JP3648388B2 - マルチビーム走査装置およびその光源ユニット - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、マルチビーム走査装置およびその光源ユニットに関する。
【0002】
【従来の技術】
複数の発光部からの複数のビームを共通の光学系を介して被走査面に導き、副走査方向に互いに分離した複数のスポットとして集光せしめ、上記光学系に含まれる光偏向器により上記複数ビームを同時に偏向せしめ、上記複数のスポットにより複数ラインを同時走査する方式のマルチビーム走査装置の実現が意図されている。
図2(a)は、マルチビーム走査装置の1例を示している。光源装置10からは2本のビームが同時に放射される。これら2本のビームは共に平行光束であって、シリンドリカルレンズ12により副走査対応方向(光源から被走査面に至る光路上で副走査方向と対応する方向)に集束され、光偏向器である回転多面鏡14の偏向反射面の近傍に主走査対応方向(光源から被走査面に至る光路上で主走査方向と対応する方向)に長い線像としてそれぞれ結像し、偏向反射面により反射されると、回転多面鏡14の等速回転に伴い等角速度的に偏向し、結像機能を有するfθミラー16に入射して反射され、ミラー18により折り返されると、樽型トロイダル面を有する長尺トロイダルレンズ20を透過し、ミラー22により光路を折り曲げられ、光導電性の感光体24の(被走査面の実体を成す)感光面に入射する。
fθミラー16と長尺トロイダルレンズ20とは共働して、各ビームを被走査面上にスポットとして集光させる。光源装置10からの各ビームは平行光束であり、回転多面鏡の偏向反射面位置に、主走査対応方向に長い線像として結像するから、偏向ビームは、主走査対応方向には平行光束、副走査対応方向には発散光束であり、fθミラー16は主として各偏向ビームを主走査対応方向において被走査面上に結像させる機能と、スポットによる光走査を等速化する機能(fθ機能)とを有する。長尺トロイダルレンズ20は、fθミラー16と共働して、各偏向ビームを、副走査対応方向において被走査面上に結像させる機能を有する。
即ち、fθミラー16と長尺トロイダルレンズ20とは、副走査対応方向において、偏向反射面近傍と被走査面位置とを幾何光学的な共役関係とする機能を有する。従って、図2(a)のマルチビーム走査装置は、回転多面鏡14における「面倒れ」を補正する機能を有する。
【0003】
図2(b)は(a)に示した光源装置10の「具体的構成の1例」を説明図的に示している。光源としての半導体レーザ101からのビームはカップリングレンズ103により、半導体レーザ102からのビームはカップリングレンズ104により、それぞれ以後の光学系にカップリングされ、カップリングされた各ビームは「平行光束」となる。カップリングされた各ビームは、ビーム合成手段105により合成される。
ビーム合成手段105は、1/2波長板1051とプリズム1052を一体化して成り、プリズム1052は偏光分離膜1053を有する。偏光分離膜1053はP偏光を透過させ、S偏光を反射する。
半導体レーザ101,102からのレーザビームは「偏光分離膜1053に対してP偏光となる」ように放射される。従って、カップリングレンズ103によりカップリングされたビームは、プリズム1052に入射すると、偏光分離膜1053をそのまま透過する。カップリングレンズ104によりカップリングされたビームは、1/2波長板1051を透過することにより偏光面を90度旋回され、偏光分離膜1053に対してS偏光となる。このビームは、プリズム1052のプリズム面により全反射され、次いで、偏光分離膜1053により反射されてプリズム1052から射出する。かくして、半導体レーザ101,102からの各ビームが合成される。カップリングレンズ103,104の光軸は互いに平行であり、これら光軸の距離は、ビーム合成手段105でビーム合成したとき、各カップリングレンズ103,104の光軸が、互いに合致するように定められている。
【0004】
プリズム105から射出する各ビームは何れも直線偏光状態にあり、偏光面が互いに90度をなしている。前記「共通の光学系」には、回転多面鏡14の偏向反射面や、fθミラー16、ミラー18,22が、反射面として含まれる。周知の如く、反射面による反射率は、反射角に応じて変化するが、反射面に対してS偏光であるかP偏光であるかによっても反射率が変化するので、偏光状態による反射率の変動(スポットの強度変動である「シェーディング」の原因となる)を防止するため、合成された各ビームの偏光状態を円偏光にするための(各ビームに共通の)1/4波長板(図示されず)が、光源装置10の内部または光源装置10とシリンドリカルレンズ12との間に配備される。また、被走査面上に集光するスポットの形状を適当な形状とするため、合成された各ビームを「ビーム整形」する必要があり、このビーム整形のための(各ビームに共通の)アパーチュア(図示されず)が光源装置の内部あるいは適宜の位置に配備される。
【0005】
前述のように、カップリングレンズ103,104は、ビーム合成手段105によるビーム合成により「これらレンズの光軸が合致する」ように配備されているから、半導体レーザ101,102の発光部を対応するカップリングレンズの光軸上に配備すれば、これら半導体レーザ101,102からのビームのスポットは被走査面上で互いに重なりあう。そこで、一方もしくは双方の半導体レーザの発光部を、対応するカップリングレンズの光軸に対して微小距離ずらすと、各ビームの形成するスポットは被走査面上で互いにずれる。
【0006】
図2(c)は、被走査面上の2つのスポットSP1,SP2の関係を示している。図の左右方向が「主走査方向」、上下方向が「副走査方向」である。
ビーム合成手段105により合成された状態における2つの発光部の間隔を、主走査対応方向にdm、副走査対応方向にdsとし、カップリングレンズ、シリンドリカルレンズ12、fθミラー16と長尺トロイダルレンズ20、即ち、発光部と被走査面との間にある光学系の合成の結像倍率を、主走査対応方向につきβm、副走査対応方向につきβsとすると、図2(c)にけるスポットSP1,SP2の主走査方向の間隔:Lm、副走査方向の間隔:Lsは、それぞれ、Lm=βm・dm、副走査方向の間隔:Ls=βs・dsである。
そこで、図2(a)に戻って、光源装置10を全体として(カップリングレンズ103の光軸を軸として)回転調整可能とし、光源装置10を全体として回転させることにより、スポットSP1,SP2の副走査方向の分離量:Lsを調整することができる。上記分離量:Lsは、同時に走査される2ラインのピッチであるから、これを変化させることにより、マルチビーム走査による書込みにおける「書込み密度」を変化させることができる。即ち、密度切り換えを行うときは「密度切り換え信号」を角度制御部(コンピュータ等)26に入力し、角度制御部26によりモータ28の回転駆動を制御して所望の密度を実現する。
「書込み信号」は、図2(b)に示すように、書込制御部30(コンピュータ等)を介してLD駆動部32に送られ、LD駆動部32は、奇数ラインの書込み信号により半導体レーザ101の発光を変調制御し、偶数ラインの書込み信号により半導体レーザ102の発光を変調制御する。
光走査を開始するに先立ち、各ビームは図示されない同期光検出手段により検出され、その検出結果に基づき、各ビームによる書込み開始のタイミングが決定される。
図2(c)に示すスポットSP1,SP2の主走査方向の分離量:Lmは、各スポットを「同一の検出部で独立して検出できる程度の大きさ」に分離するように設定される。
【0007】
図3(a)は、図2のマルチビーム走査装置の光源装置10において、半導体レーザとカップリングレンズの保持用に意図された「ホルダ」を示している。
ホルダ50の板状の基部51に直交するように、2つの棚状部501,502が突設され、これら棚状部501,502にそれぞれ、カップリングレンズ103,104が配備される。各半導体レーザは、基部51に穿設された穴503,504に、基部51の裏面側から圧入固定され、各発光部からのビームは、穴503,504を抜けてカップリングレンズ103,104に入射する。
このように各半導体レーザとカップリングレンズ103,104を保持したホルダ50は、光源装置のケーシング(図示されず。ビーム合成手段を固定的に設けられている)に、板状基部51の4隅の螺子穴により螺子(図示されず)で固定される。
ホルダ50における棚状部501,502と、半導体レーザ圧入用の穴503,504の位置関係は、半導体レーザの発光部位置とカップリングレンズの光軸との位置関係を考慮して、半導体レーザを穴503,504に圧入し、カップリングレンズを棚状部に適正に配備すれば、設計上の位置関係が実現されるように定められている。
周知の如く、半導体レーザは、半導体レーザチップをパッケージに装備したものである。図4を参照すると、図4(a)の上の図は、半導体レーザをパッケージの正面側から見た状態を示している。図4(a)の下の図は、(a)の上の図のa−a断面を示している。パッケージ1の底部から突設された棚状保持部2に半導体レーザチップ5が位置決めされて接着されている。この接着は、半導体レーザチップにおける活性層が棚状保持部2の表面と平行になるように行われる。
半導体レーザ1における発光部6は、半導体レーザチップ5の活性層の中央部にある。この発光部は、設計上は、パッケージ1の中心位置であるが、実際には製造上の誤差や接着時の誤差等により、中心位置からずれる。この「ずれ」は主として、半導体レーザチップ5における活性層に直交する方向(この方向を示すために、パッケージ1にはマーク7が記されている)において生じる。
【0008】
半導体レーザにおける発光部の位置誤差(パッケージ中央部からのずれ量)は±50μm程度であり、その「バラツキ」はロットごとに偏りが見られる。
ここで、半導体レーザにおける「パッケージ半径方向の向き」を以下のように定義する。即ち、「パッケージ半径方向の向き」は、図4(a)の上の図において、発光部6を通り、棚状保持部2の表面に直交する方向のうちで、発光部6から棚状部2へ向かう向きを言うものとする。図4(a)においては、従って、発光部を通り図面右側へ向かう向きが「パッケージ半径方向の向き」になる。
半導体レーザから放射されるビームにおける偏光面は、活性層に平行な方向であるので、図2に示したようなビーム合成手段を用いる場合、パッケージ半径方向の向きとして許容されるのは、図3の如きホルダ50では、棚状部501,502に直交する方向に限られてしまう。
上記のように、発光部の位置ずれのある半導体レーザを、図3のホルダ50に保持させた場合、上記位置ずれにより、半導体レーザの発光部とカップリングレンズの光軸との位置関係のずれを生じる。このような位置関係のずれの補正は、図3(b)に示すように、カップリングレンズ103,104を棚状部501,502に接着する接着剤層8A,8Bの厚み:Δ1,Δ2を調整することにより行われる。
【0009】
ところで、図4(b)に示す2つの半導体レーザ101,102が、図のように、「パッケージ半径方向の向き」を互いに逆向きにして、ホルダに組付けられた場合を考えると、仮に、各半導体レーザに+50μmの「発光部の位置ずれ」があると、半導体レーザ101,102の発光部の相対的なずれ:Δは100μmになる。このような場合に、図3(b)に示した接着剤層8A,8Bの層厚:Δ1,Δ2の調整で補正を行うと、層厚:Δ1,Δ2の差が、上記原因のみで100μmになってしまう。接着剤層8A,8Bの層厚に、このような大きな差があると、カップリングレンズの「光軸位置調整」が容易でなくなる。また、光源ユニットがマルチビーム走査装置に組み込まれた状態で、温・湿度が変化したとき、接着剤層の層厚変化量が異なるため、被走査面上におけるスポットの相対的な位置関係が変化し、記録画像に悪影響がでてしまう。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
この発明は、マルチビーム走査装置における、上記カップリングレンズの位置調整の面倒を軽減し、環境変化の影響を有効に軽減することを課題とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
この発明の光源ユニットは「複数の発光部からの複数のビームを共通の光学系を介して被走査面に導き、副走査方向に互いに分離した複数のスポットとして集光せしめ、上記光学系に含まれる光偏向器により複数ビームを同時に偏向せしめ、複数のスポットにより複数ラインを同時走査する方式のマルチビーム走査装置において用いられる光源装置の一部」であって、複数個の半導体レーザと、複数のカップリングレンズと、ホルダとを有する。
「複数の半導体レーザ」は、その個々が光源として用いられる。
「複数のカップリングレンズ」は、その個々が各半導体レーザに対応し、対応する半導体レーザからのビームを以後の光学系にカップリングする。カップリング作用は、カップリングされたビームが「実質的な平行光束」となるようにする「コリメート作用」でも良いし、光学系の設計如何によっては、カップリングされたビームが弱い発散性の光束になるようにすることもできるし、弱い集束性の光束となるようにすることもできる。
「ホルダ」は、複数個の半導体レーザと、複数のカップリングレンズとを保持する。該ホルダは、複数の半導体レーザを所定の位置に圧入されて固定的に保持する板状基部と、この板状基部に略直交するように張り出した棚状部とを有する一体構造であって、棚状部に複数のカップリングレンズが、接着剤により位置調整されつつ固設される。複数個の半導体レーザは、ホルダに対し「パッケージ半径方向の向きが同じになる」ようにしてホルダに圧入される。
【0012】
ホルダに保持させる半導体レーザの個数は、2個とすることができるが、勿論、3以上の半導体レーザ(および3以上のカップリングレンズ)をホルダに保持させることもできる。
ホルダの棚状部にはまた、各カップリングレンズによりカップリングされた各ビームを合成するビーム合成手段を保持させることができる。ビーム合成手段としては種々の方式のものが可能であり、ミラーと半透鏡を組み合わせたものを用いることにより容易に3以上のビームを合成することもできる。
請求項1記載の光源ユニットでは、ホルダに保持される半導体レーザが2個であり、ホルダの棚状部に、2個のカップリングレンズと共に「反射面と偏光分離膜とを有するプリズムと、一方のビームの偏光面を90度旋回させる1/2波長板とを有し、各ビームの偏光状態を利用してビーム合成を行う」ビーム合成手段が保持される。
【0013】
請求項1記載の光源ユニットにおいては、アパーチュアおよび/または1/4波長板を、ホルダの棚状部に保持させることができる(請求項2)。
「アパーチュア」は、ビーム合成手段により合成された複数のビームの個々に対してビーム整形を行うためのものである。
「1/4波長板」は、複数のビームの偏光状態を円偏光に変換するためのものである。
アパーチュアおよび/または1/4波長板は「各ビームに共通」である。
請求項2記載の光源ユニットにおいて、各半導体レーザは、半導体レーザチップを接着固定された棚状保持部が、ホルダの棚状部の側に位置するように、パッケージ半径方向の向きを定めることができる(請求項3)。
上記請求項1〜3の任意の1に記載の光源ユニットにおいて、ホルダにおける半導体レーザの圧入部の個々を「板状基部の裏面側へ突出した円筒状」とし、各圧入部の円筒形状の外周部に「補強リブを兼ねた放熱フィン」を形成することができる(請求項4)。
請求項5記載の光源ユニットは、複数の発光部からの複数のビームを共通の光学系を介して被走査面に導き、副走査方向に互いに分離した複数のスポットとして集光せしめ、上記光学系に含まれる光偏向器により上記複数ビームを同時に偏向せしめ、上記複数のスポットにより複数ラインを同時走査する方式のマルチビーム走査装置において、複数個の半導体レーザと、各半導体レーザに対応し、対応する半導体レーザからのビームを以後の光学系にカップリングする複数のカップリングレンズと、上記複数個の半導体レーザと複数のカップリングレンズとを保持するホルダとを有し、該ホルダは、上記複数の半導体レーザを、パッケージの外径より大きい間隔を隔して、所定の位置に圧入されて固定的に保持する板状基部と、この板状基部に略直交するように張り出した棚状部とを有する一体構造であって、上記棚状部に上記複数のカップリングレンズが、接着剤により位置調整されつつ固設され、上記複数個の半導体レーザは、上記ホルダに対し、パッケージ半径方向の向きが同じになるようにしてホルダに圧入されたことを特徴とする。
上記「パッケージの外径」は、板状基部に圧入されるパッケージ部分の外径である。
また、請求項6記載の光源ユニットは、請求項5記載の光源ユニットにおいて、ホルダにおける半導体レーザの圧入部の個々が、板状基部の裏面側へ突出した円筒状であり、各圧入部の円筒形状の外周部に、補強リブを兼ねた放熱フィンを有することを特徴とする。
この発明のマルチビーム走査装置は「複数の発光部からの複数のビームを共通の光学系を介して被走査面に導き、副走査方向に互いに分離した複数のスポットとして集光せしめ、上記光学系に含まれる光偏向器により上記複数ビームを同時に偏向せしめ、複数のスポットにより複数ラインを同時走査する方式のマルチビーム走査装置」であって、上記請求項1〜6の任意の1に記載の光源ユニットを有することを特徴とする(請求項7)。
【0014】
【発明の実施の形態】
図1は、この発明のマルチビーム走査装置における光源ユニットの実施の1形態を説明するための図である。繁雑を避けるため、混同の虞れが無いと思われるものについては図2,3におけると同一の符号を用いた。
図1(a)は、光源ユニットをホルダにおける棚状部に直交する方向から見た状態を示す。ホルダ60は、2個の半導体レーザと2個のカップリングレンズとビーム合成手段を保持する部材で、板状基部61と棚状部62とを有する。板状基部61は、半導体レーザ取付け用の取付け孔63,64を穿設されている。
図1(b)は図1(a)の状態を図の下側から見た状態である。図は「一部断面図」で、図中にハッチを施した部分が断面である。取付け孔63(図示されていないが取付穴64も)は板状基部61を貫通し、半導体レーザ101,102はそれぞれ取付け孔63,64に基部裏側から圧入固定されている。この実施の形態では図示の如く、圧入された半導体レーザ101,102の間隔は、圧入されるパッケージ部分の外径よりも大きい。
棚状部62は、板状基部61に保持された半導体レーザ101,102の配列方向に略平行で、板状基部61に直交するように張り出し、板状基部61と一体構造である。
【0015】
ビーム合成手段105は「図2に示したものと同様のもの」で、図1(a)に示すように、反射面1050と偏光分離膜1053を有するプリズム1052と、一方のビームの偏光面を90度旋回させる1/2波長板1051とを有し「各ビームの偏光状態を利用してビーム合成を行う」ものである。
光源ユニットを組み立てるに当っては、先ず、前述の如く、半導体レーザ101,102を取付け孔63,64にそれぞれ圧入固定する。
次に、棚状部62のビーム合成手段配備領域に光硬化性の接着剤、例えば「紫外線硬化樹脂」を塗布し、この部分にビーム合成手段105を配備し、半導体レーザ101,102に対して位置調整を行い、調整が完了したら紫外光を照射して樹脂を硬化させ、ビーム合成手段105をホルダ60に固定する。
次に、各ビームに共通に設けられ、各ビームのビーム整形を行うアパーチュアAPと1/4波長板70を、図示の如くに設けて、棚状部62に固定する。アパーチュアAPは「主走査対応方向に長い長方形の開口」を有し、各ビームは、この開口を通過することによりビーム周辺部分を遮断されてビーム整形される。
続いて、カップリングレンズ配備領域に紫外線硬化樹脂を塗布し、カップリングレンズ103,104を配備し、各カップリングレンズの光軸方向の位置(カップリングされたビームが平行ビームになるように調整する)を調整し、且つ、各カップリングレンズの光軸と、半導体レーザの発光部との位置関係が所定の関係を満たすように「接着剤層の厚さ」を調整し、調整終了後、紫外光を照射して各カップリングレンズを棚状部に固定する。
ホルダ60への圧入に際して、半導体レーザ101,102は、図1(c)に示すように「パッケージ半径方向の向きが同じになる」ように上記「向き」を揃えられる。この実施の形態においては、パッケージ半径方向の向きは、半導体レーザ101,102とも、図1(c)で「下向き」であり、従って、圧入固定された半導体レーザ101,102において、半導体レーザチップ5を接着固定された棚状保持部2は、ホルダ60の棚状部62の側に位置することになる。
【0016】
即ち、図1に示すマルチビーム走査装置における光源ユニットは、複数の発光部からの複数のビームを共通の光学系を介して被走査面に導き、副走査方向に互いに分離した複数のスポットとして集光せしめ、上記光学系に含まれる光偏向器により上記複数ビームを同時に偏向せしめ、上記複数のスポットにより複数ラインを同時走査する方式のマルチビーム走査装置において光源構成に用いられるものであって、複数個の半導体レーザ101,102と、各半導体レーザに対応し、対応する半導体レーザからのビームを以後の光学系にカップリングする複数のカップリングレンズ103,104と、複数個の半導体レーザと、複数のカップリングレンズとを保持するホルダ60とを有し、ホルダ60は、複数の半導体レーザ101,102を所定の位置に圧入されて固定的に保持する板状基部61と、この板状基部に略直交するように張り出した棚状部62とを有する一体構造であって、棚状部62に複数のカップリングレンズ103,104が、接着剤により位置調整されつつ固設され、複数個の半導体レーザ101,102は、ホルダ60に対し、パッケージ半径方向の向きが同じになるようにしてホルダ60に圧入されたものである。
【0017】
また、ホルダ60に保持された半導体レーザの個数は2個であり、ホルダ60の棚状部62に、各カップリングレンズによりカップリングされたビームを合成するビーム合成手段105を有し、ビーム合成手段105は、反射面1050と偏光分離膜1053とを有するプリズム1052と、一方のビームの偏光面を90度旋回させる1/2波長板1051とを有し、各ビームの偏光状態を利用してビーム合成を行うものである(請求項1)。 図1(c)に示したように、半導体レーザ101,102は、ホルダ60に対し、パッケージ半径方向の向きが同じになるようにしてホルダ60に圧入されているので、各半導体レーザに「発光部の位置ずれ」があっても、これらは同一種の半導体レーザでは、殆どが同じ向きに発生するので、接着剤層8A,8Bの厚さ:ΔA,ΔBの差が、数10μm以上に大きくなることはない。
従って、カップリングレンズの光軸位置調整が容易となり、光源ユニットがマルチビーム走査装置に組み込まれた状態で温・湿度が変化しても、被走査面上におけるスポットの相対的な位置関係が大きく変化することがない。
【0018】
図1に示す実施の形態はまた、ビーム合成手段105により合成された複数のビームの個々に対してビーム整形を行う、各ビームに共通のアパーチュアAP、および、複数のビームの偏光状態を円偏光にする、各ビームに共通の1/4波長板70が、ホルダの棚状部62に保持されている(請求項2)。
従って、この光源ユニットは、ビーム合成機能とともに、ビーム整形機能、シェーディング補正機能を有する。
【0019】
そして、各半導体レーザ101,102は、半導体レーザチップ5を接着固定された棚状保持部2が、ホルダ60の棚状部62の側に位置するように、パッケージ半径方向の向きが定められている(請求項3)。
半導体レーザチップでは点灯に伴い熱が発生する。この熱はパッケージを通じてホルダ60に伝わる。ホルダ60に伝熱すると、棚状部62には温度分布が発生するが、棚状部62の上面(カップリングレンズを固定された側の面)は下面よりも熱源に近いため、温度が下面側より高くなり、従って、上記温度分布が生じたとき、棚状部62は、図1(b)において、ビーム合成手段62を保持する端部側が下方に曲がるような「反り」を生じる。
一方、半導体レーザにおける棚状保持部2は、上記発熱の伝熱により、半導体レーザチップ5の接着面とは逆の面(裏面)の側へ向かうように「反り」を生じる。
図1の実施の形態とは逆に、半導体レーザ101,102の「パッケージ半径方向の向き」が、図1(c)において上向きであるとすると、上記発熱に伴う棚状部62の反りの向きと、棚状保持部2の反りの向きが互いに逆になるので、半導体レーザから放射される光束の光軸とカップリングレンズの光軸とが互いに離れる向きに角度を持ち、その結果、被走査面上の2つのスポットの主走査方向の間隔に影響がでるが、図1の実施例のように、半導体レーザチップ5を接着固定された棚状保持部2が、ホルダ60の棚状部62の側に位置するように、パッケージ半径方向の向きを定めると、前記発熱に伴う、棚状保持部2の反りと棚状部62の反りとが同じ向きになるので、上記半導体レーザから放射される光束の光軸とカップリングレンズの光軸とのずれを有効に軽減できる。
【0020】
図1(d)は、ホルダ60の裏面側の状態を示している。図1(a),(b)に示したように、ホルダ60における半導体レーザ101,102の圧入部の個々は、板状基部61の裏面側へ突出した円筒状であるが、図1(d)に示すように、各圧入部の円筒形状の外周部に「補強リブ」を兼ねた放熱フィン601,〜607が形成されている(請求項4、6)。このように放熱フィン601〜607を有することにより、半導体レーザで生じた熱を有効に放熱することにより、半導体レーザにおける温度上昇を有効に軽減することができ、また放熱フィンに補強リブを兼ねさせることにより、半導体レーザ圧入部に必要な強度を有効に維持することができる。半導体レーザの温度が大きく上昇すると、所謂「波長飛び」による発振波長の不連続な変化が生じ、光学系における色収差により、スポットの結像位置や結像形状が変化し、マルチビーム走査に影響を与えるが、上記放熱フィンによる冷却効果により、上記波長飛びを有効に防止できる。
【0021】
図1に示した光源ユニットは、これを、適当なハウジングに装備して、図2のマルチビーム走査装置における光源装置として用いることができることは明らかである。従って、上述した光源ユニットを用いて構成した光源装置を、図2の光源装置10として用いたものは、請求項7記載のマルチビーム走査装置の実施の1形態となる。
なお、上の実施の形態においては、ホルダの棚状部にビーム合成手段や、アパーチュア、1/4波長板を保持させたが、これらはホルダと別体、即ち、光源ユニットと別体とすることもできる。
【0022】
【発明の効果】
以上に説明したように、この発明によれば、新規なマルチビーム走査装置およびマルチビーム走査装置における光源ユニットを実現できる。
この発明の光源ユニットは、上記の如く、複数の半導体レーザが、ホルダに対して、パッケージ半径方向の向きが同じになるようにしてホルダに圧入されるので、各半導体レーザに「発光部の位置ずれ」があっても、各カップリングレンズに対する接着剤層の厚さの差が小さくてすむ。従って、カップリングレンズの光軸位置調整が容易となり、光源ユニットがマルチビーム走査装置に組み込まれた状態で温・湿度が変化しても、被走査面上におけるスポットの相対的な位置関係が大きく変化することがない。
また、請求項3記載の発明では、半導体レーザチップの発熱に伴う、半導体レーザチップを接着固定された棚状保持部の反りとホルダの棚状部の反りとが同じ向きになるので、半導体レーザから放射される光束の光軸とカップリングレンズの光軸とが、上記反りにより大きくずれることがない。
請求項4,6記載の発明では、放熱フィンにより、半導体レーザで生じた熱を有効に放熱することにより、半導体レーザにおける温度上昇を有効に軽減することができ、所謂「波長飛び」による走査不全を有効に軽減もしくは防止することができる。
そして、この発明のマルチビーム走査装置は、上記の如き光源装置を用いることにより、環境変化に影響されにくいので、常に良好なマルチビーム走査を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の光源ユニットの実施の1形態を説明するための図である。
【図2】従来、実施が意図されているマルチビーム走査装置の1例を説明するための図である。
【図3】従来、意図されている光源ユニットを説明するための図である。
【図4】発明が解決しようとする課題を説明するための図である。
【符号の説明】
101,102 半導体レーザ
103,104 カップリングレンズ
60 ホルダ
61 板状基部
62 棚状部
Claims (7)
- 複数の発光部からの複数のビームを共通の光学系を介して被走査面に導き、副走査方向に互いに分離した複数のスポットとして集光せしめ、上記光学系に含まれる光偏向器により上記複数ビームを同時に偏向せしめ、上記複数のスポットにより複数ラインを同時走査する方式のマルチビーム走査装置において、
複数個の半導体レーザと、
各半導体レーザに対応し、対応する半導体レーザからのビームを以後の光学系にカップリングする複数のカップリングレンズと、
上記複数個の半導体レーザと複数のカップリングレンズとを保持するホルダとを有し、
該ホルダは、上記複数の半導体レーザを所定の位置に圧入されて固定的に保持する板状基部と、この板状基部に略直交するように張り出した棚状部とを有する一体構造であって、上記棚状部に上記複数のカップリングレンズが、接着剤により位置調整されつつ固設され、
上記複数個の半導体レーザは、上記ホルダに対し、パッケージ半径方向の向きが同じになるようにしてホルダに圧入され、
上記半導体レーザの個数が2個であり、
ホルダの棚状部に、各カップリングレンズによりカップリングされたビームを合成するビーム合成手段を有し、
該ビーム合成手段は、反射面と偏光分離膜とを有するプリズムと、一方のビームの偏光面を90度旋回させる1/2波長板とを有し、各ビームの偏光状態を利用してビーム合成を行うものであることを特徴とするマルチビーム走査装置における光源ユニット。 - 請求項1記載の光源ユニットにおいて、
ビーム合成手段により合成された複数のビームの個々に対してビーム整形を行う、各ビームに共通のアパーチュアおよび/または上記複数のビームの偏光状態を円偏光にする、各ビームに共通の1/4波長板が、ホルダの棚状部に保持されることを特徴とするマルチビーム走査装置における光源ユニット。 - 請求項2記載の光源ユニットにおいて、
各半導体レーザは、半導体レーザチップを接着固定された棚状保持部が、ホルダの棚状部の側に位置するように、パッケージ半径方向の向きが定められたことを特徴とするマルチビーム走査装置における光源ユニット。 - 請求項1〜3の任意の1に記載の光源ユニットにおいて、
ホルダにおける半導体レーザの圧入部の個々が、板状基部の裏面側へ突出した円筒状であり、各圧入部の円筒形状の外周部に、補強リブを兼ねた放熱フィンを有することを特徴とするマルチビーム走査装置における光源ユニット。 - 複数の発光部からの複数のビームを共通の光学系を介して被走査面に導き、副走査方向に互いに分離した複数のスポットとして集光せしめ、上記光学系に含まれる光偏向器により上記複数ビームを同時に偏向せしめ、上記複数のスポットにより複数ラインを同時走査する方式のマルチビーム走査装置において、
複数個の半導体レーザと、
各半導体レーザに対応し、対応する半導体レーザからのビームを以後の光学系にカップリングする複数のカップリングレンズと、
上記複数個の半導体レーザと複数のカップリングレンズとを保持するホルダとを有し、
該ホルダは、上記複数の半導体レーザを、パッケージの外径より大きい間隔を隔して、所定の位置に圧入されて固定的に保持する板状基部と、この板状基部に略直交するように張り出した棚状部とを有する一体構造であって、上記棚状部に上記複数のカップリングレ ンズが、接着剤により位置調整されつつ固設され、
上記複数個の半導体レーザは、上記ホルダに対し、パッケージ半径方向の向きが同じになるようにしてホルダに圧入されたことを特徴とするマルチビーム走査装置における光源ユニット。 - 請求項5記載の光源ユニットにおいて、
上記ホルダにおける半導体レーザの圧入部の個々が、板状基部の裏面側へ突出した円筒状であり、各圧入部の円筒形状の外周部に、補強リブを兼ねた放熱フィンを有することを特徴とするマルチビーム走査装置における光源ユニット。 - 複数の発光部からの複数のビームを共通の光学系を介して被走査面に導き、副走査方向に互いに分離した複数のスポットとして集光せしめ、上記光学系に含まれる光偏向器により上記複数ビームを同時に偏向せしめ、上記複数のスポットにより複数ラインを同時走査する方式のマルチビーム走査装置において、
請求項1〜6の任意の1に記載の光源ユニットを有することを特徴とするマルチビーム走査装置。
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