JP3650079B2 - 機能性繊維シート - Google Patents
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- 239000000835 fiber Substances 0.000 title claims abstract description 54
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 16
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 16
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims description 34
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 claims description 25
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 9
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 7
- 229920002994 synthetic fiber Polymers 0.000 claims description 6
- 239000012209 synthetic fiber Substances 0.000 claims description 6
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 abstract description 11
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 abstract description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 42
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 19
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 19
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 19
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 17
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 15
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 14
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 14
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 13
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 11
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 10
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 7
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 6
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 6
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 5
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 5
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 230000000844 anti-bacterial effect Effects 0.000 description 2
- 230000003373 anti-fouling effect Effects 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 2
- 239000002759 woven fabric Substances 0.000 description 2
- 229920002972 Acrylic fiber Polymers 0.000 description 1
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000238631 Hexapoda Species 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 238000004833 X-ray photoelectron spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 1
- 238000005034 decoration Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000001877 deodorizing effect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000003760 hair shine Effects 0.000 description 1
- 239000012770 industrial material Substances 0.000 description 1
- 238000009940 knitting Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical group 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 1
- 238000001579 optical reflectometry Methods 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
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- D—TEXTILES; PAPER
- D06—TREATMENT OF TEXTILES OR THE LIKE; LAUNDERING; FLEXIBLE MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- D06M—TREATMENT, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE IN CLASS D06, OF FIBRES, THREADS, YARNS, FABRICS, FEATHERS OR FIBROUS GOODS MADE FROM SUCH MATERIALS
- D06M11/00—Treating fibres, threads, yarns, fabrics or fibrous goods made from such materials, with inorganic substances or complexes thereof; Such treatment combined with mechanical treatment, e.g. mercerising
- D06M11/32—Treating fibres, threads, yarns, fabrics or fibrous goods made from such materials, with inorganic substances or complexes thereof; Such treatment combined with mechanical treatment, e.g. mercerising with oxygen, ozone, ozonides, oxides, hydroxides or percompounds; Salts derived from anions with an amphoteric element-oxygen bond
- D06M11/36—Treating fibres, threads, yarns, fabrics or fibrous goods made from such materials, with inorganic substances or complexes thereof; Such treatment combined with mechanical treatment, e.g. mercerising with oxygen, ozone, ozonides, oxides, hydroxides or percompounds; Salts derived from anions with an amphoteric element-oxygen bond with oxides, hydroxides or mixed oxides; with salts derived from anions with an amphoteric element-oxygen bond
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- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
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- C23C14/0036—Reactive sputtering
- C23C14/0042—Controlling partial pressure or flow rate of reactive or inert gases with feedback of measurements
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/08—Oxides
- C23C14/083—Oxides of refractory metals or yttrium
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/54—Controlling or regulating the coating process
- C23C14/548—Controlling the composition
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、酸化チタンその他の金属酸化物からなる物理蒸着膜で被覆された機能性繊維シートに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
合成繊維からなる織物、編物、不織布等の繊維シートの表面に金属または金属酸化物の薄膜を真空蒸着法、イオンビーム法、スパッタリング法等の物理蒸着で形成し、繊維シートに導電性や遮熱性、保温性、防汚性、抗菌性、消臭性等の各種の機能を付与することが知られている。しかし、繊維シートの表面を金属、例えばステンレス、チタン、クロムまたは銅等の蒸着膜で被覆すると、繊維シートの備えていた色彩、模様等が蒸着膜で隠されて金属色を呈し、ファッション性の面で多様性に欠けるという問題があった。一方、酸化チタン等の金属酸化物からなる蒸着膜を形成した場合は、該酸化物が酸素を負2価の状態で含む普通酸化物であったため、膜厚を調整することにより、蒸着膜を透明にして色彩や模様等を見えるようにできる反面、金属蒸着膜に比べて導電性に乏しく、遮熱性にも劣り、かつ生産性が低下するという問題があった。
【0003】
また、可視光透過率を高めながら、紫外線や赤外線を選択的に遮断する蒸着膜として、Ti O2 、Ag およびTi O2 の3層からなる多層構造の蒸着膜を形成したものが知られているが、この蒸着膜は繰返し洗濯によって容易に剥離するため、実用的でなく、かつ使用により金属が酸化して特性が劣化する等の問題があった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
この発明は、繊維シートを物理蒸着膜で被覆して得られた機能性繊維シートにおいて、その物理蒸着膜の組成を変更することにより、蒸着膜を透明にして繊維シートの色や模様を見えるようにし、しかも蒸着膜に導電性、赤外線遮断性、紫外線遮断性その他の機能性を与えることができ、かつ蒸着時の生産性向上を可能にするものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る繊維シートは、合成繊維からなる繊維シートの片面または両面が金属酸化物の物理蒸着膜で被覆された機能性繊維シートにおいて、上記の金属酸化物が酸化チタンであって、普通酸化物を主体とし、普通酸化物よりも価数の低い酸化物を含有する混合物からなり、価数の低い酸化物の含有量が酸化チタン全量の0.1〜20重量%であり、上記の物理蒸着膜は、厚みが5〜500nmで、波長550nmの可視光透過率が30%以上であることを特徴とする。
【0006】
この発明で用いる合成繊維は、通常の編織用に用いられる熱可塑性合成繊維であり、ポリエステル繊維、ナイロン繊維、アクリル繊維およびポリイミド繊維等が例示される。特にポリエステル繊維は、含水率が低く、金属や金属酸化物の物理蒸着が容易で、蒸着膜の耐久性に優れる点で好ましい。この合成繊維の形態は、ステープルおよびフィラメントのいずれでもよく、不織布の製造にはステープルまたはフィラメントがそのまま用いられるが、織物や編物の構成糸として用いる場合は、モノフィラメント糸およびマルチフィラメント糸等のフィラメント糸が好ましい。
【0007】
この発明では、上記繊維シートの片面または両面に酸化チタンからなる薄膜が物理蒸着法、例えば真空蒸着法、イオンビーム法、スパッタリング法等、好ましくはスパッタリング法によって形成される。上記の酸化チタンは、酸素が負2価の状態で含まれる普通酸化物を主体とし、これに普通酸化物よりも価数の低い酸化物(以下、「低酸化物」という)が少量混合される。上記チタンの酸化物では、普通酸化物として4価の酸化物Ti O2 が知られ、低酸化物として2価の酸化物Ti Oおよび3価の酸化物Ti2O3 が知られている。したがって、酸化チタンの蒸着膜は、上記の普通酸化物(4価の酸化物)と低酸化物(2価または3価の酸化物)との混合物で形成される。
【0008】
スパッタリング等の物理蒸着では、微量のアルゴンガスを含む密閉チャンバー内で金属をスパッタ蒸発させながら、チャンバー内に供給される少量の酸素で酸化して繊維シートに吸着させているが、酸素の供給量が普通酸化物の生産に十分な量に達すると、普通酸化物のみが生産されると共に、ターゲット金属の表面が酸化して金属の蒸発量が大幅に低下し、生産性が下落する。
【0009】
これに対して、酸素の供給量が普通酸化物の生産に必要な量よりも不足すると、普通酸化物と共に前記の低酸化物も生産され、これらが混在する形で繊維シートに吸着され、かつターゲット表面が酸化されないため、金属の蒸発量が低下せず、生産性の下落が防止される。したがって、蒸着膜を上記の混合物で形成し、かつ蒸着膜の厚みを調節することにより、その透明度を維持しながら、蒸着膜に導電性や遮熱性その他の機能を与えることができる。なお、上記スパッタリングの際、アルゴンガスおよび酸素と共に微量の窒素ガスを混入することにより、生産性を一層向上することができる。
【0010】
酸素の供給量を、普通酸化物の生産に必要な量よりも少なく設定するには、スパッタリング時の発生プラズマ中を蒸発金属が通る際に発する蒸発金属に特有の光の明るさ、例えば輝度を測定し、この輝度が一定に保たれるように酸素供給量を調節するのが有利である。例えば、金属がチタンの場合、チタンはスパッタ蒸発してプラズマを通過する際、波長453nmの可視光を発し、酸素の存在しない場合に蒸発速度も最大になって最も強く輝き、酸素供給量が過剰になると、蒸発速度が最低になって輝きも減少する。したがって、輝度に基づいて酸素供給量を調節することにより、低酸化物の量をコントロールすることができる。なお、輝度そのものでなく、輝度に相関する任意の強度の指数を用いることができる。
【0011】
上記の普通酸化物よりも価数の低い酸化物、すなわち低酸化物の混合率は、全酸化物の0.1〜20重量%が好ましく、この混合率が0.1重量%未満では導電性や遮熱性等の機能が得られず、かつ生産性が極端に低下し、反対に20重量%を超えると金属色を呈し、かつ可視光透過率が不十分となり、繊維シートの風合いが失われる。また、上記物理蒸着膜の厚みは5〜500nm、特に30〜300nmが好ましく、5nm未満では導電性、遮熱性、赤外線カット性、紫外線カット性等の機能が得られず、500nmを超えると、繊維シートの構成繊維や、色、模様等が見えなくなり、コスト的にも実用化が困難になる。
【0012】
なお、上記物理蒸着膜の透明性は、波長550nmの可視光透過率で30%以上が好ましく、30%未満では繊維シート表面の色や模様、繊維が見えなくなり、繊維シートとしての風合いが失われる。また、赤外線や紫外線の透過率は、低価の酸化物の混合率で設定されるが、赤外線カットを目的とする場合は、混合率を高めに設定して赤外線透過率を波長1000nmにおいて70%以下に抑えることが好ましい。また、紫外線カットを目的とする場合は、上記混合率を低めに設定して紫外線透過率を波長400nmにおいて50%以下に抑えることが好ましい。
【0013】
【発明の実施の形態】
実施形態1
繊維シートとしてポリエステル繊維のマルチフィラメント糸を経糸、緯糸に用いた織物を用い、その表面に酸化チタンからなる厚み5〜500nm、好ましくは30〜300nmの透明被膜をスパッタリングで形成する。
【0014】
図1は、スパッタリング装置の一例を示し、密閉可能なチャンバ10が水平方向の仕切り板11によって下側のスパッタ室12と上側の織物室13とに分けられ、下側のスパッタ室12の中央にチタンからなる平板状のターゲット14が中空のターゲットソース15上に固定され、このターゲットソース15に通される冷水によってターゲット14が下面から冷却される。このターゲット14の上方左右にアノード16が水平に設置され、このアノード16およびターゲット14間に直流電源17によって200〜1000Vの直流電圧が印加される。
【0015】
上記アノード13の上方に水冷シリンダ18が水平に、かつ回転自在に設置され、その左上方に繊維シートFの送り出し軸19が、また右上方に繊維シートFの巻取り軸20がそれぞれ水平に、かつ回転自在に設置される。そして、送り出し軸19に巻かれた加工前の繊維シートFが引出され、左上部のガイドローラ21を経て上記水冷シリンダ18に巻回され、右上部のガイドローラ22を経て巻取り軸20に巻き取られる。また、上記のチャンバ10に真空ポンプ23、アルゴンガス供給用ガスボンベ24および酸素ガス供給用ガスボンベ25がそれぞれ接続される。
【0016】
上記の装置において、送り出し軸19、巻取り軸20および水冷シリンダ18を回転し、布帛Fを反時計方向に所定の速度で送りながら水冷シリンダ14で冷却し、布帛Fの表面温度を60℃以下に維持する。一方、真空ポンプ23を駆動してチャンバ10内圧力を1.3×10-3Pa程度に減圧し、次いでアルゴンガス供給用ガスボンベ24からアルゴンガスを、また酸素ガス供給用ガスボンベ25から酸素をそれぞれ導入してチャンバ10内圧力を1×10-1Pa程度に調整し、しかるのちスパッタリングを行い、ターゲット14から飛び出したチタンを酸素と反応させて酸化チタンとし、これを上記の繊維シートF上に付着させ、透明な物理蒸着被膜を形成する。
【0017】
このとき、ターゲット14上のプラズマを通る蒸発チタンの輝きを監視しながらスパッタリングを行い、その間、酸素ガス供給用ガスボンベ25からチャンバ10に送られる酸素量を調節することにより、上記蒸発チタンの輝度または輝度に相関する任意の強度指数を、あらかじめ実験で定められた所定のレベルに制御し、これによって酸化チタンを普通酸化物と低酸化物とからなり、低酸化物の混合比率が全酸化物の0.1〜20重量%の混合物に形成して繊維シートFに吸着させる。また、繊維シートFの走行速度を調整して上記の酸化チタンからなる物理蒸着被膜の厚さを5〜500nmに形成する。
【0018】
上記の実施形態では、チャンバー10に対する酸素供給量を多く設定する程、また輝度を低く設定する程、普通酸化物が増え、低酸化物が減少して物理蒸着膜の透明度が増大する。一方、酸素供給量を少なく設定する程、また輝度(インテンシティ)を高く設定する程、普通酸化物が減少し、低酸化物が増大して物理蒸着膜の透明度が低下し、金属色が強くなる。そして、上記の輝度調整により、可視光透過率を20%以上に保持したまま、赤外線透過率または紫外線透過率を70%以下に抑えることが可能になる。
【0019】
上記の繊維シートとして、ポリエステル繊維のマルチフィラメント糸からなる経編地を用い、その他は上記同様にスパッタリングを行うことにより、導電性と遮熱性を有し、しかも経編地の風合いを備え、可視光透過率が30%以上で、赤外線または紫外線の透過率が70%以下の繊維シートが得られる。
【0020】
また、上記の繊維シートとして、ポリエステルフィラメントからなるスパンボン不織布を用い、その他は上記同様にスパッタリングを行うことにより、導電性と遮熱性を有し、しかもスパンボンド不織布の風合いを備え、可視光透過率が30%以上で、赤外線または紫外線の透過率が70%以下の繊維シートが得られる。
【0021】
実施形態2
図1のスパッタ装置を用い、織物、編物または不織布等の繊維シートの片面にスパッタリングを施し、上記の物理蒸着膜を形成した後、上記の繊維シートをいったん取出し、しかるのち表裏を反転して再びスパッタ装置に取付け、しかるのち他面に上記同様のスパッタリングを行い、表裏両面に上記の物理蒸着被膜を有し、可視光透過率が30%以上、赤外線または紫外線の透過率が70%以下で、しかも繊維シートの風合いを備え、その色や柄模様が見え、金属色を有しない繊維シートが得られる。
【0022】
実施形態3
前記の密閉チャンバー内に2組の蒸着装置を並設し、表裏両面に連続してスパッタリングを行って前記の物理蒸着膜を形成する。例えば、密閉チャンバーの中央部左右に第1水冷シリンダーおよび第2水冷シリンダーを並設し、左側の第1水冷シリンダーを反時計方向に、また右側の第2水冷シリンダーを時計方向にそれぞれ回転させ、第1水冷シリンダーの下半部に繊維シートをその裏面が接するように左側から巻付けてスパッタリングを行い、次いで第2水冷シリンダーの右上に導き、この第2水冷シリンダーの下半部に繊維シートをその表面が接するように右側から巻き付けてスパッタリングを行う。
【0023】
【実施例】
実施形態1の繊維シートFとして、ポリエステルマルチフィラメント糸を経糸および緯糸に用いた190本タフタを用い、その片面にスパッタリングにより酸化チタンからなる透明な物理蒸着膜を形成した。酸素供給量のコントロールには、独国フォンアルデンヌ社製「デュアルマグネトロンカソードプラズマエミッションモニター」を用い、金属チタン固有の単色光(波長453nm)をコリメーターで取出して輝度を測定し、酸素供給量がゼロの場合の輝度を100、酸素供給量が過剰の場合の輝度を10とする強度指数(インテンシティ)で上記の輝度を表わし、この強度指数(インテンシティ)を50に設定して試料Aを得た。また、インテンシティを30に設定して試料Bを得た。
【0024】
試料Aおよび試料Bの物理蒸着膜について、その成分をX線光電子分光法で分析した。分析装置として、SSI社製SSX−100型X線光電子分光装置を用い、X線源として単色化A1Kα(100W)を用いて分析したところ、インテンシティ50の試料Aでは、4価の普通酸化物に3価の低酸化物Ti2O3 が約5%共存していた。また、インテンシティ30の試料Bでは、その蒸着膜がほぼ完全な4価の普通酸化物Ti O2 で形成されていた。蒸着膜におけるチタンと酸素の比率は、試料Aが1/2.15、試料Bが1/2.39であった。また、上記の試料AおよびBの外観を比較し、その結果を上記の分析結果と共に下記の表1に示した。
【0025】
【表1】
【0026】
上記蒸着膜の導電性および光透過性を測定するため、ポリエチレンテレフタレートからなる厚み50μmの透明なフィルムに前記酸化チタンの蒸着膜を形成した。その際、インテンシティを70、60、50、40、30、20の6段階に変えて試料1〜6を作成した。そして、得られた試料1〜6について、導電性、波長400〜1000nmの光透過率および光反射率をそれぞれ測定した。導電性を表2に、光透過率を図2に、光反射率を図3にそれぞれ示す。
【0027】
【表2】
【0028】
上記の表2に示すとおり、導電性を抵抗値で比較した場合、低酸化物を最も多量に含むインテンシティ70の試料1は、抵抗値が最も低く、低酸化物が減少するにしたがい、インテンシティ60の試料2、インテンシティ50の試料3、インテンシティ40の試料4の順に抵抗値が上昇し、インテンシティ30の試料5、インテンシティ20の試料6では抵抗値が測定できず、導電性がほとんどゼロであった。
【0029】
また、光透過性は、図2に示すとおり、インテンシティが低い試料4〜6は、透過率が高く、透明度が増し、反対にインテンシティが高い試料1〜3は、透過率が低下し、外観が金属色を呈する傾向があった。そして、インテンシティ20の試料6は、波長400nmから1000nmの紫外線から赤外線を含む全範囲において透過率が60%以上であった。インテンシティ30の試料5は、波長400nmの紫外線透過率が50%未満となったが、残りの可視光および赤外線では透過率が50〜70%であった。インテンシティ40の試料4は、試料3とほぼ同様の傾向を示したが、赤外線の透過率が70%よりも低くなった。
【0030】
また、インテンシティ50の試料3は、波長550nmの可視光透過率が約50%となり、波長400nmの紫外線が約45%になり、波長1000nmの赤外線が約43%になった。また、インテンシティ60の試料2は、波長400nmの紫外線から波長700nmの可視光までは40〜45%の範囲でほぼ等しい透過率となり、700nmを超えると透過率が次第に低下し、波長1000nmの赤外線で約35%になった。また、インテンシティ70の試料1は、波長400の紫外線から波長1000nmの赤外線にかけて透過率が約37%から30%までなだらかに低下した。なお、上記フィルム自体の光透過率は、波長400nmで約85%、波長550nmで約88%、波長1000nmで約89%で、ごく僅かな右上がり傾向を示した。
【0031】
一方、光反射性は、図3に示すとおり、インテンシティの低い試料4〜6では略右下がりに傾斜し、インテンシティの高い試料1〜3では略右上がりに傾斜する傾向が認められた。ただし、インテンシティが20の試料6は、可視光域の波長500〜600nmで最高の反射率約28%を示し、紫外線側で急激に低下し、赤外線側でなだらかに低下する山形の曲線を描いた。また、インテンシティ30の試料5およびインテンシティ40の試料4は、ほぼ同様に右下がりに傾斜し、波長400nmで反射率が約33%、波長1000nmで反射率が17〜19%となった。
【0032】
また、インテンシティが50の試料3は、波長500〜600の可視光域で最低の反射率約19%となり、波長400nmおよび1000nmに向かってなだらかに上昇し約22〜23%となった。また、インテンシティ60の試料2は、波長550nm以下でほぼ均一な反射率16〜17%を示し、波長1000nmの反射率26%までなだらかな上昇を示した。また、インテンシティ70の試料1は、反射率が波長にしたがってほぼ直線状に上昇し、波長400nmで約18%、波長1000nmで約37%であった。なお、フィルム自体の反射率は、波長400〜1000nmの全範囲で略11%の一定値を示した。
【0033】
【発明の効果】
上記のとおり、この発明に係る機能性繊維シートは、その物理蒸着膜を構成する金属酸化物が普通酸化物だけでなく、低酸化物を少量含有しているので、この低酸化物の混合量の設定により、蒸着膜の透明性を維持して繊維シートの色や模様を見えるようにし、繊維シートのフアッション性および風合いを温存しながら、蒸着膜によって導電性や遮熱性、赤外線遮断性、紫外線遮断性、防汚性、抗菌性および耐蝕性等の機能を与えることができ、しかも生産性も良好であり、耐洗濯性や耐剥離性にも優れる。したがって、上記の機能性繊維シートは、スクリーンメッシュやフィルター等の産業用資材、防虫ネット、ハウスラッピング材、また屋外テント、傘、室内の装飾用壁材、天井材およびインテリア資材等の用途に好適であり、耐蝕性や耐洗濯性にも優れ、ファッション性と諸機能を満たすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施形態1に係るスパッタ装置の断面図である。
【図2】蒸着膜の光透過率を示すグラフである。
【図3】蒸着膜の光反射率を示すグラフである。
【符号の説明】
10:チャンバ
14:ターゲット
15:ターゲットソース
16:アノード
17:直流電源
18:水冷シリンダ
23:真空ポンプ
24:アルゴンガス供給用ガスボンベ
25:酸素ガス供給用ガスボンベ
F:繊維シート
Claims (3)
- 合成繊維からなる繊維シートの片面または両面が金属酸化物の物理蒸着膜で被覆された機能性繊維シートにおいて、上記の金属酸化物が酸化チタンであって、普通酸化物を主体とし、普通酸化物よりも価数の低い酸化物を含有する混合物からなり、価数の低い酸化物の含有量が酸化チタン全量の0.1〜20重量%であり、上記の物理蒸着膜は、厚みが5〜500nmで、波長550nmの可視光透過率が30%以上であることを特徴とする機能性繊維シート。
- 物理蒸着膜の赤外線透過率が波長1000nmにおいて70%以下である請求項1記載の機能性繊維シート。
- 物理蒸着膜の紫外線透過率が波長400nmにおいて50%以下である請求項1記載の機能性繊維シート。
Priority Applications (9)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002123295A JP3650079B2 (ja) | 2002-04-25 | 2002-04-25 | 機能性繊維シート |
CNB038123126A CN100465329C (zh) | 2002-04-25 | 2003-04-25 | 功能性纤维板 |
AU2003222620A AU2003222620A1 (en) | 2002-04-25 | 2003-04-25 | Functional fiber sheet |
AT03717459T ATE355394T1 (de) | 2002-04-25 | 2003-04-25 | Funktionsfaserfolie |
DE2003612148 DE60312148T2 (de) | 2002-04-25 | 2003-04-25 | Funktionsfaserfolie |
ES03717459T ES2282612T3 (es) | 2002-04-25 | 2003-04-25 | Lamina de fibra funcional. |
EP20030717459 EP1497477B1 (en) | 2002-04-25 | 2003-04-25 | Functional fiber sheet |
US10/512,107 US7579290B2 (en) | 2002-04-25 | 2003-04-25 | Functional fiber sheet |
PCT/IB2003/001555 WO2003091472A1 (en) | 2002-04-25 | 2003-04-25 | Functional fiber sheet |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002123295A JP3650079B2 (ja) | 2002-04-25 | 2002-04-25 | 機能性繊維シート |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003313771A JP2003313771A (ja) | 2003-11-06 |
JP3650079B2 true JP3650079B2 (ja) | 2005-05-18 |
Family
ID=29538626
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002123295A Expired - Lifetime JP3650079B2 (ja) | 2002-04-25 | 2002-04-25 | 機能性繊維シート |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7579290B2 (ja) |
EP (1) | EP1497477B1 (ja) |
JP (1) | JP3650079B2 (ja) |
CN (1) | CN100465329C (ja) |
AT (1) | ATE355394T1 (ja) |
AU (1) | AU2003222620A1 (ja) |
DE (1) | DE60312148T2 (ja) |
ES (1) | ES2282612T3 (ja) |
WO (1) | WO2003091472A1 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101057021B (zh) * | 2004-09-15 | 2010-05-05 | 株式会社铃寅 | 金属涂膜纺织原料 |
US8795718B2 (en) * | 2008-05-22 | 2014-08-05 | Honeywell International, Inc. | Functional nano-layered hemostatic material/device |
US20140221495A1 (en) * | 2013-02-06 | 2014-08-07 | The Government of the United States of America, as reperesented by the Secretary of the Navy | Electrospun polymer nanofibers with surface active quaternary ammonium salt antimicrobials |
US20140338297A1 (en) * | 2013-05-17 | 2014-11-20 | U.S. Environmental Protection Agency | Artifact free inert filter medium for collection of organic particles |
WO2019031589A1 (ja) * | 2017-08-09 | 2019-02-14 | 積水化学工業株式会社 | 積層シート、コーティング繊維、コーティング繊維束及び繊維強化プラスチック |
WO2019130150A2 (en) * | 2017-12-28 | 2019-07-04 | 3M Innovative Properties Company | Ceramic-coated fibers including a flame-retarding polymer, and methods of making nonwoven structures |
WO2019163863A1 (ja) * | 2018-02-22 | 2019-08-29 | 積水化学工業株式会社 | 積層シート |
CN114318231A (zh) * | 2021-12-27 | 2022-04-12 | 丹阳市科达镀膜材料有限公司 | 一种具有纳米抗菌功能的光学真空镀膜及其制备方法 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4422917A (en) * | 1980-09-10 | 1983-12-27 | Imi Marston Limited | Electrode material, electrode and electrochemical cell |
NL8401721A (nl) * | 1984-05-29 | 1985-12-16 | Leer Koninklijke Emballage | Werkwijze en stelsel voor het produceren van een reactief gesputterde geleidende transparante metaaloxidefilm op een doorlopende materiaalbaan. |
JP3004760B2 (ja) * | 1991-04-03 | 2000-01-31 | 日新製鋼株式会社 | チタン酸化物青色膜 |
JP3097312B2 (ja) | 1992-06-05 | 2000-10-10 | 東レ株式会社 | 積層フィルム |
DE4427581A1 (de) * | 1994-08-04 | 1996-02-08 | Leybold Ag | Verfahren zum Aufbringen einer transparenten Metalloxidschicht auf eine Folie |
US6074981A (en) * | 1996-08-05 | 2000-06-13 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Photocatalyst and process for the preparation thereof |
SE509933C2 (sv) * | 1996-09-16 | 1999-03-22 | Scandinavian Solar Ab | Sätt och anordning att framställa ett spektralselektivt absorberande skikt till solkollektorer samt framställt skikt |
JPH10323933A (ja) | 1997-03-21 | 1998-12-08 | Toppan Printing Co Ltd | 酸化アルミニウム蒸着フィルム |
JPH10289633A (ja) * | 1997-04-15 | 1998-10-27 | Polymertech Kk | 加飾透光性キートップおよびその製造方法 |
US6106676A (en) * | 1998-04-16 | 2000-08-22 | The Boc Group, Inc. | Method and apparatus for reactive sputtering employing two control loops |
US6143405A (en) * | 1998-06-30 | 2000-11-07 | 3M Innovative Properties Company | Light colored, electrically conductive coated particles and composites made therefrom |
JP2001017301A (ja) * | 1999-07-05 | 2001-01-23 | Suzutora:Kk | 帯電防止カーペット |
JP2001253007A (ja) | 2000-03-08 | 2001-09-18 | Toto Ltd | 機能性薄膜がコーティングされた製品の製造方法、及び機能性薄膜がコーティングされた製品 |
-
2002
- 2002-04-25 JP JP2002123295A patent/JP3650079B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2003
- 2003-04-25 US US10/512,107 patent/US7579290B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2003-04-25 AU AU2003222620A patent/AU2003222620A1/en not_active Abandoned
- 2003-04-25 DE DE2003612148 patent/DE60312148T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2003-04-25 EP EP20030717459 patent/EP1497477B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-04-25 ES ES03717459T patent/ES2282612T3/es not_active Expired - Lifetime
- 2003-04-25 WO PCT/IB2003/001555 patent/WO2003091472A1/en active IP Right Grant
- 2003-04-25 AT AT03717459T patent/ATE355394T1/de not_active IP Right Cessation
- 2003-04-25 CN CNB038123126A patent/CN100465329C/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20050221707A1 (en) | 2005-10-06 |
EP1497477A1 (en) | 2005-01-19 |
EP1497477B1 (en) | 2007-02-28 |
ATE355394T1 (de) | 2006-03-15 |
CN1656241A (zh) | 2005-08-17 |
DE60312148T2 (de) | 2007-11-15 |
AU2003222620A1 (en) | 2003-11-10 |
WO2003091472A8 (en) | 2005-06-02 |
US7579290B2 (en) | 2009-08-25 |
DE60312148D1 (de) | 2007-04-12 |
CN100465329C (zh) | 2009-03-04 |
WO2003091472A1 (en) | 2003-11-06 |
ES2282612T3 (es) | 2007-10-16 |
JP2003313771A (ja) | 2003-11-06 |
AU2003222620A8 (en) | 2003-11-10 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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