイソシアネート、2,6−トリレンジイソシアネート等が挙げられる。
【0024】
鎖伸張剤としては、例えば、エチレングリコール、1、4−ブタンジオール、プロピレングリコール等が挙げられる。
【0025】
上記ウレタン重合体は、例えば、ポリオール成分としてポリオキシプロピレングリコール、ポリオキシテトラメチレングリコール、イソシアネート成分として4、4'−ジフェニルメタンジイソシアネート、鎖伸張剤として1、4−ブタンジオール、重合停止剤としてエタノール、ジエチルアミン、溶媒としてジメチルホルムアミドを用いて重合したウレタン重合体のジメチルホルムアミド溶液が使用される。
【0026】
上記樹脂組成物には、カーボンブラック等の充填剤、界面活性剤等の分散安定剤、湿式凝固助剤が添加されてもよい。
(2)二次含浸
上記で得られた発泡体を次に、ウレタンプレポリマーと硬化剤とを含有する樹脂組成物、あるいはエポキシ樹脂組成物等、フェノール樹脂組成物等、メラミン樹脂組成物等、不飽和ポリエステル樹脂組成物等に含浸し、硬化させて本発明の硬さの高い研磨布が得られる。該樹脂組成物としては、上記したものから適宜選択して使用することができる。
【実施例】
【0027】
以下、本発明を実施例により詳細に説明する。なお、以下で「部」は重量部を意味する。
【0028】
本実施例で用いた試験方法を以下に示す。
1)硬さ(SRIS日本ゴム協会標準規格0101に準拠した。)
種類…スプリング硬さ試験機
測定方法…測定する研磨布と同種のものを12mm以上になるように重ねその上に研磨布を置き、加圧面を接触させた時の、硬さの値(Asker−C)を読む。
2)圧縮率(JIS L−1096に準拠した。)
測定荷重:第一荷重、W0=300g/cm2(1分間)、第二荷重、W1=1800g/cm2(1分間)
測定方法:初荷重W0を付加して1分後の厚さT1を測定する。さらにW1を付加し1分後の厚さT2を測定する。
計算式:圧縮率(%)=((T1−T2)/T1)×100
3)通気性(通気抵抗値測定)
エアー流量:30リットル/分
測定方法:30リットル/分の流量のエアーを研磨布(一枚)に通気させた時の背圧を測定する。
4)Shore−D(JIS K−6253)加硫ゴムの硬さ試験方法に準拠した。)
硬さ計の名称である。
種類:タイプDデユロメーター
測定方法:測定するウレタンシートを5mm以上の厚さにして、加圧面を接触させ、1秒以内の硬さの値(ショウアーD)を読む。
5)除去速度(Removal Rate)
シリコンウエハを用いた研磨実験を行い、研磨前後による1分間当たりのウエハ中心部の厚み変化量を静電容量式厚み測定器を用いて測定しその結果を図3Aに示した。
6)SBIR≧0.18μmの領域
シリコンウエハを用いた研磨実験を行った後、ADE(ウエハ平坦度測定装置)を用い、シリコンウエハ裏面を吸着固定により矯正した状態で基準面を裏面とし、各サイトごとに測定したときの最大厚みと最小厚みの差を測定することにより、SBIR≧0.18μmとなるウエハ外周部からの距離を測定しその結果を図3Bに示した。
7)Scratch個数
シリコンウエハを用いた研磨実験を行い、表面欠陥測定器を用いてシリコンウエハ1枚当たりのスクラッチ個数を測定した結果を図3Cに示した。
(実施例1)
ポリエステル系高密度不織布(目付320g/m2)に湿式のポリウレタン樹脂を含浸させ、凝固、乾燥、表面加工を施した。次に、硬さの高いタイプのウレタンプレポリマー、硬化剤、触媒、溶剤(メチルエチルケトン)を混合した溶液を調製し、この溶液に上記樹脂が付着した不織布を再度含浸させ、乾燥、表面加工を施して硬さの高い研磨布を得た。
【0029】
得られた研磨布について、物性を測定し、その結果を図2と図3に示した。
【0030】
硬さは83、圧縮率は3.4%、通気抵抗値は38mmH2O、除去速度は0.73、外層からの距離は2.0mm、相対値は0.8であった。
【0031】
これを研磨機定盤に取り付け、シリコウエハを研磨したところ、平坦性が向上し、寿命が従来に比べて40%延びた。
(比較例1)
従来の研磨布で使用していた不織布(目付180g/m2)を用い、さらに従来の硬さ(ショアーD硬さ72)のポリウレタン樹脂を用いたこと以外は実施例1と同様にして研磨布を得た。
【0032】
この研磨布について実施例1と同様に物性を測定した。その結果を図2と図3に示した。
【0033】
硬さは78、圧縮率は4.6%、通気抵抗値は44mmH2O、除去速度は0.72、外層からの距離は3.0mm、相対値は0.8であった。
(比較例2)
従来の研磨布で使用していた不織布(目付180g/m2)を用い、さらに従来の硬さ(ショアーD硬さ72)で、かつ高濃度のポリウレタン樹脂含浸液を用いたこと以外は実施例1と同様にして研磨布を得た。
【0034】
この研磨布について実施例1と同様に物性を測定した。その結果を図2と図3に示した。
【0035】
硬さは81、圧縮率は4.0%、通気抵抗値は50mmH2O、除去速度は0.74、外層からの距離は2.5mm、相対値は1.0であった。
(比較例3)
高密度不織布(目付320g/m2)を用い、さらに従来の硬さ(ショアーD硬さ72)のポリウレタン樹脂を用いたこと以外は実施例1と同様にして研磨布を得た。
【0036】
この研磨布について実施例1と同様に物性を測定した。その結果を図2と図3に示した。
【0037】
硬さは80、圧縮率は4.1%、通気抵抗値は60mmH2O、除去速度は0.73、外層からの距離は2.5mm、相対値は0.8であった。
【0038】
【発明の効果】
本発明によれば、硬さの高い研磨布を使用することにより、平坦性が向上し、寿命も従来と比べ40%も延びる。また、通気性が優れているので長寿命化を図ることができ、目詰まり発生がないので、研磨屑等による粒子が対象物に傷を与えて傷が発生するのを防止することができ、従って、薄型基板、特にSi、GaAs、ガラス、ハードディスク材、LCD基板等の研磨布として好適である。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の研磨布の一実施例の断面図である。
【図2A】 研磨布の静的物性(硬さ)を示すグラフである。
【図2B】 研磨布の静的物性(圧縮率)を示すグラフである。
【図2C】 研磨布の静的物性(通気抵抗値)を示すグラフである。
【図3A】 研磨布の物性(Removal Rate)を示すグラフである。
【図3B】 研磨布の物性(SBIR≧0.18μmの領域)を示すグラフである。
【図3C】 研磨布の物性(Scratch個数)を示すグラフである。
【符号の説明】
1…研磨布基体
2…樹脂
Claims (3)
- 研磨布基体に樹脂を付着させて形成される研磨布であって、
硬さがアスカーCで80〜90、圧縮率が2.0〜4.0%、30リットル/分の流量の空気を一枚の研磨布に通気させた時の背圧が20〜60mmH2Oである研磨布。 - 前記研磨布基体が、目付200g/m2〜400g/m2のポリエステル不織布であり、前記樹脂の主成分がポリウレタンである請求項1に記載の研磨布。
- 前記研磨布基体において、その付着樹脂がポリウレタン樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂および不飽和ポリエステル樹脂からなる群から選択される少なくとも一種であり、かつその樹脂の硬さがショアーDで75〜95である請求項1又は2に記載の研磨布。
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