JPH0317995A - 薄膜赤色ｅｌ素子の製造方法 - Google Patents
薄膜赤色ｅｌ素子の製造方法Info
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- JPH0317995A JPH0317995A JP1152782A JP15278289A JPH0317995A JP H0317995 A JPH0317995 A JP H0317995A JP 1152782 A JP1152782 A JP 1152782A JP 15278289 A JP15278289 A JP 15278289A JP H0317995 A JPH0317995 A JP H0317995A
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Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、薄膜赤色ＥＬ素子の製造方法に係り、特に薄
膜形交流ＥＬＤに用いられる薄膜赤色ＥＬ素子の製造方
法に関する。
膜形交流ＥＬＤに用いられる薄膜赤色ＥＬ素子の製造方
法に関する。
［従来の技術］
薄膜赤色ＥＬ素子の発光層としては、現在一般的にＣａ
Ｓ： ＥｕまたはＺｎＳ：ＳｍＦ３が使用されている。
Ｓ： ＥｕまたはＺｎＳ：ＳｍＦ３が使用されている。
従来は前記発光層の各材料を真空蒸着装置内に設けた１
個の蒸着源に投入し、成膜を行っている。
個の蒸着源に投入し、成膜を行っている。
［発明が解決しようとする課題コ
しかしながら上記従来の技術による薄膜赤色ＥＬ素子に
おいては、ＣａＳ： Ｅｕの場合ＣａＳ母材に耐エッチ
ャント性、耐水性等、安定性の面で問題がある。またＺ
ｎＳ：ＳｍＦ３は母材の安定性は高いが輝度が低いとい
う問題点がある。
おいては、ＣａＳ： Ｅｕの場合ＣａＳ母材に耐エッチ
ャント性、耐水性等、安定性の面で問題がある。またＺ
ｎＳ：ＳｍＦ３は母材の安定性は高いが輝度が低いとい
う問題点がある。
本発明は上記従来の問題点に着目し、安定性に優れ、輝
度の高い薄膜赤色ＥＬ素子の製造方法を提供することを
目的とする。
度の高い薄膜赤色ＥＬ素子の製造方法を提供することを
目的とする。
［課題を解決するための手段］
上記目的を達成するために本発明に係る薄膜赤色ＥＬ素
子の製造方法は、薄膜ＥＬ素子の製造において、Ｚｎ，
ＳおよびＭ ｎ Ｆ ２の３種類の蒸着材を、真空蒸着
装置内でそれぞれ独立に制御しつつ蒸着させることによ
って発光層の成膜を行うこととした。
子の製造方法は、薄膜ＥＬ素子の製造において、Ｚｎ，
ＳおよびＭ ｎ Ｆ ２の３種類の蒸着材を、真空蒸着
装置内でそれぞれ独立に制御しつつ蒸着させることによ
って発光層の成膜を行うこととした。
［作用］
上記製造方法によれば、Ｚｎ，Ｓ，ＭｎＦ２の３種類の
蒸着材を、真空蒸着装置内でそれぞれ独立に制御しつつ
蒸着させることにしたので、ＺｎとＳどのａｔ％を管理
しつつＳの供給量を増すことにより、ＺｎＳ系に見られ
非輻射遷移の原因になり得るＳ欠陥を減らすことができ
る。またＭｎＦ２の濃度を容易に変えることができるの
で、ＭｎＦ２濃度の最適化が容易にできる。これらによ
り、Ｍｎ−Ｆ発光中心による高輝度な発光を得ることが
できる。
蒸着材を、真空蒸着装置内でそれぞれ独立に制御しつつ
蒸着させることにしたので、ＺｎとＳどのａｔ％を管理
しつつＳの供給量を増すことにより、ＺｎＳ系に見られ
非輻射遷移の原因になり得るＳ欠陥を減らすことができ
る。またＭｎＦ２の濃度を容易に変えることができるの
で、ＭｎＦ２濃度の最適化が容易にできる。これらによ
り、Ｍｎ−Ｆ発光中心による高輝度な発光を得ることが
できる。
またＭｎ−Ｆを発光中心とする発光色は、Ｍｎを発光中
心とする発光色よりも長波長側（赤側）にシフトするこ
とが分かつており、このため赤色フィルタと組み合わせ
た場合、フィルタを透過する率が増大し結果的に高輝度
な赤色発光を得ることができる． ［実施例］ 以下に本発明に係る薄膜赤色ＥＬ素子の製造方法の実施
例について、図面を参照して詳細に説明する。
心とする発光色よりも長波長側（赤側）にシフトするこ
とが分かつており、このため赤色フィルタと組み合わせ
た場合、フィルタを透過する率が増大し結果的に高輝度
な赤色発光を得ることができる． ［実施例］ 以下に本発明に係る薄膜赤色ＥＬ素子の製造方法の実施
例について、図面を参照して詳細に説明する。
第１図は実施例に係る薄膜赤色ＥＬ素子の発光層を成膜
する真空蒸着装置の概念図である。チャンバ１内にＺｎ
用蒸着源２、Ｓ用蒸着源３およびＭ ｎ Ｆ ２用蒸着
源４が設置され、各蒸着源の上方には蒸着量を独立に制
御するシャッタ５がそれぞれ設けられている。なお６は
基板、７はバルブ、８は真空ボンブである。
する真空蒸着装置の概念図である。チャンバ１内にＺｎ
用蒸着源２、Ｓ用蒸着源３およびＭ ｎ Ｆ ２用蒸着
源４が設置され、各蒸着源の上方には蒸着量を独立に制
御するシャッタ５がそれぞれ設けられている。なお６は
基板、７はバルブ、８は真空ボンブである。
上記真空蒸着装置を用いて第２図に示すＥＬ素子の発光
層を成膜した。第２図において、ガラス基板９上に透明
電極ｌＯとしてＩＴＯを電子ビーム蒸着法により１５０
０人の厚さに成膜し、更に絶縁層１ｌとしてＴａ２０５
をスパッタ法により５０００Ａの厚さに成膜した上、発
光層１２としてＺｎＳ：ＭｎＦを第１図の真空蒸着装置
により６０００Ａの厚さに成膜した。その上に絶縁層１
３としてＴａ２０ｓをスパッタ法により５０００Ａの厚
さに成膜し、背面電極１４としてＡ２を、電子ビーム蒸
着法により３０００Ａの厚さに成膜した。またガラス基
板９上に赤色フィルタ１５を取り付けた。
層を成膜した。第２図において、ガラス基板９上に透明
電極ｌＯとしてＩＴＯを電子ビーム蒸着法により１５０
０人の厚さに成膜し、更に絶縁層１ｌとしてＴａ２０５
をスパッタ法により５０００Ａの厚さに成膜した上、発
光層１２としてＺｎＳ：ＭｎＦを第１図の真空蒸着装置
により６０００Ａの厚さに成膜した。その上に絶縁層１
３としてＴａ２０ｓをスパッタ法により５０００Ａの厚
さに成膜し、背面電極１４としてＡ２を、電子ビーム蒸
着法により３０００Ａの厚さに成膜した。またガラス基
板９上に赤色フィルタ１５を取り付けた。
このような本実施例で得られたＥＬスペクトルを第３図
に示す。Ｍｎを発光中心とする発光色のピーク波長５８
５ｎｍに対し、Ｍｎ−Ｆを発光中心とする発光色のピー
ク波長は長波長側すなわち赤側にシフトしているため、
赤色フィルタを透過する光量が増加し、高輝度の赤色発
光が得られた。
に示す。Ｍｎを発光中心とする発光色のピーク波長５８
５ｎｍに対し、Ｍｎ−Ｆを発光中心とする発光色のピー
ク波長は長波長側すなわち赤側にシフトしているため、
赤色フィルタを透過する光量が増加し、高輝度の赤色発
光が得られた。
本実施例では赤色フィルタをガラス基板上に取着したが
これに限るものではなく、取り出される光の進路上であ
れば他の任意の箇所に設置してもよい。
これに限るものではなく、取り出される光の進路上であ
れば他の任意の箇所に設置してもよい。
［発明の効果］
以上説明したように本発明によれば、Ｚｎ，Ｓ，Ｍ ｎ
Ｆ ２の３種類の蒸着源を、真空蒸着装置内でそれぞ
れ独立に制御しつつ真空蒸着させることにしたので、Ｚ
ｎＳ系に見られるＳ欠陥を減らし、Ｍ ｎ Ｆ ２濃度
の最適化が容易にできる。これらにより発光層は安定性
に優れ、Ｍｎ−Ｆ発光中心による高輝度な発光を得るこ
とができる。
Ｆ ２の３種類の蒸着源を、真空蒸着装置内でそれぞ
れ独立に制御しつつ真空蒸着させることにしたので、Ｚ
ｎＳ系に見られるＳ欠陥を減らし、Ｍ ｎ Ｆ ２濃度
の最適化が容易にできる。これらにより発光層は安定性
に優れ、Ｍｎ−Ｆ発光中心による高輝度な発光を得るこ
とができる。
またＭｎ−Ｆを発光中心とする発光色はＭｎを発光中心
とする発光色よりも長波長側にあるので、赤色フィルタ
と組み合わせた場合フィルタを透過する率が増大し、高
輝度な赤色発光を得ることができる．
とする発光色よりも長波長側にあるので、赤色フィルタ
と組み合わせた場合フィルタを透過する率が増大し、高
輝度な赤色発光を得ることができる．
第１図は実施例に係る薄膜赤色ＥＬ素子の製造方法にお
いて、発光層の成膜に用いる真空蒸着装置の概念図、第
２図は薄膜ＥＬ素子の構造説明図、第３図は実施例に係
る薄膜赤色ＥＬ素子によって得られたＥＬスペクトル図
である。 ２・・・・・・Ｚｎ用蒸着源 ３・・・・・・Ｓ用蒸着源 ４・・・・・・Ｍ ｎ ’Ｆ ２用蒸着源５・・・・・
・シャッタ ６・・・・・・基板 １２・・・・・・発光層
いて、発光層の成膜に用いる真空蒸着装置の概念図、第
２図は薄膜ＥＬ素子の構造説明図、第３図は実施例に係
る薄膜赤色ＥＬ素子によって得られたＥＬスペクトル図
である。 ２・・・・・・Ｚｎ用蒸着源 ３・・・・・・Ｓ用蒸着源 ４・・・・・・Ｍ ｎ ’Ｆ ２用蒸着源５・・・・・
・シャッタ ６・・・・・・基板 １２・・・・・・発光層
Claims (1)
- 薄膜ＥＬ素子の製造において、Ｚｎ，ＳおよびＭｎＦ
＿２の３種類の蒸着材を、真空蒸着装置内でそれぞれ独
立に制御しつつ蒸着させることによって発光層の成膜を
行うことを特徴とする薄膜赤色ＥＬ素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1152782A JPH0317995A (ja) | 1989-06-15 | 1989-06-15 | 薄膜赤色ｅｌ素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1152782A JPH0317995A (ja) | 1989-06-15 | 1989-06-15 | 薄膜赤色ｅｌ素子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0317995A true JPH0317995A (ja) | 1991-01-25 |
Family
ID=15548032
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1152782A Pending JPH0317995A (ja) | 1989-06-15 | 1989-06-15 | 薄膜赤色ｅｌ素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0317995A (ja) |
-
1989
- 1989-06-15 JP JP1152782A patent/JPH0317995A/ja active Pending
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