JP3591731B2 - 流量コントロール弁 - Google Patents

Description

技術分野
この発明は、血圧計などの定速排気弁として使用される流量コントロール用の電磁弁に係り、特に、簡単な構造であり、排気量を徐々に増大させることができる流量コントロール弁に関するものである。
背景技術
血圧計には種々のものが提案されているが、ポンプにより血圧被測定者の腕に巻かれたカフに空気を送り、カフ内の圧力を所定値まで上げた後に、その圧力を徐々に減圧してゆき、この減圧過程において血圧を測定するものがある。血圧の測定後は、カフ内の圧力を急速に下げて、血圧被測定者の腕にかかる圧迫感を開放し腕からカフを取り外すようになっている。
このような血圧計の流量コントロール弁は、加圧したカフ内の圧力を徐々に減圧することが重要であって、そのためにカフに流通する圧力流出口の大きさを徐々に増大させなければならない。このような代表的な流量コントロール弁が、特開平６−４７００７号公報に記載されている。この流量コントロール弁は、カフに流通する空気流出口と、この流出口を閉じ可動軸の先端に取り付けられているパッキンと、可動軸を軸方向に駆動するソレノイドから構成されている。
前記公報記載の流量コントロール弁は、空気流出口及びパッキンの各端面を互いに平行関係にならない平坦面に形成してなり、パッキンを徐々に空気流出口より離すことにより、空気流出口を一挙に開放することなく段階的に開放するようにしたものである。カフ内の圧力を所定値まで下げて血圧の測定が終わった後は、ソレノイドの電流を切ってスプリングによって可動軸を押し下げ、カフ内の圧力を大気圧まで急速に下げるようになっている。
しかしながら、前記公報記載の流量コントロール弁は、空気流出口の端面またはパッキンの端面のいずれか一方を摺動軸の移動方向に対してやや傾斜させて形成したものであるが、パッキンの姿勢によって空気の流出量に影響を受けることになる。従って、空気流出口とパッキンの各端面の傾斜角を微妙に調整しなければならないとともに、可動軸の姿勢が変わらずスムーズに移動するように調整しなければならない。
従って、この発明は、簡単な構造でありながら、空気流出量を徐々に増大させることができるようにした流量コントロール弁を提供することを目的とする。
また、この発明は、部品点数を少なくしてコストダウンを図ることができる流量コントロール弁を提供することを目的とする。
また、この発明は、微量排出をコントロールできる流量コントロール弁を提供することを目的とする。
発明の開示
この発明に係る流量コントロール弁は、圧力流体を外部に流出させる流出口と、前記流出口を任意に開閉する圧接部を有する弁体と、前記弁体の圧接部を移動させる弁作動体とからなり、流出口から排気する際に、流出口を閉塞している弁体の圧接部の平面が流出口からの排気によって傾斜するように形成することを特徴とする。
そして、前記弁体は、略円筒状パッキンの底部開口からコアを嵌入した圧接部の下端部に１８０度隔てて支持板を設けてなる。前記略円筒状パッキン及び支持板は、ゴム、プラスチック等の弾性材によって一体的に形成されている。前記支持板の幅寸法は、前記圧接部の外径寸法とほぼ同じ大きさとすることが好ましい。
流出口から排気する際に、弁体の圧接部の平面を流出口からの排気によって傾斜させるには、前記流出口の中心と弁体の圧接部の中心とをずらして形成すればよい。前記流出口の中心を弁体の圧接部の中心からずらすには、例えば、前記流出口をカフに連通される連結管の軸心からずらして形成するか、前記弁体の支持板の一方を他方より短く形成して圧接部の中心からずらせばよい。
また、流出口から排気する際に、弁体の圧接部の平面を流出口からの排気によって傾斜させるには、前記弁体の支持板の一方の肉厚を他方より薄く形成するか、あるいは、コアの位置を円筒状パッキンの中心からずらして嵌入することによって、支持板の一方のバネ作用を他方のそれよりも小さくすればよい。
前記流出口をカフに連通される連結管の軸心からずらして形成した場合には、圧接部の中心からずれた位置に排気が当たるから、圧接部の平面は傾斜することになる。また、前記弁体の支持板の一方を他方より短く形成すれば、流出口と圧接部の中心とがずれるとともに、支持板のバネ作用に差が生じるから、排気によって圧接部の平面は傾斜することになる。
また、、前記弁体の支持板の一方の肉厚を他方の肉厚よりも薄く形成した場合、あるいは前記弁体の円筒状パッキンの中心からずらしてコアを嵌入した場合には、一方の支持板のバネ作用が他方の支持板のバネ作用よりも弱くなるから、弁体の圧接部の平面が流出口からの排気によって傾斜するようになる。
また、前記弁体の支持板には溝またはスリットを形成してもよい。前記溝またはスリットを形成することによって、支持板のバネ作用が小さくなるとともに、流出口からの排気圧が小さくなった場合でも反動を抑えることができる。従って、弁体の圧接部平面の傾斜を長く維持することができ、一層微細な排気を制御することができる。
前記弁体の支持板に形成する溝またはスリットは、圧接部の両側に対称または非対称に形成すればよい。また、前記溝またはスリットの形状は特に限定されるものではなく、円弧状であってもよいし、支持板の側面に対して直角方向に形成してもよいし、さらに、支持板の側面に対して斜め方向に形成してもよい。
【図面の簡単な説明】
第１図は、この発明の第１実施形態の流量コントロール弁を示す平面図であり、第２図は、図１のＡ−Ａ線断面図であり、第３図は、弁体の平面図であり、第４図は、この発明の第２実施形態の流量コントロール弁を示す断面図であり、第５図は、この発明の第３実施形態の流量コントロール弁における弁体を示す断面図であり、第６図は、この発明の第４実施形態の流量コントロール弁における弁体を示す断面図であり、第７図は、第５実施形態の流量コントロール弁における弁体を示す平面図であり、第８図は、第７図のＢ−Ｂ線断面図であり、第９図は第６実施形態の流量コントロール弁における弁体を示す平面図であり、第１０図は、第７実施形態の流量コントロール弁における弁体を示す平面図であり、第１１図は、第８実施形態の流量コントロール弁における弁体を示す平面図であり、第１２図は、第９実施形態の流量コントロール弁における弁体を示す平面図であり、第１３図は、第１０実施形態の流量コントロール弁における弁体を示す平面図であり、第１４図は、弁体による流出口の閉塞状態を示す断面図であり、第１５図は、流出口と弁体の圧接部との関係を示した説明図である。
発明を実施するための最良の形態
この発明を、以下に図示する実施形態に基づいて詳細に説明する。第１図〜第３図はこの発明の好ましい流量コントロール弁の第１実施形態を示している。この流量コントロール弁の全体構造は、円筒状のケーシング１と蓋体２との間に平面略長方形状の弁体３の両端部を挟持し、ケーシング１内にソレノイド４とマグネット５を収納する円筒状の収納体６を配設している。前記収納体６の貫通孔７に前記弁体３を押し上げる弁作動体８を移動可能に嵌入することによって構成されている。
さらに、詳述すると、円筒状ケーシング１の周壁１１の側面には、切り落とされた平坦面１２、１２が対向するように平行に設けられている。また、ケーシング１の底部１３の中心には前記弁作動体８の端部を挿通する透孔１４が設けられ、上部開口部の内側には段部１５が形成されている。一方、蓋体２は上板２１と周壁２２とからなり、上板２１の中央部にはカフに連通される連結管２３が弁作動体８の移動方向に突設されている。前記周壁２２の下端内側には、前記段部１５に嵌合する凸部２４が設けられている。
前記連結管２３に設けられた流出通路２５の流出口２６は、上板２１の下面よりも突出している。前記上板２１には前記連結管２３を挟んで１８０度隔てた位置に排出口２７、２７が設けられ、周壁２２の側面には切り落とされた平坦面２８が対向するように平行に設けられている。前記平担面２８は、ケーシング１と組み立てたとき、ケーシング１の平坦面１２と一致するように形成されている。
さらに、前記連結管２３の軸心と弁作動体８の軸心とはほぼ同一であるが、前記流出通路２５の中心は連結管２３の中心からずらして形成されており、そのずらす方向は後述する弁体３の長さ方向とするのが好ましい。
前記弁体３は、第３図に示すように、略円柱状の圧接部３１の下端部に１８０度隔てて支持板３２、３２が圧接部３１の側面に対して直角方向に設けられている。前記圧接部３１は、円筒状パッキン３３の底部開口からコア３４を嵌入することによって形成されている。前記前記圧接部３１は、円筒状パッキン３３の底部開口からコア３４を嵌入することによって形成されている。
前記支持板３２，３２と円筒状パッキン３３とは、ゴム、プラスチック等の弾性材によって一体に形成されている。前記支持板３２、３２はほぼ同じ肉厚であり、幅寸法は圧接部の外径寸法とほぼ同じ大きさとすることが好ましい。支持板３２、３２の端部が円筒状ケーシング１の上部開口部の段部に架け渡された状態で蓋体２の周壁２２との間に挟持されている。
前記圧接部３１の軸心と連結管２３の軸心とはほぼ同一線上にある。円筒状パッキン３３の流出口２６に圧接する面は平面３５に形成されており、流出口２６とほぼ平行に配設されている。前記弁体３は、上記のように支持板３２、３２が弾性材で形成されていることから、コア３４が第２図の下方から押し上げられると支持板３２、３２が伸長して円筒状パッキン３３の平面３５を流出口２６に圧接して閉塞することができる。圧接部３１の軸心と連結管２３の軸心とはほぼ同一線上にあるが、流出通路２５が連結管２３の軸心からずらして形成されていることから、流出口２６は、円筒状パッキン３３の軸心からずれた位置に圧接されることになる。
次に、弁作動体８を第２図の上方に移動させるソレノイド４と、前記ソレノイド４の外側に配設されたマグネット５とがケーシング１に収納された円筒状収納体６に配設されている。円筒状収納体６は、内壁６２と外壁６３とからなる二重構造であって、内壁６２の内側を軸方向に貫通する貫通孔７とし、内壁６２と外壁６３との間を環状溝６４としている。前記ソレノイド４とマグネット５とが前記環状溝６４に収納されている。
前記弁作動体８は、前記ソレノイド４より僅かに径方向外側に延びたフランジ部８１と摺動軸８２によって形成されている。フランジ部８１の上面中央部には、摺動軸８２の軸心上に半円球状の凸部８３が突設されている。前記摺動軸８２の外周面には貫通孔７との間でガタを防ぐ環状凸部８４が設けられている。ソレノイド４に電流が流されて電磁力が発生し弁作動体８が移動すると、前記凸部８３がコア３４に当接する。そして、そのまま圧接部３１を第２図の上方に押し上げて円筒状パッキン３３により流出口２６を閉塞する。
第４図はこの発明の第２実施形態を示し、この実施形態では弁体の中心を連結管の流出口と弁作動体の凸部の中心からずらして形成したことを特徴とする。即ち、連結管２３の中心に設けた流出通路２５ａの流出口２６ａと弁作動体８の凸部８３の中心を上下方向において同一線上に設ける。このとき、前記流出通路２５ａと摺動軸８２の軸心も前記流出口２６ａ及び凸部８３の中心とほぼ同一線上に設けることが好ましい。
そして、前記弁体３ａを構成する圧接部３１の中心を流出口２６ａと凸部８３の中心からずらして設ける。圧接部３１の中心のずらす方向は、圧接部３１の両側に１８０度隔てて形成した支持板３２のいずれか一方側とする。第４図においては、支持板３２ｂを短く形成し、支持板３２ａを長く形成してなる。従って、圧接部３１をずらした方向の支持板が短く、反対側の支持板は長く形成されることになり、第４図では、右側が長く左側が短く形成されている。尚、前記弁体３ａ及び流出口２６ａの構成以外は、第１実施形態と同じ構成であるから、同一構成に対しては同一符号を付してその説明は省略する。
上記第２実施形態では、流出口２６ａが完全に閉塞している状態から弁作動体８を第４図の下方に徐々に下げると、流出口２６ａが圧接部３１の中心からずれており、一方の支持板が長くバネ作用が小さくなっているから、流出通路２５ａを通って排気される空気によって圧接部３１の平面３５は傾き、流出口２６ａの下端面とは非平行関係になる。さらに、弁作動体８を徐々に下げると、平面３５が傾いた状態で流出口２６ａから徐々に離れることになるので、微速排気を可能とする。
第５図は、この発明の第３実施形態に係る流量コントロール弁の弁体のみを示す断面図であり、他の構成は第４図と同一であるから全体の説明は省略する。この実施形態では、弁体を構成する支持板の一方を薄肉に形成することを特徴とする。即ち、第２実施形態と同様に、略円柱状の圧接部３１の下端部に１８０度隔ててゴム等の弾性材による支持板３２ｃ，３２ｄを圧接部３１の側面に対して直角方向に設けてなる。支持板３２ｄの肉厚ｔ１を支持板３２ｃの肉厚ｔよりも薄肉に形成し、バネ作用を小さくしたものである。この第３実施形態における圧接部３１の中心は、流出口２６ａと凸部８３の中心とほぼ同一線上に配設される。
また、第６図は、この発明の第４実施形態に係る流量コントロール弁の弁体のみを示す断面図であり、他の構成は第４図と同一であるから全体の説明は省略する。この実施形態では、圧接部３１ａのコア３４ａを支持板の一方側にずらすことにより、他方の支持板のバネ作用を小さくしたものである。即ち、上記第１〜３の実施形態と同様に、略円柱状の圧接部３１ａの下端部に１８０度隔ててゴム等の弾性材による支持板３２、３２を水平方向に設ける。前記圧接部３１ａは、底部が開口した円筒状パッキン３３ａにコア３４ａを嵌入させることによって形成されている。前記円柱状パッキン３３ａの周壁は支持板の一方側を厚肉に形成し、他方側を薄肉に形成されており、底部開口の中心がずらされている。従って、コア３４ａを嵌入することによって、一方側の支持板のバネ作用が小さくなる。
上記第３及び第４実施形態においても、第１及び第２実施形態と同様に、流出口２６ａが完全に閉塞している状態から弁作動体８を徐々に下げると、一方の支持板のバネ作用が小さく形成されているから、流出通路２５を通って排気される空気によって圧接部３１、３１ａの平面３５は傾き、流出口３１の下端面とは非平行関係になる。平面３５が傾いた状態で流出口２６から徐々に離れることになるので、微速排気を可能とする。
また、第７図及び第８図は、この発明の第５実施形態に係る流量コントロール弁の弁体３ｄのみを示す平面図及び断面図である。上記実施形態と同様な構成については、同一の符号を付してその説明は省略する。第７図以下の実施形態では、支持板３２に溝又はスリットを形成することによって、一方の支持板のバネ作用を他方のそれよりも小さくしたものである。
即ち、上記第１実施形態と同様に、略円柱状の圧接部３１の下端部に１８０度隔ててゴム等の弾性材による支持板３２、３２を水平方向に設ける。前記圧接部３１は、底部が開口した円筒状パッキン３３にコア３４を嵌入させることによって形成されている。前記支持板３２，３２の上面には、円弧状の溝３７，３７ａが設けられている。前記円弧状の溝３７，３７ａは、支持板３２，３２の方向の中心線Ｘの上下に点対称に設けられている。
図８に示すように、溝３７の圧設部３１からの間隔寸法をＬ、溝幅寸法をＴとし、溝３７ａの圧設部３１からの間隔寸法をＬ１、溝幅寸法をＴ１とすると、ＬとＴの関係は次のように構成される。即ち、Ｌ＝Ｌ１のとき、Ｔ＞Ｔ１またはＴ＜Ｔ１であり、Ｔ＝Ｔ１のとき、Ｌ＞Ｌ１またはＬ＜Ｌ１である。このように、溝３７、３７ａの圧設部３１からの間隔寸法、または溝幅寸法に差を設けることによって一方側の支持板のバネ作用を小さくするとともに、反動を小さく抑えることができる。
次に、第９図は、この発明の第６実施形態に係る流量コントロール弁の弁体３ｅのみを示す平面図である。この実施形態は、上記第７図に示す第５実施形態と溝の位置が異なる。即ち、支持板３２の上面に設けられた溝３８，３８ａは、支持板３２，３２の方向の中心線Ｘ上に対称に設けられている。溝３８の圧設部３１からの間隔寸法をＬ、溝幅寸法をＴとし、溝３８ａの圧設部３１からの間隔寸法をＬ１、溝幅寸法をＴ１とすると、ＬとＴの関係は、上記第７図に示す第５実施形態と同様である。従って、その詳細な説明は省略する。
第１０図は、この発明の第７実施形態に係る流量コントロール弁の弁体３ｆのみを示す平面図である。この実施形態は、溝３９，３９ａを支持板３２，３２の方向の中心線Ｘの両側に分割されて対称に設けられている。溝３９と溝３９ａの圧設部３１からの間隔寸法及び溝幅寸法の関係は、上記第５実施形態や第６実施形態の場合と同様である。従って、その詳細な説明は省略する。
第１１図は、この発明の第８実施形態に係る流量コントロール弁の弁体３ｇのみを示す平面図である。この実施形態は、溝４０、４０ａを点線状に設けた点で上記実施形態と異なる。溝４０と溝４０ａの圧設部３１からの間隔寸法及び溝幅寸法の関係は、上記第５実施形態や第６実施形態の場合と同様である。従って、その詳細な説明は省略する。
第１２図は、この発明の第９実施形態に係る流量コントロール弁の弁体３ｈのみを示す平面図である。この実施形態は、溝４１、溝４１ａを支持板３２，３２の方向の中心線Ｘの両側に非対称に設けた点で異なっている。即ち、溝４１の長さを溝４１ａよりも長く形成してなる。溝４１と溝４１ａの圧設部３１からの間隔寸法及び溝幅寸法は同一であるが、長さに差を設けることによって、一方側の支持板のバネ作用を小さくしている。
さらに、第１３図は、この発明の第１０実施形態に係る流量コントロール弁の弁体３ｉのみを示す平面図である。この実施形態は、溝４２、４２ａを支持板３２，３２の側面に地して直角方向に設けた点で異なっている。この溝４２と溝４２ａの圧設部３１からの間隔寸法及び溝幅寸法の関係は、上記第５実施形態や第６実施形態の場合と同様である。従って、その詳細な説明は省略する。
尚、上記第７図から第１３図に示す実施形態では、溝を形成した場合について説明したが、前記各実施形態の溝をスリットに変更することが可能である。スリットに変更した場合には、支持板３２，３２のいずれか一方側のスリットに、圧接部３１からの間隔寸法及び／またはスリットの長さ寸法に差を設けることによって、一方側の支持板のバネ作用を小さくすることができる。このように、支持板３２，３２に溝またはスリットを形成することにより、流出口２６ａから排気される空気圧に敏感に反応することができる。従って、空気圧が弱まった場合でも支持板３２，３２の反動が少なく、平面３５の傾斜面を長く維持することができる。
さらに、第７図以下の実施形態に示す溝またはスリットは、第６図までに示す第１〜第４実施形態と組み合わせて実施することが可能である。第１〜第４実施形態と組み合わせて実施する場合には、既に支持板３２，３２のうちの一方側の支持板はバネ作用が小さく、たわみやすくなっているから、溝またはスリットを対称に形成すればよい。
以下に、第１４図及び第１５図を参照しながら、第２図に示す第１実施形態の流量コントロール弁の動作を説明する。まず、ソレノイド４に所定値の電流を流すことによって電磁力を発生させ、第１４図において弁作動体８を上方に移動させる。弁作動体８が上方に移動すると、凸部８３が弁体３のコア３４に当接して支持板３２，３２のバネ作用に抗して弁体３を押し上げ、円筒状パッキン３３の平面３５を流出口２６に圧接して完全に閉塞する。
その後、ソレノイド４の供給電流を少しずつ減少させて血圧計の微速排気の過程に入る。電流の減少に応じて電磁力が弱まるので、支持板３２，３２のバネ作用によって弁作動体８は第１４図の下方に徐々に押し下げられることになる。弁作動体８が押し下げられることによって流出口２６は徐々に開放されるが、流出口２６は圧接部３１の中心からずれており、凸部８３は圧接部３１の中心に当接しているので、平面３５は排気によって僅かに傾く。この傾きによって微細な排気を制御することができる。
第１５図（ａ）は、圧接部３１が流出口２６を開放しようとする瞬間を示し、第１５図（ｂ）は、圧接部３１の平面３５が傾斜し図の右側から徐々に排気されてゆくことを示している。このように、ソレノイド４の電磁力を徐々に弱めることによって支持板のバネ作用により弁作動体８が押し下げられ、閉塞されていた空気は徐々に排気されることになる。カフ内の圧力を所定値まで下げた後に、ソレノイド４への電流の供給を止めれば、支持板３２，３２のバネ作用によって流出口は急速に開放され、カフ内の圧力を急速に大気圧まで下げることができる。
第２実施形態以下の流量コントロール弁も上記第１実施形態と同様に作動し、排気量が漸増するという排気特性を示す。その詳細な説明は省略する。また、第１〜第４実施形態と第５以下の実施形態とを組み合わせると、反動を抑えて圧接部の傾斜を長く維持することができる。
以上の説明から明らかなように、この発明に係る流量コントロール弁は、流出口と前記流出口を閉塞する圧接部の平面は平行に構成されているので、僅かな押圧力によって閉塞することができる。一方、流出口を開放するときは圧接部の平面を流出口からの排気によって傾斜させるように形成している。従って、流出口は、圧接部の移動に応じて徐々に開放されることになり、排気流量を微細且つ連続的に制御することができる。また、弁体の支持板がバネ作用を有するので、流出口からの排気によって圧接部の平面を傾斜させるとともに、弁作動体を移動させることができ、従来のような弁作動体を移動させるコイルバネを必要としない。従って、全体として部品点数を削減することができ、コストダウンを図ることができる。そして、この発明に係る流量コントロール弁を血圧計に適用した場合には、排気流量を微細に制御することができる。

Claims (12)

1. 圧力流体を外部に流出させる流出口と、前記流出口を任意に開閉する略円柱状圧接部を有する弁体と、前記弁体の圧接部を押し上げる弁作動体とからなり、前記弁体は、圧接部の下端部の両側に弾性材による支持板を１８０度隔てて設け、前記圧接部を支持板と一体に弾性材によって形成した略円筒状パッキンの底部開口からコアを嵌入することによって形成してなり、圧接部と弁作動体の中心を同一線上に設けるとともに、前記流出口を弁体の圧接部の中心からずらして形成することによって、弁体の圧接部の平面が流出口からの排気によって傾斜するように形成したことを特徴とする流量コントロール弁。
2. 支持板の幅寸法は、前記圧接部の外径寸法とほぼ同じ大きさとすることを特徴とする請求項１に記載の流量コントロール弁。
3. 圧力流体を外部に流出させる流出口と、前記流出口を任意に開閉する略円柱状圧接部を有する弁体と、前記弁体の圧接部を移動させる弁作動体とからなり、前記弁体は、圧接部の下端部の両側に弾性材による支持板を１８０度隔てて設け、前記圧接部を支持板と一体に弾性材によって形成した略円筒状パッキンの底部開口からコアを嵌入することによって形成してなり、流出口と弁作動体の中心を同一線上に設けるとともに、弁体の圧接部の中心を前記流出口と弁作動体の中心からずらして形成することによって、弁体の圧接部の平面が流出口からの排気によって傾斜するように形成したことを特徴とする流量コントロール弁。
4. 弁体の支持板の一方を他方より短く形成することによって圧接部の中心を流出口と弁作動体の中心から支持板の一方側にずらしたことを特徴とする請求項３に記載の流量コントロール弁。
5. 圧力流体を外部に流出させる流出口と、前記流出口を任意に開閉する略円柱状圧接部を有する弁体と、前記弁体の圧接部を移動させる弁作動体とからなり、前記弁体は、圧接部の下端部の両側に弾性材による支持板を１８０度隔てて設け、前記圧接部を支持板と一体に弾性材によって形成した略円筒状パッキンの底部開口からコアを嵌入することによって形成してなり、圧接部両側の支持板は、いずれか一方の支持板のバネ作用を他方の支持板のバネ作用よりも小さくすることにより、弁体の圧接部の平面が流出口からの排気によって傾斜するように形成したことを特徴とする流量コントロール弁。
6. 弁体の支持板の一方の肉厚を他方の支持板の肉厚よりも薄く形成することによって一方の支持板のバネ作用を他方の支持板のバネ作用よりも小さくし、弁体の圧接部の平面が流出口からの排気によって傾斜するように形成したことを特徴とする請求項５に記載の流量コントロール弁。
7. 弁体の圧接部に嵌入するコアの中心を前記圧接部の中心からずらすことによって一方の支持板のバネ作用を他方の支持板のバネ作用よりも小さくし、弁体の圧接部の平面が流出口からの排気によって傾斜するように形成したことを特徴とする請求項５に記載の流量コントロール弁。
8. 弁体の支持板に溝またはスリットを形成することによって支持板の一方のバネ作用を他方の支持板のバネ作用よりも小さくし、弁体の圧接部の平面が流出口からの排気によって傾斜するように形成したことを特徴とする請求項５に記載の流量コントロール弁。
9. 弁体の支持板に溝またはスリットを形成し、前記溝またはスリットは、圧接部の両側に対称又は非対称に形成することによって支持板の一方のバネ作用を他方の支持板のバネ作用よりも小さくし、弁体の圧接部の平面が流出口からの排気によって傾斜するように形成したことを特徴とする請求項５に記載の流量コントロール弁。
10. 弁体の支持板に形成する溝またはスリットは、円弧状であることを特徴とする請求項８又は請求項９に記載の流量コントロール弁。
11. 弁体の支持板に形成する溝またはスリットは、支持板の側面に対して直角方向に形成したことを特徴とする請求項８又は請求項９に記載の流量コントロール弁。
12. 弁体の支持板に形成する溝またはスリットは、支持板の側面に対して斜め方向に形成したことを特徴とする請求項８又は請求項９に記載の流量コントロール弁。

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