JP2007037368A - 超音波モータおよび超音波モータのモニタ方法 - Google Patents

Abstract

【目的】本発明は、圧電素子の力で駆動されるステータと摩擦力でステータに固定するロータとからなる超音波モータおよび超音波モータのモニタ方法に関し、超音波モータを構成するステータとロータの駆動信号あるいは超音波モータによる駆動状態を監視してモニタ表示すると共に一定度合いを超えたときに警報を発し、超音波モータの磨耗粉の発生状態をリアルタイムにモニタおよび警報を発することを目的とする。
【構成】 ステータを駆動する駆動力に対応する、印加するパルスの電圧を検出する第１の手段と、検出されたパルスの電圧の値を出力する手段とを備える。
【選択図】 図１

Description

本発明は、圧電素子の力で駆動されるステータと摩擦力でステータに固定するロータとからなる超音波モータ、および超音波モータのモニタ方法に関するものである。

半導体分野でＬＳＩのマスクなどのパターンの描画、測定、検査をするために大きなマスク（例えば８インチサイズ）などを搭載してＸ方向およびＹ方向に広範囲かつ高精度に移動可能なステージとして、超音波モータを利用して機械的に駆動するステージがある。例えば、１ｎｍ以下の微細な駆動制御を可能とし、かつ電源ＯＦＦ時の位置保持能力の高いという２つの大きな優位点を持つ超音波モータを駆動源としたステージがある。超音波モータは、ステータと呼ばれる超音波の振動をステージの駆動力として伝える部分と、ステータの動きを受けてロータと呼ばれる部分で構成される。両者は、摩擦力でステージの推進力を生み出す。

両部品が摩擦力に耐えられる状態のときは、特に、問題はない。しかし、経年変化や使用などによって当該ステータ、ロータの表面の材質の状態が変化し、摩擦力に耐えきれなくなったときには、両者の材料が摩擦して磨耗粉を発生する。超音波モータを上述の半導体のマスクを移動させるステージに使用した場合には、摩擦粉が当該ステージに搭載した試料（例えば、ＬＳＩ用マスク）に付着して汚染してしまい、重大障害につながる場合もある。

従来、大気中で発塵状態を検出するには、大気中の測定対象の周辺の大気を吸引し、吸引した菅の一部にパーティクルを検出する光学系を付加して発塵状態を計測していた。

しかし、上述した従来の測定手法では、磨耗粉がある程度以上、発生しないと検出できないと共に、磨耗粉の検出場所が適切でないと当該磨耗粉を検出し得ないという問題があった。

本発明は、これらの問題を解決するため、超音波モータを構成するステータとロータの駆動信号あるいは超音波モータによる駆動状態を監視してモニタ表示すると共に一定度合いを超えたときに警報を発し、超音波モータの磨耗粉の発生状態をリアルタイムにモニタおよび警報を発することを目的としている。

本発明は、超音波モータを構成するステータとロータの駆動信号あるいは超音波モータによる駆動状態を監視してモニタ表示すると共に一定度合いを超えたときに警報を発し、超音波モータの磨耗粉の発生状態をリアルタイムにモニタおよび警報を発することが可能となる。

本発明は、超音波モータを構成するステータとロータの駆動信号あるいは超音波モータによる駆動状態を監視してモニタ表示すると共に一定度合いを超えたときに警報を発し、超音波モータの磨耗粉の発生状態をリアルタイムにモニタおよび警報を発することを実現した。

図１は、本発明の１実施例構造図を示す。
図１において、ステージ（本体）１は、図示外の試料（例えばＬＳＩ用の８インチマスク）を固定し、Ｘ方向およびＹ方向に超音波モータ２で微細移動可能なステージであって、図示の状態では１つの方向（例えばＸ方向）に移動させるときの１組の超音波モータ２、ステージ位置計測装置６などを配置した概略図を表すものである。Ｘ方向およびＹ方向に移動させるには、図示の超音波モータ２、ステージ位置計測装置６などが２組必要である。

超音波モータ２は、ステージ（本体）２をＸ方向（あるいはＹ方向）に高精度かつ広範囲に移動（駆動）させるものであって、超音波モータ機構部３および電源４などから構成されるものである。尚、超音波モータ２によるステージ（本体）１の駆動量は、ステージ位置計測装置６である例えばレーザ測長器によって高精度に測定しながら当該駆動量を自動調整する。

超音波モータ機構部３は、超音波モータを駆動する機構部であって、後述する図２のロータ１１、ステータ１２、圧電セラミック１３などから構成されるものである。

電源４は、超音波モータ機構部３を駆動する電源を供給するものである（図２で詳細に説明する）。

ステージ制御装置５は、ステージ（本体）１の位置を精密に移動させるなどの各種制御を実行するものであって、例えばパソコンなどであり、ここでは、モニタテーブル５１などを具備するものである。

モニタテーブル５１は、モニタした情報を記録するテーブルであって、ここでは、後述する図５に示すように、経過時間、電圧（圧電セラミック１３に印加した電圧）、位置（ステージ（本体）１の実測した位置座標）、速度（単位時間当たりの移動速度あるいは印加した電圧の単位パルス数当りの移動速度）などを記録したものである。

ステージ位置計測器６は、ステージ（本体）１の位置を精密に測定するものであって、例えばレーザ測長器（レーザ干渉計）である。

図２は、本発明の超音波モータ例を示す。
図２の（ａ）は、超音波モータの概略断面図を示す。

図２の（ａ）において、ロータ１１は、ステージ（本体）１に取り付け、ステータ１２に接触する部分は直線状かつ平面を極めて滑らかに加工した板であって、通常、アルミナで作成されるものである。ロータ１１のステータ１２に接触する部分は、耐磨耗性加工（例えば窒素、炭素、ホウ素、チタン、アルゴン、クロム、ニッケル、銅、インジウム、銀、モリブデンあるいはその化合物のいずれか１つ以上であって、これ以外でも、耐摩耗性が向上するものをイオン打ち込みして耐磨耗性の加工）したものである。

ステータ１２は、通常、アルミナで作成され、ロータ１１に接触する部分は極めて滑らかに加工し、かつ耐磨耗性加工（ロータ１１と同様）したものである。ステータ２は、公知のように、電源４から電圧を印加した圧電セラミック１３によって駆動され、接するロータ１１を図上で左方向あるいは右方向に移動させるものである。

圧電セラミック１３は、電源４から公知の印加された位相（Ｃｏｓ ωｔ，Ｓｉｎ ωｔ）のパルスの電圧に従い伸縮してステータ１２を駆動するものである。

電源４は、図示ように位相の異なる（Ｃｏｓ ωｔ，Ｓｉｎ ωｔ）所定周波数の電圧（パルスの電圧）を発生し、圧電セラミック１３を駆動するものである。

以上の構成のもとで、電源４から位相の異なるパルスの電圧を圧電セラミック１３にそれぞれ印加し、伸縮した圧電セラミック１３がステータ１２をそれぞれ異なる位相で収縮して駆動し、結果として、ロータ１１を図上で右方向あるいは左方向に移動させる（駆動パルス数に対応した距離だけ移動させる）。

図２の（ｂ）は、超音波モータ２の要部の拡大図を示す。図示のステータ１２がロータ１１に接触して当該ステータ１２あるいはロータ１１が磨耗して磨耗粉が発生した様子を模式的に示す。圧電セラミック１３の伸縮に応じてステータ１２がロータ１１を駆動して当該ロータ１１を右方向あるいは左方向に移動させることを繰り返してステージ（本体）１の移動を長期間繰り返すと、ステータ１２とロータ１１との接触部分が磨耗して磨耗粉が発生し、当該磨耗粉がステータ１２とロータ１１との間に入る（挟まる）と負荷が増大し、通常のパルス電圧を圧電セラミック１３に印加しても、移動できず、所定電圧パルス数を当該圧電セラミック１３に印加しても所定距離移動できないという事態が発生する場合がある。この場合には、ステージ制御装置５が自動的にパルス電圧を少し上昇させるように自動制御し、磨耗粉による負荷増大による移動距離が小さくなる自体を防止している。このときの状態を検出し（圧電セラミック１３の伸縮の度合いを増減するパルス電圧の大きさを検出し）、後述するようにしてモニタ表示、更に、パルス電圧が所定閾値以上となったときなどに警報を発するようにしている（図３から図７を用いて後述する）。

また、磨耗粉が発生しステータ１２とロータ１１との接触部分に挟まることにより負荷が増大し、所定パルス数を圧電セラミック１３に印加したときのステージ（本体）１の実際に移動された距離をステージ位置計測装置６で実測して移動量を検出し、当該移動量の単位時間当たり（あるいは単位、駆動電圧パルス当り）の移動する速度を計算し、速度をモニタ表示、更に、所定閾値以下の速度となったときなどに警報を発する（図３から図７を用いて後述する）。

図３は、本発明の動作説明フローチャート（モニタ）を示す。
図３において、Ｓ１は、ステージ制御装置より＋信号（ステージ移動開始信号）を電源４に通知する。

Ｓ２は、電源４が超音波モータ機構部３に電圧（＋１０Ｖ）を印加する。これは、Ｓ１でステージ制御装置５から通知された＋信号（ステージ移動開始信号）を受信した電源４が初期値の電圧、例えば振幅が＋１０Ｖで、位相がＣｏｓ ωｔと位相Ｓｉｎ ωｔの２つの電圧を図２の（ａ）の圧電セラミック１３にそれぞれ印加する（周波数はここでは、予め実験で測定した最適な所定のｆ０で一定とする）。

Ｓ３は、ステージは規定内の速度で移動しているか判別する。これは、Ｓ２で所定の電圧パルスを圧電セラミック１３にそれぞれ印加し、当該圧電セラミック１３が伸縮してステータ１２を駆動してロータ１１を移動させ、結果としてロータ１１を固定したステージ（本体）１を図２の（ａ）で右方向あるいは左方向に移動させ、このときの移動量をステージ位置計測装置６で逐次計測し、単位時間当たりの移動速度（あるいは圧電セラミック１３に印加した電圧パルスの所定数当りの移動速度）を算出し、当該算出した移動速度が規定内、例えば正常な規定値の±５％の範囲内（正常な規定値の９５％から１０５％の範囲内）か判別する。ＹＥＳの場合には、Ｓ８に進む。遅い場合（例えば正常な規定値の９５％以下の場合）には、後述するＳ４、Ｓ５で印加電圧を上げ、Ｓ３を繰り返す。一方、速い場合（例えば正常な規定値の１０５％以上の場合）には、後述するＳ６、Ｓ７でで印加電圧を下げ、Ｓ３を繰り返す。

Ｓ４は、Ｓ３の遅い場合（移動速度が例えば正常な規定値の９５％以下の場合）と判明したので、ステージ制御装置５より印加電圧を上げる指示をする。

Ｓ５は、印加電圧を上げる。これは、Ｓ４で印加電圧が上げられた指示を受信した電源４が電圧を上げた後の電圧、例えば振幅が＋１１Ｖで、位相がＣｏｓ ωｔと位相Ｓｉｎ ωｔの２つの電圧を図２の（ａ）の圧電セラミック１３にそれぞれ印加する（周波数はここでは、予め実験で測定した最適な所定のｆ０で一定とする）。そして、Ｓ３に戻り繰り返し、速度が規定内となるまで繰り返す。

以上のＳ４、Ｓ５、Ｓ３を繰り返すことにより、ステージ（本体）１の移動速度が規定値よりも遅い場合には、駆動電圧を上げて圧電セラミック１３の伸縮量を大きくしてステータ１２によるロータ１１の駆動力を大きくし、ステージ（本体）１が規定の速度範囲内になるように、自動制御することが可能となる。

Ｓ６は、Ｓ３の速い場合（移動速度が例えば正常な規定値の１０５％以上の場合）と判明したので、ステージ制御装置５より印加電圧を下げる指示をする。

Ｓ７は、印加電圧を下げる。これは、Ｓ６で印加電圧が下げられた指示を受信した電源４が電圧を下げた後の電圧、例えば振幅が＋９Ｖで、位相がＣｏｓ ωｔと位相Ｓｉｎ ωｔの２つの電圧を図２の（ａ）の圧電セラミック１３にそれぞれ印加する（周波数はここでは、予め実験で測定した最適な所定のｆ０で一定とする）。そして、Ｓ３に戻り繰り返し、速度が規定内となるまで繰り返す。

以上のＳ６、Ｓ７、Ｓ３を繰り返すことにより、ステージ（本体）１の移動速度が規定値よりも速い場合には、駆動電圧を下げて圧電セラミック１３の伸縮量を小さくしてステータ１２によるロータ１１の駆動力を小さくし、ステージ（本体）１が規定の速度範囲内になるように、自動制御することが可能となる。

Ｓ８は、Ｓ３の規定内（移動速度が例えば正常な規定値の９５％から１０５％の範囲内）と判明したので、波形モニタを表示する。例えば
１．ＵＳ出力波形（電源４が圧電セラミック１３に出力したパルス電圧の振幅（１０Ｖ））
２．速度波形（ステージ位置計測装置６で実測したステージ１（あるいはロータ１１）の単位時間（単位電圧パルス）当りの移動速度（例えば１秒間当り、所定パル数当りの移動速度））
をグラフにして表示する（例えば横軸を時間、縦軸を１．の振幅、２．移動速度の１つあるいは両者を表示する）。

Ｓ９は、記録する。これは、Ｓ８で表示したＵＳ出力波形、速度波形をデジタルにして記録、例えば後述する図５のモニタテーブル５１に示すように記録する。

Ｓ１０は、１秒経過か判別する。ここで、１秒は、Ｓ１からＳ１１を繰り返す周期時間である。ＹＥＳの場合には、終了する（Ｓ１からＳ１１の一連の処理を終了したので、ここでは、終了する）。尚、次の１秒は、同様に、停止指示があるまで、Ｓ１からＳ１１を繰り返す。一方、Ｓ１０のＮＯの場合には、Ｓ３以降を繰り返す。

以上によって、電源４から圧電セラミック１３に所定電圧の２つの位相の電圧パルスを印加することを繰り返しつつ、所定時間当り（所定電圧パルス数当り）のステージ（本体）１の移動速度を測定し、測定した移動速度が規定値外のときは規定値内に収まるように電圧パルスの電圧を自動調整することを繰り返し、このときの電圧パルスの電圧、ステージ（本体）１の移動速度をモニタ表示し、リアルタイムに超音波モータ２の状態、即ち、
・ステージ（本体）１の移動速度を一定（規定値内）に保持したときの圧電セラミック１３に印加する電圧パルスの電圧（＝駆動力）
・実際のステージ（本体）１の移動速度（単位時間当たりの移動速度、あるいは単位パルス数当りの移動速度）
の状態をリアルタイムにモニタ表示することが可能となる。

図４は、本発明の動作説明フローチャート（アラーム）を示す。
図４の（ａ）は、アラームを発する場合のフローチャートを示す。

図４の（ａ）において、Ｓ２１は、規定外電圧の回数を集計する。これは、既述した図３のＳ９で記録して格納した図５のモニタテーブル５１を参照し、規定外電圧（予め実験で求めて設定した異常と判断する電圧、例えば１３Ｖ以上、８Ｖ以下）の回数を集計する。

Ｓ２２は、規定回数以上か判別する。これは、Ｓ２１で集計した規定外電圧の回数が図２の（ａ）の超音波モータ２の動作異常と判断する規定回数以上か判別する。ＹＥＳの場合には、Ｓ２３で交換時期アラームを出力する。これにより、図１、図２の超音波モータ２の交換時期（あるいは清掃、修理の時期）が来た旨を知らせるアラームをパネル上に表示し、管理者に知らせる。一方、Ｓ２２のＮＯの場合には、終了する。

以上によって、既述した図３のフローチャートに従いステージ（本体）１の移動速度を規定値内に収まるように自動制御した場合の圧電セラミック１３に印加するパルスの電圧（およびステージ（本体）１の移動速度（単位時間当たりのステージ（本体）１の移動速度あるいは圧電セラミック１３に印加するパルスの単位数当りのステージ（本体）１の移動速度）を図５のモニタテーブル５１に記録し、記録した電圧（移動速度については図４の（ｂ）参照）の異常回数を集計（例えばリアルタイムの集計））について、規定回数を越えたときに交換時期（あるいは修理時期、清掃時期）と判明したので、その警報をパネルに表示し、管理者に知らせることが可能となる。

図４の（ｂ）は、ステージ（本体）１の異常位置を計測して記録する場合のフローチャートを示す。

図４の（ｂ）において、Ｓ３１は、異常検出する。これは、ステージ制御装置５が既述したパルスの電圧あるいはステージ（本体）１の移動速度について規定外となり、異常検出と判断する。

Ｓ３２は、位置を計測する。これは、ステージ制御装置５がＳ３１の異常検出と判断したことに対応して、ステージ位置計測装置６に指示して現在のステージ（本体）１の実際の位置を計測させ、取り込む。

Ｓ３３は、位置を保持する。これは、Ｓ３２で計測したステージ（本体）１の実際の位置（位置座標）を保持する。

Ｓ３４は、更に、異常検出か判別する。これは、Ｓ３１で異常検出したのに続き、更に（次に）、異常検出（ステージ制御装置５が既述したパルスの電圧あるいはステージ（本体）１の移動速度について規定外を検出）か判別する。ＹＥＳの場合には、Ｓ３２、Ｓ３３を繰り返し、その異常検出の位置をステージ位置計測装置６に指示して現在のステージ（本体）１の実際の位置を計測させ、取り込み、保持する。一方、ＮＯの場合には、異常検出されなかったので、Ｓ３５で保持した全ての位置を記録（例えば図５のモニタテーブル５１に記録）し、終了する。

以上によって、超音波モータ２によるステージ（本体）１の移動時に、圧電セラミック１３に印加するパルスの電圧が規定外あるいは移動させたステージ（本体）の移動速度が規定外の場合に、自動的に規定外（異常時）の位置を正確に、ステージ位置計測装置６で計測して記録することが可能となる。

図５は、本発明のモニタテーブル例を示す。モニタテーブル５は、図示の下記の情報を対応づけて記録するものである。

・ＮＯ：
・経過時間：
・電圧：
・位置：
・速度：
・その他：
ここで、ＮＯはレコードに付与した連続した一意の番号である。経過時間は超音波モータ２を構成する圧電セラミック１３にパルスの電圧の印加を開始してからの経過時間である。電圧は、圧電セラミック１３に印加したパルスの電圧（振幅）である。位置はステージ位置計測装置６で測定したステージ（本体）１の実際の位置（位置座標）である。速度は、ステージ（本体）１の単位時間当たり（あるいは単位パルス数当り）の移動量である。

以上のようにモニタテーブル５に情報を記録して保存することにより、規定外の電圧の回数、速度の回数を集計し、既述した図４などのアラームを自動的に発することが可能となる。

図６は、本発明の説明図（表示）を示す。
図６の（ａ）は、表示フローチャートを示す。

図６の（ａ）において、Ｓ４１は、パルス送りの抜け位置を集計する。これは、既述した図４の（ｂ）で記録した規定外のステージ（本体）１の位置について、例えばＸ方向の位置毎の回数（頻度）を集計、およびＹ方向の位置毎の回数（頻度）を集計する。

Ｓ４２は、表示する。これは、Ｓ４１で集計したステージ（本体）の始端から終端に至る各位置における規定外となったＸ方向（Ｘ軸）の数（頻度）、Ｙ方向（Ｙ軸）の数（頻度）を、例えば図６の（ｂ），（ｃ）に示すようにそれぞれ表示する（ここでは、棒グラフで表示する）。

Ｓ４３は、ＭＡＰを表示する。ＭＡＰとしては、例えば図６の（ｂ）のＸ軸、図６の（ｃ）のＹ軸だけではなく、ステージ（本体）の移動可能な全範囲について、規定外となった回数（頻度）を濃淡（あるいはカラー）で表示（あるいは頻度を等高線で表示）する。

以上によって、超音波モータ２を用いてステージ（本体）１を移動させたときの規定外の電圧（圧電セラミック１３に印加する規定外の電圧）のときのステージ（本体）１の位置、あるいはステージ（本体）１の移動速度が規定外の位置を記録を集計して頻度を算出し、図５の（ｂ），（ｃ）のようにＸ軸、Ｙ軸上の頻度を判り易く表示したり、更に、ステージ（本体）１の全移動範囲について規定外の頻度を濃淡、等高線などで表示し、異常発生位置を一目で分かるように表示することが可能となる。

図７は、本発明の説明図（駆動信号の大きさ）を示す。
図７の（ａ）は、正常時の電圧（駆動力を大きさ）の例を示す。図示の波形は、超音波モータ２でステージ（本体）１を一定速度で駆動するように自動制御した場合に、圧電セラミック１３に印加する一定周波数のパルスの電圧（振幅）を縦軸とし、横軸を時間（あるいはパルス数）としたときの正常時の様子を模式的に表したものである。正常時のステージ（本体）１の駆動時には、超音波モータ２を構成する圧電セラミック１３に図示のほぼ一定の電圧（例えば１０Ｖ、駆動力の大きさに対応する）のパルスを印加する（周波数は常に一定とする）。

図７の（ｂ）は、異常時の電圧（駆動力を大きさ）の例を示す。図示の波形は、超音波モータ２でステージ（本体）１を一定速度で駆動するように自動制御した場合に、圧電セラミック１３に印加する一定周波数のパルスの電圧（振幅）を縦軸とし、横軸を時間（あるいはパルス数）としたときの異常時の様子を模式的に表したものである。異常時のステージ（本体）１の駆動時には、超音波モータ２を構成する圧電セラミック１３に図示のように、駆動力が大きく変動した電圧のパルスを印加している様子が判明する（周波数は常に一定とする）。この異常時（圧電セラミック１３に印加するパルスの電圧が規定範囲外）の電圧を検出し、その回数を集計して規定回数を超えたときに超音波モータ２の交換時期（あるいは掃除時期）として警報を発することが可能となる。

本発明は、超音波モータを構成するステータとロータの駆動信号あるいは超音波モータによる駆動状態を監視してモニタ表示すると共に一定度合いを超えたときに警報を発し、超音波モータの磨耗粉の発生状態をリアルタイムにモニタおよび警報を発する超音波モータおよび超音波モータのモニタ方法に関するものである。

本発明の全体構造図である。 本発明の超音波モータ例である。 本発明の動作説明フローチャート（モニタ）である。 本発明の動作説明フローチャート（アラーム）である。 本発明のモニタテーブル例である。 本発明の説明図（表示）である。 本発明の説明図（駆動信号の大きさ）である。

符号の説明

１：ステージ（本体）
２：超音波モータ
３：超音波モータ機構部
４：電源
５：ステージ制御装置
５１：モニタテーブル
６：：ステージ位置計測装置
１１：ロータ
１２：ステータ
１３：圧電セラミック

Claims (8)

1. 圧電素子の力で駆動されるステータと摩擦力で前記ステータに固定するロータとからなる超音波モータにおいて、
   前記ステータを駆動する駆動力に対応する、印加するパルスの電圧を検出する第１の手段と、
   前記検出されたパルスの電圧の値を出力する手段と
   を備えたことを特徴とする超音波モータ。
2. 圧電素子の力で駆動されるステータと摩擦力で前記ステータに固定するロータとからなる超音波モータにおいて、
   前記ロータあるいは当該ロータを固定したステージが移動する移動距離を計測する第２の手段と、
   前記計測された移動距離をもとに速度を算出して出力する手段と
   を備えたことを特徴とする超音波モータ。
3. 前記速度として、前記計測された移動距離をもとに算出した単位時間当たりあるいは単位パルス数当りの速度としたことを特徴とする請求項２記載の超音波モータ。
4. 前記検出されたパルスの電圧の値あるいは前記速度が規定値外の回数を表示する手段を備えたことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の超音波モータ。
5. 前記検出されたパルスの電圧の値あるいは前記速度について、前記ステータあるいは当該ステータを固定したステージの位置に対応づけて規定外の回数を算出して表示する手段を備えたことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載の超音波モータ。
6. 前記検出されたパルスの電圧の値あるいは前記速度が規定外のとき、あるいは規定外の回数が規定回数以上のときに警報を発する手段を備えたことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載の超音波モータ。
7. 圧電素子の力で駆動されるステータと摩擦力で前記ステータに固定するロータとからなる超音波モータのモニタ方法において、
   前記ステータを駆動する駆動力に対応する、印加するパルスの電圧を検出する第１のステップと、
   前記検出されたパルスの電圧の値を出力するステップと
   を有する超音波モータのモニタ方法。
8. 圧電素子の力で駆動されるステータと摩擦力で前記ステータに固定するロータとからなる超音波モータのモニタ方法において、
   前記ロータあるいは当該ロータを固定したステージが移動する移動距離を計測する第２のステップと、
   前記計測された移動距離をもとに速度を算出して出力するステップと
   を有する超音波モータのモニタ方法。

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