JPH10323933A - 酸化アルミニウム蒸着フィルム - Google Patents
酸化アルミニウム蒸着フィルムInfo
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- JPH10323933A JPH10323933A JP962298A JP962298A JPH10323933A JP H10323933 A JPH10323933 A JP H10323933A JP 962298 A JP962298 A JP 962298A JP 962298 A JP962298 A JP 962298A JP H10323933 A JPH10323933 A JP H10323933A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】酸化アルミニウム蒸着層の厚みが薄くても、水
蒸気透過度が２ｇ／ｍ2／ｄａｙ以下のバリア性を有
し、透明度が優れた酸化アルミニウム蒸着フィルムを提
供する。 【解決手段】透明プラスチックフィルム２０上に、層の
厚さ方向に完全酸化アルミニウム領域２１Ａ、不完全酸
化アルミニウム領域２１Ｂが形成された酸化アルミニウ
ム蒸着層２１を設けた酸化アルミニウム蒸着フィルムで
ある。
蒸気透過度が２ｇ／ｍ2／ｄａｙ以下のバリア性を有
し、透明度が優れた酸化アルミニウム蒸着フィルムを提
供する。 【解決手段】透明プラスチックフィルム２０上に、層の
厚さ方向に完全酸化アルミニウム領域２１Ａ、不完全酸
化アルミニウム領域２１Ｂが形成された酸化アルミニウ
ム蒸着層２１を設けた酸化アルミニウム蒸着フィルムで
ある。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、透明プラスチック
フィルムに酸化アルミニウム蒸着層を形成した、酸化ア
ルミニウム蒸着フィルムの改良に関する。
フィルムに酸化アルミニウム蒸着層を形成した、酸化ア
ルミニウム蒸着フィルムの改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のアルミニウム箔に代わるガスバリ
ア材料として、酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化マグ
ネシウムを蒸着した金属酸化物蒸着フィルムが使用され
るようになっている。この金属酸化物蒸着フィルムは、
アルミニウム箔と異なり、透明で、しかも使用後の廃棄
処理が容易であることから注目されている。
ア材料として、酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化マグ
ネシウムを蒸着した金属酸化物蒸着フィルムが使用され
るようになっている。この金属酸化物蒸着フィルムは、
アルミニウム箔と異なり、透明で、しかも使用後の廃棄
処理が容易であることから注目されている。
【０００３】ここで、金属酸化物蒸着フィルムの中で、
酸化珪素蒸着フィルムは、ガスバリア性が優れている
が、多少の着色が避けられないものであった。また、酸
化アルミニウム蒸着フィルムは、一定のガスバリア性を
有し、しかも透明性が良好なものであった。しかし、酸
化アルミニウムで、Ａｌ2 Ｏ3 に示されるような完全酸
化アルミニウムからなる蒸着層は、透明性が優れるもの
の、水蒸気透過度が、２ｇ／ｍ2 ・ｄａｙ以下のバリア
性が実現できなかった。一方、酸化アルミニウムの酸化
度を小さくした場合、前述とは反対にガスバリア性は向
上するものの、灰色のような着色が見られ、透明性が低
下してしまっていた。
酸化珪素蒸着フィルムは、ガスバリア性が優れている
が、多少の着色が避けられないものであった。また、酸
化アルミニウム蒸着フィルムは、一定のガスバリア性を
有し、しかも透明性が良好なものであった。しかし、酸
化アルミニウムで、Ａｌ2 Ｏ3 に示されるような完全酸
化アルミニウムからなる蒸着層は、透明性が優れるもの
の、水蒸気透過度が、２ｇ／ｍ2 ・ｄａｙ以下のバリア
性が実現できなかった。一方、酸化アルミニウムの酸化
度を小さくした場合、前述とは反対にガスバリア性は向
上するものの、灰色のような着色が見られ、透明性が低
下してしまっていた。
【０００４】そこで、酸化アルミニウム蒸着層を、不完
全酸化状態とし、しかも透明性を良好にするため、１０
０Å以下の厚さで設けることが考えられるが、一般にプ
ラスチックフィルムには、その取扱い上、滑剤が充填さ
れており、この滑剤の突起により、前記蒸着層の一部が
滑剤により形成されない部分ができてしまい、ガスバリ
ア性が低下してしまう。
全酸化状態とし、しかも透明性を良好にするため、１０
０Å以下の厚さで設けることが考えられるが、一般にプ
ラスチックフィルムには、その取扱い上、滑剤が充填さ
れており、この滑剤の突起により、前記蒸着層の一部が
滑剤により形成されない部分ができてしまい、ガスバリ
ア性が低下してしまう。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、酸化アルミ
ニウムの透明性が優れている特性を維持し、しかも水蒸
気透過度が、２ｇ／ｍ2 ・ｄａｙ以下のバリア性を有す
る酸化アルミニウム蒸着フィルムを提供することを目的
とする。
ニウムの透明性が優れている特性を維持し、しかも水蒸
気透過度が、２ｇ／ｍ2 ・ｄａｙ以下のバリア性を有す
る酸化アルミニウム蒸着フィルムを提供することを目的
とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、透明プラスチ
ックフィルム上に、層の厚さ方向に不完全酸化アルミニ
ウム領域と完全酸化アルミニウム領域とを形成した酸化
アルミニウム蒸着層を形成したことを特徴とする、酸化
アルミニウム蒸着フィルムである。第２の発明は、前記
酸化アルミニウム蒸着層の完全酸化アルミニウム領域
を、透明プラスチックフィルム側とした酸化アルミニウ
ム蒸着フィルムである。第３の発明は、前記酸化アルミ
ニウム蒸着層を完全酸化アルミニウム領域の両側に、不
完全酸化アルミニウム領域を形成した構成とした酸化ア
ルミニウム蒸着フィルムである。
ックフィルム上に、層の厚さ方向に不完全酸化アルミニ
ウム領域と完全酸化アルミニウム領域とを形成した酸化
アルミニウム蒸着層を形成したことを特徴とする、酸化
アルミニウム蒸着フィルムである。第２の発明は、前記
酸化アルミニウム蒸着層の完全酸化アルミニウム領域
を、透明プラスチックフィルム側とした酸化アルミニウ
ム蒸着フィルムである。第３の発明は、前記酸化アルミ
ニウム蒸着層を完全酸化アルミニウム領域の両側に、不
完全酸化アルミニウム領域を形成した構成とした酸化ア
ルミニウム蒸着フィルムである。
【０００７】第４の発明は、前記酸化アルミニウム蒸着
層の不完全酸化アルミニウム領域を、透明プラスチック
フィルム側とした酸化アルミニウム蒸着フィルムであ
る。第５の発明は、前記酸化アルミニウム蒸着層を不完
全酸化アルミニウム領域の両側に、完全酸化アルミニウ
ム領域を形成した構成とした酸化アルミニウム蒸着フィ
ルムである。
層の不完全酸化アルミニウム領域を、透明プラスチック
フィルム側とした酸化アルミニウム蒸着フィルムであ
る。第５の発明は、前記酸化アルミニウム蒸着層を不完
全酸化アルミニウム領域の両側に、完全酸化アルミニウ
ム領域を形成した構成とした酸化アルミニウム蒸着フィ
ルムである。
【０００８】第６の発明は、前記酸化アルミニウム蒸着
層の不完全酸化アルミニウム領域の厚みを、２５〜１０
０Åの範囲とした酸化アルミニウム蒸着フィルムであ
る。第７の発明は、前記酸化アルミニウム蒸着層面に被
覆層を設けた構成とした酸化アルミニウム蒸着フィルム
である。第８の発明は、前記酸化アルミニウム蒸着層面
に熱接着性樹脂層を形成した酸化アルミニウム蒸着フィ
ルムである。
層の不完全酸化アルミニウム領域の厚みを、２５〜１０
０Åの範囲とした酸化アルミニウム蒸着フィルムであ
る。第７の発明は、前記酸化アルミニウム蒸着層面に被
覆層を設けた構成とした酸化アルミニウム蒸着フィルム
である。第８の発明は、前記酸化アルミニウム蒸着層面
に熱接着性樹脂層を形成した酸化アルミニウム蒸着フィ
ルムである。
【０００９】
【作用】酸化アルミニウム蒸着層を、層の厚さ方向に完
全酸化アルミニウム領域と不完全酸化アルミニウム領域
とを形成するようにしたので、完全酸化アルミニウム領
域で蒸着層を維持し、不完全酸化アルミニウム領域でガ
スバリア性を保持することができる。
全酸化アルミニウム領域と不完全酸化アルミニウム領域
とを形成するようにしたので、完全酸化アルミニウム領
域で蒸着層を維持し、不完全酸化アルミニウム領域でガ
スバリア性を保持することができる。
【００１０】また、不完全酸化アルミニウム領域を薄く
することができるので、透明性を損なうことがなく、内
容物の透視性、印刷層の色の再現性の問題が解消した。
することができるので、透明性を損なうことがなく、内
容物の透視性、印刷層の色の再現性の問題が解消した。
【００１１】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の酸化アルミニウ
ム蒸着フィルムの一例を示す断面図で、透明プラスチッ
クフィルム２０に酸化アルミニウム蒸着層２１を形成し
た酸化アルミニウム蒸着フィルムである。ここで、酸化
アルミニウム蒸着層２１は、層の厚さ方向に完全酸化ア
ルミニウム領域２１Ａ、不完全酸化アルミニウム領域２
１Ｂが形成されており、プラスチックフィルム２０側に
完全酸化アルミニウム領域２１Ａを形成したものであ
る。
ム蒸着フィルムの一例を示す断面図で、透明プラスチッ
クフィルム２０に酸化アルミニウム蒸着層２１を形成し
た酸化アルミニウム蒸着フィルムである。ここで、酸化
アルミニウム蒸着層２１は、層の厚さ方向に完全酸化ア
ルミニウム領域２１Ａ、不完全酸化アルミニウム領域２
１Ｂが形成されており、プラスチックフィルム２０側に
完全酸化アルミニウム領域２１Ａを形成したものであ
る。
【００１２】また、図２に示すように、酸化アルミニウ
ム蒸着層２１は、層の厚さ方向に完全酸化アルミニウム
領域２１Ａ、不完全酸化アルミニウム領域２１Ｂが形成
されており、プラスチックフィルム２０側に不完全酸化
アルミニウム領域２１Ｂを形成したものである。
ム蒸着層２１は、層の厚さ方向に完全酸化アルミニウム
領域２１Ａ、不完全酸化アルミニウム領域２１Ｂが形成
されており、プラスチックフィルム２０側に不完全酸化
アルミニウム領域２１Ｂを形成したものである。
【００１３】また、図３に示すように、酸化アルミニウ
ム蒸着層２１を、不完全酸化アルミニウム領域２１Ｂ、
完全酸化アルミニウム領域２１Ａ、不完全酸化アルミニ
ウム領域２１Ｂの順に形成したものである。
ム蒸着層２１を、不完全酸化アルミニウム領域２１Ｂ、
完全酸化アルミニウム領域２１Ａ、不完全酸化アルミニ
ウム領域２１Ｂの順に形成したものである。
【００１４】また、図４に示すように、酸化アルミニウ
ム蒸着層２１を、完全酸化アルミニウム領域２１Ａ、不
完全酸化アルミニウム領域２１Ｂ、完全酸化アルミニウ
ム領域２１Ａの順に形成しても良い。この酸化アルミニ
ウム蒸着層２１の厚みは、２００〜２０００Åの範囲と
し、この酸化アルミニウム蒸着層２１の不完全酸化アル
ミニウム領域２１Ｂの厚みは、２５〜１００Åの範囲、
好ましくは２５〜５０Åの範囲で設けるのが良い。
ム蒸着層２１を、完全酸化アルミニウム領域２１Ａ、不
完全酸化アルミニウム領域２１Ｂ、完全酸化アルミニウ
ム領域２１Ａの順に形成しても良い。この酸化アルミニ
ウム蒸着層２１の厚みは、２００〜２０００Åの範囲と
し、この酸化アルミニウム蒸着層２１の不完全酸化アル
ミニウム領域２１Ｂの厚みは、２５〜１００Åの範囲、
好ましくは２５〜５０Åの範囲で設けるのが良い。
【００１５】次に、前記酸化アルミニウム蒸着フィルム
のガスバリア性をさらに向上させるために、さらに図５
に示すように、蒸着層２１面に水性被覆層２２を設けた
フィルムである。
のガスバリア性をさらに向上させるために、さらに図５
に示すように、蒸着層２１面に水性被覆層２２を設けた
フィルムである。
【００１６】この水性被覆層２２を形成する被覆剤は、
例えば、水溶性高分子と、（ａ）１種以上の金属アルコ
キシドおよびその加水分解物、または（ｂ）塩化錫の少
なくとも一方を含む水溶液、あるいは水／アルコール混
合溶液を主剤とする被覆剤からなる。前記被覆剤に用い
られる水溶性高分子は、ポリビニルアルコール、ポリビ
ニルピロリドン、デンプン、メチルセルロース、カルボ
キシメチルセルロース、アルギン酸ナトリウムなどが挙
げられ、特にポリビニルアルコールが好ましい。
例えば、水溶性高分子と、（ａ）１種以上の金属アルコ
キシドおよびその加水分解物、または（ｂ）塩化錫の少
なくとも一方を含む水溶液、あるいは水／アルコール混
合溶液を主剤とする被覆剤からなる。前記被覆剤に用い
られる水溶性高分子は、ポリビニルアルコール、ポリビ
ニルピロリドン、デンプン、メチルセルロース、カルボ
キシメチルセルロース、アルギン酸ナトリウムなどが挙
げられ、特にポリビニルアルコールが好ましい。
【００１７】また、金属アルコキシドは、テトラエトキ
シシラン、トリイソプロポキシアルミニウムなどの一
種、塩化錫は、塩化第一錫、塩化第二錫、あるいはこれ
らの混合物が挙げられる。さらに、被覆剤には、分子中
に２個以上のイソシアネート基を有するイソシアネート
化合物を加えることができる。この被覆層の厚みは、
０．０１μｍ〜５０μｍの範囲で設けるのが、バリア
性、柔軟性から好ましい。
シシラン、トリイソプロポキシアルミニウムなどの一
種、塩化錫は、塩化第一錫、塩化第二錫、あるいはこれ
らの混合物が挙げられる。さらに、被覆剤には、分子中
に２個以上のイソシアネート基を有するイソシアネート
化合物を加えることができる。この被覆層の厚みは、
０．０１μｍ〜５０μｍの範囲で設けるのが、バリア
性、柔軟性から好ましい。
【００１８】さらに、前記酸化アルミニウム蒸着フィル
ムを包装材料として使用するには、蒸着層２１面に少な
くとも熱接着性樹脂層２３を設けた積層材料とする。そ
して、熱接着性樹脂層２３は、ポリエチレン、ポリプロ
ピレン、エチレン共重合体、飽和ポリエステル等、ヒー
トシール性を有する樹脂であれば良い。この熱接着性樹
脂層２３は、フィルム化した状態で接着剤を介して積層
する方法、溶融した樹脂を押し出しコーティングにより
積層する方法があり、いずれの方法で積層してもよい。
ムを包装材料として使用するには、蒸着層２１面に少な
くとも熱接着性樹脂層２３を設けた積層材料とする。そ
して、熱接着性樹脂層２３は、ポリエチレン、ポリプロ
ピレン、エチレン共重合体、飽和ポリエステル等、ヒー
トシール性を有する樹脂であれば良い。この熱接着性樹
脂層２３は、フィルム化した状態で接着剤を介して積層
する方法、溶融した樹脂を押し出しコーティングにより
積層する方法があり、いずれの方法で積層してもよい。
【００１９】このように、熱接着性樹脂層２３を設けた
積層材料は、ピロー包装袋、４方シール袋、３方シール
袋、ガゼット袋、スタンディングパウチとして使用する
ことができる。
積層材料は、ピロー包装袋、４方シール袋、３方シール
袋、ガゼット袋、スタンディングパウチとして使用する
ことができる。
【００２０】
【実施例】図７は、本発明の酸化アルミニウム蒸着フィ
ルムを製造する反応蒸着装置の一例を示す説明図であ
る。真空槽１内に設置された巻取軸２に巻かれた連続し
た透明プラスチックフィルム５は、−３０℃〜１０℃に
冷却された冷却ドラム３に沿って走行しながら、フィル
ム巻取軸４に巻き取られる。同時に、ルツボ６内のアル
ミニウムに電子線ビーム銃７から電子線を照射して、ア
ルミニウムを蒸発し、かつアルミニウムの蒸気雰囲気内
に位置したガス吹き出し口８から酸素を供給する。
ルムを製造する反応蒸着装置の一例を示す説明図であ
る。真空槽１内に設置された巻取軸２に巻かれた連続し
た透明プラスチックフィルム５は、−３０℃〜１０℃に
冷却された冷却ドラム３に沿って走行しながら、フィル
ム巻取軸４に巻き取られる。同時に、ルツボ６内のアル
ミニウムに電子線ビーム銃７から電子線を照射して、ア
ルミニウムを蒸発し、かつアルミニウムの蒸気雰囲気内
に位置したガス吹き出し口８から酸素を供給する。
【００２１】蒸発したアルミニウムと酸素が反応して、
プラスチックフィルム５の表面に、酸化アルミニウム蒸
着膜が形成される。また、前記蒸発したアルミニウム内
でプラズマを発生するためのホーンアンテナ１１にマイ
クロ波を供給することにより、より効果的に蒸着ができ
る。
プラスチックフィルム５の表面に、酸化アルミニウム蒸
着膜が形成される。また、前記蒸発したアルミニウム内
でプラズマを発生するためのホーンアンテナ１１にマイ
クロ波を供給することにより、より効果的に蒸着ができ
る。
【００２２】前記蒸着方法を用いた、本発明の具体例に
ついて説明する。幅５０ｃｍのポリエステルフィルム
（厚さ１２μｍ）を６００ｍ／分の速度で走行させ、こ
のポリエステルフィルム上に、酸化アルミニウム層を蒸
着するため、蒸着源となるアルミニウムの蒸発量Ａを１
０８．３ｇ／分（４．０モル／分）とし、一方、酸素の
供給量Ｂを８〜１３リットル／分（０．４７７〜０．７
７４モル／分）とした。すなわち、酸素供給量Ｂ／アル
ミニウム蒸発量を０．１２〜０．１９となる範囲に条件
で行った。この時、蒸発したアルミニウムがポリエステ
ルフィルム上に、酸化アルミニウムとしての付着効率を
３０％とし、酸素供給量が過剰にならないように設定し
た。
ついて説明する。幅５０ｃｍのポリエステルフィルム
（厚さ１２μｍ）を６００ｍ／分の速度で走行させ、こ
のポリエステルフィルム上に、酸化アルミニウム層を蒸
着するため、蒸着源となるアルミニウムの蒸発量Ａを１
０８．３ｇ／分（４．０モル／分）とし、一方、酸素の
供給量Ｂを８〜１３リットル／分（０．４７７〜０．７
７４モル／分）とした。すなわち、酸素供給量Ｂ／アル
ミニウム蒸発量を０．１２〜０．１９となる範囲に条件
で行った。この時、蒸発したアルミニウムがポリエステ
ルフィルム上に、酸化アルミニウムとしての付着効率を
３０％とし、酸素供給量が過剰にならないように設定し
た。
【００２３】上記条件で以下に示す酸化アルミニウム蒸
着層を有する蒸着フィルムをそれぞれ製造し、透明性、
酸素透過度、および水蒸気透過度を測定した。 フィルム１：ＰＥＴ（１２μｍ）／Ａ領域（１５０Å）
／Ｂ領域（５０Å） フィルム２：ＰＥＴ（１２μｍ）／Ｂ領域（２５Å）／
Ａ領域（１５０Å）／Ｂ領域（２５Å） フィルム３：ＰＥＴ（１２μｍ）／Ａ領域（２５０Å） フィルム４：ＰＥＴ（１２μｍ）／Ｂ領域（２５０Å） フィルム５：ＰＥＴ（１２μｍ）／Ｂ領域（５０Å） フィルム６：ＰＥＴ（１２μｍ）／Ｂ領域（５０Å）／
Ａ領域（１５０Å） フィルム７：ＰＥＴ（１２μｍ）／Ａ領域（１５０Å）
／Ｂ領域（５０Å）／Ａ領域（１５０Å） Ａ領域：完全酸化アルミニウム領域 Ｂ領域：不完全酸化アルミニウム領域 その結果を表１に示す。
着層を有する蒸着フィルムをそれぞれ製造し、透明性、
酸素透過度、および水蒸気透過度を測定した。 フィルム１：ＰＥＴ（１２μｍ）／Ａ領域（１５０Å）
／Ｂ領域（５０Å） フィルム２：ＰＥＴ（１２μｍ）／Ｂ領域（２５Å）／
Ａ領域（１５０Å）／Ｂ領域（２５Å） フィルム３：ＰＥＴ（１２μｍ）／Ａ領域（２５０Å） フィルム４：ＰＥＴ（１２μｍ）／Ｂ領域（２５０Å） フィルム５：ＰＥＴ（１２μｍ）／Ｂ領域（５０Å） フィルム６：ＰＥＴ（１２μｍ）／Ｂ領域（５０Å）／
Ａ領域（１５０Å） フィルム７：ＰＥＴ（１２μｍ）／Ａ領域（１５０Å）
／Ｂ領域（５０Å）／Ａ領域（１５０Å） Ａ領域：完全酸化アルミニウム領域 Ｂ領域：不完全酸化アルミニウム領域 その結果を表１に示す。
【００２４】
【表１】
【００２５】
【発明の効果】本発明によれば、アルミニウム蒸着層を
層方向に、完全酸化アルミニウム蒸着領域と不完全酸化
アルミニウム領域を形成した構成としたので、蒸着層の
厚みを薄くして、透明性が優れ、しかもガスバリア性の
優れた酸化アルミニウム蒸着フィルムとすることができ
る。
層方向に、完全酸化アルミニウム蒸着領域と不完全酸化
アルミニウム領域を形成した構成としたので、蒸着層の
厚みを薄くして、透明性が優れ、しかもガスバリア性の
優れた酸化アルミニウム蒸着フィルムとすることができ
る。
【００２６】また、透明性が優れるので、内容物を透視
する包装体、または印刷層を設けた時の、色彩の再現性
の優れるので、広い用途に使用することができる。
する包装体、または印刷層を設けた時の、色彩の再現性
の優れるので、広い用途に使用することができる。
【図１】本発明の蒸着フィルムの一例を示す断面図であ
る。
る。
【図２】本発明の蒸着フィルムの別の一例を示す断面図
である。
である。
【図３】本発明の蒸着フィルムの別の一例を示す断面図
である。
である。
【図４】本発明の蒸着フィルムの別の一例を示す断面図
である。
である。
【図５】本発明の蒸着フィルムの応用例を示す断面図で
ある。
ある。
【図６】本発明の蒸着フィルムを用いた積層材料を示す
断面図である。
断面図である。
【図７】本発明の蒸着フィルムを製造する装置の概略を
示す説明図である。
示す説明図である。
１…真空槽 ２、４…巻取軸 ３…冷却ドラム ５…プラスチックフィルム ６…ルツボ ７…電子ビーム銃 ８…ガス吹き出し口 ２０…プラスチックフィルム ２１…蒸着層 ２１Ａ…完全酸化アルミニウム領域 ２１Ｂ…不完全酸化アルミニウム領域 ２２…水性被覆層 ２３…熱接着性樹脂層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 今井 伸彦 東京都台東区台東１丁目５番１号 凸版印 刷株式会社内 (72)発明者 金子 健一 東京都台東区台東１丁目５番１号 凸版印 刷株式会社内
Claims (8)
- 【請求項１】透明プラスチックフィルム上に、層の厚さ
方向に不完全酸化アルミニウム領域と完全酸化アルミニ
ウム領域とを形成した酸化アルミニウム蒸着層を形成し
たことを特徴とする、酸化アルミニウム蒸着フィルム。 - 【請求項２】完全酸化アルミニウム領域を、透明プラス
チックフィルム側とした請求項１に記載の酸化アルミニ
ウム蒸着フィルム。 - 【請求項３】完全酸化アルミニウム領域の両側に、不完
全酸化アルミニウム領域を形成した請求項１に記載の酸
化アルミニウム蒸着フィルム。 - 【請求項４】不完全酸化アルミニウム領域を、透明プラ
スチックフィルム側とした請求項１に記載の酸化アルミ
ニウム蒸着フィルム。 - 【請求項５】不完全酸化アルミニウム領域の両側に、完
全酸化アルミニウム領域を形成した請求項１に記載の酸
化アルミニウム蒸着フィルム。 - 【請求項６】不完全酸化アルミニウム領域の厚みが、２
５〜１００Åの範囲とした請求項１ないし請求項５のい
ずれかに記載の酸化アルミニウム蒸着フィルム。 - 【請求項７】酸化アルミニウム蒸着層面に被覆層を設け
た、請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の酸化ア
ルミニウム蒸着フィルム。 - 【請求項８】酸化アルミニウム蒸着層面に熱接着性樹脂
層を形成した請求項１ないし請求項７のいずれかに記載
の酸化アルミニウム蒸着フィルム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP962298A JPH10323933A (ja) | 1997-03-21 | 1998-01-21 | 酸化アルミニウム蒸着フィルム |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9-68045 | 1997-03-21 | ||
| JP6804597 | 1997-03-21 | ||
| JP962298A JPH10323933A (ja) | 1997-03-21 | 1998-01-21 | 酸化アルミニウム蒸着フィルム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10323933A true JPH10323933A (ja) | 1998-12-08 |
Family
ID=26344383
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP962298A Pending JPH10323933A (ja) | 1997-03-21 | 1998-01-21 | 酸化アルミニウム蒸着フィルム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10323933A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007046081A (ja) * | 2005-08-08 | 2007-02-22 | Nitto Denko Corp | 透明ガスバリア膜の製造方法およびそれにより得られる透明ガスバリア膜 |
| US7579290B2 (en) | 2002-04-25 | 2009-08-25 | Kabushiki Kaisha Suzutora | Functional fiber sheet |
| JP2012067358A (ja) * | 2010-09-24 | 2012-04-05 | Toppan Printing Co Ltd | 加圧加熱殺菌用包装材料 |
| JP2012206380A (ja) * | 2011-03-29 | 2012-10-25 | Nitto Denko Corp | 透明ガスバリアフィルム、透明ガスバリアフィルムの製造方法、有機エレクトロルミネッセンス素子、太陽電池および薄膜電池 |
| WO2022224797A1 (ja) * | 2021-04-19 | 2022-10-27 | 東レフィルム加工株式会社 | 積層体、および積層体の製造方法 |
-
1998
- 1998-01-21 JP JP962298A patent/JPH10323933A/ja active Pending
Cited By (5)
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|---|---|---|---|---|
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