JP3633376B2 - 偏光分離装置の製造方法 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は偏光分離装置の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、液晶装置を用いた投写型表示装置のように、特定の偏光光を用いる装置において、小型の偏光分離装置が採用されている。図9に、このような偏光分離装置の斜視図を示す。偏光分離装置70は、三角柱あるいは四角柱の形状をしたプリズム71、73、74等の間に、偏光分離膜75と反射膜76とが交互に配置された構造となっている。プリズム71とプリズム73との間には、無機物の多層膜からなる偏光分離膜75が配置されている。また、プリズム73とプリズム74との間には、アルミニウム膜や無機物の多層膜からなる反射膜76が配置されている。偏光方向がランダムな光線77がプリズム72に入ると、偏光分離膜75で、P偏光成分の光とS偏光成分の光とに分離される。P偏光成分の光は偏光分離膜75を透過し、プリズム71を通って外へ出ていく。一方、S偏光成分の光78は、偏光分離膜75で反射され、プリズム73に入り、さらに反射膜76で反射されて、外へ出ていく。このように、偏光分離装置70は、入射した光を二種類の直線偏光光に分離する機能を有している。さらに、このような偏光分離装置の偏光光出射面に位相差板を設けて、2種類の偏光光を1種類の偏光光に揃えることにより、偏光変換装置を構成することができる。このようにして構成した偏光変換装置は、特定の偏光光を用いる装置において、光の利用効率を向上させるために利用される。
【0003】
図9に示した偏光分離装置70は、図10に示すような方法で製造される。すなわち、まず、略平行四辺形の断面を有する板状の形状を有する偏光分離装置ブロック70aを製造する。偏光分離装置ブロック70aは、平行四辺形の断面を有する角柱状部材を複数貼り合わせた構成である。その後、図10に一点鎖線Cで示すように、その両側端部の角柱状部材が三角柱の形状となるように切断加工を施し、略直方体形状の偏光分離装置を得る。このような切断加工が行われるのは、略直方体形状の方が、投写型表示装置等の光学装置に組み込み易いからである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
上記の切断工程においては、切断対象である偏光分離装置ブロック70aを固定する。そして、切断歯を偏光分離装置ブロックに対して固定台がある側と逆の側から接近させて、切断加工を行う。切断歯の切り込みは、どちらの端部を切断する場合も同じ側から行うようにした方が、便利である。
【0005】
しかし、同じ側から切断歯を切り込ませようとすると、図10に示すように、偏光分離装置ブロックの両端のどちらか一方(図10において左側)は平行四辺形断面の角に切断歯を切り込ませることになる。そのような加工においては、切断位置は切断が進行するにつれて平行四辺形の斜辺に相当する側面の方にずれていきやすいという問題があった。
【0006】
本発明は、従来技術における上述の課題を解決するためになされたものであり、切り込み位置ずれの少ない偏光分離素形材の切断加工を行うことを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段およびその作用・効果】
上述の課題の少なくとも一部を解決するため、本発明においては、一方の表面に偏光分離膜が形成された板状部材を少なくとも一部に含む複数の板状部材を互いに接着して積層体を形成する。そして、板状部材の積層体を板状部材の表面に対し所定の角度で切断し、断面が略平行四辺形である複数の角柱状部材が互いに接着されている構成の略平板状の偏光分離装置ブロックを形成する。その後、偏光分離装置ブロックの少なくとも一方の端部から、略台形の断面を有する角柱形状の被切断部材を切り離して、略直方体形状の偏光分離装置を形成する。
【0008】
この態様においては、平行四辺形断面の複数の角柱状部材が互いに接着されている構成の略平板状の偏光分離装置ブロックの端部から、略台形の断面を有する角柱形状の被切断部材を切り離している。このため、切断の際には略平板状の偏光分離装置ブロックの平らな部分に切断歯を切り込ませることができ、切り込み位置がずれる可能性が低い。また、得られる偏光分離装置は略直方体形状であるため、様々な機器に使用しやすい。
【0009】
なお、被切断部材の断面の略台形形状の上底の長さは、切断歯の歯厚の半分よりも大きな値に設定されていることが好ましい。このような態様とすれば、切断歯の外側の面も、偏光分離装置ブロックの表面の端よりも内側に位置することとなる。このため、切断歯の切り込み位置がずれる可能性を低減させる効果を、より確実なものとすることができる。
【0010】
また、積層体を形成する工程においては、積層体の最も外側に位置する2枚の板状部材のうちの少なくとも一方の板状部材の厚みが、その間に接着される板状部材の厚みよりも大きく、略台形の断面を有する角柱形状の被切断部材を切り離す工程においては、積層体の最も外側に位置し厚みが大きく設定されていた上記板状部材であった部分から、被切断部材が切り離されることが好ましい。
【0011】
積層体の最も外側に位置する板状部材は、積層体から偏光分離装置ブロックを切り出すと、偏光分離装置ブロックの側端部の角柱状部材を構成することとなる。よって、このような態様とすれば、側端部の角柱状部材の断面を大きくすることができ、第3の工程において、そこから略台形の断面を有する角柱形状の被切断部材を切り離すことができる。
【0012】
なお、略台形の断面を有する角柱形状の被切断部材を切り離す工程においては、偏光分離装置ブロックの両端を切断し、両端部の切断は、いずれも略平板状の偏光分離装置ブロックの一方の側から切断歯を切り込ませることによって行われることが好ましい。
【0013】
このような態様とすれば、切断設備を簡単なものとすることができる。すなわち、偏光分離装置ブロックを反転させる必要がなく、また、偏光分離装置ブロックを挟んで両側に切断歯の設備を設ける必要がない。そして、たとえば、同一の切断歯を位置を変えて2回送ることで、偏光分離装置ブロックの両端を切り落とすことができる。また、偏光分離装置ブロックの両側端を切断する態様においては、両端のうちの一方については、偏光分離装置ブロックの端面と上面とがなす角部の近辺に切り込むこととなる。そのような場合には、角部によって切断歯の切り込み位置が端面側にずれる可能性が高い。しかし、上記のような態様とすれば、切断歯は、台形断面の上底の側の面に切り込むこととなり、偏光分離装置ブロックの平らな部分に切り込むこととなるため、切り込み位置がずれる可能性が低い。
【0014】
なお、本発明は、以下に示すような種々の態様で実現することが可能である。
(1)偏光分離装置の製造装置。
(2)偏光分離装置の製造方法。
(3)上記の装置や方法を実現するためのコンピュータプログラム。
(4)上記の装置や方法を実現するためのコンピュータプログラムを記録した記録媒体。
(5)上記の装置や方法を実現するためのコンピュータプログラムを含み搬送波内に具現化されたデータ信号。
【0015】
【発明の実施の形態】
A.実施例:
次に、本発明の実施の形態を実施例に基づき説明する。
(1)偏光ビームスプリッタアレイの製造
図1および図2は、この発明の第1実施例である偏光ビームスプリッタアレイを製造する主要な工程を示す工程断面図である。図1(A)の工程では、それぞれ板状の複数の第1の透光性部材321と、複数の第2の透光性部材322と、ダミーガラス324とが準備される。第1の透光性部材321のほぼ平行な2つの表面(膜形成面)のうちで、一方の表面上には偏光分離膜331が形成されている。また、他方の表面上には、反射膜332が形成されている。第2の透光性部材322とダミーガラス324の表面上には、これらの膜のいずれも形成されていない。
【0016】
第1と第2の透光性部材321,322としては、板ガラスが用いられる。ただし、ガラス以外の透光性の板状材料を用いることも可能である。また、第1と第2の透光性部材の一方を、他方とは異なる色を有する材料を用いるようにするようにしてもよい。こうすれば、偏光ビームスプリッタアレイとして完成した後に、2つの部材の区別をつけやすいという利点がある。たとえば一方の部材を、無色透明な板ガラスで形成し、他方を青色で透明な板ガラスで形成するようにしてもよい。なお、板ガラスとしては、磨き板ガラスやフロートガラスが好ましく、特に、磨き板ガラスが好ましい。
【0017】
偏光分離膜331は、s偏光とp偏光のいずれか一方を選択的に透過させ、他方を選択的に反射する性質を有する膜である。通常は、このような性質を有する誘電体多層膜を積層することによって偏光分離膜331が形成される。
【0018】
反射膜332は、誘電体多層膜を積層することによって形成される。もちろん、反射膜332を構成する誘電体多層膜は、偏光分離膜331を構成するものとは異なる組成および構成を有している。反射膜332としては、偏光分離膜331で反射された直線偏光成分(s偏光またはp偏光)のみを選択的に反射し、他の直線偏光成分は反射しないような誘電体多層膜で構成されたものが好ましい。
【0019】
反射膜332は、アルミニウムを蒸着することによって形成するようにしてもよい。誘電体多層膜で反射膜332を形成した場合には、特定の直線偏光成分(たとえばs偏光)を約98%程度の反射率で反射することができる。一方、アルミニウム膜では、反射率は高々92%程度である。従って、誘電体多層膜で反射膜332を形成するようにすれば、偏光ビームスプリッタアレイから出射される光量を高めることができる。さらに、誘電体多層膜は、アルミニウム膜よりも光の吸収が少ないので、発熱も少ないという利点もある。なお、特定の直線偏光成分の反射率を向上させるには、反射膜332を構成する誘電体多層膜(通常は2種類の膜が交互に積層された構造である)を構成するそれぞれの膜の厚さ、あるいは膜の材料を最適化すれば良い。
【0020】
一方、ダミーガラス324は、偏光分離膜や反射膜が形成されていない平坦な板ガラスである。ダミーガラス324は、最終的には偏光ビームスプリッタの端部を構成する部材であり、その厚みは第1や第2の透光性部材321,322の厚みよりも厚く設定されている。
【0021】
図1(B)の工程では、第1と第2の透光性部材321,322が光学接着剤によって交互に貼り合わされ、その最上層と最下層にはダミーガラス324が貼り合わされる。この結果、光学接着剤層325が、ダミーガラス324と反射膜332との間、偏光分離膜331と第2の透光性部材322との間、透光性部材322と反射膜332との間、偏光分離膜331とダミーガラス324との間にそれぞれ形成される。なお、図1および図2では、図示の便宜上、各層331,332,325の厚みが誇張されている。また、貼り合わされるガラスの枚数についても省略されている。
【0022】
図2(A)の工程では、貼り合わされた透光性部材321,322およびダミーガラス324の表面にほぼ垂直な方向から紫外線を照射することによって、光学接着剤層325を硬化させる。紫外線は、誘電体多層膜を通過する。この実施例では、偏光分離膜331と反射膜332が、それぞれ誘電体多層膜で形成されている。従って、図2(A)に示すように、透光性部材321,322およびダミーガラス324の表面にほぼ垂直な方向から紫外線を照射することによって、複数の光学接着剤層325を同時に硬化させることができる。
【0023】
一方、反射膜332をアルミニウムの蒸着で形成した場合には、紫外線がアルミニウム膜で反射されてしまう。従って、この場合には、図2(A)に破線で示すように、紫外線を透光性部材321,322の表面にほぼ平行な方向から照射する。この時、紫外線を入射する側と反対側の部分では、紫外線による光学接着剤層325の照射効率が低下する。従って、光学接着剤層325が硬化するまでに比較的長い時間が必要になる。一方、反射膜332を誘電体多層膜で形成するようにすれば、透光性部材321,322の表面に平行でない方向から紫外線を照射できるので、比較的短時間で効率よく光学接着剤層325を硬化させることができる。以上のようにして積層体が形成されるが、この工程は、一方の表面に偏光分離膜が形成された板状部材を少なくとも一部に含む複数の板状部材を互いに接着するものであれば他の方法であってもよい。
【0024】
図2(B)の工程では、こうして互いに接着された複数の透光性部材321,322、ダミーガラス324からなる積層体を、その表面と所定の角度θをなす切断面(図中、破線で示す)でほぼ平行に切断することによって、光学素子ブロック(偏光分離装置ブロック)320’が切り出される。θの値は、約45度とすることが好ましい。この角度が、最終的に光ビームスプリッタアレイにおいて、偏光分離膜331、反射膜332が後述する光入射面320i、光出射面320oとなす角を規定する。
【0025】
図3は、こうして製造された光学素子ブロック320’を示す斜視図である。この図からわかるように、光学素子ブロック320’は、それぞれ断面が平行四辺形の柱状の第1と第2の透光性部材321,322が、交互に貼り合わされた形状を有している。そして両端には、同様に平行四辺形断面であるが第1と第2の透光性部材321,322に比べて幅の広いダミーガラス324が貼り合わされている。この後、この光学素子ブロック320’の鋭角をなす両側端を切除して直方体に整形し、その表面(切断面)を研磨することによって、偏光ビームスプリッタアレイを得ることができる。
【0026】
なお、この光学素子ブロック320’は、互いに平行な光入射面と光射出面とを有し前記光入射面に入射した光の偏光分離を実行する偏光分離部(本実施例においては第1と第2の透光性部材の繰り返し構造がこれに相当する。)と、光入射面及び光射出面とそれぞれ同一平面を構成する第1と第2の面を有し偏光分離部の少なくとも一方の端部に設けられた被切断部(本実施例においてはダミーガラスがこれに相当する。)と、を備えた略平板状の光学素子ブロックとすることができる。また、本実施例では、光学素子ブロックの両端部にダミーガラスを設けているが、片側にのみ設ける構成としても良い。
【0027】
(2)偏光ビームスプリッタアレイの両端部の切断
図4は、光学素子ブロック320’の両側端部を切断して端面を垂直な面に加工する工程を示す説明図である。切り出された光学素子ブロック320’は、薄い略平行四辺形の断面を有する略平板状の部材である。その光学素子ブロック320’の薄い平行四辺形断面の両端の鋭角部分を、平板の上下の表面、すなわち光入射面320iと光出射面320oにほぼ垂直に切断することによって、略直方体の偏光ビームスプリッタアレイ320(図5)を得る。この工程は、光学素子ブロック320’を構成する角柱状部材による繰り返し構造の縞の方向(角柱部材の軸方向)に沿って、回転歯である1枚の切断歯900を2回送ることにより行われる。なお、同一の切断歯を2回送るのではなく、光学素子ブロック320’に対して同じ側に設けられた一対の切断歯を一回送ることで、両端の切断加工を行うこととしてもよい。
【0028】
このとき、切断歯900の回転軸は、固定台上に接着固定された光学素子ブロック320’の上面すなわち光入射面320iよりも上方にあり、切断歯900は光学素子ブロック320’に対して光入射面320i側から切り込む。その際、左端のダミーガラス324Lに対して切り込む切断歯900の切り込み位置は、切断歯900の歯厚の中心が光入射面320iの端から所定の距離Wだけ内側となる位置である。Wは、{(切断歯900の厚み)/2}より長い寸法である。ここでは、Wは10mmとする。一方、右側のダミーガラス324Rに対して切り込む切断歯900の切り込み位置は、同様に、切断歯900の歯厚の中心が光出射面320oの端から距離Wだけ内側となる位置である。その結果、切断歯900によって切除される部分は、図4に示すように、ダミーガラス324の表面であった面を斜辺とし、光入射面320iと光出射面320oを向かい合う2辺とする台形断面を有する。台形断面の上底(台形の向かい合う平行な二辺のうちの短い方の辺)の長さは、切断歯900の厚みの分だけ光学素子ブロック320’が削られた結果、{W−(切断歯900の厚み)/2}である。
【0029】
その後、両端を切断された光学素子ブロック320’の光入射面320iおよび光出射面320oは、それぞれ平坦に研磨される。図5は、こうして作成された偏光ビームスプリッタアレイ320の斜視図である。
【0030】
(3)本実施例の効果
本実施例においては、平行四辺形断面を有する平板状の光学素子ブロック320’の両端部を切断して、略直方体形状の偏光ビームスプリッタアレイ320を得ている。このようにして得られる略直方体形状の偏光ビームスプリッタアレイ320は、投写型表示装置等の光学装置に組み込む際に便利である。
【0031】
また、本実施例においては、偏光ビームスプリッタアレイ320に対して同じ側から切断歯900を切り込むこととしているため、同一の切断歯900を2回送ることで偏光ビームスプリッタアレイ320の両側端を切断することができる。また、そのような場合には、両端のうちの一方については、端面(本実施例においては、もともとダミーガラス324Lの表面であった面)と上面(光入射面320i)とが鈍角をなす角部の近辺に切り込むこととなる。そのような場合には、2面が鈍角をなす角部によって切断歯の切り込み位置が端面側にずれる可能性が高い。しかし、本実施例においては、切断歯900の切り込み位置は、切断歯900の歯厚の中心が光入射面320iの端から所定の距離Wだけ内側となる位置である。このため、偏光ビームスプリッタアレイ320の光入射面320iの平らな部分に切断歯900を切り込ませることができ、切り込み位置がずれる可能性が低い。また、当初から切断歯900の両側に偏光ビームスプリッタアレイ320の素材がある状態で切り進むことができ、切断歯900が片側からのみ圧力を受けるということがないため、切り進むうちに切断歯900の送りがずれる可能性が低い。さらに、同様の理由から、切断歯900の片減りも低減できる。なお、本実施例においては、切り込み位置は切断歯900の歯厚の中心が光入射面320iの端から10mmだけ内側となる位置であるとしたが、切り込み位置はこれに限られるものではなく、端から{(切断歯900の厚み)/2}の位置よりも内側の任意の位置とすることができる。すなわち、ダミーガラス324L(被切断部)の表面または裏面の端部から所定の距離だけ内側に離れた切断位置に切断歯を当てて、前記被切断部を切断するものであればよい。
【0032】
また、両側の被切断部分が略台形の断面形状を有するため、それぞれ台形断面の上底または下底(台形の向かい合う平行な二辺のうちの長い方の辺)が、偏光分離装置ブロックを固定している固定台に接することとなる。このため、被切断部分が固定台に接している面積を十分大きく確保しておけば、すなわち、切断歯を切り込ませる位置を端から十分内側にすれば、切除後も被切断部が固定台に接着されたままで飛散することがなくなるので、切断面に割れや欠けが発生する可能性を低減することができる。
【0033】
さらに、積層体の最も外側に位置するダミーガラス324は、第1と第2の透光性部材321,322よりも厚く設けられているため、偏光分離装置ブロックの側端部の角柱状部材の断面は他の角柱状部材に比べて大きい。よって、そこから容易に略台形の断面を有する角柱形状の被切断部材を切り離すことができる。また、このため、切断面が偏光分離膜331や反射膜332にかかることがなく、偏光分離膜331や反射膜332を一部切り取ってしまうということがない。
【0034】
さらに、上記の製造方法によれば、無機物質の多層薄膜等で構成された偏光分離膜を表面に有する板ガラスと、反射膜を表面に有する板ガラスとを交互に貼り合わせた積層体から、貼り合わせ面に対して所定の角度で切り出すことにより、偏光ビームスプリッタにおける偏光分離膜と反射面の繰り返し構造を、板ガラスの厚さと数量に応じて設定できる。つまり、細かい繰り返しで、多くの繰り返し構造を薄い板の中に偏光ビームスプリッタとして、構成することが可能となり、また、各面の平行性は板ガラスの精度で決まるので、容易に精度の高い平行度が得られるとともに、偏光分離面と反射面の、繰り返しピッチの精度も高く構成することができる。さらに、光の光入射面と光出射面が均一であるため、位相差板を貼ったり、反射防止膜を付ける等の処理がしやすい。
【0035】
なお、第1の透光性部材321と、第2の透光性部材322と、ダミーガラス324とを貼り合わせて積層体を得る工程においては、以下のようにすることもできる。すなわち、1枚の第1の透光性部材321と、1枚の第2の透光性部材322とを貼り合わせることによって得られる積層体(「単位積層体」と呼ぶ)を予め複数作成しておき、これらの単位積層体を順次積層して、両端にダミーガラス324を貼り合わせるようにしてもよい。また、接着剤層を介して1つの単位積層体を積層し、接着剤層の気泡を追い出し、その後、紫外線を照射して接着剤層を硬化させるようにしてもよい。このような工程によっても、上記とほぼ同様な効果が得られる。
【0036】
なお、透光性部材321,322の厚みの精度は、それぞれの表面を研磨する際に管理することができる。また、接着剤層の厚みは、接着剤の塗布量や、気泡を追い出す工程において圧力を部材表面にわたって均一にすることにより、均一にすることが可能である。
【0037】
B.実施例のビームスプリッタアレイを使用した投写型表示装置の光学要素:
本実施例のビームスプリッタアレイを使用した投写型表示装置について説明する。図6は、実施例による偏光ビームスプリッタアレイ320の光出射面320oの一部に、λ/2位相差板321を選択的に設けた偏光変換素子を示す平面断面図である。
【0038】
図6に示す実施例の偏光変換素子の入射面からは、s偏光成分とp偏光成分とを含むランダムな偏光方向を有する入射光が入射される。この入射光は、まず、偏光分離膜331によってs偏光とp偏光とに分離される。s偏光は、偏光分離膜331によってほぼ垂直に反射され、反射膜332によってさらに反射されて、出射面326から出射される。一方、p偏光は、偏光分離膜331をそのまま透過して、λ/2位相差板381によってs偏光に変換されて出射される。従って、偏光変換素子からは、s偏光のみが選択的に出射される。
【0039】
なお、λ/2位相差板381を、第1の透光性部材321の出射面部分に選択的に設けるようにすれば、偏光変換素子からp偏光のみを選択的に出射することができる。
【0040】
図6に示す実施例の偏光ビームスプリッタアレイ320では、偏光分離膜331を透過するp偏光は、偏光ビームスプリッタアレイ320の入射面から出射面までの間に光学接着剤層325を1回通過する。また、偏光分離膜331で反射されるs偏光は、偏光ビームスプリッタアレイ320の入射面から出射面までの間に光学接着剤層325を1回も通過しない。光学接着剤層325はほぼ透明であるが、いくらか光を吸収する性質を有している。従って、光学接着剤層325を通過するたびに、光量は減少する。また、光学接着剤層325を通過する際には、偏光方向が若干変わる可能性もある。実施例の偏光ビームスプリッタアレイでは、s偏光が光学接着剤層325を通る回数が少ないので、光の利用効率がより高い。
【0041】
図7は、偏光ビームスプリッタアレイ320の光入射面側に、複数の小レンズ(集光レンズ)311がマトリクス状に配列された集光レンズアレイ310を設けた状態を示す断面図である。偏光ビームスプリッタアレイ320の光入射面には、偏光分離膜331へ入射して有効な偏光光に変換される光が入射する有効入射領域EA(偏光分離膜331に対応する光の入射面)と、反射膜332に入射して、無効な偏光光に変換される光が入射する無効入射領域UA(反射膜332に対応する光の入射面)とが、交互に配置されている。この有効入射領域EAおよび無効入射領域UAのx方向の大きさWp は、集光レンズ311のx方向の大きさWL の1/2に等しい。また、集光レンズ311の中心(レンズ光軸)311cは、有効入射領域EAのx方向の中心と等しくなるように配置されている。有効入射領域EAは、偏光分離膜331を、偏光ビームスプリッタ320の光入射面に投影した領域に相当する。従って、偏光分離膜331のx方向のピッチは、集光レンズ311のレンズ光軸311cのx方向のピッチに等しく設定されている。
【0042】
なお、図7の右端の集光レンズ311には、対応する偏光分離膜331や反射膜332が形成されていない。これは、端部の集光レンズ311を通過する光量が比較的少ないので、これらの膜を設けなくても光の利用効率にあまり影響がないためである。
【0043】
図8は、本発明を適用した投写型表示装置の一例を示す概略構成図である。投写型表示装置800は、照明光学系1と、色光分離光学系816と、リレー光学系850と、3枚の液晶ライトバルブ803,805,811と、クロスダイクロイックプリズム813と、投写光学系814とを備えている。
【0044】
照明光学系1は、偏光発生光学系を備えており、偏光方向の揃った1種類の直線偏光光を射出する。照明光学系1から射出された光は、色光分離光学系816において赤(R)、緑(G)、青(B)の3色の色光に分離される。分離された各色光は、液晶ライトバルブ803,805,811において画像情報に対応して変調される。ここで、液晶ライトバルブ803,805,811は、電気光学装置に相当する液晶パネルと、その光入射面側および光射出面側に配置された偏光板とによって構成されている。液晶ライトバルブ803,805,811において変調された各色光は、クロスダイクロイックプリズム813で合成され、投写光学系814によってスクリーン815上に投写される。これにより、スクリーン815上に画像が表示されることとなる。
【0045】
この投写型表示装置800においては、照明光学系1は、第1の光学要素200と、第2の光学要素300とを備えている。第1の光学要素200は矩形状の輪郭を有する微小な光束分割レンズ201が縦横に複数配列された構成を有している。この第1の光学要素200は、光源光軸Rが第1の光学要素200の中心に一致するように配置されている。
【0046】
一方、第2の光学要素300は、集光レンズアレイ310と、本実施例の偏光ビームスプリッタアレイ320と、選択位相差板380と、出射側レンズ390とを備えている。選択位相差板380は、λ/2位相差板381が第2の透光性部材322の出射面部分にのみ形成されており、第1の透光性部材321の出射面部分は無色透明となっている板状体である。偏光ビームスプリッタアレイ320は略直方体形状となっているため、装置への組み込みが容易であり、組み込みの精度が出しやすい。また、本実施例の偏光ビームスプリッタアレイ320は、製造工程において割れ、欠けが発生しにくく、製品精度が高いため、投写型表示装置は、高品質の画像を投射することができる。
【0047】
なお、図8に示すような投写型表示装置の各部の構成および機能については、例えば、本願出願人によって開示された特開平10−90520号公報および特開平10−325954号公報に詳述されているので、本明細書において詳細な説明は省略する。
【0048】
C.その他:
なお、この発明は上記の実施例や実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能であり、例えば次のような変形も可能である。
【0049】
上記実施例では、板ガラスを用いて偏光分離装置を作成していたが、板ガラスに限らず、光学ガラスやプラスチック等の他の透光性基板を用いることも可能である。
【0050】
また、本実施例では、偏光ビームスプリッタアレイの両側について、端から等しい距離Wだけ内側の位置を切断加工するものとしたが、両側のうち、切断歯を角部に切り込ませる必要がない方(図4において右側の側端部)の切断加工においては、他方よりも切断位置の端からの距離を短くしてもよい。そうすることで、偏光ビームスプリッタアレイの左右両端のプリズムの形状が異なるものとなるため、光入射面と光射出面とが区別しやすくなる。また、切除する素材を少なくすることもできる。さらに、両側のうち、切断歯を角部に切り込ませる必要がない方の切断加工においては、距離Wを0として、三角形断面を有する部材を切除するものとしてもよい。そのようにすれば、切除する素材をより少なくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施例である偏光ビームスプリッタアレイを製造する主要な工程を示す工程断面図。
【図2】この発明の実施例である偏光ビームスプリッタアレイを製造する主要な工程を示す工程断面図。
【図3】実施例による光学素子ブロック320’を示す斜視図。
【図4】図3の光学素子ブロックの両側端部を切断して端面を垂直な面に加工する工程を示す説明図。
【図5】偏光ビームスプリッタアレイの斜視図。
【図6】実施例の偏光変換素子を示す平面断面図。
【図7】偏光ビームスプリッタアレイ320の光入射面側に、複数の小レンズ(集光レンズ)311がマトリクス状に配列された集光レンズアレイ310を設けた状態を示す断面図。
【図8】偏光照明装置1を備えた投写型表示装置800の要部を示した概略構成図。
【図9】偏光ビームスプリッタの斜視図。
【図10】偏光ビームスプリッタアレイの両側端部を切断して端面を垂直な面に加工する従来の工程を示す説明図。
【符号の説明】
1…偏光照明装置
10…光源部
20…偏光発生装置
22…偏光ビームスプリッタアレイ
30…偏光ビームスプリッタ
32,34,42,44…直角プリズム
36…偏光分離膜
40…プリズム
46…反射膜
71…プリズム
72…プリズム
73…プリズム
74…プリズム
75…偏光分離膜
76…光線
77…透過光
78…S偏光光線
80…投写型表示装置
90…照明領域
101…光源ランプ
102…放物面リフレクター
200…第1の光学要素
201…光束分割レンズ
202…中間光束
300…第2の光学要素
310…集光レンズアレイ
311…集光レンズ
320…偏光ビームスプリッタアレイ
320i,320o…偏光ビームスプリッタアレイ
321…第1の透光性部材
322…第2の透光性部材
324,324L,324R…ダミーガラス
325…光学接着剤層
326…出射面
327…入射面
331…偏光分離膜
332…反射膜
340…遮光プレート
341…遮光部
342…透光部
380…選択位相差板
381…λ/2位相差板
390…出射側レンズ
800…投写型表示装置
801…青光緑光反射ダイクロイックミラー
802,807,809…反射ミラー
803,805,811…液晶パネル
804…緑光反射ダイクロイックミラー
806…入射レンズ
807…反射ミラー
808…リレーレンズ
809…反射ミラー
810…出射レンズ
813…クロスダイクロイックプリズム
814…投写レンズ
815…スクリーン
850…導光手段
900…切断歯

Claims (5)

  1. 入射した光を2種類の直線偏光光に分離する偏光分離装置の製造方法であって、
    (a)一方の表面に偏光分離膜が形成された板状部材を少なくとも一部に含む複数の板状部材を互いに接着して積層体を形成する第1の工程と、
    (b)前記板状部材の積層体を前記板状部材の表面に対し所定の角度で切断し、断面が略平行四辺形である複数の角柱状部材が互いに接着されている構成の略平板状の偏光分離装置ブロックを形成する第2の工程と、
    (c)前記偏光分離装置ブロックの少なくとも一方の端部から、略台形の断面を有する角柱形状の被切断部材を切り離して、略直方体形状の偏光分離装置を形成する第3の工程と、
    を有することを特徴とする偏光分離装置の製造方法。
  2. 請求項1に記載の偏光分離装置の製造方法であって、
    前記被切断部材の断面の略台形形状の上底の長さは、前記切断歯の歯厚の半分よりも大きな値に設定されている偏光分離装置の製造方法。
  3. 請求項1記載の偏光分離装置の製造方法であって、
    前記第1の工程において、積層体の最も外側に位置する2枚の板状部材のうちの少なくとも一方の板状部材の厚みが、その間に接着される板状部材の厚みよりも大きく、
    前記第3の工程において、積層体の最も外側に位置し厚みが大きく設定されていた上記板状部材であった部分から、被切断部材が切り離される、偏光分離装置の製造方法。
  4. 請求項1記載の偏光分離装置の製造方法であって、さらに、
    (d)前記工程(c)の前に、前記偏光分離装置ブロックを固定台に接着固定する工程を備える、偏光分離装置の製造方法。
  5. 請求項1ないし4のいずれかに記載の偏光分離装置の製造方法であって、
    前記第3の工程において、前記偏光分離装置ブロックの両端を切断し、
    前記両端部の切断は、いずれも前記略平板状の偏光分離装置ブロックの一方の側から切断歯を切り込ませることによって行われる、偏光分離装置の製造方法。
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Families Citing this family (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU2001284042A1 (en) * 2000-08-31 2002-03-13 Bundesdruckerei Gmbh A certified paper and an apparatus for discriminating the genuineness thereof
JP3681343B2 (ja) * 2001-06-07 2005-08-10 日東電工株式会社 積層光学フィルムとその製造方法及びこれを用いた液晶表示装置
US20030016425A1 (en) * 2001-07-19 2003-01-23 Tan Tun Sein Polarization diversity receiver with planar waveguide and polarizing beam splitter
JP2003107406A (ja) * 2001-09-28 2003-04-09 Akihiro Fujimura 画像表示システム
US6870676B2 (en) * 2003-01-27 2005-03-22 Daniel Lee Stark Layered micro optics polarization converter
TWI234775B (en) * 2003-04-09 2005-06-21 Hon Hai Prec Ind Co Ltd Optical pick-up device
KR20060084356A (ko) * 2003-04-16 2006-07-24 업스트림 엔지니어링 오와이 2d/3d 데이터 프로젝터
FI118991B (fi) * 2004-02-09 2008-06-13 Upstream Engineering Oy Menetelmä kolmiulotteisten optisten komponenttien valmistamiseksi
WO2005075182A1 (en) * 2004-02-09 2005-08-18 Upstream Engineering Oy Method for manufacturing three dimensional optical components
US20060139575A1 (en) * 2004-12-23 2006-06-29 Upstream Engineering Oy Optical collection and distribution system and method
US20060228094A1 (en) * 2005-04-08 2006-10-12 Upstream Engineering Oy Method for manufacturing beam-shaping components
GB2425846A (en) * 2005-04-20 2006-11-08 Bookham Technology Plc Multi component beam splitter with individual surface coatings
US10048499B2 (en) 2005-11-08 2018-08-14 Lumus Ltd. Polarizing optical system
JP4607810B2 (ja) * 2006-04-17 2011-01-05 富士フイルム株式会社 偏光フィルタ及び偏光フィルタの製造方法
BRPI0716036A2 (pt) * 2006-08-10 2013-09-24 Upstream Engineering Oy mÉtodo e dispositivo iluminador
JP2008116898A (ja) * 2006-10-11 2008-05-22 Fujinon Sano Kk 光学フィルタ、投射型表示装置及び光学フィルタの製造方法
WO2008065188A1 (en) * 2006-11-30 2008-06-05 Upstream Engineering Oy Beam shaping method and apparatus
TW200900837A (en) * 2006-11-30 2009-01-01 Upstream Engineering Oy Beam shaping component and method
US7961392B2 (en) * 2006-12-28 2011-06-14 Ricoh Company, Ltd. Polarization beam splitter and polarization conversion element
CN101419354B (zh) * 2007-10-25 2010-10-13 达信科技股份有限公司 取片装置
JP2009169279A (ja) * 2008-01-18 2009-07-30 Nitto Denko Corp 偏光板およびそれを用いた画像表示装置
JP2010250276A (ja) * 2009-03-27 2010-11-04 Seiko Epson Corp 光学物品及び光学物品の製造方法
US20100284201A1 (en) * 2009-05-06 2010-11-11 Upstream Engineering Oy Illuminator using non-uniform light sources
JP5541056B2 (ja) * 2010-10-01 2014-07-09 セイコーエプソン株式会社 偏光変換素子、偏光変換ユニット、投射装置、及び偏光変換素子の製造方法
JP5953835B2 (ja) * 2011-09-07 2016-07-20 セイコーエプソン株式会社 プロジェクター
CN103424878B (zh) * 2012-12-02 2015-11-25 上海理工大学 偏振分光装置
US9740030B2 (en) 2013-05-23 2017-08-22 Omnivision Technologies, Inc. Near-eye display systems, devices and methods
CN105339818B (zh) * 2013-06-27 2018-07-06 迪睿合株式会社 偏振光转换器、偏振光转换器的制造方法以及光学设备
US9851575B2 (en) * 2014-05-15 2017-12-26 Omnivision Technologies, Inc. Wafer-level liquid-crystal-on-silicon projection assembly, systems and methods
US9927619B2 (en) 2015-11-06 2018-03-27 Omnivision Technologies, Inc. Pupillary adjustable head mounted device
JP7052644B2 (ja) * 2018-08-29 2022-04-12 株式会社Jvcケンウッド 投射型画像表示装置
CN113661359A (zh) * 2019-04-15 2021-11-16 鲁姆斯有限公司 制造光导光学元件的方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2600868B2 (ja) * 1988-09-12 1997-04-16 富士通株式会社 光学製品とその製造方法
US5096520A (en) * 1990-08-01 1992-03-17 Faris Sades M Method for producing high efficiency polarizing filters
US5221982A (en) * 1991-07-05 1993-06-22 Faris Sadeg M Polarizing wavelength separator
JPH0682623A (ja) * 1992-08-31 1994-03-25 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光ビーム分離素子及びその作製方法
JPH0654003U (ja) * 1992-12-22 1994-07-22 キヤノン株式会社 偏光素子
JP3374573B2 (ja) * 1995-02-20 2003-02-04 松下電器産業株式会社 光ピックアップ及び光ガイド部材
TW401530B (en) * 1996-03-12 2000-08-11 Seiko Epson Corp Polarized light separation device, method of fabricating the same and projection display apparatus using the polarized light separation device
JP3486516B2 (ja) 1996-07-25 2004-01-13 セイコーエプソン株式会社 光学素子
JP3632436B2 (ja) 1997-03-28 2005-03-23 セイコーエプソン株式会社 照明光学系、およびこれを用いた投写型表示装置
JPH1184318A (ja) * 1997-09-01 1999-03-26 Seiko Epson Corp 偏光変換体及びそれを用いた液晶装置並びに電子機器及び投写型表示装置

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