JP3638473B2 - インクジェットプリンタヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電方式によるインクジェットプリンタヘッドの製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
近年、情報化社会への移行とともに、情報機器に使われる機器の小型化、高精度化にはめざましい進歩が見られている。この様な中で、パーソナルコンピュータの需要も増加の一途をたどり、パーソナルコンピュータの記録メディアの一つであるプリンタの性能もより高密度、高精細が求められている。特に、従来のドット方式に代わって登場したインクジェット方式のプリンタは、静かで、高精細、高密度に印刷できるため、今日ではプリンタの主流を占めるに至っている。
【0003】
ところで、インクジェット方式のプリンタに搭載されるインククジェットプリンタヘッド(以下、単にヘッドと言う)には、インクが充填される加圧室の隔壁を圧電材料により形成し、その隔壁を振動させることでインクに圧力を加え、インク滴を吐出する方法、インクが充填される加圧室内にヒータを設置し、このヒータの熱によりインク内に気泡を発生させてインク滴を吐出させたり、インクを沸騰させ、インクが膨張する圧力でインク滴を吐出する方法、インクが充填される加圧室内に電極を設け、静電気力でインクを吸引した時の力を利用してインク滴を吐出する方法等が提案されているが、これらの中でも圧電材料を用いた圧電方式のヘッドは、印刷速度が速く特に注目されているものの一つである。
【0004】
図6に圧電方式のヘッドの一例を示すように、このヘッド30は、ジルコン酸チタン酸鉛(PZT)等を主成分とする圧電セラミック体に、ブラスト加工やダイシングソーと呼ばれる回転刃による切削加工によって一端が閉じられた複数の微小溝32を等間隔に並設し、微小溝32を仕切る壁を隔壁31とした流路部材33の隔壁側面に駆動用電極34を形成したあと、各隔壁31の頂面に、接着剤(不図示)を介して、インク供給孔35を備えたセラミックス、ガラス、シリコンからなる天板36を接合し、流路部材33の微小溝32と天板36とで構成される空間をインクの加圧室39とし、さらに流路部材33の開放端部にインク吐出孔37を備えたセラミックス、ガラス、シリコン、樹脂からなるノズル板38を接着剤(不示図)を介して接合することによって構成したものがあった。なお、隔壁31は矢印の方向に分極処理されている。
【0005】
そして、このヘッド30を駆動させるには、隔壁31の両側面に形成した駆動用電極34間に通電して電界を発生させると、電界の方向に対して垂直に分極処理された圧電セラミックスの隔壁31が、剪断モードによるすべり振動を起こし、水平方向にく字状に屈曲変位するため、加圧室39内のインクを加圧し、インク吐出孔37からインク滴を噴出して所定の文字や画像を印刷するようになっていた。
【0006】
ところが、流路部材33の微小溝32を形成するにあたり、切削加工による方法では、圧電セラミック体の表面に、回転刃でもって溝を削り込む際の加工圧力によって隔壁31に欠けが発生しやすく、また、圧電セラミック体を高精度に削るためには高価な回転刃を頻繁に交換しなければならないといった課題があった。
【0007】
また、ブラスト加工による方法は、圧電セラミック体の隔壁31となる部位にマスキングを施したあと、ガラスやセラミック等の粉体を圧縮空気とともに、ノズルから噴射させ、粉体との衝撃力によってマスキングしていない部位を削り取ることによって微小溝32を形成するのであるが、この方法では、溝深さが深くなるにつれて粉体が奥まで届き難く、隔壁31の断面形状が台形状となり、均一な厚みを持った隔壁31を形成することができなかった。その為、この流路部材33を用いてヘッド30を形成すると、隔壁底面側の厚み幅が厚く、隔壁31の変位が阻害されるため、所定の変位量が得られず、その結果、インク滴の吐出量や吐出速度が低下し、印刷性能を劣化させるといった課題があった。しかも、ブラスト加工による方法では、加工に時間がかかり量産性が低いといった不都合もあった。
【0008】
一方、流路部材33を形成する他の方法として、圧電セラミック粉末を含むスラリーを用意し、このスラリーをスクリ−ン印刷法にて順次積層することにより、複数の隔壁成形体が並設された平板を形成し、しかるのち隔壁成形体を焼成することで流路部材33を形成することもできるが、このスクリ−ン印刷を用いた方法では、隔壁成形体を形成するにあたり、何層ものスラリーを積層しなければならず、所定の位置に正確に積層することができないため、隔壁の側面が凹凸面となり、厚み幅が均一な隔壁31を形成することができなかった。しかも、液垂れ防止のためにスクリーン印刷する毎にスラリーの粘度を調整しなければならず、量産性が悪いといた不都合もあった。
【0009】
これらの課題を解決するために、本件出願人は、成形型に列設された断面形状がコ字状をした凹部内に、セラミックス等の粉体と溶媒及び有機性添加物からなるバインダ−との混合物を充填し、セラミックス、ガラス、シリコン等からなる平板を当接させた状態で混合物を硬化させ、成形型を離型したあと焼成することにより、平板上に複数の隔壁31を並設した微小溝32を有する流路部材33の製法を先に提案した(特開平10−180939号公報参照)。
【0010】
この製法によれば、成形型を精度良く作ることで、微細溝32の溝幅が数十μmといった微細な流路部材33でも簡易に製作できるという利点があった。
【0011】
しかしながら、特開平10−180939号公報に開示した方法では、均一な厚み幅を持った隔壁31を形成することができなかった。
【0012】
即ち、従来の製法では、成形型の凹溝の断面形状がコ字状であるために、得られた隔壁成形体の断面形状は、成形型の凹溝の形状が転写された長方形に形成されており、この隔壁成形体を焼成すると、平板との接合部近傍では平板との摺動抵抗によって収縮が阻害されるため、焼成された隔壁31の断面形状は台形状となり、厚み幅が均一な隔壁31を形成することができなかった。
【0013】
その為、この製法にて製作した流路部材33を用いてヘッド30を製作し、このヘッド30を駆動させると、微小溝32をブラスト加工によって形成した時と同様に、隔壁底面側の厚み幅が厚く、隔壁31の変位が阻害されるため、所定の変位量が得られず、その結果、インク滴の吐出量や吐出速度が低下するといった課題があった。
【0014】
【目的】
本発明の目的は、高精度、高密度でかつ均一な厚み幅を持った圧電セラミックスからなる隔壁を、欠け等の欠損なく容易に形成でき、インク滴の吐出量や吐出速度の劣化のないインクジェットプリンタヘッドの製造方法を提供することにある。
【0015】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明は前記課題に鑑み、インクジェットプリンタヘッドを製造する方法として、成形型に列設した断面形状が逆台形状をした複数の凹溝内に、有機ペーストを充填し、前記成形型中の有機ペーストに、セラミックスやガラス等からなる平板を当接させた状態で前記有機ペーストを硬化させ、その後成形型を離型して前記平板上に断面形状が台形状した有機物からなる複数の凸壁を並設し、次いで前記凸壁間に、圧電セラミック粉末と溶媒及び有機性添加物からなるバインダーとの混合物を充填、硬化させたのち、熱処理を加えて前記凸壁を焼失させ、断面形状が逆台形状をした複数の隔壁成形体が並設された平板を形成し、しかる後、前記熱処理より高い温度で焼成することにより、平板上に厚み幅が均一な圧電セラミックスからなる隔壁を並設してなる流路部材を形成し、その後、流路部材の隔壁側面に駆動用電極を形成するとともに、前記隔壁頂面に天板を接合し、天板、隔壁及び平板により構成される空間をインクの加圧室とすることを特徴とする。
【0016】
また、本発明は、インクジェットプリンタヘッドを製造する他の方法として、成形型に列設した断面形状が逆台形状をした複数の凹溝内に、圧電セラミック粉末と溶媒及び有機性添加物からなるバインダーとの混合物を充填し、前記成形型中の混合物に、有機物からなる薄板を当接させた状態で前記混合物を硬化させ、その後成形型を離型して前記薄板上に断面形状が台形状した複数の隔壁成形体を形成し、次いで前記隔壁成形体上に、前記混合物と同種の混合物を介してセラミックスやガラス等からなる平板を当接させ、該平板と隔壁成形体との間の混合物を硬化させたのち、熱処理を加えて前記薄板を焼失させ、断面形状が逆台形状をした複数の隔壁成形体が並設された平板を形成し、しかる後、前記熱処理より高い温度で焼成することにより、平板上に厚み幅が均一な圧電セラミックスからなる隔壁を並設してなる流路部材を形成し、その後、流路部材の隔壁側面に駆動用電極を形成するとともに、前記隔壁頂面に天板を接合し、天板、隔壁及び平板により構成される空間をインクの加圧室とすることを特徴とする。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を説明する。
【0018】
図1(a)〜(d)は本発明に係るインクジェットプリンタヘッドの主要部をなす流路部材の製造方法を説明するための図で、まず、図1(a)に示すように、断面形状が逆台形状をした複数の凹溝4を列設した成形型3を用意し、この成形型3の各凹溝4に離型剤を塗布したあと、有機ペースト2を充填する。
【0019】
一方、セラミックスやガラス等からなる平板1を別に用意し、この平板1を前記成形型3中の有機ペースト2に押し当てて加圧接着したあと、有機ペースト2を硬化させて平板1と接合する。そして、図1(b)に示すように、成形型3を離型することにより、断面形状が台形状した有機物からなる複数の凸壁5が列設された平板1を形成する。
【0020】
次に、図1(c)に示すように、平板1と凸壁5とで構成される凹部6に、隔壁を成す材質として、圧電セラミック粉末と溶媒及び有機性添加物からなるバインダーとの混合物7を充填する。そして、この混合物7を反応硬化させるか又は乾燥して固化させる。その後、脱バインダー処理を施したあと、ゆっくりと熱を加えて熱処理を施すことで有機物からなる凸壁5を消失させ、図1(d)に示すような、仮焼きされた断面形状が逆台形状の隔壁成形体8が複数個列設された平板1を形成する。
【0021】
しかる後、熱処理温度より高い温度で焼成して隔壁成形体8を焼結させる。この時、隔壁成形体8を構成する圧電セラミックスは、焼結に伴って収縮するとともに、隔壁成形体8の閉塞端側(平板側)は、平板1と接触しているために圧電セラミック粒子のすべりが悪く、開放端側の収縮具合と比較して収縮し難いのであるが、本発明によれば、隔壁成形体8の開放端側と閉塞端側での収縮差を考慮して、隔壁成形体8の断面形状を予め逆台形状としてあることから、焼結後における隔壁9の厚み幅をほぼ均一にすることができ、図3に示すような、平板1上に厚み幅がほぼ均一な圧電セラミックスからなる複数の隔壁9が並され、隔壁9間を微小溝11としてなる流路部材10を形成することができる。
【0022】
次に、本発明に係るインクジェットプリンタヘッドの主要部をなす流路部材の他の製造方法を図2(a)〜(d)に説明する。
【0023】
この方法によれば、まず、図2(a)に示すように、断面形状が逆台形状をした複数の凹溝4を列設した成形型3を用意し、この成形型3の各凹溝4に離型剤を塗布したあと、隔壁を成す材質として、圧電セラミック粉末と溶媒及び有機性添加物からなるバインダーとの混合物7を充填する。
【0024】
一方、有機物からなる薄板12を用意し、この薄板12を前記成形型3中の混合物7に押し当てて加圧接着したあと、混合物7を反応硬化させるか又は乾燥して固化させる。
【0025】
その後、図2(b)に示すように、成形型3を離型することにより、断面形状が台形状した混合物7からなる複数の隔壁成形体8が列設された薄板12を形成する。
【0026】
次に、前記混合物7と同種の混合物7’、及びセラミックスやガラス等からなる平板1をそれぞれ用意し、図2(c)に示すように、平板1を各隔壁成形体8の頂面に混合物7’を介して押しあてて加圧接着したあと、混合物7’を反応硬化させるか又は乾燥して固化させる。
【0027】
その後、脱バインダー処理を施したあと、ゆっくりと熱を加えて熱処理を施すことで有機物からなる薄板12を消失さ、図2(d)に示すような、仮焼きされた断面形状が逆台形状の隔壁成形体8が複数個列設された平板1を形成する。
【0028】
しかる後、熱処理温度より高い温度で焼成して隔壁成形体8を焼結すれば、隔壁成形体8の開放端側と閉塞端側との間には収縮差があるものの、隔壁成形体8の断面形状を予め逆台形状としてあることから、焼結後における隔壁9の厚み幅をほぼ均一にすることができ、図1(a)〜(d)の製法と同様に、図3に示すような、平板1上に厚み幅がほぼ均一な圧電セラミックスからなる複数の隔壁9が並され、隔壁9間を微小溝11としてなる流路部材10を形成することができる。
【0029】
このように、本発明の製造方法によれば、成形型3を用いることにより、隔壁9を簡単に形成でき、製造工程を極めて簡略化できる。しかも、焼成前の隔壁成形体8は、成形型3の凹溝4の形状や平板1と凸壁5とで構成される凹部6の形状が転写されるため、凹溝4の面粗さ、形状、ピッチ幅等を所定の精度に精密加工しておけば、所望の隔壁成形体8を容易に形成することができ、また、隔壁成形体8の開放端側と閉塞端側の収縮具合を予め考慮して凹溝4や凹部6の断面形状を逆台形状としておくことにより、厚み幅が均一な隔壁9を容易に形成することができる。その為、隔壁9の厚み幅や微小溝11の溝幅が数100μm、さらには数十μmといった極めて微細な流路部材10を製作することができる。その上、この方法によれば、隔壁9を精度良く形成できるため、切削加工やブラスト加工を施す必要がなく、隔壁9に欠け等の欠陥を発生させることもない。
【0030】
ところで、隔壁9を形成するための圧電セラミック粉末としては、例えばチタン酸ジルコン酸鉛(PZT系:PbZrO3 −PbTiO3 系)、マグネシウムニオブ酸鉛(PMN系)、ニッケルニオブ酸鉛(PNN系)、マンガンニオブ酸鉛、チタン酸鉛などの一種以上と、Pb及びこれと固溶するMg,Ni,Zn,Nb,Te,Sbの元素のうち少なくとも一種以上の酸化物を含む粉末を用いることができ、具体的にはチタン酸ジルコン酸鉛(PZT系)の場合、PZT−Pb(NiNb)O3 −Pb(ZnNb)O3 、PZT−Pb(MgNb)O3 、PZT−Pb(SbNb)O3 −Pb(ZnNb)O3 等の粉末を用いることができる。
【0031】
また、圧電セラミック粉末とともに添加する有機性添加物としては、尿素樹脂、メラミン樹脂、フェノ−ル樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、アルキド樹脂、ウレタン樹脂、エボナイト、ポリシロキ酸シリケ−ト等が挙げられ、その添加量としては、圧電セラミック粉末100重量部に対し、0.5重量部〜35重量部の範囲が良く、好ましくは1重量部〜15重量部の範囲で添加することが良い。そして、これらの有機性添加物を反応硬化させるには、加熱硬化、紫外線照射硬化、X線照射硬化等により行えば良い。
【0032】
さらに、圧電セラミック粉末及び有機性添加物とともに添加する溶媒としては、有機性添加物を相溶するものであれば特に限定するものではなく、例えば、トルエン、キシレン、ベンゼン、フタル酸エステル等の芳香族溶剤や、ヘキサノ−ル、オクタノ−ル、デカノ−ル、オキシアルコ−ル等の高級アルコ−ル類、あるいは酢酸エステル、グリセライド等のエステル類を用いることができ、その添加量としては、圧電セラミック粉末100重量部に対し、0.1重量部〜35重量部の範囲が良く、好ましくは1重量部〜15重量部の範囲で添加することが良い。
【0033】
また、本発明における成形型3の材質は、有機性添加物を硬化させる時に何ら支障の無きものであれば良く、その材質を特に限定するものではないが、例えば、金属や熱硬化性樹脂、あるいはゴム等が使用でき、具体的にはアルミニウム、エポキシ樹脂、シリコンゴム等が好適である。
【0034】
一方、流路部材10の底面をなす平板1としては、隔壁9を形成する圧電セラミックスとの熱膨張差をできるだけ小さくする観点から、隔壁9と同一の圧電セラミックスあるいは隔壁9と同種の圧電セラミックスを用いることが好ましい。ただし、隔壁9を形成する圧電セラミックスとの熱膨張差が小さければ、ジルコニア等の絶縁性セラミックスやガラスを用いても差し支えない。なお、隔壁9と同種の圧電セラミックスとは、隔壁9を形成する圧電セラミックスと主成分が同じ圧電セラミックスのことを言う。
【0035】
また、図1(c)の凸壁5と平板1とで構成される凹部6の底面、あるいは図2(c)の隔壁成形体8と混合物7’との間及び混合物7’と平板1との間にそれぞれ、シランカップリング剤、チタネ−トカップリング剤、アルミネ−トカップリング剤等の各種カップリング剤を用いても構わない。
【0036】
さらに、図1(a)〜(c)において、凸壁5を形成する有機物としては、尿素樹脂、メラミン樹脂、フェノ−ル樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、アルキド樹脂、ウレタン樹脂等を用いることができるが、熱処理時に分解して焼失させる必要があることから、混合物7に添加した有機性添加物と同じ分解温度あるいは有機性添加津よりも低い分解温度を有するものを選択して用いれば良い。なお、有機ペースト2とは前記有機物を含んだペーストのことを言う。
【0037】
また、図2(a)〜(c)において、薄板12をなす有機物としては、熱処理時に、簡易に分解、焼失させる必要があり、例えば、PETフィルムや、プラスチック板にPETフィルムを張り付けたものを用いることができる。
【0038】
次に、図1又は図2の方法にて形成した流路部材10の隔壁9に、剪断モードによるすべり振動を発生させるため、矢印方向に分極処理を施したあと、図4に示すように、流路部材10に備える各隔壁9の両側面には、金、銀、パラジウム、銀−パラジウム、白金、ニッケル、銅、アルミニウム等の金属膜を、蒸着、無電解メッキ、印刷焼き付け等の膜形成手段にて被覆することにより駆動用電極13を形成するとともに、各隔壁9の頂面には、各微小溝11へインクを導入するためのインク供給孔14を備えた、ガラス、シリコン、圧電セラミックス、絶縁性セラミックス、樹脂等からなる天板15を接着剤やガラス等の接合材を介して接合し、平板1、隔壁9、及び天板15で構成される空間をインクの加圧室19とし、さらに流路部材10の一方端側には、各加圧室19と連通するインク吐出孔16を備えた、ガラス、シリコン、圧電セラミックス、絶縁性セラミックス、樹脂等からなるノズル板17を、流路部材10の他方端側には、ガラス、シリコン、圧電セラミックス、絶縁性セラミックス、樹脂等からなる平板状の蓋板18をそれぞれ接着剤やガラス等の接合材を介して接合することによりインクジェットプリンタヘッド20(以下、単にヘッド20と言う)を製造することができる。
【0039】
そして、このヘッド20を用いて記録媒体(不図示)へ印刷するには、まず、インクとして顔料タイプの油性インクや水性染料インクあるいは紫外線硬化インク等のインクをインク供給孔14より各加圧室19へ導入し、例えば駆動用電極13b,13c及び駆動電極13h,13iにそれぞれ負極の電圧を、駆動電極13a,13d,13g,13jに正極の電圧を印加すると、図5(a)に示すように隔壁9a及び隔壁9bが加圧室19a側へ屈曲変位するとともに、隔壁9d,9eが加圧室19d側へ屈曲変位するため、加圧室19a,19d内に充填されたインクを加圧して、インク吐出孔16よりインク滴を吐出させることができる。次に各駆動用電極13a〜13d,13g〜13jへの通電を遮断すると、屈曲変位していた隔壁9a,9b,9d,9eが弾性作用によって元の形状に戻り、加圧室19a,19d内が減圧される結果、インクの導入が開始されることになり、さらに前述した駆動用電極13a〜13d,13g〜13jへ極性を逆転して電圧を印加すると、図5(b)に示すように隔壁9a,9bが加圧室19aに対して外側へ屈曲変位するとともに、隔壁9d,9eが加圧室19dに対して外側へ屈曲変位するため、加圧室19a,19d内がさらに減圧されてインクが充填されることになる。そして、各駆動用電極13a〜13d,13g〜13jへの通電を遮断すると、屈曲変位していた隔壁9a,9b,9d,9eが弾性作用によって元の形状に戻り、次のインク滴の吐出段階に入るようになっており、これらの動作を順次繰り返すことでインク滴の吐出を連続的に行うことができるようになっている。
【0040】
そして、このヘッド20によれば、加圧室19を成す微小溝11をブラスト加工にて形成したものや、隔壁9をスリーン印刷によって積層して形成したものに比べて、隔壁9の厚み幅を均一にできるとともに、加圧室19をなす微小溝11を切削加工にて形成した場合のように、隔壁9に欠け等の欠陥がないため、駆動用電極13に通電すれば、隔壁9全体を所定の変位量で屈曲変位させることができるため、インク滴の吐出量や吐出速度を向上させることができるともに、加圧室19の溝幅を数十μmと極めて微細に形成することができるため、高画質の画像を印刷することができる。
【0041】
なお、本発明のヘッド20は図4に示すものだけに限らず、本発明の範囲を逸脱しない範囲で改良や設計変更したものでも良いことは言うまでもない。
【0042】
【実施例】
以下、本発明のインクジェットプリンタヘッドと従来のインクジェットプリンタヘッドを製作し、駆動特性について調べる実験を行った。
【0043】
(本発明1)
隔壁を形成する圧電セラミック粉末として、平均粒子径が0.2〜5.0μmのPZT−Pb(MgNb)O3 系の微粉末を用い、この圧電セラミック粉末100重量部に対し、有機性添加物として不飽和ポリエステル樹脂を15重量部、溶媒としてトルエンを15重量部それそれ添加して混合物を製作した。
【0044】
一方、断面形状が逆台形状(平行な二辺の短辺が100μm、長辺が115μm、高さが380μm)をした複数の凹溝を列設してなるアルミニウム製の成形型を用意し、この成形型の凹溝に離型剤を塗布したあと、図1(a)のように、有機ペーストとしてエポキシ樹脂を流し込み、さらにPZT−Pb(MgNb)O3 からなる圧電セラミック製の平板を前記有機ペーストに押し当てて加圧接着し、有機ペーストを乾燥させて硬化させたあと、成形型を離型することにより、図1(b)のような、エポキシ樹脂からなる複数の凸壁が並設された平板を製作した。
【0045】
次に、図1(c)のように、凸壁と平板により構成される凹部内に前記混合物を充填したあと、100℃の温度で60分程度、熱を加えて混合物を硬化させ、その後、緩やかに加熱温度を上げてエポキシ樹脂からなる凸壁を消失させることで、図1(d)のような、断面形状が逆台形状をした複数の隔壁成形体を並設した平板を製作し、しかるのち、1300℃の温度で2時間程度焼成することにより、隔壁成形体を焼結させ、平板上に圧電セラミックス(PZT−Pb(MgNb)O3 )からなる複数の隔壁を並設してなる流路部材を製作した。
【0046】
得られた流路部材の隔壁の寸法を測定したところ、高さが300μm、厚み幅が80μmの均一な厚み幅を有するものであった。
【0047】
そこで、この流路部材を用い、各隔壁の高さ方向に分極処理を施したあと、隔壁側面にアルミニウムの駆動用電極をスパッタリング法にて被覆したあと、インク供給孔を有するアルミナセラミック製の天板をエポキシ系接着剤にて接合し、インクジェットプリンタヘッドの加圧室を構成した。
【0048】
そして、駆動用電極に30Vの電圧を通電して隔壁を屈曲変位させた時の変位量を、レーザー変位計にて測定したところ、35nmの変位が得られた。
【0049】
(比較例)
PZT−Pb(MgNb)O3 からなる圧電セラミック体に、ブラスト加工を施して微小溝を有する流路部材を形成した。
【0050】
得られた流路部材の隔壁は断面形状が台形状をなし、その寸法を測定したところ、高さが300μm、短辺の長さが70μm、長辺の長さが80μmであった。
【0051】
そこで、この流路部材を用い、各隔壁の高さ方向に分極処理を施したあと、隔壁側面にアルミニウムの駆動用電極をスパッタリング法にて被覆したあと、インク供給孔を有するアルミナセラミック製の天板をエポキシ系接着剤にて接合し、インクジェットプリンタヘッドの加圧室を構成した。
【0052】
そして、駆動用電極に30Vの電圧を通電して隔壁を屈曲変位させた時の変位量を、レーザー変位計にて測定したところ、27nmの変位であった。
【0053】
これらの結果、本発明の製造方法により得られた流路部材を用いて形成したインクジェットプリンタヘッドは、従来の製造方法により得られた流路部材を用いて形成したヘッドに比べ、より高い変位量を得ることができ、インク滴の吐出量やインクの吐出速度を向上させることができた。その結果、所定の変位量を得るためのより高い電圧の印加が不要となり、消費電力の増大や変位に伴って発生する熱の増加によるインク滴の粘度変化がなく、インク滴の吐出バラツキのない、駆動特性に優れたインクジェットプリンタヘッドを得ることができることが判る。
【0054】
(本発明2)
隔壁を形成する圧電セラミック粉末として、平均粒子径が0.2〜5.0μmのPZT−Pb(MgNb)O3 系の微粉末を用い、この圧電セラミック粉末100重量部に対し、有機性添加物として不飽和ポリエステル樹脂を15重量部、溶媒としてトルエンを15重量部それそれ添加して混合物を製作した。
【0055】
一方、断面形状が逆台形状(平行な二辺の短辺が100μm、長辺が115μm、高さが380μm)をした複数の凹溝を列設してなるアルミニウム製の成形型を用意し、この成形型の凹溝に離型剤を塗布したあと、図2(a)のように、前記混合物を流し込み、さらに予めシランカップリング剤を塗布したPETフィルムの薄板を押し当て、100℃の温度で60分程度、熱を加えて混合物を硬化させたあと、図2(b)のような、成形型を離型し、断面形状が台形状をした複数の隔壁成形体を並設してなる薄板を作製した。
【0056】
次に、図2(c)に示すように、各隔壁成形体の頂面に、前記混合物と同一の混合物を介してPZT−Pb(MgNb)O3 からなる圧電セラミック製の平板を押し当てて加圧接着し、その後、緩やかに加熱温度を上げてPETフィルムの薄板を消失させることで、図1(d)のような、断面形状が逆台形状をした複数の隔壁成形体を並設した平板を製作し、しかるのち、1300℃の温度で2時間程度焼成することにより、隔壁成形体を焼結させ、平板上に圧電セラミックス(PZT−Pb(MgNb)O3 )からなる複数の隔壁を並設してなる流路部材を製作した。
【0057】
そして、得られた流路部材の隔壁の寸法を測定したところ、本発明1と同様に、高さが300μm、厚み幅が80μmの均一な厚み幅を有するものであり、実施例1と同様の結果が得られることが確認できた。
【0058】
【発明の効果】
本発明によれば、微小溝を有する流路部材を製造する方法として、成形型に列設した断面形状が逆台形状をした複数の凹溝内に、有機ペーストを充填し、前記成形型中の有機ペーストに、セラミックスやガラス等からなる平板を当接させた状態で前記有機ペーストを硬化させ、その後成形型を離型して前記平板上に断面形状が台形状した有機物からなる複数の凸壁を並設し、次いで前記凸壁間に、圧電セラミック粉末と溶媒及び有機性添加物からなるバインダーとの混合物を充填、硬化させたのち、熱処理を加えて前記凸壁を焼失させ、断面形状が逆台形状をした複数の隔壁成形体が並設された平板を形成し、しかる後、前記熱処理より高い温度で焼成するか、あるいは成形型に列設した断面形状が逆台形状をした複数の凹溝内に、圧電セラミック粉末と溶媒及び有機性添加物からなるバインダーとの混合物を充填し、前記成形型中の混合物に、有機物からなる薄板を当接させた状態で前記混合物を硬化させ、その後成形型を離型して前記薄板上に断面形状が台形状した複数の隔壁成形体を形成し、次いで前記隔壁成形体上に、前記混合物と同種の混合物を介してセラミックスやガラス等からなる平板を当接させ、該平板と隔壁成形体との間の混合物を硬化させたのち、熱処理を加えて前記薄板を焼失させ、断面形状が逆台形状をした複数の隔壁成形体が並設された平板を形成し、しかる後、前記熱処理より高い温度で焼成するようにしたことから、隔壁に欠け等の欠陥がなく、隔壁の厚み幅が均一でかつ隔壁の厚み幅や微小溝の溝幅が数十μmといった微細な流路部材を容易に製作することができる。
【0059】
さらに、本発明によれば、前記製造方法にて形成した流路部材の隔壁側面に駆動用電極を形成するとともに、前記隔壁頂面に天板を接合し、天板、隔壁及び平板により構成される空間をインクの加圧室としてインクジェットプリンタヘッドを製造するようにしたことから、駆動用電極へ印加する電圧値を高めることなく大きな変位量を得ることができ、インク滴の吐出量や吐出速度を向上させることができるとともに、高い電圧値の印加が不要であるため、消費電力を低減できるとともに、変位に伴って発生する熱の増加によるインク滴の粘度変化がなく、インク滴の吐出バラツキを生じることがない、というように駆動特性の優れたインクジェットプリンタヘッドを提供することがきる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)〜(d)は本発明に係るインクジェットプリンタヘッドの主要部をなす流路部材の製造方法を説明するための図である。
【図2】(a)〜(d)は本発明に係るインクジェットプリンタヘッドの主要部をなす流路部材の他の製造方法を説明するための図である。
【図3】図1又は図2の製造方法にて製作した流路部材を示す斜視図である。
【図4】図3の流路部材を用いた本発明のインクジェットプリンタヘッドを示す一部を破断した斜視図である。
【図5】(a)(b)は本発明のインクジェットプリンタヘッドの駆動原理を説明するための部分断面図である。
【図6】従来のインクジェットプリンタヘッドを示す一部を破断した斜視図である。
【符号の説明】
1:平板 2:有機ペースト 3:成形型 4:凹溝 5:凸壁
6:平板と凸壁とで構成される凹部 7,7’:混合物 8:隔壁成形体
9:隔壁 10:流路部材 11:微小溝 12:薄板 13:駆動用電極
14:インク供給孔 15:天板 16:インク吐出孔 17:ノズル板
18:蓋板 19:加圧室 20:インクジェットプリンタヘッド
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電方式によるインクジェットプリンタヘッドの製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
近年、情報化社会への移行とともに、情報機器に使われる機器の小型化、高精度化にはめざましい進歩が見られている。この様な中で、パーソナルコンピュータの需要も増加の一途をたどり、パーソナルコンピュータの記録メディアの一つであるプリンタの性能もより高密度、高精細が求められている。特に、従来のドット方式に代わって登場したインクジェット方式のプリンタは、静かで、高精細、高密度に印刷できるため、今日ではプリンタの主流を占めるに至っている。
【0003】
ところで、インクジェット方式のプリンタに搭載されるインククジェットプリンタヘッド(以下、単にヘッドと言う)には、インクが充填される加圧室の隔壁を圧電材料により形成し、その隔壁を振動させることでインクに圧力を加え、インク滴を吐出する方法、インクが充填される加圧室内にヒータを設置し、このヒータの熱によりインク内に気泡を発生させてインク滴を吐出させたり、インクを沸騰させ、インクが膨張する圧力でインク滴を吐出する方法、インクが充填される加圧室内に電極を設け、静電気力でインクを吸引した時の力を利用してインク滴を吐出する方法等が提案されているが、これらの中でも圧電材料を用いた圧電方式のヘッドは、印刷速度が速く特に注目されているものの一つである。
【0004】
図6に圧電方式のヘッドの一例を示すように、このヘッド30は、ジルコン酸チタン酸鉛(PZT)等を主成分とする圧電セラミック体に、ブラスト加工やダイシングソーと呼ばれる回転刃による切削加工によって一端が閉じられた複数の微小溝32を等間隔に並設し、微小溝32を仕切る壁を隔壁31とした流路部材33の隔壁側面に駆動用電極34を形成したあと、各隔壁31の頂面に、接着剤(不図示)を介して、インク供給孔35を備えたセラミックス、ガラス、シリコンからなる天板36を接合し、流路部材33の微小溝32と天板36とで構成される空間をインクの加圧室39とし、さらに流路部材33の開放端部にインク吐出孔37を備えたセラミックス、ガラス、シリコン、樹脂からなるノズル板38を接着剤(不示図)を介して接合することによって構成したものがあった。なお、隔壁31は矢印の方向に分極処理されている。
【0005】
そして、このヘッド30を駆動させるには、隔壁31の両側面に形成した駆動用電極34間に通電して電界を発生させると、電界の方向に対して垂直に分極処理された圧電セラミックスの隔壁31が、剪断モードによるすべり振動を起こし、水平方向にく字状に屈曲変位するため、加圧室39内のインクを加圧し、インク吐出孔37からインク滴を噴出して所定の文字や画像を印刷するようになっていた。
【0006】
ところが、流路部材33の微小溝32を形成するにあたり、切削加工による方法では、圧電セラミック体の表面に、回転刃でもって溝を削り込む際の加工圧力によって隔壁31に欠けが発生しやすく、また、圧電セラミック体を高精度に削るためには高価な回転刃を頻繁に交換しなければならないといった課題があった。
【0007】
また、ブラスト加工による方法は、圧電セラミック体の隔壁31となる部位にマスキングを施したあと、ガラスやセラミック等の粉体を圧縮空気とともに、ノズルから噴射させ、粉体との衝撃力によってマスキングしていない部位を削り取ることによって微小溝32を形成するのであるが、この方法では、溝深さが深くなるにつれて粉体が奥まで届き難く、隔壁31の断面形状が台形状となり、均一な厚みを持った隔壁31を形成することができなかった。その為、この流路部材33を用いてヘッド30を形成すると、隔壁底面側の厚み幅が厚く、隔壁31の変位が阻害されるため、所定の変位量が得られず、その結果、インク滴の吐出量や吐出速度が低下し、印刷性能を劣化させるといった課題があった。しかも、ブラスト加工による方法では、加工に時間がかかり量産性が低いといった不都合もあった。
【0008】
一方、流路部材33を形成する他の方法として、圧電セラミック粉末を含むスラリーを用意し、このスラリーをスクリ−ン印刷法にて順次積層することにより、複数の隔壁成形体が並設された平板を形成し、しかるのち隔壁成形体を焼成することで流路部材33を形成することもできるが、このスクリ−ン印刷を用いた方法では、隔壁成形体を形成するにあたり、何層ものスラリーを積層しなければならず、所定の位置に正確に積層することができないため、隔壁の側面が凹凸面となり、厚み幅が均一な隔壁31を形成することができなかった。しかも、液垂れ防止のためにスクリーン印刷する毎にスラリーの粘度を調整しなければならず、量産性が悪いといた不都合もあった。
【0009】
これらの課題を解決するために、本件出願人は、成形型に列設された断面形状がコ字状をした凹部内に、セラミックス等の粉体と溶媒及び有機性添加物からなるバインダ−との混合物を充填し、セラミックス、ガラス、シリコン等からなる平板を当接させた状態で混合物を硬化させ、成形型を離型したあと焼成することにより、平板上に複数の隔壁31を並設した微小溝32を有する流路部材33の製法を先に提案した(特開平10−180939号公報参照)。
【0010】
この製法によれば、成形型を精度良く作ることで、微細溝32の溝幅が数十μmといった微細な流路部材33でも簡易に製作できるという利点があった。
【0011】
しかしながら、特開平10−180939号公報に開示した方法では、均一な厚み幅を持った隔壁31を形成することができなかった。
【0012】
即ち、従来の製法では、成形型の凹溝の断面形状がコ字状であるために、得られた隔壁成形体の断面形状は、成形型の凹溝の形状が転写された長方形に形成されており、この隔壁成形体を焼成すると、平板との接合部近傍では平板との摺動抵抗によって収縮が阻害されるため、焼成された隔壁31の断面形状は台形状となり、厚み幅が均一な隔壁31を形成することができなかった。
【0013】
その為、この製法にて製作した流路部材33を用いてヘッド30を製作し、このヘッド30を駆動させると、微小溝32をブラスト加工によって形成した時と同様に、隔壁底面側の厚み幅が厚く、隔壁31の変位が阻害されるため、所定の変位量が得られず、その結果、インク滴の吐出量や吐出速度が低下するといった課題があった。
【0014】
【目的】
本発明の目的は、高精度、高密度でかつ均一な厚み幅を持った圧電セラミックスからなる隔壁を、欠け等の欠損なく容易に形成でき、インク滴の吐出量や吐出速度の劣化のないインクジェットプリンタヘッドの製造方法を提供することにある。
【0015】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明は前記課題に鑑み、インクジェットプリンタヘッドを製造する方法として、成形型に列設した断面形状が逆台形状をした複数の凹溝内に、有機ペーストを充填し、前記成形型中の有機ペーストに、セラミックスやガラス等からなる平板を当接させた状態で前記有機ペーストを硬化させ、その後成形型を離型して前記平板上に断面形状が台形状した有機物からなる複数の凸壁を並設し、次いで前記凸壁間に、圧電セラミック粉末と溶媒及び有機性添加物からなるバインダーとの混合物を充填、硬化させたのち、熱処理を加えて前記凸壁を焼失させ、断面形状が逆台形状をした複数の隔壁成形体が並設された平板を形成し、しかる後、前記熱処理より高い温度で焼成することにより、平板上に厚み幅が均一な圧電セラミックスからなる隔壁を並設してなる流路部材を形成し、その後、流路部材の隔壁側面に駆動用電極を形成するとともに、前記隔壁頂面に天板を接合し、天板、隔壁及び平板により構成される空間をインクの加圧室とすることを特徴とする。
【0016】
また、本発明は、インクジェットプリンタヘッドを製造する他の方法として、成形型に列設した断面形状が逆台形状をした複数の凹溝内に、圧電セラミック粉末と溶媒及び有機性添加物からなるバインダーとの混合物を充填し、前記成形型中の混合物に、有機物からなる薄板を当接させた状態で前記混合物を硬化させ、その後成形型を離型して前記薄板上に断面形状が台形状した複数の隔壁成形体を形成し、次いで前記隔壁成形体上に、前記混合物と同種の混合物を介してセラミックスやガラス等からなる平板を当接させ、該平板と隔壁成形体との間の混合物を硬化させたのち、熱処理を加えて前記薄板を焼失させ、断面形状が逆台形状をした複数の隔壁成形体が並設された平板を形成し、しかる後、前記熱処理より高い温度で焼成することにより、平板上に厚み幅が均一な圧電セラミックスからなる隔壁を並設してなる流路部材を形成し、その後、流路部材の隔壁側面に駆動用電極を形成するとともに、前記隔壁頂面に天板を接合し、天板、隔壁及び平板により構成される空間をインクの加圧室とすることを特徴とする。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を説明する。
【0018】
図1(a)〜(d)は本発明に係るインクジェットプリンタヘッドの主要部をなす流路部材の製造方法を説明するための図で、まず、図1(a)に示すように、断面形状が逆台形状をした複数の凹溝4を列設した成形型3を用意し、この成形型3の各凹溝4に離型剤を塗布したあと、有機ペースト2を充填する。
【0019】
一方、セラミックスやガラス等からなる平板1を別に用意し、この平板1を前記成形型3中の有機ペースト2に押し当てて加圧接着したあと、有機ペースト2を硬化させて平板1と接合する。そして、図1(b)に示すように、成形型3を離型することにより、断面形状が台形状した有機物からなる複数の凸壁5が列設された平板1を形成する。
【0020】
次に、図1(c)に示すように、平板1と凸壁5とで構成される凹部6に、隔壁を成す材質として、圧電セラミック粉末と溶媒及び有機性添加物からなるバインダーとの混合物7を充填する。そして、この混合物7を反応硬化させるか又は乾燥して固化させる。その後、脱バインダー処理を施したあと、ゆっくりと熱を加えて熱処理を施すことで有機物からなる凸壁5を消失させ、図1(d)に示すような、仮焼きされた断面形状が逆台形状の隔壁成形体8が複数個列設された平板1を形成する。
【0021】
しかる後、熱処理温度より高い温度で焼成して隔壁成形体8を焼結させる。この時、隔壁成形体8を構成する圧電セラミックスは、焼結に伴って収縮するとともに、隔壁成形体8の閉塞端側(平板側)は、平板1と接触しているために圧電セラミック粒子のすべりが悪く、開放端側の収縮具合と比較して収縮し難いのであるが、本発明によれば、隔壁成形体8の開放端側と閉塞端側での収縮差を考慮して、隔壁成形体8の断面形状を予め逆台形状としてあることから、焼結後における隔壁9の厚み幅をほぼ均一にすることができ、図3に示すような、平板1上に厚み幅がほぼ均一な圧電セラミックスからなる複数の隔壁9が並され、隔壁9間を微小溝11としてなる流路部材10を形成することができる。
【0022】
次に、本発明に係るインクジェットプリンタヘッドの主要部をなす流路部材の他の製造方法を図2(a)〜(d)に説明する。
【0023】
この方法によれば、まず、図2(a)に示すように、断面形状が逆台形状をした複数の凹溝4を列設した成形型3を用意し、この成形型3の各凹溝4に離型剤を塗布したあと、隔壁を成す材質として、圧電セラミック粉末と溶媒及び有機性添加物からなるバインダーとの混合物7を充填する。
【0024】
一方、有機物からなる薄板12を用意し、この薄板12を前記成形型3中の混合物7に押し当てて加圧接着したあと、混合物7を反応硬化させるか又は乾燥して固化させる。
【0025】
その後、図2(b)に示すように、成形型3を離型することにより、断面形状が台形状した混合物7からなる複数の隔壁成形体8が列設された薄板12を形成する。
【0026】
次に、前記混合物7と同種の混合物7’、及びセラミックスやガラス等からなる平板1をそれぞれ用意し、図2(c)に示すように、平板1を各隔壁成形体8の頂面に混合物7’を介して押しあてて加圧接着したあと、混合物7’を反応硬化させるか又は乾燥して固化させる。
【0027】
その後、脱バインダー処理を施したあと、ゆっくりと熱を加えて熱処理を施すことで有機物からなる薄板12を消失さ、図2(d)に示すような、仮焼きされた断面形状が逆台形状の隔壁成形体8が複数個列設された平板1を形成する。
【0028】
しかる後、熱処理温度より高い温度で焼成して隔壁成形体8を焼結すれば、隔壁成形体8の開放端側と閉塞端側との間には収縮差があるものの、隔壁成形体8の断面形状を予め逆台形状としてあることから、焼結後における隔壁9の厚み幅をほぼ均一にすることができ、図1(a)〜(d)の製法と同様に、図3に示すような、平板1上に厚み幅がほぼ均一な圧電セラミックスからなる複数の隔壁9が並され、隔壁9間を微小溝11としてなる流路部材10を形成することができる。
【0029】
このように、本発明の製造方法によれば、成形型3を用いることにより、隔壁9を簡単に形成でき、製造工程を極めて簡略化できる。しかも、焼成前の隔壁成形体8は、成形型3の凹溝4の形状や平板1と凸壁5とで構成される凹部6の形状が転写されるため、凹溝4の面粗さ、形状、ピッチ幅等を所定の精度に精密加工しておけば、所望の隔壁成形体8を容易に形成することができ、また、隔壁成形体8の開放端側と閉塞端側の収縮具合を予め考慮して凹溝4や凹部6の断面形状を逆台形状としておくことにより、厚み幅が均一な隔壁9を容易に形成することができる。その為、隔壁9の厚み幅や微小溝11の溝幅が数100μm、さらには数十μmといった極めて微細な流路部材10を製作することができる。その上、この方法によれば、隔壁9を精度良く形成できるため、切削加工やブラスト加工を施す必要がなく、隔壁9に欠け等の欠陥を発生させることもない。
【0030】
ところで、隔壁9を形成するための圧電セラミック粉末としては、例えばチタン酸ジルコン酸鉛(PZT系:PbZrO3 −PbTiO3 系)、マグネシウムニオブ酸鉛(PMN系)、ニッケルニオブ酸鉛(PNN系)、マンガンニオブ酸鉛、チタン酸鉛などの一種以上と、Pb及びこれと固溶するMg,Ni,Zn,Nb,Te,Sbの元素のうち少なくとも一種以上の酸化物を含む粉末を用いることができ、具体的にはチタン酸ジルコン酸鉛(PZT系)の場合、PZT−Pb(NiNb)O3 −Pb(ZnNb)O3 、PZT−Pb(MgNb)O3 、PZT−Pb(SbNb)O3 −Pb(ZnNb)O3 等の粉末を用いることができる。
【0031】
また、圧電セラミック粉末とともに添加する有機性添加物としては、尿素樹脂、メラミン樹脂、フェノ−ル樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、アルキド樹脂、ウレタン樹脂、エボナイト、ポリシロキ酸シリケ−ト等が挙げられ、その添加量としては、圧電セラミック粉末100重量部に対し、0.5重量部〜35重量部の範囲が良く、好ましくは1重量部〜15重量部の範囲で添加することが良い。そして、これらの有機性添加物を反応硬化させるには、加熱硬化、紫外線照射硬化、X線照射硬化等により行えば良い。
【0032】
さらに、圧電セラミック粉末及び有機性添加物とともに添加する溶媒としては、有機性添加物を相溶するものであれば特に限定するものではなく、例えば、トルエン、キシレン、ベンゼン、フタル酸エステル等の芳香族溶剤や、ヘキサノ−ル、オクタノ−ル、デカノ−ル、オキシアルコ−ル等の高級アルコ−ル類、あるいは酢酸エステル、グリセライド等のエステル類を用いることができ、その添加量としては、圧電セラミック粉末100重量部に対し、0.1重量部〜35重量部の範囲が良く、好ましくは1重量部〜15重量部の範囲で添加することが良い。
【0033】
また、本発明における成形型3の材質は、有機性添加物を硬化させる時に何ら支障の無きものであれば良く、その材質を特に限定するものではないが、例えば、金属や熱硬化性樹脂、あるいはゴム等が使用でき、具体的にはアルミニウム、エポキシ樹脂、シリコンゴム等が好適である。
【0034】
一方、流路部材10の底面をなす平板1としては、隔壁9を形成する圧電セラミックスとの熱膨張差をできるだけ小さくする観点から、隔壁9と同一の圧電セラミックスあるいは隔壁9と同種の圧電セラミックスを用いることが好ましい。ただし、隔壁9を形成する圧電セラミックスとの熱膨張差が小さければ、ジルコニア等の絶縁性セラミックスやガラスを用いても差し支えない。なお、隔壁9と同種の圧電セラミックスとは、隔壁9を形成する圧電セラミックスと主成分が同じ圧電セラミックスのことを言う。
【0035】
また、図1(c)の凸壁5と平板1とで構成される凹部6の底面、あるいは図2(c)の隔壁成形体8と混合物7’との間及び混合物7’と平板1との間にそれぞれ、シランカップリング剤、チタネ−トカップリング剤、アルミネ−トカップリング剤等の各種カップリング剤を用いても構わない。
【0036】
さらに、図1(a)〜(c)において、凸壁5を形成する有機物としては、尿素樹脂、メラミン樹脂、フェノ−ル樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、アルキド樹脂、ウレタン樹脂等を用いることができるが、熱処理時に分解して焼失させる必要があることから、混合物7に添加した有機性添加物と同じ分解温度あるいは有機性添加津よりも低い分解温度を有するものを選択して用いれば良い。なお、有機ペースト2とは前記有機物を含んだペーストのことを言う。
【0037】
また、図2(a)〜(c)において、薄板12をなす有機物としては、熱処理時に、簡易に分解、焼失させる必要があり、例えば、PETフィルムや、プラスチック板にPETフィルムを張り付けたものを用いることができる。
【0038】
次に、図1又は図2の方法にて形成した流路部材10の隔壁9に、剪断モードによるすべり振動を発生させるため、矢印方向に分極処理を施したあと、図4に示すように、流路部材10に備える各隔壁9の両側面には、金、銀、パラジウム、銀−パラジウム、白金、ニッケル、銅、アルミニウム等の金属膜を、蒸着、無電解メッキ、印刷焼き付け等の膜形成手段にて被覆することにより駆動用電極13を形成するとともに、各隔壁9の頂面には、各微小溝11へインクを導入するためのインク供給孔14を備えた、ガラス、シリコン、圧電セラミックス、絶縁性セラミックス、樹脂等からなる天板15を接着剤やガラス等の接合材を介して接合し、平板1、隔壁9、及び天板15で構成される空間をインクの加圧室19とし、さらに流路部材10の一方端側には、各加圧室19と連通するインク吐出孔16を備えた、ガラス、シリコン、圧電セラミックス、絶縁性セラミックス、樹脂等からなるノズル板17を、流路部材10の他方端側には、ガラス、シリコン、圧電セラミックス、絶縁性セラミックス、樹脂等からなる平板状の蓋板18をそれぞれ接着剤やガラス等の接合材を介して接合することによりインクジェットプリンタヘッド20(以下、単にヘッド20と言う)を製造することができる。
【0039】
そして、このヘッド20を用いて記録媒体(不図示)へ印刷するには、まず、インクとして顔料タイプの油性インクや水性染料インクあるいは紫外線硬化インク等のインクをインク供給孔14より各加圧室19へ導入し、例えば駆動用電極13b,13c及び駆動電極13h,13iにそれぞれ負極の電圧を、駆動電極13a,13d,13g,13jに正極の電圧を印加すると、図5(a)に示すように隔壁9a及び隔壁9bが加圧室19a側へ屈曲変位するとともに、隔壁9d,9eが加圧室19d側へ屈曲変位するため、加圧室19a,19d内に充填されたインクを加圧して、インク吐出孔16よりインク滴を吐出させることができる。次に各駆動用電極13a〜13d,13g〜13jへの通電を遮断すると、屈曲変位していた隔壁9a,9b,9d,9eが弾性作用によって元の形状に戻り、加圧室19a,19d内が減圧される結果、インクの導入が開始されることになり、さらに前述した駆動用電極13a〜13d,13g〜13jへ極性を逆転して電圧を印加すると、図5(b)に示すように隔壁9a,9bが加圧室19aに対して外側へ屈曲変位するとともに、隔壁9d,9eが加圧室19dに対して外側へ屈曲変位するため、加圧室19a,19d内がさらに減圧されてインクが充填されることになる。そして、各駆動用電極13a〜13d,13g〜13jへの通電を遮断すると、屈曲変位していた隔壁9a,9b,9d,9eが弾性作用によって元の形状に戻り、次のインク滴の吐出段階に入るようになっており、これらの動作を順次繰り返すことでインク滴の吐出を連続的に行うことができるようになっている。
【0040】
そして、このヘッド20によれば、加圧室19を成す微小溝11をブラスト加工にて形成したものや、隔壁9をスリーン印刷によって積層して形成したものに比べて、隔壁9の厚み幅を均一にできるとともに、加圧室19をなす微小溝11を切削加工にて形成した場合のように、隔壁9に欠け等の欠陥がないため、駆動用電極13に通電すれば、隔壁9全体を所定の変位量で屈曲変位させることができるため、インク滴の吐出量や吐出速度を向上させることができるともに、加圧室19の溝幅を数十μmと極めて微細に形成することができるため、高画質の画像を印刷することができる。
【0041】
なお、本発明のヘッド20は図4に示すものだけに限らず、本発明の範囲を逸脱しない範囲で改良や設計変更したものでも良いことは言うまでもない。
【0042】
【実施例】
以下、本発明のインクジェットプリンタヘッドと従来のインクジェットプリンタヘッドを製作し、駆動特性について調べる実験を行った。
【0043】
(本発明1)
隔壁を形成する圧電セラミック粉末として、平均粒子径が0.2〜5.0μmのPZT−Pb(MgNb)O3 系の微粉末を用い、この圧電セラミック粉末100重量部に対し、有機性添加物として不飽和ポリエステル樹脂を15重量部、溶媒としてトルエンを15重量部それそれ添加して混合物を製作した。
【0044】
一方、断面形状が逆台形状(平行な二辺の短辺が100μm、長辺が115μm、高さが380μm)をした複数の凹溝を列設してなるアルミニウム製の成形型を用意し、この成形型の凹溝に離型剤を塗布したあと、図1(a)のように、有機ペーストとしてエポキシ樹脂を流し込み、さらにPZT−Pb(MgNb)O3 からなる圧電セラミック製の平板を前記有機ペーストに押し当てて加圧接着し、有機ペーストを乾燥させて硬化させたあと、成形型を離型することにより、図1(b)のような、エポキシ樹脂からなる複数の凸壁が並設された平板を製作した。
【0045】
次に、図1(c)のように、凸壁と平板により構成される凹部内に前記混合物を充填したあと、100℃の温度で60分程度、熱を加えて混合物を硬化させ、その後、緩やかに加熱温度を上げてエポキシ樹脂からなる凸壁を消失させることで、図1(d)のような、断面形状が逆台形状をした複数の隔壁成形体を並設した平板を製作し、しかるのち、1300℃の温度で2時間程度焼成することにより、隔壁成形体を焼結させ、平板上に圧電セラミックス(PZT−Pb(MgNb)O3 )からなる複数の隔壁を並設してなる流路部材を製作した。
【0046】
得られた流路部材の隔壁の寸法を測定したところ、高さが300μm、厚み幅が80μmの均一な厚み幅を有するものであった。
【0047】
そこで、この流路部材を用い、各隔壁の高さ方向に分極処理を施したあと、隔壁側面にアルミニウムの駆動用電極をスパッタリング法にて被覆したあと、インク供給孔を有するアルミナセラミック製の天板をエポキシ系接着剤にて接合し、インクジェットプリンタヘッドの加圧室を構成した。
【0048】
そして、駆動用電極に30Vの電圧を通電して隔壁を屈曲変位させた時の変位量を、レーザー変位計にて測定したところ、35nmの変位が得られた。
【0049】
(比較例)
PZT−Pb(MgNb)O3 からなる圧電セラミック体に、ブラスト加工を施して微小溝を有する流路部材を形成した。
【0050】
得られた流路部材の隔壁は断面形状が台形状をなし、その寸法を測定したところ、高さが300μm、短辺の長さが70μm、長辺の長さが80μmであった。
【0051】
そこで、この流路部材を用い、各隔壁の高さ方向に分極処理を施したあと、隔壁側面にアルミニウムの駆動用電極をスパッタリング法にて被覆したあと、インク供給孔を有するアルミナセラミック製の天板をエポキシ系接着剤にて接合し、インクジェットプリンタヘッドの加圧室を構成した。
【0052】
そして、駆動用電極に30Vの電圧を通電して隔壁を屈曲変位させた時の変位量を、レーザー変位計にて測定したところ、27nmの変位であった。
【0053】
これらの結果、本発明の製造方法により得られた流路部材を用いて形成したインクジェットプリンタヘッドは、従来の製造方法により得られた流路部材を用いて形成したヘッドに比べ、より高い変位量を得ることができ、インク滴の吐出量やインクの吐出速度を向上させることができた。その結果、所定の変位量を得るためのより高い電圧の印加が不要となり、消費電力の増大や変位に伴って発生する熱の増加によるインク滴の粘度変化がなく、インク滴の吐出バラツキのない、駆動特性に優れたインクジェットプリンタヘッドを得ることができることが判る。
【0054】
(本発明2)
隔壁を形成する圧電セラミック粉末として、平均粒子径が0.2〜5.0μmのPZT−Pb(MgNb)O3 系の微粉末を用い、この圧電セラミック粉末100重量部に対し、有機性添加物として不飽和ポリエステル樹脂を15重量部、溶媒としてトルエンを15重量部それそれ添加して混合物を製作した。
【0055】
一方、断面形状が逆台形状(平行な二辺の短辺が100μm、長辺が115μm、高さが380μm)をした複数の凹溝を列設してなるアルミニウム製の成形型を用意し、この成形型の凹溝に離型剤を塗布したあと、図2(a)のように、前記混合物を流し込み、さらに予めシランカップリング剤を塗布したPETフィルムの薄板を押し当て、100℃の温度で60分程度、熱を加えて混合物を硬化させたあと、図2(b)のような、成形型を離型し、断面形状が台形状をした複数の隔壁成形体を並設してなる薄板を作製した。
【0056】
次に、図2(c)に示すように、各隔壁成形体の頂面に、前記混合物と同一の混合物を介してPZT−Pb(MgNb)O3 からなる圧電セラミック製の平板を押し当てて加圧接着し、その後、緩やかに加熱温度を上げてPETフィルムの薄板を消失させることで、図1(d)のような、断面形状が逆台形状をした複数の隔壁成形体を並設した平板を製作し、しかるのち、1300℃の温度で2時間程度焼成することにより、隔壁成形体を焼結させ、平板上に圧電セラミックス(PZT−Pb(MgNb)O3 )からなる複数の隔壁を並設してなる流路部材を製作した。
【0057】
そして、得られた流路部材の隔壁の寸法を測定したところ、本発明1と同様に、高さが300μm、厚み幅が80μmの均一な厚み幅を有するものであり、実施例1と同様の結果が得られることが確認できた。
【0058】
【発明の効果】
本発明によれば、微小溝を有する流路部材を製造する方法として、成形型に列設した断面形状が逆台形状をした複数の凹溝内に、有機ペーストを充填し、前記成形型中の有機ペーストに、セラミックスやガラス等からなる平板を当接させた状態で前記有機ペーストを硬化させ、その後成形型を離型して前記平板上に断面形状が台形状した有機物からなる複数の凸壁を並設し、次いで前記凸壁間に、圧電セラミック粉末と溶媒及び有機性添加物からなるバインダーとの混合物を充填、硬化させたのち、熱処理を加えて前記凸壁を焼失させ、断面形状が逆台形状をした複数の隔壁成形体が並設された平板を形成し、しかる後、前記熱処理より高い温度で焼成するか、あるいは成形型に列設した断面形状が逆台形状をした複数の凹溝内に、圧電セラミック粉末と溶媒及び有機性添加物からなるバインダーとの混合物を充填し、前記成形型中の混合物に、有機物からなる薄板を当接させた状態で前記混合物を硬化させ、その後成形型を離型して前記薄板上に断面形状が台形状した複数の隔壁成形体を形成し、次いで前記隔壁成形体上に、前記混合物と同種の混合物を介してセラミックスやガラス等からなる平板を当接させ、該平板と隔壁成形体との間の混合物を硬化させたのち、熱処理を加えて前記薄板を焼失させ、断面形状が逆台形状をした複数の隔壁成形体が並設された平板を形成し、しかる後、前記熱処理より高い温度で焼成するようにしたことから、隔壁に欠け等の欠陥がなく、隔壁の厚み幅が均一でかつ隔壁の厚み幅や微小溝の溝幅が数十μmといった微細な流路部材を容易に製作することができる。
【0059】
さらに、本発明によれば、前記製造方法にて形成した流路部材の隔壁側面に駆動用電極を形成するとともに、前記隔壁頂面に天板を接合し、天板、隔壁及び平板により構成される空間をインクの加圧室としてインクジェットプリンタヘッドを製造するようにしたことから、駆動用電極へ印加する電圧値を高めることなく大きな変位量を得ることができ、インク滴の吐出量や吐出速度を向上させることができるとともに、高い電圧値の印加が不要であるため、消費電力を低減できるとともに、変位に伴って発生する熱の増加によるインク滴の粘度変化がなく、インク滴の吐出バラツキを生じることがない、というように駆動特性の優れたインクジェットプリンタヘッドを提供することがきる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)〜(d)は本発明に係るインクジェットプリンタヘッドの主要部をなす流路部材の製造方法を説明するための図である。
【図2】(a)〜(d)は本発明に係るインクジェットプリンタヘッドの主要部をなす流路部材の他の製造方法を説明するための図である。
【図3】図1又は図2の製造方法にて製作した流路部材を示す斜視図である。
【図4】図3の流路部材を用いた本発明のインクジェットプリンタヘッドを示す一部を破断した斜視図である。
【図5】(a)(b)は本発明のインクジェットプリンタヘッドの駆動原理を説明するための部分断面図である。
【図6】従来のインクジェットプリンタヘッドを示す一部を破断した斜視図である。
【符号の説明】
1:平板 2:有機ペースト 3:成形型 4:凹溝 5:凸壁
6:平板と凸壁とで構成される凹部 7,7’:混合物 8:隔壁成形体
9:隔壁 10:流路部材 11:微小溝 12:薄板 13:駆動用電極
14:インク供給孔 15:天板 16:インク吐出孔 17:ノズル板
18:蓋板 19:加圧室 20:インクジェットプリンタヘッド
Claims (2)
- 成形型に列設した断面形状が逆台形状をした複数の凹溝内に、有機ペーストを充填し、前記成形型中の有機ペーストに、セラミックスやガラス等からなる平板を当接させた状態で前記有機ペーストを硬化させ、その後成形型を離型して、前記平板上に断面形状が台形状した有機物からなる複数の凸壁を列設し、次いで前記凸壁間に、圧電セラミック粉末と溶媒及び有機性添加物からなるバインダーとの混合物を充填、硬化させたのち、熱処理を加えて前記凸壁を焼失させ、断面形状が逆台形状をした複数の隔壁成形体が並設された平板を形成し、しかる後、前記熱処理より高い温度で焼成することにより、平板上に厚み幅が均一な圧電セラミックスからなる隔壁を並設してなる流路部材を形成し、その後、流路部材の隔壁側面に駆動用電極を形成するとともに、前記隔壁頂面に天板を接合し、天板、隔壁及び平板により構成される空間をインクの加圧室とすることを特徴とするインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
- 成形型に列設した断面形状が逆台形状をした複数の凹溝内に、圧電セラミック粉末と溶媒及び有機性添加物からなるバインダーとの混合物を充填し、前記成形型中の混合物に、有機物からなる薄板を当接させた状態で前記混合物を硬化させ、その後成形型を離型して前記薄板上に断面形状が台形状した複数の隔壁成形体を並設し、次いで前記隔壁成形体の頂面に、前記混合物と同種の混合物を介してセラミックスやガラス等からなる平板を当接させ、該平板と隔壁成形体との間の混合物を硬化させたのち、熱処理を加えて前記薄板を焼失させ、断面形状が逆台形状をした複数の隔壁成形体が並設された平板を形成し、しかる後、前記熱処理より高い温度で焼成することにより、平板上に厚み幅が均一な圧電セラミックスからなる隔壁を並設してなる流路部材を形成し、その後、流路部材の隔壁側面に駆動用電極を形成するとともに、前記隔壁頂面に天板を接合し、天板、隔壁及び平板により構成される空間をインクの加圧室とすることを特徴とするインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
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