JP3637438B2 - 配線基板の製造方法 - Google Patents
配線基板の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3637438B2 JP3637438B2 JP35242498A JP35242498A JP3637438B2 JP 3637438 B2 JP3637438 B2 JP 3637438B2 JP 35242498 A JP35242498 A JP 35242498A JP 35242498 A JP35242498 A JP 35242498A JP 3637438 B2 JP3637438 B2 JP 3637438B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wiring board
- reinforcing plate
- main surface
- flexible sheet
- bump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/81—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
- H01L2224/8119—Arrangement of the bump connectors prior to mounting
- H01L2224/81192—Arrangement of the bump connectors prior to mounting wherein the bump connectors are disposed only on another item or body to be connected to the semiconductor or solid-state body
Landscapes
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、配線基板本体と補強板とを備える配線基板の製造方法に関し、特に、減圧により生じる柔軟シートの加圧力を利用し、加圧してバンプ状接続端子の頂部を平坦化する工程、または、バンプ状接続端子の頂部を平坦化するとともに配線基板本体と補強板とを接着する工程を備える配線基板の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、配線基板本体の主面上に、補強板を接着した配線基板が知られている。この補強板、いわゆるスティフナーは、配線基板の剛性を向上させ、その平坦性を維持するために用いられる。
【0003】
このような配線基板のうち、フリップチップ型の集積回路チップを搭載する配線基板101について、図6にその断面図を示す。この配線基板101は、集積回路チップ111に対応する透孔103が形成された補強板102と、複数の電極パッド109および集積回路チップ111の端子112に対応する複数の接続パッド107が配置された配線基板本体106と、集積回路チップ111とを備える。補強板102と配線基板本体106とは、接着層110を介して接着されている。また、集積回路チップ111は、配線基板本体106の接続パッド107と集積回路チップ111の端子112とをハンダ108Aを介して接続することにより、配線基板本体106に搭載されている。
【0004】
このような配線基板101は、次のようにして製造する。すなわち、図7(a)に示すように、配線基板本体106を用意し、所定の位置に接着シート110A載置し、さらに、その上に位置合わせをして補強板102を載置する。次に、図7(b)に示すように、補強板102の上に錘WTを載せ、加熱圧着して、接着層110を介して補強板102を配線基板本体106に接着する。次に、錘WTを取り除いた後、図7(c)に示すように、配線基板本体106のバンプ状接続端子(以下、単にハンダバンプともいう)108上に平坦化治具PTを載置し、プレスで加圧して、ハンダバンプ108の頂部を平坦化する。次に、平坦化治具PTを取り除くと、図7(d)に示す配線基板ができる。さらに、集積回路チップ111をハンダバンプ108上に載置し、これを加熱してハンダを溶融させて集積回路チップ111と配線基板本体106とを接続すると、図6に示す配線基板101が完成する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このようにして配線基板101を製造すると、多数の配線基板を量産する場合には、平坦化治具PTを一つ一つの配線基板の透孔内に位置決めしつつ配置し、また、ハンダバンプ108の平坦化工程後に平坦化治具PTを回収する必要があり、非常に面倒であり、製造コストの引き上げる要因となっていた。
【0006】
また、上述した従来の方法では、補強板102と配線基板本体106とを接着する接着層110の中に気泡が残り、接着強度や気密性が低下するなど接着信頼性が低い。また、補強板102を配線基板106に接着する作業と、配線基板本体106の平坦化する作業とを別々に行うために手間がかかる。さらには、錘WTを載せて接着し、あるいは平坦化治具PTを載せてプレスして平坦化を行うと、必ずしも均一には荷重がかからず、配線基板101に大きな反りや歪みが生じたり、ハンダバンプ108の頂部がなすコポラナリティが大きくなってしまうことがあった。
【0007】
本発明はかかる現状に鑑みてなされたものであって、配線基板のバンプ状接続端子(ハンダバンプ)の平坦化を配線基板毎に平坦化治具を用いず、多数の配線基板のバンプ状接続端子を同時に平坦化することで、作業を簡易化することができ、かつ、配線基板の反りやバンプ状接続端子の頂部がなすコポラナリティを小さくすることのできる配線基板の製造方法を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するための請求項1の発明は、第1主面及び第2主面を有し、該第1主面上に電子部品を搭載するための複数のバンプ状接続端子を備えた配線基板本体の上記第1主面と、第1補強板主面及び第2補強板主面を有し、透孔を備えた補強板の上記第2補強板主面と、を上記透孔より上記複数のバンプ状接続端子を露出させて接着した配線基板の製造方法であって、上記配線基板本体および補強板を載置治具の平面上に載置する載置工程と、上記配線基板本体および補強板を柔軟シートで覆い、この柔軟シートと上記載置治具とで上記配線基板本体および補強板とを包囲する包囲工程と、上記柔軟シートと上記載置治具とで囲まれた空間を減圧して、上記柔軟シートにより加圧して、上記透孔より露出した複数のバンプ状接続端子の頂部を平坦化する平坦化工程と、を含むことを特徴とする配線基板の製造方法を要旨とする。
【0009】
本発明によれば、柔軟シートと載置治具とで包囲された空間に配線基板本体および補強板を配置し、この空間を減圧し、減圧によって生じる柔軟シートの加圧力を利用して、透孔より露出した複数のバンプ状接続端子の頂部を平坦化するので、多数の配線基板のバンプ状接続端子の頂部を共通の柔軟シートで同時に平坦化できる。したがって、一つ一つの配線基板に平坦化治具を配置する必要もなく、また、平坦化工程後に平坦化治具をそれぞれ回収する必要もないので、作業を簡易化できる。
【0010】
また、減圧することにより、柔軟シート全体に均一に加圧力が生じるので、従来のように平坦化治具を個々の配線基板に載せて加圧するのに比べて、配線基板本体及び補強板を均一に加圧することができる。このため、平坦化工程後のバンプ状接続端子の頂部がなすコポラナリティを小さくすることのできる。
【0011】
ここで、配線基板本体としては、絶縁層と配線層とを有するものであればよく、例えば、金属基板または絶縁基板からなるコア基板の片面あるいは両面に絶縁層と配線層とを交互に複数層積層した多層配線基板等が挙げられるが、一層のみの配線基板であっても構わない。また、配線基板本体の第2主面上には、例えば、マザーボード等の他のプリント配線基板に接続するための接続パッドやハンダバンプ、ピン等の端子が形成されていても良い。
【0012】
補強板としては、剛性、熱膨張率等を考慮してその材質を適宜選択すればよいが、例えば、銅、銅合金、アルミニウム、ステンレス等の金属板の他、剛性を高めた樹脂板などが挙げられる。また、補強板には、集積回路チップに対応した透孔以外にも、他の電子部品(チップコンデンサ等)を搭載する配線基板においては、それに対応した透孔が形成されていてもよい。さらに、補強板の表面には、必要に応じてメッキ層を形成してもよく、例えば、ニッケルメッキ層、金メッキ層等を形成するとよい。
【0013】
接着材としては、補強板及び配線基板本体との接着性や熱膨張率等を考慮して選択すれば良く、エポキシ樹脂やポリイミド樹脂などのペースト状の接着剤を用いても良いし、これらを予めフィルム状に加工した接着シートを用いても良い。接着シートとしては、例えば、エポキシ樹脂等をガラス繊維や連続多孔質PTFE等の三次元網目状フッ素樹脂基材に含浸させたフィルム状のものを利用してもよい。なお、本明細書中では、ペースト状の接着剤とフィルム状の接着シート等の接着手段を総称して接着材と呼ぶこととする。
【0014】
載置治具としては、接着材を介して重ねた配線基板本体及び補強板が配置される平面を有し、柔軟シートと載置治具とで包囲して減圧可能な空間ができるものであればよい。また、柔軟シートとしては、ゴムや樹脂などからなる柔軟な材質からなるものを用いればよい。このような柔軟シートを用いれば、柔軟シートと載置治具とを囲まれた空間を減圧する際に、その空間の気密性を高くし易いので、接着工程を容易に、また、確実に行うことができる。
【0015】
さらに、請求項2に記載の発明は、第1主面及び第2主面を有し、該第1主面上に電子部品を搭載するための複数のバンプ状接続端子を備えた配線基板本体の上記第1主面と、第1補強板主面及び第2補強板主面を有し、透孔を備えた補強板の上記第2補強板主面と、を上記透孔より上記複数のバンプ状接続端子を露出させて接着した配線基板の製造方法であって、上記配線基板本体および補強板を、上記第1主面と上記第2補強板主面とを接着材を介して重ねた状態にて、載置治具の平面上に載置する載置工程と、上記配線基板本体および補強板を柔軟シートで覆い、この柔軟シートと上記載置治具とで上記配線基板本体および補強板とを包囲する包囲工程と、上記柔軟シートと上記載置治具とで囲まれた空間を減圧して、上記柔軟シートにより加圧しつつ、加熱して、上記透孔より露出した複数のバンプ状接続端子の頂部を平坦化するとともに、上記配線基板本体の第1主面と上記補強板の第2補強板主面とを接着する平坦化・接着工程と、を含むことを特徴とする配線基板の製造方法を要旨とする。
【0016】
本発明によれば、柔軟シートと載置治具とで包囲された空間に、配線基板本体及び補強板を配置し、この空間を減圧し、減圧により生じる加圧力を利用して、バンプ状接続端子の平坦化とともに、配線基板本体と補強板とを接着する。このように従来別々であったバンプ状接続端子の平坦化工程と、配線基板本体と補強板との接着工程とを同時に行えるので、工程を簡易化でき、製造コストを低減できる。
【0017】
さらに、請求項3に記載の発明は、前記載置工程は、前記配線基板本体および前記第2補強板主面に予め接着シートを貼り付けた補強板を、前記第1主面と前記第2補強板主面とを対向した状態にて、前記載置治具の平面上に載置することを特徴とする配線基板の製造方法を要旨とする。
【0018】
本発明によれば、接着シートが予め補強板に貼り付けされているので、接着シートに皺や破れが生じ難く、平坦で均一な厚みを維持できるので、配線基板本体と補強板との接着が良好となる。
【0019】
さらに、請求項4に記載の発明は、前記補強板に予め貼り付けられる接着シートは、前記補強板の外形よりも小さく形成されていることを特徴とする配線基板の製造方法を要旨とする。
【0020】
本発明によれば、接着シートの外形が補強板の外形よりも小さく形成されているため、加圧接着時の接着材のはみ出し量を少なくできるので、はみ出した接着材が、補強板の透孔内のバンプ状接続端子の表面を被覆し、集積回路チップとの接続不良を引き起こすのを効果的に防止できる。
【0021】
さらに好ましくは、接着材は、減圧後、接着材の硬化が始まる温度以下の予備加熱をした後に硬化させるとよい。このようにすると、接着材から出る溶剤等のアウトガスにより、補強板の表面等に施された金メッキ等のメッキが変色するのを防止できるからである。
【0022】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、図を参照しつつ説明する。
本実施形態で製造する配線基板1について、図1(a)に拡大断面図を示し、図1(b)に補強板2の第1補強板主面2A側から見た平面図を示す。
この配線基板1は、平面視40×40mmの略ロ字形の板状であり、補強板2と配線基板本体6とを備える。補強板2と配線基板本体6とは、補強板2の第2補強板主面と配線基板本体6の第1主面とが、連続多孔質PTFE基材にエポキシ樹脂を含浸させた複合材からなる接着層10を介して接着されている。
【0023】
このうち補強板2は、厚さ0.7mmの銅板からなり、第1補強板主面2Aと第2補強板主面2Bとを有する40×40mmの略正方形の板形状である。その略中央には、搭載するフリップチップ接続タイプの集積回路チップ(図示しない)に対応して、第1補強板主面2Aと補強板主面2Bとの間を貫通し、15×15mmの略正方形状の透孔3が形状されている。また、補強板2の表面には、ニッケルメッキ及び金メッキ(図示しない)が形成される。
【0024】
一方、配線基板本体6は、第1主面6Aと第2主面6Bとを有する40×40mmの略正方形の板状で、その第1主面6A側には、搭載する集積回路チップの端子に対応して、直径φ115μmの接続パッド7が略格子状に多数配置され、それぞれの接続パッド7には、共晶ハンダからなるハンダバンプ8が形成されている。これらのハンダバンプ8は、図1(b)に示すように、補強板2の透孔3内に露出するように配置されている。また、これらのハンダバンプ8の頂部8Aは、後述する柔軟シート14によって、平坦化されている。また、第2主面6B側には、多数の電極パッド9が形成されている。また、この配線基板本体6は、連続多孔質PTFE基材にエポキシ樹脂を含浸させた複合材からなる樹脂絶縁層、および配線層(図示しない)が複数層積層されたものである。
【0025】
次に、この配線基板1の製造方法について、図2乃至図4を参照しつつ説明する。
まず、補強板2の第2補強板主面2Bの所定の位置にフィルム状の接着シート10Aを、100〜120℃を仮接着しておき、載置工程において、図2に示すように、この接着シート10Aを貼り付けた補強板2を、公知の手法により制作された上記配線基板本体6の第1主面6A上に、位置合わせして載置する。
【0026】
次に、図3に示すように、この接着シート10Aを介して重ねた補強板2および配線基板本体6を配線基板本体6の第2主面6Bが載置治具11の載置面11Aに接するようにして、載置面11A上に載置する。この載置治具11は、載置面11Aを底面とする凹部11Rを有し、その側壁11Bには、後述する接着・平坦化工程において、載置治具11と柔軟シート14で包囲した空間を減圧するための排気管12が形成されている。
【0027】
次に、包囲工程において、図4に示すように、複数の配線基板1の上面全面をシリコンゴムからなる厚さ1.0mmの柔軟シート14で覆い、この柔軟シート14と載置治具11とによって、接着シート10Aを介して重ねた補強板2及び配線基板本体6とを包囲する。
【0028】
次に、接着・平坦化工程において、図5に示すように、排気管12から柔軟シート14と載置治具11とで囲まれた空間を減圧する。この、減圧下で、100℃、30分間の予備加熱を行った後、170℃、60分間加熱して接着シート10Aを硬化させ、減圧による柔軟シートからの加圧を利用しつつ、補強板2と配線基板本体6とを接着する。このとき、同時に、ハンダバンプ8の頂部は、柔軟シート14からの加圧により柔軟シートの下面14Bによって平坦化される
その後、柔軟シート14を取り除くと、図1に示す配線基板1が完成する。
【0029】
なお、本実施形態では、170℃での加熱硬化に先立ち、減圧下(真空)での予備加熱を施した。これは、接着材から発生する溶剤等のアウトガスによって補強板2及び配線基板本体6の表面の配線等に施された金メッキ層が変色するのが防止できるからである。減圧下での予備加熱の温度は、接着材の硬化が始まる温度以下で、さらに好ましくはそのうちで高めの温度で適宜行えばよいが、本実施形態の接着材は140℃以上で硬化が始まるため、予備加熱の温度を100℃とした。
【0030】
本実施形態の製造方法により製造した上記配線基板1は、ハンダバンプ8の頂部がなすコポラナリティを小さくすることができ、また、補強板2のそれぞれの透孔の中に平坦化治具を配置する必要がなく、また、平坦化工程後にこの平坦化治具を回収する必要もない。したがって、複数の配線基板1を一挙に精度良く平坦化することができる。
【0031】
また、補強板2と配線基板本体6とを接着する接着層10中の気泡の発生が抑制され、接着信頼性が高い。さらに、この接着とハンダバンプ8の頂部の平坦化とを同時に行えるので、作業を簡略化できる。
【0032】
なお、本実施形態では載置工程において、予め補強板2に接着シート10Aを仮接着したものを、配線基板本体6に載置しているが、配線基板本体6上に、接着シート10Aと補強板2とを順に重ねてもよい。ただし、本実施形態のようにすると、補強板2、接着シート10A及び配線基板本体6の位置合わせが容易になるので好適である。また、接着材のはみ出しを防止するために、接着シート10Aは補強板2の外形よりも少し引き下がった形状のものを用いるとよい。さらに、本実施形態のように配線基板本体6の絶縁層と近似した材質の接着シート10Aを用いると、これらの間で熱膨張率等が適合するので好ましい。また、接着シート10Aの代わりにペースト状の接着剤を用いてもよい。
【0033】
また、本実施形態では、包囲工程において、シリコンゴムからなる柔軟シート14を用いているが、これに限らず、柔軟な樹脂やそれ以外のものを用いても良い。
【0034】
以上において、本発明の実施形態に即して説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で、適宜変更して適用できることはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態に係り、配線基板を示す図であり、(a)は拡大断面図を示し、(b)は補強板の第1補強板主面から見た平面図を示す。
【図2】本発明の実施形態に係る配線基板の製造方法を示す図であり、配線基板本体に接着シートを重ねた状態を示す。
【図3】本発明の実施形態に係る配線基板の製造方法を示す図であり、載置工程で、複数の配線基板本体および補強板を載置治具に配置した状態を示す。
【図4】本発明の実施形態に係る配線基板の製造方法を示す図であり、包囲工程で柔軟シートで覆い、載置治具とで包囲した状態を示す。
【図5】本発明の実施形態に係る配線基板の製造方法を示す図であり、接着・平坦化工程で柔軟シートにより複数の配線基板のハンダバンプの頂部を平坦化し、補強板と配線基板本体とを接着した状態を示す。
【図6】従来技術に係り、補強板を有する配線基板の拡大断面図を示す。
【図7】従来の配線基板の製造方法を示す図であり、(a)配線基板本体に接着シートを介して補強板を載置した状態を示し、(b)は補強板上に錘を載せて接着シートを加熱硬化させた状態を示す図であり、(c)はハンダバンプ上にバンプ平坦化治具を載置した状態を示し、(d)はハンダバンプの頂部を平坦化した配線基板を示す。
【符号の説明】
1:配線基板
2:補強板
2A:第1補強板主面
2B:第2補強板主面
3:透孔
6:配線基板本体
6A:第1主面
6B:第2主面
7:接続パッド
8:ハンダバンプ(バンプ状接続端子)
8A:ハンダバンプの頂部
10A:接着シート
10:接着層
11:載置治具
11A:載置面
14:柔軟シート
【整理番号】 99−0354
Claims (4)
- 第1主面及び第2主面を有し、該第1主面上に電子部品を搭載するための複数のバンプ状接続端子を備えた配線基板本体の上記第1主面と、第1補強板主面及び第2補強板主面を有し、透孔を備えた補強板の上記第2補強板主面と、を上記透孔より上記複数のバンプ状接続端子を露出させて接着した配線基板の製造方法であって、
上記配線基板本体および補強板を載置治具の平面上に載置する載置工程と、
上記配線基板本体および補強板を柔軟シートで覆い、この柔軟シートと上記載置治具とで上記配線基板本体および補強板とを包囲する包囲工程と、
上記柔軟シートと上記載置治具とで囲まれた空間を減圧して、上記柔軟シートにより加圧して、上記透孔より露出した複数のバンプ状接続端子の頂部を平坦化する平坦化工程と、
を含むことを特徴とする配線基板の製造方法。 - 第1主面及び第2主面を有し、該第1主面上に電子部品を搭載するための複数のバンプ状接続端子を備えた配線基板本体の上記第1主面と、第1補強板主面及び第2補強板主面を有し、透孔を備えた補強板の上記第2補強板主面と、を上記透孔より上記複数のバンプ状接続端子を露出させて接着した配線基板の製造方法であって、
上記配線基板本体および補強板を、上記第1主面と上記第2補強板主面とを接着材を介して重ねた状態にて、載置治具の平面上に載置する載置工程と、
上記配線基板本体および補強板を柔軟シートで覆い、この柔軟シートと上記載置治具とで上記配線基板本体および補強板とを包囲する包囲工程と、
上記柔軟シートと上記載置治具とで囲まれた空間を減圧して、上記柔軟シートにより加圧しつつ、加熱して、上記透孔より露出した複数のバンプ状接続端子の頂部を平坦化するとともに、上記配線基板本体の第1主面と上記補強板の第2補強板主面とを接着する平坦化・接着工程と、
を含むことを特徴とする配線基板の製造方法。 - 前記載置工程は、前記配線基板本体および前記第2補強板主面に予め接着シートを貼り付けた補強板を、前記第1主面と前記第2補強板主面とを対向した状態にて、前記載置治具の平面上に載置することを特徴とする配線基板の製造方法。
- 前記補強板に予め貼り付けられる接着シートは、前記補強板の外形よりも小さく形成されていることを特徴とする配線基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35242498A JP3637438B2 (ja) | 1998-12-11 | 1998-12-11 | 配線基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35242498A JP3637438B2 (ja) | 1998-12-11 | 1998-12-11 | 配線基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000183109A JP2000183109A (ja) | 2000-06-30 |
JP3637438B2 true JP3637438B2 (ja) | 2005-04-13 |
Family
ID=18423992
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP35242498A Expired - Fee Related JP3637438B2 (ja) | 1998-12-11 | 1998-12-11 | 配線基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3637438B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008193637A (ja) * | 2007-02-08 | 2008-08-21 | Epson Toyocom Corp | 積層型電子デバイスおよびその製造方法 |
TWI599274B (zh) * | 2013-02-26 | 2017-09-11 | 大自達電線股份有限公司 | 撓性印刷電路板用補強構件、撓性印刷電路板及遮蔽印刷電路板 |
-
1998
- 1998-12-11 JP JP35242498A patent/JP3637438B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2000183109A (ja) | 2000-06-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3889856B2 (ja) | 突起電極付きプリント配線基板の製造方法 | |
KR100595891B1 (ko) | 반도체장치 | |
JP3880775B2 (ja) | 回路基板への電子部品の実装方法 | |
US7790515B2 (en) | Semiconductor device with no base member and method of manufacturing the same | |
JP4992310B2 (ja) | 積層基板の製造方法 | |
JPH10294423A (ja) | 半導体装置 | |
JP2011222553A (ja) | 半導体チップ内蔵配線基板及びその製造方法 | |
JP4846633B2 (ja) | 部品内蔵基板の製造方法 | |
JP2003282819A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP3881751B2 (ja) | 半導体チップの実装構造および実装方法 | |
JP3438711B2 (ja) | 圧電デバイス及びその製造方法 | |
JP4835264B2 (ja) | 部品内蔵回路モジュール基板 | |
JPWO2009107342A1 (ja) | 電子部品モジュールの製造方法 | |
JP3637438B2 (ja) | 配線基板の製造方法 | |
JP5200870B2 (ja) | 部品内蔵モジュールの製造方法 | |
KR20080002501A (ko) | 플립 칩 타입 반도체 패키지 | |
JP3100949B2 (ja) | 配線基板の製造方法 | |
JP2002151853A (ja) | 多層配線基板とその製造方法 | |
JP2000022329A (ja) | 配線基板および電子ユニットおよび電子部品実装方法 | |
JP4016557B2 (ja) | 電子部品の実装構造及び実装方法 | |
JP4030220B2 (ja) | 半導体チップの実装構造 | |
JP4436931B2 (ja) | 配線基板の製造方法 | |
JP3387016B2 (ja) | 配線基板の製造方法、接着シート片付補強板及びその製造方法 | |
JP2010251527A (ja) | 電子部品および電子部品の製造方法 | |
JP4040388B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20031216 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041126 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Effective date: 20041207 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Effective date: 20041221 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 4 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090121 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090121 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 5 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100121 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100121 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 6 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110121 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 6 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110121 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120121 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120121 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130121 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130121 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 8 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130121 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 9 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140121 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |