JP3609927B2 - 駆動装置 - Google Patents
駆動装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3609927B2 JP3609927B2 JP30448297A JP30448297A JP3609927B2 JP 3609927 B2 JP3609927 B2 JP 3609927B2 JP 30448297 A JP30448297 A JP 30448297A JP 30448297 A JP30448297 A JP 30448297A JP 3609927 B2 JP3609927 B2 JP 3609927B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- drive
- electromechanical transducer
- drive signal
- outputting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 21
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 17
- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims description 8
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 15
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 4
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 2
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y15/00—Nanotechnology for interacting, sensing or actuating, e.g. quantum dots as markers in protein assays or molecular motors
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/06—Drive circuits; Control arrangements or methods
- H02N2/065—Large signal circuits, e.g. final stages
- H02N2/067—Large signal circuits, e.g. final stages generating drive pulses
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/021—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using intermittent driving, e.g. step motors, piezoleg motors
- H02N2/025—Inertial sliding motors
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、駆動装置に関し、詳しくは、圧電素子、電歪素子、磁歪素子等の電気機械変換素子を用いた駆動装置に関し、例えば、XY駆動テーブル、カメラの撮影レンズ、オーバーヘッドプロジェクターの投影レンズ、双眼鏡のレンズ、顕微鏡の移動ステージ、走査型トンネル電子顕微鏡のプローブなどの精密駆動に特に好適な駆動装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、圧電素子等の電気機械変換素子を用いた種々のタイプの駆動装置が提案されている。たとえば、図1に示した駆動装置1は、圧電リニアアクチュエータ2に駆動回路4が接続されてなり、駆動回路4の所定の出力によって圧電リニアアクチュエータ2が動作するようになっている。
【0003】
ところで、駆動回路4は、圧電リニアアクチュエータ2の状態に拘わらず動作するため、圧電リニアアクチュエータ2に異常があった場合、圧電リニアアクチュエータ2に対して異常な出力を与える。しかし、駆動装置1は、圧電リニアアクチュエータ2の状態を把握できず、圧電リニアアクチュエータ2の異常を外部に出力できなかったため、不正常な駆動が続けられる。不正常な駆動が続けられると、場合によっては駆動装置の破壊につながるおそれもある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
したがって、本発明が解決すべき技術的課題は、電気機械変換素子の駆動時における異常を検出して外部に出力するようにして不正常な駆動が続けられることを防止することができる駆動装置を提供することである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記技術的課題を解決するために、本発明は、以下の駆動装置を提供する。
【0006】
駆動装置は、駆動パルス発生手段から入力され電流により制御される駆動信号によって伸縮する電気機械変換素子と、上記電気機械変換素子の伸縮方向一端に固着結合された第1の物体と、上記電気機械変換素子の伸縮方向他端に固着結合された駆動摩擦部材と、上記駆動摩擦部材に摩擦結合する第2の物体とを備え、上記第1および第2の物体のいずれか一方を固定し、上記駆動パルス発生手段により上記電気機械変換素子を伸縮させて、上記第1および第2物体の固定していない他方を所定方向に駆動するタイプのものである。駆動装置は、特徴出力手段と、検出手段と、比較手段とを備える。駆動パルス発生手段は、上記電気機械変換素子を定電流で駆動する。上記特徴出力手段は、正常状態における上記駆動信号の電圧が定電流駆動開始から所定のしきい値を超えるまでの上昇時間を上記駆動信号による上記電気機械変換素子の充電の状況の基準特徴信号として出力する。上記検出手段は、上記駆動信号が入力され、該駆動信号の電圧が定電流駆動開始から所定のしきい値を超えるまでの上昇時間の情報を検出し、上記駆動信号による上記電気機械変換素子の充電の状況の検出特徴信号として出力する。上記比較手段は、上記基準特徴信号および上記検出特徴信号が入力され、上記検出特徴信号を上記基準特徴信号と比較し、上記上昇時間の相違が所定範囲を越えるときに制御信号を出力する。
【0007】
上記構成において、互いに摩擦結合する第2の物体と駆動摩擦部材との間で滑りが生じ、電気機械変換素子が伸びるときと縮むときで、第2の物体と駆動摩擦部材との間の相対移動量が異なるように、駆動パルス発生手段は電気機械変換素子を伸縮させる。電気機械変換素子が伸びるときと縮むときの両方で、第2の物体と駆動摩擦部材との間で大きさの異なる滑りが生じるようにしても、あるいは、いずれか一方のみで滑りが生じるようにしてもよい。第1の物体を固定する場合には、第2の物体が所定方向に駆動される。第2の物体を固定する場合には、第1の物体が所定方向に駆動される。
【0008】
上記構成によれば、電気機械変換素子に異常がある場合、駆動信号は正常な状態のときとは異なるパターンとなるので、駆動信号の適宜ファクターに関する特徴は正常状態のときとは異なるものとなる。つまり、適宜にファクターを選択したときには、実際に電気機械変換素子に与えられた駆動信号の検出特徴信号は、正常状態における駆動信号の基準特徴信号との差が所定範囲を越えることとなる。これによって、異常を検出できる。
【0009】
したがって、電気機械変換素子の駆動時における異常を検出して外部に出力することができる。
【0010】
駆動信号の特徴は、以下のように種々のファクターで把握することが可能である。
【0011】
好ましくは、上記駆動パルス発生手段は、上記電気機械変換素子を定電流で駆動する。上記ファクターに関する特徴は、上記駆動信号の電圧が定電流駆動開始から所定のしきい値を超えるまでの上昇時間である。
【0012】
上記構成において、電気機械変換素子が正常状態であれば、駆動信号の電圧は、徐々に上昇し、所定時間経過後にしきい値を越える。しかし、たとえば、電気機械変換素子が開放状態であれば、定電流駆動開始から瞬間的に最高電圧まで上昇し、上昇時間は略0となり、正常状態の上昇時間よりも著しく小さくなる。また、電気機械変換素子が短絡状態であれば、定電流で駆動しても電圧は上昇しないので、上昇時間は無限大となり、正常状態の上昇時間よりも著しく大きくなる。したがって、上昇時間と所定時間との差が所定範囲を越えれば、異常であると判定できる。
【0013】
好ましくは、上記駆動パルス発生手段は、上記電気機械変換素子を定電流で駆動する。上記ファクターに関する特徴は、上記駆動信号の電圧波形の形状である。
【0014】
上記構成によれば、駆動信号の波形は、たとえば、電気機械変換素子の電線等が破損して絶縁された状態の場合や、電気機械変換素子が絶縁破壊等を起こして短絡状態である場合などには、電気機械変換素子が正常なときの駆動信号の波形と明らかに異なるので、異常であると判定できる。
【0015】
好ましくは、上記駆動パルス発生手段は、上記電気機械変換素子を定電流で駆動する。上記ファクターに関する特徴は、上記駆動信号の電圧波形の周波数分析による各周波数帯域のゲインである。
【0016】
上記構成によれば、電気機械変換素子の取付が不安定となり、駆動信号の電圧波形の形状は正常なときの波形形状と大略一致するが、高周波の成分が含まれるような場合でも、その高周波帯域のゲインが正常なときと異なるので、異常を検出することができる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る駆動装置の各実施形態について、図2〜図7を参照しながら説明する。
【0018】
まず、各実施形態の駆動装置10の基本構成について、図2および図3を参照しながら説明する。
【0019】
駆動装置10は、図2のブロック図に示すように、圧電リニアアクチュエータ12と、圧電リニアアクチュエータ12に接続された駆動回路14と、圧電リニアアクチュエータ12および駆動回路14に接続された検出回路15と、検出回路15に接続された比較回路16と、比較回路16に接続された特徴出力回路18とを備える。
【0020】
圧電リニアアクチュエータ12は、圧電素子、電歪素子等の電気機械変換素子の電界印加による誘起ひずみを利用して駆動する公知のリニアアクチュエータであり、駆動回路14が出力した駆動信号によって動作する。
【0021】
駆動回路14は、たとえば、不図示の急速放電回路と定電流で充電する緩速充電回路とを備え、両回路が交互に動作して、図3に示すように、定電流による緩やかな充電と急激な放電とを繰り返し、鋸歯状の駆動信号を出力する。圧電リニアアクチュエータ12は、この駆動信号によって所定方向に動作する。
【0022】
特徴出力回路18は、圧電リニアアクチュエータ12が正常状態のときの駆動信号の電圧波形から所定のファクターに関する特徴を抽出して基準特徴信号を出力する。
【0023】
検出回路15には、駆動回路14から圧電リニアアクチュエータ12に入力される駆動信号が入力されるようになっている。検出回路15は、駆動信号の電圧波形から、特徴出力回路18と同じファクターに関する特徴を抽出し、検出特徴信号を出力する。
【0024】
比較回路16には、検出回路15からの検出特徴信号と、特徴出力回路18からの基準特徴信号とが入力される。比較回路16は、両特徴信号を比較し、両特徴信号の差が許容範囲内であるか否かを判定し、許容範囲を越えるときには、制御信号を出力する。この制御信号により、適当な外部機器、たとえば警報装置を作動させ、駆動装置10が異常状態であることを外部に出力する。
【0025】
つまり、この駆動装置10は、実際に圧電リニアアクチュエータ12に与えられた駆動信号の特徴を、圧電リニアアクチュエータ12が正常に動作しているときの駆動信号の特徴と比較し、特徴の差が許容範囲内であるが否かにより、圧電リニアアクチュエータ12が正常に駆動しているか否かを判定し、異常であるときには、制御信号を出力して外部に知らせるようになっている。
【0026】
図1に示した従来の駆動装置1では、駆動回路4からの駆動信号が圧電リニアアクチュエータ2の状態に拘わらず出力され、圧電リニアアクチュエータ2の状態を知ることができなかった。これに対して、この駆動装置10は、圧電リニアアクチュエータ12の状態が異常になれば、それを検出して制御信号を出力するので、異常に対して適宜に対応することが可能となる。
【0027】
次に、駆動信号の特徴から圧電リニアアクチュエータ12の異常を検出する各実施形態について説明する。
【0028】
まず、第1実施形態について、図4および図5を参照しながら説明する。
【0029】
図4(a)および図5(a)に示すように、駆動信号の電圧波形について適当なしきい値を設け、定電流による充電開始からしきい値を越えるまでの上昇時間tを、駆動信号の特徴とする。特徴出力回路18は、正常状態での上昇時間t0を基準特徴信号として出力する。
【0030】
検出回路15は、実際に圧電リニアアクチュエータ12に印加された駆動信号の電圧波形について、充電開始からしきい値を越えるまでの上昇時間tを検出して検出特徴信号を出力する。比較回路16は、検出回路15からの検出特徴信号と特徴出力回路18からの基準特徴信号との差が許容範囲を越えるときには、制御信号を出力する。
【0031】
たとえば、圧電リニアアクチュエータ12が開放した状態であれば、定電流による充電が瞬時に行われ、駆動信号は、図4(b)に示したように、矩形となり、上昇時間tは非常に短く、略ゼロとなる。そのため、両特徴信号の差が大きくなり、比較回路16は、異常を検出して制御信号を出力する。ここで開放状態とは、電線等が破損を起こし、圧電リニアアクチュエータ12の電気機械変換素子が電気的に絶縁された状態である。
【0032】
また、圧電リニアアクチュエータ12が短絡した場合、定電流による充電は行われず、電圧は上がらない。この場合、駆動信号は、図5(b)に示したように、充電開始からしきい値を越えるまでの上昇時間tは無限大となる。そのため、両特徴信号の差が大きくなり、比較回路16は、異常を検出して制御信号を出力する。ここで、短絡状態とは、電気機械変換素子が絶縁破壊等を起こし、電気的に導通された状態である。
【0033】
したがって、圧電リニアアクチュエータ12の異常状態を知ることが可能になる。
【0034】
次に、第2実施形態について、図6および図7を参照しながら説明する。
【0035】
第2実施形態においては、駆動信号の電圧波形を周波数分析し、各周波数帯域のゲインを、駆動信号の特徴とする。すなわち、特徴出力回路18は、正常状態での各周波数帯域のゲインを基準特徴信号として出力する。検出回路15は、駆動信号の各周波数帯域のゲインを検出特徴信号として出力する。比較回路16は、両特徴信号の差が所定範囲を越えれば異常と判定して、制御信号を出力する。
【0036】
たとえば、図6(a)に示すように、第1実施形態と同様に、鋸歯状波形の駆動信号により圧電リニアアクチュエータ12を駆動する場合、周波数分析の結果は、図7(a)に示すように、高周波数になるほどゲインが小さくなる。
【0037】
しかし、圧電リニアアクチュエータ12の取り付けが不安定になると、圧電リニアアクチュエータ12の特性が変化し、図6(b)に示したように、駆動信号の共振周波数が上昇し、駆動信号の電圧波形に高周波成分が付加される。そのため、周波数分析すると、正常なときの周波数分析結果と異なり、図7(b)に示すように、高周波数帯域のゲインが高くなる。比較回路16は、高周波数帯域のゲインの増加を検出することにより、圧電リニアアクチュエータ12の異常を検出し、外部に制御信号を出力する。
【0038】
以上に説明した各実施形態の駆動装置10は、圧電リニアクチュエータ12の駆動信号を監視することによって、圧電リニアクチュエータ12の駆動時における異常を検出して外部に出力することができる。
【0039】
なお、本発明は上記各実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施可能である。たとえば、駆動信号の特徴は、種々のファクターに関して比較することができる。また、図2に示される各回路14,15,16,18は、夫々独立した回路として構成され得るが、少なくともその一部が等価な機能を持つマイクロコンピュータの制御によっても構成され得る。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来例の駆動装置のブロック図である。
【図2】本発明の各実施形態の駆動装置のブロック図である。
【図3】図2の駆動装置の駆動信号波形図である。
【図4】本発明の第1実施形態の駆動装置の特徴信号の波形図である。
【図5】本発明の第1実施形態の駆動装置の特徴信号の波形図である。
【図6】本発明の第2実施形態の駆動装置の特徴信号の波形図である。
【図7】本発明の第2実施形態の駆動装置の周波数分析図である。
【符号の説明】
10 駆動装置
12 圧電リニアアクチュエータ
14 駆動回路
15 検出回路
16 比較回路
18 特徴出力回路
Claims (3)
- 駆動パルス発生手段から入力され電流により制御される駆動信号によって伸縮する電気機械変換素子と、上記電気機械変換素子の伸縮方向一端に固着結合された第1の物体と、上記電気機械変換素子の伸縮方向他端に固着結合された駆動摩擦部材と、上記駆動摩擦部材に摩擦結合する第2の物体とを備え、上記第1および第2の物体のいずれか一方を固定し、上記駆動パルス発生手段により上記電気機械変換素子を伸縮させて、上記第1および第2物体の固定していない他方を所定方向に駆動する駆動装置において、
上記駆動パルス発生手段は、上記電気機械変換素子を定電流で駆動し、
正常状態における上記駆動信号の電圧が定電流駆動開始から所定のしきい値を超えるまでの上昇時間を上記駆動信号による上記電気機械変換素子の充電の状況の基準特徴信号として出力する特徴出力手段と、
上記駆動信号が入力され、該駆動信号の電圧が定電流駆動開始から所定のしきい値を超えるまでの上昇時間の情報を検出し、上記駆動信号による上記電気機械変換素子の充電の状況の検出特徴信号として出力する検出手段と、
上記基準特徴信号および上記検出特徴信号が入力され、上記検出特徴信号を上記基準特徴信号と比較し、上記上昇時間の相違が所定範囲を越えるときに制御信号を出力する比較手段と、を備えたことを特徴とする駆動装置。 - 駆動パルス発生手段から入力され電流により制御される駆動信号によって伸縮する電気機械変換素子と、上記電気機械変換素子の伸縮方向一端に固着結合された第1の物体と、上記電気機械変換素子の伸縮方向他端に固着結合された駆動摩擦部材と、上記駆動摩擦部材に摩擦結合する第2の物体とを備え、上記第1および第2の物体のいずれか一方を固定し、上記駆動パルス発生手段により上記電気機械変換素子を伸縮させて、上記第1および第2物体の固定していない他方を所定方向に駆動する駆動装置において、
上記駆動パルス発生手段は、上記電気機械変換素子を定電流で駆動し、
正常状態における上記駆動信号の電圧波形の形状を上記駆動信号による上記電気機械変換素子の充電の状況の基準特徴信号として出力する特徴出力手段と、
上記駆動信号が入力され、該駆動信号の上記駆動信号の電圧波形の形状を検出し、上記駆動信号による上記電気機械変換素子の充電の状況の検出特徴信号として出力する検出手段と、
上記基準特徴信号および上記検出特徴信号が入力され、上記検出特徴信号を上記基準特徴信号と比較し、上記駆動信号の電圧波形の形状の相違が所定範囲を越えるときに制御信号を出力する比較手段と、を備えたことを特徴とする駆動装置。 - 駆動パルス発生手段から入力され電流により制御される駆動信号によって伸縮する電気機械変換素子と、上記電気機械変換素子の伸縮方向一端に固着結合された第1の物体と、上記電気機械変換素子の伸縮方向他端に固着結合された駆動摩擦部材と、上記駆動摩擦部材に摩擦結合する第2の物体とを備え、上記第1および第2の物体のいずれか一方を固定し、上記駆動パルス発生手段により上記電気機械変換素子を伸縮させて、上記第1および第2物体の固定していない他方を所定方向に駆動する駆動装置において、
上記駆動パルス発生手段は、上記電気機械変換素子を定電流で駆動し、
正常状態における上記駆動信号の電圧波形の周波数分析による各周波数帯域のゲインを上記駆動信号による上記電気機械変換素子の充電の状況の基準特徴信号として出力する特徴出力手段と、
上記駆動信号が入力され、該駆動信号の電圧波形の周波数分析による各周波数帯域のゲインを検出し、上記駆動信号による上記電気機械変換素子の充電の状況の検出特徴信号として出力する検出手段と、
上記基準特徴信号および上記検出特徴信号が入力され、上記検出特徴信号を上記基準特徴信号と比較し、上記電圧波形の周波数分析による各周波数帯域のゲインの相違が所定範囲を越えるときに制御信号を出力する比較手段と、を備えたことを特徴とする駆動装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30448297A JP3609927B2 (ja) | 1997-11-06 | 1997-11-06 | 駆動装置 |
US09/185,902 US6246151B1 (en) | 1997-11-06 | 1998-11-04 | Drive device and apparatus incorporating the device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30448297A JP3609927B2 (ja) | 1997-11-06 | 1997-11-06 | 駆動装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11146671A JPH11146671A (ja) | 1999-05-28 |
JP3609927B2 true JP3609927B2 (ja) | 2005-01-12 |
Family
ID=17933569
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP30448297A Expired - Fee Related JP3609927B2 (ja) | 1997-11-06 | 1997-11-06 | 駆動装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6246151B1 (ja) |
JP (1) | JP3609927B2 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4480252B2 (ja) * | 2000-10-26 | 2010-06-16 | 株式会社日本自動車部品総合研究所 | ピエゾアクチュエータの異常検出装置 |
JP4479113B2 (ja) * | 2001-02-23 | 2010-06-09 | 株式会社デンソー | ピエゾアクチュエータ駆動回路および燃料噴射装置 |
JP3765282B2 (ja) * | 2002-04-01 | 2006-04-12 | 株式会社デンソー | ピエゾアクチュエータ駆動回路および燃料噴射装置 |
JP4062293B2 (ja) * | 2004-09-16 | 2008-03-19 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 駆動装置 |
JP2007037368A (ja) * | 2005-07-29 | 2007-02-08 | Horon:Kk | 超音波モータおよび超音波モータのモニタ方法 |
US8059346B2 (en) | 2007-03-19 | 2011-11-15 | New Scale Technologies | Linear drive systems and methods thereof |
JP2009094284A (ja) * | 2007-10-09 | 2009-04-30 | Canon Inc | 圧電アクチュエータ駆動装置およびこれを用いた露光装置 |
TWI348775B (en) | 2008-03-18 | 2011-09-11 | Silicon Touch Tech Inc | Piezoelectric actuator system with position detection and method thereof |
DE102010036257A1 (de) * | 2010-09-03 | 2012-03-08 | Epcos Ag | Verfahren zur Kontrolle von Biegeschwingungen eines Piezoaktuators |
CN109075248B (zh) * | 2016-02-11 | 2022-04-29 | 物理仪器(Pi)两合有限公司 | 用于控制机电元件的方法和装置 |
EP3790183A1 (en) | 2019-09-06 | 2021-03-10 | Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. Kg | Piezoelectric stick-slip-motor and method of controlling same |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5969464A (en) * | 1989-04-18 | 1999-10-19 | Minolta Co., Ltd. | Drive device using electromechanical transducer and an apparatus employing the drive device |
US5225941A (en) | 1990-07-03 | 1993-07-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Driving device |
JP2823725B2 (ja) * | 1992-01-18 | 1998-11-11 | シャープ株式会社 | カラー薄膜elパネル |
DE69517232T2 (de) * | 1994-03-23 | 2000-10-26 | Nikon Corp | Ultraschallmotor |
US5589723A (en) | 1994-03-29 | 1996-12-31 | Minolta Co., Ltd. | Driving apparatus using transducer |
US5587846A (en) | 1994-07-15 | 1996-12-24 | Minolta Co., Ltd. | Lens moving apparatus |
JPH0866064A (ja) * | 1994-08-24 | 1996-03-08 | Nikon Corp | 圧電アクチュエータ |
US5786654A (en) * | 1995-06-08 | 1998-07-28 | Minolta Co., Ltd. | Movable stage utilizing electromechanical transducer |
JPH09191665A (ja) * | 1996-01-04 | 1997-07-22 | Minolta Co Ltd | 電気−機械変換素子を使用した直線駆動機構 |
JPH09247968A (ja) * | 1996-03-06 | 1997-09-19 | Minolta Co Ltd | 電気機械変換素子を使用した駆動装置 |
US5912525A (en) * | 1996-03-21 | 1999-06-15 | Nikon Corporation | Vibration actuator |
-
1997
- 1997-11-06 JP JP30448297A patent/JP3609927B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-11-04 US US09/185,902 patent/US6246151B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6246151B1 (en) | 2001-06-12 |
JPH11146671A (ja) | 1999-05-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3609927B2 (ja) | 駆動装置 | |
US5436521A (en) | Vibration type actuator apparatus | |
US10693394B2 (en) | Driving apparatus of vibration-type actuator method of controlling driving vibration-type actuator and image pickup apparatus | |
US6661154B2 (en) | Driving apparatus and method using electromechanical conversion elements | |
US20060001332A1 (en) | Class DE driving amplifier for piezoelectric actuators | |
US5744897A (en) | Driving control device for vibration wave motor | |
JP4651179B2 (ja) | ピエゾアクチュエータの異常検出装置 | |
US5616979A (en) | Vibration driven motor apparatus | |
US9823543B2 (en) | Driver of vibrator, method of driving the same, lens driver, vibration device, and imaging device | |
JP2000214929A (ja) | 圧電アクチュエ―タ駆動装置の校正方法 | |
US6133671A (en) | Vibration type motor device | |
JPH11356071A (ja) | 電気機械変換素子を用いた駆動装置およびその駆動回路 | |
KR19980018398A (ko) | 스위치, 특히 릴레이 | |
US7808154B2 (en) | Actuator unit, driving device for information recording/reading head, information recording/reading apparatus, and method for driving the actuator unit | |
EP0696069A2 (en) | Driver for piezoelectric actuator and shutter control device utilizing piezoelectric device | |
JP3722062B2 (ja) | 駆動装置 | |
CN113661015B (zh) | 压电用户接口装置和用于驱动用户接口装置中压电元件的方法 | |
CN114070124A (zh) | 振动型马达的控制设备以及驱动设备 | |
JP2018121509A (ja) | 振動エネルギー収集装置 | |
JP6526262B2 (ja) | 振動型アクチュエータの駆動装置及び駆動制御方法 | |
JP3180352B2 (ja) | 放電灯点灯装置 | |
CA2292856A1 (en) | Electronic driving circuit for a bistable actuator | |
JP3050130B2 (ja) | 圧電トランスおよびその異常動作検出保護装置 | |
JP6279119B2 (ja) | 振動型アクチュエータの駆動装置及び駆動制御方法 | |
EP0624911A1 (en) | Vibration wave motor |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040122 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040330 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20040521 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040531 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20041012 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20041015 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071022 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081022 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091022 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091022 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101022 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101022 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111022 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111022 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121022 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121022 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131022 Year of fee payment: 9 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |