JP3561214B2 - Soiウエハおよび該soiウエハの製造プロセス - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、SOIウエハおよび該SOIウエハの製造プロセスに関し、特に、埋込みチャネルの酸化によってSOIウエハを製造するプロセスに係わる。
【0002】
【従来の技術】
周知のように、集積素子の基板は、現在、マイクロエレクトロニクス産業で非常に普及している解決手法によれば、単結晶シリコンウエハから得られる。最近の数年間では、このシリコンウエハの代替物として、一方のシリコン層が他方のシリコン層よりも薄く、且つ、酸化シリコン層で互いに隔てられている2つのシリコン層を含む「SOI」(Silicon−on−Insulator)ウエハと呼ばれる複合ウエハが提案されている。
【0003】
SOIウエハの製造プロセスは、本出願人の名前で1998年1月13日付けで出願された欧州特許出願第98830007.5号の主題であり、この製造プロセスが図1〜図8を参照して後述される。
このプロセスによれば、基板2の表面3の上に、例えば、20nmから60nmの厚さを有する第1の酸化シリコン層を最初に成長させる。その次に、90nmから150nmの厚さを有する第1の窒化シリコン層を堆積させる。レジストマスクを使用して、第1の酸化層の非被覆部分および第1の窒化層の非被覆部分の上にドライエッチングを施し、その後、レジストマスクを取り除いて、図1の中間構造が得られる。この図では、こうして得られたウエハが全体として参照番号1で示されており、ドライエッチングの後に残った第1の酸化層の一部分と第1の窒化層の一部分を参照番号4、5で示してあり、これらの部分が、基板2の第1の部分8’を覆う個々の第1の保護領域を画定する。
【0004】
第1の保護領域7は、全体として参照番号9で示されるハードマスクを形成し、このハードマスクは、マスク9によって覆われないまま残っている第2の部分8”において基板2をエッチングして初期溝(initial trench)10(図2参照)を形成するために使用される。次に、図3に示されるように、ウエハ1を酸化させて、例えば、20nmから60nmの厚さを有し、且つ、初期溝10の壁と底を覆う第2の酸化層11を形成し、その後、90nmから150nmの厚さになるように第2の窒化シリコン層12を堆積させる。
【0005】
次に、層11および層12は、マスクを使用せずに異方的にエッチングされる。エッチングの異方性によって、初期溝10の底部上の第2の窒化シリコン層12および第2の酸化シリコン層11の水平部分と、部分4および部分5の上方の第2の窒化シリコン層12の一部分とが取り除かれて、図4の中間構造が得られる。この中間構造では、領域8’の最上部はマスク9によって覆われたままであり、且つ、領域8’の側面(すなわち、初期溝10の垂直壁)は依然として酸化シリコン部分11’および窒化シリコン部分12’によって覆われたままである。その代わりに、初期溝10の底部15上では、基板2が露出している。
【0006】
次に、初期溝10自体の深さを増して、所望の深さを有する最終溝(final trench)16を得るために、初期溝10の底部15上の露出シリコンをエッチングで除去する。特に、最終溝16の深さが所望の埋込み酸化層の寸法を決定し、従って、より明確に後述するようにSOIウエハの電気的特性を決定するので、この溝の深さは、最終SOIウエハに関して規定される仕様に従って決定される。
【0007】
この時点で、基板2は、ベース部分2’、および、ベース部分2’から垂直に延びる複数の「柱状部」18を備える。図5の中間構造はこのようにして得られ、この中間構造では、窒化シリコン層部分5および12’は互いに区別がなく、共に参照番号19によって示されている。酸化シリコン部分4および11’は互いに区別がなく、共に参照番号20で示され、部分19と共に第2の保護領域30を形成する。
【0008】
その後、熱酸化段階が行われ、柱状部(column)18の露出シリコン領域を酸化シリコンに変化させる。実際には、最終溝16の側壁から開始して、柱状部の内側に向かって、さらに、部分的にはベース部分2’に向かって、および、ベース部分2’の内側に向かって、シリコン領域を犠牲にして酸化領域を漸進的に成長させる。酸化中に体積の増大があるので、形成される酸化領域は、最終溝16を完全に満たしてその酸化領域が互いに一体化するまで、最終溝16の空間を漸進的に充填する。柱状部18が(第2の保護領域30によって保護されている、参照番号21で示されている頂部区域または先端を除いて)完全に酸化し終わり、それによって、図6に示されている連続した埋込み酸化領域22を形成し終わると、酸化段階が自動的に終了する。この図6では、垂直の連続線が、互いに隣接する2つの最終溝16の壁から形成されている酸化領域の会合表面を示し、酸化の膨張を強調して示している。
【0009】
その次に、第2の保護領域30は、選択的エッチングによって除去され、後続のエピタキシャル成長のためのジャーム(胚種:germ)を形成する先端21を露出させる。
この段階において、ウエハ1の3次元構造を示す図7の構造が得られる。次に、エピタキシャル成長が行われる。このエピタキシャル成長のパラメータは、埋込み酸化領域22の上に重なる区域内のシリコンの核形成を防止するように選択され、また、先端21の周囲のシリコンの水平方向の成長(従って、埋込み酸化領域22の頂部表面の被覆)を最初に得た後にエピタキシャル層23の垂直方向の成長を得るように、横方向成長の縦方向成長に対する高い比率が選択される。ウエハ1の頂部表面を平面化するために、任意に化学的−機械的研磨段階(Chemical−mechanical polishing)を行った後、図8に示されるようなウエハ1の最終構造が得られる。
【0010】
このように、マイクロエレクトロニクスでは一般的であるプロセス段階だけを使用するので、現在SOI基板を形成するために使用されるプロセスのコストよりも著しく低いコストでSOIウエハを製造することが可能である。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述の製造プロセスは、埋込み酸化領域22の形状が理想的ではないという欠点を有する。実際に、図9の拡大詳細図に強調されているように、熱酸化中に、柱状部18の露出シリコン領域が曲線に沿って酸化され、その結果として、埋込み酸化領域22は、その領域の下部で一連のアーチ35によって画定された形状となり、且つ、その領域の上部で最終溝16の壁の各々において上方に延びる一連の尖頭37によって画定された形状になる。さらに、成長したエピタキシャルシリコン層と埋込み酸化層との間に、空隙区域(void area)40が存在している。埋込み酸化領域22のこの形状は、SOIウエハを形成するためのシリコンのエピタキシャル成長を不確実なものとし、さらに、空隙区域40により最適の電気的特性が得られないことになる。
【0012】
従って、本発明の目的は、上述した製造プロセスの欠点を克服することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、請求の範囲の請求項1に記載されているように、すなわち、SOIウエハを製造するプロセスであって、半導体材料の基板に空洞を形成する段階と、前記基板および前記空洞の上に単結晶タイプのエピタキシャル層を成長させ、単結晶材料で完全に囲まれている前記空洞が中に埋め込まれている単結晶半導体材料のウエハを得る段階と、前記エピタキシャル層内を前記空洞まで延びる第2の溝を形成する段階と、前記第2の溝を形成した後、前記空洞を酸化させて、少なくとも1つの連続した埋込み酸化領域を形成する段階と、を備えることを特徴とする製造プロセスが提供される。
【0015】
【発明の実施の形態】
本発明についての十分な理解を促すために、添付図面を参照しつつ好ましい実施態様を純粋に非制限的実施例として説明する。
以下、本発明が図10〜図23を参照して説明される。
図10に示されるように、単結晶基板90を含む半導体材料のウエハ200の表面211に、例えば、20nmから60nmの厚さを有する第1の酸化層を成長させる。次に、90nmから150nmの厚さを有する第1の窒化層を堆積させる。レジストマスクを使用して、第1の窒化層の非被覆部分と第1の酸化層の非被覆部分との上にドライエッチングを施し、さらに、レジストマスクを取り除く。このようにして、ドライエッチング後に残留している第1の酸化層の一部分と第1の窒化層の一部分(図10では、酸化部分112と窒化部分113)が、全体として参照番号114で示すハードマスクを形成する。
【0016】
引き続き、ハードマスク114を使用してウエハ200に異方的にエッチング(第1の溝のエッチング)を行い、例えば、1μmから3μm(好ましくは、2μm)の幅と、形成すべき構造に応じた深さ(例えば、10μm〜30μm)とを有する、第1の溝115(図11を参照)を形成する。
次に(図12を参照)、第1の溝115の周囲のシリコンをTMAH(tetramethyl ammonium hydroxide:水酸化テトラメチルアンモニウム)中で時限エッチング(timed etching)を行う。このエッチングは基本的に等方性タイプなので、例えば、10μm〜200μm(最も幅広の箇所)の幅で、且つ、どんな場合にも第1の溝115よりも著しく大きい幅dを有する空洞121を形成するのを可能とする。典型的に、第1の溝115は、図の平面に対して垂直方向の細長い形状(引き延ばされた形状)を有し、空洞121は、細長いチャネルを形成する。
【0017】
TMAHエッチングの方向および持続時間に従って、公知の方法により様々な寸法の空洞121を得ることが可能である。特に、ウエハの平坦面に対して90°の角度(すなわち、図の紙面に対して垂直方向)で長さ方向に延びる細長い空洞121の場合には、空洞121は図12に示す形状を有する。ウエハの平坦面に対して45°の角度で長さ方向に延びる細長い空洞121の場合には、空洞121は、ハードマスク114の下方から延びる概ね垂直な壁を有する桶(tub)形状を有する。
【0018】
次に(図13を参照)、エピタキシャル成長を阻止する阻止層122で空洞121の壁を被覆する。この目的のために、例えば、(後述するように、ウエハ200の表面211および第1の溝115の壁を覆う酸化部分112と窒化部分113よりも大きい厚さ、例えば、60nm〜200nmの厚さを有する)酸化層を成長させるように、高速酸化段階(fast oxidation step)を行ってもよく、または、その代わりに、堆積した酸化、窒化、および、オルト珪酸テトラエチル(TEOS:tetraethyl orthosilicate)の中から選択される材料の均一な層を堆積させてもよい。
【0019】
次に(図14を参照)、ハードマスク114をウエハ200の表面211から取り除く。酸化部分112と窒化部分113とを取り除く際に、阻止層122の一部分も取り除く。しかし、阻止層の方が厚いので、阻止層は完全には取り除かれず、阻止層は、空洞121の壁を確実に覆うのに十分なだけ残留する。
次に(図15を参照)、基板90の単結晶シリコンをジャーム(germ)として使用してエピタキシャル成長を生じさせる。従って、単結晶シリコンが表面211から開始して垂直方向および水平方向の両方に成長し、空洞121を閉じる。一方、阻止層122が存在するので、このシリコンは空洞121の内側では成長しない。このようにして、単結晶シリコンのモノリシックウエハ200(図15に示される)が得られ、このモノリシックウエハ200は、基板90およびエピタキシャル層126を備え、且つ、阻止層122が内側の大部分を画定している完全に密閉された空洞121を備える。
【0020】
次に、図16および図17に示されるように、空洞121の上に重なっているシリコンの溝のエッチング(第2の溝のエッチング)を行って、第2の連結溝を形成する。この第2の連結溝は、例えば、空洞121を収容する基板90の領域の外周に概ね沿って延びるクローズドパスライン(closed−path line)の形状を有する。このために、それ自体としては公知の手法で、第3の酸化層140を最初に堆積または成長させ、その次に、第3の窒化層141(図16を参照)を堆積させる。第3の酸化層140および第3の窒化層141は、第2のハードマスク142を形成するために、写真製版的(photolithographically)に画定する。このハードマスク142は、エッチングしなければならないエピタキシャル層126の一部分を除いて、ウエハ200を完全に覆っている。次に、被覆されていないシリコンをエッチングして、空洞121まで延びる第2の溝144を形成する。
【0021】
引き続き、熱酸化が行われ、空洞121の内側および第2の溝144の壁上の露出シリコン領域が酸化シリコンに変化する。実際には、空洞121の側壁および溝144の側壁から開始して空洞および溝自体の内側に向けて、さらには、部分的には外方に、シリコン領域を犠牲にして酸化シリコン領域を漸進的に成長させる。酸化中に体積の増大が生じるので、形成される酸化領域は、この酸化領域が概ね完全に空洞を満たして互いに一体化するまで、空洞121の空間を漸進的に満たしていく。(おそらくは、参照番号128で示す穴が残っている内側区域は別として)空洞が酸化され、それによって連続した埋込み酸化領域127を形成し(互いに垂直な2つの平面に沿った断面図である図18および図19に示される)、一方、酸化シリコン領域145を溝144の側壁上に形成し終わると、酸化段階は完了する。
【0022】
次に、ポリシリコン層148をウエハ200の表面に堆積させ、このポリシリコン層148は、図20に示されるように、溝144を満たす。
引き続き、エッチングまたは機械的プロセスによって、ポリシリコン層148がウエハ200の表面から取り除かれ、このポリシリコン層148は溝144の内側だけに残り、図21に示されるように、そこで充填領域148’を形成する。
【0023】
最後に、充填領域148’の上部部分を熱酸化してフィールド酸化領域150を形成し、このフィールド酸化領域150は、図22に示されるように、充填領域148’の頂部を完全に閉じて、酸化領域145および充填領域148’自体と共に絶縁領域151を形成する。
上述のプロセスの利点は次の通りである。本発明のプロセスによって、酸化シリコンとエピタキシャル単結晶シリコン(図9に参照番号40で示す)との間に空隙区域が存在せず、それによってこの区域内で電荷担体(charge carrier)の間の再結合が生じる可能性が低減するので、連続した埋込み酸化領域127によってエピタキシャル単結晶シリコン層が完全に不活性化(passivate)されたSOIウエハを得ることが可能である。第2の溝144の形成に必要とされる第2のハードマスク142は、公知のプロセスで既に想定されている溝マスクを単純に部分変更することによって得られるので、上述のプロセスは、溝の絶縁を含むプロセスに比較して追加のマスクを必要としない。
【0024】
さらに、空洞121はウエハ区域全体に渡って延びてもよく、この場合には、さらに、連続した埋込み酸化領域127もウエハ全体に沿って延びる。
或いは、空洞121は、ウエハ内に信号区域を得る形でウエハ区域の一部分だけを占め、この信号区域内では、完全に絶縁されたエピタキシャルシリコン領域が、信号処理電子素子と、エピタキシャル層が基板90に直接的に電気的に接続されている電力素子を収容するように設計された酸化無しの電力区域(高い熱伝導率を有する)とを含むするように設計される。例えば、図23に示すウエハのようなものを製造することが可能であり、この図には、連続した酸化領域127および絶縁領域151で絶縁された信号区域160と、電力区域161とが示されている。図23は、さらに、空洞121を形成する前に開始基板90内にアンチモンインプラント(antimony implant)を埋め込むことによって得られるN+タイプの埋込み層155も示している。さらに、エピタキシャル層126の成長の後に、エピタキシャル層126内にドーピング物質を拡散させる。
【0025】
最後に、特許請求の範囲の各請求項で規定されるように、本明細書で記述および記載したプロセスおよび装置に対する様々な改変および変形が行われ得るものであり、それらが本発明の概念に含まれることは明らかである。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来のプロセスによる連続的な製造段階におけるSOIウエハの断面を示す図である。
【図2】従来のプロセスによる連続的な製造段階におけるSOIウエハの断面を示す図である。
【図3】従来のプロセスによる連続的な製造段階におけるSOIウエハの断面を示す図である。
【図4】従来のプロセスによる連続的な製造段階におけるSOIウエハの断面を示す図である。
【図5】従来のプロセスによる連続的な製造段階におけるSOIウエハの断面を示す図である。
【図6】従来のプロセスによる連続的な製造段階におけるSOIウエハの断面を示す図である。
【図7】従来の製造プロセスの後続の2つの段階における斜視断面を示す図である。
【図8】従来の製造プロセスの後続の2つの段階における斜視断面を示す図である。
【図9】図6の詳細を拡大して示す図である。
【図10】本発明に係る製造プロセスに対応するSOIウエハの断面を示す図である。
【図11】本発明に係る製造プロセスに対応するSOIウエハの断面を示す図である。
【図12】本発明に係る製造プロセスに対応するSOIウエハの断面を示す図である。
【図13】本発明に係る製造プロセスに対応するSOIウエハの断面を示す図である。
【図14】本発明に係る製造プロセスに対応するSOIウエハの断面を示す図である。
【図15】本発明に係る製造プロセスに対応するSOIウエハの断面を示す図である。
【図16】本発明に係る後続段階における斜視断面を示す図である。
【図17】本発明に係る製造プロセスの後続段階における図16の平面XVII−XVIIに沿ったウエハの断面を示す図である。
【図18】本発明に係る製造プロセスの後続段階における図16の平面XVII−XVIIに沿ったウエハの断面を示す図である。
【図19】本発明に係る製造プロセスの後続段階における図16の平面XX−XXに沿ったウエハの断面を示す図である。
【図20】本発明に係る製造プロセスの後続段階における図16の平面XX−XXに沿ったウエハの断面を示す図である。
【図21】本発明に係る製造プロセスの後続段階における図16の平面XX−XXに沿ったウエハの断面を示す図である。
【図22】本発明に係る製造プロセスの後続段階における図16の平面XX−XXに沿ったウエハの断面を示す図である。
【図23】図22の断面と同じ断面を縮小して示す図である。
【符号の説明】
90…基板
115…第1の溝
121…空洞
122…阻止層
126…エピタキシャル層(半導体材料領域)
126’…半導体材料領域
126”…エピタキシャル領域
127…埋込み酸化領域(絶縁材料層、絶縁材料領域)
141,142…第2のハードマスク
144…第2の溝
145…誘電材料層
148…半導体材料層
148’…充填領域
150…充填領域の上部部分(フィールド酸化領域)
155…半導体材料の導電性領域
200…ウエハ
Claims (12)
- SOIウエハ(200)を製造するプロセスであって、
半導体材料の基板(90)に空洞(121)を形成する段階と、
前記基板(90)および前記空洞(121)の上に単結晶タイプのエピタキシャル層(126)を成長させ、単結晶材料で完全に囲まれている前記空洞(121)が中に埋め込まれている単結晶半導体材料のウエハ(200)を得る段階と、
前記エピタキシャル層(126)内を前記空洞(121)まで延びる第2の溝(144)を形成する段階と、
前記第2の溝(144)を形成した後、前記空洞を酸化させて、少なくとも1つの連続した埋込み酸化領域(127)を形成する段階と、を備えることを特徴とする製造プロセス。 - 請求項1に記載の製造プロセスにおいて、前記空洞(121)を形成する段階は、
前記ウエハの部分の間を延びる第1の溝(115)を前記基板(90)内に形成する段階と、
前記第1の溝(115)の周囲の半導体材料を取り除くために前記基板(90)をエッチングする段階と、を備えることを特徴とする製造プロセス。 - 請求項2に記載の製造プロセスにおいて、前記エッチング段階をTMAH中で行うことを特徴とする製造プロセス。
- 請求項3に記載の製造プロセスにおいて、前記エッチング段階を時間管理することを特徴とする製造プロセス。
- 請求項2〜4のいずれか1項に記載の製造プロセスにおいて、前記第1の溝(115)を形成する段階は、
絶縁材料の第1のハードマスク(114)を形成する段階と、
前記第1のハードマスクを使用して前記基板(90)を異方性エッチングする段階と、を備えることを特徴とする製造プロセス。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載の製造プロセスにおいて、前記空洞(121)を形成する段階の後に、エピタキシャル成長を阻止する層(122)で前記空洞の壁を被覆する段階を行うことを特徴とする製造プロセス。
- 請求項1に記載の製造プロセスにおいて、前記第2の溝(144)を形成する段階は、第2のハードマスク(141,142)を形成する段階と、前記エピタキシャル層(126)をエッチングする段階と、を備えることを特徴とする製造プロセス。
- 請求項1または7に記載の製造プロセスにおいて、さらに、
半導体材料の充填領域(148’)で前記第2の溝(144)を埋める段階と、
前記充填領域の上部部分(150)を酸化して、側部および底部において絶縁されている単結晶エピタキシャルシリコン領域(126)を形成する段階と、を備えることを特徴とする製造プロセス。 - 請求項8に記載の製造プロセスにおいて、前記第2の溝(144)を埋める段階は、
前記ウエハの表面全体にわたって半導体材料層(148)を堆積させる段階と、
前記ウエハの前記表面の上の前記半導体材料層(148)を取り除く段階と、を備えることを特徴とする製造プロセス。 - 請求項1〜9のいずれか1項に記載の製造プロセスにおいて、前記空洞(121)は前記ウエハ(200)の領域全体に沿って延びていることを特徴とする製造プロセス。
- 請求項1〜9のいずれか1項に記載の製造プロセスにおいて、前記空洞(121)は前記ウエハ(200)の領域の一部分だけに延びていることを特徴とする製造プロセス。
- 請求項1〜11のいずれか1項に記載の製造プロセスにおいて、前記第1の溝を形成する第1の段階の前に、半導体材料の前記基板(90)をドーピングする段階を行うことを特徴とする製造プロセス。
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