JP3626576B2 - 磁気光学素子 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ディスプレイへの応用に適した磁気光学素子に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、磁気光学効果（ファラデー効果ないしは磁気光学カー効果）を示す磁性体は、例えば、光磁気ディスクに利用されて情報の書込み・再生が可能とされている。この他、磁気光学効果を示す透明磁性体を用いこの透明磁性体に対して磁気ヘッドを用いて画像の書込みを行い、光を照射させることでファラデー回転の有無により画像を表示させるディスプレイへの応用も検討されている。
【０００３】
ここに、磁気光学効果は、右及び左円偏光によって起こされる電子遷移の差異から生ずることが知られている。この差異を大きくして磁気光学効果を増大させる試みが、文献「磁気光学効果を大きくするための指針」（日本応用磁気学会誌，Ｖｏｌ．８．Ｎｏ．５，１９８４ ｐ．３６６〜３７０）（文献１とする）等により報告されている。
【０００４】
第１の試みとして、Ｂａフェライトを用いた場合に、ＢａＦｅ１２Ｏ１９中のＦｅをＣｏによって置換する方法がある（例えば、“Ｐｒｏｃ．Ｉｎｔ．Ｓｙｍｐ．ｏｎ ＯｐｔｉｃａｌＭｅｍｏｒｙ．１９８７ Ｊａｐａｎｅｓｅ Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ａｐｐｌｉｅｄ Ｐｈｙｓｉｃｓ，Ｖｏｌ．２６（１９８７）Ｓｕｐｐｌｅｍｅｎｔ ２６−４ ｐｐ２３〜２６”中の“Ｂａ−Ｆｅｒｒｉｔｅ Ｍａｇｎｅｔｏ−ｏｐｔｉｃａｌ Ｒｅｃｏｒｄｉｎｇ Ｍｅｄｉａ” 参照…文献２とする）。この方法の場合、Ｃｏの置換量にもよるが、ファラデー効果が数倍増大することが確認されている。
【０００５】
第２の試みとして、同様に元素置換法であるが、鉄ガーネットの希土類イオンの一部をＢｉ（３＋）イオンで置換する方法がある（文献１中のｐ．３６８参照）。この方法の場合も、ファラデー回転角が増大することが知られている。加えて、可視域の吸収率が殆ど増加しないため、ディスプレイにおけるコントラスト向上には都合がよい。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、第１のＣｏ置換方法による場合、文献２中にも記載されているように、効果が増大する波長域は７００〜８００ｎｍであり、ディスプレイとして必要な波長域５００〜７００ｎｍ（５００〜６００ｎｍ位が人間の目で最も感じる波長域である）では殆ど効果がないものである。また、エピタキシャル成長法を用いて製造するため、基板が制約を受けるとか、基板温度が６００℃以上と異常に高温であることが必要とされる、といった不都合もある。
【０００７】
第２のＢｉ（３＋）イオン置換法による場合、ファラデー回転角が増加する波長域が５２０ｎｍ付近で好都合であるが、製造プロセスで要求される基板温度が６００℃以上といった高温であり、大きな面積のものを作製するのは困難で、ディスプレイへの適用化を図る上では好ましくない。
【０００８】
また、Ｂａフェライトの場合のファラデー回転角は１°／μｍ位、Ｂｉ置換ガーネットの場合のファラデー回転角は６°／μｍ位である。ディスプレイへの適用を考えた場合、ファラデー回転角はできるだけ大きい方がコントラストがよく、上記の６°／μｍ位ではコントラスト１程度であるので、ディスプレイ用としてはファラデー回転角１０°／μｍ以上、できれば２０°／μｍ以上あることが好ましい。従って、従来法ではファラデー回転角の増大効果が不十分である。
【０００９】
一方、第２の方法におけるＢｉ置換ガーネットの場合、薄膜としてではなく、共沈法により作製した平均粒径１０００Å以下の粉末を用いて製造することができる。この場合、結着剤と基板とが必要となるが、素子作製時には高温とする必要がなく、均一塗布さえ可能であれば大面積化も可能である。しかし、薄膜による場合に比して、結着剤の分だけ単位厚み当りのファラデー回転角が減少し、かつ、粉末は１０００Å以下の粒径とすると光の透過率はよいが薄膜の場合よりも光の散乱による透過率の減少は避けられない。
【００１０】
一般論としても、何れの磁性体の場合も、その層厚を厚くすれば、ファラデー回転角は増大するが、光の透過率が低下するため、薄くて（つまり、透過率がよくて）大きなファラデー回転角が得られる磁気光学素子が望まれる。
【００１１】
そこで、本発明は、一般的な磁気光学材料を用いながら、大きなファラデー回転角を得ることができ、大面積化等を容易に図れ、ディスプレイへの適用に適した磁気光学素子を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明の磁気光学素子は、平均粒径１０００Å以下の磁性体の超微粒子と結合剤とにより形成され垂直磁気異方性を有する透明磁性層と、屈折率の異なる２種類の多数の透明誘電体膜が交互に積層されて前記透明磁性層を挾むことで光を局在させて前記透明磁性層の磁気光学効果を増大させる一対の多層膜と、これらの多層膜の外面に配設された一対の偏光子と、を備え、前記透明磁性層の所望の部分に磁気記録させるようにした。従って、透明磁性層が透明誘電体膜による一対の多層膜により挾まれた構造となっているので、入射した光は多層膜中で多重反射が生じてその光のエネルギーが多層膜間の透明磁性層に蓄えられる局在化現象が生ずる。即ち、屈折率の異なる２種類の透明誘電体膜による多層膜の中心にさらに異なる屈折率の物質層（透明磁性層）を配置すると、中心の物質層に光が局在化する現象が生ずる。この結果、透明磁性層の磁気光学効果が増大し、ファラデー回転角が増大することになる。また、透明磁性層は、平均粒径１０００Å以下の磁性体の超微粒子と結合剤とにより形成されているので、透明磁性層を薄く形成できその透明性が向上するとともに、多層膜との接触面の状態が滑らかとなって空気等の入り込みにくい界面構造となり光のロスがなくなるため、光を局在化させるための光閉じ込めが確実となり、ファラデー回転角の増大を簡単かつ確実に実現できる。さらに、透明磁性層は、垂直磁気異方性を有する磁性材料により形成されており、光とスピンとが平行なときにファラデー効果が生ずるので、垂直磁気異方性を有する磁性材料を用いて透明磁性層を形成することにより、画像情報に基づき透明磁性層に書込みを行った場合に大きなファラデー回転角が得られ、良好なる表示を行える。加えて、多層膜の外面には一対の偏光子が配設されているので、コントラストの高い画像表示が可能となる。この際、元素置換等を利用した特殊な透明磁性層を用いる必要がなく通常の透明磁性材料でよく、基板温度も特に高温にする必要がなく、大面積化も容易である。
【００１４】
請求項２記載の発明の磁気光学素子は、平均粒径１０００Å以下の磁性体の超微粒子と結合剤とにより形成され垂直磁気異方性を有する透明磁性層と、屈折率の異なる２種類の多数の透明誘電体膜が交互に積層されて前記透明磁性層の一面側に配設され、前記透明磁性層の他面側に配設された反射層とにより当該透明磁性層を挾むことで光を局在させて前記透明磁性層の磁気光学効果を増大させる多層膜と、この多層膜の外面に配設された偏光子と、を備え、前記透明磁性層の所望の部分に磁気記録させるようにした。従って、請求項１記載の発明の場合と同様に磁気光学効果の増大及びコントラストの高い画像表示が可能となるが、多層膜側から透明磁性層に向けて入射した光は反射層で反射されて再び透明磁性層及び多層膜を経て出射するので、ファラデー回転角の増大効果が倍増される。
【００１８】
【発明の実施の形態】
本発明の第一の実施の形態を図１に基づいて説明する。本実施の形態の磁気光学素子１は、透明磁性層２を中心として、この透明磁性層２を一対の多層膜３，４、一対の透明基板５，６、及び、一対の偏光子７，８で挾んだサンドイッチ構造として形成されている。前記多層膜３，４は、各々屈折率の異なる２種類の多数の透明誘電体膜９ａ，９ｂを交互に積層させた構造体として形成されている。
【００１９】
このような構成の磁気光学素子１によれば、透明磁性層２が一対の多層膜３，４により挾まれた構造となっているので、磁気光学素子１中に入射した光は多層膜３，４中で多重反射が生じてその光のエネルギーが中心の透明磁性層２に蓄えられる局在化現象が生ずる。即ち、屈折率の異なる２種類の透明誘電体膜９ａ，９ｂによる多層膜３，４の中心にさらに異なる屈折率の透明磁性層２を配置すると、中心の透明磁性層２に光が局在化する現象が生ずる。この結果、透明磁性層２の磁気光学効果が増大し、ファラデー回転角が増大することになる。加えて、多層膜３，４の外面には一対の偏光子７，８が配設されているので、コントラストの高い画像表示が可能となる。
【００２０】
ここに、透明磁性層２の材料としては従来一般に用いられている磁気光学効果を示す透明磁性材料でよいが、例えば、平均粒径１０００Å以下の磁性体の超微粒子と結合剤とにより形成することが好ましい。このような平均粒径１０００Å以下の磁性体の超微粒子としては、例えば、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ、又は、これらの合金の超微粒子、或いは、希土類鉄ガーネットの超微粒子などを用いることができる。コバルトフェライト、Ｂａフェライト等の酸化物の超微粒子や、ＦｅＢＯ３ ，ＦｅＦ３ ，ＹＦｅＯ３ ，ＮｄＦｅＯ３ 等の複屈折性の大きな材料であっても、超微粒子であれば利用可能である。この他、ＭｎＢｉ，ＭｎＣｕＢｉ，ＰｔＣｏ等の超微粒子も利用可能である。平均粒径１０００Å以下の超微粒子を用いれば、この透明磁性層２の両面に配設される多層膜３，４との接触面は非常に滑らかとなり、かつ、透明磁性層２自体を薄く作製できその透明性が向上する。特に、希土類鉄ガーネットの超微粒子を用いれば、逆磁歪効果により多層膜３，４に垂直な方向（積層方向）に磁気異方性を持たせることができ、ディスプレイに適用した場合、大きなファラデー回転角が得られて好ましい。即ち、光の方向と透明磁性層２に磁気ヘッド（図示せず）により磁気的に記録されたスピンの方向とが平行なときに大きなファラデー効果が生ずるためである。
【００２１】
また、多層膜３，４用の透明誘電体膜９ａ，９ｂとしては、特に制約を受けず、Ａｌ２Ｏ３，ＭｇＯ，ＢｅＯ，Ｙ２Ｏ３ ，ＳｎＯ２ ，ＩｎＯ３ ，ＳｉＯ２ ，ＺｎＯ，ＴｉＯ２ 等の材料を適宜用い得るが、最も一般的なＴｉＯ２ とＳｉＯ２ の組合せでもよい。積層する層数は、１０〜５０層程度がよい。透明基板５，６としては石英基板等が用いられる。
【００２２】
偏光子７，８の偏光面は、一方の偏光面を回転することにより、最もコントラストの付く方位に設定される。
【００２３】
本発明の第二の実施の形態を図２及び図３に基づいて説明する。前記実施の形態で示した部分と同一部分は同一符号を用いて示し、説明も省略する（以下の実施の形態でも同様とする）。本実施の形態では、片方の多層膜４、透明基板６及び偏光子８に代えて、反射層１０及び基板１１が透明磁性層２の片面に積層された磁気光学素子１２として構成されている。即ち、透過型の磁気光学素子１に対して反射型の磁気光学素子１２とされている。
【００２４】
本実施の形態による場合も、前記実施の形態の場合と同様に磁気光学効果の増大及びコントラストの高い画像表示が可能となるが、多層膜３側から透明磁性層２に向けて入射した光は、反射層１０で反射されて、再び透明磁性層２及び多層膜３を経て出射するので、ファラデー回転角の増大効果が倍増される（約２倍となる）。
【００２５】
ここに、前記反射層１０については、ＡｇやＡｌなどを用いて一般的な蒸着法やスパッタリング法などにより形成してもよく、或いは、ＴｉＯ２ ，ＭｇＯ等のような白色微粒子を接着剤と混合させた後に、基板１１上に塗布して透明磁性層２に貼付させるようにしてもよい。このような方法で形成される代表的な反射層１０としては、Ａｌ，ＳｉＯ，Ａｇ，Ａｌ２Ｏ３等がよく知られている。
【００２６】
ところで、反射型の磁気光学素子１２をディスプレイに適用した場合の画像表示の原理（コントラストの付け方）を、模式的に示す図３を参照して説明する。ここに、透明磁性層２に関して、画像部分（暗くしたい部分）は棒磁石等の磁気ヘッドにより膜厚方向に磁化された磁化部２ａ（矢印１３が磁化方向＝スピンを示している）とされ、非画像部分（明るくしたい部分）は非磁化部２ｂとされているものとする。まず、図３（ａ）に示すように偏光子７に光線が入射した場合、この偏光子７を通れる方向の偏光面１４ａ，１４ｂが多層膜３を経て透明磁性層２に入射する。図３（ｂ）に示すように透明磁性層２に入射した偏光面１４ａ，１４ｂで示される光の内、磁化部２ａに入射した光はファラデー回転角θだけ回転して反射層１０に入射するが、非磁化部２ｂに入射した光はそのまま反射層１０に入射する。図３（ｃ）に示すように反射層１０に入射した光はその偏光面状態で反射されて、図３（ｄ）に示すように、再び透明磁性層２に入射する。このとき、磁化部２ａに入射した光は再びファラデー回転角θだけ回転して（合計、２θ）、図３（ｅ）に示すように、多層膜３を経て偏光子７に向かうが、非磁化部２ｂに入射した光はそのまま多層膜３を経て偏光子７に向かう。このときの偏光面１４ａ，１４ｂの状態は、偏光面１４ａ側が偏光子７を通過できない方向に回転しているので暗くなり、偏光面１４ｂ側は偏光子７を通過できる方向のままであるので明るくなる。これにより、磁化部２ａが暗く非磁化部２ｂが明るくなるコントラストの付いた画像表示が可能となる。
【００２７】
即ち、図３に示す原理的な模式図からもわかるように、液晶ディスプレイに似た表示原理であるが、偏光面を回転させるために透明磁性層２のファラデー回転なる磁気旋光を利用しているものである。ちなみに、従来にあっては、前述したようにファラデー回転角が小さく、かつ、透明磁性層の透明性が悪かったため、磁気光学素子がディスプレイとしては利用されていなかったものである。
【００２８】
本発明の第三の実施の形態を図４に基づいて説明する。本実施の形態の磁気光学素子１５は構造的には図１に示した磁気光学素子１に極めて類似しているが、本実施の形態では、特にその製造方法が異なるものである。本実施の形態では、まず、透明基板５上に多層膜（第１の多層膜）３を形成し、次に、多層膜３上に透明磁性層２を形成し、さらに、この透明磁性層２上に多層膜（第２の多層膜）４を形成するが、薄膜法によるこれらの成膜工程を連続して行った後、透明基板５及び多層膜４の外面に各々偏光子７，８を貼付することにより磁気光学素子１５が作製されている。この場合の連続成膜法としては、一般的なＣＶＤ法、ＰＶＤ法等の薄膜法が用いられる。
【００２９】
本実施の形態によれば、多層膜３、透明磁性層２及び多層膜４の成膜工程が連続的に行われるので、透明磁性層２と多層膜３，４との界面に空気等が全く入り込むことなく積層構造を成膜することができる。この結果、光を局在化させるための光閉じ込め構造の作製が確実となり、ファラデー回転角を増大させるための構造を簡単に実現できる。また、透明基板５を加熱する必要がないので、透明基板５・多層膜３間の密着性を損なうようなこともない。
【００３０】
【実施例】
本発明の第一の実施例を図１を参照して説明する。まず、表面を研磨した厚さ０．５ｍｍの石英基板５，６上に、酸素とアルゴンとの混合ガスを用いた反応スパッタリング法によりＴｉＯ２ ／ＳｉＯ２ の積層膜を各々膜厚９００Åで１５層ずつ交互に積層させて多層膜３，４を形成した。従って、石英基板５、多層膜３のセットと石英基板６、多層膜４のセットとの２セット分が形成される。つづいて、共沈法により作製したＢｉ置換希土類鉄ガーネットの平均粒径６００Åの超微粒子（Ｂｉ２ＤｙＦｅ３．８Ａｌ１．２Ｏ１９）とナフテン酸ビスマス（トルエン溶液）を１：１の割合で混合させたボールミルを用いて、５４時間分散後、上記２つのセットの多層膜３，４の非基板側面でこの分散液を挾んで固化した。固化後の透明磁性層２の膜厚は０．３μｍであった。ちなみに、同じ分散液を石英基板上に塗布して乾燥させた０．３μｍの厚さの磁性層に対して基板面に垂直に磁界を印加して測定した場合の保磁力Ｈｃは６００Ｏｅであって、垂直磁気異方性を有しており、かつ、波長６００ｎｍの光に対する透過率は６２％であった。次に、石英基板５，６の外面側に市販のフィルム状の偏光子７，８を貼付して磁気光学素子１を完成させた。このように作製された磁気光学素子１に関して、日本分光株式会社製の磁気光学測定装置Ｋ‐２５０を用いて石英基板６上のファラデー回転角を測定したところ（使用光の波長５２０ｎｍ）、８°／μｍが得られたものである。また、偏光子７の外側から直径１ｍｍの棒磁石（表面磁束３ＫＧ）を用いて透明磁性層２に磁気記録した後、偏光子７，８の内の一方、例えば、偏光子８を回転させることで最もコントラストの付く方位に設定したところ、記録部と非記録部とで明瞭なコントラストが得られたものである。
【００３１】
ちなみに、本実施例に対する第一の比較例として、分散液の厚みを１μｍとして透明磁性層を形成し、かつ、多層膜３，４を有しない他は第一の実施例と同一条件で作製したところ、ファラデー回転角は３°／μｍに留まり、棒磁石による磁気記録を行っても記録部と非記録部とでコントラストが付かず画像は視認できなかったものである。
【００３２】
また、本実施例に対する第二の比較例として、共沈法により作製したＢｉ置換希土類鉄ガーネットの平均粒径１８００Åの微粒子を用いる他は、第一の実施例と同一条件で作製したところ、透明磁性層の保磁力Ｈｃは８００Ｏｅであり、ファラデー回転角は６．４°／μｍに留まったものである。
【００３３】
本発明の第二の実施例を図２を参照して説明する。本実施例は、基本的に前記第一の実施例に準ずるものであり、石英基板６及び多層膜４のセットは作製せず、石英基板５及び多層膜３側のセットと基板１１上に形成した２０００Åの厚さのＡｌによる反射層１０との間に透明磁性層２（材料、膜厚等は前記実施例と同じ）を形成した後、石英基板６に対してのみ市販のフィルム状の偏光子７を貼付して磁気光学素子１２を完成させた。このように作製された磁気光学素子１２に関して、棒磁石で磁気記録を行い、光を入射させたところ、記録部と非記録部とでコントラストの付いた反射像が視認できたものである。この場合のファラデー回転角は反射により２倍に倍増されており、第一の実施例の８°／μｍに対して１６°／μｍに増大したものである。
【００３４】
ちなみに、本実施例に対する第三の比較例として、多層膜３を有しない他は、第二の実施例と同一条件で作製したところ、ファラデー回転角は６°／μｍに留まったものである。また、磁気記録後の画像としてもかすかに観察し得る程度であり、コントラストの悪い反射像であった。
【００３５】
本発明の第三の実施例を図４を参照して説明する。本実施例も、基本的には、第一の実施例に準ずるが、その製造方法が異なる。まず、第一の実施例の場合と同様に、石英基板５上に多層膜３を成膜形成した後、連続して、その真空蒸着装置のチャンバー内にアルゴンガスと乾燥空気とを導入しながら鉄を蒸発させることで、鉄の超微粒子膜による透明磁性層２を３０００Åの膜厚となるように成膜形成した（平均粒径は７０Åであった）。さらに、連続させて、反応スパッタリング法で透明磁性層２の膜上に多層膜４を成膜形成した。このような連続成膜工程終了後に、外面に市販のフィルム状の偏光子７，８を貼付して磁気光学素子１５を完成させた。このような磁気光学素子１５についてファラデー回転角を測定したところ、使用光の波長依存性が少なく、波長５５０ｎｍの光の場合で９°／μｍのファラデー回転角が得られたものである。また、透明磁性層２の保磁力Ｈｃは４００Ｏｅであり、垂直磁気異方性を有していた。また、棒磁石で磁気記録した後、光を入射させて観察したところ、記録部と非記録部とで明瞭なコントラストが得られ、画像を明瞭に読み取れたものである。
【００３６】
ちなみに、本実施例に対する第四の比較例として、多層膜３，４を有しない他は、第三の実施例と同一条件で作製したところ、ファラデー回転角は波長５５０ｎｍの光に対して２．２°／μｍに留まったものである。また、棒磁石による磁気記録を行っても記録部と非記録部とでコントラストが付かず画像は視認できなかったものである。
【００３７】
【発明の効果】
請求項１記載の発明の磁気光学素子によれば、平均粒径１０００Å以下の磁性体の超微粒子と結合剤とにより形成され垂直磁気異方性を有する透明磁性層と、屈折率の異なる２種類の多数の透明誘電体膜が交互に積層されて前記透明磁性層を挾むことで光を局在させて前記透明磁性層の磁気光学効果を増大させる一対の多層膜と、これらの多層膜の外面に配設された一対の偏光子と、を備え、前記透明磁性層の所望の部分に磁気記録させるようにしたので、入射した光を局在化現象により多層膜間の透明磁性層に蓄えさせて、透明磁性層の磁気光学効果を増大させ、そのファラデー回転角を増大させることができ、この際、透明磁性層は、平均粒径１０００Å以下の磁性体の超微粒子と結合剤とにより形成されているので、透明磁性層を薄く形成できその透明性を向上させることができるとともに、多層膜との接触面の状態が滑らかとなって空気等の入り込みにくい界面構造となり光のロスがなくなるため、光を局在化させるための光閉じ込めが確実となり、ファラデー回転角の増大を簡単かつ確実に実現でき、ディスプレイへの適用度を高めることができ、また、透明磁性層は、垂直磁気異方性を有する磁性材料により形成されているので、光とスピンとが平行なときにファラデー効果が生ずることから、画像情報に基づき透明磁性層に書込みを行った場合の大きなファラデー回転角を得ることができ、ディスプレイに適用した場合に良好なる表示を行うことができ、加えて、多層膜の外面には一対の偏光子が配設されているので、コントラストの高い画像表示が可能となり、この際、元素置換等を利用した特殊な透明磁性層を用いる必要がなく通常の透明磁性材料でよく、基板温度も特に高温にする必要がなく、大面積化も容易であり、よって、ディスプレイに好適に適用することができる。
【００３８】
請求項２記載の発明の磁気光学素子によれば、平均粒径１０００Å以下の磁性体の超微粒子と結合剤とにより形成され垂直磁気異方性を有する透明磁性層と、屈折率の異なる２種類の多数の透明誘電体膜が交互に積層されて前記透明磁性層の一面側に配設され、前記透明磁性層の他面側に配設された反射層とにより当該透明磁性層を挾むことで光を局在させて前記透明磁性層の磁気光学効果を増大させる多層膜と、この多層膜の外面に配設された偏光子と、を備え、前記透明磁性層の所望の部分に磁気記録させるようにしたので、請求項１記載の発明の場合と同様に磁気光学効果を増大させ、かつ、コントラストの高い画像表示を可能にすることができるが、特に、多層膜側から透明磁性層に向けて入射した光を反射層で反射させて再び透明磁性層及び多層膜を経て出射させるので、ファラデー回転角の増大効果を倍増させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一の実施の形態及び第一の実施例を示す断面構造図である。
【図２】本発明の第二の実施の形態及び第二の実施例を示す断面構造図である。
【図３】画像表示の原理を説明する模式図である。
【図４】本発明の第三の実施の形態及び第三の実施例を示す断面構造図である。
【符号の説明】
２ 透明磁性層
３，４ 多層膜
５ 透明基板
７，８ 偏光子
９ａ，９ｂ 透明誘電体膜
１０ 反射層
【発明の属する技術分野】
本発明は、ディスプレイへの応用に適した磁気光学素子に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、磁気光学効果（ファラデー効果ないしは磁気光学カー効果）を示す磁性体は、例えば、光磁気ディスクに利用されて情報の書込み・再生が可能とされている。この他、磁気光学効果を示す透明磁性体を用いこの透明磁性体に対して磁気ヘッドを用いて画像の書込みを行い、光を照射させることでファラデー回転の有無により画像を表示させるディスプレイへの応用も検討されている。
【０００３】
ここに、磁気光学効果は、右及び左円偏光によって起こされる電子遷移の差異から生ずることが知られている。この差異を大きくして磁気光学効果を増大させる試みが、文献「磁気光学効果を大きくするための指針」（日本応用磁気学会誌，Ｖｏｌ．８．Ｎｏ．５，１９８４ ｐ．３６６〜３７０）（文献１とする）等により報告されている。
【０００４】
第１の試みとして、Ｂａフェライトを用いた場合に、ＢａＦｅ１２Ｏ１９中のＦｅをＣｏによって置換する方法がある（例えば、“Ｐｒｏｃ．Ｉｎｔ．Ｓｙｍｐ．ｏｎ ＯｐｔｉｃａｌＭｅｍｏｒｙ．１９８７ Ｊａｐａｎｅｓｅ Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ａｐｐｌｉｅｄ Ｐｈｙｓｉｃｓ，Ｖｏｌ．２６（１９８７）Ｓｕｐｐｌｅｍｅｎｔ ２６−４ ｐｐ２３〜２６”中の“Ｂａ−Ｆｅｒｒｉｔｅ Ｍａｇｎｅｔｏ−ｏｐｔｉｃａｌ Ｒｅｃｏｒｄｉｎｇ Ｍｅｄｉａ” 参照…文献２とする）。この方法の場合、Ｃｏの置換量にもよるが、ファラデー効果が数倍増大することが確認されている。
【０００５】
第２の試みとして、同様に元素置換法であるが、鉄ガーネットの希土類イオンの一部をＢｉ（３＋）イオンで置換する方法がある（文献１中のｐ．３６８参照）。この方法の場合も、ファラデー回転角が増大することが知られている。加えて、可視域の吸収率が殆ど増加しないため、ディスプレイにおけるコントラスト向上には都合がよい。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、第１のＣｏ置換方法による場合、文献２中にも記載されているように、効果が増大する波長域は７００〜８００ｎｍであり、ディスプレイとして必要な波長域５００〜７００ｎｍ（５００〜６００ｎｍ位が人間の目で最も感じる波長域である）では殆ど効果がないものである。また、エピタキシャル成長法を用いて製造するため、基板が制約を受けるとか、基板温度が６００℃以上と異常に高温であることが必要とされる、といった不都合もある。
【０００７】
第２のＢｉ（３＋）イオン置換法による場合、ファラデー回転角が増加する波長域が５２０ｎｍ付近で好都合であるが、製造プロセスで要求される基板温度が６００℃以上といった高温であり、大きな面積のものを作製するのは困難で、ディスプレイへの適用化を図る上では好ましくない。
【０００８】
また、Ｂａフェライトの場合のファラデー回転角は１°／μｍ位、Ｂｉ置換ガーネットの場合のファラデー回転角は６°／μｍ位である。ディスプレイへの適用を考えた場合、ファラデー回転角はできるだけ大きい方がコントラストがよく、上記の６°／μｍ位ではコントラスト１程度であるので、ディスプレイ用としてはファラデー回転角１０°／μｍ以上、できれば２０°／μｍ以上あることが好ましい。従って、従来法ではファラデー回転角の増大効果が不十分である。
【０００９】
一方、第２の方法におけるＢｉ置換ガーネットの場合、薄膜としてではなく、共沈法により作製した平均粒径１０００Å以下の粉末を用いて製造することができる。この場合、結着剤と基板とが必要となるが、素子作製時には高温とする必要がなく、均一塗布さえ可能であれば大面積化も可能である。しかし、薄膜による場合に比して、結着剤の分だけ単位厚み当りのファラデー回転角が減少し、かつ、粉末は１０００Å以下の粒径とすると光の透過率はよいが薄膜の場合よりも光の散乱による透過率の減少は避けられない。
【００１０】
一般論としても、何れの磁性体の場合も、その層厚を厚くすれば、ファラデー回転角は増大するが、光の透過率が低下するため、薄くて（つまり、透過率がよくて）大きなファラデー回転角が得られる磁気光学素子が望まれる。
【００１１】
そこで、本発明は、一般的な磁気光学材料を用いながら、大きなファラデー回転角を得ることができ、大面積化等を容易に図れ、ディスプレイへの適用に適した磁気光学素子を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明の磁気光学素子は、平均粒径１０００Å以下の磁性体の超微粒子と結合剤とにより形成され垂直磁気異方性を有する透明磁性層と、屈折率の異なる２種類の多数の透明誘電体膜が交互に積層されて前記透明磁性層を挾むことで光を局在させて前記透明磁性層の磁気光学効果を増大させる一対の多層膜と、これらの多層膜の外面に配設された一対の偏光子と、を備え、前記透明磁性層の所望の部分に磁気記録させるようにした。従って、透明磁性層が透明誘電体膜による一対の多層膜により挾まれた構造となっているので、入射した光は多層膜中で多重反射が生じてその光のエネルギーが多層膜間の透明磁性層に蓄えられる局在化現象が生ずる。即ち、屈折率の異なる２種類の透明誘電体膜による多層膜の中心にさらに異なる屈折率の物質層（透明磁性層）を配置すると、中心の物質層に光が局在化する現象が生ずる。この結果、透明磁性層の磁気光学効果が増大し、ファラデー回転角が増大することになる。また、透明磁性層は、平均粒径１０００Å以下の磁性体の超微粒子と結合剤とにより形成されているので、透明磁性層を薄く形成できその透明性が向上するとともに、多層膜との接触面の状態が滑らかとなって空気等の入り込みにくい界面構造となり光のロスがなくなるため、光を局在化させるための光閉じ込めが確実となり、ファラデー回転角の増大を簡単かつ確実に実現できる。さらに、透明磁性層は、垂直磁気異方性を有する磁性材料により形成されており、光とスピンとが平行なときにファラデー効果が生ずるので、垂直磁気異方性を有する磁性材料を用いて透明磁性層を形成することにより、画像情報に基づき透明磁性層に書込みを行った場合に大きなファラデー回転角が得られ、良好なる表示を行える。加えて、多層膜の外面には一対の偏光子が配設されているので、コントラストの高い画像表示が可能となる。この際、元素置換等を利用した特殊な透明磁性層を用いる必要がなく通常の透明磁性材料でよく、基板温度も特に高温にする必要がなく、大面積化も容易である。
【００１４】
請求項２記載の発明の磁気光学素子は、平均粒径１０００Å以下の磁性体の超微粒子と結合剤とにより形成され垂直磁気異方性を有する透明磁性層と、屈折率の異なる２種類の多数の透明誘電体膜が交互に積層されて前記透明磁性層の一面側に配設され、前記透明磁性層の他面側に配設された反射層とにより当該透明磁性層を挾むことで光を局在させて前記透明磁性層の磁気光学効果を増大させる多層膜と、この多層膜の外面に配設された偏光子と、を備え、前記透明磁性層の所望の部分に磁気記録させるようにした。従って、請求項１記載の発明の場合と同様に磁気光学効果の増大及びコントラストの高い画像表示が可能となるが、多層膜側から透明磁性層に向けて入射した光は反射層で反射されて再び透明磁性層及び多層膜を経て出射するので、ファラデー回転角の増大効果が倍増される。
【００１８】
【発明の実施の形態】
本発明の第一の実施の形態を図１に基づいて説明する。本実施の形態の磁気光学素子１は、透明磁性層２を中心として、この透明磁性層２を一対の多層膜３，４、一対の透明基板５，６、及び、一対の偏光子７，８で挾んだサンドイッチ構造として形成されている。前記多層膜３，４は、各々屈折率の異なる２種類の多数の透明誘電体膜９ａ，９ｂを交互に積層させた構造体として形成されている。
【００１９】
このような構成の磁気光学素子１によれば、透明磁性層２が一対の多層膜３，４により挾まれた構造となっているので、磁気光学素子１中に入射した光は多層膜３，４中で多重反射が生じてその光のエネルギーが中心の透明磁性層２に蓄えられる局在化現象が生ずる。即ち、屈折率の異なる２種類の透明誘電体膜９ａ，９ｂによる多層膜３，４の中心にさらに異なる屈折率の透明磁性層２を配置すると、中心の透明磁性層２に光が局在化する現象が生ずる。この結果、透明磁性層２の磁気光学効果が増大し、ファラデー回転角が増大することになる。加えて、多層膜３，４の外面には一対の偏光子７，８が配設されているので、コントラストの高い画像表示が可能となる。
【００２０】
ここに、透明磁性層２の材料としては従来一般に用いられている磁気光学効果を示す透明磁性材料でよいが、例えば、平均粒径１０００Å以下の磁性体の超微粒子と結合剤とにより形成することが好ましい。このような平均粒径１０００Å以下の磁性体の超微粒子としては、例えば、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ、又は、これらの合金の超微粒子、或いは、希土類鉄ガーネットの超微粒子などを用いることができる。コバルトフェライト、Ｂａフェライト等の酸化物の超微粒子や、ＦｅＢＯ３ ，ＦｅＦ３ ，ＹＦｅＯ３ ，ＮｄＦｅＯ３ 等の複屈折性の大きな材料であっても、超微粒子であれば利用可能である。この他、ＭｎＢｉ，ＭｎＣｕＢｉ，ＰｔＣｏ等の超微粒子も利用可能である。平均粒径１０００Å以下の超微粒子を用いれば、この透明磁性層２の両面に配設される多層膜３，４との接触面は非常に滑らかとなり、かつ、透明磁性層２自体を薄く作製できその透明性が向上する。特に、希土類鉄ガーネットの超微粒子を用いれば、逆磁歪効果により多層膜３，４に垂直な方向（積層方向）に磁気異方性を持たせることができ、ディスプレイに適用した場合、大きなファラデー回転角が得られて好ましい。即ち、光の方向と透明磁性層２に磁気ヘッド（図示せず）により磁気的に記録されたスピンの方向とが平行なときに大きなファラデー効果が生ずるためである。
【００２１】
また、多層膜３，４用の透明誘電体膜９ａ，９ｂとしては、特に制約を受けず、Ａｌ２Ｏ３，ＭｇＯ，ＢｅＯ，Ｙ２Ｏ３ ，ＳｎＯ２ ，ＩｎＯ３ ，ＳｉＯ２ ，ＺｎＯ，ＴｉＯ２ 等の材料を適宜用い得るが、最も一般的なＴｉＯ２ とＳｉＯ２ の組合せでもよい。積層する層数は、１０〜５０層程度がよい。透明基板５，６としては石英基板等が用いられる。
【００２２】
偏光子７，８の偏光面は、一方の偏光面を回転することにより、最もコントラストの付く方位に設定される。
【００２３】
本発明の第二の実施の形態を図２及び図３に基づいて説明する。前記実施の形態で示した部分と同一部分は同一符号を用いて示し、説明も省略する（以下の実施の形態でも同様とする）。本実施の形態では、片方の多層膜４、透明基板６及び偏光子８に代えて、反射層１０及び基板１１が透明磁性層２の片面に積層された磁気光学素子１２として構成されている。即ち、透過型の磁気光学素子１に対して反射型の磁気光学素子１２とされている。
【００２４】
本実施の形態による場合も、前記実施の形態の場合と同様に磁気光学効果の増大及びコントラストの高い画像表示が可能となるが、多層膜３側から透明磁性層２に向けて入射した光は、反射層１０で反射されて、再び透明磁性層２及び多層膜３を経て出射するので、ファラデー回転角の増大効果が倍増される（約２倍となる）。
【００２５】
ここに、前記反射層１０については、ＡｇやＡｌなどを用いて一般的な蒸着法やスパッタリング法などにより形成してもよく、或いは、ＴｉＯ２ ，ＭｇＯ等のような白色微粒子を接着剤と混合させた後に、基板１１上に塗布して透明磁性層２に貼付させるようにしてもよい。このような方法で形成される代表的な反射層１０としては、Ａｌ，ＳｉＯ，Ａｇ，Ａｌ２Ｏ３等がよく知られている。
【００２６】
ところで、反射型の磁気光学素子１２をディスプレイに適用した場合の画像表示の原理（コントラストの付け方）を、模式的に示す図３を参照して説明する。ここに、透明磁性層２に関して、画像部分（暗くしたい部分）は棒磁石等の磁気ヘッドにより膜厚方向に磁化された磁化部２ａ（矢印１３が磁化方向＝スピンを示している）とされ、非画像部分（明るくしたい部分）は非磁化部２ｂとされているものとする。まず、図３（ａ）に示すように偏光子７に光線が入射した場合、この偏光子７を通れる方向の偏光面１４ａ，１４ｂが多層膜３を経て透明磁性層２に入射する。図３（ｂ）に示すように透明磁性層２に入射した偏光面１４ａ，１４ｂで示される光の内、磁化部２ａに入射した光はファラデー回転角θだけ回転して反射層１０に入射するが、非磁化部２ｂに入射した光はそのまま反射層１０に入射する。図３（ｃ）に示すように反射層１０に入射した光はその偏光面状態で反射されて、図３（ｄ）に示すように、再び透明磁性層２に入射する。このとき、磁化部２ａに入射した光は再びファラデー回転角θだけ回転して（合計、２θ）、図３（ｅ）に示すように、多層膜３を経て偏光子７に向かうが、非磁化部２ｂに入射した光はそのまま多層膜３を経て偏光子７に向かう。このときの偏光面１４ａ，１４ｂの状態は、偏光面１４ａ側が偏光子７を通過できない方向に回転しているので暗くなり、偏光面１４ｂ側は偏光子７を通過できる方向のままであるので明るくなる。これにより、磁化部２ａが暗く非磁化部２ｂが明るくなるコントラストの付いた画像表示が可能となる。
【００２７】
即ち、図３に示す原理的な模式図からもわかるように、液晶ディスプレイに似た表示原理であるが、偏光面を回転させるために透明磁性層２のファラデー回転なる磁気旋光を利用しているものである。ちなみに、従来にあっては、前述したようにファラデー回転角が小さく、かつ、透明磁性層の透明性が悪かったため、磁気光学素子がディスプレイとしては利用されていなかったものである。
【００２８】
本発明の第三の実施の形態を図４に基づいて説明する。本実施の形態の磁気光学素子１５は構造的には図１に示した磁気光学素子１に極めて類似しているが、本実施の形態では、特にその製造方法が異なるものである。本実施の形態では、まず、透明基板５上に多層膜（第１の多層膜）３を形成し、次に、多層膜３上に透明磁性層２を形成し、さらに、この透明磁性層２上に多層膜（第２の多層膜）４を形成するが、薄膜法によるこれらの成膜工程を連続して行った後、透明基板５及び多層膜４の外面に各々偏光子７，８を貼付することにより磁気光学素子１５が作製されている。この場合の連続成膜法としては、一般的なＣＶＤ法、ＰＶＤ法等の薄膜法が用いられる。
【００２９】
本実施の形態によれば、多層膜３、透明磁性層２及び多層膜４の成膜工程が連続的に行われるので、透明磁性層２と多層膜３，４との界面に空気等が全く入り込むことなく積層構造を成膜することができる。この結果、光を局在化させるための光閉じ込め構造の作製が確実となり、ファラデー回転角を増大させるための構造を簡単に実現できる。また、透明基板５を加熱する必要がないので、透明基板５・多層膜３間の密着性を損なうようなこともない。
【００３０】
【実施例】
本発明の第一の実施例を図１を参照して説明する。まず、表面を研磨した厚さ０．５ｍｍの石英基板５，６上に、酸素とアルゴンとの混合ガスを用いた反応スパッタリング法によりＴｉＯ２ ／ＳｉＯ２ の積層膜を各々膜厚９００Åで１５層ずつ交互に積層させて多層膜３，４を形成した。従って、石英基板５、多層膜３のセットと石英基板６、多層膜４のセットとの２セット分が形成される。つづいて、共沈法により作製したＢｉ置換希土類鉄ガーネットの平均粒径６００Åの超微粒子（Ｂｉ２ＤｙＦｅ３．８Ａｌ１．２Ｏ１９）とナフテン酸ビスマス（トルエン溶液）を１：１の割合で混合させたボールミルを用いて、５４時間分散後、上記２つのセットの多層膜３，４の非基板側面でこの分散液を挾んで固化した。固化後の透明磁性層２の膜厚は０．３μｍであった。ちなみに、同じ分散液を石英基板上に塗布して乾燥させた０．３μｍの厚さの磁性層に対して基板面に垂直に磁界を印加して測定した場合の保磁力Ｈｃは６００Ｏｅであって、垂直磁気異方性を有しており、かつ、波長６００ｎｍの光に対する透過率は６２％であった。次に、石英基板５，６の外面側に市販のフィルム状の偏光子７，８を貼付して磁気光学素子１を完成させた。このように作製された磁気光学素子１に関して、日本分光株式会社製の磁気光学測定装置Ｋ‐２５０を用いて石英基板６上のファラデー回転角を測定したところ（使用光の波長５２０ｎｍ）、８°／μｍが得られたものである。また、偏光子７の外側から直径１ｍｍの棒磁石（表面磁束３ＫＧ）を用いて透明磁性層２に磁気記録した後、偏光子７，８の内の一方、例えば、偏光子８を回転させることで最もコントラストの付く方位に設定したところ、記録部と非記録部とで明瞭なコントラストが得られたものである。
【００３１】
ちなみに、本実施例に対する第一の比較例として、分散液の厚みを１μｍとして透明磁性層を形成し、かつ、多層膜３，４を有しない他は第一の実施例と同一条件で作製したところ、ファラデー回転角は３°／μｍに留まり、棒磁石による磁気記録を行っても記録部と非記録部とでコントラストが付かず画像は視認できなかったものである。
【００３２】
また、本実施例に対する第二の比較例として、共沈法により作製したＢｉ置換希土類鉄ガーネットの平均粒径１８００Åの微粒子を用いる他は、第一の実施例と同一条件で作製したところ、透明磁性層の保磁力Ｈｃは８００Ｏｅであり、ファラデー回転角は６．４°／μｍに留まったものである。
【００３３】
本発明の第二の実施例を図２を参照して説明する。本実施例は、基本的に前記第一の実施例に準ずるものであり、石英基板６及び多層膜４のセットは作製せず、石英基板５及び多層膜３側のセットと基板１１上に形成した２０００Åの厚さのＡｌによる反射層１０との間に透明磁性層２（材料、膜厚等は前記実施例と同じ）を形成した後、石英基板６に対してのみ市販のフィルム状の偏光子７を貼付して磁気光学素子１２を完成させた。このように作製された磁気光学素子１２に関して、棒磁石で磁気記録を行い、光を入射させたところ、記録部と非記録部とでコントラストの付いた反射像が視認できたものである。この場合のファラデー回転角は反射により２倍に倍増されており、第一の実施例の８°／μｍに対して１６°／μｍに増大したものである。
【００３４】
ちなみに、本実施例に対する第三の比較例として、多層膜３を有しない他は、第二の実施例と同一条件で作製したところ、ファラデー回転角は６°／μｍに留まったものである。また、磁気記録後の画像としてもかすかに観察し得る程度であり、コントラストの悪い反射像であった。
【００３５】
本発明の第三の実施例を図４を参照して説明する。本実施例も、基本的には、第一の実施例に準ずるが、その製造方法が異なる。まず、第一の実施例の場合と同様に、石英基板５上に多層膜３を成膜形成した後、連続して、その真空蒸着装置のチャンバー内にアルゴンガスと乾燥空気とを導入しながら鉄を蒸発させることで、鉄の超微粒子膜による透明磁性層２を３０００Åの膜厚となるように成膜形成した（平均粒径は７０Åであった）。さらに、連続させて、反応スパッタリング法で透明磁性層２の膜上に多層膜４を成膜形成した。このような連続成膜工程終了後に、外面に市販のフィルム状の偏光子７，８を貼付して磁気光学素子１５を完成させた。このような磁気光学素子１５についてファラデー回転角を測定したところ、使用光の波長依存性が少なく、波長５５０ｎｍの光の場合で９°／μｍのファラデー回転角が得られたものである。また、透明磁性層２の保磁力Ｈｃは４００Ｏｅであり、垂直磁気異方性を有していた。また、棒磁石で磁気記録した後、光を入射させて観察したところ、記録部と非記録部とで明瞭なコントラストが得られ、画像を明瞭に読み取れたものである。
【００３６】
ちなみに、本実施例に対する第四の比較例として、多層膜３，４を有しない他は、第三の実施例と同一条件で作製したところ、ファラデー回転角は波長５５０ｎｍの光に対して２．２°／μｍに留まったものである。また、棒磁石による磁気記録を行っても記録部と非記録部とでコントラストが付かず画像は視認できなかったものである。
【００３７】
【発明の効果】
請求項１記載の発明の磁気光学素子によれば、平均粒径１０００Å以下の磁性体の超微粒子と結合剤とにより形成され垂直磁気異方性を有する透明磁性層と、屈折率の異なる２種類の多数の透明誘電体膜が交互に積層されて前記透明磁性層を挾むことで光を局在させて前記透明磁性層の磁気光学効果を増大させる一対の多層膜と、これらの多層膜の外面に配設された一対の偏光子と、を備え、前記透明磁性層の所望の部分に磁気記録させるようにしたので、入射した光を局在化現象により多層膜間の透明磁性層に蓄えさせて、透明磁性層の磁気光学効果を増大させ、そのファラデー回転角を増大させることができ、この際、透明磁性層は、平均粒径１０００Å以下の磁性体の超微粒子と結合剤とにより形成されているので、透明磁性層を薄く形成できその透明性を向上させることができるとともに、多層膜との接触面の状態が滑らかとなって空気等の入り込みにくい界面構造となり光のロスがなくなるため、光を局在化させるための光閉じ込めが確実となり、ファラデー回転角の増大を簡単かつ確実に実現でき、ディスプレイへの適用度を高めることができ、また、透明磁性層は、垂直磁気異方性を有する磁性材料により形成されているので、光とスピンとが平行なときにファラデー効果が生ずることから、画像情報に基づき透明磁性層に書込みを行った場合の大きなファラデー回転角を得ることができ、ディスプレイに適用した場合に良好なる表示を行うことができ、加えて、多層膜の外面には一対の偏光子が配設されているので、コントラストの高い画像表示が可能となり、この際、元素置換等を利用した特殊な透明磁性層を用いる必要がなく通常の透明磁性材料でよく、基板温度も特に高温にする必要がなく、大面積化も容易であり、よって、ディスプレイに好適に適用することができる。
【００３８】
請求項２記載の発明の磁気光学素子によれば、平均粒径１０００Å以下の磁性体の超微粒子と結合剤とにより形成され垂直磁気異方性を有する透明磁性層と、屈折率の異なる２種類の多数の透明誘電体膜が交互に積層されて前記透明磁性層の一面側に配設され、前記透明磁性層の他面側に配設された反射層とにより当該透明磁性層を挾むことで光を局在させて前記透明磁性層の磁気光学効果を増大させる多層膜と、この多層膜の外面に配設された偏光子と、を備え、前記透明磁性層の所望の部分に磁気記録させるようにしたので、請求項１記載の発明の場合と同様に磁気光学効果を増大させ、かつ、コントラストの高い画像表示を可能にすることができるが、特に、多層膜側から透明磁性層に向けて入射した光を反射層で反射させて再び透明磁性層及び多層膜を経て出射させるので、ファラデー回転角の増大効果を倍増させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一の実施の形態及び第一の実施例を示す断面構造図である。
【図２】本発明の第二の実施の形態及び第二の実施例を示す断面構造図である。
【図３】画像表示の原理を説明する模式図である。
【図４】本発明の第三の実施の形態及び第三の実施例を示す断面構造図である。
【符号の説明】
２ 透明磁性層
３，４ 多層膜
５ 透明基板
７，８ 偏光子
９ａ，９ｂ 透明誘電体膜
１０ 反射層
Claims (2)
- 平均粒径１０００Å以下の磁性体の超微粒子と結合剤とにより形成され垂直磁気異方性を有する透明磁性層と、
屈折率の異なる２種類の多数の透明誘電体膜が交互に積層されて前記透明磁性層を挾むことで光を局在させて前記透明磁性層の磁気光学効果を増大させる一対の多層膜と、
これらの多層膜の外面に配設された一対の偏光子と、
を備え、前記透明磁性層の所望の部分に磁気記録させることを特徴とする磁気光学素子。 - 平均粒径１０００Å以下の磁性体の超微粒子と結合剤とにより形成され垂直磁気異方性を有する透明磁性層と、
屈折率の異なる２種類の多数の透明誘電体膜が交互に積層されて前記透明磁性層の一面側に配設され、前記透明磁性層の他面側に配設された反射層とにより当該透明磁性層を挾むことで光を局在させて前記透明磁性層の磁気光学効果を増大させる多層膜と、
この多層膜の外面に配設された偏光子と、
を備え、前記透明磁性層の所望の部分に磁気記録させることを特徴とする磁気光学素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15497297A JP3626576B2 (ja) | 1997-05-14 | 1997-06-12 | 磁気光学素子 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12391097 | 1997-05-14 | ||
| JP9-123910 | 1997-05-14 | ||
| JP15497297A JP3626576B2 (ja) | 1997-05-14 | 1997-06-12 | 磁気光学素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1130770A JPH1130770A (ja) | 1999-02-02 |
| JP3626576B2 true JP3626576B2 (ja) | 2005-03-09 |
Family
ID=26460702
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15497297A Expired - Fee Related JP3626576B2 (ja) | 1997-05-14 | 1997-06-12 | 磁気光学素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3626576B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001194639A (ja) * | 1999-10-27 | 2001-07-19 | Minebea Co Ltd | 磁気光学体 |
| JP3979138B2 (ja) * | 2001-12-20 | 2007-09-19 | 住友電気工業株式会社 | 光アイソレータおよび偏光子 |
| CN106200024A (zh) * | 2016-08-31 | 2016-12-07 | 欧阳征标 | 磁光薄膜磁表面快波光二极管 |
| CN106249443A (zh) * | 2016-08-31 | 2016-12-21 | 欧阳征标 | 磁光薄膜磁表面快波方向可控光二极管 |
-
1997
- 1997-06-12 JP JP15497297A patent/JP3626576B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1130770A (ja) | 1999-02-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040519 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040525 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040716 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20041130 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20041203 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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