JP3588011B2 - スパッタリングターゲットおよびその製造方法 - Google Patents
スパッタリングターゲットおよびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3588011B2 JP3588011B2 JP18759299A JP18759299A JP3588011B2 JP 3588011 B2 JP3588011 B2 JP 3588011B2 JP 18759299 A JP18759299 A JP 18759299A JP 18759299 A JP18759299 A JP 18759299A JP 3588011 B2 JP3588011 B2 JP 3588011B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- target
- alloy
- group
- added
- sputtering target
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、LSIをはじめとする半導体装置のウエハ内配線部の形成に用いられるスパッタターゲットとその製造方法、特に該配線部を低抵抗に、かつ歩留まりを落とさずに、耐エレクトロマイグレーション特性を大幅に改善することができるスパッタリングターゲットおよびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
LSIの集積度が上がるのに伴い、AlまたはAl合金配線に代わって、低抵抗で耐エレクトロマイグレーション(EM)性に優れる純Cu配線が用いられるようになった。しかしながら近年、さらに集積度が上がるとさらに要求特性が厳しくなり、純Cuのもつ耐エレクトロマイグレーション性では不十分となった。
耐エレクトロマイグレーション性を向上させるには、Cuに添加元素を加えることが有効であり、本発明者はCuにAlまたはSiを添加する提案をした(特開平06−177117)。
この発明は耐エレクトロマイグレーション性を備えており、現在でもそれなりに有用である。しかし、配線の比抵抗が純Cu(1.73μΩ・cm)の1.5倍以上となるので、特に導電性を必要とする用途において純Cuの代替にするには比抵抗が高すぎるという欠点があった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
以上から、本発明は比抵抗が純Cuと比べて遜色なく、耐エレクトロマイグレーション性が高く、かつ半導体装置等のウエハ内配線部の形成に用いられるスパッタ膜の欠陥が少なく、生産効率を向上させることができるスパッタターゲットおよびその製造方法を提供する。
【0004】
【課題を解決するための手段】
1 Cuに、Ce、Dy、Er、La、Pr、Sc、Sr、Tb、Yの群から選択した1種類以上の元素を、総計で0.02〜10at%添加したことを特徴とする耐エレクトロマイグレーション特性に優れたCu合金配線形成用スパッタリングターゲット、
2 0.3mm欠陥からの反射強度が100%となるよう感度調整した超音波探傷機による反射強度20%以上で検出されるターゲット中の酸化物介在物の面積率が0.5%以下であることを特徴とする上記1記載のスパッタリングターゲット
3 Cuに、Ce、Dy、Er、La、Pr、Sc、Sr、Tb、Yの群から選択した1種類以上の元素の水素化物を添加し、これを溶解法または粉末冶金法によりターゲットとすることを特徴とする耐エレクトロマイグレーション特性に優れたCu合金配線形成用スパッタリングターゲットの製造方法、
4 ターゲットの組成が、Ce、Dy、Er、La、Pr、Sc、Sr、Tb、Yの群から選択した1種類以上の元素が総計で0.02〜10at%を含有し、残部不可避的不純物およびCuからなる銅合金または銅合金焼結体であることを特徴とする上記3記載のスパッタリングターゲットの製造方法、
5 0.3mm欠陥からの反射強度が100%となるよう感度調整した超音波探傷機による反射強度20%以上で検出されるターゲット中の酸化物介在物の面積率が0.5%以下であることを特徴とする上記3または4記載のスパッタリングターゲットの製造方法、
を提供するものである。
【0005】
【発明の実施の形態】
以下、本発明について詳しく説明する。
耐エレクトロマイグレーション性を向上させるには、原子の拡散速度の大きい部分である結晶粒界を及び配線表面における拡散速度を小さくすることが有効である。また、Cu配線における配線表面は、Cuの絶縁部への拡散を防ぐために設けられるTa、TaNなどのバリア層で覆われるため、表面拡散は効果的に抑制される。
一方、上記のように結晶粒界の拡散を抑えるためには、Cuに添加元素を加えて粒界に析出物を形成することが有効である。しかしながら、Cuに対してAl、Si等の元素を加えた場合、耐エレクトロマイグレーション性は向上するものの、比抵抗も上昇するため、導電性を要求される場合には実用には適さなかった。したがって、添加元素により粒界に析出物を形成して耐エレクトロマイグレーション性を向上させる場合であっても、これにより比抵抗の大きな上昇があってはならず、効果的に抑制されるものでなければならないとの知見に至った。
【0006】
研究の結果、本発明者等はCuへの固溶度が小さい金属間化合物を形成する元素(Ce、Dy、Er、La、Pr、Sc、Sr、Tb、Y)を添加することが極めて有効であることがわかった。
さらに研究を重ねた結果、これらの元素から選択された1種類以上の元素が総計で0.02−10at%銅合金に含有することが、耐エレクトロマイグレーション性を向上させ、かつ比抵抗の上昇を抑えることがわかった。
添加元素の総計が0.02at%未満の場合、十分な耐エレクトロマイグレーション性が得られず、また10at%を超える場合は高い比抵抗値となり実用に適さなので、これらの範囲とする。
【0007】
一般に、合金膜を形成する場合にはCVD法、MBE法あるいは合金ターゲットを用いたスパッタリング法が使用されているが、特に半導体プロセスにおいては、スパッタリング法がハンドリング、メンテナンスの容易さ、スループット性が良いことから、主にこの方法が用いられている。
ところがこのスパッタリング法において、Ce、Dy、Er、La、Pr、Sc、Sr、Tb、Yの群から選択した1種類以上の元素をCuに添加し、Cu合金ターゲット作成してスパッタリングしたところ、スパッタ膜にスプラッツと呼ばれる水滴の形状をした欠陥が数多く形成されるという新たな問題が発生した。
【0008】
これは膜の特性を著しく損なうことになる。このためスプラッツの原因調査を行った。この結果、これらの添加元素は非常に酸化しやすいため、単にこれらの添加元素をCuに添加した場合、粉末冶金法あるいは溶解法等の製法を問わず、得られたCu合金ターゲットは、これらの添加元素の酸化物粒を数多く含んだものになることが分かった。
そして、これらの酸化物が絶縁体であるために、スパッタ中に帯電し、さらに帯電量がある値を超えると放電を起こして酸化物の周りが局部的に加熱・溶融・飛散し、スパッタ膜にスプラッツが形成されることがわかった。
したがって、ターゲット中の酸化物を減らし、スパッタ膜の欠陥を減らすことが是非とも必要であった。
【0009】
そこで、Cu合金ターゲットの製造条件の検討を行い、これらの元素すなわち、Ce、Dy、Er、La、Pr、Sc、Sr、Tb、Yの群から選択した1種類以上の元素をCuに添加する際に、これらの元素の水素化物を添加し、溶解法または粉末冶金法によりターゲットを作成したところ、このCu合金ターゲットには添加元素の酸化物の粒は殆ど検出されなかった。
さらにこのターゲットを用いてスパッタリングしたところ、スパッタ膜のスプラッツも大幅に減少した。
そして、超音波探傷機でインゴット中およびとターゲット中の酸化物の量を評価でき、0.3mm欠陥からの反射強度が100%となるよう感度調整した超音波探傷機による反射強度20%以上で検出されるインゴットまたはターゲット中の酸化物介在物の面積率を0.5%以下とすることにより、スパッタリングターゲット中の酸化物を減らし、スパッタ膜のスプラッツその他の欠陥を減らすことが可能となった。
上記ターゲット中の酸化物介在物の面積率が0.5%を超えると、スパッタリングターゲット中の酸化物が増加し、スパッタ膜のスプラッツその他の欠陥が増えるのでこの範囲に制限することが望ましい。
【0010】
【実施例】
次に、本発明を実施例および比較例に基づいて説明する。なお、これらの実施例は好適な例を示し理解を容易にするためのものであって、これらの例によって本発明が制限されるものではない。すなわち、本発明の技術思想の範囲における他の態様およびその他の例ならびに変形は、当然本発明に含まれるものである。
【0011】
(実施例1)
グラファイトるつぼ中に、Cu−0.03at%Dyとなるように秤量したCuインゴットと水素化Dy粉末を入れて真空中で溶解、鋳造した。こうして出来たCu−Dy合金インゴットの組成を分析したところ、狙いどうりCu−0.03at%Dyとなっていた。
さらにこのインゴットを、0.3mm欠陥からの反射強度が100%となるよう感度調整した超音波探傷機による反射強度20%以上で検出されるターゲット中の酸化物介在物の面積率を測定したところ、0.1%未満であった。
さらに、このインゴットをターゲットに加工して、8インチのウエハにスパッタ成膜を行い、厚さ0.2μmのCu−Dy合金膜を得た。スパッタリング条件は次の通りである。
(スパッタリング条件)
ターゲット φ12.98″(φ8″ウエハ用)
投入電力 2kW
Ar圧力 1Pa
基板温度 室温
膜圧 0.2μm
基板 φ8″熱酸化シリコン基板
スパッタリング後のウエハ上の平均スプラッツ数は0.05個未満であった。また、この膜の比抵抗は1.77μΩ・cmであった。さらに、この膜を用いた配線の、エレクトロマイグレーションの試験を行ったところ、平均破断時間は同じ形状の純銅配線より50%ほど長く耐エレクトロマイグレーション性が向上していることが確認できた。これらの結果を表1に示す。
【0012】
【表1】
【0013】
(実施例2)
グラファイトるつぼ中に、Cu−15at%Dyとなるように秤量したCuインゴットと水素化Dy粉末を入れて真空中で溶解・鋳造した。Cu−Dy合金インゴットの組成は、Cu−15.2at%Dyとなっていた。
このインゴットを、実施例1と同様の超音波探傷試験を行い、ターゲット中の酸化物の面積率を測定したところ、面積率は0.2%であった。
実施例1と同様の条件でこのインゴットをターゲットに加工して、8インチのウエハにスパッタ成膜を行い、厚さ0.2μmのCu−Dy合金膜を得た。
この合金成膜上の平均のスプラッツ数は0.05個であった。そして、この膜の比抵抗は2.5μΩ・cmであった。
また、この膜を用いた配線のエレクトロマイグレーションの試験を行ったところ、平均破断時間は同じ形状の純銅配線の5倍ほど伸びて耐エレクトロマイグレーション性が向上していることが確認できた。これらの結果を、同様に表1に示す。
【0014】
(実施例3)
グラファイトるつぼ中に、Cu−0.5at%Erとなるように秤量したCuインゴットと水素化Er粉末を入れて真空中で溶解・鋳造した。Cu−Er合金インゴットの組成は、Cu−0.52at%Erとなっていた。
このインゴットを、実施例1と同様の超音波探傷試験を行い、ターゲット中の酸化物の面積率を測定したところ、面積率は0.2%であった。
また、実施例1と同様の条件で、このインゴットをターゲットに加工して、8インチのウエハにスパッタ成膜を行い、厚さ0.2μmのCu−Er合金膜を得た。スパッタリング後のウエハ上の平均スプラッツ数は0.05個未満であった。そして、この膜の比抵抗は1.82μΩ・cmであった。
さらに、この膜を用いた配線のエレクトロマイグレーションの試験を行ったところ、平均破断時間は同じ形状の純銅配線より60%ほど伸びて耐エレクトロマイグレーション性が大きく向上していることが確認できた。これらの結果を、表1に示す。
なお、本実施例においては、添加元素としてDyおよびErのみを示したが、本発明に含まれる他の合金元素についても同様な性質と効果が得られた。
【0015】
(比較例1)
グラファイトるつぼ中に、Cu−0.01at%Dyとなるように秤量したCuインゴットと水素化Dy粉末を入れて真空中で溶解・鋳造した。Cu−Dyインゴットの組成は、Cu−0.01at%Dyとなっていた。
このインゴットを、実施例1と同様の超音波探傷試験を行い、ターゲット中の酸化物の面積率を測定したところ、面積率は0.1%未満であった。
さらに、このインゴットをターゲットに加工して、8インチのウエハにスパッタ成膜を行い、厚さ0.2μmのCu−Dy合金膜を得た。スパッタリング後のウエハ上の平均スプラッツ数は0.05であった。そして、この膜の比抵抗は1.75μΩ・cmであった。
また、この膜を用いた配線のエレクトロマイグレーションの試験を行ったところ、平均破断時間は同じ形状の純銅配線と比べての優位性は確認できなかった。
このように、本発明の組成に満たないCu−0.01at%Dy合金ターゲットはウエハ上の平均スプラッツ数および膜の比抵抗は良好であるが、耐エレクトロマイグレーション性は劣ることが分かった。これらの結果を、実施例と対比して表1に示す。
【0016】
(比較例2)
グラファイトるつぼ中に、Cu−23at%Dyとなるように秤量したCuインゴットと水素化Dy粉末を入れて真空中で溶解・鋳造した。Cu−Dy合金インゴットの組成は、Cu−24.5at%Dyとなっていた。このインゴットを、実施例1と同様の超音波探傷試験を行い、ターゲット中の酸化物の面積率を測定したところ、面積率は0.5%未満であった。
さらに、このインゴットをターゲットに加工して、8インチのウエハにスパッタ成膜を行い、厚さ0.2μmのCu−Dy合金膜を得た。スパッタリング後のウエハ上の平均スプラッツ数は0.05個であった。
平均破断時間は同じ形状の純銅配線の10倍ほど伸びて耐エレクトロマイグレーション性が向上していることが確認されたものの、この膜の比抵抗は3.5μΩ・cmと高かく、実用に適するものではなかった。これらの結果を、実施例と対比して表1に示す。
【0017】
(比較例3)
グラファイトるつぼ中に、Cu−5at%Dyとなるように秤量したCuインゴットと金属Dyの小塊を入れて真空中で溶解・鋳造した。Cu−Dy合金インゴットの組成は、Cu−4.5at%Dyとなっていた。
このインゴットを、実施例1と同様の超音波探傷試験を行い、ターゲット中の酸化物の面積率を測定したところ、面積率は0.6%であった。さらに、このインゴットをターゲットに加工して、8インチのウエハにスパッタ成膜を行い、厚さ0.2μmのCu−Dy合金膜を得た。
この結果、平均破断時間は同じ形状の純銅配線の6倍ほど伸びて耐エレクトロマイグレーション性が向上していることが確認され、さらにこの膜の比抵抗は1.92μΩ・cmであったが、ウエハ上の平均のスプラッツ数は12個と非常に多く、実用に供することことはできなかった。これらの結果を、実施例と対比して表1に示す。
【0018】
【発明の効果】
Cuに、Ce、Dy、Er、La、Pr、Sc、Sr、Tb、Yの群から選択した1種類以上の元素を、総計で0.02〜10at%添加することにより、耐エレクトロマイグレーション特性に優れたCu合金配線形成用スパッタリングターゲットを提供するものであり、LSIをはじめとする半導体装置のウエハ内の配線部に、本発明による配線を使用することにより、合金化に伴う配線部の抵抗上昇を最小限に抑え、かつ歩留まりを落とさずに、耐エレクトロマイグレーション特性を大幅に改善することができ、さらに上記Ce、Dy、Er、La、Pr、Sc、Sr、Tb、Yの群から選択した1種類以上の元素を添加する際に、該元素の水素化物を添加することによって、銅合金ターゲット中に生ずる酸化物粒の発生を防止し、これによって酸化物が絶縁体であるために生ずるスパッタ中の帯電、この帯電量がある値を超えることによって生ずる放電、さらにはこの酸化物の局部的な加熱・溶融・飛散に起因するスパッタ膜へのスプラッツの形成を抑制できる優れた効果を有する。
Claims (4)
- Cuに、Ce、Dy、Er、La、Pr、Sc、Sr、Tb、Yの群から選択した1種類以上の元素を、総計で0.02〜10at%添加(但し、Scを単独添加する場合には、0.035at%以下(250wtppm以下)を除く)したことを特徴とする耐エレクトロマイグレーション特性に優れたCu合金配線形成用スパッタリングターゲット。
- 0.3mm欠陥からの反射強度が100%となるよう感度調整した超音波探傷機による反射強度20%以上で検出されるターゲット中の酸化物介在物の面積率が0.5%以下であることを特徴とする請求項1記載のスパッタリングターゲット。
- Cuに、Ce、Dy、Er、La、Pr、Sc、Sr、Tb、Yの群から選択した1種類以上の元素の水素化物を添加し、これを溶解法または粉末冶金法によりターゲットとし、ターゲットの組成が、Ce、Dy、Er、La、Pr、Sc、Sr、Tb、Yの群から選択した1種類以上の元素が総計で0.02〜10at%を含有し、残部不可避的不純物およびCuからなる銅合金または銅合金焼結体であることを特徴とする耐エレクトロマイグレーション特性に優れたCu合金配線形成用スパッタリングターゲットの製造方法。
- Cuに、Ce、Dy、Er、La、Pr、Sc、Sr、Tb、Yの群から選択した1種類以上の元素の水素化物を添加し、これを真空下で溶解法または粉末冶金法によりターゲットとし、ターゲットの組成が、Ce、Dy、Er、La、Pr、Sc、Sr、Tb、Yの群から選択した1種類以上の元素が総計で0.02〜10at%を含有し、残部不可避的不純物およびCuからなる銅合金または銅合金焼結体であり、かつ0.3mm欠陥からの反射強度が100%となるよう感度調整した超音波探傷機による反射強度20%以上で検出されるターゲット中の酸化物介在物の面積率が0.5%以下であることを特徴とする耐エレクトロマイグレーション特性に優れたCu合金配線形成用スパッタリングターゲットの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18759299A JP3588011B2 (ja) | 1999-07-01 | 1999-07-01 | スパッタリングターゲットおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18759299A JP3588011B2 (ja) | 1999-07-01 | 1999-07-01 | スパッタリングターゲットおよびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001011610A JP2001011610A (ja) | 2001-01-16 |
JP3588011B2 true JP3588011B2 (ja) | 2004-11-10 |
Family
ID=16208815
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18759299A Expired - Lifetime JP3588011B2 (ja) | 1999-07-01 | 1999-07-01 | スパッタリングターゲットおよびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3588011B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002294437A (ja) * | 2001-04-02 | 2002-10-09 | Mitsubishi Materials Corp | 銅合金スパッタリングターゲット |
AT7491U1 (de) * | 2004-07-15 | 2005-04-25 | Plansee Ag | Werkstoff für leitbahnen aus kupferlegierung |
JP2007226058A (ja) * | 2006-02-24 | 2007-09-06 | Tosoh Corp | 液晶ディスプレイパネル及びその製造方法並びにCu合金スパッタリングターゲット |
JP4740004B2 (ja) * | 2006-03-20 | 2011-08-03 | 株式会社神戸製鋼所 | 半導体装置におけるCu合金配線の製造方法 |
-
1999
- 1999-07-01 JP JP18759299A patent/JP3588011B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001011610A (ja) | 2001-01-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5420685B2 (ja) | Cu−Mn合金スパッタリングターゲット及び半導体配線 | |
JP4118814B2 (ja) | 銅合金スパッタリングターゲット及び同ターゲットを製造する方法 | |
JP4223511B2 (ja) | 銅合金スパッタリングターゲット及びその製造方法並びに半導体素子配線 | |
JP4794802B2 (ja) | 銅合金スパッタリングターゲット及び半導体素子配線 | |
US20100000860A1 (en) | Copper Sputtering Target With Fine Grain Size And High Electromigration Resistance And Methods Of Making the Same | |
Shang et al. | Bi-induced voids at the Cu3Sn/Cu interface in eutectic SnBi/Cu solder joints | |
JP4790782B2 (ja) | 銅合金スパッタリングターゲット及び半導体素子配線 | |
JP5638697B2 (ja) | 高純度銅クロム合金スパッタリングターゲット | |
JP2000034562A (ja) | スパッタリングターゲット及び薄膜形成装置部品 | |
JP3588011B2 (ja) | スパッタリングターゲットおよびその製造方法 | |
JP2006077295A (ja) | Cu合金配線材料及びCu合金スパッタリングターゲット | |
JP5837202B2 (ja) | 高純度銅コバルト合金スパッタリングターゲット | |
KR20190031099A (ko) | 고열전도 마그네슘 합금 및 이를 이용한 방열 히트 싱크 | |
JPS62240734A (ja) | 半導体配線材料用c含有アルミニウム合金 | |
JP2004193546A (ja) | 半導体装置配線シード層形成用銅合金スパッタリングターゲット | |
Joshi et al. | Aluminum–samarium alloy for interconnections in integrated circuits | |
Dirks et al. | Reliability and microstructure of Al‐Si‐V‐Pd alloy films for use in ultralarge scale integration | |
US5565380A (en) | Semiconductor device and process for production thereof | |
JPS62240735A (ja) | 半導体配線材料用n含有アルミニウム合金 | |
JPS62240737A (ja) | 半導体配線材料用b、n含有アルミニウム合金 | |
JPH0593230A (ja) | リードフレーム材 | |
JP2000063971A (ja) | スパッタリングターゲット | |
JPS62228446A (ja) | 半導体配線材料用アルミニウム合金 | |
JPS63247320A (ja) | 電気・電子部品用銅合金の製造方法 | |
JPH02232927A (ja) | 電子部品 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040511 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040601 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040714 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040810 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040811 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3588011 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080820 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080820 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090820 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090820 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100820 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100820 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110820 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110820 Year of fee payment: 7 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110820 Year of fee payment: 7 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110820 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120820 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120820 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130820 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130820 Year of fee payment: 9 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |