JP3573515B2 - インク噴射記録ヘッド、記録装置、およびインク噴射記録ヘッドの製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 7
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 66
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 56
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 32
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 24
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 24
- 229910008065 Si-SiO Inorganic materials 0.000 claims description 23
- 229910006405 Si—SiO Inorganic materials 0.000 claims description 23
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 15
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 12
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims description 12
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims description 12
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 12
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 claims description 7
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims description 7
- 229920006015 heat resistant resin Polymers 0.000 claims description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 claims 1
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 59
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 22
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 7
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 7
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 7
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 6
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 5
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000008034 disappearance Effects 0.000 description 3
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 3
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 3
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 3
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 2
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 description 2
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 2
- 238000005187 foaming Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003064 anti-oxidating effect Effects 0.000 description 1
- 230000008033 biological extinction Effects 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 1
- 239000006260 foam Substances 0.000 description 1
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 description 1
- 239000000615 nonconductor Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000001552 radio frequency sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
- B41J2/14088—Structure of heating means
- B41J2/14112—Resistive element
- B41J2/1412—Shape
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
- B41J2/14088—Structure of heating means
- B41J2/14112—Resistive element
- B41J2/14129—Layer structure
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1601—Production of bubble jet print heads
- B41J2/1603—Production of bubble jet print heads of the front shooter type
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
- B41J2002/14169—Bubble vented to the ambience
Description
【産業上の利用分野】
本発明は、熱エネルギを利用してインク液滴を記録媒体に向けて飛翔させる形式の記録装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
パルス加熱によってインクの一部を急速に気化させ、その膨張力によってインク液滴をオリフィスから吐出させる方式のインクジェット記録装置は特開昭48−9622号公報、特開昭54−51837号公報等によって開示されている。
【0003】
このパルス加熱の最も簡便な方法は発熱抵抗体にパルス通電することであり、その具体的な方法が日経メカニカル1992年12月28日号58ページ、及びHewlett−Packard−Journal,Aug.1988で発表されている。これら従来の発熱抵抗体の共通する基本的構成は、薄膜抵抗体と薄膜導体を酸化防止層で被覆し、この上に該酸化防止層のキャビテーション破壊を防ぐ目的で、耐キャビテーション層を1〜2層被覆するというものであった。
【0004】
この複雑な多層構造を抜本的に簡略化するものとして、本出願人が先に出願した特開平06−71888号公報に記載のように、前記酸化防止層と耐キャビテーション層を不要とする発熱抵抗体を用いて印字する方法がある。この場合は、薄膜抵抗体がインクと直接接触しているため、パルス加熱によるインクの急激な核沸騰とそれによるインクの吐出特性が大幅に改善され、熱効率の大幅な改善と吐出周波数の向上を図ることができた。このような画期的な性能を実現できた最大の理由は、耐パルス性、耐酸化性、耐電蝕性に優れたCr−Si−SiO又はTa−Si−SiO合金薄膜抵抗体とNi薄膜導体のみから構成される発熱抵抗体を用いたことにあり、如何なる保護層も必要としないことによる。
【0005】
このように、従来技術に比較して、大幅に小さな投入エネルギでインク噴射が可能となったので、この発熱抵抗体を駆動用LSIチップ上のデバイス領域に近接して形成しても、もはやLSIデバイスを加熱して温度上昇をもたらすこともなく、非常に簡単な構成のモノリシックLSIヘッドを実現することができるようになった。これについては本出願人が先に出願した特願平04−347150号及び特願平05−90123号に記載の通りである。この新しい技術によって、多くのインク噴射ノズルを持つオンデマンド型インクジェットプリントヘッドが高密度に、しかも2次元的に集積化して製造することができるようになり、高速印刷の可能なフルカラーインクジェットプリンタを実現させることができた。
【0006】
更に、保護層の不要な薄膜発熱抵抗体の優れた発泡消滅特性を利用すれば、この発熱抵抗体面と垂直又はほぼ垂直方向にインク滴を吐出させる方式のサーマルインクジェットプリントヘッドにおいては、新しい駆動方法によってクロストークを大幅に低減でき、サブドロップの発生とか印画濃度変化の無いヘッドとすることが可能である。
【0007】
また、このような特性を持つ大規模高集積化プリントヘッドの製造方法についても、高い歩留りで製造することが可能である。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
この大規模高集積化プリントヘッドに種々の水性インクを充填してフルカラー印刷を行っていたところ、設計寿命を下廻るヘッドが出現することが分かった。そこで詳細な検討を行ったところ、寿命的に問題のなかったヘッドのインクは比抵抗が比較的大きいほぼ中性の水性インクであったこと、設計寿命を下廻るヘッドのインクは比抵抗が102〜103Ωcmと小さく、PH=8〜9と非中性であることが分かった。
【0009】
本発明の目的は、比抵抗の小さな非中性の水性インクに対しても寿命的に問題がなく、しかも加熱発泡特性では保護層のない発熱抵抗体と同等である薄膜発熱抵抗体を備えるインク噴射記録ヘッド、記録装置およびインク噴射記録ヘッドの製造方法を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記目的は、Si基板上に形成されたTa−Si−SiO合金薄膜抵抗体とこのTa−Si−SiO合金薄膜抵抗体上に部分的に形成された薄膜導体とからなり、前記薄膜導体の形成されない前記Ta−Si−SiO合金薄膜抵抗体の表面に、前記Ta−Si−SiO合金薄膜抵抗体をパルス通電して550℃〜600℃に加熱することにより自らの表面が熱酸化処理されて形成された電気絶縁性被膜を有する、複数個の発熱抵抗体と、この発熱抵抗体と垂直方向または略垂直方向にインク滴を吐出する複数個の吐出ノズルと、この複数個の吐出ノズルの各々に対応して前記Si基板上に設けられた複数個の個別インク通路と、この複数個の個別インク通路と連通する前記Si基板上に設けられた共通インク通路を備えることを特徴とするインク噴射記録ヘッドにより達成される。
【0011】
前記薄膜導体は、前記Ta−Si−SiO合金薄膜抵抗体の各々につながる個別薄膜導体を有し、この個別薄膜導体のすべてと前記発熱抵抗体の一部が前記個別インク通路を形成する耐熱性樹脂の隔壁によって被われているのが好ましい。
【0012】
また、前記耐熱性樹脂は、ポリイミドであるのが好ましく、前記薄膜導体は、Ni金属薄膜導体であるのが好ましい。
【0014】
また、上記インク噴射記録ヘッドを搭載することを特徴とする記録装置によって、上記目的は達成される。
【0015】
また、上記目的は、Si基板を用いてインク噴射記録ヘッドを製造するに際し、Ta−Si−SiO合金薄膜抵抗体を前記Si基板上に形成し、このTa−Si−SiO合金薄膜抵抗体上に薄膜導体を部分的に形成した後、前記薄膜導体の形成されない前記Ta−Si−SiO合金薄膜抵抗体の表面に、前記Ta−Si−SiO合金薄膜抵抗体をパルス通電することにより550℃〜600℃に加熱して熱酸化処理することで電気絶縁性被膜を造ることを特徴とするインク噴射記録ヘッドの製造方法によって達成される。
【0017】
【作用】
上記のように薄くて均質な熱酸化電気絶縁性被膜で被覆されている薄膜抵抗体は、もはや電解質インクと直接的に接触することがなく、したがって電蝕による短寿命化の問題も発生しない。
【0018】
但し、これらの薄い絶縁被膜が破壊されてしまうと電蝕が発生する可能性があるので絶縁被膜の破壊を完全に防止しておくことが重要である。そのためには気泡の消滅時に発生する衝撃波を起こさせてはならない。
【0019】
そこで、本出願人はこの衝撃波を起こさせない方法として「個別インク通路の高さを30μm以下とし、且つ吐出ノズル底の発熱抵抗体面への垂直投影像が該発熱抵抗体と±5μm以内で重なるかそれより小さい構造し、好ましくは前記ノズルの深さを80μmよりも浅くするヘッド構造とすること」を見出した。このような構造とすることによって、発生した気泡は外気とつながるところ(吐出口)まで成長を続け、もはや気泡がつぶれるという現象が発生しないことを実験的にも確認した。
【0020】
一方、熱分解開始温度が400℃以上のポリイミドなどの樹脂隔壁でヒータの一部を含む個別薄膜導体をカバーすることで、共通薄膜導体と同電位にある電解質インクに対し高い(又は低い)電位にある個別薄膜導体を樹脂で埋め込み、個別薄膜導体が電蝕される可能性を完全に零とすることが可能となる。ヒータの必要な加熱温度はゆらぎ核沸騰が発生する約310℃であり、ヒータとか駆動回路のバラツキを考慮してもヒ−タの加熱温度を340±30℃の範囲に制御することは容易である。即ち、耐熱性樹脂がカバーする個別薄膜導体に近いヒータ部分の最高温度は360〜370℃であり、この最高温度に近い温度に加熱される積算時間は約0.2μs×1億パルス=20秒という短時間である。即ち、ポリイミドのような熱分解開始温度が400℃又はそれ以上の樹脂を利用する限りにおいて、この構成のヘッドの寿命や信頼性に何の問題も発生しないことが分かる。これらについてのデータは実施例において説明する。
【0021】
なお、共通薄膜導体上に同様の樹脂を被覆する必要のない理由は、該導体とインクは同電位にしておくので、単なる腐食はNi薄膜金属では発生しないことによる。
【0022】
【実施例】
以下、図面を用いて具体的な実施例を説明する。
【0023】
図1にインク吐出ノズル近傍の拡大断面図を、図2にはその周辺までを含めた断面図を示す。シリコン基板1上に厚さ1〜2μmのSiO2 断熱層17を設け、この上に耐パルス性と耐酸化性に優れた厚さ約0.2μmのTa−Si−SiO合金の薄膜発熱抵抗体3と厚さ約1μmのNi金属の個別薄膜導体4とNi金属の共通薄膜導体5をスパッタ法とフォトエッチング法によって形成することは本出願人が先に出願した特開平06−71888号公報に記載した通りである。
【0024】
ここで先ず、Ta−Si−SiO合金薄膜抵抗体(以下抵抗体という)の高温熱酸化特性について説明する。この抵抗体を500℃大気中に放置した時の抵抗値Rを測定したが、その逆数Ro/Rを図5に示す。ここでRoは熱処理前の抵抗値である。熱酸化処理された抵抗体の表面はいずれも電気的な絶縁物(酸化物)に変化していることを確認している。図5において、Ro/Rが直線的に減少している事実は、熱酸化処理によって絶縁性酸化物に変化する速さ(表面からの酸化深さ)が熱処理時間に比例していることを示している。
【0025】
一方、500℃で酸化処理された抵抗体は、350℃での大気中の放置でその抵抗値を変化させないことを確認しており、このままの状態で本抵抗体を350℃付近でパルス加熱させても抵抗値が何ら変化しないことを1億パルス以上の印加テストで確認済みである。
【0026】
更に、この絶縁性酸化被膜の厚さを約1000Åとした抵抗体をpH8〜9の電解質インクにつけて電位勾配30V/50μmでの電蝕テストを行ったが、10分以上の連続印加で何の変化も認められなかった。このことは、1000Åという非常に薄い膜であるにもかかわらずピンホ−ル等の欠陥の無い絶縁被膜が形成されていることを示しており、熱酸化膜でなければ達成し得ない性質と、しかもそれが均質であるという特徴を合わせ持っていることが分かる。
【0027】
さて、この熱酸化処理によってNiのような金属薄膜導体が酸化されたり、本出願人が先に出願した特願平04−347150号、特願平05−90123号、及び特願平06−201985号に記載したモノリシックLSIヘッドのように400℃以上の加熱処理が難しい場合は、合金薄膜抵抗体にパルス通電して抵抗体のみを約550〜600℃にパルス加熱することによって熱酸化処理を行なう必要がある。この場合の加熱パルス幅は高温保持時間の長い約1msという長いパルス幅とするのが熱酸化処理にとって効果的であり、外部からの駆動で容易にこれを行うことが可能である。即ち、実駆動時のパルス幅1〜2μsに比して103倍も長いパルス幅で加熱処理を行うので、加熱処理温度を実駆動時よりも200〜250℃高くしても駆動LSIの定格電力を大幅に下廻り、何ら問題とならないのである。又、このパルス加熱処理時のSi基板温度を100℃程度に加熱しておいても良い。
【0028】
上記熱処理によって薄膜抵抗体の抵抗値は30〜40%大きくなるが、特にパルス加熱処理工程中に同時にこの抵抗値を計測検査することが可能である。そこでこのパルス加熱処理中に全ての抵抗体の抵抗値をモニタし、それらを±1%以内の抵抗値に揃えるようにした。これによって従来、±5%程度のバラツキを持っていた抵抗体列の抵抗値を揃えることが可能となり、実駆動時のインク加熱温度を均一に揃えることで余分な加熱がなくなり、インクのこげつき、抵抗体寿命等、ヘッドの信頼性の向上に大きく貢献させることが可能となった。
【0029】
更に、本出願人が先に出願した特願平06−201985号に記載した方法で隔壁8とオリフィスプレ−ト11を形成するが、図1に示すように、個別薄膜導体4の全部と薄膜発熱抵抗体3の一部を隔壁8によって被覆した構成とする。薄膜発熱抵抗体3を被覆するのは個別薄膜導体4の端から5〜8μmで良く、これによる熱効率の低下は10〜15%程度に止まっている。作用の項で述べたように、発熱抵抗体の最高温度は360〜370℃以下であり、隔壁8の構成材料をポリイミドのような熱分解開始温度が400℃以上である耐熱性樹脂を用いる限り寿命的に何ら問題とならないことを後で示す。
【0030】
これに対し、従来技術で用いられている耐熱性の低い感光性レジスト材料などをこの隔壁に用いると、1000万ドット程度の吐出で電蝕による破断が発生することを確認している。なお、隔壁材料をこのような耐熱性樹脂としたことにより、発熱抵抗体3と隔壁8の重なりが個別インク通路9の幅方向で発生しても信頼性的には問題がなく、ヘッド製造上の位置合わせ精度(アライナの精度)に余裕を与えるという良い結果をもたらせている。
【0031】
さて、図1及び図2に示すように、オリフィスプレ−ト11にドライエッチングによってあけられるインク吐出ノズル12はストレ−トな円筒形であり、場合によっては本出願人が先に出願した特願平05−318272号に記載したように傾斜させるが、その底面の発熱抵抗体3への垂直投影像が該発熱抵抗体3と±5μm以内で重なるかそれより小さい構造とし、隔壁8の高さも30μm以下とする。この実施例ではそれを25μmとし、ヒ−タを50μm□、ノズル径を50μmφとした。
【0032】
なお、オリフィスプレ−ト11は隔壁と同じポリイミドの50μm厚フィルムを用いているので、これに純水を充填してストロボ観察を行うと、ポリイミドはほぼ透明なのでパルス通電による気泡の発生とか水滴の吐出の様子を見ることが出来る。通電パルス幅を2μsとした時、通電開始後のこの観察結果を図3(a)に示す。
【0033】
即ち、通電開始後約2〜3μsでノズル内の水は12〜15m/sの速さで吐出を始めているが、個別インク通路9内の水はほとんど動いていない。但し既にこの時の気泡16の内圧はほとんど零である。通電開始後6μSで吐出する水の最後尾はインク吐出ノズル12の出口近くまで来ており、一方の個別インク通路9内の水は1気圧の圧力差によって薄膜発熱抵抗体3側に移動を始めている。しかし通電開始後9μSの時点でノズル12は既に大気圧となっており、個別インク通路9内の水の移動も圧力差が零となるので緩慢となる。そして再びインク吐出ノズル12に水が充満するのに約70μsの時間が必要であった。この吐出過程の観察結果から明らかになったように、真空気泡の消滅という現象は発生せず、従って、キャビテ−ション特有の衝撃波も発生していない。
【0034】
これに対し、ノズル底が大きく拡がっている図3(b)の場合、吐出する水は個別インク通路9内の水と完全につながり、真空気泡は約9μS後に消滅してその時に衝撃波を発生させる。この衝撃波はリバウンド現象(再発泡)を発生させる程の強さではないが、ヒ−タの中央部に局部的な衝撃力を与え、場合によってはヒ−タを破壊してしまう(Hewlett−Packard Journal,Feb.1994,P41 参照)。
【0035】
電解質インクを充填した寿命試験では、図3(a)では1億パルス以上のインク吐出で何ら問題はなく、図3(b)では100万パルス以下から1000万パルス程度の範囲に大きくバラツいていてその差は明らかであった。また、上記衝撃力の有無は、ヘッド基板裏面に張り付けたAEセンサ(音響検出器)によって直接的に検証することもできた。即ち、オ−プンプ−ル沸騰では気泡の発生時と消滅時に検出される衝撃力が、本発明のヘッドでは気泡の発生時の衝撃力さえ1/10以下と小さくなり、気泡の消滅時に観測されるべき衝撃力が全く検出できなくなるのである。これは上に述べたように、気泡が消滅するという現象そのものが無くなっていることを示している。
【0036】
なお、絶縁性酸化被膜は形成されるがピンホ−ル等の欠陥が発生し易い他の抵抗体材料の場合は、発熱抵抗体膜と同程度の厚さの絶縁物層7をヒ−タ全面に被膜すると有効であることが認められた(図4参照)。この薄い絶縁物層7としては、RFスパッタ法によるSiO2層、Ta2O5層、Si3N4層、プラズマCVD法によるSi3N4層、或いはゾルゲルコ−ト法によるAl2O3層、半導体プロセスで良く使用されているSOG膜など、密着性と被覆性の良い絶縁物であれば利用可能である。この場合でもゆらぎ核沸騰に必要な印加電力はパルス幅を2μSの場合で裸のヒ−タの場合の約1.5倍程度で良く、これは厚い2層構造の保護層を持つ従来技術のヒ−タの場合の印加エネルギの1/7〜1/10という大きさで、その優れた熱効率の良さが理解されよう。この優れた熱効率によって駆動回路をヘッドと同一のSi基板上に高密度に集積化させることができ、これによって作られる高集積化ヘッドで高速のフルカラ−インクジェットプリンタが作られることは本出願人が出願した特願平06−201985号他に記載した通りである。
【0037】
なお、オリフィスプレート11の厚さを80μm以上とすると、吐出インクがノズルから離脱する前に補充インクが発熱抵抗体上に完全に復帰できる場合がある。この場合は、キャビテーションの衝撃波が発生し、発熱抵抗体の寿命を短くしてしまうことを確認しており、ヘッドの設計上の制約となっている。
【0038】
【発明の効果】
本発明によれば、非常に薄い熱酸化物層或いは更にこの上に薄い絶縁物層で発熱抵抗体を電解質インクと隔離し、個別電極の全てを耐熱性隔壁で電解質インクと隔離し、しかも核沸騰によって発生した気泡を消滅させないノズル構造とすることによって薄い絶縁物層をキャビテ−ション破壊から守り、これらによって加熱効率をほとんど低下させずにヒ−タの電蝕破壊を完全に防止することができた。このことは信頼性の高い高集積化ヘッドの製造が可能となり、電解質インクを用いても高速のフルカラ−インクジェットプリンタを構成できることを示している。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明になるインク吐出ノズルの拡大断面図である。
【図2】図1に示すノズルの周辺部を含めた断面図である。
【図3】(a)および(b)は、ノズル構造の違いによる気泡と水滴の動き
の様子を観察した結果を説明する図である。
【図4】図1に示す発熱抵抗体に薄膜抵抗体と同程度の厚さの絶縁物層を被覆したインク吐出ノズルの拡大断面図である。
【図5】Ta−Si−SiO合金薄膜抵抗体の500℃大気中での抵抗変化を示すグラフである。
【符号の説明】
1はシリコン基板、2は駆動用LSIデバイス領域、3は薄膜発熱抵抗体、4は個別薄膜導体、5は共通薄膜導体(グランド)、6はスルーホール接続部、7は絶縁物層、8は隔壁、9は個別インク通路、10は共通インク通路、11はオリフィスプレート、12はインク吐出ノズル、13は吐出インク、14はインク溝、15はインクのメニスカス、16は気泡、17は断熱層である。
Claims (6)
- Si基板上に形成されたTa−Si−SiO合金薄膜抵抗体とこのTa−Si−SiO合金薄膜抵抗体上に部分的に形成された薄膜導体とからなり、前記薄膜導体の形成されない前記Ta−Si−SiO合金薄膜抵抗体の表面に、前記Ta−Si−SiO合金薄膜抵抗体をパルス通電して550℃〜600℃に加熱することにより自らの表面が熱酸化処理されて形成された電気絶縁性被膜を有する、複数個の発熱抵抗体と、
この発熱抵抗体と垂直方向または略垂直方向にインク滴を吐出する複数個の吐出ノズルと、
この複数個の吐出ノズルの各々に対応して前記Si基板上に設けられた複数個の個別インク通路と、
この複数個の個別インク通路と連通する前記Si基板上に設けられた共通インク通路を備えることを特徴とするインク噴射記録ヘッド。 - 前記薄膜導体は、前記Ta−Si−SiO合金薄膜抵抗体の各々につながる個別薄膜導体を有し、
この個別薄膜導体のすべてと前記発熱抵抗体の一部が前記個別インク通路を形成する耐熱樹脂の隔壁によって被われている請求項1に記載のインク噴射記録ヘッド。 - 前記耐熱性樹脂は、ポリイミドである請求項2に記載のインク噴射記録ヘッド。
- 前記薄膜導体は、Ni金属薄膜導体である請求項1〜3のいずれかに記載のインク噴射記録ヘッド。
- 請求項1〜4のいずれかに記載のインク噴射記録ヘッドを搭載することを特徴とする記録装置。
- Si基板を用いてインク噴射記録ヘッドを製造するに際し、
Ta−Si−SiO合金薄膜抵抗体を前記Si基板上に形成し、このTa−Si−SiO合金薄膜抵抗体上に薄膜導体を部分的に形成した後、前記薄膜導体の形成されない前記Ta−Si−SiO合金薄膜抵抗体の表面に、前記Ta−Si−SiO合金薄膜抵抗体をパルス通電することにより550℃〜600℃に加熱して熱酸化処理することで電気絶縁性被膜を造ることを特徴とするインク噴射記録ヘッドの製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP04396895A JP3573515B2 (ja) | 1995-03-03 | 1995-03-03 | インク噴射記録ヘッド、記録装置、およびインク噴射記録ヘッドの製造方法 |
US08/580,273 US5831648A (en) | 1992-05-29 | 1995-12-27 | Ink jet recording head |
DE19604268A DE19604268C2 (de) | 1995-03-03 | 1996-02-06 | Tintenstrahldruckkopf und Verfahren zu seiner Herstellung |
GB9603978A GB2298395B (en) | 1995-03-03 | 1996-02-26 | Ink jet recording head |
FR9602539A FR2731180B1 (fr) | 1995-03-03 | 1996-02-29 | Tete d'enregistrement a jet d'encre, imprimante munie de cette tete et procede de fabrication de cette tete |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP04396895A JP3573515B2 (ja) | 1995-03-03 | 1995-03-03 | インク噴射記録ヘッド、記録装置、およびインク噴射記録ヘッドの製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001151340A Division JP3778488B2 (ja) | 2001-05-21 | 2001-05-21 | インク噴射記録ヘッド用発熱抵抗体、インク噴射記録ヘッドおよび記録装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08238771A JPH08238771A (ja) | 1996-09-17 |
JP3573515B2 true JP3573515B2 (ja) | 2004-10-06 |
Family
ID=12678517
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP04396895A Expired - Lifetime JP3573515B2 (ja) | 1992-05-29 | 1995-03-03 | インク噴射記録ヘッド、記録装置、およびインク噴射記録ヘッドの製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3573515B2 (ja) |
DE (1) | DE19604268C2 (ja) |
FR (1) | FR2731180B1 (ja) |
GB (1) | GB2298395B (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5790154A (en) * | 1995-12-08 | 1998-08-04 | Hitachi Koki Co., Ltd. | Method of manufacturing an ink ejection recording head and a recording apparatus using the recording head |
JP3194465B2 (ja) * | 1995-12-27 | 2001-07-30 | 富士写真フイルム株式会社 | インクジェット記録ヘッド |
JPH1191111A (ja) * | 1997-09-24 | 1999-04-06 | Masao Mitani | インクジェット記録ヘッド |
KR100359106B1 (ko) * | 1998-07-22 | 2002-11-04 | 삼성전자 주식회사 | 잉크젯 프린터 헤드의 액츄에이터 제조방법 |
WO2019044913A1 (en) * | 2017-08-31 | 2019-03-07 | Canon Kabushiki Kaisha | METHOD FOR GENERATING ULTRAFINE BUBBLES, MANUFACTURING APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING LIQUID CONTAINING ULTRAFINE BUBBLES, AND LIQUID CONTAINING ULTRA FINE BUBBLES |
JP7271108B2 (ja) * | 2017-08-31 | 2023-05-11 | キヤノン株式会社 | ウルトラファインバブル含有液の製造装置及びウルトラファインバブル含有液の製造方法 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH538755A (fr) * | 1970-05-26 | 1973-06-30 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif d'ajustage de la valeur d'une résistance à une valeur déterminée |
DE3402683C2 (de) * | 1983-01-28 | 1994-06-09 | Canon Kk | Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf |
US4535343A (en) * | 1983-10-31 | 1985-08-13 | Hewlett-Packard Company | Thermal ink jet printhead with self-passivating elements |
US4532530A (en) * | 1984-03-09 | 1985-07-30 | Xerox Corporation | Bubble jet printing device |
GB2233887B (en) * | 1989-04-28 | 1992-06-03 | Braitrim | Garment hanger |
JPH03506004A (ja) * | 1989-05-12 | 1991-12-26 | イーストマン・コダック・カンパニー | バブルジェット印刷ヘッド用の改善された液滴エジェクタ要素及び製造方法 |
US4994826A (en) * | 1990-01-19 | 1991-02-19 | Xerox Corporation | Thermal ink jet printhead with increased operating temperature and thermal efficiency |
US5469200A (en) * | 1991-11-12 | 1995-11-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Polycrystalline silicon substrate having a thermally-treated surface, and process of making the same |
JP3320825B2 (ja) * | 1992-05-29 | 2002-09-03 | 富士写真フイルム株式会社 | 記録装置 |
US6315398B1 (en) * | 1992-10-21 | 2001-11-13 | Xerox Corporation | Thermal ink jet heater design |
JPH07153603A (ja) * | 1993-11-26 | 1995-06-16 | Hitachi Koki Co Ltd | インクジェット用発熱抵抗体の製造方法及びインクジェットプリンタ |
DE19505465A1 (de) * | 1994-02-18 | 1995-08-24 | Hitachi Koki Kk | Thermischer Tintenstrahldrucker |
-
1995
- 1995-03-03 JP JP04396895A patent/JP3573515B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1996
- 1996-02-06 DE DE19604268A patent/DE19604268C2/de not_active Expired - Lifetime
- 1996-02-26 GB GB9603978A patent/GB2298395B/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-02-29 FR FR9602539A patent/FR2731180B1/fr not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE19604268A1 (de) | 1996-09-12 |
GB9603978D0 (en) | 1996-04-24 |
GB2298395B (en) | 1998-07-15 |
GB2298395A (en) | 1996-09-04 |
FR2731180B1 (fr) | 1998-06-05 |
DE19604268C2 (de) | 1999-03-25 |
JPH08238771A (ja) | 1996-09-17 |
FR2731180A1 (fr) | 1996-09-06 |
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Legal Events
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---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20010814 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040629 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080709 Year of fee payment: 4 |
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S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080709 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090709 Year of fee payment: 5 |
|
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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