JP3618174B2

JP3618174B2 - 半導体封止用エポキシ樹脂組成物

Info

Publication number: JP3618174B2
Application number: JP16006996A
Authority: JP
Inventors: 秋久黒柳; 斉藤　　潔; 弘典小林
Original assignee: Nitto Denko Corp
Current assignee: Nitto Denko Corp
Priority date: 1996-06-20
Filing date: 1996-06-20
Publication date: 2005-02-09
Anticipated expiration: 2016-06-20
Also published as: JPH107888A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、信頼性、特に半田実装時の耐半田性に優れ、かつ生産性にも優れた半導体封止用エポキシ樹脂組成物に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
トランジスター、ＩＣ、ＬＳＩ等の半導体素子は、従来から、セラミックパッケージ等によって封止され、半導体装置化されていたが、最近では、コスト、量産性の観点から、プラスチックパッケージを用いた樹脂封止が主流になっている。この種の樹脂封止には、従来から、エポキシ樹脂が使用されており良好な成績を収めている。しかしながら、半導体分野の技術確信によって集積度の向上とともに素子サイズの大形化、配線の微細化が進み、パッケージも小形化、薄形化する傾向にあり、これに伴って封止材料に対してより以上の信頼性（得られる半導体装置の熱応力の低減、耐湿信頼性、耐熱衝撃試験に対する信頼性等）の向上が要望されている。特に、近年、電子装置の小形で高機能にする要求から、実装の高密度化が進んでいる。このような観点から従来のピン挿入型パッケージから表面実装型パッケージが主流になってきている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記のような表面実装型パッケージでは、実装前にパッケージが吸湿した状態で用いられると、半田実装時に水分の蒸気圧により、各部材との剥離やパッケージにクラックや膨れが発生する問題がある。
【０００４】
また、より高密度化のためにパッケージの薄形化、大形化が進み、その成形もより緻密になり、ボイドの発生、金線ワイヤーの流れ、半導体チップを搭載するダイのシフト等問題が多く発生している。
【０００５】
このような問題に対する解決策として、例えば、下記の一般式（１）で表されるような、より低粘度で低吸湿性のエポキシ樹脂を用い、さらに無機フィラーを多く含有させた封止用樹脂組成物が提案されているが、半田耐熱性および成形性の両者を充分満足させるものではない。
【０００６】
【化３】
【０００７】
一方、硬化剤として、下記の一般式（３）で表されるフェノールアラルキル樹脂を用いた、封止用エポキシ樹脂組成物が提案されている。
【０００８】
【化４】
【０００９】
しかしながら、この封止用エポキシ樹脂組成物はつぎのような問題がある。すなわち、耐半田性向上のためには、封止用エポキシ樹脂組成物に対して無機フィラーの高充填化が考えられるが、高充填化を図った上記封止用エポキシ樹脂組成物は粘度が上昇して流動性が低下する。したがって、トランスファー成形時において、ワイヤーボンディングされた金線が流れて金線が相互に接触したり、半導体チップが成形型内で傾きパッケージ表面に露出する現象が生じる。このような現象は、パッケージの薄形化の要求に対して特に問題となる。
【００１０】
本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、耐半田性および成形性の双方に優れた半導体封止用エポキシ樹脂組成物の提供をその目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物は、下記の（Ａ）〜（Ｃ）成分を含有するという構成をとる。
【００１２】
（Ａ）下記の一般式（１）で表されるエポキシ樹脂。
【化５】
【００１３】
（Ｂ）下記の一般式（２）で表されるフェノール樹脂。
【化６】
【００１４】
（Ｃ）下記の（ａ）〜（ｄ）に示す粒度分布に設定されたシリカ粉末。
（ａ）平均粒径２０〜６０μｍの球状シリカ粉末がシリカ粉末全体の４０〜８０重量％。
（ｂ）平均粒径１〜１０μｍの球状シリカ粉末がシリカ粉末全体の５〜５０重量％。
（ｃ）平均粒径０．１〜１μｍの球状シリカ粉末がシリカ粉末全体の５〜２０重量％。
（ｄ）平均粒径１〜２０μｍの破砕シリカ粉末がシリカ粉末全体の０〜２０重量％。
【００１５】
すなわち、本発明者らは、成形性に優れ、かつ半田耐熱性にも優れた封止用樹脂組成物を得るために一連の研究を重ねた。その結果、上記一般式（１）で表されるビフェニル型エポキシ樹脂と併せて、特殊な骨格構造を有する前記一般式（２）で表されるフェノール樹脂を用いると、封止用樹脂組成物の低粘度化が図られることから、無機質充填剤の高充填化が可能となり、耐半田性が向上するとともに、流動性も向上するために成形性の向上をも実現することを見出し本発明に到達した。
【００１６】
そして、上記ビフェニル型エポキシ樹脂と特殊なフェノール樹脂との併用に加えて、前述のように、特定の粒度分布を備えた球状シリカ粉末と、特定の粒度分布を備えた破砕シリカ粉末とからなる無機質充填剤を用いることによって、より高度に、封止用樹脂組成物の低粘度化が図られ、その結果、より一層の無機質充填剤の高充填化の実現が図られる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
つぎに、本発明の実施の形態について説明する。
【００１８】
本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物は、特殊な骨格構造を有するエポキシ樹脂（Ａ成分）と、特殊な骨格構造を有するフェノール樹脂（Ｂ成分）と、特定の無機質充填剤（Ｃ成分）とを用いて得られるものであり、通常、粉末状あるいはこれを打錠したタブレット状になっている。
【００１９】
上記特殊な骨格構造を有するエポキシ樹脂（Ａ成分）は、下記の一般式（１）で表されるビフェニル型エポキシ樹脂である。
【００２０】
【化７】
【００２１】
上記式（１）において、Ｒ₁〜Ｒ₄が、水素原子、メチル基を有するものが好ましく、特にそのなかでも、水素原子が７０重量％以下で、残りがメチル基であるものが、低吸湿性および反応性の点から好ましい。
【００２２】
そして、本発明においては、上記一般式（１）で表されるエポキシ樹脂（Ａ成分）単独でエポキシ樹脂成分を構成してもよいし、上記一般式（１）で表されるエポキシ樹脂（Ａ成分）とともに、それ以外の一般に用いられる他のエポキシ樹脂を併用してもよい。前者の場合は、エポキシ樹脂成分の全部が上記一般式（１）で表されるビフェニル型エポキシ樹脂（Ａ成分）で構成され、後者の場合にはエポキシ樹脂成分の一部が上記一般式（１）で表されるビフェニル型エポキシ樹脂（Ａ成分）で構成されることとなる。この他のエポキシ樹脂を併用する場合の、上記一般式（１）で表されるエポキシ樹脂（Ａ成分）の割合は、エポキシ樹脂成分全体の５０重量％（以下「％」と略す）以上に設定することが好ましい。
【００２３】
上記他のエポキシ樹脂としては、特に限定するものではなく従来公知のエポキシ樹脂、例えば、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、ノボラックビスＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン系エポキシ樹脂等の各種エポキシ樹脂があげられる。上記ノボラック型エポキシ樹脂としては、通常、エポキシ当量１５０〜２５０、軟化点５０〜１３０℃のものが用いられ、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂としては、エポキシ当量１８０〜２１０、軟化点６０〜１１０℃のものが一般に用いられる。
【００２４】
上記特殊な骨格構造を有するエポキシ樹脂（Ａ成分）とともに用いられる、特殊な骨格構造を有するフェノール樹脂（Ｂ成分）は、下記の一般式（２）で表されるものである。
【００２５】
【化８】
【００２６】
上記式（２）において、繰り返し数ｎ，ｍとも、好適には各上限値が２０に設定される。そして、繰り返し数ｎは１〜９、繰り返し数ｍは１〜９の範囲が好ましく、特に好ましくは、繰り返し数ｎは１〜５、繰り返し数ｍは１〜５の範囲である。さらに好ましくは、繰り返し数ｎが１〜５、繰り返し数ｍが１〜５において、ｎ＋ｍ＝２〜５となる範囲である。
【００２７】
上記一般式（２）で表されるフェノール樹脂（Ｂ成分）は、水酸基当量１５０〜２２０、軟化点４０〜１１０℃が好ましく、より好ましくは水酸基当量１５０〜２００、軟化点５０〜９０℃である。
【００２８】
上記エポキシ樹脂成分と一般式（２）で表されるフェノール樹脂（Ｂ成分）との配合割合は、エポキシ樹脂成分中のエポキシ基１当量当たりフェノール樹脂（Ｂ成分）中の水酸基が０．８〜１．２当量となるように配合することが好適である。より好適なのは０．９〜１．１当量である。
【００２９】
上記特殊なエポキシ樹脂（Ａ成分）および特殊なフェノール樹脂（Ｂ成分）とともに用いられる特定の無機質充填剤（Ｃ成分）としては、下記の（ａ）〜（ｄ）に示す粒度分布に設定されたものが用いられ、下記の（ａ）〜（ｄ）に示す粒度分布に設定されたものを用いることにより、より高度な封止用樹脂組成物の低粘度化が図られ、その結果、より一層の無機質充填剤の高充填化の実現が図られる。
【００３０】
（ａ）平均粒径２０〜６０μｍの球状シリカ粉末がシリカ粉末全体の４０〜８０％。
（ｂ）平均粒径１〜１０μｍの球状シリカ粉末がシリカ粉末全体の５〜５０％。
（ｃ）平均粒径０．１〜１μｍの球状シリカ粉末がシリカ粉末全体の５〜２０％。
（ｄ）平均粒径１〜２０μｍの破砕シリカ粉末がシリカ粉末全体の０〜２０％。
【００３１】
このような特定の無機質充填剤（Ｃ成分）の含有量は、エポキシ樹脂組成物全体の７５％以上となるように設定することが好ましい。特に好適なのは８０〜９３％の範囲である。すなわち、特定の無機質充填剤（Ｃ成分）の含有量が７５％未満では、半田耐熱性が大幅に低下する傾向がみられるからである。
【００３２】
また、本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物には、上記Ａ〜Ｃ成分に加えて、硬化促進剤を用いてもよい。上記硬化促進剤としては、例えば、１，８−ジアザ−ビシクロ（５，４，０）ウンデセン−７、トリエチレンジアミン、ベンジルジメチルアミン、トリエタノールアミン、ジメチルアミノエタノール、トリス（ジメチルアミノメチル）フェノール等の三級アミン類、２−メチルイミダゾール、２−エチル−４−メチルイミダゾール、２−フェニルイミダゾール、２−フェニル−４−メチルイミダゾール、２−ヘプタデシルイミダゾール等のイミダゾール類、トリブチルホスフィン、メチルジフェニルホスフィン、トリフェニルホスフィン、ジフェニルホスフィン、フェニルホスフィン等の有機ホスフィン類、テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、２−エチル−４−メチルイミダゾールテトラフェニルボレート、Ｎ−メチルモルホリンテトラフェニルボレート等のテトラフェニルボロン類等（リン系硬化促進剤）があげられる。これらは単独でもしくは併せて用いられる。なかでも、特に、その硬化性、耐湿信頼性という点から、上記各種リン系硬化促進剤を用いることが好ましい。
【００３３】
そして、上記硬化促進剤、例えば、リン系硬化促進剤は、他の成分と同様に単に配合するだけでもよいが、予め、前記の一般式（２）で表されるフェノール樹脂の一部または全部に溶融混合して用いると、成形性および耐半田性に関してより一層良好な結果が得られる。
【００３４】
さらに、内部応力の低減化のために、シリコーン化合物を用いてもよい。上記シリコーン化合物としては、例えば、下記の一般式（４）で表されるシリコーン化合物があげられる。これらは単独でもしくは併用して用いられる。
【００３５】
【化９】
【００３６】
さらに、上記一般式（４）の中でも、下記に示す式（５）、式（６）を用いることが好ましい。そして、上記式（６）のなかでも、特に好ましいものとして具体的には、下記に示す式（７）があげられる。
【００３７】
【化１０】
【００３８】
【化１１】
【００３９】
【化１２】
【００４０】
上記シリコーン化合物の配合量は、エポキシ樹脂組成物全体の５％以下となるよう設定することが好ましい。特に好ましくは０．１〜３％の範囲内である。
【００４１】
なお、本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物には、樹脂硬化物と成形用金型との離型性を向上させ、成形作業性を良好にするために、各種離型剤を配合してもよい。上記離型剤としては、ポリエチレン系ワックス、カルナバワックス、モンタン酸、ステアリン酸等の公知のものがあげられる。なかでも、離型性と接着性（信頼性）という観点からポリエチレン系ワックスを用いることが好ましい。さらに、上記ポリエチレン系ワックスのなかでも、酸化ポリエチレンワックスを用いることが好ましく、上記酸化ポリエチレンワックスとしては、酸価１０〜３０で、滴点（溶融して液滴状になる温度）９０〜１３０℃のものを用いることが好ましい。
【００４２】
上記離型剤の含有量は、エポキシ樹脂組成物全体の０．１〜２．０％の範囲に設定することが好ましく、より好ましくは０．１〜１．０％である。
【００４３】
そして、上記離型剤、例えば、ポリエチレン系ワックスは、他の成分と同様に単に配合するだけでもよいが、予め、前記の一般式（２）で表されるフェノール樹脂の一部または全部に溶融混合して用いると、離型性と接着性（信頼性）に関してより一層良好な結果が得られる。
【００４４】
さらに、本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物には、上記Ａ〜Ｃ成分、硬化促進剤、シリコーン化合物、離型剤以外に、必要に応じて、他の添加剤として、三酸化アンチモン、リン系化合物等の難燃剤や、顔料、シランカップリング剤等のカップリング剤、イオントラップ剤等を適宜に配合することができる。
【００４５】
本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物は、例えば、つぎのようにして製造することができる。すなわち、まず、上記Ａ〜Ｃ成分、硬化促進剤、シリコーン化合物、離型剤、および、必要に応じて上記他の添加剤を所定の割合で配合する。ついで、これら配合物をミキシングロール機等の混練機にかけ、加熱状態で溶融混練してこれを室温に冷却した後、公知の手段によって粉砕し、必要に応じて打錠するという一連の工程を経ることによって目的とする半導体封止用エポキシ樹脂組成物を製造することができる。
【００４６】
また、上記各成分の配合に先立って、前述のシリコーン化合物を用いて上記Ａ成分およびＢ成分の少なくとも一方を変性し、この変性樹脂と残りの成分とを配合してもよい。
【００４７】
このような半導体封止用エポキシ樹脂組成物を用いての半導体素子の封止等は特に限定するものではなく、通常のトランスファー成形等の公知のモールド方法によって行うことができる。
【００４８】
このようにして得られる半導体装置は、前記特殊な骨格構造を有するエポキシ樹脂（Ａ成分）、および、前記特殊な骨格構造を有するフェノール樹脂（Ｂ成分）を用いるため、特定の無機質充填剤の高充填化による優れた半田耐熱性と、低粘度化の実現による流動性向上の結果による優れた成形性とを備えたエポキシ樹脂組成物により樹脂封止されたものであり、ボンディングワイヤー同士の接触や、半導体チップが傾いたりする現象の発生を防止することができる。
【００４９】
つぎに、実施例について比較例と併せて説明する。
【００５０】
まず、実施例に先立って、下記に示す各成分を準備した。
【００５１】
〔エポキシ樹脂Ａ〕
下記の式（Ａ）で表されるビフェニル型エポキシ樹脂（エポキシ当量１９５、軟化点１０７℃）
【００５２】
【化１３】
【００５３】
〔エポキシ樹脂Ｂ〕
下記の式（Ｂ）で表されるビフェニル型エポキシ樹脂（エポキシ当量１７５、軟化点１２５℃）
【００５４】
【化１４】
【００５５】
〔エポキシ樹脂Ｃ〕
下記の式（Ｃ）で表されるエポキシ樹脂（エポキシ当量１９５、軟化点８５℃）
【化１５】
【００５６】
〔フェノール樹脂Ｄ〕
下記の式（Ｄ）で表されるフェノール樹脂（水酸基当量１６３、軟化点７３℃）
【００５７】
【化１６】
【００５８】
〔フェノール樹脂Ｅ〕
下記の式（Ｅ）で表されるフェノールアラルキル樹脂（水酸基当量１７３、軟化点７０℃）
【００５９】
【化１７】
【００６０】
〔フェノール樹脂Ｆ〕
下記の式（Ｆ）で表されるフェノール樹脂（水酸基当量１１０、軟化点８０℃）
【００６１】
【化１８】
【００６２】
〔無機質充填剤〕
下記に示す球状シリカ粉末ａ〜ｃ、および、破砕シリカ粉末ｄを用いた。
【００６３】
（ａ）平均粒径２０〜６０μｍの球状シリカ粉末。
（ｂ）平均粒径１〜１０μｍの球状シリカ粉末。
（ｃ）平均粒径０．１〜１μｍの球状シリカ粉末。
（ｄ）平均粒径１〜２０μｍの破砕シリカ粉末。
【００６４】
〔硬化促進剤〕
トリフェニルホスフィン（ＴＰＰ）
テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート（４Ｐ４Ｂ）
【００６５】
〔ポリエチレン系ワックス〕
酸化ポリエチレンワックス（酸価１８、滴点１０５℃）
【００６６】
〔シリコーン化合物Ｇ〕
下記の式（Ｇ）で表されるシリコーン化合物
【００６７】
【化１９】
【００６８】
〔シリコーン化合物Ｈ〕
下記の式（Ｈ）で表されるシリコーン化合物
【００６９】
【化２０】
【００７０】
〔イオントラップ剤〕
ハイドロタルサイト類化合物
【００７１】
〔カップリング剤Ｉ〕
γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン
【００７２】
〔カップリング剤Ｊ〕
γ−アミノプロピルトリメトキシシラン
【００７３】
【実施例１〜１２、比較例１〜５】
下記の表１〜表３に示す各成分を同表に示す割合で配合し、ミキシングロール機（温度１００℃）で３分間溶融混練を行い、冷却固化後粉砕して目的とする粉末状のエポキシ樹脂組成物を得た。なお、上記各成分の配合に際して、実施例１〜３では、各成分の配合に先立って、予め、上記フェノール樹脂Ｄと触媒とを溶融混合した。また、実施例１〜５では、各成分の配合に先立って、予め、上記フェノール樹脂Ｄと酸化ポリエチレンワックスとを溶融混合した。
【００７４】
【表１】
【００７５】
【表２】
【００７６】
【表３】
【００７７】
このようにして得られた各実施例および比較例のエポキシ樹脂組成物を用い、トランスファー成形にて半導体装置を作製した。そして、この半導体装置を用い、成形性（金線流率、ダイシフト）および半田耐熱性について、下記の方法に従って測定・評価した。その結果を下記の表４〜表７に示す。
【００７８】
〔成形性〕
【００７９】
（１）金線流率
まず、半導体装置（ＱＦＰ−８０：１４×２０×厚み２．７ｍｍ）をつぎの条件で製造（ＴＯＷＡ社製自動成形機）した。
【００８０】
・リードフレーム：４２アロイ製
・ダイパッドの大きさ：８×８ｍｍ
・成形条件：温度１００℃、注入時間１０秒、注入圧力１００ｋｇ／ｍｍ²、成形時間１２０秒、エポキシ樹脂組成物製タブレットの圧縮比９３％
【００８１】
このようにして製造された半導体装置の内部を軟Ｘ線で透視することにより、図１に示すように、リードフレーム１とボンディングパッド２とを結ぶワイヤー（金線）３の状態を調べた。なお、図１における、ワイヤー３の長さは１．２〜１．６ｍｍ、ワイヤー３の直径は２５μｍである。すなわち、ワイヤー３と、リードフレーム１およびダイパッド２の各連結点間の距離（ｂ）と、連結点からワイヤー３の頂部までの高さ（ａ）をそれぞれ測定した。そして、金線流率（ワイヤーフローレイト）を下記の式にて算出した。
【００８２】
【数１】
金線流率（％）＝（ａ／ｂ）×１００
【００８３】
（２）ダイシフト
上記金線流率の測定の際に製造した条件と同様の条件にて半導体装置を製造した。そして、ダイパッドのシフト量を測定した。すなわち、図２（Ａ）および（Ｂ）に示すように、製造した半導体装置内の、半導体素子７を搭載したダイパッド５の相対する両角部、ｐ点とｑ点を結ぶ一点鎖線Ｘの断面において、ｐ点におけるダイパッド５の下部の封止樹脂６の厚み（ｐ１：μｍ）、および、ｑ点におけるダイパッド５の下部の封止樹脂６の厚み（ｑ１：μｍ）をそれぞれ測定した。そして、これらの厚みと設計値との差をとって、下記の式に基づきダイシフト量（Ｐ／Ｑ）として表した。なお、上記図２（Ａ）において、矢印Ｙはモールド成形機のゲート部分から注入される封止用樹脂の注入方向を示す。
【００８４】
【数２】
ダイシフト量（Ｐ／Ｑ）＝〔（設計値−ｐ１）／（設計値／−ｑ１）〕
【００８５】
〔半田耐熱性〕
半導体装置（ＱＦＰ−８０：１４×２０×厚み２．０ｍｍ）を上記金線流率の測定の際に製造した条件と同様の条件にて製造した。このようにして得られた半導体装置について、８５℃／８５％ＲＨの相対湿度に設定された恒温槽中に、所定時間（１６８時間）放置して吸湿させた後、ＩＲリフロー（２４０℃×１０秒）の熱処理を行った。このときの熱衝撃により発生したパッケージクラック数を測定した。
【００８６】
【表４】
【００８７】
【表５】
【００８８】
【表６】
【００８９】
【表７】
【００９０】
上記表４〜表７の結果から、全ての実施例品は金線流率が５％以下と低く、ダイシフト量もその変化の度合い（Ｐ／Ｑ）が小さい。しかも、パッケージクラック発生数も全く発生しなかったか、発生しても極僅かな結果であった。これに対して、比較例品１，３，４は、金線流率が８％以上と高く、ダイシフト量もその変化の度合いが大きかった。しかも、パッケージクラックも多数発生した。また、比較例２品は、金線流率が５％と実施例品と略同程度であり、ダイシフト量もその変化の度合いは小さかったが、パッケージクラックが全８個とも発生した。このように、全実施例品は、半田耐熱性に優れるとともに、成形性においても優れた特性を有するものであることがわかる。
【００９１】
【発明の効果】
以上のように、本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物は、前記一般式（１）で表される特殊な骨格構造を有するエポキシ樹脂（Ａ成分）と、前記一般式（２）で表される特殊な骨格構造を有するフェノール樹脂（Ｂ成分）を含有するため、低粘度化が可能となり、半田耐熱性と成形性の双方とも優れたものとなる。すなわち、従来、半田耐熱性を向上させるために無機質充填剤を高充填した際の粘度上昇により、封止樹脂の流動性が低下して金線同士の接触が発生したり、適正な位置による半導体素子の封止が困難であったが、本発明では、エポキシ樹脂組成物の低粘度化が図られ、無機質充填剤を高充填しても流動性の低下がみられず、成形性が向上する。したがって、無機質充填剤の高充填による優れた半田耐熱性と、流動性の向上による優れた成形性の双方が実現する。このようなことから、本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物は、例えば、高密度化によるパッケージの薄形化に充分対応できるものである。
【００９２】
そして、上記ビフェニル型エポキシ樹脂（Ａ成分）と特殊なフェノール樹脂（Ｂ成分）との併用に加えて、前述のように、特定の粒度分布を備えた球状シリカ粉末と、特定の粒度分布を備えた破砕シリカ粉末とからなる無機質充填剤（Ｃ成分）を用いることによって、より高度に、封止用樹脂組成物の低粘度化が図られ、その結果、より一層の無機質充填剤の高充填化の実現が図られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】金線流率の測定方法を示す部分模式図である。
【図２】（Ａ）はダイシフト量の測定方法を示す半導体装置の平面図であり、（Ｂ）はその一点鎖線Ｘの断面図である。

Claims

下記の（Ａ）〜（Ｃ）成分を含有することを特徴とする半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
（Ａ）下記の一般式（１）で表されるエポキシ樹脂。
（Ｂ）下記の一般式（２）で表されるフェノール樹脂。
（Ｃ）下記の（ａ）〜（ｄ）に示す粒度分布に設定されたシリカ粉末。
（ａ）平均粒径２０〜６０μｍの球状シリカ粉末がシリカ粉末全体の４０〜８０重量％。
（ｂ）平均粒径１〜１０μｍの球状シリカ粉末がシリカ粉末全体の５〜５０重量％。
（ｃ）平均粒径０．１〜１μｍの球状シリカ粉末がシリカ粉末全体の５〜２０重量％。
（ｄ）平均粒径１〜２０μｍの破砕シリカ粉末がシリカ粉末全体の０〜２０重量％。
上記（Ａ）〜（Ｃ）成分に加えて、さらにポリエチレン系ワックスを含有する請求項１記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
上記（Ａ）〜（Ｃ）成分に加えて、さらにリン系触媒を含有する請求項１または２記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
上記リン系触媒を、予め、（Ｂ）成分であるフェノール樹脂の一部または全部と溶融混合して配合する請求項１〜３のいずれか一項に記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
上記ポリエチレン系ワックスを、予め、（Ｂ）成分であるフェノール樹脂の一部または全部と溶融混合して配合する請求項１〜４のいずれか一項に記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。