JP3617574B2 - 多連多列リードフレームおよびそれを用いる半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置の製造技術、特に、リードフレームを使用する半導体装置の製造技術に関し、例えば、樹脂封止形のスモール・アウトライン・パッケージを備えている半導体集積回路装置（以下、ＳＯＰ・ＩＣという。）の製造に利用して有効な半導体装置の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、ＳＯＰ・ＩＣの製造方法には、多数個の単位リードフレームが互いに隣合わせに連結された多連リードフレームが使用される。単位リードフレームは半導体ペレットを固定するためのタブとタブの周囲に放射状に配設された複数本のリードとリードを支持する枠体（フレーム）とを備え、各リードのタブと反対側端が長方形の枠体の一対のセクション枠にそれぞれ接続されており、隣合う単位リードフレームは枠体同士が一体的に連結されることにより一体的に繋げられている。
【０００３】
この多連リードフレームにはペレットおよびワイヤボンディング工程において、各単位リードフレームのタブに半導体ペレットがボンディングされるとともに、この半導体ペレットと各リードとの間にワイヤがそれぞれ橋絡される。次いで、樹脂封止体成形工程において、多連リードフレームがトランスファ成形装置の成形型に成形型における長方形のキャビティーに半導体ペレットが収容されるとともにリード群がキャビティーの一対の長辺にそれぞれ貫通するようにセットされた後に、キャビティーに成形材料が注入されることにより、半導体ペレットおよびリードの一部（以下、インナリードということがある。）を封止する樹脂封止体が成形される。
【０００４】
このようにして樹脂封止体を成形された多連リードフレームは、ダムやダム内の樹脂ばり等を除去されて半田めっき処理された後に、各リードの樹脂封止体の外側部分（以下、アウタリードということがある。）をガルウイング形状に屈曲される。
【０００５】
なお、樹脂封止パッケージを述べてある例としては、株式会社日経ＢＰ社発行「ＶＬＳＩパッケージング技術（上）」１９９３年５月３１日発行Ｐ１３０〜Ｐ１３５、がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
前述した従来のＳＯＰ・ＩＣの製造方法においては、半田めっき処理が実施された後にアウタリードがガルウイング形状に屈曲成形されるため、次のような問題点が発生する。すなわち、アウタリードに被着された半田めっき被膜がアウタリードの屈曲成形時に剥離されたり割れたりして損傷される。剥離した半田めっき被膜の屑がアウタリード間に付着すると、導電性異物として短絡不良等を引き起こす。さらに、半田めっき被膜を損傷されたアウタリードは下地が露出する等により外観不良になる。また、半田めっき被膜の屑がリード成形装置のパンチやダイに付着すると、次回のリード成形時に所謂打痕不良を引き起こす。
【０００７】
本発明の目的は、リード成形後に半田めっき処理することができるリードフレームおよび半導体装置の製造方法を提供することにある。
【０００８】
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通りである。
【００１０】
すなわち、リードフレームの枠体のリード群の先端から離れた位置には仕切り用スリットがリード先端群の並び方向と平行に開設されており、仕切り用スリットの両端には一対のリード成形用スリットが直角に開設されているとともに、各リード成形用スリットの先端はリードの屈曲の起点と実質的に等しい位置に延びている。
【００１１】
このリードフレームには接続工程において、半導体ペレットが機械的に接続されるとともに、半導体ペレットが各リードに電気的に接続される。続いて、封止体成形工程において、リードフレームに半導体ペレットおよび各リードの一部を封止する封止体が成形される。次いで、リード成形工程において、リードフレームの各リードにおける封止体の外側部分が屈曲される。その後、リードフレームの表面に被膜が形成される。
【００１２】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の一実施形態である多連リードフレームを示す一部省略平面図である。図２以降はその多連リードフレームが使用された本発明の一実施形態であるＳＯＰ・ＩＣの製造方法の各工程を示す各説明図である。
【００１３】
本実施形態において、本発明に係る半導体装置の製造方法は、高密度実装を実現するための半導体集積回路装置（以下、ＩＣという。）である樹脂封止形のＳＯＰ・ＩＣを製造するのに使用されている。このＳＯＰ・ＩＣの製造方法には、図２に示されている多連リードフレーム１が使用される。この多連リードフレーム１は銅系（銅またはその合金）材料または鉄系（鉄またはその合金）からなる薄板が用いられて、打ち抜きプレス加工またはエッチング加工等の適当な手段により一体成形されており、半田めっき処理は実施されていない。
【００１４】
多連リードフレーム１には複数の単位リードフレーム２が横方向に１列に並設されている。但し、連続が理解し得る数単位のみが図示されている。単位リードフレーム２は位置決め孔３ａが開設されている外枠３を一対備えており、両外枠３、３は所定の間隔で平行になるように配されて一連にそれぞれ延設されている。隣り合う単位リードフレーム２、２間には一対のセクション枠４が、両外枠３、３間に互いに平行に配されて一体的に架設されており、これら両外枠３、３、両セクション枠４、４によって形成された略長方形の枠体（フレーム）５内に単位リードフレーム２が構成されている。
【００１５】
単位リードフレーム２において、両外枠３、３における中央部には一対のタブ吊りリード６、６が直角にそれぞれ突設されており、両タブ吊りリード６、６の先端には長方形の平板形状に形成されたタブ７が、枠体５の枠形状と同心的に配されて一体的に吊持されている。両タブ吊りリード６、６はタブ７に固定される半導体ペレット（以下、ペレットという。）の高さが後記するリード群の一主面と一致するようにそれぞれ屈曲されている。所謂タブ下げである。
【００１６】
また、両外枠３、３におけるタブ吊りリード６の両脇には一対のダム部材８、８がそれぞれ架設されており、両ダム部材８、８には複数本のリード９が長手方向に等間隔に配されて、互いに平行でダム部材８と直交するように一体的に突設されている。各リード９におけるダム部材８からタブ７寄りの部分（以下、インナリードという。）９ａは、先端がタブ７に近接されて放射状に敷設されている。他方、各リード９の反対側の端部（以下、アウタリードという。）９ｂは、先端が各セクション枠４に一体的に接続された状態になっている。そして、隣合うアウタリード９ｂ、９ｂ間においてダム部材８は、後述するパッケージ成形時に隣合うアウタリード９ｂ、９ｂ間へのレジンの流れをせき止めるためのダム８ａを構成するようになっている。
【００１７】
単位リードフレーム２において、隣接する両セクション枠４、４との間には熱応力を緩和するための仕切り用スリット１０が両外枠３、３にわたってそれぞれ開設されており、各仕切り用スリット１０は一定幅の細長い長孔形状に形成されている。両外枠３、３内における仕切り用スリット１０の両端には、仕切り用スリット１０と等しい幅の細長い長孔形状のリード成形用スリット１１が直角にそれぞれ開設されているとともに、各リード成形用スリット１１の先端はダム部材８の延長線の位置よりもタブ吊りリード６の延長線寄りの位置に達している。すなわち、リード成形用スリット１１の先端は後記する樹脂封止体の外縁の位置に達しており、この位置はアウタリード９ｂの屈曲の起点と実質的に等しい位置になるように設定されている。仕切り用スリット１０の一端に位置する隣合う単位リードフレーム２、２同士の一対のリード成形用スリット１１、１１は、互いに一直線に連続した状態になっており、一直線状態になった一対のリード成形用スリット１１、１１の長さは、隣合う単位リードフレーム２、２のダム部材８、８の間隔よりも若干長くなっている。また、一連となった仕切り用スリット１０とリード成形用スリット１１群との平面視は「Ｈ」が横に寝た形状になっている。
【００１８】
このように構成されて準備された多連リードフレーム１には、各単位リードフレーム２毎にペレット・ボンディング作業、続いて、ワイヤ・ボンディング作業が実施され、これら作業により、図２に示されている組立体１５が製造されることになる。これらのボンディング作業は多連リードフレームが横方向にピッチ送りされることにより、各単位リードフレーム２毎に順次実施される。また、これらのボンディング作業に際して各単位リードフレーム２は加熱されるが、各単位リードフレーム２毎に仕切り用スリット１０が開設されているため、加熱による熱応力は隣の単位リードフレーム２に伝達されることは抑止ないしは緩和され、その結果、多連リードフレーム１が熱応力によって変形することは防止される。
【００１９】
まず、ペレットボンディング作業により、前工程において集積回路素子（図示せず）を作り込まれた半導体集積回路構造体としてのペレット１３が、各単位リードフレーム２におけるタブ７上の略中央部に配されて、銀ペースト等の適当な材料を用いられて形成されるボンディング層１２を介して固着される。銀ペーストは、エポキシ系樹脂接着剤、硬化促進剤、および溶剤に銀粉が混入されて構成されているものであり、リードフレーム上に塗布された銀ペーストにペレットが押接された後、適当な温度によって硬化（キュア）されることにより、ボンディング層１２を形成するようになっている。
【００２０】
そして、タブ７に固定的にボンディングされたペレット１３のボンディングパッド１３ａと、単位リードフレーム２における各インナリード９ａとの間には、銅系材料（銅または銅合金）や金系材料（金または金合金）を使用されて形成されているワイヤ１４が、超音波熱圧着式の適当なワイヤボンディング装置が使用されることにより、その両端部をそれぞれボンディングされて橋絡される。以上のボンディング作業により、ペレット１３に作り込まれている集積回路は、ボンディングパッド１３ａ、ワイヤ１４、インナリード９ａおよびアウタリード９ｂを介して電気的に外部に引き出されることになる。
【００２１】
その後、多連リードフレームにペレットおよびワイヤ・ボンディングされた組立体１５には樹脂封止体１６が、図３に示されているトランスファ成形装置を使用されて単位リードフレーム群について同時成形される。
【００２２】
図３に示されているトランスファ成形装置２０はシリンダ装置等（図示せず）によって互いに型締めされる上型２１と下型２２とを備えており、上型２１と下型２２との合わせ面には長方形の平盤形状の上型キャビティー凹部２３ａと下型キャビティー凹部２３ｂとが、互いに協働してキャビティー２３を形成するようにそれぞれ複数組没設されている。上型２１の合わせ面にはポット２４が開設されており、ポット２４にはシリンダ装置（図示せず）により進退されるプランジャ２５が成形材料としての樹脂から成るタブレットが投入され、タブレットが溶融されて成る樹脂（以下、レジンという。）を送給し得るようになっている。
【００２３】
下型２２の合わせ面にはカル２６がポット２４との対向位置に配されて没設されているとともに、複数条のランナ２７がポット２４にそれぞれ接続するように放射状に配されて没設されている。各ランナ２７の他端部は下側キャビティー凹部２３ｂにそれぞれ接続されており、その接続部にはゲート２８がレジンをキャビティー２３内に注入し得るように形成されている。また、下型２２の合わせ面には逃げ凹所２９がリードフレームの厚みを逃げ得るように、多連リードフレーム１の外形よりも若干大きめの長方形で、その厚さと略等しい寸法の一定深さに没設されている。
【００２４】
トランスファ成形に際し、トランスファ成形装置２０のワークである前記構成に係る組立体１５は下型２２に没設されている逃げ凹所２９内に載置される。この状態において、単位リードフレーム２におけるペレット１３およびインナリード９ａ群がキャビティー２３内にそれぞれ収容され、ダム部材８がキャビティー２３の縁辺に近接し、アウタリード９ｂ群がキャビティー２３の外側で並んだ状態になる。
【００２５】
続いて、上型２１と下型２２とが型締めされ、ポット２４からプランジャ２５により成形材料としてのレジン３０がランナ２７およびゲート２８を通じて各キャビティー２３に送給されてそれぞれ圧入される。キャビティー２３内に圧入されたレジン３０はその充填に伴って、上型２１と下型２２との合わせ面間において隣合うリード９、９の間からキャビティー２３の外部に漏洩する。しかし、キャビティー２３は隣合うリード９、９間においてダム８ａ群により包囲されているため、キャビティー２３から漏洩したレジン３０がダム８ａを越えてさらに外方へ流出することはない。そして、キャビティー２３から隣合うリード９、９およびダム８ａによって取り囲まれた隙間内に漏洩したレジン３０により、ダム樹脂ばり（図示せず）が形成されることになる。
【００２６】
注入後、レジンが熱硬化されて樹脂封止体１６が成形されると、上型２１および下型２２は型開きされるとともに、エジェクタ・ピン（図示せず）により樹脂封止体１６が離型される。このようにして、組立体１５に樹脂封止体１６を成形された図４に示されている成形体１７が製造されたことになる。
【００２７】
以上のようにして製造された成形体１７の各樹脂封止体１６の内部には、ペレット１３、インナリード９ａおよびワイヤ１４が樹脂封止された状態になる。この状態において、樹脂封止体１６における両アウタリード９ｂ、９ｂとダム８ａの内側端辺との空間内に形成されたダム樹脂ばり（図示せず）はきわめて微細であるため、樹脂封止体１６に殆ど一体化されており、しかも、微細であるため、外観上もダム樹脂ばりと認識され得ない程度のものになっている。
【００２８】
以上のようにして多連リードフレームに樹脂封止体を成形された成形体１７は半田めっき処理工程を経る前に、隣合うアウタリード９ｂ、９ｂ間に架設された各ダム８ａおよび樹脂ばりを切り落とされる。続いて、図５に示されているように、リード成形装置３１が使用されて、成形体１７のアウタリード９ｂ群が図６に示されているガルウイング形状に屈曲成形される。次に、図５および図６を参照にして、リード成形工程を説明する。
【００２９】
図５に示されているリード成形装置３１は上側取付板３２、下側取付板３３を備えており、上側取付板３２はシリンダ装置（図示せず）によって上下動されることにより機台上に固設された下側取付板３３に対して接近、離反するように構成されている。上側取付板３２および下側取付板３３には上側ホルダ３４および下側ホルダ３５がそれぞれ固定的に取り付けられており、上側ホルダ３４および下側ホルダ３５には上側押さえ型（以下、上型という。）３６および下側押さえ型（以下、下型という。）３７が互いに心合わせされてそれぞれ保持されている。上型３６および下型３７は互いに最中合わせの状態になる略チャンネル型鋼形状にそれぞれ形成されている。上型３６および下型３７には上側押さえ部３８および下側押さえ部３９が対称形にそれぞれ形成されており、上側押さえ部３８および下側押さえ部３９は成形体１７の単位リードフレーム２におけるアウタリード９ｂの根元部を上下から押さえるように構成されている。上型３６はガイド４０およびスプリング４１により独立懸架されている。
【００３０】
上側ホルダ３４には左右で一対のパンチ４２が上型３６の左右両脇においてアウタリード９ｂ群の全幅に対応するようにそれぞれ取り付けられており、両パンチ４２、４２はカム装置によって垂直面内において二次元的に操作されることによりダイと協働して、アウタリード９ｂ群および両外枠３、３の一部（後述する。）をしごき状態なしにガルウイング形状に屈曲成形し得るように構成されている。他方、下型３７には左右で一対のダイ４３、４３が下側押さえ部３９の左右両脇に一体的にそれぞれ形成されており、両ダイ４３、４３はパンチ４２と協働してアウタリード９ｂ群および両外枠３、３の一部をガルウイング形状に屈曲成形し得るように構成されている。
【００３１】
アウタリード９ｂ群のリード成形に際して、図５（ａ）に示されているように、下側ホルダ３５の上に成形体１７が樹脂封止体１６を下型３７の凹部に落とし込まれるようにしてセットされる。これにより、アウタリード９ｂ群の根元部および両外枠３、３の外側端辺部分が下型３７の両下側押さえ部３９、３９にそれぞれ当接する。
【００３２】
次に、シリンダ装置によって上側取付板３２が下降され、図５（ｂ）の左半分に示されているように、上型３６が下型３７にスプリング４１の弾発力により合わせられる。これにより、上型３６の両上側押さえ部３８、３８と下型３７の両下側押さえ部３９、３９との間で、被屈曲部としてのアウタリード９ｂ群の根元部および両外枠３、３におけるリード成形用スリット１１の外側部分がそれぞれ挟圧されて固定される。
【００３３】
続いて、上側取付板３２がさらに下降されて行くと、スプリング４１が圧縮変形されることにより、パンチ４２が下降されて行き、図５（ｂ）の右半分に示されているように、アウタリード９ｂ群、両外枠３、３および両セクション枠４、４のリード成形用スリット１１の外側部分はパンチ４２の下降に伴ってダイ４３に押し付けられることにより、ダイ４３に倣うように屈曲されて所望のガルウイング形状に成形される。このとき、パンチ４２はカム装置によって外側から内側に向けて斜め下向きに揺動されてアウタリード９ｂ群等を屈曲させるため、アウタリード９ｂ群等にしごき力が作用することはない。したがって、樹脂封止体１６とアウタリード９ｂとの界面が屈曲成形力によって押し開かれる力は作用しない。このため、アウタリード９ｂ群のガルウイング形状の屈曲成形に際して、樹脂封止体１６とアウタリード９ｂとの界面に隙間が発生する現象は防止されることになる。
【００３４】
パンチ４２が所定のストロークを終了すると、パンチ４２は上側取付板３２によって上昇され、元の待機状態まで戻される。その後、リード成形済の単位リードフレーム２は下型３７から取り外され、次の単位リードフレーム２が下型３７にセットされる。以降、前記作動が繰り返されることにより、成形体１７の各単位リードフレーム２におけるアウタリード９ｂについてリード成形が順次実施されて行く。
【００３５】
以上のようにして屈曲成形されたリード成形体１８は、図６に示されている状態になっている。すなわち、両外枠３、３における両リード成形用スリット１１、１１の内寄りの端部３ｂはそれぞれガルウイング形状に屈曲成形されており、屈曲された端部３ｂの下がった先端間にはセクション枠４が架橋された状態になっている。そして、ガルウイング形状に屈曲成形されて下がった状態になった各アウタリード９ｂの先端は、下がった状態になったセクション枠４の内側端辺にそれぞれ一体的に連結された状態になっている。
【００３６】
その後、リード成形体１８は半田めっき処理工程において半田めっき処理を実施される。例えば、図７（ａ）に示されているように、リード成形体１８は半田めっき処理液５１に浸漬された状態で、半田めっき処理液５１との間に電源装置５２によって電圧を印加される。この半田めっき処理によって、多連リードフレーム１には図７（ｂ）に示されているように全体的に半田めっき被膜５３が被着される。この際、各アウタリード９ｂの先端がセクション枠４に一体的に連結されていることにより、各アウタリード９ｂは全体的に均一に所定の電位になるため、半田めっき被膜５３は全体的に均一に被着された状態になる。
【００３７】
以上のようにして半田めっき処理が実施された後に、多連リードフレーム１の両外枠３、３および両セクション枠４、４がタブ吊りリード６の根元部および各アウタリード９ｂの先端部において切断されて切り落とされる。これにより、図８に示されているＳＯＰ・ＩＣ１９が製造されたことになる。
【００３８】
前記実施形態によれば次の効果が得られる。
（１） リードフレームの枠体のリード群の先端から離れた位置に仕切り用スリットをリード先端群の並び方向と平行に開設し、仕切り用スリットの両端には一対のリード成形用スリットを直角に開設するとともに、各リード成形用スリットの先端をリードの屈曲の起点と実質的に等しい位置に延設することにより、リード成形工程において、リードフレームの各リードにおける樹脂封止体の外側部分を屈曲するに際して、リード成形用スリットの先端部を屈曲点としてリード群の先端を枠体に一体的に連結した状態で屈曲成形することができるため、リード成形後にリードフレームに半田めっき処理を実施しても各リード全体に半田めっき被膜を均一に被着させることができる。
【００３９】
（２） 半田めっき被膜をリード成形後に被着することにより、リード成形作業によって半田めっき被膜が損傷されたり、剥離された半田めっき被膜がリードに付着する現象を必然的に回避することができるため、ＳＯＰ・ＩＣの品質および信頼性を高めることができる。
【００４０】
（３） また、半田めっき被膜をリード成形後に被着することにより、リード成形作業においてリード成形装置のパンチやダイに剥離された半田めっき被膜の屑が付着するのを必然的に回避することができるため、半田めっき被膜屑の付着によるリード成形時の所謂打痕不良を防止することができる。
【００４１】
以上本発明者によってなされた発明を実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【００４２】
例えば、図９に示されているように、複数の多連リードフレームが多列に連結された多連多列リードフレーム（マルチリードフレーム）１Ａにも適用することができる。本実施形態においては、仕切り用スリット１０は多列リードフレーム全体を横断するように開設されており、その仕切り用スリット１０の両端にリード成形用スリット１１が直角にそれぞれ開設されている。
【００４３】
リード成形用スリット１１は隣合う単位リードフレーム２、２を仕切る一本の仕切り用スリット１０の両端に直交するように配設するに限らず、単位リードフレーム２毎に仕切り用スリット１０がそれぞれ開設されている場合には、各仕切り用スリット１０の両端にそれぞれ直角に配設すればよい。すなわち、仕切り用スリット１０と一対のリード成形用スリット１１、１１とが「コ」字形状に組まれた状態で、各単位リードフレーム２のセクション枠４および両外枠３、３に開設してもよい。
【００４４】
半田被膜はアウタリードに半田めっき処理によって被着するに限らず、半田ディップ処理等によって被着してもよい。また、被膜は半田被膜に限らず、錫めっき被膜等のような他の材質の被膜であってもよい。
【００４５】
リードフレームにペレットを機械的に接続するとともに各インナリードに電気的に接続する工程や、樹脂封止体を成形する工程、アウタリードを屈曲成形する工程および半田被膜をアウタリードに被着する工程は、前記実施形態の方法および装置を使用して実施するに限られない。
【００４６】
以上の説明では主として本発明者によってなされた発明をその背景となった利用分野である樹脂封止ＳＯＰ・ＩＣの製造方法に適用した場合について説明したが、それに限定されるものではなく、Ｉリーリッド形状等のようなガルウイング形状以外の形状のアウタリードの樹脂封止パッケージおよび気密封止パッケージを備えているＩＣやトランジスタ等の半導体装置の製造方法全般に適用することができる。
【００４７】
【発明の効果】
本願において開示される発明のうち代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次の通りである。
【００４８】
リードフレームの枠体のリード群の先端から離れた位置に仕切り用スリットをリード先端群の並び方向と平行に開設し、仕切り用スリットの両端には一対のリード成形用スリットを直角に開設するとともに、各リード成形用スリットの先端をリードの屈曲の起点と実質的に等しい位置に延設することにより、リード成形工程において、リードフレームの各リードにおける封止体の外側部分を屈曲するに際して、リード成形用スリットの先端部を屈曲点としてリード群の先端を枠体に一体的に連結した状態で屈曲成形することができるため、リード成形後にリードフレームに被膜処理を実施しても各リード全体に被膜を均一に被着させることができる。
【００４９】
被膜をリード成形後に被着することにより、リード成形作業によって被膜が損傷されたり剥離された被膜がリードに付着する現象を必然的に回避することができるため、半導体装置の品質および信頼性を高めることができる。
【００５０】
また、被膜をリード成形後に被着することにより、リード成形作業においてリード成形装置のパンチやダイに剥離された被膜の屑が付着するのを必然的に回避することができるため、被膜屑の付着によるリード成形時の所謂打痕不良を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態である多連リードフレームを示す一部省略平面図である。
【図２】その多連リードフレームが使用された本発明の一実施形態であるＳＯＰ・ＩＣの製造方法におけるペレットおよびワイヤボンディング後を示しており、（ａ）は一部省略平面図、（ｂ）はその正面断面図である。
【図３】その樹脂封止体成形工程を示しており、（ａ）は一部省略縦断面図、（ｂ）は（ａ）のｂ−ｂ線に沿う部分断面図である。
【図４】樹脂封止体成形後の成形体を示しており、（ａ）は一部省略一部切断平面図、（ｂ）はその正面断面図である。
【図５】（ａ）、（ｂ）はリード成形工程を示す各一部切断正面図である。
【図６】リード成形後を示す一部省略斜視図である。
【図７】（ａ）は半田めっき処理工程を示す模式図であり、（ｂ）は半田めっき処理後を示す一部省略斜視図である。
【図８】ＳＯＰ・ＩＣを示す斜視図である。
【図９】本発明の他の実施形態である多連多列リードフレームの樹脂封止体成形後を示す一部省略平面図である。
【符号の説明】
１…多連リードフレーム、２…単位リードフレーム、３…外枠、３ａ…位置決め孔、３ｂ…被屈曲端部、４…セクション枠、５…枠体（フレーム）、６…タブ吊りリード、７…タブ、８…ダム部材、８ａ…ダム、９…リード、９ａ…インナリード、９ｂ…アウタリード、１０…仕切り用スリット、１１…リード成形用スリット、１２…ボンディング層、１３…ペレット、１３ａ…ボンディングパッド、１４…ワイヤ、１５…組立体、１６…樹脂封止体、１７…成形体、１８…リード成形体、１９…ＳＯＰ・ＩＣ（半導体装置）、２０…トランスファ成形装置、２１…上型、２２…下型、２３…キャビティー、２３ａ…上型キャビティー凹部、２３ｂ…下型キャビティー凹部、２４…ポット、２５…プランジャ、２６…カル、２７…ランナ、２８…ゲート、２９…逃げ凹所、３０…レジン、３１…リード成形装置、３２…上側取付板、３３…下側取付板、３４…上側ホルダ、３５…下側ホルダ、３６…上側押さえ型（上型）、３７…下側押さえ型（下型）、３８…上側押さえ部、３９…下側押さえ部、４０…ガイド、４１…スプリング、４２…パンチ、４３…ダイ、５１…半田めっき処理液、５２…電源装置、５３…半田めっき被膜（被膜）、１Ａ…多連多列リードフレーム。
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置の製造技術、特に、リードフレームを使用する半導体装置の製造技術に関し、例えば、樹脂封止形のスモール・アウトライン・パッケージを備えている半導体集積回路装置（以下、ＳＯＰ・ＩＣという。）の製造に利用して有効な半導体装置の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、ＳＯＰ・ＩＣの製造方法には、多数個の単位リードフレームが互いに隣合わせに連結された多連リードフレームが使用される。単位リードフレームは半導体ペレットを固定するためのタブとタブの周囲に放射状に配設された複数本のリードとリードを支持する枠体（フレーム）とを備え、各リードのタブと反対側端が長方形の枠体の一対のセクション枠にそれぞれ接続されており、隣合う単位リードフレームは枠体同士が一体的に連結されることにより一体的に繋げられている。
【０００３】
この多連リードフレームにはペレットおよびワイヤボンディング工程において、各単位リードフレームのタブに半導体ペレットがボンディングされるとともに、この半導体ペレットと各リードとの間にワイヤがそれぞれ橋絡される。次いで、樹脂封止体成形工程において、多連リードフレームがトランスファ成形装置の成形型に成形型における長方形のキャビティーに半導体ペレットが収容されるとともにリード群がキャビティーの一対の長辺にそれぞれ貫通するようにセットされた後に、キャビティーに成形材料が注入されることにより、半導体ペレットおよびリードの一部（以下、インナリードということがある。）を封止する樹脂封止体が成形される。
【０００４】
このようにして樹脂封止体を成形された多連リードフレームは、ダムやダム内の樹脂ばり等を除去されて半田めっき処理された後に、各リードの樹脂封止体の外側部分（以下、アウタリードということがある。）をガルウイング形状に屈曲される。
【０００５】
なお、樹脂封止パッケージを述べてある例としては、株式会社日経ＢＰ社発行「ＶＬＳＩパッケージング技術（上）」１９９３年５月３１日発行Ｐ１３０〜Ｐ１３５、がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
前述した従来のＳＯＰ・ＩＣの製造方法においては、半田めっき処理が実施された後にアウタリードがガルウイング形状に屈曲成形されるため、次のような問題点が発生する。すなわち、アウタリードに被着された半田めっき被膜がアウタリードの屈曲成形時に剥離されたり割れたりして損傷される。剥離した半田めっき被膜の屑がアウタリード間に付着すると、導電性異物として短絡不良等を引き起こす。さらに、半田めっき被膜を損傷されたアウタリードは下地が露出する等により外観不良になる。また、半田めっき被膜の屑がリード成形装置のパンチやダイに付着すると、次回のリード成形時に所謂打痕不良を引き起こす。
【０００７】
本発明の目的は、リード成形後に半田めっき処理することができるリードフレームおよび半導体装置の製造方法を提供することにある。
【０００８】
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通りである。
【００１０】
すなわち、リードフレームの枠体のリード群の先端から離れた位置には仕切り用スリットがリード先端群の並び方向と平行に開設されており、仕切り用スリットの両端には一対のリード成形用スリットが直角に開設されているとともに、各リード成形用スリットの先端はリードの屈曲の起点と実質的に等しい位置に延びている。
【００１１】
このリードフレームには接続工程において、半導体ペレットが機械的に接続されるとともに、半導体ペレットが各リードに電気的に接続される。続いて、封止体成形工程において、リードフレームに半導体ペレットおよび各リードの一部を封止する封止体が成形される。次いで、リード成形工程において、リードフレームの各リードにおける封止体の外側部分が屈曲される。その後、リードフレームの表面に被膜が形成される。
【００１２】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の一実施形態である多連リードフレームを示す一部省略平面図である。図２以降はその多連リードフレームが使用された本発明の一実施形態であるＳＯＰ・ＩＣの製造方法の各工程を示す各説明図である。
【００１３】
本実施形態において、本発明に係る半導体装置の製造方法は、高密度実装を実現するための半導体集積回路装置（以下、ＩＣという。）である樹脂封止形のＳＯＰ・ＩＣを製造するのに使用されている。このＳＯＰ・ＩＣの製造方法には、図２に示されている多連リードフレーム１が使用される。この多連リードフレーム１は銅系（銅またはその合金）材料または鉄系（鉄またはその合金）からなる薄板が用いられて、打ち抜きプレス加工またはエッチング加工等の適当な手段により一体成形されており、半田めっき処理は実施されていない。
【００１４】
多連リードフレーム１には複数の単位リードフレーム２が横方向に１列に並設されている。但し、連続が理解し得る数単位のみが図示されている。単位リードフレーム２は位置決め孔３ａが開設されている外枠３を一対備えており、両外枠３、３は所定の間隔で平行になるように配されて一連にそれぞれ延設されている。隣り合う単位リードフレーム２、２間には一対のセクション枠４が、両外枠３、３間に互いに平行に配されて一体的に架設されており、これら両外枠３、３、両セクション枠４、４によって形成された略長方形の枠体（フレーム）５内に単位リードフレーム２が構成されている。
【００１５】
単位リードフレーム２において、両外枠３、３における中央部には一対のタブ吊りリード６、６が直角にそれぞれ突設されており、両タブ吊りリード６、６の先端には長方形の平板形状に形成されたタブ７が、枠体５の枠形状と同心的に配されて一体的に吊持されている。両タブ吊りリード６、６はタブ７に固定される半導体ペレット（以下、ペレットという。）の高さが後記するリード群の一主面と一致するようにそれぞれ屈曲されている。所謂タブ下げである。
【００１６】
また、両外枠３、３におけるタブ吊りリード６の両脇には一対のダム部材８、８がそれぞれ架設されており、両ダム部材８、８には複数本のリード９が長手方向に等間隔に配されて、互いに平行でダム部材８と直交するように一体的に突設されている。各リード９におけるダム部材８からタブ７寄りの部分（以下、インナリードという。）９ａは、先端がタブ７に近接されて放射状に敷設されている。他方、各リード９の反対側の端部（以下、アウタリードという。）９ｂは、先端が各セクション枠４に一体的に接続された状態になっている。そして、隣合うアウタリード９ｂ、９ｂ間においてダム部材８は、後述するパッケージ成形時に隣合うアウタリード９ｂ、９ｂ間へのレジンの流れをせき止めるためのダム８ａを構成するようになっている。
【００１７】
単位リードフレーム２において、隣接する両セクション枠４、４との間には熱応力を緩和するための仕切り用スリット１０が両外枠３、３にわたってそれぞれ開設されており、各仕切り用スリット１０は一定幅の細長い長孔形状に形成されている。両外枠３、３内における仕切り用スリット１０の両端には、仕切り用スリット１０と等しい幅の細長い長孔形状のリード成形用スリット１１が直角にそれぞれ開設されているとともに、各リード成形用スリット１１の先端はダム部材８の延長線の位置よりもタブ吊りリード６の延長線寄りの位置に達している。すなわち、リード成形用スリット１１の先端は後記する樹脂封止体の外縁の位置に達しており、この位置はアウタリード９ｂの屈曲の起点と実質的に等しい位置になるように設定されている。仕切り用スリット１０の一端に位置する隣合う単位リードフレーム２、２同士の一対のリード成形用スリット１１、１１は、互いに一直線に連続した状態になっており、一直線状態になった一対のリード成形用スリット１１、１１の長さは、隣合う単位リードフレーム２、２のダム部材８、８の間隔よりも若干長くなっている。また、一連となった仕切り用スリット１０とリード成形用スリット１１群との平面視は「Ｈ」が横に寝た形状になっている。
【００１８】
このように構成されて準備された多連リードフレーム１には、各単位リードフレーム２毎にペレット・ボンディング作業、続いて、ワイヤ・ボンディング作業が実施され、これら作業により、図２に示されている組立体１５が製造されることになる。これらのボンディング作業は多連リードフレームが横方向にピッチ送りされることにより、各単位リードフレーム２毎に順次実施される。また、これらのボンディング作業に際して各単位リードフレーム２は加熱されるが、各単位リードフレーム２毎に仕切り用スリット１０が開設されているため、加熱による熱応力は隣の単位リードフレーム２に伝達されることは抑止ないしは緩和され、その結果、多連リードフレーム１が熱応力によって変形することは防止される。
【００１９】
まず、ペレットボンディング作業により、前工程において集積回路素子（図示せず）を作り込まれた半導体集積回路構造体としてのペレット１３が、各単位リードフレーム２におけるタブ７上の略中央部に配されて、銀ペースト等の適当な材料を用いられて形成されるボンディング層１２を介して固着される。銀ペーストは、エポキシ系樹脂接着剤、硬化促進剤、および溶剤に銀粉が混入されて構成されているものであり、リードフレーム上に塗布された銀ペーストにペレットが押接された後、適当な温度によって硬化（キュア）されることにより、ボンディング層１２を形成するようになっている。
【００２０】
そして、タブ７に固定的にボンディングされたペレット１３のボンディングパッド１３ａと、単位リードフレーム２における各インナリード９ａとの間には、銅系材料（銅または銅合金）や金系材料（金または金合金）を使用されて形成されているワイヤ１４が、超音波熱圧着式の適当なワイヤボンディング装置が使用されることにより、その両端部をそれぞれボンディングされて橋絡される。以上のボンディング作業により、ペレット１３に作り込まれている集積回路は、ボンディングパッド１３ａ、ワイヤ１４、インナリード９ａおよびアウタリード９ｂを介して電気的に外部に引き出されることになる。
【００２１】
その後、多連リードフレームにペレットおよびワイヤ・ボンディングされた組立体１５には樹脂封止体１６が、図３に示されているトランスファ成形装置を使用されて単位リードフレーム群について同時成形される。
【００２２】
図３に示されているトランスファ成形装置２０はシリンダ装置等（図示せず）によって互いに型締めされる上型２１と下型２２とを備えており、上型２１と下型２２との合わせ面には長方形の平盤形状の上型キャビティー凹部２３ａと下型キャビティー凹部２３ｂとが、互いに協働してキャビティー２３を形成するようにそれぞれ複数組没設されている。上型２１の合わせ面にはポット２４が開設されており、ポット２４にはシリンダ装置（図示せず）により進退されるプランジャ２５が成形材料としての樹脂から成るタブレットが投入され、タブレットが溶融されて成る樹脂（以下、レジンという。）を送給し得るようになっている。
【００２３】
下型２２の合わせ面にはカル２６がポット２４との対向位置に配されて没設されているとともに、複数条のランナ２７がポット２４にそれぞれ接続するように放射状に配されて没設されている。各ランナ２７の他端部は下側キャビティー凹部２３ｂにそれぞれ接続されており、その接続部にはゲート２８がレジンをキャビティー２３内に注入し得るように形成されている。また、下型２２の合わせ面には逃げ凹所２９がリードフレームの厚みを逃げ得るように、多連リードフレーム１の外形よりも若干大きめの長方形で、その厚さと略等しい寸法の一定深さに没設されている。
【００２４】
トランスファ成形に際し、トランスファ成形装置２０のワークである前記構成に係る組立体１５は下型２２に没設されている逃げ凹所２９内に載置される。この状態において、単位リードフレーム２におけるペレット１３およびインナリード９ａ群がキャビティー２３内にそれぞれ収容され、ダム部材８がキャビティー２３の縁辺に近接し、アウタリード９ｂ群がキャビティー２３の外側で並んだ状態になる。
【００２５】
続いて、上型２１と下型２２とが型締めされ、ポット２４からプランジャ２５により成形材料としてのレジン３０がランナ２７およびゲート２８を通じて各キャビティー２３に送給されてそれぞれ圧入される。キャビティー２３内に圧入されたレジン３０はその充填に伴って、上型２１と下型２２との合わせ面間において隣合うリード９、９の間からキャビティー２３の外部に漏洩する。しかし、キャビティー２３は隣合うリード９、９間においてダム８ａ群により包囲されているため、キャビティー２３から漏洩したレジン３０がダム８ａを越えてさらに外方へ流出することはない。そして、キャビティー２３から隣合うリード９、９およびダム８ａによって取り囲まれた隙間内に漏洩したレジン３０により、ダム樹脂ばり（図示せず）が形成されることになる。
【００２６】
注入後、レジンが熱硬化されて樹脂封止体１６が成形されると、上型２１および下型２２は型開きされるとともに、エジェクタ・ピン（図示せず）により樹脂封止体１６が離型される。このようにして、組立体１５に樹脂封止体１６を成形された図４に示されている成形体１７が製造されたことになる。
【００２７】
以上のようにして製造された成形体１７の各樹脂封止体１６の内部には、ペレット１３、インナリード９ａおよびワイヤ１４が樹脂封止された状態になる。この状態において、樹脂封止体１６における両アウタリード９ｂ、９ｂとダム８ａの内側端辺との空間内に形成されたダム樹脂ばり（図示せず）はきわめて微細であるため、樹脂封止体１６に殆ど一体化されており、しかも、微細であるため、外観上もダム樹脂ばりと認識され得ない程度のものになっている。
【００２８】
以上のようにして多連リードフレームに樹脂封止体を成形された成形体１７は半田めっき処理工程を経る前に、隣合うアウタリード９ｂ、９ｂ間に架設された各ダム８ａおよび樹脂ばりを切り落とされる。続いて、図５に示されているように、リード成形装置３１が使用されて、成形体１７のアウタリード９ｂ群が図６に示されているガルウイング形状に屈曲成形される。次に、図５および図６を参照にして、リード成形工程を説明する。
【００２９】
図５に示されているリード成形装置３１は上側取付板３２、下側取付板３３を備えており、上側取付板３２はシリンダ装置（図示せず）によって上下動されることにより機台上に固設された下側取付板３３に対して接近、離反するように構成されている。上側取付板３２および下側取付板３３には上側ホルダ３４および下側ホルダ３５がそれぞれ固定的に取り付けられており、上側ホルダ３４および下側ホルダ３５には上側押さえ型（以下、上型という。）３６および下側押さえ型（以下、下型という。）３７が互いに心合わせされてそれぞれ保持されている。上型３６および下型３７は互いに最中合わせの状態になる略チャンネル型鋼形状にそれぞれ形成されている。上型３６および下型３７には上側押さえ部３８および下側押さえ部３９が対称形にそれぞれ形成されており、上側押さえ部３８および下側押さえ部３９は成形体１７の単位リードフレーム２におけるアウタリード９ｂの根元部を上下から押さえるように構成されている。上型３６はガイド４０およびスプリング４１により独立懸架されている。
【００３０】
上側ホルダ３４には左右で一対のパンチ４２が上型３６の左右両脇においてアウタリード９ｂ群の全幅に対応するようにそれぞれ取り付けられており、両パンチ４２、４２はカム装置によって垂直面内において二次元的に操作されることによりダイと協働して、アウタリード９ｂ群および両外枠３、３の一部（後述する。）をしごき状態なしにガルウイング形状に屈曲成形し得るように構成されている。他方、下型３７には左右で一対のダイ４３、４３が下側押さえ部３９の左右両脇に一体的にそれぞれ形成されており、両ダイ４３、４３はパンチ４２と協働してアウタリード９ｂ群および両外枠３、３の一部をガルウイング形状に屈曲成形し得るように構成されている。
【００３１】
アウタリード９ｂ群のリード成形に際して、図５（ａ）に示されているように、下側ホルダ３５の上に成形体１７が樹脂封止体１６を下型３７の凹部に落とし込まれるようにしてセットされる。これにより、アウタリード９ｂ群の根元部および両外枠３、３の外側端辺部分が下型３７の両下側押さえ部３９、３９にそれぞれ当接する。
【００３２】
次に、シリンダ装置によって上側取付板３２が下降され、図５（ｂ）の左半分に示されているように、上型３６が下型３７にスプリング４１の弾発力により合わせられる。これにより、上型３６の両上側押さえ部３８、３８と下型３７の両下側押さえ部３９、３９との間で、被屈曲部としてのアウタリード９ｂ群の根元部および両外枠３、３におけるリード成形用スリット１１の外側部分がそれぞれ挟圧されて固定される。
【００３３】
続いて、上側取付板３２がさらに下降されて行くと、スプリング４１が圧縮変形されることにより、パンチ４２が下降されて行き、図５（ｂ）の右半分に示されているように、アウタリード９ｂ群、両外枠３、３および両セクション枠４、４のリード成形用スリット１１の外側部分はパンチ４２の下降に伴ってダイ４３に押し付けられることにより、ダイ４３に倣うように屈曲されて所望のガルウイング形状に成形される。このとき、パンチ４２はカム装置によって外側から内側に向けて斜め下向きに揺動されてアウタリード９ｂ群等を屈曲させるため、アウタリード９ｂ群等にしごき力が作用することはない。したがって、樹脂封止体１６とアウタリード９ｂとの界面が屈曲成形力によって押し開かれる力は作用しない。このため、アウタリード９ｂ群のガルウイング形状の屈曲成形に際して、樹脂封止体１６とアウタリード９ｂとの界面に隙間が発生する現象は防止されることになる。
【００３４】
パンチ４２が所定のストロークを終了すると、パンチ４２は上側取付板３２によって上昇され、元の待機状態まで戻される。その後、リード成形済の単位リードフレーム２は下型３７から取り外され、次の単位リードフレーム２が下型３７にセットされる。以降、前記作動が繰り返されることにより、成形体１７の各単位リードフレーム２におけるアウタリード９ｂについてリード成形が順次実施されて行く。
【００３５】
以上のようにして屈曲成形されたリード成形体１８は、図６に示されている状態になっている。すなわち、両外枠３、３における両リード成形用スリット１１、１１の内寄りの端部３ｂはそれぞれガルウイング形状に屈曲成形されており、屈曲された端部３ｂの下がった先端間にはセクション枠４が架橋された状態になっている。そして、ガルウイング形状に屈曲成形されて下がった状態になった各アウタリード９ｂの先端は、下がった状態になったセクション枠４の内側端辺にそれぞれ一体的に連結された状態になっている。
【００３６】
その後、リード成形体１８は半田めっき処理工程において半田めっき処理を実施される。例えば、図７（ａ）に示されているように、リード成形体１８は半田めっき処理液５１に浸漬された状態で、半田めっき処理液５１との間に電源装置５２によって電圧を印加される。この半田めっき処理によって、多連リードフレーム１には図７（ｂ）に示されているように全体的に半田めっき被膜５３が被着される。この際、各アウタリード９ｂの先端がセクション枠４に一体的に連結されていることにより、各アウタリード９ｂは全体的に均一に所定の電位になるため、半田めっき被膜５３は全体的に均一に被着された状態になる。
【００３７】
以上のようにして半田めっき処理が実施された後に、多連リードフレーム１の両外枠３、３および両セクション枠４、４がタブ吊りリード６の根元部および各アウタリード９ｂの先端部において切断されて切り落とされる。これにより、図８に示されているＳＯＰ・ＩＣ１９が製造されたことになる。
【００３８】
前記実施形態によれば次の効果が得られる。
（１） リードフレームの枠体のリード群の先端から離れた位置に仕切り用スリットをリード先端群の並び方向と平行に開設し、仕切り用スリットの両端には一対のリード成形用スリットを直角に開設するとともに、各リード成形用スリットの先端をリードの屈曲の起点と実質的に等しい位置に延設することにより、リード成形工程において、リードフレームの各リードにおける樹脂封止体の外側部分を屈曲するに際して、リード成形用スリットの先端部を屈曲点としてリード群の先端を枠体に一体的に連結した状態で屈曲成形することができるため、リード成形後にリードフレームに半田めっき処理を実施しても各リード全体に半田めっき被膜を均一に被着させることができる。
【００３９】
（２） 半田めっき被膜をリード成形後に被着することにより、リード成形作業によって半田めっき被膜が損傷されたり、剥離された半田めっき被膜がリードに付着する現象を必然的に回避することができるため、ＳＯＰ・ＩＣの品質および信頼性を高めることができる。
【００４０】
（３） また、半田めっき被膜をリード成形後に被着することにより、リード成形作業においてリード成形装置のパンチやダイに剥離された半田めっき被膜の屑が付着するのを必然的に回避することができるため、半田めっき被膜屑の付着によるリード成形時の所謂打痕不良を防止することができる。
【００４１】
以上本発明者によってなされた発明を実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【００４２】
例えば、図９に示されているように、複数の多連リードフレームが多列に連結された多連多列リードフレーム（マルチリードフレーム）１Ａにも適用することができる。本実施形態においては、仕切り用スリット１０は多列リードフレーム全体を横断するように開設されており、その仕切り用スリット１０の両端にリード成形用スリット１１が直角にそれぞれ開設されている。
【００４３】
リード成形用スリット１１は隣合う単位リードフレーム２、２を仕切る一本の仕切り用スリット１０の両端に直交するように配設するに限らず、単位リードフレーム２毎に仕切り用スリット１０がそれぞれ開設されている場合には、各仕切り用スリット１０の両端にそれぞれ直角に配設すればよい。すなわち、仕切り用スリット１０と一対のリード成形用スリット１１、１１とが「コ」字形状に組まれた状態で、各単位リードフレーム２のセクション枠４および両外枠３、３に開設してもよい。
【００４４】
半田被膜はアウタリードに半田めっき処理によって被着するに限らず、半田ディップ処理等によって被着してもよい。また、被膜は半田被膜に限らず、錫めっき被膜等のような他の材質の被膜であってもよい。
【００４５】
リードフレームにペレットを機械的に接続するとともに各インナリードに電気的に接続する工程や、樹脂封止体を成形する工程、アウタリードを屈曲成形する工程および半田被膜をアウタリードに被着する工程は、前記実施形態の方法および装置を使用して実施するに限られない。
【００４６】
以上の説明では主として本発明者によってなされた発明をその背景となった利用分野である樹脂封止ＳＯＰ・ＩＣの製造方法に適用した場合について説明したが、それに限定されるものではなく、Ｉリーリッド形状等のようなガルウイング形状以外の形状のアウタリードの樹脂封止パッケージおよび気密封止パッケージを備えているＩＣやトランジスタ等の半導体装置の製造方法全般に適用することができる。
【００４７】
【発明の効果】
本願において開示される発明のうち代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次の通りである。
【００４８】
リードフレームの枠体のリード群の先端から離れた位置に仕切り用スリットをリード先端群の並び方向と平行に開設し、仕切り用スリットの両端には一対のリード成形用スリットを直角に開設するとともに、各リード成形用スリットの先端をリードの屈曲の起点と実質的に等しい位置に延設することにより、リード成形工程において、リードフレームの各リードにおける封止体の外側部分を屈曲するに際して、リード成形用スリットの先端部を屈曲点としてリード群の先端を枠体に一体的に連結した状態で屈曲成形することができるため、リード成形後にリードフレームに被膜処理を実施しても各リード全体に被膜を均一に被着させることができる。
【００４９】
被膜をリード成形後に被着することにより、リード成形作業によって被膜が損傷されたり剥離された被膜がリードに付着する現象を必然的に回避することができるため、半導体装置の品質および信頼性を高めることができる。
【００５０】
また、被膜をリード成形後に被着することにより、リード成形作業においてリード成形装置のパンチやダイに剥離された被膜の屑が付着するのを必然的に回避することができるため、被膜屑の付着によるリード成形時の所謂打痕不良を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態である多連リードフレームを示す一部省略平面図である。
【図２】その多連リードフレームが使用された本発明の一実施形態であるＳＯＰ・ＩＣの製造方法におけるペレットおよびワイヤボンディング後を示しており、（ａ）は一部省略平面図、（ｂ）はその正面断面図である。
【図３】その樹脂封止体成形工程を示しており、（ａ）は一部省略縦断面図、（ｂ）は（ａ）のｂ−ｂ線に沿う部分断面図である。
【図４】樹脂封止体成形後の成形体を示しており、（ａ）は一部省略一部切断平面図、（ｂ）はその正面断面図である。
【図５】（ａ）、（ｂ）はリード成形工程を示す各一部切断正面図である。
【図６】リード成形後を示す一部省略斜視図である。
【図７】（ａ）は半田めっき処理工程を示す模式図であり、（ｂ）は半田めっき処理後を示す一部省略斜視図である。
【図８】ＳＯＰ・ＩＣを示す斜視図である。
【図９】本発明の他の実施形態である多連多列リードフレームの樹脂封止体成形後を示す一部省略平面図である。
【符号の説明】
１…多連リードフレーム、２…単位リードフレーム、３…外枠、３ａ…位置決め孔、３ｂ…被屈曲端部、４…セクション枠、５…枠体（フレーム）、６…タブ吊りリード、７…タブ、８…ダム部材、８ａ…ダム、９…リード、９ａ…インナリード、９ｂ…アウタリード、１０…仕切り用スリット、１１…リード成形用スリット、１２…ボンディング層、１３…ペレット、１３ａ…ボンディングパッド、１４…ワイヤ、１５…組立体、１６…樹脂封止体、１７…成形体、１８…リード成形体、１９…ＳＯＰ・ＩＣ（半導体装置）、２０…トランスファ成形装置、２１…上型、２２…下型、２３…キャビティー、２３ａ…上型キャビティー凹部、２３ｂ…下型キャビティー凹部、２４…ポット、２５…プランジャ、２６…カル、２７…ランナ、２８…ゲート、２９…逃げ凹所、３０…レジン、３１…リード成形装置、３２…上側取付板、３３…下側取付板、３４…上側ホルダ、３５…下側ホルダ、３６…上側押さえ型（上型）、３７…下側押さえ型（下型）、３８…上側押さえ部、３９…下側押さえ部、４０…ガイド、４１…スプリング、４２…パンチ、４３…ダイ、５１…半田めっき処理液、５２…電源装置、５３…半田めっき被膜（被膜）、１Ａ…多連多列リードフレーム。
Claims (2)
- 所定間隔で平行に配された一対の外枠と、この外枠間を結び互いに所定の距離隔てて平
行に配置された複数のセクション枠と、前記外枠とセクション枠とによって囲まれる領域
に形成されたタブおよびタブ吊りリードと、一端が前記タブに近接して放射状に敷設され他端が前記セクション枠に接続された複数のリードとから構成された単位リードフレームを有し、この単位リードフレームが横方向一列に設けられるとともに、縦方向に複数列設
けられた多連多列リードフレームにおいて、
前記縦方向に伸びるセクション枠それぞれに前記列方向全体にわたって設けられた複数の仕切り用スリットと、前記仕切り用スリットそれぞれの両端にある前記縦方向に複数列の単位リードフレームの一番外側の外枠それぞれに、前記仕切り用スリットそれぞれとその先端部で直角に交わり前記仕切り用スリットそれぞれの両側の単位リードフレームそれぞれに延在して設けられた複数の一対のリード成形用スリットとを有しており、
前記複数の一対のリード成形用スリットの一方の先端部それぞれと他方の先端部それぞれとは、前記一対のリード成形用スリットの間に挟まれた前記複数のリードを屈曲して成形する際の屈曲点となることを特徴とする多連多列リードフレーム。 - 所定間隔で平行に配された一対の外枠と、この外枠間を結び互いに所
定の距離隔てて平行に配置された複数のセクション枠と、前記外枠とセクション枠とによ
って囲まれる領域に形成されたタブおよびタブ吊りリードと、一端が前記タブに近接して放射状に敷設され他端が前記セクション枠に接続された複数のリードとから構成された単
位リードフレームを有し、この単位リードフレームが横方向一列に設けられるとともに、
縦方向に複数列設けられた多連多列リードフレームを用いる半導体装置の製造方法であって、
前記縦方向に伸びるセクション枠それぞれに前記列方向全体にわたって設けられた仕切り用スリットと、前記仕切り用スリットそれぞれの両端にある前記多列の一番外側の外枠
それぞれに前記仕切り用スリットと直角に交わり前記仕切り用スリットの両側の単位リードフレームそれぞれに延在して設けられたリード成形用スリットとを有する多連多列リードフレームを準備する工程、
前記多連多列リードフレームの前記各タブに半導体ペレットを接続する工程、
前記半導体ペレットと前記複数のリードとを接続する工程、
前記各半導体ペレットと複数のリードの一部とを樹脂によって封止する工程、
前記縦方向の前記セクション枠によって囲まれる複数の単位リードフレームそれぞれの封止樹脂から突出するリードを、前記仕切り用スリットおよび前記リード成形用スリットによって囲まれる前記セクション枠と共に、ガルウィング形状に屈曲成形する工程、
前記屈曲成形後の前記多連多列リードフレームをめっき処理する工程、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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