JP3578353B2 - 弁に用いられる噴射孔付き板および該噴射孔付き板の製造法 - Google Patents

Description

【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、弁、特に内燃機関の燃料噴射装置のための噴射弁に用いられる噴射孔付き板であって、弁長手方向軸線と、中央の範囲に形成された少なくとも１つの噴射開口とが設けられていて、該噴射開口が開口軸線を有している形式のものに関する。
【０００２】
さらに本発明は、このような形式の噴射孔付き板を製造する方法に関する。
【０００３】
【従来の技術】
ドイツ連邦共和国特許出願第Ｐ４２２１１８５．９号明細書には、打抜き加工または浸食加工によって噴射孔付き板に噴射開口を形成することが既に提案されている。この公知の噴射開口は、噴射孔付き板の部分的な深絞り加工による付加的な方法ステップの後に、円筒形状とは異なる形状を有している。この公知の噴射孔付き板では、まず平らな薄板区分に打抜き加工または浸食加工によって鉛直方向で円筒状に噴射開口が加工成形される。次の方法ステップにおいて、前記噴射開口の位置している噴射孔付き板の中央の範囲が深絞り加工によって塑性変形させられる。これによって、噴射孔付き板の中央の範囲は湾曲した形状を取る。深絞り加工に基づき、噴射開口は下流側で、上流側よりも大きく延伸されるので、噴射開口の円錐台形の拡張が生じる。
【０００４】
噴射孔付き板の中央の範囲が湾曲しているので、少なくとも１つの前記噴射開口は弁長手方向軸線に対して傾けられて延びており、円錐台形の拡張は噴射開口の全長にわたって必ずしも完全に対称的ではない。すなわち、この噴射開口は円筒状の形状に加工成形されて、付加的な方法によってはじめて下流側で拡開されるわけである。
【０００５】
さらに、ドイツ連邦共和国特許出願公開第３８０１７７８号明細書に基づき、大きな天然硬度の材料、たとえば単結晶シリコンから成る絞りを燃料噴射弁のために使用することが既に公知である。この絞りの燃料流出開口はエッチングによって形成されている。燃料流出開口の、円筒形状とは異なる輪郭を形成するためには、エッチング後にさらにエネルギ富含の放射線、たとえばレーザビームを用いた手間とコストのかかる方法が使用される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題は、冒頭で述べた形式の噴射孔付き板を改良して、上記欠点が回避され、有効な噴射開口を付加的な手間のかかる手段なしに簡単な手段を用いて、極めて精密に構成することのできるような噴射孔付き板を提供することである。
【０００７】
さらに本発明の課題は、このような噴射孔付き板を製造するための、極めて簡単でかつコストのかからない有利な方法を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するために本発明の構成では、少なくとも１つの前記噴射開口が、弁長手方向軸線に対して平行に延びており、前記噴射開口の横断面が、流れ方向で円錐台形に拡張していて、弁長手方向軸線に対して平行に延びる開口軸線を中心にして対称的に形成されているようにした。
【０００９】
さらに上記課題を解決するために本発明の方法では、浸食加工過程の第１の方法ステップで工具電極を用いて噴射孔付き板の一方の端面に対して直角に噴射孔付き板から粒子を除去し、剥離された粒子を浸食加工過程に対して逆の方向で第１の誘電体を用いて洗出して、円錐状の噴射開口を形成し、第２の方法ステップで噴射孔付き板の前記工具電極とは反対の側の他方の端面で第２の誘電体を準備し、第３の方法ステップで、噴射孔付き板の前記工具電極とは反対の側の他方の端面が前記工具電極によって貫通された後に、浸食過程に対して逆の方向で圧力で前記第２の誘電体を円錐状の噴射開口に案内して、該噴射開口を前記一方の端面に向かって通流させるようにした。
【００１０】
【発明の効果】
本発明による噴射孔付き板は従来のものに比べて次のような利点を持っている。すなわち、弁長手方向軸線に対して平行に延びる、正の円錐度を有する少なくとも１つの噴射開口、つまり下流側に向かって円錐台形に拡張した周壁を有する噴射開口に基づき、この噴射開口を通って流れる媒体は、孔付き絞りとして作用する流入部を除いて、噴射開口の周壁から剥離されてこの噴射開口を通流するようになる。噴射開口の周壁は開口軸線を中心にして完全に対称的に延びている。噴射開口のこのような構成では、付加的な後加工法が不要となるので特に有利である。したがって、浸食加工によって最初から提供された噴射開口の形状を維持することができる。
【００１１】
弁長手方向軸線に対して平行に加工成形された、正の円錐度を有する噴射開口は、次のような利点を持っている。すなわち、内周壁における噴流ジャンプが阻止されるので、噴射開口を大量生産する場合でも噴射開口を通る媒体の通流量のばらつきを最小限に保持することができる。
【００１２】
噴射孔付き板に噴射開口を製造する本発明による方法は、次のような利点を持っている。噴射孔付き板に円錐台形に拡張した噴射開口を特に簡単にかつ時間節約的に、廉価に製造することが可能となる。少なくとも１つの前記噴射開口は極めて精密に、しかも弁長手方向軸線に対して平行に加工成形され、しかもこの場合、その後に噴射開口をさらに処理する必要はない。あとからの媒体流れ方向、たとえば燃料流れ方向とは逆の方向で噴射孔付き板に進入する工具電極を用いて、噴射孔付き板の材料が溶融除去される。この材料は工具電極の運動方向とは逆の方向で、作業ギャップを通じて誘電体によって洗出される。この場合に、既に工具電極から噴射開口の周壁までの火花間隔が、剥離されて誘電体によって連行洗出された粒子によって短縮されることに基づき、噴射孔付き板に対する工具電極の入口側において最大直径を有するような噴射開口の円錐状の形状が生じる。工具電極によって噴射孔付き板が貫通された後に、浸食加工時に生じた、通流量のばらつきを最小にする目的で望まれている円錐度を維持するためには、噴射孔付き板の前記工具電極の入口側とは反対の側から対向洗浄の目的で第２の誘電体を装入することが特に有利である。圧力下に装入される第２の誘電体により、剥離された粒子は工具電極の入口側の方向でしか噴射孔付き板から流出しなくなり、浸食加工過程に対して逆の方向での洗浄を増幅させる。したがって、最初に得られた噴射開口の円錐度が維持されるわけである。
【００１３】
【実施例】
以下に、本発明の実施例を図面につき詳しく説明する。
【００１４】
図１には、１実施例として、混合気圧縮形の火花点火式内燃機関の燃料噴射装置に用いられる噴射弁の形の弁が部分的に図示されている。この燃料噴射弁は管状の弁座支持体１を有している。この弁座支持体１には、弁長手方向軸線２に対して同心的に長手方向孔３が形成されている。この長手方向孔３には、たとえば管状の弁ニードル５が配置されている。この弁ニードル５はその下流側の端部６で、たとえば球形の弁閉鎖体７に結合されている。この弁閉鎖体７の周面には、たとえば５つの平らな面取り部８が設けられている。
【００１５】
噴射弁の操作は公知の形式で、たとえば電磁式に行なわれる。弁ニードル５を軸方向で運動させ、ひいては戻しばね（図示しない）のばね力に抗して噴射弁を開くか、もしくは閉じるためには、電磁コイル１０と可動子１１とコア１２とを有する電磁回路が働く。可動子１１は弁ニードル５の前記弁閉鎖体７とは反対の側の端部に、たとえばレーザを用いて溶接継ぎ目を介して結合されて、コア１２に合わせて位置調整されている。電磁コイル１０はコア１２を取り囲んでいる。このコア１２は、弁を用いて調量したい媒体、この場合では燃料の供給のために働く流入管片（図示しない）の、前記電磁コイル１０によって取り囲まれた端部を成している。
【００１６】
軸方向運動時に弁閉鎖体７を案内するためには、弁座体１６に設けられた案内開口１５が働く。下流側に位置して、コア１２とは反対の側の前記弁座支持体１の端部では、弁長手方向軸線２に対して同心的に延びる長手方向孔３に、円筒状の弁座体１６が溶接により密に組み付けられている。弁座体１６の周面は、弁座支持体１の長手方向孔３よりも少しだけ小さな直径を有している。弁座体１６はその前記弁閉鎖体７とは反対の側の下端面１７で、たとえばポット形に形成された噴射孔付き板２１の底部分２０に同心的にかつ固く結合されているので、底部分２０の上端面１９は弁座体１６の下端面１７に接触している。
【００１７】
弁座体１６と噴射孔付き板２１との結合は、たとえばレーザを用いて形成された第１の環状の密な溶接継ぎ目２２により行なわれる。このような組付けに基づき、底部分２０の中央の範囲２４、つまり浸食加工によって加工成形された、正の円錐度を有する、つまり下流側に向かって円錐台形に延びて拡張している少なくとも１つ、たとえば４つの噴射開口２５の位置している範囲２４の望ましくない変形危険は回避されている。
【００１８】
ポット形の噴射孔付き板２１の底部分２０には、環状の保持縁部２６が続いて設けられている。この保持縁部２６は軸方向において、弁座体１６とは反対の側に延びていて、その端部にまで円錐状に外方に向かって曲げられている。保持縁部２６の端部２７は、弁座支持体１の長手方向孔３の直径よりも大きな直径を有している。弁座体１６の周面直径が、弁座支持体１の長手方向孔３の直径よりも小さく形成されているので、長手方向孔３と、噴射孔付き板２１の僅かに円錐状に外方に向かって曲げられた保持縁部２６との間には、半径方向のプレス嵌めが生ぜしめられる。この場合に、保持縁部２６は長手方向孔３の周壁に半径方向のばね作用を加える。これによって、弁座体１６と噴射孔付き板２１とから成る弁座部分を弁座支持体１の長手方向孔３に差し込む際に、弁座部分および長手方向孔３におけるチップ形成が回避される。
【００１９】
弁座体１６とポット形の噴射孔付き板２１とから成る弁座部分の、長手方向孔３への差込み深さは、弁ニードル５の前調節を規定する。なぜならば、電磁コイル１０が励磁されていない状態で弁ニードル５の一方の終端位置が、弁座体１６の弁座面２９における弁閉鎖体７の当接によって規定されているからである。
【００２０】
弁ニードル５の他方の終端位置は、電磁コイル１０が励磁された状態で、たとえばコア１２に対する可動子１１の当接によって規定される。したがって、弁ニードル５の前記両終端位置の間の距離が行程を成す。
【００２１】
噴射孔付き板２１の保持縁部２６はその端部２７で、たとえば環状の密な第２の溶接継ぎ目３０によって長手方向孔３の周壁に結合されている。第２の溶接継ぎ目３０は第１の溶接継ぎ目２２と同様に、たとえばレーザによって形成されている。弁座体１６と噴射孔付き板２１との密な溶接および噴射孔付き板２１と弁座支持体１との密な溶接は、使用される媒体が、弁座支持体１の長手方向孔３と弁座体１６の周面との間を通って噴射開口２５に流入し得ないようにするか、または前記媒体が弁座支持体１の長手方向孔３とポット状の噴射孔付き板２１の保持縁部２６との間を通って直接に内燃機関の吸込導管に流入し得ないようにするために必要となる。
【００２２】
球状の弁閉鎖体７は、弁座体１６に設けられた、流れ方向で円錐台形に先細りになった弁座面２９と協働する。この弁座面２９は軸方向において、案内開口１５と弁座体１６の下端面１７との間に形成されている。弁座体１６は電磁コイル１０に面した側で、弁座体開口３４を有している。この弁座体開口３４は、弁座体１６に設けられた案内開口１５の直径よりも大きな直径を有している。噴射孔付き板２１の方向で弁座体開口３４に続いて設けられた区分３３は、案内開口１５の直径になるまで円錐台形に先細りになるように形成されている。弁座体開口３４と、この弁座体開口３４に続いた円錐台形の区分３３とは、流入部として働く。これによって、媒体は、半径方向で弁座支持体１の長手方向孔３によって制限された弁内室３５から弁座体１６の案内開口１５にまで流入することができる。
【００２３】
媒体の流れが噴射孔付き板２１の噴射開口２５に到達するようにするためには、球状の弁閉鎖体７の周面に、たとえば５つの平らな面取り部８が加工成形されている。５つの円形の平らな面取り部８により、噴射弁の開放された状態において媒体は弁内室３５から、円錐台形に拡張した噴射孔付き板２１の噴射開口２５にまで通流することが可能となる。弁閉鎖体７を正確に案内し、ひいては軸方向運動時の弁ニードル５を正確に案内するために、案内開口１５の直径は、球状の弁閉鎖体７がその平らな面取り部８の外側で半径方向の小さな間隔を持って案内開口１５を貫通するように形成されている。
【００２４】
弁座支持体１の周面では、その電磁コイル１０とは反対の側の下流側の端部に保護キャップ４０が配置されて、たとえば係止結合によって弁座支持体１に結合されている。シールリング４１は、噴射弁の周面と弁収容部、たとえば内燃機関の吸込導管との間をシールするために働く。
【００２５】
図２には、噴射孔付き板２１が図示されている。この噴射孔付き板２１は中央の範囲２４に配置された噴射開口２５を備えており、この噴射開口２５は下流側に向かって円錐台形に拡張している。すなわち、この噴射開口２５は流れ方向で見て正の円錐度を有しているわけである。たとえば４つの噴射開口２５は、たとえば弁長手方向軸線２を中心にして対称的に、正方形の角隅点の形で分配されて設けられていて、これによってそれぞれ互いにかつ弁長手方向軸線２に対して等間隔を有している。
【００２６】
図３には、噴射孔付き板２１の底部分２０に設けられた、正の円錐度を有する噴射開口２５の拡大図が示されている。矢印付きの破線は噴射開口２５内での媒体、たとえば燃料の流れを表わしている。噴射開口２５を燃料が通流すると、流速および噴射開口２５の拡張した円錐台形の周壁４４に基づき、流れ剥離の環状の範囲４５が生ぜしめられる。この範囲４５では、媒体流と噴射開口２５の周壁４４との接触はほとんど行なわれない。このような、ほとんど媒体を有しない９環状の範囲４５の外径Ｄは、下流側で噴射開口２５の直径と同様に拡大していく。環状の範囲４５の内径ｄはほとんど一定のままとなる。なぜならば、この内径は鉛直方向で下流側に流れる媒体の縁部によって形成されるからである。流れ剥離の環状の範囲４５は噴射開口２５の流入部４７のすぐ下流側で出発していると理想的である。
【００２７】
すなわち、噴射開口２５は、流入部４７に噴流くびれを生ぜしめる孔絞り効果が得られるように形成されている。流入部４７のすぐ下流側で噴射開口２５は拡張しているので、流動媒体は、孔絞りとして働く流入部４７の背後で噴射開口２５の周壁４４から剥離する。噴射開口２５への流入後に噴射開口２５の周壁４４に流れが再び衝突することは、正の円錐度に基づき阻止されるので有利である。これによって、たとえば静的な通流量Ｑ_ｓｔａｔの変動が回避される。流出部４８における噴射開口２５の最大直径は、たとえば噴射開口２５の長さが約２００マイクロメータの場合に、流入部４７における噴射開口２５の直径よりも５〜２０マイクロメータだけ大きく形成されている。噴射孔付き板２１に設けられた正の円錐度を有する噴射開口２５の本発明による構成に基づき、噴流ジャンプが行なわれないことが保証される。すなわち、流れは周壁４４に接触した状態と、周壁４４から剥離した状態との間を交番し得なくなる。これによって、単位時間当たりの通流量は一定となる。すなわち、正の円錐度を有する噴射開口２５は噴射開口２５の周壁４４における噴流ジャンプを阻止し、ひいては静的な通流量Ｑ_ｓｔａｔの量変化をも阻止する。これによって、特に噴射開口２５を通る媒体の通流量のばらつきは、噴射孔付き板２１を大量生産する場合でも極めて小さく保持することができる。
【００２８】
図３に示した実施例とは異なり、図４には噴射孔付き板２１Ａに設けられた負の円錐度を有する噴射開口２５Ａが示されており、図５には噴射孔付き板２１Ｂに設けられた円錐度なしの円筒状の噴射開口２５Ｂが示されている。
【００２９】
同じく矢印付きの破線で示されている、噴射開口２５Ａを通流する媒体流は、円錐台形に延びて下流側に向かって先細りとなった前記噴射開口２５Ａの周壁４４Ａに接触している。しかし、この媒体流は噴射孔付き板２１Ａの最小傾斜個所において既に剥離し得る。負の円錐度を有する噴射開口２５Ａに基づき、流れ時間差による通流量のかなりの変動が生じ、さらに流れが周壁４４Ａに接触した状態と周壁４４Ａから剥離した状態との間での交番が生じてしまう。同じく図５に示した円筒状の噴射開口２５Ｂの場合でも、流れが周壁４４Ｂに接触した状態と周壁４４Ｂから剥離した状態との間での交番の問題が生じてしまう。図５には、周壁に接触した流れもしくは周壁から剥離した流れが示されている。さらに、噴射開口２５Ｂをナノメータ域での偏差で正確に円筒状に浸食加工することは、極めて高いコストがかかってしまうので、いかなる円筒状の噴射開口２５Ｂも実際には最小の正の円錐度および／または最小の負の円錐度を有している。これにより、噴射孔付き板２１Ｂを大量生産する場合には、噴射開口２５Ｂを通る媒体の通流量のばらつきが生じてしまう。
【００３０】
図６には、静的な通流量Ｑ_ｓｔａｔのばらつきと、流入面積Ａ_Ｅに対する流出面積Ａ_Ａの変化として表わされている噴射開口２５，２５Ａ，２５Ｂの円錐度との関係を示す線図が図示されている。この場合、円筒状の噴射開口２５Ｂもしくは負の円錐度を有する噴射開口２５Ａに比べて、正の円錐度を有する噴射開口２５の場合には通流量の極めて小さなばらつきしか生じないことが明かとなる。
【００３１】
正の円錐度を有する噴射開口２５の形成は、図７に示した浸食加工法によって、誘電体５０、たとえば水を使用して行なわれる。浸食加工とは、工具電極５１とワーク、この場合には噴射孔付き板２１との間において、定常ではない、時間的に分離された短時間の放電を行ない、これによりワーク材料を除去するという方法である。工具電極５１と噴射孔付き板２１との間には、液状の誘電体５０が設けられている。これによって、所定の寸法および形状に応じて形成された工具電極５１の輪郭を噴射孔付き板２１の噴射開口２５に付与することが可能となる。噴射孔付き板２１の規定された支持を保証し、噴射孔付き板２１における工具電極５１の進入を噴射孔付き板２１の底部分２０の下端面５２に対して正確に垂直に実施するためには、噴射孔付き板２１が軸受け５３によって、たとえばワークテーブル５４に精密支承されている。
【００３２】
すなわち、噴射開口２５を形成するための噴射孔付き板２１の加工は、下流側の下端面５２の側から行なわれる。つまり、浸食加工過程はあとからの燃料流れ方向に対して逆の方向で行なわれるわけである。浸食加工過程の間に工具電極５１に面している前記噴射孔付き板２１の下端面５２には、噴射開口２５の流出面積Ａ_Ａが形成され、噴射孔付き板２１の上端面１９には、噴射開口２５の流入面積Ａ_Ｅが形成される。工具電極５１が噴射孔付き板２１を下端面５２から上端面１９にまで貫通する間、電極側では無圧状態で誘電体５０によって洗浄が行なわれる。除去された粒子の洗出と共に、誘電体５０は工具電極５１を冷却し、かつ絶縁のために働く。噴射孔付き板２１の上端面１９に到達するまで、誘電体５０を用いた洗浄は噴射孔付き板２１の下端面５２の側から行なわれる。工具電極５１が噴射孔付き板２１の材料を貫通していない限りは、溶解した粒子が下端面５２に搬送されて、この場所で洗出されなければならない。
【００３３】
噴射孔付き板２１の下端面５２における浸食加工と、噴射孔付き板２１の上端面１９における浸食加工との間の時間差および工具電極５１と、形成される噴射開口２５の周壁４４との間に形成された作業ギャップ５６からの溶解した粒子の移動区間に基づき、長さｌにわたって周壁４４から不均一に材料が溶融除去される。すなわち、下端面５２までの粒子の移動軌道に沿って、粒子は工具電極５１から周壁４４への火花間隔を短くするので、工具電極５１の入口側では、工具電極５１の前面５８の瞬間的な位置におけるよりも多くの材料が除去される。したがって、噴射孔付き板２１における浸食加工過程により、上端面１９に到達するまで周壁４４の円錐状の輪郭が生ぜしめられる。
【００３４】
噴射孔付き板２１の上端面１９に工具電極５１が貫通した直後に、溶解した粒子はワークテーブル５４の方向に流出することができるので、得られた周壁４４の円錐度が極めて迅速に相殺され、形成された噴射開口２５が円筒状の形状を成してしまうおそれがある。通流量のばらつきを最小にする目的で望まれる、浸食加工時に生じた円錐度を維持するためには、たとえば対向洗浄のための誘電体５０Ａ、たとえば同じく水が、ワークテーブル５４に設けられた通路によって準備される。誘電体５０Ａを用いた対向洗浄は、ワークテーブル５４から噴射孔付き板２１の噴射開口２５への方向で行なわれる。特に重要となるのは、既に噴射孔付き板２１における浸食過程時に誘電体５０Ａの対向洗浄が行なわれることである。これによって、噴射孔付き板２１の材料に対する工具電極５１の貫通時点で既に上端面１９において対向洗浄が有効となる。
【００３５】
噴射孔付き板２１の上端面１９からの誘電体５０の流出を回避するためには、誘電体５０Ａが、大気圧よりも大きく形成された圧力ｐで、工具電極５１の作業方向に対して逆の方向に流れる。誘電体５０Ａを用いる対向洗浄に基づき、除去された粒子全体が下端面５２を介して流出し、ひいては円錐度の相殺が阻止されることが保証される。工具電極５１は既に誘電体５０Ａを用いた対向洗浄過程時に噴射孔付き板２１から、ワークテーブル２４から離れる方向で下端面５２に向かって引き出される。
【００３６】
円錐度の大きさ、つまり弁長手方向軸線２に対して平行に延びる前記噴射開口２５の開口軸線６０に対する周壁４４の角度は、浸食加工法の種々のパラメータ、たとえば工具電極５０の種類、形状および摩耗、噴射孔付き板２１の材料、誘電体５０，５０Ａの種類および浸食電圧と放電値との大きさに関連している。さらに、円錐度に関して重要となるのは、噴射開口２５に対してどのような長さ／直径比が選択されているのかである。たとえば円筒状の噴射開口２５を形成する場合と比べても、浸食加工パラメータを不変のまま使用することができ、しかも加工時間も同じとなる。なぜならば、誘電体５０Ａを用いる対向洗浄は工具電極５１の使用準備に対して影響を与えないからである。すなわち、噴射孔付き板２１に設けられた、円錐状に延びる噴射開口２５は、燃料のあとからの流れ方向とは逆の方向で下端面５２の側から行なわれる浸食加工と同時に、噴射孔付き板２１の上端面１９の側から行なわれる誘電体５０Ａを用いた対向洗浄によって簡単かつ極めて良好に形成可能になるわけである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による噴射孔付き板を備えた燃料噴射弁の断面図である。
【図２】図１に示した噴射孔付き板の拡大図である。
【図３】本発明による噴射孔付き孔の正の円錐度を有する噴射開口の断面図である。
【図４】負の円錐度を有する噴射開口の断面図である。
【図５】円筒状の形状を有する噴射開口の断面図である。
【図６】図３、図４および図５に示した噴射開口を通る静的な通流量のばらつきと、円錐度との関係を示す線図である。
【図７】本発明による噴射孔付き板の製造過程を示す断面図である。
【符号の説明】
１ 弁座支持体、 ２ 弁長手方向軸線、 ３ 長手方向孔、 ５ 弁ニードル、 ６ 端部、 ７ 弁閉鎖体、 ８ 面取り部、 １０ 電磁コイル、 １１ 可動子、 １２ コア、 １５ 案内開口、 １６ 弁座体、 １７ 下端面、 １９ 上端面、 ２０ 底部分、 ２１，２１Ａ，２１Ｂ 噴射孔付き板、 ２２ 溶接継ぎ目、 ２４ 範囲、 ２５，２５Ａ，２５Ｂ 噴射開口、 ２６ 保持縁部、 ２７ 端部、 ３０ 溶接継ぎ目、 ３３ 区分、 ３４ 弁座体開口、 ３５ 弁内室、 ４０ 保護キャップ、 ４１ シールリング、４４，４４Ａ，４４Ｂ 周壁、 ４５ 範囲、 ４７ 流入部、 ４８ 流出部、 ５０，５０Ａ 誘電体、 ５１ 工具電極、 ５２ 端面、 ５３ 軸受け、 ５４ ワークテーブル、 ５８ 前面、 ６０ 開口軸線

Claims (5)

1. 弁に用いられる噴射孔付き板であって、弁長手方向軸線と、中央の範囲に形成された少なくとも１つの噴射開口とが設けられていて、該噴射開口が開口軸線を有している形式のものにおいて、少なくとも１つの前記噴射開口（２５）が、弁長手方向軸線（２）に対して平行に延びており、前記噴射開口（２５）の横断面が、流れ方向で円錐台形に拡張していて、弁長手方向軸線（２）に対して平行に延びる開口軸線（６０）を中心にして対称的に形成されていることを特徴とする、弁に用いられる噴射孔付き板。
2. 噴射孔付き板（２１）に設けられた複数の噴射開口（２５）が、互いに等しい間隔をおいて形成されている、請求項１記載の噴射孔付き板。
3. 請求項１または２記載の噴射孔付き板を製造する方法において、浸食加工過程の第１の方法ステップで工具電極（５１）を用いて噴射孔付き板（２１）の一方の端面（５２）に対して直角に噴射孔付き板（２１）から粒子を除去し、剥離された粒子を浸食加工過程に対して逆の方向で第１の誘電体（５０）を用いて洗出して、円錐状の噴射開口（２５）を形成し、第２の方法ステップで噴射孔付き板（２１）の前記工具電極（５１）とは反対の側の他方の端面（１９）で第２の誘電体（５０Ａ）を準備し、第３の方法ステップで、噴射孔付き板（２１）の前記工具電極（５１）とは反対の側の他方の端面（１９）が前記工具電極（５１）によって貫通された後に、浸食過程に対して逆の方向で圧力（ｐ）で前記第２の誘電体（５０Ａ）を円錐状の噴射開口（２５）に案内して、該噴射開口（２５）を前記一方の端面（５２）に向かって通流させることを特徴とする、噴射孔付き板の製造法。
4. 対向洗浄時の前記第２の誘電体（５０Ａ）の圧力（ｐ）を、大気圧よりも大きく設定する、請求項３記載の製造法。
5. 前記第２の誘電体（５０Ａ）の圧力（ｐ）を、前記第１の誘電体（５０）の圧力よりも大きく設定する、請求項３記載の製造法。

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