JP3610198B2 - 発光ダイオードアレイおよびその製造方法 - Google Patents
発光ダイオードアレイおよびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3610198B2 JP3610198B2 JP23355597A JP23355597A JP3610198B2 JP 3610198 B2 JP3610198 B2 JP 3610198B2 JP 23355597 A JP23355597 A JP 23355597A JP 23355597 A JP23355597 A JP 23355597A JP 3610198 B2 JP3610198 B2 JP 3610198B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- gaas
- emitting diode
- conductivity
- type semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Led Devices (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は発光ダイオードアレイおよびその製造方法に関し、特にページプリンタ用感光ドラムの露光源などに用いられる発光ダイオードアレイの製造方法に関する。
【0002】
従来の発光ダイオードアレイを図3および図4に示す。図3および図4において、21は半導体基板、22はGaAs層、23はn+ −GaAs層、24はn−AlGaAs層、25はp−AlGaAs層、26はp+ −GaAs層、27は保護膜、28はアノード電極、29はカソード電極である。
【0003】
各半導体層22〜26は、積層して島状に形成されている。n−AlGaAs層24とp−AlGaAs層25とで半導体接合部が形成され、p+ −GaA s層26にアノード電極28が、またn−GaAs層23にカソード電極29がそれぞれ接続される。n−AlGaAs層24は、n−GaAs層23の一部が露出するように形成され、このn−GaAs層23の露出部にカソード電極29が接続される。
【0004】
このような各半導体層22〜26、アノード電極28、およびカソード電極29で構成される発光ダイオードが半導体基板21上に列状に形成される。また、カソード電極29をn−GaAs層23の露出部に接続して設けると、アノード電極28とカソード電極29とを半導体基板21の同一面側に形成することができ、二種類の電極を同じ工程で形成することができるようになると共に、外部回路との接続作業も容易に行うことができるようになる。
【0005】
【発明が解決しようとする問題点】
この従来の発光ダイオードアレイでは、半導体基板21上に各半導体層22〜26を例えばMOCVD法などで順次積層して形成した後に、n−AlGaAs層24、p−AlGaAs層25、およびp+ −GaAs層26をエッチングすることによってn−GaAs層23の一部を露出させているものの、このn−GaAs層23とn−AlGaAs層24との間にエッチングの選択性を持たせることができるエッチング液はないことから、n−AlGaAs層24、p−AlGaAs層25、およびp+ −GaAs層26は時間制御でエッチングせざるを得なかった。すなわち、基板21をエッチング液に浸漬して、時間計測を開始し、所定時間経過した後に基板21をエッチング液から引き上げるものである。
【0006】
その結果、n−GaAs層23の膜厚がバラついて個々の発光ダイオードごとの駆動電圧が不安定となり、発光ダイオードの発光バラつきが発生するという問題があった。特に、図4に示すように、隣接する2個の発光ダイオードごとに1個のアノード電極28を設ける発光ダイオードアレイでは、このような発光バラつきが顕著に現れる。
【0007】
また、n−GaAs層23のオーバーエッチングを防止するために、n−GaAs層23を0.8μm程度の厚めに形成しなければならないという問題もあった。
【0008】
本発明は、このような従来技術の問題点に鑑みて発明されたものであり、カソード電極を接続する層の膜厚のバラつきと複数の発光ダイオード間の発光バラつきを解消すると共に、カソード電極を接続する層を厚めに形成しなければならないという問題を解消した発光ダイオードアレイおよびその製造方法を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項1に係る発光ダイオードアレイによれば、基板上に、一部の層が露出した一導電型半導体層を形成すると共に、この一導電型半導体層上に逆導電型半導体層を形成し、この一導電型半導体層の露出部と前記逆導電型半導体層上にそれぞれ電極を接続して成る発光ダイオードアレイにおいて、前記一導電型半導体層の露出部を厚みが0.15μm以下で半導体不純物を1×1018atom/cm3以上含有するIn1−xGaxAs層で形成すると共に、このIn1−xGaxAs層上にGaAs及び/又はAlGaAs層を形成して前記一導電型半導体層と逆導電型半導体層とした。
【0010】
上記発光ダイオードアレイでは、前記InGaAs層の下部にGaAs層を設け、このGaAs層に一導電型半導体不純物を含有させることが望ましい。
【0011】
また、請求項3に係る発光ダイオードアレイの製造方法によれば、基板上に、厚みが0.15μm以下で半導体不純物を1×1018atom/cm3以上含有するIn1−xGaxAs層とGaAs及び/又はAlGaAs層から成る一導電型半導体層と逆導電型半導体層を形成した後、前記In1−xGaxAs層上の前記GaAs及び/又はAlGaAs層から成る一導電型半導体層と逆導電型半導体層の一部をエッチングすることによってこのIn1−xGaxAs層の一部を露出させ、しかる後、前記逆導電型半導体層上と前記In1−xGaxAs層の露出部とに電極を接続して形成する。
【0012】
また、上記発光ダイオードアレイの製造方法によれば、前記In1−x Gax As層のGaAsの混晶比xが、x≦0.9であることが望ましい。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を添付図面に基づき詳細に説明する。
図1は、請求項1に係る発光ダイオードアレイの一実施形態を示す断面図であり、1は基板、2はGaAs層、3はn−In1−x Gax As層、4はn−GaAs層、5はn−AlGaAs層、6はp−AlGaAs層、7はp+ −GaAs層、8は絶縁膜、9はアノード電極、10はカソード電極である。
【0014】
基板lは、シリコン(Si)やガリウム砒素(GaAs)のような単結晶半導体基板、サファイア(Al2 O3 )のような単結晶絶縁基板などから成る。
【0015】
GaAs層2、n−InGaAs層3、n−GaAs層4、n−AlGaAs層5、p−AlGaAs層6、およびp+ −GaAs層7は、MOCVD(有機金属化学気相成長)法やMBE(分子線エピタキシャル)法などで形成される。
【0016】
このGaAs層2は、基板1をシリコンやサファイアなどで形成した場合にバッファ層として機能する。すなわち、両者の格子定数の相違に基づくミスフィット転位を非連続とするために設ける。なお、このGaAs層2は、従来周知の二段階成長法や熱サイクル法を適宜採用して2〜4μm程度の厚みに形成される。また、このGaAs層2は、バッファ層として機能させるために設けるものであり、基板1としてガリウム砒素基板を用いる場合は必ずしも必要でない。
【0017】
n−In1−x Gax As層3は、エッチングのストッパー層および歪超格子層として機能させるために設ける。すなわち、In1−x Gax AsとGaAsとは、エッチングの選択性を持たせることができる。したがって、In1−x Gax As層3をGaAs層4をエッチングする際のストッパー層として機能させることができる。また、In1−x Gax As層3は、0.15μm以下に形成することによって、歪超格子層として機能させることもできる。歪超格子層としてより効果的に機能させるために、GaAsと交互に複数層設けてもよい。このIn1−x Gax As層3は、カソード電極10とのオーミックコンタクト層となるものであり、例えばシリコンなどの半導体不純物を1×1018atom/cm3 以上含有する。なお、インジウムは、n型ドーパントの中でも最もオーミックになりやすい金属であり、従来のGaAsよりも低い抵抗でコンタクトをとることができる。
【0018】
このIn1−x Gax As層3の下層であるGaAs層2には、SiやSeなどのn型半導体不純物を1×1016〜1018atoms/cm3 程度含有させることが望ましい。このように、GaAs層2にn型の半導体不純物を含有させると、カソード電極10が接続されるIn1−x Gax As層3の下部に位置するGaAs層2の比抵抗が小さくなり、アノード電極9とカソード電極10間の電流の流路が拡がって電気抵抗が小さくなり、発光ダイオードの駆動電圧が安定する。このn型半導体不純物は、GaAs層2の厚み方向の全体に含有させてもよく、厚みの方向の一部に含有させてもよい。このn型半導体不純物を含有する層は、例えば0.2〜0.6μmの厚みに形成され、最低でも0.05μm程度の厚みに形成される。
【0019】
n−GaAs層4は、n−AlGaAs層5を形成するための下地層として設ける。このn−GaAs層4は0.4μm以下の厚みでよい。n−AlGaAs層5は、電子の注入層として機能するものであり、厚み0.1〜5μm程度に形成される。p−AlGaAs層6は発光層として機能するものであり、厚み0.1〜5μm程度に形成される。p−AlGaAs層6のA1組成をn−AlGaAs層5のA1組成より小さくして、p−AlGaAs層6の光学的バンドギャップを狭くすることによって、このp−AlGaAs層6を発光層として機能させることができるようになる。p+ −GaAs層7は、アノード電極9とのオーミックコンタクト層として機能する。
【0020】
上記各半導体層のうち、n−InGaAs層3、n−GaAs層4、n−AlGaAs層5が一導電型半導体層であり、p−AlGaAs層6とp+ −GaAs層7が逆導電型半導体層である。
【0021】
絶縁膜8は、例えば窒化シリコン(SiNx )膜などから成り、プラズマCVD法などで形成される。アノード電極9およびカソード電極10は、A1/Ni/Ge、Al/Cr/Ge、Au/Ge/Ni、Au/Ge/Cr、Au/Cr、AlGeなどから成る。真空蒸着法、電子ビーム蒸着法、スパッタリング法などで形成される。
【0022】
このような発光ダイオードでは、アノード電極9からカソード電極10に向けて順方向に電流を流すと、n−AlGaAs層5からp−AlGaAs層6に電子が注入されて正孔と発光再結合することによって光を生じ、絶縁膜8を透過して出射する。
【0023】
本発明に係る発光ダイオードアレイでも、図4に示す従来の発光ダイオードアレイと同様に隣接する2個の発光ダイオード毎に同一のアノード電極9を設けると共に、同一のアノード電極9に接続された2個の発光ダイオードが異なる群のカソード電極10に接続されるように構成される。この場合、アノード電極9とカソード電極10の組み合わせを選択することによって、個々の発光ダイオードを選択的に発光させることができる。
【0024】
次に、請求項3に係る発光ダイオードアレイの製造方法の一実施形態を説明する。まず、基板1上に、GaAs層2、n−In1−x Gax As層3、n−GaAs層4、n−AlGaAs層5、p−AlGaAs層6、およびp+ −GaAs層7をMOCVD法やMBE法などで順次積層して形成する。次に、各半導体層2〜7を硫酸過酸化水素系のエッチング液で島状に形成する。次に、n−In1−x Gax As層3の一部が露出するように、H2 O2 /NH4 OHやK3 Fe(CN)6 /K4 Fe(CN)6 などのエッチング液でn−GaAs層4、n−AlGaAs層5、p−AlGaAs層6、およびp+ −GaAs層7の一部をエッチングする。この場合、n−In1−x Gax As層3は、H2 O2 /NH4 OHやK3 Fe(CN)6 /K4 Fe(CN)6 などのエッチング液には耐性があることから、エッチングのストッパー層として機能させることができる。したがって、n−In1−x Gax As層3を同一厚みに保ったままn−GaAs層4、n−AlGaAs層5、p−AlGaAs層6、およびp+ −GaAs層7をエッチングすることができる。
【0025】
この場合、n−In1−x Gax As層3とn−GaAs層4とのエッチングの選択性を確実に持たせるために、n−In1−x Gax As層3のGaAsの混晶比xを、x≦0.9とすることが望ましい。
【0026】
その後、プラズマCVD法などで保護膜8を形成して、アノード電極9とカソード電極10の接続部にスルーホールを形成した後に、電極金属を被着して電極形状にパターニングすることにより完成する。
【0027】
図2にAlGaAs層とGaAs層とInGaAs層のエッチング膜厚とエッチング時間との関係を示す。図2に示す例は、エッチング液としてK3 Fe(CN)6 /K4 Fe(CN)6 /H2 O(14.8:19:200)を用いた場合である。図2から明かなように、AlGaAs層は約4Å/秒のレートでエッチングされ、GaAs層は約6Å/秒のレートでエッチングされるが、InGaAs層は殆どエッチングされない。
【0028】
【発明の効果】
以上のように、請求項1に係る発光ダイオードアレイによれば、一導電型半導体層の露出部を厚みが0.15μm以下で半導体不純物を1×1018atom/cm3以上含有するIn1−xGaxAs層で形成すると共に、このIn1−xGaxAs層上にGaAs及び/又はAlGaAs層を形成して一導電型半導体層と逆導電型半導体層としたことから、一導電型半導体層を露出させるときに、InGaAs層をエッチングのストッパー層とすることができ、その結果、InGaAs層の膜厚が均一になって駆動電圧が安定し、発光ダイオードの発光バラつきが減少する。特に、隣接する2個の発光ダイオードごとに1個のカソード電極を設ける発光ダイオードアレイで効果的である。なお、このInGaAs層は、基板と半導体層との格子定数の相違に基づいて発生する転位を減少せるための歪超格子層の一部として機能させることができる。
【0029】
また、請求項3に係る発光ダイオードアレイの製造方法によれば、基板上に、厚みが0.15μm以下で半導体不純物を1×1018atom/cm3以上含有するIn1−xGaxAs層とGaAs及び/又はAlGaAs層から成る一導電型半導体層と逆導電型半導体層を形成した後、前記In1−xGaxAs層上の各層の一部をエッチングすることによってこのIn1−xGaxAs層の一部を露出させることから、一導電型半導体層を露出させるときに、InGaAs層をエッチングのストッパー層となり、その結果、InGaAs層の膜厚が均一になって発光ダイオードの駆動電圧が安定し、発光バラつきが減少する。特に、隣接する2個の発光ダイオードごとに1個のカソード電極を設ける発光ダイオードアレイで効果的である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る発光ダイオードアレイの一実施形態を示す断面図である。
【図2】AlGaAs層、GaAs層およびInGaAs層のエッチングレートを示す図である。
【図3】従来の発光ダイオードアレイを示す断面図である。
【図4】従来の発光ダイオードアレイを示す平面図である。
【符号の説明】
1‥‥‥基板、2‥‥‥GaAs層、3‥‥‥n−InGaAs層、4‥‥‥n−GaAs層、5‥‥‥n−AlGaAs層、6‥‥‥p−AlGaAs層、7‥‥‥p+ −GaAs層、8‥‥‥絶縁膜、9‥‥‥アノード電極、10‥‥‥カソード電極
Claims (4)
- 基板上に、一部の層が露出した一導電型半導体層を形成すると共に、この一導電型半導体層上に逆導電型半導体層を形成し、この一導電型半導体層の露出部と前記逆導電型半導体層上にそれぞれ電極を接続して成る発光ダイオードアレイにおいて、前記一導電型半導体層の露出部を厚みが0.15μm以下で半導体不純物を1×1018atom/cm3以上含有するIn1−xGaxAs層で形成すると共に、このIn1−xGaxAs層上にGaAs及び/又はAlGaAs層を形成して前記一導電型半導体層と逆導電型半導体層としたことを特徴とする発光ダイオードアレイ。
- 前記InGaAs層の下部にGaAs層を設け、このGaAs層に一導電型半導体不純物を含有させたことを特徴とする請求項1に記載の発光ダイオードアレイ。
- 基板上に、厚みが0.15μm以下で半導体不純物を1×1018atom/cm3以上含有するIn1−xGaxAs層とGaAs及び/又はAlGaAs層から成る一導電型半導体層と逆導電型半導体層を形成した後、前記In1−xGaxAs層上の前記GaAs及び/又はAlGaAs層から成る一導電型半導体層と逆導電型半導体層の一部をエッチングすることによってこのIn1−xGaxAs層の一部を露出させ、しかる後、前記逆導電型半導体層上と前記In1−xGaxAs層の露出部とに電極を接続して形成する発光ダイオードアレイの製造方法。
- 前記In1−xGaxAs層のGaAsの混晶比xが、x≦0.9であることを特徴とする請求項3に記載の発光ダイオードアレイの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23355597A JP3610198B2 (ja) | 1996-10-30 | 1997-08-29 | 発光ダイオードアレイおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8-287969 | 1996-10-30 | ||
JP28796996 | 1996-10-30 | ||
JP23355597A JP3610198B2 (ja) | 1996-10-30 | 1997-08-29 | 発光ダイオードアレイおよびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10190049A JPH10190049A (ja) | 1998-07-21 |
JP3610198B2 true JP3610198B2 (ja) | 2005-01-12 |
Family
ID=26531081
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23355597A Expired - Fee Related JP3610198B2 (ja) | 1996-10-30 | 1997-08-29 | 発光ダイオードアレイおよびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3610198B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4587515B2 (ja) * | 2000-02-28 | 2010-11-24 | 京セラ株式会社 | 半導体発光装置の製造方法 |
WO2023050119A1 (zh) * | 2021-09-29 | 2023-04-06 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种发光器件、发光基板和显示装置 |
-
1997
- 1997-08-29 JP JP23355597A patent/JP3610198B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH10190049A (ja) | 1998-07-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3654738B2 (ja) | 3族窒化物半導体発光素子 | |
JP3795624B2 (ja) | 窒素−3族元素化合物半導体発光素子 | |
JPH0897471A (ja) | 3族窒化物半導体発光素子 | |
KR101000276B1 (ko) | 반도체 발광소자 | |
US6103543A (en) | Fabrication of device electrodes in gan and related materials | |
US5953581A (en) | Methods for manufacturing group III nitride compound semiconductor laser diodes | |
CN115485862A (zh) | 紫外led及其制作方法 | |
JP4058595B2 (ja) | 半導体発光素子及びその製造方法 | |
JP3705637B2 (ja) | 3族窒化物半導体発光素子及びその製造方法 | |
JP3610198B2 (ja) | 発光ダイオードアレイおよびその製造方法 | |
JP2001085742A (ja) | 半導体発光素子及び半導体発光素子の製造方法 | |
JP4058592B2 (ja) | 半導体発光素子及びその製造方法 | |
JP2663814B2 (ja) | 窒素−3属元素化合物半導体発光素子 | |
JP3638413B2 (ja) | 半導体発光装置とその製造方法 | |
JP4126448B2 (ja) | 半導体発光装置の製造方法 | |
JP3307094B2 (ja) | 3族窒化物半導体発光素子 | |
JP4058594B2 (ja) | 半導体発光素子 | |
JP2000286499A (ja) | Iii族窒化物系化合物半導体素子 | |
JPH10326909A (ja) | 発光ダイオードおよびその製造方法 | |
JPH11135837A (ja) | 半導体発光装置 | |
US20220140198A1 (en) | Light Emitting Diode Devices | |
JP3236649B2 (ja) | 半導体発光素子 | |
JPH10173229A (ja) | 3族窒化物半導体発光素子の製造方法 | |
JP3426891B2 (ja) | 半導体発光素子及びその製造方法 | |
JP3426834B2 (ja) | 発光ダイオードアレイの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040302 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040428 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040629 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040830 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20041005 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20041018 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071022 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081022 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091022 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091022 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101022 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101022 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111022 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121022 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131022 Year of fee payment: 9 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |