JP4881590B2 - 研磨布 - Google Patents
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Description
前記ウレタン樹脂は、イソシアヌレート化されていることを特徴とする研磨布である。
また本発明は、前記不織布は、ポリエステル繊維を含むことを特徴とする。
また本発明によれば、硬さの好適範囲がアスカーC硬度で90以上98以下であり、圧縮率の好適範囲が1.0%以上2.5%以下であり、回復率の好適範囲が55%以上75%以下である。このような研磨布を用いて半導体基板を研磨すると、平坦度が高くて傷の少ない半導体基板を得ることができる。
。
不織布に含浸させる樹脂としては、イソシアヌレート化されているウレタン樹脂を用いる。ウレタン樹脂は、弾性のある樹脂であり、硬化剤などによって容易に硬化させることができる。さらに、ウレタン樹脂は、イソシアヌレート化させて硬化させると、弾性を保持しながら、硬化剤を用いて硬化させたウレタン樹脂より硬く硬化させることができる。
た後、乾燥させる方法であってもよく、モノマー、オリゴマーまたはプレポリマーを含む
溶液に不織布を含浸させた後、重合させる方法であってもよい。また、不織布の両面に樹
脂を含浸させるようにしてもよいし、不織布の片面にのみ樹脂を含浸させるようにしても
よい。
(実施例1)
実施例1で使用した試料は、以下の通りである。
不織布:ポリエステル繊維を含む不織布
ウレタン樹脂:トリレンジイソシアネート(TDI)−ポリテトラメチレンエーテルグリコール(PTMG)系ウレタンポリマー(アジプレンL−315、ユニロイヤル社製)
イソシアヌレート化触媒:N,N’,N’’−トリス(3−ジメチルアミノプロピル)−sym−ヘキサヒドロトリアジン
溶媒:トルエン
TDI−PTMG系ウレタンポリマーを10kgとN,N’,N’’−トリス(3−ジメチルアミノプロピル)−sym−ヘキサヒドロトリアジンを60g(TDI−PTMG系ウレタンポリマーに対して0.6重量%)とをトルエン40kgに投入して混合させる。この混合液に、ポリエステル繊維を含む不織布(目付け:320g/m2)を含浸させた後、加熱乾燥および養生を行って、研磨布を得た。
イソシアヌレート化触媒として、N,N’,N’’−トリス(3−ジメチルアミノプロピル)−sym−ヘキサヒドロトリアジンの代わりに、DBUを用いた以外実施例1と同様である。
イソシアヌレート化触媒の代わりに、硬化剤であるジアミノジフェニルアミンを用いた以外実施例1と同様である。
5重量%のアクリル樹脂−DMF混合液に、ポリエステル繊維を含む不織布(目付け:320g/m2)を含浸させて、アクリル樹脂−DMF混合液に含浸させた不織布を得た。
TDI−PTMG系ウレタンポリマー(アジプレンL−315、ユニロイヤル社製)を10kgと4,4′−メチレンビス(o−クロロアニリン)(MOCA)を8kg(TDI−PTMG系ウレタンポリマーに対して80重量%)とをトルエン72kgに投入して混合させる。この混合液に、アクリル樹脂−DMF混合液に含浸させた不織布を含浸させた後、加熱乾燥および養生を行って、研磨布を得た。
(研磨条件)
研磨時間:30分
プラテン回転速度:60rpm
キャリア回転速度:60rpm
スラリー:アルカリ性(水酸化カリウム含有)コロイダルシリカスラリー
研磨布の硬さは、JIS K 7312準拠の測定方法によりアスカーC型硬度計(日本ゴム協会規格、高分子計器株式会社製)および定圧定速押具(高分子計器株式会社製、CL−150)を用いて、研磨布を重ねて12mm以上にしたものを測定した。
研磨布の圧縮率および回復率は、JIS L 1096準拠の測定方法により自動圧縮率測定器(三共理化学社製、自動圧縮率測定器)を用いて測定した。
圧縮率(%)=((T1−T2)/T1)×100 …(1)
回復率(%)=(T3/T1)×100 …(2)
実施例1,2および比較例1,2を用いて研磨した後のシリコンウエハの平坦度(SFQR(site flatness quality requirements))を、平坦度測定器(ADE社、ADE−9500)を用いて測定した。また、表1には、比較例1を用いて研磨した後のシリコンウエハのSFQRを1.0として時の相対値として記載した。
実施例1,2および比較例1,2を用いて研磨した後のシリコンウエハに発生したスクラッチの個数を、欠陥検査測定器(日立デコ社製、LS−6600)を用いて測定した。また、表1には、比較例1を用いて研磨した後のシリコンウエハのスクラッチの個数を1.0として時の相対値として記載した。
、弾性が不十分な研磨布であるので、スクラッチの発生数が多くなった。
Claims (5)
- 不織布にウレタン樹脂を含浸させた半導体基板研磨用の研磨布であって、
前記ウレタン樹脂は、イソシアヌレート化されていることを特徴とする研磨布。 - 前記ウレタン樹脂は、3級アミンおよび有機金属塩から選ばれる1種または2種以上の
イソシアヌレート化触媒を用いてイソシアヌレート化されたウレタン樹脂であることを特
徴とする請求項1記載の研磨布。 - 前記イソシアヌレート化触媒は、ウレタン樹脂に対して0.01重量%以上10重量%
以下用いることを特徴とする請求項2記載の研磨布。 - 前記不織布は、ポリエステル繊維を含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つ
に記載の研磨布。 - 硬さがアスカーC硬度で90以上98以下、圧縮率が1.0%以上2.5%以下、回復
率が55%以上75%以下であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の
研磨布。
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