JP3566749B2 - 導電性積層体 - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は、セラミックスと金属との積層体からなる導電性積層体とこの導電性積層体を利用した導電性透明基板とに関する。
【0002】
【従来の技術】
液晶表示装置は軽量化、薄型化が可能であり、駆動電圧も低いことから、パ−ソナルコンピュータやワードプロセッサ等のOA機器へ活発に導入されている。そして、前述のような利点を有している液晶表示装置は必然的に大面積化、多画素化、高精細化の方向に向かっており、表示欠陥のない高品質の液晶表示素子が求められている。
液晶表示素子は、互いに対向して配置された2つの透明電極により液晶を挟み込んだサンドイッチ構造をなしており、透明電極は高品質の液晶表示素子を得るうえでの重要な要素の一つである。この透明電極は、例えば透明基板上に成膜した透明導電膜を所定のエッチング液でエッチングして所望形状にパターニングすることで作製されている。
【0003】
透明電極材料としては、現在、ITO(インジウム・錫酸化物)膜が主として利用されている。しかしながら、ITO膜には水素プラズマ等で還元されて光透過率が低下する、Inが拡散しやすい、耐湿性や耐候性に劣る等の難点があり、また、抵抗率も3×10-4Ω・cm程度であることから、今後の大面積表示装置のニーズに応えることは困難である。
【0004】
ITO膜よりも低電気抵抗の透明導電材料としては、酸化物セラミックス(金属酸化物)と金属とからなる積層体が従来よりよく知られている。代表例としては、TiOX とAgとからなる積層体(米国特許第3,962,488号明細書参照)やBi2 O3 とAuとからなる積層体(British Journal of Applied Physics,Vol.9,PP359-361(1958)参照)がある。また、特公昭63−13823号(特開昭58−36448号)公報には酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化アルミニウム等の金属酸化物とAg−Cu合金とからなる積層体や、酸化ケイ素−酸化チタン系複合酸化物とAg−Cu合金とからなる積層体が開示されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した積層体では金属層(合金層を含む)の上に金属酸化物層(複合金属酸化物層を含む)が積層されるため、金属酸化物層の形成時に金属層が酸化してその導電性が低下してしまう。また、上述した積層体から形成した電極では長期使用に伴って金属層成分あるいは合金層成分がマイグレーションを起こす結果、電極全体の導電性や光透過率が経時的に低下する。本発明の目的は、導電性および耐久性に優れた導電性積層体およびこの導電性積層体を利用した導電性透明基板を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成する本発明の導電性積層体は、基板の所定面上に直接または第1の炭化物セラミックス層を介して若しくはアンダーコート層と前記第1の炭化物セラミックス層とを介して設けられた金属薄膜層と、この金属薄膜層上に設けられた第2の炭化物セラミックス層と、この第2の炭化物セラミックス層上に設けられた抵抗率が1×10 2 Ω・cm以下の透明導電性酸化物からなるトップコート層とを有することを特徴とするものである。
【0007】
また、上記の目的を達成する本発明の導電性透明基板は、透明基板と、この透明基板の所定面上に直接または第1の炭化物セラミックス層を介して若しくはアンダーコート層と前記第1の炭化物セラミックス層とを介して設けられた金属薄膜層と、この金属薄膜層上に設けられた第2の炭化物セラミックス層と、この第2の炭化物セラミックス層上に設けられた抵抗率が1×10 2 Ω・cm以下の透明導電性酸化物からなるトップコート層とを有することを特徴とするものである。
【0008】
以下、本発明を詳細に説明する。
まず本発明の導電性積層体について説明すると、この導電性積層体は上述したように金属薄膜層と、この金属薄膜層上に設けられた第2の炭化物セラミックス層と、この第2の炭化物層上に設けられたトップコート層とを有し、前記の金属薄膜層は基板の所定面上に直接または第1の炭化物セラミックス層を介して若しくはアンダーコート層と前記第1の炭化物セラミックス層とを介して設けられている。
【0009】
前記の金属薄膜層は導電性に優れた単独金属(単体金属)または合金からなる薄膜であればよく、Au,Ag,Cu,PtおよびAlからなる群より選択された1種または複数種により形成することが好ましい。金属薄膜層を前記の群から選択された1種の金属により形成する場合は、光透過性および導電性の点からAuまたはAgにより形成することが好ましく、価格の面から特にAgにより形成することが好ましい。また、前記の群から選択された複数種の金属により形成する場合は、光透過性や導電性の点から、AgにAuまたはCuを50wt%以下添加したものにより形成することが好ましい。AuやCuの添加量が50wt%を超えると、導電性透明材料として利用可能な光透過性を有する導電性積層体を得ることが困難になる。AuやCuの添加量は0.1〜40wt%であることが好ましく、特に0.1〜30wt%であることが好ましい。
【0010】
上述した金属薄膜層の膜厚は10〜50オングストロームの範囲内で適宜選択することが好ましい。膜厚が10オングストローム未満では十分な導電性を有する導電性積層体を得ることが困難である。また、膜厚が50オングストロームを超えると、導電性透明材料として利用可能な光透過性を有する導電性積層体を得ることが困難になる。金属薄膜層の好ましい膜厚は20〜50オングストロームの範囲内であり、特に好ましい膜厚は30〜50オングストロームの範囲内である。
【0011】
この金属薄膜層上に設けられる第2の炭化物セラミックス層は、前記の金属薄膜層の酸化防止層としての機能と所望の光透過性とを有するものであればよく、B4 Cおよび/またはSiCにより形成することが好ましい。
この第2の炭化物セラミックス層の膜厚は、10〜1000オングストロームの範囲内で適宜選択することが好ましい。膜厚が10オングストローム未満では前記の金属薄膜層の酸化防止層としての効果が実質的に無くなる。一方、膜厚が1000オングストロームを超えると、導電性透明材料として利用可能な光透過性を有する導電性積層体を得ることが困難になる。第2の炭化物セラミックス層の膜厚は10〜500オングストロームの範囲内とすることが好ましく、特に10〜300オングストロームの範囲内とすることが好ましい。
【0012】
本発明の導電性積層体は、上述した金属薄膜層、第2の炭化物セラミックス層およびトップコート層を有するものであり、前述したように、前記の金属薄膜層は基板の所定面上に直接設けられていてもよいし、基板の所定面上に第1の炭化物セラミックス層を介して設けられていてもよいし、基板の所定面上にアンダーコート層と前記第1の炭化物セラミックス層とを介して設けられていてもよい。
【0013】
基板と金属薄膜層との間に第1の炭化物セラミックス層を介在させる場合、この第1の炭化物セラミックス層は前述した第2の炭化物セラミックス層と同様に前記の金属薄膜層の酸化防止層としての機能と所望の光透過性とを有するものであればよく、B4 Cおよび/またはSiCにより形成することが好ましい。この第1の炭化物セラミックス層の膜厚は、第2の炭化物セラミックス層の膜厚の前記例示範囲内で適宜選択することが可能である。ただし、第1の炭化物セラミックス層の膜厚と第2の炭化物セラミックス層の膜厚との合計値は、光透過性の面から1000オングストローム以下とすることが好ましい。このとき、第1の炭化物セラミックス層の膜厚と第2の炭化物セラミックス層の膜厚は同じであってもよいし異なっていてもよい。
【0014】
また、基板と金属薄膜層との間にアンダーコート層と上記第1の炭化物セラミックス層とを介在させる場合、前記のアンダーコート層は基板と前記第1の炭化物セラミックス層との密着性や前記第1の炭化物セラミックス層の平滑性を向上させることができ、かつ所望の光透過性を有するものであればよい。このアンダーコート層の具体例としては、SiO2 ,TiO2 ,In2 O3 ,SnO2 およびZnOからなる群より選択される1種または複数種からなる透明金属酸化物の層や、エポキシ樹脂,ウレタン樹脂,アクリル樹脂,エポキシアクリレート,ウレタンアクリレート等の透明樹脂の層、あるいは前記の透明樹脂層と前記の透明金属酸化物層との積層物等が挙げられる。アンダーコート層の材質は、基板の材質、目的とする導電性積層体の用途等に応じて適宜選択される。
【0015】
アンダーコート層の膜厚はその材質の如何に拘らず、0.01〜1μmの範囲内とすることが好ましい。膜厚が0.01μm未満では、どのような材料を用いたとしても基板と第1の炭化物セラミックス層との密着性や第1の炭化物セラミックス層の平滑性を向上させることが困難である。一方、膜厚が1μmを超えると、どのような材料を用いたとしても導電性透明材料として利用可能な光透過性を有する導電性積層体を得ることが困難になる他、経済性が低下する。アンダーコート層の好ましい膜厚はその材質の如何に拘らず0.01〜0.3μmの範囲内であり、特に好ましい膜厚はその材質の如何に拘らず0.01〜0.1μmの範囲内である。
【0016】
本発明の導電性積層体では、基板の所定面上に直接または上述した第1の炭化物セラミックス層を介して若しくは上述したアンダーコート層と前記第1の炭化物セラミックス層とを介して前述した金属薄膜層が設けられており、この金属薄膜層上には前述した第2の炭化物セラミックス層が設けられているわけであるが、第2の炭化物セラミックス層上には更にトップコート層が設けられている。
【0017】
このトップコート層は第2の炭化物セラミックス層を磨耗等から保護することを目的として設けられるものである。具体例としてはIn2 O3 ,SnO2 ,ZnOおよびGa2 O3 からなる群より選択される1種または複数種からなる抵抗率1×102 Ω・cm以下の透明導電性酸化物の層が挙げられる。抵抗率が1×102 Ω・cmを超えるものは、積層体の導電性の低下をまねくため好ましくない。
【0018】
トップコート層の膜厚は、その材質の如何に拘らず100〜1000オングストロームの範囲内とすることが好ましい。膜厚が100オングストローム未満では、どのような材料を用いたとしても第2の炭化物セラミックス層を磨耗等から保護することが困難である。一方、膜厚が1000オングストローム超えると、どのような材料を用いたとしても導電性透明材料として利用可能な光透過性を有する導電性積層体を得ることが困難になる他、経済性が低下する。トップコート層の好ましい膜厚はその材質の如何に拘らず100〜600オングストロームの範囲内であり、特に好ましい膜厚はその材質の如何に拘らず100〜400オングストロームの範囲内である。
【0019】
金属薄膜層、第2の炭化物セラミックス層およびトップコート層を必須構成要件とし、アンダーコート層および第1の炭化物セラミックス層を任意構成要件とする本発明の導電性積層体の全体の膜厚は、120〜1250オングストロームの範囲内となるわけであるが、導電性透明材料として利用可能な光透過性(可視光の透過率で概ね70〜90%、あるいは波長550nmの光の透過率で概ね80〜90%)を有する導電性積層体が得られる。導電性積層体の全体の膜厚は、層構成や当該導電性積層体の用途等に応じて、前述の範囲内で適宜変更可能である。
【0020】
なお、本発明の導電性積層体は前述したように基板の所定面上に形成されたものであり、このときの基板としては透明基板を用いてもよいし非透明基板を用いてもよい。いずれの場合においても、基板において導電性積層体を形成する面の反対側の面には直接またはアンカー層を介して、ガス遮断層、ハードコート層等が設けられていてもよい。前記アンカー層は、基板とガス遮断層あるいはハードコート層との接着性を向上させるための層であり、その具体例としてはエポキシ樹脂、エポキシウレタン樹脂、エポキシアクリル樹脂等からなる膜厚10〜100000オングストロームの層が挙げられる。また、前記ガス遮断層はO2 、CO2、H2 O等のガスを遮断するための層であり、その具体例としてはポリビニルアルコール、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、アクリルウレタン樹脂、エポキシウレタン樹脂、エポキシアクリル樹脂等からなる膜厚10〜100000オングストロームの層が挙げられる。そして、前記ハードコート層は基板表面をキズや磨耗等から守るための層であり、その具体例としては紫外線硬化型アクリル樹脂、熱硬化型アクリル樹脂、紫外線硬化型アクリルウレタン樹脂、シリコーン系ハードコート樹脂等からなる膜厚10〜100000オングストロームの層が挙げられる。
【0021】
基板として透明基板を用い、この透明基板の所定面上に上述の導電性積層体を形成した場合には、本発明の導電性透明基板が得られる。このときの透明基板としては透明ガラス、石英、透明プラスチック、透明セラミックス等からなる板状物やフィルム状物、あるいは前記板状物や前記フィルム状物の所定面上に直接または上記のアンカー層を介して、上述したガス遮断層、ハードコート層等を形成したもの等を用いることができる。
【0022】
ここで、前記透明ガラスの具体例としてはソーダ石灰ガラス、鉛硅酸塩ガラス、硼硅酸塩ガラス、硅酸塩ガラス、高硅酸ガラス、無アルカリガラス、燐酸塩ガラス、アルカリ硅酸塩ガラス、石英ガラス、アルミノ硼硅酸ガラス、バリウム硼硅酸ガラス、ナトリウム硼硅酸ガラス等が挙げられる。また、前記透明プラスチックの具体例としてはポリカーボネート、ポリアリレート、ポリエステル、ポリスチレン、ポリエーテルスルホン系樹脂、アモルファスポリオレフィン、アクリル樹脂、ポリイミド、ポリホスファゼン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリアミド、ポリアセタール系樹脂等が挙げられる。そして、前記透明セラミックスの具体例としてはサファイア、PLZT、CaF2 、MgF2 、ZnS等が挙げられる。
なお、透明基板の材質や厚さ等は、目的とする導電性透明基板の用途や当該導電性透明基板に要求される透明性等に応じて適宜選択される。
【0023】
本発明の導電性積層体は、例えば基板の所定面上に真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の物理蒸着法により金属薄膜層を形成した後、この金属薄膜上にスパッタリング法(反応性スパッタリング法を含む)等の物理蒸着法またはCVD法により第2の炭化物セラミックス層を形成し、さらに第2の炭化物セラミックス層上にRFマグネトロンスパッタリング法、DCマグネトロンスパッタリング法等のスパッタリング法(反応性スパッタリング法を含む)等の物理蒸着法によりトップコート層を形成することで得られる。基板と金属薄膜層との間に第1の炭化物セラミックス層を介在させる場合、この第1の炭化物セラミックス層はRFマグネトロンスパッタリング法、DCマグネトロンスパッタリング法等のスパッタリング法(反応性スパッタリング法を含む)等の物理蒸着法またはCVD法により形成することができる。
【0024】
また、基板と金属薄膜層との間にアンダーコート層と前記第1の炭化物セラミックス層とを介在させる場合、前記のアンダーコート層は、その材料に応じてRFマグネトロンスパッタリング法、DCマグネトロンスパッタリング法等のスパッタリング法(反応性スパッタリング法を含む)等の物理蒸着法や、スピンコート法等のコーティング法等により形成することができる。
基板として透明基板を用いた場合には、上述のようにして各層を形成することにより本発明の導電性積層体が得られると同時に本発明の導電性透明基板が得られる。
【0025】
上述のようにして得られる本発明の導電性積層体および本発明の導電性透明基板では、金属薄膜層上に形成される層が第2の炭化物セラミックス層であるため、当該第2の炭化物セラミックス層の形成時に金属薄膜層が酸化してその導電性が低下することは実質的にない。また、本発明の導電性積層体を所望形状の電極に成形して長期間使用した場合でも、電極の導電性および光透過率の経時的低下は小さい。この理由は定かではないが、例えばAgはマイグレーションし易いことが知られており、金属薄膜層としてAg薄膜層を用いたときにこのAgがマイグレーションを起こすと導電性積層体の導電性および光透過性が低下する。したがって、本発明の導電性積層体から形成した電極の導電性および光透過率の経時的低下が小さいのは、電極の使用期間中における金属薄膜層の酸化あるいはマイグレーションが炭化物セラミックス層(第1の炭化物セラミックス層および第2の炭化物セラミックス層を設けた場合は両者、第2の炭化物セラミックス層のみを設けた場合はこの第2の炭化物セラミックス層)によって抑制された結果であると考えられる。
【0026】
このように、本発明の導電性積層体および導電性透明基板は導電性および耐久性に優れたものである。このような特性を有する本発明の導電性積層体および導電性透明基板は、液晶表示素子用等の透明電極材料や太陽電池用の電極材料として好適である他、透明静電遮蔽体、熱線反射フィルム、透明面発熱体、自動車用ガラスアンテナ等の材料としも利用することができる。
【0027】
【実施例】
以下、本発明のトップコート層を有する積層体の製造例についての実施例を説明するが、トップコート層を有しない積層体の製造例を参考例として示す。
参考例1
まず、透明基板としてコーニング社製のガラス基板(#7059)を用意し、RFマグネトロンスパッタリング法により前記ガラス基板の一主表面上にBとCからなる第1の炭化物セラミックス層を形成した。このとき、スパッタリングターゲットとしてはB4 C(焼結体密度80%)を用い、スパッタリング時の真空度は1×10-3Torr、雰囲気ガスはArガス100%、出力は50W、基板温度は20℃、スパッタリング時間は20分とした。次に、スパッタリングターゲットとしてAgを用い、スパッタリング時の真空度1×10-3Torr、雰囲気ガス=Arガス100%、出力50W、基板温度20℃、スパッタリング時間1分の条件でRFマグネトロンスパッタリングを行い、上記第1の炭化物セラミックス層上にAg薄膜層を形成した。最後に、上記第1の炭化物セラミックス層の形成と同条件でRFマグネトロンスパッタリングを行い、上記のAg薄膜層上にBとCからなる第2の炭化物セラミックス層を形成した。
上述のようにしてガラス基板の一主表面上に第1の炭化物セラミックス層、Ag薄膜層および第2の炭化物セラミックス層を順次積層することで目的とする積層体が得られ、同時に目的とする透明基板が得られた。
【0028】
このようにして得られた積層体について、これを構成する各層の膜厚と組成をAES(オージェ電子分光分析)デプスプロファイルにより測定したところ、第1の炭化物セラミックス層および第2の炭化物セラミックス層の膜厚は共に400オングストローム、Ag薄膜層の膜厚は50オングストロームであり、第1の炭化物セラミックス層および第2の炭化物セラミックスの組成は共にB4 Cであった。
この積層体をパターニング幅1.2mm、エッチング幅100μmにエッチングして電極とし、この電極の光透過率(透明基板をも含めたものに対する波長550nmの光の透過率。以下の実施例、参考例および比較例においても同じ。)と電気抵抗値を測定した。また、前記の電極を10Vの電源にリード線を介して接続し、1000時間連続して通電した後の光透過率(透明基板をも含めたものに対する波長550nmの光の透過率。以下の実施例、参考例および比較例においても同じ。)と電気抵抗値を測定した。これらの結果を表1に示す。
【0029】
参考例2
まず、透明基板としてコーニング社製のガラス基板(#7059)を用意し、RFマグネトロンスパッタリング法により前記ガラス基板の一主表面上にAg薄膜層を形成した。このとき、スパッタリングターゲットとしてはAgを用い、スパッタリング時の真空度は1×10-3Torr、雰囲気ガスはArガス100%、出力は50W、基板温度は20℃、スパッタリング時間は1分とした。次に、スパッタリングターゲットとしてB4 C(焼結体密度80%)を用い、スパッタリング時の真空度1×10-3Torr、雰囲気ガス=Arガス100%、出力50W、基板温度20℃、スパッタリング時間20分の条件でRFマグネトロンスパッタリングを行い、上記Ag薄膜層上にBとCからなる第2の炭化物セラミックス層を形成した。
上述のようにしてガラス基板の一主表面上にAg薄膜層および第2の炭化物セラミックス層を順次積層することで目的とする積層体が得られ、同時に目的とする透明基板が得られた。
【0030】
このようにして得られた積層体について、これを構成する各層の膜厚と組成をAESデプスプロファイルにより測定したところ、Ag薄膜層の膜厚は50オングストローム、第2の炭化物セラミックス層の膜厚は400オングストロームであり、第2の炭化物セラミックス層の組成はB4 Cであった。
この積層体を参考例1と同一条件でエッチングして電極とし、この電極の光透過率と電気抵抗値を測定した。また、前記の電極を10Vの電源にリード線を介して接続し、1000時間連続して通電した後の光透過率と電気抵抗値を測定した。これらの結果を表1に示す。
【0031】
実施例1
まず、透明基板としてコーニング社製のガラス基板(#7059)を用意し、参考例2におけるAg薄膜層の成膜条件と同条件のRFマグネトロンスパッタリング法により、前記ガラス基板の一主表面上にAg薄膜層を形成した。次に、スパッタリングターゲットとしてB4 C(焼結体密度80%)を用い、スパッタリング時の真空度1×10-3Torr、雰囲気ガス=Arガス100%、出力50W、基板温度20℃、スパッタリング時間2分の条件でRFマグネトロンスパッタリングを行い、上記のAg薄膜層上にBとCからなる第2の炭化物セラミックス層を形成した。最後に、スパッタリングターゲットとしてIn2 O3 とZnOとからなる焼結体(In:Zn=2:1(モル比))を用い、スパッタリング時の真空度1×10-3Torr、雰囲気ガス=ArガスとO2 ガスとの混合ガス(O2 ガス濃度は0.28%)、出力100W、基板温度20℃、スパッタリング時間5分の条件でRFマグネトロンスパッタリングを行い、上記第2の炭化物セラミックス層上にIn2 O3 −ZnOからなるトップコート層を形成した。
上述のようにしてガラス基板の一主表面上にAg薄膜層、第2の炭化物セラミックス層およびトップコート層を順次積層することで目的とする積層体が得られ、同時に目的とする透明基板が得られた。
【0032】
このようにして得られた積層体について、これを構成する各層の膜厚と組成をAESデプスプロファイルにより測定したところ、Ag薄膜層の膜厚は50オングストローム、第2の炭化物セラミックス層の膜厚は20オングストローム、トップコート層の膜厚は400オングストロームであり、第2の炭化物セラミックス層の組成はB4 Cであった。また、In2 O3 −ZnOからなるトップコート層の抵抗率は5.7×10-4Ω・cmであり、このトップコート層におけるIn元素の割合(In元素とZn元素の合量に占めるIn元素の割合。以下の実施例においても同じ。)は、積層膜のICP分析(誘導結合プラズマ発光分光分析)の結果、66.7モル%であった。
この積層体を参考例1と同一条件でエッチングして電極とし、この電極の光透過率と電気抵抗値を測定した。また、前記の電極を10Vの電源にリード線を介して接続し、1000時間連続して通電した後の光透過率と電気抵抗値を測定した。これらの結果を表1に示す。
【0033】
実施例2
まず、透明基板としてコーニング社製のガラス基板(#7059)を用意し、RFマグネトロンスパッタリング法により前記ガラス基板の一主表面上にBとCからなる第1の炭化物セラミックス層を形成した。このとき、スパッタリングターゲットとしてはB4 C(焼結体密度80%)を用い、スパッタリング時の真空度は1×10-3Torr、雰囲気ガスはArガス100%、出力は50W、基板温度は20℃、スパッタリング時間は2分とした。次に、スパッタリングターゲットとしてAgを用い、スパッタリング時の真空度1×10-3Torr、雰囲気ガス=Arガス100%、出力50W、基板温度20℃、スパッタリング時間1分の条件でRFマグネトロンスパッタリングを行い、上記第1の炭化物セラミックス層上にAg薄膜層を形成した。さらに、上記第1の炭化物セラミックス層の成膜条件と同条件でRFマグネトロンスパッタリングを行い、上記のAg薄膜層上にBとCからなる第2の炭化物セラミックス層を形成した。最後に、実施例1におけるトップコート層の成膜条件と同条件でRFマグネトロンスパッタリングを行い、上記第2の炭化物セラミックス層上にIn2 O3 −ZnOからなるトップコート層を形成した。
上述のようにしてガラス基板の一主表面上に第1の炭化物セラミックス層層、Ag薄膜層、第2の炭化物セラミックス層およびトップコート層を順次積層することで目的とする積層体が得られ、同時に目的とする透明基板が得られた。
【0034】
このようにして得られた積層体について、これを構成する各層の膜厚と組成をAESデプスプロファイルにより測定したところ、第1の炭化物セラミックス層および第2の炭化物セラミックス層の膜厚は共に20オングストローム、Ag薄膜層の膜厚は50オングストローム、トップコート層の膜厚は400オングストロームであり、第1の炭化物セラミックス層および第2の炭化物セラミックス層の組成は共にB4 Cであった。また、In2 O3 −ZnOからなるトップコート層の抵抗率は5.7×10-4Ω・cmであり、このトップコート層におけるIn元素の割合は、積層膜のICP分析の結果、66.7モル%であった。
この積層体を参考例1と同一条件でエッチングして電極とし、この電極の光透過率と電気抵抗値を測定した。また、前記の電極を10Vの電源にリード線を介して接続し、1000時間連続して通電した後の光透過率と電気抵抗値を測定した。これらの結果を表1に示す。
【0035】
実施例3
まず、透明基板としてコーニング社製のガラス基板(#7059)を用意し、RFマグネトロンスパッタリング法により前記ガラス基板の一主表面上にIn2O3 −ZnOからなるアンダーコート層を形成した。このとき、スパッタリングターゲットとしてはIn2 O3 とZnOとからなる焼結体(In:Zn=2:1(モル比))を用い、スパッタリング時の真空度は1×10-3Torr、雰囲気ガスはArガスとO2 ガスとの混合ガス(O2 ガス濃度は0.28%)、出力は100W、基板温度は20℃、スパッタリング時間は5分とした。次に、スパッタリングターゲットとしてB4 C(焼結体密度80%)を用い、スパッタリング時の真空度1×10-3Torr、雰囲気ガス=Arガス100%、出力50W、基板温度20℃、スパッタリング時間2分の条件でRFマグネトロンスパッタリングを行い、上記のアンダーコート層上にBとCからなる第1の炭化物セラミックス層を形成した。
【0036】
次いで、スパッタリングターゲットとしてAgを用い、スパッタリング時の真空度1×10-3Torr、雰囲気ガス=Arガス100%、出力50W、基板温度20℃、スパッタリング時間1分の条件でRFマグネトロンスパッタリングを行い、上記第1の炭化物セラミックス層上にAg薄膜層を形成した。さらに、上記第1の炭化物セラミックス層の成膜条件と同条件でRFマグネトロンスパッタリングを行い、上記のAg薄膜層上にBとCからなる第2の炭化物セラミックス層を形成した。最後に、上記のアンダーコート層の成膜条件と同条件でRFマグネトロンスパッタリングを行い、上記第2の炭化物セラミックス層上にIn2 O3 −ZnOからなるトップコート層を形成した。
上述のようにしてガラス基板の一主表面上にアンダーコート層、第1の炭化物セラミックス層、Ag薄膜層、第2の炭化物セラミックス層およびトップコート層を順次積層することで目的とする積層体が得られ、同時に目的とする透明基板が得られた。
【0037】
このようにして得られた積層体について、これを構成する各層の膜厚と組成をAESデプスプロファイルにより測定したところ、第1の炭化物セラミックス層および第2の炭化物セラミックス層の膜厚は共に20オングストローム、Ag薄膜層の膜厚は50オングストローム、アンダーコート層およびトップコート層の膜厚は共に400オングストロームであり、第1の炭化物セラミックス層および第2の炭化物セラミックス層の組成は共にB4 Cであった。また、In2 O3 −ZnOからなるアンダーコート層およびトップコート層におけるIn元素の割合は、積層膜のICP分析の結果、共に66.7モル%であり、トップコート層の抵抗率は5.7×10-4Ω・cmであった。
この積層体を参考例1と同一条件でエッチングして電極とし、この電極の光透過率と電気抵抗値を測定した。また、前記の電極を10Vの電源にリード線を介して接続し、1000時間連続して通電した後の光透過率と電気抵抗値を測定した。これらの結果を表1に示す。
【0038】
参考例3
第1の炭化物セラミックス層および第2の炭化物セラミックス層を形成する際のスパッタリングターゲットとしてSiC(焼結体密度80%)を用いた以外は参考例1と同条件のRFマグネトロンスパッタリング法により各層を形成して、第1の炭化物セラミックス層、Ag薄膜層および第2の炭化物セラミックス層をガラス基板(コーニング社製の#7059)の一主表面上に順次積層した。これにより目的とする積層体が得られ、同時に目的とする透明基板が得られた。なお、この積層体では、第1の炭化物セラミックス層および第2の炭化物セラミックス層は共にSiとCからなる。
【0039】
このようにして得られた導電性積層体について、これを構成する各層の膜厚と組成をAESデプスプロファイルにより測定したところ、第1の炭化物セラミックス層および第2の炭化物セラミックス層の膜厚は共に400オングストローム、Ag薄膜層の膜厚は50オングストロームであり、第1の炭化物セラミックス層および第2の炭化物セラミックス層の組成は共にSiCであった。
この積層体を参考例1と同一条件でエッチングして電極とし、この電極の光透過率と電気抵抗値を測定した。また、前記の電極を10Vの電源にリード線を介して接続し、1000時間連続して通電した後の光透過率と電気抵抗値を測定した。これらの結果を表1に示す。
【0040】
実施例4
金属薄膜層を形成する際のスパッタリングターゲットとしてAg−Au合金(Ag70wt%)を用いた以外は実施例3と同条件のRFマグネトロンスパッタリング法により各層を形成して、アンダーコート層(In2 O3 −ZnO層)、第1の炭化物セラミックス層、Ag−Au合金薄膜層、第2の炭化物セラミックス層およびトップコート層(In2 O3 −ZnO層)をガラス基板(コーニング社製の#7059)の一主表面上に順次積層した。これにより目的とする積層体が得られ、同時に目的とする透明基板が得られた。
【0041】
このようにして得られた積層体について、これを構成する各層の膜厚と組成をAESデプスプロファイルにより測定したところ、第1の炭化物セラミックス層および第2の炭化物セラミックス層の膜厚は共に20オングストローム、Ag−Au合金薄膜層の膜厚は50オングストローム、アンダーコート層およびトップコート層の膜厚は共に400オングストロームであり、第1の炭化物セラミックス層および第2の炭化物セラミックス層の組成は共にB4 Cであった。また、In2 O3 −ZnOからなるアンダーコート層およびトップコート層におけるIn元素の割合は、積層膜のICP分析の結果、共に66.7モル%であり、トップコート層の抵抗率は5.7×10-4Ω・cmであった。
この積層体を参考例1と同一条件でエッチングして電極とし、この電極の光透過率と電気抵抗値を測定した。また、前記の電極を10Vの電源にリード線を介して接続し、1000時間連続して通電した後の光透過率と電気抵抗値を測定した。これらの結果を表1に示す。
【0042】
実施例5
透明基板としてポリカーボネートフィルム(厚さ100μm)を用い、各層の成膜条件は実施例3と同条件として、アンダーコート層(In2 O3 −ZnO層)、第1の炭化物セラミックス層、Ag薄膜層、第2の炭化物セラミックス層およびトップコート層(In2 O3 −ZnO層)を前記のポリカーボネートフィルムの一主表面上に順次積層した。これにより目的とする積層体が得られ、同時に目的とする透明基板が得られた。
【0043】
このようにして得られた積層体について、これを構成する各層の膜厚と組成をAESデプスプロファイルにより測定したところ、第1の炭化物セラミックス層および第2の炭化物セラミックス層の膜厚は共に20オングストローム、Ag薄膜層の膜厚は50オングストローム、アンダーコート層およびトップコート層の膜厚は共に400オングストロームであり、第1の炭化物セラミックス層および第2の炭化物セラミックス層の組成は共にB4 Cであった。また、In2 O3 −ZnOからなるアンダーコート層およびトップコート層におけるIn元素の割合は、積層膜のICP分析の結果、共に66.7モルであり、トップコート層の抵抗率は5.7×10-4Ω・cmであった。
この積層体を参考例1と同一条件でエッチングして電極とし、この電極の光透過率と電気抵抗値を測定した。また、前記の電極を10Vの電源にリード線を介して接続し、1000時間連続して通電した後の光透過率と電気抵抗値を測定した。これらの結果を表1に示す。
【0044】
実施例6
アンダーコート層およびトップコート層を形成する際のスパッタリングターゲットとしてIn2 O3 とGa2 O3 とからなる焼結体(In:Ga=2:1(モル比))を用いた以外は実施例3と同条件のRFマグネトロンスパッタリング法により各層を形成して、アンダーコート層(In2 O3 −Ga2 O3 層)、第1の炭化物セラミックス層、Ag薄膜層、第2の炭化物セラミックス層およびトップコート層(In2 O3 −Ga2 O3 層)をガラス基板(コーニング社製の#7059)の一主表面上に順次積層した。これにより目的とする積層体が得られ、同時に目的とする透明基板が得られた。
【0045】
このようにして得られた積層体について、これを構成する各層の膜厚と組成をAESデプスプロファイルにより測定したところ、第1の炭化物セラミックス層および第2の炭化物セラミックス層の膜厚は共に20オングストローム、Ag薄膜層の膜厚は50オングストローム、アンダーコート層およびトップコート層の膜厚は共に400オングストロームであり、第1の炭化物セラミックス層および第2の炭化物セラミックス層の組成は共にB4 Cであった。また、In2 O3 −Ga2 O3 からなるアンダーコート層およびトップコート層におけるIn元素の割合(In元素とGa元素の合量に占めるIn元素の割合)は、積層膜のICP分析の結果、共に66.7モル%であり、トップコート層の抵抗率は1.2×10-3Ω・cmであった。
この積層体を参考例1と同一条件でエッチングして電極とし、この電極の光透過率と電気抵抗値を測定した。また、前記の電極を10Vの電源にリード線を介して接続し、1000時間連続して通電した後の光透過率と電気抵抗値を測定した。これらの結果を表1に示す。
【0046】
実施例7
片面に膜厚20000オングストロームのエポキシアクリレート層を有するポリカーボネートフィルム(ポリカーボネート層の厚さは100μm)を透明基板として用い、各層の成膜条件は実施例3と同条件として、In2 O3 −ZnO層、第1の炭化物セラミックス層、Ag薄膜層、第2の炭化物セラミックス層およびトップコート層(In2 O3 −ZnO層)を前記ポリカーボネートフィルムを構成するエポキシアクリレート層上に順次積層した。これにより目的とする積層体が得られ、同時に目的とする透明基板が得られた。なお、この積層体においては、エポキシアクリレート層とこのエポキシアクリレート層上に形成されたIn2 O3 −ZnO層とでアンダーコート層が形成されている。
【0047】
このようにして得られた積層体について、これを構成する各層の膜厚と組成を積層体断面のSEM(走査型電子顕微鏡)観察とAESデプスプロファイルにより測定したところ、アンダーコート層の膜厚は20400オングストローム(このうちIn2 O3 −ZnO層の膜厚は400オングストローム)、第1の炭化物セラミックス層および第2の炭化物セラミックス層の膜厚は共に20オングストローム、Ag薄膜層の膜厚は50オングストローム、トップコート層の膜厚は400オングストロームであり、第1の炭化物セラミックス層および第2の炭化物セラミックス層の組成は共にB4 Cであった。また、アンダーコート層を構成するIn2 O3 −ZnO層およびトップコート層としてのIn2 O3 −ZnO層におけるIn元素の割合(In元素とZn元素の合量に占めるIn元素の割合)は、積層膜のICP分析の結果、共に66.7モル%であり、トップコート層の抵抗率は5.7×10-4Ω・cmであった。
この積層体を参考例1と同一条件でエッチングして電極とし、この電極の光透過率と電気抵抗値を測定した。また、前記の電極を10Vの電源にリード線を介して接続し、1000時間連続して通電した後の光透過率と電気抵抗値を測定した。これらの結果を表1に示す。
【0048】
実施例8
実施例7と同じポリカーボネートフィルム(片面にエポキシアクリレート層を有するもの)を透明基板として用い、前記のエポキシアクリレート層上にRFマグネトロンスパッタリング法によりSiO2 層を形成した後、このSiO2 層上に第1の炭化物セラミックス層、Ag薄膜層、第2の炭化物セラミックス層およびトップコート層(In2 O3 −ZnO層)をそれぞれ実施例7と同条件のRFマグネトロンスパッタリング法により順次積層した。これにより目的とする積層体が得られ、同時に目的とする透明基板が得られた。なお、この積層体においては、エポキシアクリレート層とこのエポキシアクリレート層上に形成されたSiO2 層とでアンダーコート層が形成されている。また、SiO2 層の形成にあたってはスパッタリングターゲットとしてSiO2 (焼結体密度80%)を用い、スパッタリング時の真空度は1×10-3Torr、雰囲気ガスはArガスとO2ガスとの混合ガス(O2 ガス濃度は0.28%)、出力は100W、基板温度は20℃、スパッタリング時間は5分とした。
【0049】
このようにして得られた積層体について、これを構成する各層の膜厚と組成を積層体断面のSEM観察とAESデプスプロファイルにより測定したところ、アンダーコート層の膜厚は20400オングストローム(このうちSiO2 層の膜厚は400オングストローム)、第1の炭化物セラミックス層および第2の炭化物セラミックス層の膜厚は共に20オングストローム、Ag薄膜層の膜厚は50オングストローム、トップコート層の膜厚は400オングストロームであり、第1の炭化物セラミックス層および第2の炭化物セラミックス層の組成は共にB4Cであった。また、In2 O3 −ZnOからなるトップコート層におけるIn元素の割合は、積層膜のICP分析の結果、66.7モル%であり、このトップコート層の抵抗率は5.7×10-4Ω・cmであった。
この積層体を参考例1と同一条件でエッチングして電極とし、この電極の光透過率と電気抵抗値を測定した。また、前記の電極を10Vの電源にリード線を介して接続し、1000時間連続して通電した後の光透過率と電気抵抗値を測定した。これらの結果を表1に示す。
【0050】
比較例1
まず、透明基板としてコーニング社製のガラス基板(#7059)を用意し、RFマグネトロンスパッタリング法により前記ガラス基板の一主表面上にTiO2 層(以下、第1のTiO2 層という)を形成した。このとき、スパッタリングターゲットとしてはTiO2 (焼結体密度80%)を用い、スパッタリング時の真空度は1×10-3Torr、雰囲気ガスはArガスとO2 ガスとの混合ガス(O2ガス濃度は0.28%)、出力は100W、基板温度は20℃、スパッタリング時間は10分とした。次に、参考例1におけるAg薄膜層の形成と同条件でRFマグネトロンスパッタリングを行い、上記第1のTiO2 層上にAg薄膜層を形成した。最後に、上記第1のTiO2 層の成膜条件と同条件でRFマグネトロンスパッタリングを行い、上記のAg薄膜層上にTiO2 層(以下、第2のTiO2 層という)を形成した。
上述のようにしてガラス基板の一主表面上に第1のTiO2 層、Ag薄膜層および第2のTiO2 層を順次積層することで積層体が得られた。
【0051】
このようにして得られた積層体について、これを構成する各層の膜厚をAESデプスプロファイルにより測定したところ、第1のTiO2 層および第2のTiO2 層の膜厚は共に400オングストローム、Ag薄膜層の膜厚は50オングストロームであった。
この積層体を参考例1と同一条件でエッチングして電極とし、この電極の光透過率と電気抵抗値を測定した。また、前記の電極を10Vの電源にリード線を介して接続し、1000時間連続して通電した後の光透過率と電気抵抗値を測定した。これらの結果を表1に示す。
【0052】
【表1】
【0053】
表1から明らかなように、実施例1〜実施例8で得られた各積層体はエッチング法により所定形状の電極に成形した後でも光透過性に優れており、かつ、これらの電極の導電性(1000時間連続して通電する前の段階での導電性)は比較例1で得られた積層体からエッチング法により形成した電極の導電性よりも高い。さらに、実施例1〜実施例8で得られたそれぞれの積層体からエッチング法により形成した各電極の導電性および光透過性は、1000時間連続して通電した後でも通電前と殆ど変化していない。このことから、実施例1〜実施例8で得られた各積層体は、導電性および光透過性の点で耐久性に優れていることがわかる。
一方、比較例1で得られた積層体からエッチング法により形成した電極の導電性(1000時間連続して通電する前の段階での導電性)は実施例1〜実施例8で形成した各電極の導電性より低く、かつ、この電極の導電性および光透過性は1000時間連続して通電した後に大きく低下している。
【0054】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば導電性および耐久性に優れた導電性積層体およびこの導電性積層体を利用した導電性透明基板を提供することが可能になる。
Claims (10)
- 基板の所定面上に直接または第1の炭化物セラミックス層を介して若しくはアンダーコート層と前記第1の炭化物セラミックス層とを介して設けられた金属薄膜層と、この金属薄膜層上に設けられた第2の炭化物セラミックス層と、この第2の炭化物セラミックス層上に設けられた抵抗率が1×102Ω・cm以下の透明導電性酸化物からなるトップコート層とを有することを特徴とする導電性積層体。
- 金属薄膜層がAu,Ag,Cu,PtおよびAlからなる群より選択された1種または複数種からなる、請求項1に記載の導電性積層体。
- 第2の炭化物セラミックス層がB4Cおよび/またはSiCからなる、請求項1または請求項2に記載の導電性積層体。
- 第1の炭化物セラミックス層がB4Cおよび/またはSiCからなる、請求項1〜請求項3のいずれかに記載の導電性積層体。
- アンダーコート層が透明金属酸化物および/または透明樹脂からなる、請求項1〜請求項4のいずれかに記載の導電性積層体。
- 透明基板と、この透明基板の所定面上に直接または第1の炭化物セラミックス層を介して若しくはアンダーコート層と前記第1の炭化物セラミックス層とを介して設けられた金属薄膜層と、この金属薄膜層上に設けられた第2の炭化物セラミックス層と、この第2の炭化物セラミックス層上に設けられた抵抗率が1×102Ω・cm以下の透明導電性酸化物からなるトップコート層とを有することを特徴とする導電性透明基板。
- 金属薄膜層がAu,Ag,Cu,PtおよびAlからなる群より選択された1種または複数種からなる、請求項6に記載の導電性透明基板。
- 第2の炭化物セラミックス層がB4Cおよび/またはSiCからなる、請求項6または請求項7に記載の導電性透明基板。
- 第1の炭化物セラミックス層がB4Cおよび/またはSiCからなる、請求項6〜請求項8のいずれかに記載の導電性透明基板。
- アンダーコート層が透明金属酸化物および/または透明樹脂からなる、請求項6〜請求項9のいずれかに記載の導電性透明基板。
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