JP3562628B2 - 拡散バリア膜、多層配線構造、およびそれらの製造方法 - Google Patents

拡散バリア膜、多層配線構造、およびそれらの製造方法 Download PDF

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Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、配線材料として銅（Ｃｕ）を用いた半導体集積回路の構造及びその製造方法に関するものであり、特に、銅配線からの銅拡散を防止する拡散バリア膜、その拡散バリア膜を有する多層配線構造、およびそれらの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置の微細化の進展に伴い、配線遅延がシリコンＵＬＳＩデバイスの性能に及ぼす影響が増大し、従来のアルミニウム配線材を銅に置きかえることが必要となってきている。銅の比抵抗はアルミニウムの比抵抗の７０％程度であるが、銅は、アルミニウムと異なり、その表面層に酸化膜不動態を形成しないため、腐食しやすい。
【０００３】
また、銅は珪素（シリコン：Ｓｉ）及び二酸化珪素（二酸化シリコン：ＳｉＯ２）中を非常に大きい速度で拡散するため、シリコン基板に形成されるＭＯＳＦＥＴ中に浸入すると、キャリヤーライフタイムの劣化を引き起こす。
【０００４】
このため、銅配線を用いた半導体装置においては、銅の配線層間絶縁膜への銅拡散を防止するための拡散防止膜（拡散バリア膜）を設けることが必要となる。さらに、拡散バリア膜は、配線信頼性を保持するために、層間絶縁膜及び銅との密着性が高くなくてはならない。
【０００５】
このため、これまでに、半導体集積回路における銅配線膜からの銅の拡散を防止するためのバリアメタル層の構造及びその製造方法について、多くの提案がなされている。
【０００６】
例えば、「Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｗｏｒｌｄ」（１９９８年２月発行、筆者粟屋信義）の９１−９４頁（以下、「従来例１」と呼ぶ）、「Ａｄｖａｎｃｅｄ Ｍｅｔ ａｌｌｉｚａｔｉｏｎ ａｎｄ Ｉｎｔｅｒｃｏｎｎｅｃｔ Ｓｙｓｔｅｍｓ ｆｏｒ ＵＬＳＩ Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓ ｉｎ １９９７」（１９９８年発行、筆者 キー−ウォン・クウォン（Ｋｅｅ−Ｗｏｎ Ｋｗｏｎ））の７１２頁１７行−７１３頁１０行及び図３−５（以下、「従来例２」と呼ぶ）、「Ｊｏｕｒｎａｌ Ｅｌｅｃｔｒｏｃｈｅｍｉｃａｌ Ｓｏｃｉｅｔｙ」（１９９８年７月発行、筆者 エム・ティー・ワン（Ｍ．Ｔ．Ｗａｎｇ））の２５３８−２５４５頁（以下、「従来例３」と呼ぶ）、「１９９８ Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ ｏｎ ＶＬＳＩ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｄｉｇｅｓｔ ｏｆ Ｔｅｃｈｎｉｃａｌ Ｐａｐｅｒｓ」（１９９８年発行、筆者 ディー・デニング（Ｄ．Ｄｅｎｎｉｎｇ）他）の２２−２３頁（以下、「従来例４」と呼ぶ）にバリアメタル層についての考察がなされている。
【０００７】
また、特開平８−１３９０９２号公報、特開平８−２７４０９８号公報、特開平９−６４０４４号公報、特開平１０−２５６２５６号公報及び特願平１０−３３０９３８号には、銅拡散を防止するためのバリアメタル層の構造及びその製造方法が提案されている。
【０００８】
一般に、銅はドライエッチングを行うことが困難であることから、化学機械研摩法（ＣＭＰ：Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ）を利用して銅配線を形成する。
【０００９】
具体的には、下地銅配線上に絶縁膜を形成し、この絶縁膜に配線溝と、下地配線層に至る孔とを形成する。次に、配線溝と孔の表面層に薄い拡散バリア膜を形成する。この際、配線溝と孔の表面層が完全に拡散バリア膜で覆われているようにする。未覆領域からの銅の拡散を防止するためである。その後、電解メッキ法、ＣＶＤ法あるいはスパッタ法によって、拡散バリア膜で覆われた配線溝と孔とを埋め込みながら銅膜を成長し、ＣＭＰ法によって、絶縁膜表面に形成された銅膜と拡散バリア膜とを選択的に除去する。
【００１０】
このように、拡散バリア膜には、先に述べた銅の拡散防止性と銅に対する密着性に加えて、高い被覆性が要求される。
【００１１】
このような銅配線に対する拡散バリア膜の材質としては、従来例１に記載されているように、高融点金属（タングステン（Ｗ）、タンタル（Ｔａ）など）やその窒化物（窒化タングステン（ＷＮ）、チタン（Ｔｉ）、窒化チタン（ＴｉＮ）、窒化タンタル（ＴａＮ）など）が検討されている。
【００１２】
例えば、従来例２に記載されているように、Ｔａバリア膜はその上にスパッタ法により形成される銅膜との密着性が良く、銅膜の結晶性を改善することができる。しかしながら、銅はＴａ膜中へも拡散するため、銅膜の下に形成されるＴａバリア膜は５０ｎｍ以上の膜厚を有することが必要となる。
【００１３】
しかしながら、従来例４には、Ｔａ膜上にＣＶＤ法により銅膜を成膜した場合、銅とＴａＮとの界面にフッ素（Ｆ）が偏析し、密着性が劣化することが報告されている。
【００１４】
また、従来例３に記載されているように、（２００）及び（１１１）方向に配向した結晶質ＴａＮバリア膜は、結晶質Ｔａバリア膜と比較して、銅拡散阻止の機能に富むことが報告されている。
【００１５】
また、銅の拡散防止機能と銅に対する密着性を改善する方策として、金属膜と金属窒化膜とを積層する試みもなされている。
【００１６】
例えば、上記の特願平１０−３３０９３８号には、チタンを金属膜として用いた、スパッタ法による積層バリア膜の製造方法が記載されている。図３２に示すように、この製造方法においては、まず、Ａｒガスのみをスパッタチャンバー内に導入し、チタン膜１を成膜する。その後、窒素ガスを導入することにより、チタンと窒素の反応を補助的に利用しながら、チタン膜１上に窒化チタン薄膜２を形成する。このようにして、チタン膜１と窒化チタン薄膜２とからなる積層バリア構造３が形成される。この製造方法においては、スパッタ前処理として下地配線膜表面の金属酸化膜を除去するために、アルゴンプラズマ処理が行われる。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】
以上のような従来の銅の拡散バリア膜は、以下に述べるような技術的課題を有するものであった。
【００１８】
第１の技術的課題は、銅に対する拡散防止性能と銅との密着性を兼ね備えた拡散バリア膜を作ることが難しいことである。
【００１９】
図３３に示すように、半導体基板４上に結晶化した柱状構造の金属膜５を成膜した場合を想定する。この金属膜５においては、一個の結晶の集まりであるグレイン６と、グレイン６の界面となる粒界７とが金属膜５の表面から底部に至るまで存在するため、この粒界７が銅の拡散する経路８となる。このため、金属膜５の銅拡散のバリア性は低いものとなる。
【００２０】
また、図３４に示すように、タングステン（Ｗ）、チタン（Ｔｉ）、タンタル（Ｔａ）などの比抵抗が小さい金属を用いて、半導体基板４上に金属膜５ａを形成すると、金属膜５ａは多結晶構造となる。このため、この金属膜５ａは、図３３に示した金属膜５と同様の柱状構造となってしまい、銅拡散に対するバリア性が低いものとなる。
【００２１】
ただし、通常のＴａ膜のスパッタにおいて得られるようなβ−Ｔａ（００２）膜などの結晶化した金属膜上にスパッタ法により銅を成膜した場合には、銅の拡散防止性は劣るものの密着性に優れ、結晶配向性に富んだ銅膜を形成することができることから、銅配線の信頼性は向上する。
【００２２】
一方、図３４に示すような半導体基板４上に成膜された非晶質（アモルファス）のＴａＮのような微粒子９からなる金属膜５ａにおいては、比抵抗も約２００−２５０μΩ−ｃｍと低く、図３３に示したような結晶化した金属膜５と異なり、銅の拡散経路８も存在しないため、銅拡散に対するバリア性は非常に高いものとなる。
【００２３】
しかしながら、金属膜５ａの表面はアモルファス状で結晶格子が均等に配列されていないため、この非晶質（アモルファス）状膜上にＣＶＤ法又はスパッタ法により銅を成膜すると、銅の結晶性と銅に対する密着性が劣化する。
【００２４】
このように、結晶質の金属膜あるいは非晶質の金属窒化膜のみからなる単層構造膜においては、銅の拡散防止性と密着性に富んだ拡散バリア膜を得ることは困難である。
第２の技術的課題は、単層構造の拡散バリア膜の欠点を回避することを目的として、拡散バリア膜を多層構造膜とする際に発生するものである。
【００２５】
例えば、銅との密着性が高い結晶質の金属膜とＴａＮのような拡散バリア性の高い非晶質の金属窒化膜との積層構造として拡散バリア膜を形成すると、銅の拡散防止性と密着性に富んだ拡散バリア膜を得ることができる。
【００２６】
しかしながら、従来は、結晶質の金属膜と非晶質の金属窒化膜とを連続的にスパッタ成膜することが不可能あったため、結晶質の金属膜と非晶質の金属窒化膜とをそれぞれ別個に、すなわち、２回に分けて成膜を行うか、あるいは、異なる２つ以上のスパッタ成膜チャンバーを用いる必要があった。
【００２７】
例えば、上記の特願平１０−３３０９３８号においては、スパッタ成膜チャンバーにＡｒガスを導入してチタン膜を成膜した後、窒素ガスを導入して窒化チタンを成膜している。しかしながら、この方法によれば、チタン膜を成膜してから窒化チタンの成膜を行うまでの間においては、導入ガスの混合比を変化させることによりチャンバー内のＡｒと窒素の分圧が安定するまで、窒化チタンの成膜を行うことはできないため、生産性が時間的に非効率なものとならざるを得ない。
【００２８】
第３の技術的課題は、スパッタ膜の被覆性に関するものである。
【００２９】
一般に、金属膜及びその金属窒化膜をスパッタ成膜する場合、回転磁場と直流バイアス印加によって発生するＡｒプラズマで金属ターゲットを叩き、対極に設置されている基板に金属膜あるいはその窒化膜を成長させる。
【００３０】
この場合、スパッタ圧力は１Ｐａ以下の低圧力である。Ａｒプラズマで叩かれた金属粒子は基板表面に対してランダムに照射されるため、例えば、基板表面に深い配線溝や孔が存在した場合、これらの開口部を完全に覆うように金属膜を成長することは困難であった。また、スパッタ圧力が低いため、Ａｒプラズマ密度が低く、基板表面に被着した金属膜をＡｒプラズマ粒子で叩くという再スパッタ効果を期待することはできない。
【００３１】
被覆性を向上させるためにスパッタターゲットと基板との間に多数の孔を形成した金属板を設置して、この孔を通過させることにより、スパッタ金属粒子の方向性を揃えるコリメートスパッタ法が提案されている。このコリメートスパッタ法によれば、基板表面に形成された開口部の底面に金属膜を成長することは可能であるが、開口部の側面に金属膜を付着させることは困難であった。
【００３２】
第４の技術的課題は、銅膜との間で良好な密着性を有する結晶性の金属膜は大気中と容易に反応して表面反応層を形成する点である。
このような表面反応層は銅膜との密着性を著しく劣化させてしまう。
【００３３】
第５の技術的課題は、銅酸化膜の再付着の問題である。
拡散バリア膜のスパッタ成長前に下地配線金属膜表面の酸化膜を除去するため、Ａｒプラズマ処理が行われる。下地配線が銅の場合、銅酸化膜がＡｒスパッタにより飛散し、絶縁膜に形成された孔の表面に銅酸化膜が再付着してしまうという問題があった。
【００３４】
第６の技術的課題は、ＣＶＤ法により、Ｔａ膜及び非晶質のＴａＮ膜上に銅膜を成膜した場合、銅と拡散バリア層との間の密着性が悪くなる点である。
【００３５】
本発明は、以上のような従来技術における間題点に鑑みてなされたものであり、銅配線を用いた半導体装置において、銅の半導体装置中への拡散を防止する拡散バリア性能と、銅及び配線層間膜の間の密着性能とを兼ね備えた拡散バリア膜、そのような拡散バリア膜を有する多層配線構造、及び、そのような拡散バリア膜の製造方法を提供することを目的とする。
【００３６】
さらには、本発明は、上記のような拡散バリア膜上に銅を埋め込んだ銅多層配線の製造方法を提供することを目的とする。
【００３７】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するため、本発明の請求項１は、半導体基板上の絶縁膜に埋設された銅配線からの銅拡散を防止する拡散バリア膜において、前記拡散バリア膜は、非晶質の金属窒化膜と該金属窒化膜上に形成された結晶質の窒素含有金属膜とからなる積層構造を有し、前記拡散バリア膜を構成する金属原子種は同一であり、前記絶縁膜から前記銅配線に至る方向において前記拡散バリア膜中の窒素濃度が減少していることを特徴とする拡散バリア膜を提供する。
【００３８】
また、請求項５は、半導体基板上の絶縁膜に埋設された銅配線からの銅拡散を防止する拡散バリア膜を有する多層配線の構造において、前記拡散バリア膜は、非晶質の金属窒化膜と該金属窒化膜上に形成された結晶質の窒素含有金属膜とからなる積層構造を有し、前記拡散バリア膜を構成する金属原子種は同一であり、前記絶縁膜から前記銅配線に至る方向において前記拡散バリア膜中の窒素濃度が減少していることを特徴とする多層配線構造を提供する。
【００３９】
この多層配線構造においては、請求項６に記載されているように、拡散バリア膜は、下地配線層上の絶縁膜に形成された配線溝及び孔の表面を覆うように形成されていることが好ましい。
【００４０】
また、請求項７に記載されているように、窒素含有金属膜上には銅膜を形成することができる。
また、金属原子種としては、タンタル、タングステン、モリブデン、ニオブあるいはこれらの混合物をもちいることができる。
【００４１】
請求項１１は、スパッタ法による拡散バリア膜の製造方法において、窒素含有ガスを用い、プラズマを発生させる電源のパワーのみを変化させ、スパッタターゲットの金属原子種を成分とする結晶質の窒素含有金属膜と非晶質の金属窒化膜とからなる積層構造の拡散バリア膜を連続的に形成することを特徴とする拡散バリア膜の製造方法を提供する。
【００４２】
また、請求項１２は、回転磁場とＲＦパワーとを利用するＲＦマグネトロンスパッタ方式による拡散バリア膜の製造方法であって、窒素含有ガスを用い、ＲＦパワーを変化させ、スパッタターゲットの金属原子種を成分とする結晶質の窒素含有金属膜と非晶質の金属窒化膜とからなる積層構造の拡散バリア膜を連続的に形成することを特徴とする拡散バリア膜の製造方法を提供する。
【００４３】
請求項１３に記載されているように、窒素含有ガスの圧力は５Ｐａ以上であることが好ましい。
【００４４】
また、請求項１４に記載されているように、窒素含有ガスの窒素ガス濃度は１０％以下であることが好ましい。
【００４５】
請求項１５に記載されているように、スパッタターゲットの金属原子種としては、タンタル、タングステン、チタン、モリブデン、ニオブあるいはこれらの混合物から選択することができる。
【００４６】
請求項１６は、ＲＦマグネトロンスパッタ方式による拡散バリア膜の製造方法であって、プラズマガス中の窒素濃度を一定値に維持した状態において、プラズマ発生電源を第一の値のパワーに設定し、第一の膜を成膜する過程と、所望の膜厚が得られた瞬間にプラズマ発生電源を第一の値よりも大きい第二の値のパワーに設定し、第一の膜上に第二の膜を成膜する過程と、を備え、前記第一の膜は非晶質の金属窒化膜であり、前記第二の膜は結晶質の窒素含有金属膜であることを特徴とする拡散バリア膜の製造方法を提供する。
【００４８】
請求項２２は、半導体基板上の絶縁膜に形成された配線溝あるいは孔に対して水素含有アルゴンのプラズマを照射処理する工程と、大気に曝すことなく、配線溝あるいは孔の表面層を覆うように、結晶質の窒素含有金属膜と非晶質の金属窒化膜からなる積層構造の拡散バリア膜を形成する工程と、大気に曝すことなく、拡散バリア膜上に銅薄膜を成長する工程と、を備える多層配線構造の製造方法を提供する。
【００４９】
拡散バリア膜は、請求項２３に記載されているように、例えば、スパッタ法により形成することができる。
【００５０】
また、銅薄膜は、請求項２４に記載されているように、例えば、真空成膜法により形成することができる。
【００５１】
真空成膜法としては、請求項２５に記載されているように、例えば、有機金属錯体の熱不均化反応を用いる熱化学気相堆積法（熱ＣＶＤ法）を用いることができる。あるいは、請求項２６に記載されているように、銅ターゲットを用いたスパッタ法を用いることができる。
【００５２】
請求項２、８、２０、２７に記載されているように、非晶質金属窒化膜の膜厚は８０乃至１５０オングストロームであることが好ましい。
【００５３】
請求項３、９、２１、２８に記載されているように、結晶質窒素含有金属膜の膜厚は６０乃至３００オングストロームであることが好ましい。
【００５４】
【作用】
本発明に係る拡散バリア膜によれば、銅膜と直接的に接する膜は結晶質の窒素含有金属膜であるため、密着性と銅膜の高い結晶性を確保することができる。
【００５５】
また、金属結晶中に窒素を含有させたことにより、純粋な金属結晶膜と比較して、銅の拡散を抑制させることができる。
【００５６】
さらには、本発明に係る拡散バリア膜によれば、結晶質の窒素含有金属膜の下に非晶質の金属窒化膜が存在するため、銅の拡散を防止することができるとともに、下地絶縁膜（ここでは、シリコン酸化膜）との密着性をも確保することができる。すなわち、本発明に係る拡散バリア膜上に銅配線膜を形成することにより、銅配線膜の高結晶性と密着性とを確保することができると同時に、銅拡散を防止することができるという効果を発揮する。
【００５７】
また、本発明に係る拡散バリア膜の製造方法によれば、窒素含有ガスを用いるスパッタ法におけるプラズマ発生電源パワーのみを変化させることによって、スパッタターゲットの金属原子種を成分とする結晶質の窒素含有金属膜と非晶質の金属窒化膜とからなる積層構造を連続的に形成することが可能になる。
【００５８】
具体的には、プラズマガス中の窒素濃度を一定に保った状態で、先ず、プラズマ発生電源を低パワーとして成膜を行うと、ターゲット金属と窒素との十分な反応により、非晶質の金属窒化膜が成長する。その直後に、プラズマ発生電源を高パワーに変化させ、窒素とターゲット金属との間の十分な反応時間を与えることなく膜成長させることにより、結晶質の窒素含有金属膜が得られる。その結果、同一チャンバー内において、結晶質の窒素含有金属膜と非晶質の金属窒化膜とからなる積層構造の拡散バリア膜を連続的に効率良く成膜することができるといった効果を発揮する。
【００５９】
また、本発明に係る拡散バリア膜の製造方法によれば、回転磁場とＲＦパワーとを導入したＲＦマグネトロンスパッタ方式を採用し、窒素含有ガスの圧力が５Ｐａ以上であるようなスパッタを実現することを可能にしているため、スパッタガスの主成分であるＡｒプラズマ密度を向上させて基板開口部の全面に渡る被覆性を確保できるという効果を得ることができる。
【００６０】
また、本発明による拡散バリア膜の製造方法は、半導体基板上の絶縁膜に形成された配線溝あるいは孔に対して水素含有アルゴンのプラズマを照射処理する工程を含む。この工程により、下地銅配線層の表面に形成されていた銅酸化膜を還元して金属銅に戻すことができ、ひいては、絶縁膜に形成された孔の表面への銅酸化膜の再スパッタ被着を大幅に減らすことができる。
【００６１】
さらに、その後、大気に曝すことなく、配線溝あるいは孔の表面層を覆うように結晶質の窒素含有金属膜と非晶質の金属窒化膜とからなる積層構造の拡散バリア膜を形成する工程と真空成膜法により銅薄膜を成長する工程とにより、金属酸化膜層を界面に介在させずに、拡散バリア膜／銅配線膜からなる構造を得ることができるという効果を発揮する。
【００６２】
【発明の実施の形態】
次に、図１乃至図４を参照して、本発明の第一の実施の形態に係る拡散バリア膜の製造方法を説明する。
【００６３】
図１に示すように、半導体基板１１上には、第一の絶縁膜１２ａが形成され、この第１の絶縁膜１２ａには銅配線４４が形成されている。第一の絶縁膜１２ａ上には、第二の絶縁膜１２ｂが形成されており、この第二の絶縁膜１２ｂの表面には配線溝１３が形成され、配線溝１３の底面には、第一の絶縁膜１２ａに達する孔１４が配線溝１３と連続して形成されている。
【００６４】
先ず、第１のチャンバーにおいて、半導体基板１１を水素含有アルゴンプラズマに曝し、下地銅配線４４の表面に形成された銅酸化膜を還元除去する。次いで、かかる半導体基板１１を真空搬送し、第２のチャンバーにおいて、窒素含有ガスを用いて、高融点金属ターゲットからのスパッタ成膜を行う。
【００６５】
この際、プラズマガス中の窒素濃度を一定に保った状態で、まず、プラズマ発生電源を低パワーにして成膜を行うと、ターゲット金属と窒素との十分な反応により、図２に示すように、非晶質の金属窒化膜１５が成長する。その後、プラズマ発生電源を瞬時に高パワーに変化させ、窒素とターゲット金属との十分な反応時間を与えることなく、膜成長を行うことにより、非晶質の金属窒化膜１５上に結晶質の窒素含有金属膜１６を得る。
【００６６】
その結果、図２に示すように、積層構造を有する拡散バリア膜１７を配線溝１３及び孔１４の側壁部及び底部において同一チャンバー内で連続的に効率良く成膜することができる。この拡散バリア膜１７のスパッタ成長の際、スパッタ圧力を十分に高くすることにより、拡散バリア膜１７の被覆性を向上させることができる。
【００６７】
その後、半導体基板１１を真空搬送し、第３のチャンバーにおいて、図３に示すように、拡散バリア膜１７上に銅膜１８を真空成膜し、配線溝１３及び孔１４を銅膜１８で埋め込む。この際、拡散バリア膜１７の表面は結晶質の窒素含有金属膜１６であり、かつ、半導体基板１１の真空搬送により、窒素含有金属膜１６の表面には酸化膜が形成されていない。
【００６８】
最後に、図４に示すように、ＣＭＰ法で第二の絶縁膜１２ｂの表面に形成されている拡散バリア膜１７と銅膜１８とを選択的に除去することにより、信頼性の高い銅配線を得ることができる。
【００６９】
銅の拡散バリア性の向上の原因は金属膜１６に窒素を含有させたことである。また、この窒素含有金属膜１６は銅との密着性を確保することに大きな効果を有する。非晶質金属窒化膜１５も銅拡散防止に効力を発揮する他、下地層間絶縁膜１２ｂとの密着性の向上に大きく寄与する。その結果、銅膜１８と拡散バリア膜１７との間の密着性を確保することができ、また、銅膜１８から第二の絶縁膜１２ｂへの銅の拡散も防止することができる。
【００７０】
【実施例】
以下、上記の第一の実施形態の各実施例について説明する。
【００７１】
【第一の実施例】
第一の実施例においては、結晶性の窒素含有金属と非晶質の金属窒化膜とからなる積層構造を形成するスパッタ法について説明する。
【００７２】
第一の実施例におけるスパッタ法は、図５に示すＲＦマグネトロンスパッタ装置において実行される。
【００７３】
図５に示すＲＦマグネトロンスパッタ装置においては、ドライポンプ、クライオポンプ及びターボポンプなどの排気ポンプ３３により、チャンバー２１は、その内部圧力が約１×１０−７Ｐａ乃至約１×１０−６Ｐａの真空状態になるように、排気されている。チャンバー２１には基板加熱ヒーター３４が設置されており、チャンバー２１内に導入された半導体基板２２を約２０乃至３００℃に加熱することができるようになっている。また、金属ターゲット２８と半導体基板２２との間の距離は１０２ｍｍ乃至１３４ｍｍの範囲内において変化させることが可能である。
【００７４】
また、アルゴン（Ａｒ）ガスと窒素（Ｎ２）ガスとがそれぞれマスフローコントローラ３１を介して流量が調整された状態でチャンバー２１内に導入されるようになっている。これらのガスをチャンバー２１に導入したときのチャンバー２１内の圧力は２Ｐａ乃至１７Ｐａである。
【００７５】
金属ターゲット２８の直径は、例えば、３００乃至３２０ｍｍ程度であり、金属ターゲット２８は金属製のターゲットホルダ２７とカソード２３と絶縁体２９とを介してスパッタチャンバー２１に取り付けられている。カソード２３の内部には永久磁石２４が回転可能に配置されており、永久磁石２４を回転させることにより、チャンバー２１内部の磁場３０を均一にして、金属ターゲット２８の表面の削れ（エロージョン）が一定になるようにしている。これにより、半導体基板２２上に成膜される膜の均一性を高めることができる。
【００７６】
また、チャンバー２１内にＲＦを導入するためのＲＦ電源２５は、インピーダンスマッチングを行うための整合器（マッチングボックス）３２を介して、カソード２３に接続されており、３００ｍｍφの金属ターゲット２８に対して１３．５６ＭＨｚの高周波を０乃至１０ｋＷのパワーで印加することが可能である。
【００７７】
ＲＦ電源２５をＯＮにしてＲＦをチャンバー２１内に導入すると、窒素を含むＡｒプラズマ２６が発生する。このＡｒプラズマ２６で発生するＡｒイオンにより、ターゲット金属２８がスパッタされ、半導体基板２２に到達し、結晶質の窒素含有金属１６あるいは非晶質の金属窒化膜１５が堆積される。
【００７８】
上述のようなＲＦマグネトロンスパッタ方式を用いて、半導体基板２２上の絶縁膜１２ｂ（図１参照）内に形成された孔１４（図１参照）に対してＴａ成膜を行った。その埋め込み特性の結果を図６に示す。
【００７９】
孔１４の直径は０．３μｍ乃至１．５μｍであり、孔１４が開口されている箇所における絶縁膜１２ｂの厚さは約１．５μｍであった。図６から明らかであるように、スパッタ圧力を増加させていくにつれて（２→４→８→１３→１７Ｐａ）、ボトムカバレッジ（孔１４の底における堆積膜厚／絶縁膜１２ｂの表面での堆積膜厚の比）が向上していくことが分かる。具体的には、スパッタ圧力が５Ｐａを超えると、アスペクト比の大きな孔に対しても十分な被覆性を示していることがわかる。
【００８０】
なお、孔１４の側面におけるＴａ堆積膜厚は孔１４の底部における堆積膜厚の半分程度であり、スパッタ圧力の増加に伴い、孔１４の内壁面全体を被覆するＴａ膜が形成された。
【００８１】
この現象の原因としては次のような２つの点が考えられる。
まず、第１の原因として考えられることは、図７に示すように、プラズマガス中のＴａイオン数の増加である。
【００８２】
スパッタ圧力が増加することにより、Ｔａ原子と励起Ａｒ原子との衝突が増加し、Ｔａ原子のイオン化が促進される。その結果として生じたＴａイオンが、半導体基板２２に発生する負のセルフバイアスに引っ張られる結果、半導体基板面に対するＴａイオン流束３５の入射角の垂直性が向上する。このため、通常のスパッタで起こるような開口部付近におけるオーバーハングが抑制され、孔１４や配線溝１３の底部までＴａが到達しやすくなる。その結果、孔１４の内壁面全体を被覆するＴａ膜３６が形成される。
【００８３】
第２の原因としては、図８に示すようなＡｒイオン３９による堆積Ｔａ膜３６の再スパッタが考えられる。
【００８４】
スパッタプラズマガスの主成分であるＡｒイオン３９はターゲットに対してのみでなく、負のセルフバイアス状態にある半導体基板２２に対しても、電界により加速された状態で到達する。すなわち、半導体基板２２上に堆積したＴａ膜も再びスパッタされることになる。このＡｒイオン３９により、孔１４や配線溝１３の開口部付近に堆積してオーバーハングを起こす原因となるＴａ膜が矢印３７で示されるように再スパッタされるため、孔１４や配線溝１３の底部に向かうＴａ原子３８が開口部付近で妨げられにくくなる。このため、孔１４の底部や側面におけるＴａの堆積が行われやすくなる。
【００８５】
さらに、孔１４や配線溝１３の底部におけるＴａ膜３６もＡｒイオン３９により再スパッタされるため、再スパッタされた底部のＴａ原子が孔１４や配線溝１３の側面４０に再堆積し、孔１４の側面４０におけるカバレッジが向上するものと考えられる。
【００８６】
現時点においては、上記のどちらの効果が主因となって埋め込み被覆性が向上するのか断定はできない。ただし、５Ｐａを超える高圧力の下におけるプラズマイオンの平均自由行程は数ｍｍであることから、Ｔａイオン流束３５の入射角の垂直性の向上による効果はそれほど大きくはないものと考えられる。高圧力により十分な密度のＡｒイオンが発生し、このＡｒイオンによるＴａ堆積膜の再スパッタが主因となって、被覆性が向上するものと推定される。
【００８７】
なお、タンタル窒化膜のスパッタ成膜についても、同様に、５Ｐａを超える高圧力スパッタにおいて良好な被覆性が認められた。
【００８８】
以上述べたように、ＲＦマグネトロンスパッタ方式においては、スパッタ圧力を５Ｐａ以上の高圧力とすることが望ましい。
【００８９】
【第二の実施例】
図９に、第一の実施例で挙げた高圧ＲＦマグネトロンスパッタ方式を用いて、チャンバー２１内に導入するアルゴンガス（Ａｒ）の量に対する窒素ガス（Ｎ２）の量の比（Ｎ２／（Ａｒ＋Ｎ２））を変化させた場合のＲＦパワーとスパッタ成長膜の比抵抗の変化との間の関係を示す。
【００９０】
この時のチャンバー２１内の圧力は１３Ｐａ、半導体基板２２の加熱温度は２００℃、マグネット２４の回転速度は１０ｒｐｍ、金属ターゲット２８と半導体基板２２との間の距離は１３４ｍｍである。
【００９１】
ＲＦパワーに関わらず、Ｎ２／（Ａｒ＋Ｎ２）におけるＮ２割合の増加に伴って、一旦、比抵抗が減少し、その後、再び増加して行く傾向が見られる。ただし、その増加率はＲＦパワーに依存し、ＲＦパワーが大きいほど比抵抗の増加率は低減する。
【００９２】
図１０から図１３に、３００ｍｍφのＴａターゲットに対してＲＦパワー＝６ｋＷ（８．５Ｗ／ｃｍ２）を投入した時のＮ２比の変化によるＸ線回折パターン（ＸＲＤ）の変化を示す。
【００９３】
具体的には、図１０はＮ２比＝０％、図１１はＮ２比＝１％、図１２はＮ２比＝５％、図１３にＮ２比＝７％の場合のＸＲＤパターンを示す。以下、図１０乃至図１３と比抵抗を示す図９とを対応させながら説明する。
【００９４】
Ｎ２比＝０％の場合には、図１０に示すように、β−Ｔａ（００２）配向した結晶質のＴａ金属膜が得られ、その比抵抗は１６０乃至２００μΩ−ｃｍである。
【００９５】
Ｎ２比＝１％の場合には、図１１に示すように、β−ＴａとＴａＮ０．１とが混在した結晶性の窒素含有金属膜（ここでは、Ｔａ膜）が得られ、その比抵抗の値は約１００μΩ−ｃｍ程度に減少する。
【００９６】
Ｎ２比＝５％の場合には、図１２に示すように、ＸＲＤパターン強度が低下しており、非晶質の金属窒化膜が形成されていることがわかる。その比抵抗は約２００乃至２５０μΩ−ｃｍ程度であった。
【００９７】
更にＮ２比を増加させていくと、図１３に示すように、Ｎ２比＝７％の場合には、Ｔａ３Ｎ５の結晶性の金属窒化膜が成長し、比抵抗は更に上昇する。
【００９８】
このように、Ｔａターゲットを用いた場合、スパッタガス中のＮ２濃度とＲＦパワー値とに依存して、成長する膜の結晶構造、組成及び比抵抗が変化する。このことは、逆に見れば、スパッタガス中のＮ２濃度とＲＦパワー値を制御することによって、成長膜の特性を制御することができることを意味している。本発明はこのような見地に基づくものである。
【００９９】
しかしながら、スパッタ法の場合、スパッタガスの流量（ガス圧力）やＮ２組成比を変化させることは容易ではない。従って、実用的には、スパッタガスの流量（ガス圧力）やＮ２組成比を一定値に維持し、ＲＦパワーのみを変化させることにより、スパッタ成長した膜の結晶構造、組成及び比抵抗を制御することが必要となる。
【０１００】
そこで、Ｎ２比を２％に固定してＲＦパワーのみを変化させた場合の比抵抗の変化を図１４に示す。図１４から明らかであるように、ＲＦパワーのみを変化させた場合においても、スパッタ膜質及び比抵抗を制御できることがわかる。図１４に示す比抵抗の変化におけるガス圧力は１０Ｐａ、マグネット回転速度は１０ｒｐｍ、基板温度は２００℃である。
【０１０１】
また、各ＲＦパワーに対するＸＲＤの特性を図１５乃至図１８に示す。図１５はＲＦパワー＝２ｋＷ、図１６はＲＦパワー＝３ｋＷ、図１７はＲＦパワー＝６ｋＷ、図１８はＲＦパワー＝８ｋＷの場合のＸＲＤの特性である。
【０１０２】
具体的には、ＲＦパワー＝２ｋＷの場合には、図１５に示すように、非晶質のＴａ２Ｎが得られ、ＲＦパワーを増加させるにつれて結晶質のＴａＮ０．１が得られ、さらに、ＲＦパワー＝８ｋＷの場合においては、図１８に示すように、β−Ｔａ膜とＴａＮ０．１とが混合した結晶質の窒素含有金属膜へと変化している。
【０１０３】
図１９と図２０に、それぞれＲＦパワー＝２ｋＷとＲＦパワー＝８ｋＷの場合に得られた膜の断面走査型電子顕微鏡（Ｓｃａｎｎｉｎｇ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ：ＳＥＭ）写真を示す。
【０１０４】
ＲＦパワー＝２ｋＷの場合には、図１５に示すＸＲＤからも明らかであるように、成長膜は非晶質構造を持つため、結晶粒界は認められない。一方、ＲＦパワー＝８ｋＷの場合には、図１８に示すＸＲＤからも分かるように、β−Ｔａ膜とＴａＮ０．１とが混合したような結晶膜が得られており、膜も柱状構造を有していることが分かる。
【０１０５】
すなわち、非晶質の金属窒化膜であるＴａ２Ｎを２ｋＷのＲＦパワーで成膜し、所望の膜厚が得られた瞬間にスパッタパワーを８ｋＷに変化させることにより、結晶性の窒素含有金属膜に膜質を変化させると、図２１に示すように、半導体基板１１上に、非晶質の金属窒化膜１５（非晶質のＴａ２Ｎ）と、結晶質の窒素含有金属膜１６（結晶質のβ−Ｔａと結晶質のＴａＮ０．１とからなる混合膜）とからなる積層構造の拡散バリア膜１７が成膜される。
【０１０６】
実際に、ＴａＮ成膜中にスパッタパワーを２ｋＷから８ｋＷに変化させ、結晶質の窒素含有金属膜１６と非晶質の金属窒化膜１５とをそれぞれ約５００Åずつ連続的に成長した膜の断面のＳＥＭ写真を図２２に示す。非晶質のＴａ２Ｎ膜１５と柱状結晶質の窒素含有金属膜（Ｔａ２Ｎ膜）１６とが連続的に積層構造を構成して成膜されていることが確認できる。
【０１０７】
この現象の原理は以下のように考えられる。スパッタパワーが２ｋＷの場合には、Ａｒイオンによるスパッタ率が低いために、Ｔａターゲットの表面がＮ２により十分に窒化される時間が存在する。このため、Ｔａターゲットの表面が窒化され、Ｔａ２Ｎに変化する。このように窒化されたＴａ２ＮがＡｒイオンによりスパッタされるためにＴａ２Ｎが堆積される。しかしながら、スパッタパワーが８ｋＷになると、Ｔａターゲットの表面が十分に窒化される時間が与えられる前にＡｒイオンによりスパッタされるため、スパッタされるＴａ膜に窒素が微量のみ含まれるような窒素含有の金属膜が得られやすくなるものと推定される。
【０１０８】
この現象を利用することにより、図２３に示すように、半導体基板１１上に成膜された絶縁膜１２ｂ内に形成された配線溝１３またはビア孔１４を覆うようにして、積層構造の拡散バリア膜１７を成膜することが可能となる。下層に位置する非晶質の金属窒化膜（Ｔａ２Ｎ）１５は、銅の拡散バリア性を確保することができ、かつ、下地絶縁膜１２ｂとの密着性を保持できる程度の膜厚を有することが必要である。そのような膜厚としては、約８０Å乃至１５０Åが好ましい。一方、結晶質の窒素含有金属膜（結晶質のβ−Ｔａと結晶質のＴａＮ０．１とからなる混合膜）１６は銅の拡散バリア性を保持でき、かつ、銅との密着性を確保することができれば良く、窒素含有金属膜１６の膜厚としては、６０Å乃至３００Å程度が最適である。
【０１０９】
【第三の実施例】
第一実施例において述べたＲＦマグネトロンスパッタ方式においては、チャンバー内に導入する圧力を通常のスパッタよりも高圧にすることにより、すなわち、５Ｐａ以上とすることにより、配線溝又は孔への埋め込み性能を向上させることが可能になる。すなわち、この領域の圧力の下で成膜中にパワーを切り替えることにより、図１に示したように、半導体基板１１上に成膜された絶縁膜１２ｂ中に形成された配線溝１３と孔１４とを同時に埋め込むようなデュアルダマシンプロセスを用いる際にも、良好な埋め込み特性の下で積層バリア膜１７を得ることが可能になる。
【０１１０】
【第四の実施例】
上述の第一及び第二の実施例においては、スパッタパワーを切り替えることにより連続的に積層バリア膜を作製するプロセスをＲＦマグネトロンスパッタ形式に適用した場合について述べた。このプロセスは、Ｎ２比や成膜パワーは異なる条件になるが、図２４に示すようなＤＣマグネトロンスパッタ方式にも適用することができる。
【０１１１】
図２４に示すＤＣマグネトロンスパッタ装置は、チャンバー２１と、チャンバー２１の底面に設置され、半導体基板２２を加熱する基板加熱ヒーター３４と、絶縁体２９とカソード２３とを介してチャンバー２１の内部の上方に配置されたターゲット金属２８と、チャンバー２１の内部圧力が約１×１０−７Ｐａ乃至約１×１０−６Ｐａの真空状態になるように排気を行う排気ポンプ３３と、ターゲット金属２８の上方に配置されたマグネット４２と、絶縁体２９を介してチャンバー２１と、アルゴンガスと窒素ガスの流量を調整してチャンバー２１内に送り込むマスフローコントローラ３１と、カソード２３と基板加熱ヒーター３４に直流電圧を印加するＤＣ電源４１と、からなっている。
【０１１２】
ＤＣ電源４１をオンにすることにより、窒素を含むアルゴンプラズマ２６がチャンバー２１内に発生する。
【０１１３】
【第五の実施例】
第一及び第二の実施例においては、一つのビア及び配線が形成されている例を挙げたが、本発明を適用することができる構造は、一つのビア及び配線が形成されている構造には限定されない。
【０１１４】
図２５に示すように、半導体基板１１上に第一の絶縁膜１２ａが形成され、この第一の絶縁膜１２ａにはビア孔の内部に拡散バリア膜１７を介して銅配線４４が形成され、さらに、第一の絶縁膜１２ａ上には第二の絶縁膜１２ｂ形成されている。第二の絶縁膜１２ｂ内に形成された配線溝及びビア孔の表面にも拡散バリア膜１７が形成されており、配線溝及ビア孔は拡散バリア膜１７を介して銅配線（図示せず）で埋め込まれる。
【０１１５】
このように、積層された複数の絶縁膜のそれぞれに形成された配線溝及びビア孔の表面を拡散バリア膜１７で覆い、次いで、銅配線層で配線溝及びビア孔を埋め込むことが可能である。
【０１１６】
その一例を図２６に示す。図２６に示す積層構造は、３層の絶縁膜からなり、各絶縁膜には配線溝及びビア孔が形成され、それらの配線溝及びビア孔の表面は拡散バリア層１７で覆われ、さらに、銅配線４４が埋め込まれている。
【０１１７】
以下、図２６に示す積層構造の製造方法を説明する。
半導体基板１１には、素子分離層１１ａにより分離された半導体素子１１ｂが形成されている。その半導体基板１１上に成膜されたシリコン酸化膜等の第一の絶縁膜１２ａには、半導体素子１１ｂとコンタクトを取るための配線溝及び孔が形成されており、これらの配線溝及び孔の表面には、第一の実施例において述べたような高圧ＲＦマグネトロンスパッタ法により、良好な埋め込み性の下に結晶質の窒素含有金属膜と非晶質の金属窒化膜とからなる積層構造を有する拡散バリア膜１７が形成されている。
【０１１８】
その後、真空成膜法により銅膜を配線溝及び孔に埋め込んで形成し、化学的機械的研磨法（ＣＭＰ法）により、第一の絶縁膜１２ａ上の余剰の銅膜及び拡散バリア膜１７を選択的に研磨し、銅配線４４ａを形成する。
【０１１９】
銅は表面に不動体を作らないため、銅膜４４ａ中への酸化が進行する恐れがある。このため、銅配線４４ａの酸化を防止するためのシリコン窒化膜１２ｄを第一の絶縁膜１２ａ上に形成する。
【０１２０】
さらに、第一の絶縁膜１２ａ上に第二の絶縁膜１２ｂを形成し、下層の銅配線４４ａと接触するような配線溝及び孔を第二の絶縁膜１２ｂ中に形成する。次いで、その配線溝及び孔に拡散バリア膜１７を形成し、さらに、銅膜４４ｂで配線溝及び孔を埋め込むような製造過程を所望の回数だけ繰り返すことにより、図２６に示すような銅多層配線構造を有する半導体装置を製作することができる。
【０１２１】
【第六の実施例】
第六の実施例においては、積層構造の拡散バリア膜と銅配線膜とを連続して形成するための装置及びその製造工程について述べる。
【０１２２】
図２７は、本実施例に係る銅配線膜形成装置を上方から見たときの平面図である。
【０１２３】
銅配線膜形成装置は中心部にセパレーションチャンバー５１を備えており、このセパレーションチャンバー５１の内部には、搬送用ロボット５２が保持されている。セパレーションチャンバー５１の周囲には、さらに、２個のロードロックチャンバー４５、基板加熱ガス出しチャンバー４６、配線溝及び孔クリーニング用エッチングチャンバー４７、積層構造の拡散バリア膜形成用のスパッタチャンバー４８、銅配線成膜チャンバー４９が付設されている。このような構成のクラスタチャンバー５０を用いることにより、半導体基板を大気に曝すことなく、銅配線金属を成膜することが可能である。
【０１２４】
銅配線金属膜の具体的な製造工程を以下に述べる。
まず、半導体基板をロードロックチャンバー４５に導入する。半導体基板上には絶縁膜が形成され、この絶縁膜には配線溝又は孔が形成されているものとする。次いで、ドライポンプ及びターボポンプを用いて、ロードロックチャンバー４５を排気する。排気時間は約５分程度であり、排気後の真空度は７×１０−３乃至８×１０−３Ｐａである。
【０１２５】
その後、ロードロックチャンバー４５とセパレーションチャンバー５１との間のゲートバルブを開ける。この時、セパレーションチャンバー５１は、クライオポンプ及びドライポンプ及びターボポンプによって、５×１０−５乃至１×１０−５Ｐａ程度の真空度に保たれており、半導体基板は、真空を破ることなく、搬送用ロボット５２によってセパレーションチャンバー５１の内部に搬送される。
【０１２６】
その後、先ず、半導体基板表面上の水分を飛ばし、アライニングを行うために、半導体基板を基板加熱ガス出しチャンバー４６に搬送する。この時、基板加熱ガス出しチャンバー４６は、ドライポンプ及びターボポンプによって、６×１０−５Ｐａ程度の真空度に保たれている。基板加熱ガス出しチャンバー４６の内部において、半導体基板を１５０℃乃至２００℃程度に加熱し、半導体基板表面の水分を飛ばし、半導体基板の表面を清浄化する。
【０１２７】
次に、半導体基板を基板加熱ガス出しチャンバー４６からセパレーションチャンバー５１を経由してクリーニング用エッチングチャンバー４７に搬送する。クリーニング用エッチングチャンバー４７は、クライオポンプ、ターボポンプ及びドライポンプによって、５×１０−６Ｐａ程度の真空度に保たれている。
【０１２８】
半導体基板をクリーニング用エッチングチャンバー４７の内部に搬入した後、アルゴン（Ａｒ）ガスまたは水素希釈Ａｒガス（Ｈ２／Ａｒ＝３％）を用いて、半導体基板のプラズマエッチングを行うことにより、半導体基板の表面、配線溝の内部及び孔の内部を還元清浄化する。
【０１２９】
また、このプラズマエッチングには、孔及び配線溝の形状の角を削って、開口部を擬似的に広げ、埋め込み特性を向上させる効果もある。
【０１３０】
次に、搬送用ロボット５２によって、半導体基板をクリーニング用エッチングチャンバー４７からスパッタチャンバー４８に搬送する。スパッタチャンバー４８においては、第一の実施例で挙げた高圧ＲＦマグネトロンスパッタ法によるスパッタが実施される。スパッタチャンバー４８の内部は、ドライポンプ、クライオポンプ及びターボポンプによって、４×１０−６Ｐａ程度の真空度に保たれている。
【０１３１】
スパッタチャンバー４８に導入された半導体基板は、第一及び第二の実施例において説明したようなＲＦパワーを瞬間的に切り替える方法によって、結晶性の窒素含有金属膜（結晶質のβ−Ｔａと結晶質のＴａＮ０．１とからなる混合膜）と非晶質の金属窒化膜（Ｔａ２Ｎ）とを堆積させる。ここでは、ガス圧力１０Ｐａ、基板温度２００℃、Ｎ２分圧比＝２％とし、パワーを２ｋＷから８ｋＷに切り替えることにより、図６に示したような特性の下で、良好な埋め込み性の下に積層構造の拡散バリア膜を得ることができる。
【０１３２】
最後に、半導体基板をスパッタチャンバー４８から銅配線成膜チャンバー４９に真空搬送する。真空搬送を行うため、拡散バリア膜の上層に位置する結晶性の窒素含有金属膜の表面は清浄に保たれる。この結晶性の窒素含有金属膜上に、化学気相堆積法（ＣＶＤ法）により、配線溝及び孔を埋め込みながら銅を成膜する。銅配線成膜チャンバー４９内はドライポンプ及びターボポンプにより４×１０−４Ｐａ程度の真空度に排気されている。
【０１３３】
先ず、半導体基板の温度を１７０乃至２００℃程度に維持し、Ｃｕ（ｈｆａｃ）ｔｍｖｓ（トリメチルビニルシリルヘキサフルオロアセチルアセトネートカッパ：ｔｒｉｍｅｔｈｙｌｖｉｎｙｌｓｉｌｙｌ ｈｅｘａｆｌｕｏｒｏａｃｅｔｙｌａｃｅｔｏｎａｔｅ ｃｏｐｐｅｒ（Ｉ））を主とする原料１乃至２ｇ／分を液体輸送方式により気化器に導入する。気化器で気化された原料は窒素キャリアガスにより銅配線成膜チャンバー４９内に導入され、その結果、銅配線成膜チャンバー４９内の圧力は約１ｋＰａ程度に保たれる。
【０１３４】
導入された原料ガスは半導体基板上で化学反応を起こし、銅膜となって半導体基板上に堆積される。ここでは、配線溝及び孔を十分に埋設するような膜厚、例えば、８０００乃至１５０００Å程度の膜厚になるように堆積する。
【０１３５】
特に、ＣＶＤ法を用いて銅の成膜を行う場合、ＣＶＤ原料であるトリメチルビニルシリルヘキサフルオロアセチルアセトネートカッパ（ｔｒｉｍｅｔｈｙｌｖｉｎｙｌｓｉｌｙｌ ｈｅｘａｆｌｕｏｒｏａｃｅｔｙｌａｃｅｔｏｎａｔｅ ｃｏｐｐｅｒ（Ｃｕ（ｈｆａｃ）ｔｍｖｓ））の中に含まれているフッ素（Ｆ）の拡散バリア膜の表面への偏析及び膜中への拡散並びに銅の拡散が密着性に大きな影響を及ぼす。
【０１３６】
図２８及び図２９にＳＩＭＳ法（Ｓｅｃｏｎｄａｒｙ Ｉｏｎ Ｍａｓｓ Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）により測定した拡散バリア膜中へのフッ素及び銅の拡散プロファイルをそれぞれ示す。
【０１３７】
Ａｒ雰囲気のスパッタにより得られるβ−Ｔａでは、フッ素が銅とＴａとの界面に偏析するため、密着性は悪くなる。一方、Ｔａ２Ｎでは、フッ素が膜中に拡散するものの、銅をほとんど膜中に拡散させないため、原子間の結びつきが悪く、密着性は悪くなる。ＴａＮ０．１では、銅及びフッ素を膜中に拡散させるため、原子間の結びつきが向上し、密着性が良好となる。
【０１３８】
すなわち、ＣＶＤ法によって銅を堆積する場合には、結晶質ＴａＮ０．１／非晶質Ｔａ２Ｎの積層バリア構造が密着性及び拡散バリア性を極めて向上させるものであることがわかる。
【０１３９】
以上のような過程を経ることにより、銅配線形成時に、半導体基板を大気に曝すことなく、銅配線膜を成膜できることから、拡散バリア膜の表面を清浄な状態に保つことが可能となり、ＣＶＤ法で作製される銅の膜質が拡散バリア膜の表面のＴａ膜の結晶構造に反映しやすくなるため、銅の結晶配向性及び拡散バリア膜との密着性を向上させることが可能である。
【０１４０】
【第七の実施例】
本実施例においては、図２７に示したクラスタチャンバー５０の銅配線成膜部（銅配線成膜チャンバー４９に対応する領域）にスパッタチャンバー４８が取り付けられている。拡散バリア膜の表面には、結晶性のβ−Ｔａを含んだＴａＮ０．１が存在するため、スパッタ法により成膜された銅膜との密着性は、ＣＶＤ法により成膜された銅膜との密着性と同様に、保持される。
【０１４１】
【第八の実施例】
本実施例においては、先ず、図２７に示したクラスタチャンバー５０から半導体基板を取り出す。この半導体基板は図３０に示すような構造を有している。すなわち、第二の絶縁膜１２ｂに形成されている配線溝及び孔の表面には拡散バリア膜１７が形成され、拡散バリア膜１７上には銅下地膜５３が形成されている。
【０１４２】
この半導体基板に対して、メッキ法により、銅膜５４を配線溝及び孔が埋め込まれるように成膜する。この結果、図３１に示すように、積層バリア構造１７、ＣＶＤ法またはスパッタ法により形成された銅下地膜５３、メッキ法により形成された埋め込み銅構造５４を作製することが可能となる。この後、例えば、図４に示したように、銅膜５４、銅下地膜５３、拡散バリア膜１７をＣＭＰ法により選択的に除去することにより、銅配線構造を得ることができる。
【０１４３】
【発明の効果】
本発明により、以下のような効果を得ることができる。
第１の効果は、銅に対する拡散バリア性及び密着性を兼ね備えた拡散バリア膜を得ることが可能になることである。これは、拡散バリア膜を、銅の拡散バリア性能の高い非晶質の金属窒化膜と密着性の高い結晶化した窒素含有金属膜とからなる積層構造として構成するためである。
【０１４４】
第２の効果は、拡散バリア膜を同一チャンバーで連続的に成膜することが可能であることである。このため、装置コスト及び時間的コストを低減することが可能となる。
【０１４５】
この理由は、スパッタ時にチャンバー内に導入するガスの窒素比を固定した状態で、スパッタパワーのみを瞬間的に変化させることにより、連続的に非晶質の金属窒化膜と結晶質の窒素含有金属膜とを成膜することが可能であるためである。この方法の場合、上層の金属膜には必然的に窒素が含有されることとなる。
【０１４６】
第３の効果は、例えば、半導体基板を真空搬送する装置を用いることにより、拡散バリア膜の表面を清浄に保った状態で銅膜を成長させることが可能になり、銅配線の信頼性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一の実施の形態に係る拡散バリア膜の製造方法における第一の工程を示す断面図である。
【図２】本発明の第一の実施の形態に係る拡散バリア膜の製造方法における第二の工程を示す断面図である。
【図３】本発明の第一の実施の形態に係る拡散バリア膜の製造方法における第三の工程を示す断面図である。
【図４】本発明の第一の実施の形態に係る拡散バリア膜の製造方法における第四の工程を示す断面図である。
【図５】第一の実施例における高圧ＲＦマグネトロンスパッタ装置の構成を示す概略図である。
【図６】高圧ＲＦマグネトロンスパッタ方式におけるＴａ膜の埋め込み特性を示すグラフである。
【図７】高圧ＲＦマグネトロンスパッタ方式においてＴａ膜の埋め込み特性が向上する理由を説明するための断面図である。
【図８】高圧ＲＦマグネトロンスパッタ方式においてＴａ膜の埋め込み特性が向上する理由を説明するための断面図である。
【図９】高圧ＲＦマグネトロンスパッタ方式において、チャンバーに導入する窒素ガスの比率を変化させた場合のＲＦパワーとスパッタ成長膜の比抵抗の変化との間の関係を示すグラフである。
【図１０】高圧ＲＦマグネトロンスパッタ方式におけるＴａＮ及びＴａ膜の成膜膜質特性を示すグラフである。
【図１１】高圧ＲＦマグネトロンスパッタ方式におけるＴａＮ及びＴａ膜の成膜膜質特性を示すグラフである。
【図１２】高圧ＲＦマグネトロンスパッタ方式におけるＴａＮ及びＴａ膜の成膜膜質特性を示すグラフである。
【図１３】高圧ＲＦマグネトロンスパッタ方式におけるＴａＮ及びＴａ膜の成膜膜質特性を示すグラフである。
【図１４】高圧ＲＦマグネトロンスパッタ方式におけるＴａＮ及びＴａ膜の成膜膜質特性を示すグラフである。
【図１５】高圧ＲＦマグネトロンスパッタ方式におけるＴａＮ及びＴａ膜の成膜膜質特性を示すグラフである。
【図１６】高圧ＲＦマグネトロンスパッタ方式におけるＴａＮ及びＴａ膜の成膜膜質特性を示すグラフである。
【図１７】高圧ＲＦマグネトロンスパッタ方式におけるＴａＮ及びＴａ膜の成膜膜質特性を示すグラフである。
【図１８】高圧ＲＦマグネトロンスパッタ方式におけるＴａＮ及びＴａ膜の成膜膜質特性を示すグラフである。
【図１９】高圧ＲＦマグネトロンスパッタ方式における成長膜の断面走査型電子顕微鏡写真である。
【図２０】高圧ＲＦマグネトロンスパッタ方式における成長膜の断面走査型電子顕微鏡写真である。
【図２１】高圧ＲＦマグネトロンスパッタ方式により形成された結晶性窒素固溶Ｔａ膜及びアモルファス金属ＴａＮ膜とからなる拡散バリア膜の断面図である。
【図２２】高圧ＲＦマグネトロンスパッタ方式により形成された拡散バリア膜の断面走査型電子顕微鏡写真である。
【図２３】配線溝または孔に埋め込まれた拡散バリア膜の断面図である。
【図２４】第四の実施例におけるＤＣマグネトロンスパッタ装置の概略図である。
【図２５】下層配線及びビア孔を有する構造上に形成された配線溝及び孔を示した断面図である。
【図２６】複数の下層配線及びビア孔を有する構造上に形成された配線溝及び孔を示した断面図である。
【図２７】銅配線形成用クラスタ装置の平面図である。
【図２８】拡散バリア膜中へのフッ素の拡散プロファイルを示すグラフである。
【図２９】拡散バリア膜中への銅の拡散プロファイルを示すグラフである。
【図３０】第七の実施例における銅配線構造（多層配線構造）の断面図である。
【図３１】第七の実施例における銅配線構造（多層配線構造）の断面図である。
【図３２】従来の銅配線構造の断面図である。
【図３３】従来の銅配線構造の断面図である。
【図３４】従来の銅配線構造の断面図である。

Claims (28)

  1. 半導体基板上の絶縁膜に埋設された銅配線からの銅拡散を防止する拡散バリア膜において、
    前記拡散バリア膜は、非晶質の金属窒化膜と該金属窒化膜上に形成された結晶質の窒素含有金属膜とからなる積層構造を有し、
    前記拡散バリア膜を構成する金属原子種は同一であり、
    前記絶縁膜から前記銅配線に至る方向において前記拡散バリア膜中の窒素濃度が減少していることを特徴とする拡散バリア膜。
  2. 前記非晶質金属窒化膜の膜厚は８０乃至１５０オングストロームであることを特徴とする請求項１に記載の拡散バリア膜。
  3. 前記結晶質窒素含有金属膜の膜厚は６０乃至３００オングストロームであることを特徴とする請求項１又は２に記載の拡散バリア膜。
  4. 前記金属原子種がタンタル、タングステン、モリブデン、ニオブあるいはこれらの混合物であることを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項に記載の拡散バリア膜。
  5. 半導体基板上の絶縁膜に埋設された銅配線からの銅拡散を防止する拡散バリア膜を有する多層配線の構造において、
    前記拡散バリア膜は、非晶質の金属窒化膜と該金属窒化膜上に形成された結晶質の窒素含有金属膜とからなる積層構造を有し、
    前記拡散バリア膜を構成する金属原子種は同一であり、
    前記絶縁膜から前記銅配線に至る方向において前記拡散バリア膜中の窒素濃度が減少していることを特徴とする多層配線構造。
  6. 前記拡散バリア膜は、下地配線層上の絶縁膜に形成された配線溝及び孔の表面を覆うように形成されていることを特徴とする請求項５に記載の多層配線構造。
  7. 前記窒素含有金属膜上に銅膜が形成されていることを特徴とする請求項５又は６に記載の多層配線構造。
  8. 前記非晶質金属窒化膜の膜厚は８０乃至１５０オングストロームであることを特徴とする請求項５乃至７の何れか一項に記載の多層配線構造。
  9. 前記結晶質窒素含有金属膜の膜厚は６０乃至３００オングストロームであることを特徴とする請求項５乃至８の何れか一項に記載の多層配線構造。
  10. 前記金属原子種がタンタル、タングステン、モリブデン、ニオブあるいはこれらの混合物であることを特徴とする請求項５乃至９の何れか一項に記載の多層配線構造。
  11. スパッタ法による拡散バリア膜の製造方法において、
    窒素含有ガスを用い、プラズマを発生させる電源のパワーのみを変化させ、スパッタターゲットの金属原子種を成分とする結晶質の窒素含有金属膜と非晶質の金属窒化膜とからなる積層構造の拡散バリア膜を連続的に形成することを特徴とする拡散バリア膜の製造方法。
  12. 回転磁場とＲＦパワーとを利用するＲＦマグネトロンスパッタ方式による拡散バリア膜の製造方法であって、
    窒素含有ガスを用い、前記ＲＦパワーを変化させ、スパッタターゲットの金属原子種を成分とする結晶質の窒素含有金属膜と非晶質の金属窒化膜とからなる積層構造の拡散バリア膜を連続的に形成することを特徴とする拡散バリア膜の製造方法。
  13. 前記窒素含有ガスの圧力は５Ｐａ以上であることを特徴とする請求項１１又は１２に記載の拡散バリア膜の製造方法。
  14. 前記窒素含有ガスの窒素ガス濃度が１０％以下であることを特徴とする請求項１１乃至１３の何れか一項に記載の拡散バリア膜の製造方法。
  15. 前記スパッタターゲットの金属原子種がタンタル、タングステン、チタン、モリブデン、ニオブあるいはこれらの混合物であることを特徴とする請求項１１乃至１４の何れか一項に記載の拡散バリア膜の製造方法。
  16. ＲＦマグネトロンスパッタ方式による拡散バリア膜の製造方法であって、
    プラズマガス中の窒素濃度を一定値に維持した状態において、プラズマ発生電源を第一の値のパワーに設定し、第一の膜を成膜する過程と、
    所望の膜厚が得られた瞬間に前記プラズマ発生電源を前記第一の値よりも大きい第二の値のパワーに設定し、前記第一の膜上に第二の膜を成膜する過程と、
    を備え、
    前記第一の膜は非晶質の金属窒化膜であり、前記第二の膜は結晶質の窒素含有金属膜であることを特徴とする拡散バリア膜の製造方法。
  17. 前記プラズマガス中の窒素ガスの圧力は５Ｐａ以上であることを特徴とする請求項１６に記載の拡散バリア膜の製造方法。
  18. 前記窒素ガスの濃度が１０％以下であることを特徴とする請求項１６または１７に記載の拡散バリア膜の製造方法。
  19. スパッタターゲットの金属原子種がタンタル、タングステン、チタン、モリブデン、ニオブあるいはこれらの混合物であることを特徴とする請求項１６乃至１８の何れか一項に記載の拡散バリア膜の製造方法。
  20. 前記非晶質金属窒化膜の膜厚は８０乃至１５０オングストロームであることを特徴とする請求項１１乃至１９の何れか一項に記載の拡散バリア膜の製造方法。
  21. 前記結晶質窒素含有金属膜の膜厚は６０乃至３００オングストロームであることを特徴とする請求項１１乃至２０の何れか一項に記載の拡散バリア膜の製造方法。
  22. 半導体基板上の絶縁膜に形成された配線溝あるいは孔に対して水素含有アルゴンのプラズマを照射処理する工程と、
    大気に曝すことなく、前記配線溝あるいは孔の表面層を覆うように、結晶質の窒素含有金属膜と非晶質の金属窒化膜からなる積層構造の拡散バリア膜を形成する工程と、
    大気に曝すことなく、前記拡散バリア膜上に銅薄膜を成長する工程と、
    を備える多層配線構造の製造方法。
  23. 前記拡散バリア膜はスパッタ法により形成されるものであることを特徴とする請求項２２に記載の多層配線構造の製造方法。
  24. 前記銅薄膜は真空成膜法により形成されるものであることを特徴とする請求項２２に記載の多層配線構造の製造方法。
  25. 前記真空成膜法は有機金属錯体の熱不均化反応を用いる熱化学気相堆積法（熱ＣＶＤ法）であることを特徴とする請求項２４に記載の多層配線構造の製造方法。
  26. 前記真空成膜法は銅ターゲットを用いたスパッタ法であることを特徴とする請求項２４に記載の多層配線構造の製造方法。
  27. 前記非晶質金属窒化膜の膜厚は８０乃至１５０オングストロームであることを特徴とする請求項２２乃至２６の何れか一項に記載の多層配線構造の製造方法。
  28. 前記結晶質窒素含有金属膜の膜厚は６０乃至３００オングストロームであることを特徴とする請求項２２乃至２７の何れか一項に記載の多層配線構造の製造方法。
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