JP3643665B2 - 半導体発光素子 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 68
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 83
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 82
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 80
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 38
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 claims description 25
- 230000006798 recombination Effects 0.000 claims description 25
- 239000011669 selenium Substances 0.000 claims description 25
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims description 14
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 10
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N Selenium Chemical compound [Se] BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N cadmium atom Chemical compound [Cd] BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 claims description 6
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N tellurium atom Chemical compound [Te] PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 5
- 125000005842 heteroatom Chemical group 0.000 claims description 4
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 22
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 18
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 14
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 11
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 description 10
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 9
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 8
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 7
- JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegermanium Chemical compound [Te]=[Ge] JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 4
- 229910000980 Aluminium gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
Images
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/26—Materials of the light emitting region
- H01L33/30—Materials of the light emitting region containing only elements of Group III and Group V of the Periodic Table
- H01L33/305—Materials of the light emitting region containing only elements of Group III and Group V of the Periodic Table characterised by the doping materials
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は半導体発光素子に関する。代表的には、AlGaInP系材料からなる発光層を有する発光ダイオードに関する。
【0002】
なお、この明細書を通して、「AlGaInP系材料」とは(AlxGa1-x)1-yInyPの混晶比x,yを0≦x,y≦1の範囲で変化させたものを意味する。
【0003】
【従来の技術】
(AlxGa1-x)1-yInyP材料は、In混晶比y=0.51においてGaAs基板と格子整合するとともに、そのIn混晶比y=0.51においてAl混晶比x=0〜0.7の範囲で直接遷移型になり、赤から緑までの広い波長領域において高輝度の発光が得られる。そこで最近、発光ダイオードの材料として広く用いられるようになってきた。例えば図8に示すように、そのような(AlxGa1-x)1-yInyP系発光ダイオードとして、n型GaAs基板212上にn型GaAsバッファ層211、n型(AlxGa1-x)1-yInyPクラッド層203、ノンドープ(AlxGa1-x)1-yInyP活性層210、p型(AlxGa1-x)1-yInyPクラッド層205、p型GaP電流拡散層206を順に積層したものが知られている。注入キャリアを活性層210に有効に閉じ込めるために、クラッド層203,205のバンドギャップは活性層210のバンドギャップよりも大きく設定されている(タブルヘテロ(DH)構造)。なお、GaAs基板212の裏面にはn側電極207、電流拡散層206の表面にはp側電極208がそれぞれ設けられている。Inの混晶比yはGaAs基板と格子整合するy=0.51に設定されているので、発光に寄与する(AlxGa1-x)1-yInyP材料(活性層210およびクラッド層203,205)の結晶性が良好になる。この結果、図9(a)のエネルギバンド図から分かるように、活性層210の伝導帯の底(エネルギ値Ec)付近の形状、価電子帯の頂上(エネルギ値Ev)付近の形状はいずれも放物線状になり、図9(b)に示すように、これらのバンド端Ec,Evに対して伝導帯および価電子帯内におけるキャリアの状態密度G(E)のピークP10,P20が接近した状態となっている。したがって、(AlxGa1-x)1- yInyP活性層210自体は比較的高い内部量子効率(pn接合付近で電気が光に変えられる効率をいう。)を示すことができる。
【0004】
しかしながら、図8の構造では、GaAs基板のバンドギャップが1.42eVであるため、赤から緑までの発光が吸収されて、光出力が半分以下に低下するという問題がある。発光材料がGaP,GaAsP,AlGaAs等からなる場合はGaAs基板が発光波長に対して透明であるから基板の光吸収による問題は考えられなかったが、発光材料が(AlxGa1-x)1-yInyPからなる場合は、GaAs基板を使用している限り、このような基板による光吸収が生じて外部量子効率(外部に取り出される光の効率をいう。単に「効率」、「発光効率」ということがある。)が低下する。
【0005】
基板による光吸収を避けるために、図10に示すように、n型GaAs基板301上にn型GaAsバッファ層311、n型ブラッグ反射層(DBR層)313、n型(AlxGa1-x)1-yInyPクラッド層303、ノンドープ(AlxGa1-x)1-yInyP活性層310、p型(AlxGa1-x)1-yInyPクラッド層305、p型GaP電流拡散層306を順に積層したものが提案されている(Appl.Phys.Lett.,vol.61,No15(1992)p1775−1777)。この発光ダイオードは、GaAs基板301とn型クラッド層303との間に、屈折率が異なる2種の半導体層を適当な層厚で交互に組み合わせてなるDBR層313を設けて、活性層310が発した光をこのDBR層313によって上方へ、GaAs基板301側に達しないように反射しようとするものである。また、図11に示すように、図示しないGaAs基板上にn型(AlxGa1-x)1-yInyPクラッド層403、ノンドープ(AlxGa1-x)1-yInyP活性層410、p型(AlxGa1-x)1-yInyPクラッド層405、p型GaP電流拡散層406を順に積層した後、上記GaAs基板をエッチングによって取り去り、クラッド層403の露出面(接合部)420に、赤から緑までの発光波長に対して透明であるGaP基板(バンドギャップが2.27eV)414を接合したものが提案されている(Appl.Phys.Lett.,vol.64,No21(1994)p2839−2841)。
【0006】
しかしながら、図10の発光ダイオードでは、活性層310から下方へ出射された光の全てをDBR層313によって反射できるわけではなく、その光の一部はDBR層313を透過してGaAs基板301に吸収される。このため、図8の発光ダイオードに比して、発光効率が1.5倍程度にしか向上しない。
【0007】
一方、図11の発光ダイオードでは、GaP基板414を接合する技術が難しく、大量生産には適していない。
【0008】
このような背景の下で、従来より、(AlxGa1-x)1-yInyP材料をGaAs基板上に成長させるのではなく、(AlxGa1-x)1-yInyP材料の発光波長(650〜550nm)に対して透明である基板、代表的には上述のGaP基板(バンドギャップが2.27eV)上に成長させる手段が考えられている。すなわち、図6に示すように、n型GaP基板101上にn型GaInPバッファ層104、n型(AlxGa1-x)1-yInyPクラッド層103、ノンドープ(AlxGa1-x)1-yInyP活性層110、p型(AlxGa1-x)1-yInyPクラッド層105、p型GaP電流拡散層106を成長させたものが考えられている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図5に示すように、GaPの格子定数5.451Å近傍には(AlxGa1-x)1-yInyP材料が直接遷移できる領域は存在しない。このため、GaP基板101上にGaP基板と格子整合する(AlxGa1-x)1-yInyP材料を成長させたとしても、高効率の発光を望むことはできない。一方、GaP基板の格子定数5.451Åに比べてGaAs基板の格子定数5.653Åは約3.6%大きいため、GaP基板101上にGaAs基板と格子整合する(AlxGa1-x)1-yInyP材料103,110および105を成長させた場合、たとえ格子定数差を緩和するためにGaInPバッファ層104を介在させたとしても、成長した(AlxGa1-x)1-yInyP材料103,110および105に、いわゆるミスフィット転位(misfit dislocation:格子不整合に伴う転位)が多くなって非発光再結合中心が増加し、発光の遷移確率が小さくなる。すなわち、基板上に格子定数が異なる結晶を成長させるので、成長した結晶格子の周期性が乱れ、明確な禁制帯が存在できない。このため、図7(a)に示すように、活性層110の伝導帯の底(Ec)付近や価電子帯の頂上(Ev)付近が放物線状にならず、数十meV程度のテイル(裾)を持ち、図7(b)に示すように、伝導帯および価電子帯内におけるキャリアの状態密度G(E)のピークP10,P20に対してテイルの先端(必ずしも位置が明瞭ではない)Ec#,Ev#が離間した状態となる。この結果、注入されたキャリアはバンド端Ec,Ev付近では再結合しにくくなり、発光の遷移確率が小さくなる。したがって、GaP基板101上にGaAs基板と格子整合する(AlxGa1-x)1-yInyP材料103,110および105を成長させて作製した直接遷移型の発光ダイオードでは、高効率の発光が困難となる。実際に、図8の発光ダイオードに比して、発光効率は2桁以上落ちてしまう。
【0010】
このように従来は、半導体基板が発光波長に対して透明であっても、半導体基板と格子不整合の状態で発光層(活性層)を成長させた半導体発光素子では、高効率の発光が得られないという問題があった。
【0011】
そこで、この発明の目的は、半導体基板上に、この半導体基板と格子不整合の状態で発光層(活性層)が形成された半導体発光素子であって、高効率の発光が得られるものを提供することにある。
【0012】
特に、この発明の目的は、GaP基板上にAlGaInP系材料を母体とする発光層が形成された半導体発光素子であって、赤から緑までの波長領域において高効率の発光が得られるものを提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項1に記載の半導体発光素子は、半導体基板上に、この半導体基板によって実質的に吸収されない波長の光を発する発光層が、上記半導体基板と格子不整合の状態で形成された半導体発光素子において、上記発光層の母体をなす半導体材料に、ドナー準位を形成する第1の不純物と、アクセプタ準位を形成する第2の不純物との2種類が含まれ、上記第1、第2の不純物はそれぞれ、上記発光層の母体をなす半導体材料の禁制帯内でバンド端から離れた位置にドナー準位およびアクセプタ準位を形成することで、上記半導体基板と発光層との間の格子不整合によって上記発光層の母体をなす半導体材料の伝導帯の底、価電子帯の頂上に生じたテイルの影響を、実質的に受けない発光再結合中心として働くようになっていることを特徴とする。
【0014】
この請求項1の半導体発光素子では、上記発光層の母体をなす半導体材料に、ドナー準位を形成する第1の不純物と、アクセプタ準位を形成する第2の不純物との2種類が含まれている。そして、上記第1、第2の不純物はそれぞれ、上記半導体基板と発光層との間の格子不整合によって上記発光層の母体をなす半導体材料の伝導帯の底、価電子帯の頂上に生じたテイルの影響を、実質的に受けない発光再結合中心として働くようになっている。したがって、内部量子効率が高まる。また、上記発光層が発した光は上記半導体基板に実質的に吸収されない、つまり半導体基板内で価電子帯の頂上から伝導帯の底への遷移を起こすような光吸収が生じないので、外部量子効率が低下することもない。したがって、全体としての発光効率が高まる。
【0015】
請求項2に記載の半導体発光素子は、請求項1に記載の半導体発光素子において、上記第1の不純物が形成するドナー準位は、上記母体をなす半導体材料の伝導帯の端から30meV乃至200meVの範囲内に位置し、上記第2の不純物が形成するアクセプタ準位は、上記母体をなす半導体材料の価電子帯の端から30meV乃至200meVの範囲内に位置することを特徴とする。
【0016】
ここで、発光層の母体をなす半導体材料の伝導帯の端、価電子帯の端とは、それぞれ発光層が半導体基板と格子整合して形成されている場合の伝導帯の端、価電子帯の端を意味している。すなわち、上記第1の不純物が形成するドナー準位および上記第2の不純物が形成するアクセプタ準位を、上記母体をなす半導体材料の本来のバンド端を基準として規定している。
【0017】
この請求項2の半導体発光素子では、上記第1の不純物が形成するドナー準位は上記母体をなす半導体材料の伝導帯の端から30meV以上離間し、上記第2の不純物が形成するアクセプタ準位は上記母体をなす半導体材料の価電子帯の端から30meV以上離間しているので、半導体基板と発光層との格子不整合によって上記母体をなす半導体材料の伝導帯の端、価電子帯の端がそれぞれ数十meV程度のテイルを持ったとしても、上記第1の不純物が形成するドナー準位と上記第2の不純物が形成するアクセプタ準位との間の発光再結合は殆どそのテイルの影響を受けない。また、上記第1の不純物が形成するドナー準位は上記母体をなす半導体材料の伝導帯の端から200meV以内に位置し、上記第2の不純物が形成するアクセプタ準位は上記母体をなす半導体材料の価電子帯の端から200meV以内に位置しているので、これらの第1の不純物、第2の不純物は発光再結合中心として有効に働く。したがって、上記第1の不純物が形成するドナー準位と第2の不純物が形成するアクセプタ準位との間の発光再結合によって、内部量子効率がさらに高まる。この結果、全体としての発光効率がさらに高まる。
【0018】
請求項3に記載の半導体発光素子は、GaP基板上に、AlGaInP系材料を母体とする発光層を、上記GaP基板と格子不整合の状態で成長させた半導体発光素子において、上記発光層の母体をなすAlGaInP系材料に、ドナー準位を形成する第1の不純物として窒素、酸素、セレン、硫黄またはテルルが含まれ、かつ、アクセプタ準位を形成する第2の不純物としてマグネシウム、亜鉛またはカドミウムが含まれ、上記第1、第2の不純物はそれぞれ、上記発光層の母体をなすA l G a I n P系材料の禁制帯内でバンド端から離れた位置にドナー準位およびアクセプタ準位を形成することで、上記GaP基板と発光層との間の格子不整合によって上記発光層の母体をなすA l G a I n P系材料の伝導帯の底、価電子帯の頂上に生じたテイルの影響を、実質的に受けない発光再結合中心として働くようになっていることを特徴とする。
【0019】
この請求項3の半導体発光素子では、第1の不純物としての窒素、酸素、セレン、硫黄またはテルルが上記母体をなすAlGaInP系材料の伝導帯の端から30meV乃至200meVの範囲内にドナー準位を形成し、第2の不純物としてのマグネシウム、亜鉛またはカドミウムが上記母体をなすAlGaInP系材料の価電子帯の端から30meV乃至200meVの範囲内にアクセプタ準位を形成する。上記第1の不純物が形成するドナー準位は上記母体をなすAlGaInP系材料の伝導帯の端から30meV以上離間し、上記第2の不純物が形成するアクセプタ準位は上記母体をなすAlGaInP系材料の価電子帯の端から30meV以上離間しているので、GaP基板と発光層との格子不整合によって上記母体をなすAlGaInP系材料の伝導帯の端、価電子帯の端がそれぞれ約数十meV程度のテイルを持ったとしても、上記第1の不純物が形成するドナー準位と上記第2の不純物が形成するアクセプタ準位との間の発光再結合は殆どそのテイルの影響を受けない。また、上記第1の不純物が形成するドナー準位は上記母体をなすAlGaInP系材料の伝導帯の端から200meV以内に位置し、上記第2の不純物が形成するアクセプタ準位は上記母体をなすAlGaInP系材料の価電子帯の端から200meV以内に位置しているので、これらの第1の不純物、第2の不純物は発光再結合中心として有効に働く。したがって、上記第1の不純物が形成するドナー準位と第2の不純物が形成するアクセプタ準位との間の発光再結合によって、内部量子効率が高まる。また、上記第1の不純物が形成するドナー準位と上記第2の不純物が形成するアクセプタ準位との間のエネルギ差に応じて上記発光層が発した赤から緑までの波長の光は上記GaP基板に実質的に吸収されない(GaP基板はAlGaInP系材料の発光波長である650nm〜550nmに対して透明である)ので、外部量子効率が低下することもない。したがって、全体としての発光効率が高まり、赤から緑までの波長帯域において高輝度の発光が得られる。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態を詳細に説明する。
【0021】
(第1の実施形態)
図1はこの発明の第1の実施形態のAlGaInP系発光ダイオードの断面構造を示している。この発光ダイオードは、(001)面から[110]方向に15°傾いた面を有するn型GaP基板1上に、例えばMOCVD法(有機金属化学気相成長法)により、n型InGaPバッファ層2、Siドープ(AlxGa1-x)1-yInyP(x=1.0、y=0.51)クラッド層3、発光層としての窒素・亜鉛ドープ(AlxGa1-x)1-yInyP(x=0.5、y=0.51)活性層4、Znドープ(AlxGa1-x)1-yInyP(x=1.0、y=0.51)クラッド層5、ZnドープGaP電流拡散層6を順に成長させた後、GaP基板1の裏面にn側電極7、電流拡散層6の表面にp側電極8をそれぞれ設けて構成されている。15°オフの基板1を用いたが、(100)面ジャスト(just)の基板でもよい。活性層4の母体をなす(AlxGa1-x)1-yInyP材料への不純物ドーピング濃度は、ドナー準位を形成する第1の不純物としての窒素が1×1017〜1×1019cm-3、アクセプタ準位を形成する第2の不純物としてのZnが1×1017〜1×1018cm-3の範囲内とする。
【0022】
GaP基板1上に格子不整合の状態で(AlxGa1-x)1-yInyP系材料3,4および5を成長させているので、図2(a)のエネルギバンド図に示すように、活性層4の伝導帯の底(エネルギ値Ec)付近や価電子帯の頂上(エネルギ値Ev)付近が放物線状にならず、数十meV程度のテイル(裾)を持ち、図2(b)に示すように、伝導帯および価電子帯内におけるキャリアの状態密度G(E)のピークP10,P20に対してテイルの先端(必ずしも位置が明瞭ではない)が離間した状態となる。このため、通常のバンド端発光の遷移確率は比較的小さい。
【0023】
しかし、この発光ダイオードでは、活性層4において、第1の不純物としての窒素が母体(AlxGa1-x)1-yInyP(x=0.5、y=0.51)の伝導帯の端(底)Ecから30meVだけ離れた位置にドナー準位E(N)を形成し、第2の不純物としての亜鉛が母体(AlxGa1-x)1-yInyP(x=0.5、y=0.51)の価電子帯の端(頂上)から60meVだけ離れた位置にアクセプタ準位E(Zn)を形成する(図2(b)中のP1,P2がこれらのドナー準位E(N),アクセプタ準位E(Zn)に対応する状態密度G(E)のピークを示している。)。上記窒素が形成するドナー準位E(N)、上記亜鉛が形成するアクセプタ準位E(Zn)はそれぞれバンド端Ec,Evから30meV以上離間しているので、上記窒素が形成するドナー準位E(N)と上記亜鉛が形成するアクセプタ準位E(Zn)との間の発光再結合は殆ど上記テイルの影響を受けない。また、上記窒素が形成するドナー準位E(N)、上記亜鉛が形成するアクセプタ準位E(Zn)はそれぞれバンド端Ec,Evから200meV以内に位置しているので、これらの窒素、亜鉛は発光再結合中心として有効に働く。したがって、上記窒素が形成するドナー準位E(N)と上記亜鉛が形成するアクセプタ準位E(Zn)との間の発光再結合によって、内部量子効率が高まる。また、活性層4は上記窒素が形成するドナー準位E(N)と上記亜鉛が形成するアクセプタ準位E(Zn)との間のエネルギ差ΔE1に応じた波長の光を発するが、この活性層4が発した光はGaP基板1に実質的に吸収されない(GaP基板はAlGaInP系材料の発光波長である650nm〜550nmに対して透明である)ので、外部量子効率が低下することもない。したがって、全体としての発光効率を高めることができる。
【0024】
実際に、この第1実施形態の発光ダイオードでは、上記窒素が形成するドナー準位E(N)と上記亜鉛が形成するアクセプタ準位E(Zn)との間のエネルギ差ΔE1=2.16eVに応じて、発光波長が574nmになった。そして、このときの発光効率として1.0%が得られた。これに対して、図8に示したようなGaAs基板上にAlGaInP系材料を成長させた格子整合型の発光ダイオードでは、ノンドープ(AlxGa1-x)1-yInyP活性層210の混晶比がx=0.5、y=0.51のときバンドギャップEg(=2.25eV)に応じて発光波長が550nmとなる。そして、そのときの発光効率は0.1%である。したがって、活性層の混晶比x,yを同じにして比較した場合、第1実施形態の構造のものは、図8の発光ダイオードに比して発光効率を10倍に向上できることが分かった。また、図8に示したようなGaAs基板上にAlGaInP系材料を成長させた格子整合型の発光ダイオードでは、ノンドープ(AlxGa1-x)1-yInyP活性層210の混晶比がx=0.38、y=0.51のとき、それに応じて発光波長が572nmとなる。そして、そのときの発光効率は0.35%である。したがって、発光波長を略同じにして比較した場合、第1実施形態の構造のものは、図8の発光ダイオードに比して発光効率を約3倍に向上できることが分かった。
【0025】
また、活性層4に窒素をドープすることは短波長化のためにも有利である。これは、活性層4のAl混晶比をx=0.75と大きくして間接遷移領域(図5参照)に入っても、窒素ドーピングによって等電子準位が形成されて、直接遷移化し、発光の遷移確率が高くなるからである。実際にx=0.75,y=0.51のとき、発光波長555nmで発光効率0.2%が得られた。
【0026】
(第2の実施形態)
図3はこの発明の第2の実施形態のAlGaInP系発光ダイオードの断面構造を示している。この発光ダイオードは、(001)面から[110]方向に15°傾いた面を有するn型GaP基板11上に、例えばMOCVD法(有機金属化学気相成長法)により、n型InGaPバッファ層12、Siドープ(AlxGa1-x)1-yInyP(x=1.0、y=0.51)クラッド層13、発光層としてのSe・Mgドープ(AlxGa1-x)1-yInyP(x=0.5、y=0.51)活性層14、Znドープ(AlxGa1-x)1-yInyP(x=1.0、y=0.51)クラッド層15、ZnドープGaP電流拡散層16を順に成長させた後、GaP基板11の裏面にn側電極17、電流拡散層16の表面にp側電極18をそれぞれ設けて構成されている。第1の実施形態と同様に15°オフの基板1を用いたが、(100)面ジャスト(just)の基板でもよい。活性層14の母体をなす(AlxGa1-x)1-yInyP材料への不純物ドーピング濃度は、ドナー準位を形成する第1の不純物としてのSeが1×1017〜1×1019cm-3、アクセプタ準位を形成する第2の不純物としてのMgが1×1017〜1×1018cm-3の範囲内とする。
【0027】
GaP基板11上に格子不整合の状態で(AlxGa1-x)1-yInyP系材料13,14および15を成長させているので、図4(a)のエネルギバンド図に示すように、活性層14の伝導帯の底(エネルギ値Ec)付近や価電子帯の頂上(エネルギ値Ev)付近が放物線状にならず、数十meV程度のテイル(裾)を持ち、図4(b)に示すように、伝導帯および価電子帯内におけるキャリアの状態密度G(E)のピークP10,P20に対してテイルの先端(必ずしも位置が明瞭ではない)が離間した状態となる。このため、通常のバンド端発光の遷移確率は比較的小さい。
【0028】
しかし、この発光ダイオードでは、活性層14において、第1の不純物としてのSeが母体(AlxGa1-x)1-yInyP(x=0.5、y=0.51)の伝導帯の端(底)Ecから190meVだけ離れた位置にドナー準位E(Se)を形成し、第2の不純物としてのMgが母体(AlxGa1-x)1-yInyP(x=0.5、y=0.51)の価電子帯の端(頂上)から64meVだけ離れた位置にアクセプタ準位E(Mg)を形成する(図4(b)中のP1,P2がこれらのドナー準位E(Se),アクセプタ準位E(Mg)に対応する状態密度G(E)のピークを示している。)。上記Seが形成するドナー準位E(Se)、上記Mgが形成するアクセプタ準位E(Mg)はそれぞれバンド端Ec,Evから30meV以上離間しているので、上記Seが形成するドナー準位E(Se)と上記Mgが形成するアクセプタ準位E(Mg)との間の発光再結合は殆ど上記テイルの影響を受けない。また、上記Seが形成するドナー準位E(Se)、上記Mgが形成するアクセプタ準位E(Mg)はそれぞれバンド端Ec,Evから200meV以内に位置しているので、これらのSe、Mgは発光再結合中心として有効に働く。したがって、上記Seが形成するドナー準位E(Se)と上記Mgが形成するアクセプタ準位E(Mg)との間の発光再結合によって、内部量子効率が高まる。また、活性層14は上記Seが形成するドナー準位E(Se)と上記Mgが形成するアクセプタ準位E(Mg)との間のエネルギ差ΔE2に応じた波長の光を発するが、この活性層14が発した光はGaP基板11に実質的に吸収されない(GaP基板はAlGaInP系材料の発光波長である650nm〜550nmに対して透明である)ので、外部量子効率が低下することもない。したがって、全体としての発光効率を高めることができる。
【0029】
実際に、この第2実施形態の発光ダイオードでは、上記Seが形成するドナー準位E(Se)と上記Mgが形成するアクセプタ準位E(Mg)との間のエネルギ差ΔE2=2.00eVに応じて、発光波長が621nmになった。そして、このときの発光効率として4.5%が得られた。これに対して、図8に示したようなGaAs基板上にAlGaInP系材料を成長させた格子整合型の発光ダイオードでは、ノンドープ(AlxGa1-x)1-yInyP活性層210の混晶比がx=0.5、y=0.51のときバンドギャップEg(=2.25eV)に応じて発光波長が550nmとなる。そして、そのときの発光効率は0.1%である。したがって、活性層の混晶比x,yを同じにして比較した場合、第2実施形態の構造のものは、図8の発光ダイオードに比して発光効率を10倍に向上できることが分かった。また、図8に示したようなGaAs基板上にAlGaInP系材料を成長させた格子整合型の発光ダイオードでは、ノンドープ(AlxGa1-x)1-yInyP活性層210の混晶比がx=0.08、y=0.51のとき、それに応じて発光波長が635nmとなる。そして、そのときの発光効率は0.15%である。したがって、発光波長を略同じにして比較した場合、第2実施形態の構造のものは、図8の発光ダイオードに比して発光効率を3倍に向上できることが分かった。
【0030】
なお、ドナー準位を形成する第1の不純物としては窒素、セレン以外に、硫黄またはテルル等を用いることができ、アクセプタ準位を形成する第2の不純物としては亜鉛、マグネシウム以外にカドミウム等を用いることができる。
【0031】
また、電流拡散層6,16の材料としては、GaPに代えてAlGaAs等を用いることができる。
【0032】
第1、第2の実施形態の発光ダイオードは、活性層がエネルギギャップの大きいクラッド層で挟まれたダブルヘテロ型のものとした。この発明は、ダブルヘテロ型の半導体発光素子に広く適用することができる。
【0033】
【発明の効果】
以上より明らかなように、請求項1の半導体発光素子は、発光層の母体をなす半導体材料に、ドナー準位を形成する第1の不純物と、アクセプタ準位を形成する第2の不純物との2種類が含まれ、上記第1、第2の不純物はそれぞれ、半導体基板と発光層との間の格子不整合によって上記発光層の母体をなす半導体材料の伝導帯の底、価電子帯の頂上に生じたテイルの影響を、実質的に受けない発光再結合中心として働くようになっている。したがって、内部量子効率が高まる。また、上記発光層が発した光は上記半導体基板に実質的に吸収されないので、外部量子効率が低下することもない。したがって、全体としての発光効率を高めることができる。
【0034】
請求項2の半導体発光素子は、上記第1の不純物が形成するドナー準位は、上記母体をなす半導体材料の伝導帯の端から30meV乃至200meVの範囲内に位置し、上記第2の不純物が形成するアクセプタ準位は、上記母体をなす半導体材料の価電子帯の端から30meV乃至200meVの範囲内に位置するので、半導体基板と発光層との格子不整合によって上記母体をなす半導体材料の伝導帯の端、価電子帯の端がそれぞれ数十meV程度のテイルを持ったとしても、上記第1の不純物が形成するドナー準位と上記第2の不純物が形成するアクセプタ準位との間の発光再結合は殆どそのテイルの影響を受けない。また、これらの第1の不純物、第2の不純物は発光再結合中心として有効に働く。したがって、上記第1の不純物が形成するドナー準位と第2の不純物が形成するアクセプタ準位との間の発光再結合によって、内部量子効率がさらに高まる。この結果、全体としての発光効率をさらに高めることができる。
【0035】
請求項3の半導体発光素子は、GaP基板上に、AlGaInP系材料を母体とする発光層を、上記GaP基板と格子不整合の状態で成長させた半導体発光素子において、上記発光層の母体をなすAlGaInP系材料に、ドナー準位を形成する第1の不純物として窒素、酸素、セレン、硫黄またはテルルが含まれ、かつ、アクセプタ準位を形成する第2の不純物としてマグネシウム、亜鉛またはカドミウムが含まれているので、第1の不純物としての窒素、酸素、セレン、硫黄またはテルルが上記母体をなすAlGaInP系材料の伝導帯の端から30meV乃至200meVの範囲内にドナー準位を形成し、第2の不純物としてのマグネシウム、亜鉛またはカドミウムが上記母体をなすAlGaInP系材料の価電子帯の端から30meV乃至200meVの範囲内にアクセプタ準位を形成する。したがって、GaP基板と発光層との格子不整合によって上記母体をなすAlGaInP系材料の伝導帯の端、価電子帯の端がそれぞれ約数十meV程度のテイルを持ったとしても、上記第1の不純物が形成するドナー準位と上記第2の不純物が形成するアクセプタ準位との間の発光再結合は殆どそのテイルの影響を受けない。また、これらの第1の不純物、第2の不純物は発光再結合中心として有効に働く。したがって、上記第1の不純物が形成するドナー準位と第2の不純物が形成するアクセプタ準位との間の発光再結合によって、内部量子効率が高まる。また、上記第1の不純物が形成するドナー準位と上記第2の不純物が形成するアクセプタ準位との間のエネルギ差に応じて上記発光層が発した赤から緑までの波長の光は上記GaP基板に実質的に吸収されないので、外部量子効率が低下することもない。したがって、全体としての発光効率が高まり、赤から緑までの波長帯域において高輝度の発光を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1の実施例による構造図である。
【図2】 本発明の第1の実施例によるバンド状態図とキャリアの状態密度分布である。
【図3】 本発明の第2の実施例による構造図である。
【図4】 本発明の第2の実施例によるバンド状態図とキャリアの状態密度分布である。
【図5】 発光層の半導体材料と基板の格子定数とエネルギーギャップの関係図である。
【図6】 GaP基板上の発光ダイオードの構造図である。
【図7】 GaP基板上の発光ダイオードのバンド図とキャリアの状態密度分布である。
【図8】 従来例による発光ダイオードの構造図(1)である。
【図9】 従来例による発光ダイオードのバンド状態図とキャリアの状態密度分布である。
【図10】 従来例による発光ダイオードの構造図(2)である。
【図11】 従来例による発光ダイオードの構造図(3)である。
【符号の説明】
1,11 n型GaP基板
2,12 n型GaAsPバッファ層
3,13 n型(AlxGa1-x)1-yInyP(x=1.0、y=0.51)クラッド層
4 窒素・亜鉛ドープ(AlxGa1-x)1-yInyP(x=0.5、y=0.51)活性層
5,15 p型(AlxGa1-x)1-yInyP(x=1.0、y=0.51)クラッド層
6,16 p型GaP電流拡散層
7,17 n型電極
8,18 p型電極
14 Se・Mgドープ(AlxGa1-x)1-yInyP(x=0.5、y=0.51)活性層
Claims (3)
- 半導体基板上に、この半導体基板によって実質的に吸収されない波長の光を発する発光層が、上記半導体基板と格子不整合の状態で形成されたダブルヘテロ型の半導体発光素子において、
上記発光層の母体をなす半導体材料に、ドナー準位を形成する第1の不純物と、アクセプタ準位を形成する第2の不純物との2種類が含まれ、
上記第1、第2の不純物はそれぞれ、上記発光層の母体をなす半導体材料の禁制帯内でバンド端から離れた位置にドナー準位およびアクセプタ準位を形成することで、上記半導体基板と発光層との間の格子不整合によって上記発光層の母体をなす半導体材料の伝導帯の底、価電子帯の頂上に生じたテイルの影響を、実質的に受けない発光再結合中心として働くようになっていることを特徴とする半導体発光素子。 - 請求項1に記載の半導体発光素子において、
上記第1の不純物が形成するドナー準位は、上記母体をなす半導体材料の伝導帯の端から30meV乃至200meVの範囲内に位置し、
上記第2の不純物が形成するアクセプタ準位は、上記母体をなす半導体材料の価電子帯の端から30meV乃至200meVの範囲内に位置することを特徴とする半導体発光素子。 - GaP基板上に、AlGaInP系材料を母体とする発光層を、上記GaP基板と格子不整合の状態で成長させたダブルヘテロ型の半導体発光素子において、
上記発光層の母体をなすAlGaInP系材料に、ドナー準位を形成する第1の不純物として窒素、酸素、セレン、硫黄またはテルルが含まれ、かつ、アクセプタ準位を形成する第2の不純物としてマグネシウム、亜鉛またはカドミウムが含まれ、
上記第1、第2の不純物はそれぞれ、上記発光層の母体をなすA l G a I n P系材料の禁制帯内でバンド端から離れた位置にドナー準位およびアクセプタ準位を形成することで、上記GaP基板と発光層との間の格子不整合によって上記発光層の母体をなすA l G a I n P系材料の伝導帯の底、価電子帯の頂上に生じたテイルの影響を、実質的に受けない発光再結合中心として働くようになっていることを特徴とする半導体発光素子。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34108596A JP3643665B2 (ja) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | 半導体発光素子 |
US08/992,635 US6081540A (en) | 1996-12-20 | 1997-12-18 | Semiconductor light emitting device with high light emission efficiency |
TW086119212A TW350145B (en) | 1996-12-20 | 1997-12-18 | Semiconductor light emitting device with high light emission efficiency |
DE19756856A DE19756856B4 (de) | 1996-12-20 | 1997-12-19 | Halbleiterlichtemissionsvorrichtung mit hoher Lichtemissionswirksamkeit |
KR1019970075496A KR100329053B1 (ko) | 1996-12-20 | 1997-12-20 | 고발광효율을갖는반도체발광장치 |
CN97108578A CN1111913C (zh) | 1996-12-20 | 1997-12-20 | 具有高发光效率的半导体发光器件 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34108596A JP3643665B2 (ja) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | 半導体発光素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10190052A JPH10190052A (ja) | 1998-07-21 |
JP3643665B2 true JP3643665B2 (ja) | 2005-04-27 |
Family
ID=18343119
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP34108596A Expired - Lifetime JP3643665B2 (ja) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | 半導体発光素子 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6081540A (ja) |
JP (1) | JP3643665B2 (ja) |
KR (1) | KR100329053B1 (ja) |
CN (1) | CN1111913C (ja) |
DE (1) | DE19756856B4 (ja) |
TW (1) | TW350145B (ja) |
Families Citing this family (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW413972B (en) * | 1998-04-22 | 2000-12-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Semiconductor laser device |
JP3706026B2 (ja) * | 1998-07-17 | 2005-10-12 | インフィネオン テクノロジース アクチエンゲゼルシャフト | 高い逆方向電圧用のパワー半導体素子 |
US20010020703A1 (en) * | 1998-07-24 | 2001-09-13 | Nathan F. Gardner | Algainp light emitting devices with thin active layers |
WO2000033388A1 (en) * | 1998-11-24 | 2000-06-08 | Massachusetts Institute Of Technology | METHOD OF PRODUCING DEVICE QUALITY (Al)InGaP ALLOYS ON LATTICE-MISMATCHED SUBSTRATES |
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US6573537B1 (en) | 1999-12-22 | 2003-06-03 | Lumileds Lighting, U.S., Llc | Highly reflective ohmic contacts to III-nitride flip-chip LEDs |
US6903376B2 (en) * | 1999-12-22 | 2005-06-07 | Lumileds Lighting U.S., Llc | Selective placement of quantum wells in flipchip light emitting diodes for improved light extraction |
US6885035B2 (en) | 1999-12-22 | 2005-04-26 | Lumileds Lighting U.S., Llc | Multi-chip semiconductor LED assembly |
US6486499B1 (en) | 1999-12-22 | 2002-11-26 | Lumileds Lighting U.S., Llc | III-nitride light-emitting device with increased light generating capability |
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JP2001291895A (ja) * | 2000-04-06 | 2001-10-19 | Sharp Corp | 半導体発光素子 |
US6744798B2 (en) * | 2000-10-10 | 2004-06-01 | Agency Of Industrial Science And Technology | Surface-type light amplifer device and method of manufacture thereof |
CA2437124A1 (en) * | 2001-02-09 | 2002-08-22 | Midwest Research Institute | Isoelectronic co-doping |
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US7968362B2 (en) | 2001-03-27 | 2011-06-28 | Ricoh Company, Ltd. | Semiconductor light-emitting device, surface-emission laser diode, and production apparatus thereof, production method, optical module and optical telecommunication system |
US6765232B2 (en) * | 2001-03-27 | 2004-07-20 | Ricoh Company, Ltd. | Semiconductor light-emitting device, surface-emission laser diode, and production apparatus thereof, production method, optical module and optical telecommunication system |
US6563142B2 (en) * | 2001-07-11 | 2003-05-13 | Lumileds Lighting, U.S., Llc | Reducing the variation of far-field radiation patterns of flipchip light emitting diodes |
WO2004017433A1 (en) | 2002-08-02 | 2004-02-26 | Massachusetts Institute Of Technology | Yellow-green light emitting diodes and laser based on strained-ingap quantum well grown on a transparent indirect bandgap substrate |
TW577184B (en) * | 2002-12-26 | 2004-02-21 | Epistar Corp | Light emitting layer having voltage/resistance interdependent layer |
US7528417B2 (en) * | 2003-02-10 | 2009-05-05 | Showa Denko K.K. | Light-emitting diode device and production method thereof |
DE10329079B4 (de) * | 2003-06-27 | 2014-10-23 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Strahlungsemittierendes Halbleiterbauelement |
JP4092658B2 (ja) * | 2004-04-27 | 2008-05-28 | 信越半導体株式会社 | 発光素子の製造方法 |
JP4154731B2 (ja) * | 2004-04-27 | 2008-09-24 | 信越半導体株式会社 | 発光素子の製造方法及び発光素子 |
US20070096121A1 (en) * | 2005-10-28 | 2007-05-03 | Ni Ying C | Light emitting diode and method for manufacturing the same |
JP4537936B2 (ja) * | 2005-10-31 | 2010-09-08 | 関西電力株式会社 | パワー半導体素子 |
JP2008091862A (ja) * | 2006-09-08 | 2008-04-17 | Sharp Corp | 窒化物半導体発光素子および窒化物半導体発光素子の製造方法 |
WO2012120798A1 (ja) * | 2011-03-09 | 2012-09-13 | 信越半導体株式会社 | 化合物半導体基板及び化合物半導体基板の製造方法並びに発光素子 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63226918A (ja) * | 1987-03-16 | 1988-09-21 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 燐化砒化ガリウム混晶エピタキシヤルウエ−ハ |
JPH04257276A (ja) * | 1991-02-08 | 1992-09-11 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | 半導体素子 |
JP2680762B2 (ja) * | 1991-12-25 | 1997-11-19 | シャープ株式会社 | 半導体発光素子 |
JP3209786B2 (ja) * | 1992-04-09 | 2001-09-17 | シャープ株式会社 | 半導体発光素子 |
JP2560963B2 (ja) * | 1993-03-05 | 1996-12-04 | 日亜化学工業株式会社 | 窒化ガリウム系化合物半導体発光素子 |
JP2773597B2 (ja) * | 1993-03-25 | 1998-07-09 | 信越半導体株式会社 | 半導体発光装置及びその製造方法 |
US6015719A (en) * | 1997-10-24 | 2000-01-18 | Hewlett-Packard Company | Transparent substrate light emitting diodes with directed light output |
-
1996
- 1996-12-20 JP JP34108596A patent/JP3643665B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1997
- 1997-12-18 US US08/992,635 patent/US6081540A/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-12-18 TW TW086119212A patent/TW350145B/zh not_active IP Right Cessation
- 1997-12-19 DE DE19756856A patent/DE19756856B4/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-12-20 CN CN97108578A patent/CN1111913C/zh not_active Expired - Fee Related
- 1997-12-20 KR KR1019970075496A patent/KR100329053B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE19756856A1 (de) | 1998-07-02 |
CN1111913C (zh) | 2003-06-18 |
DE19756856B4 (de) | 2008-06-26 |
CN1185663A (zh) | 1998-06-24 |
US6081540A (en) | 2000-06-27 |
KR100329053B1 (ko) | 2002-08-27 |
KR19980064764A (ko) | 1998-10-07 |
JPH10190052A (ja) | 1998-07-21 |
TW350145B (en) | 1999-01-11 |
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